JPH0231789Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、半導体ウエーハを損壊・汚染するこ
となく安全に輸送するための半導体ウエーハケー
スのおさえ板の改良に関するものである。

［従来の技術とその課題］ 近年コンピユーターを始め各種電子装置等にお
いて、集積回路の利用が急増するに伴い、半導体
ウエーハの需要が著しく増大した結果、ウエーハ
を大量に輸送する必要が生じた。輸送にあたつて
は、高価なウエーハに対する充分な損壊・汚染防
止策をたてることを必要とするが、従来のウエー
ハケースはこれらの防止策が不充分で、輸送中に
ウエーハが振動して損壊したり、塵埃等に汚染さ
れたりすることが多かつた。

［課題を解決するための手段］ 本考案は、輸送中のウエーハの損壊・汚染の危
険が少なく、取扱が簡単でしかも低コストのウエ
ーハケースのおさえ板を提供しようとするもの
で、これは箱状の本体、ウエーハおさえ板および
蓋からなる輸送用半導体ウエーハケースのおさえ
板において、該おさえ板は、長方形板の下面中央
部に、該面に垂直で、かつその長さ方向に平行な
一対の支持片と、上記長方形板の長さ方向の両辺
縁に下方に向かつて僅かに外側に開いた状態に突
出した多数の断面半円筒形の等長櫛状弾性片と、
長方形板の長さ方向両端部に、箱本体の対応する
側板内側に形成された位置決めガイドに嵌合し得
る平行薄片が、それぞれ一体に形成されてなる輸
送用半導体ウエーハケースのおさえ板である。

以下図面にしたがつて本考案のウエーハケース
の構成を詳細に説明する。

本体より蓋とおさえ板をもち上げ、かつおさえ
板を裏返して示した第１図、本体におさえ板を嵌
合した第２図、第２図のＡ−Ａ線に沿つて縦断し
た第３図おいて、本体１の左右の側壁４，５は上
半部が直立し下半部が内方にわん曲し、さらに垂
下して底板６に結合する。側壁４の内側表面には
隔離した内方へ突出する一連の隔置リブ４，１を
具備し、該隔置リブは他方の側壁５の内方へ突出
する同じ隔置リブ５，１と対応する。該隔置リブ
は相互に充分離隔し、一連のウエーハをその溝の
間に挿入するのを可能にし、これによりウエーハ
は、前後方向に担持され相互に接触することはな
い。また第３図より明らかなように、側壁の下半
部は担持するウエーハとほぼ等しい半径で内方に
わん曲しウエーハ７に接する。本体１の上縁は折
り返して補強リブ１０を形成し、後方の補強リブ
には蓋係止用凹部１１を、前方の補強リブには蓋
固定用凹部１２をそれぞれ備えている。また左右
の補強リブのうち少なくとも一つの上面、たとえ
ば側壁４の上面前後に突起１３をもち、挿入され
たウエーハの移し替えのときのガイドとなり、さ
らに該上面にウエーハを担持する隔置リブの間の
溝を示す目盛１４および数字１５を刻設する。ウ
エーハがすべての溝に担持されているときは本体
の溝の総数からウエーハ数は容易に知ることがで
きるが、一部の溝に担持されているときでも刻設
した数字と目盛によりその数を知ることができる
し、またウエーハに損壊・汚染が生じたときで
も、そのウエーハを指定することができ、以後の
処理に便利である。本体１の前壁８と後壁９は直
立し、それらの下縁８，１，９，１は少なくとも
底板６の横幅より広いので、ウエーハケースの安
定した自立に役立つ。

おさえ板２は蓋と独立した長方形をなし、本体
側壁に平行する両辺が半円筒形の櫛状弾性片１６
を形成し、内面中央に２条の平行支持片１７を有
し、第２図、第３図に明らかなように、本体上部
に嵌合してウエーハを上から４点で弾性的におさ
えかつ支持し、ウエーハの振動を防ぐとともに外
力を分散してその損傷を防止する。櫛状弾性片の
頭部１６，１は第４図に拡大して示すようにＶ形
ないしＵ形にへこんでおり、ウエーハはこの頭部
にやわらかくかつ確実に支持されるとともに、刃
状の先端をもつ平行支持片１７と協力してウエー
ハをおさえ支持する力を分散させ、外部からの衝
撃または振動に対しウエーハを保護するほか振動
によるウエーハの回転を防止する。おさえ板の着
脱は、その長さ方向の両端に位置決めのため垂直
下向きに設けた平行薄片２７を、ガイド１８に沿
つて正しく垂直に嵌合して行なわれるので、ウエ
ーハに無理な力が加わるようなことはない。

