JPH0460347B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体ウエハーを損壊・汚染すること
なく安全に輸送するためのウエハーケースに関す
る。

近年コンピユーターを始め各種電子装置等にお
いて、集積回路の利用が急増するに伴い半導体ウ
エハーの需要が著しく増大している。その結果ウ
エハーを大量に輸送する必要が生じた。輸送にあ
たつてはウエハーに対する十分な損壊・汚染防止
策をたてることを要する。

従来のウエハーケースはこれらの防止策が不十
分であつた。

本発明の目的は取扱いが簡単で輸送中のウエハ
ーの損壊・汚染等の危険が少ないウエハーケース
を提供することである。本発明によるウエハーケ
ースは輸送中の半導体ウエハーを損壊・汚染から
保護するウエハーケースであつて、ウエハーを担
持する箱状の本体、該本体の底部に嵌合してウエ
ハーを下方より弾性的に支える支持板および蓋を
有し；該本体は上縁に折返した補強リブをもち、
後方の補強リブ面に少くとも左右２個の蓋係止用
凹部を、前方の補強リブ面中央に少くとも１個の
蓋固定用凹部を備え、側壁は上半部がそれぞれ直
立し下半部が内方にわん曲し、内側表面にウエハ
ーを離隔させる離置リブを有し；該支持板は上面
に側壁に平行する２条のくし状弾性片を備え；該
蓋は周囲に縁を有し、後方の縁に該本体の係止用
凹部に係合する少くとも２個の突片を、前方の縁
に本体の固定用凹部に嵌合する少くとも１個のわ
く状突片をそれぞれ備え、蓋内面に本体側壁に平
行する２条のくし状弾性片を有していることを特
徴とする輸送用ウエハーケースである。

以下図面に従つて本発明のウエハーケースの構
成を詳細に説明する。まず第１図ａおよび第２図
を参照すると、本体１において左右の側壁４，５
は上半部が直立し下半部が内方にわん曲し、さら
に垂下して底板６に結合する。側壁４の内側表面
には離隔した内方へ突出する一連の隔置リブ４．
１を具備し、該隔置リブは他方の側壁５の内方へ
突出する同じ隔置リブ５．１と対応する。該隔置
リブは相互に十分離隔し、一連のウエハーをその
間に挿入するのを可能にし、これによりウエハー
は前後方向に担持され相互に接触することはな
い。側壁の下半部は担持するウエハーとほぼ等し
い半径で内方にわん曲しウエハー７に接する。そ
の状態を第２図に示す。

本体１の前壁８と後壁９は直立し、その下縁
８．１，９．１は少くとも底板の横幅より広いの
で、ウエハーケースの安定な自立に役立ち、本体
１の後方の補強リブ１０の面には蓋係止用凹部１
１を、前方の補強リブ１０の面には蓋固定用凹部
１２をそれぞれ備えている。また本体１の上面に
は少くとも一つの側壁上面、たとえば側壁４の上
面前後に凸起１３をもち、挿入されたウエハーの
移し替えそのときのガイドとなる。支持板２は第
１図ｂに示すように長方形をなし、上面の左右縁
近くに本体側壁に平行するくし状弾性片１４を備
え、本体底部に嵌合してウエハーを下から２点で
弾性的に支え、外力を分散してウエハーの損壊を
防止する。その状態を第２図に示す。くし状弾性
片の頭部１４．１は第１図ｂに示すようにＶ形な
いしＵ形であるため、ウエハーはその底部に確実
に支持される。各弾性片の縁１４．２は肉厚で弾
性片を補強している。蓋３は、第１図ｃに示すよ
うに本体１に嵌合させ、かつ蓋を補強する縁１５
を周囲にもち、蓋の内面には本体側壁に平行する
２条のくし状弾性片１６を備えている。該弾性片
１６の頭部１６．１は支持板に具備したものと同
形であるが、基部は第３図に拡大して示すように
先端に向つて薄肉となり、本体に担持したウエハ
ーを保護する上で十分な強度と弾力性を保有し、
これがウエハーを上から２点でおさえ外力を分散
してその損壊をふせぐ。その状況を第２図に示
す。また蓋の後方の縁に蓋を本体に係止する突片
１７を備え、本体１の凹部１１に係合して蓋の開
閉着脱を行う。すなわち第４図ａに拡大して示す
ように、凹部１１に係止突片１７が挿入される。
凹部１１には受面１１．１があり、、これに鈎１
７．１がひつかかり蓋の開閉および着脱をきわめ
て容易に行うことができる。

また蓋の前方の縁には蓋を本体に固定するわく
状突片１８を備え、本体の凹部１２に嵌合して蓋
を固定する。すなわあち第４図ｂに拡大して示す
ように、凹部１２にわく状突片１８が挿入され
る。凹部１２には受面１２．１がありこれに鈎１
８．１がひつかかり蓋を本体に固定し、蓋をはず
す時はわく状突片１８の穴１８．２に指をかけわ
ずかに引いてもち上げると鈎１８．１が受面１
２．１よりはずれ、容易に蓋を開き本体より離脱
させることができる。また第１図ｃに示すように
蓋の内面の少くとも一つの本体側面たとえば側面
４の上縁に接する位置には突起１３と嵌合するへ
こみ１９をもつ。このへこみのうち蓋の後側のも
のは楕円形をなし蓋を着脱するにあたつて本体上
面の突起１３と円滑に嵌合する。さらに蓋の中央
部には透明または半透明の窓２０を備え本体に収
容したウエハーの担持状態の観察を容易にする。
さらに第１図ｃ，第２図に示すように、蓋の外面
の前後にへこみ２１を有し、別のウエハーケース
を上に積み重ねるとき、これが第２図に示すその
ケースの本体下面の補強リブ２２に嵌合し、ケー
スの前壁・後壁の下縁８．１，９．１を利用して
安定な積み重ねを行うことができる。

第１図ａ，ｃに示すように、本体１の上縁の補
強リブ１０の外側表面は段差構造をなし、蓋３の
縁１５は補強リブ１０の上部に嵌合し、縁１５の
内側面および下端部は補強リブ１０の上部段差外
側面及び段差部に密接する。しかも縁１５の外側
面と補強リブ１０の下部段差外側面とは、一平面
を形成するよう段差が調整されているので、蓋３
が本体１と嵌合密封状態になつたとき、蓋の縁外
側面と補強リブ１０の下部段差外側面をテープに
より密封して、内部の密封効果を高めることがで
きる。

ウエハーケースの材質はプラスチツク、たとえ
ば弗素樹脂・ポリプロピレン・ポリエチレン等の
ポリオレフイン、あるいはエチレンと酢酸ビニー
ルの共重合体、およびそれら樹脂の混合物が用い
られる。これらの材質のプラスチツクには特性改
善のため、たとえば導電性を附与するよう特殊添
加剤を加えたり、また収納したウエハーの汚染防
止のため表面処理すなわちいわゆるコーテイング
技術を適用することができる。

以上述べたように本発明のウエハーケースは支
持板と蓋のくし状弾性片により、輸送中の振動と
落下等による圧力に対しウエハーを保護してその
損壊をふせぎ、蓋と本体によりウエハー表面の汚
染をさまたげ、高価なウエハーを安全に輸送する
ことを可能にするもので、しかも構造簡単で取り
扱いやすく経済的である等すぐれたものである。

【図面の簡単な説明】

第１図ａは支持板を取り出したときの本体の斜
視図を、第１図ｂは支持板の斜視図を、第１図ｃ
は蓋の内面の斜視図をそれぞれ示す。第２図はウ
エハーケースの中央における断面図であり、本体
側壁の隣りあつた隔置リブの間を通り側壁に直角
に切断したもので、後壁方向をみたときのもので
ある。第３図は蓋の内面のくし状弾性片の拡大斜
視図を、第４図ａは本体と蓋の後方にある蓋係止
用凹部と突片の拡大斜視図を、第４図ｂは本体と
蓋の前方にある蓋固定用凹部とわく状突片の拡大
斜視図をそれぞれ示す。 １……本体、２……支持板、３……蓋、４……
側壁、４．１……隔置リブ、５……側壁、５．１
……隔置リブ、６……底板、７……ウエハー、８
……前壁、８．１……下縁、９……後壁、９．１
……下縁、１０……補強リブ、１１……蓋係止用
凹部、１１．１……受面、１２……蓋固定用凹
部、１２．１……受面、１３……突起、１４……
くし状弾性片、１４．１……頭部、１４．２……
縁、１５……縁、１６……くし状弾性片、１６．
１……頭部、１６．２……縁、１７……蓋係止用
突片、１７．１……鈎、１８……蓋固定用わく状
突片、１８．１……鈎、１８．２……穴、１９…
…へこみ、２０……窓、２１……蓋の外面のへこ
み、２２……補強リブ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 両側面の上半部がそれぞれ直立し下半部が内
   方にわん曲し、内側表面にウエハーを隔離させる
   隔置リブを有する箱状本体と、内面下部に本体側
   壁に平行する２条のくし状弾性片を備えた蓋とを
   有する半導体輸送用ウエハーケースであつて、該
   箱状本体底部に該くし状弾性片に対向して上方に
   延在する２条の平行くし状弾性片をもつ支持片を
   備え、該蓋は係止用突片をもつ縁を備え、該箱状
   本体は上縁に外方に折り返した補強リブをもち、
   該補強リブの外側面に蓋係止用凹部を備え、該係
   止用突片を該係止用凹部に係合させて蓋を箱状本
   体に嵌合させたとき、蓋の縁の外側面と補強リブ
   の外側面が一平面を形成してなることを特徴とす
   る輸送用ウエハーケース。