蓋３は本体１に嵌合させるが、蓋を補強する縁
１９を有し、後方の縁に蓋を本体に係止する係止
突片２０を備え、本体１の蓋係止用凹部１１に係
合して蓋の開閉着脱を行う。すなわち第５図ａに
拡大して示すように、蓋係止用凹部１１に係止突
片２０が挿入される。蓋係止用凹部１１には受面
１１，１があり、これに鈎２０，１がひつかゝり
蓋の開閉および着脱をきわめて容易に行うことが
できる。また蓋の前方の縁には蓋を本体に固定す
る枠状突片２１を備え、本体の蓋固定用凹部１２
に嵌合して蓋を固定する。すなわち第５図ｂに拡
大して示すように、蓋固定用凹部１２に枠状突片
２１が挿入される。凹部１２には受面１２，１が
ありこれに鈎２１，１がひつかゝり蓋を本体に固
定し、蓋をはずすときは枠状突片２１の穴２１，
２に指をかけわずかに引いてもち上げると、鈎２
１，１が受面１２，１よりはずれ、容易に蓋を開
き本体より離脱させることができる。また第１図
に示すように蓋の内面の、少なくとも一つの本体
側壁たとえば側壁４の上縁に接する位置には、突
起１３と嵌合する外側へ突出させて形成した内面
のへこみ２２をもつ。このへこみのうち蓋の後側
のものは長めの楕円形をなし蓋を着脱するにあた
つて本体上面の突起１３と円滑に嵌合する。さら
に蓋の面には透明または半透明の窓３を備え本体
に担持したウエーハの担持状態の観察を容易にす
るとともに、側壁４の上面に刻設した目盛１４お
よび数字１５に対応して目盛２４および数字２５
を刻設し、蓋をかぶせた状態でも損壊したウエー
ハを指定したり、数字を容易に知ることができ
る。さらに第１図、第３図に示すように、蓋の外
面の中央にへこみ２６を有し、別のウエーハケー
スを上に積み重ねるとき、この積み重ねたウエー
ハケースの前壁・後壁の下縁８，１，９，１と底
板６を利用して安定な積み重ねを行うことができ
る。

ウエーハケースの材質はプラスチツク、たとえ
ば弗素樹脂・ポリプロピレン・ポリエチレン等の
ポリオレフイン、あるいはエチレンと酢酸ビニー
ルの共重合体、およびそれら樹脂の混合物が用い
られる。これらの材質のプラスチツクには特性改
善のため、たとえば導電性を付与するよう特殊添
加剤を加えたり、また収納したウエーハの汚染防
止のため表面処理すなわちいわゆるコーテイング
技術を適用することもできる。

［考案の効果］ 以上述べたように本考案のウエーハケースのお
さえ板は、その櫛状弾性片、平行支持片により、
輸送中の振動と落下等による圧力に対しウエーハ
を保護してその損壊を防ぎ、蓋と本体によりウエ
ーハ表面の塵埃等による汚染を防止し、高価なウ
エーハを安全に輸送することを可能にするもの
で、しかも構造簡単で取り扱いやすく経済的であ
る等優れたものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のウエーハケースの蓋、おさえ
板、本体を離したときの斜視図を、第２図は本考
案の本体におさえ板をかぶせたときの斜視図を、
第３図は第２図のＡ−Ａ線に沿つた縦断面図を、
第４図は本考案のおさえ板の部分拡大断面図を、
第５図ａは本考案の蓋と本体の係止機構説明用斜
視図を、第５図ｂは本考案の蓋と本体の固定機構
説明用斜視図を示す。 １……本体、２……おさえ板、３……蓋、４…
…側壁、４，１……隔置リブ、５……側壁、５，
１……隔置リブ、６……底板、７……ウエーハ、
８……前壁、８，１……下縁、９……後壁、９，
１……下縁、１０……補強リブ、１１……蓋係止
用凹部、１１，１……受面、１２……蓋固定用凹
部、１２，１……受面、１３……突起、１４……
目盛、１５……数字、１６……櫛状弾性片、１
６，１……櫛状弾性片頭部、１７……平行支持
片、１８……ガイド、１９……縁、２０……係止
突片、２０，１……鈎、２１……枠状突片、２
１，１……鈎、２１，２……穴、２２……へこ
み、２３……窓、２４……目盛、２５……数字、
２６……へこみ、２７……平行薄片。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 箱状の本体、ウエーハおさえ板および蓋からな
   る輸送用半導体ウエーハケースのおさえ板におい
   て、該おさえ板は、長方形板の下面中央部に、該
   面に垂直で、かつその長さ方向に平行な一対の支
   持片と、上記長方形板の長さ方向の両辺縁に下方
   に向かつて僅かに外側に開いた状態に突出した多
   数の断面半円筒形の等長櫛状弾性片と、長方形板
   の長さ方向両端部に、箱本体の対応する側板内側
   に形成された位置決めガイドに嵌合し得る平行薄
   片が、それぞれ一体に形成されてなる輸送用半導
   体ウエーハケースのおさえ板。