KR960702175A - 반도체 웨이퍼 포장 용기(Container for Packing Semiconductor Wafer) - Google Patents

반도체 웨이퍼 포장 용기(Container for Packing Semiconductor Wafer)

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KR960702175A
KR960702175A KR1019950704251A KR19950704251A KR960702175A KR 960702175 A KR960702175 A KR 960702175A KR 1019950704251 A KR1019950704251 A KR 1019950704251A KR 19950704251 A KR19950704251 A KR 19950704251A KR 960702175 A KR960702175 A KR 960702175A
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semiconductor wafer
packaging container
clip
wafer packaging
handle
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KR1019950704251A
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English (en)
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나오끼 야마다
미쯔오 데라다
기요시 니시자와
쥰 우찌다
Original Assignee
나까니시 에이스께
규슈 고마쯔 덴시 가부시끼가이샤
우메다 하루히꼬
고마쯔 덴시 긴조꾸 가부시끼가이샤
모모세 아끼오
고마쯔 가세이 가부시끼가이샤
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    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements

Abstract

기밀성이 우수하고 외기로부터의 요염 방지의 향상을 얻을 수 있는 반도체 웨이퍼 포장 용기이다.
반도체 웨이퍼 포장 용기의 상자체의 케이스에 시일 홈을 설치하고 가스켓을 끼워 넣는다. 또, 상자체의 케이스와 덮개를 4개의 클립과 클립 요부를 걸어 맞춤으로써 고정한다.

Description

반도체 웨이퍼 포장 용기(Container for Packing Semiconductor Wafer)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관한 반도체 웨이퍼 포장 용기의 분해 사시도.

Claims (6)

  1. 다수의 반도체 웨이퍼를 격리 배치하는 대향 지지 홈을 내측면에 설치한 웨이퍼 캐리어와, 상기 웨이퍼 캐리어의 상방에 배치되고 반도체 웨이퍼를 가압하기 위한 가압판과, 이들을 수납하기 위해 상부가 개방된 상자체 케이스와, 상기 케이스에 끼워 맞춤하여 밀폐 용기를 형성하는 덮개로 이루어지는 반도체 웨이퍼 포장용기에 있어서, 상기 가압판은 그 기판부의 양측 모서리부에 각각의 웨이퍼에 대응하여 빗살형으로 돌출한 다수의 탄성면을 갖고, 상기 덮개에 착탈 가능하게 설치되고, 상기 상자체의 케이스는 4개의 측면부와, 이들 4개의 측면으로부터 연속하여 설치되고, 대략 직각인 각부를 형성하는 평활면을 포함하는 수직부와, 손잡이부와, 상기 손잡이부의 하방에 형성된 손잡이 요부와, 상기 평활면의 상단 주연부에 설치되고 가스켓을 끼워넣기 위한 시일 홈과 상기 평활면의 대략 중앙에 형성되고 상기 덮개의 클립을 수용하기 위한 클립 요부와, 상기 4개의 측면부의 하단 사이에 설치된 저부와, 상기 저부에 그려 넣어진 화살표와, 상기 저부에 설치되고 반도체 웨이퍼 포장 용기를 적층하기 위해 내부를 향해 함몰되어 형성된 요부로 이루어지며, 상기 덮개는 4개의 측면부와, 이를 4개의 측면으로부터 연속하고 또 수평으로 돌출하여 설치된 뚜껑부와, 대략 직각인 각부를 형성하는 평활면을 포함하는 수직부와, 상기 평활면의 대략 중앙에 형성되고 클립을 수용하기 위한 클립 요부와, 클립의 상부 모서리 돌기부를 걸기위한 계합 요부와, 덮개에 착탈 가능하게 계합하는 클립과, 상기 4개의 측면부의 상단 사이에 설치된 꼭대기부와, 상기 꼭대기부에 설치되고 반도체 웨이퍼 포장 용기를 적층하기 위해 돌출 형성된 각부와, 상기 꼭대기부의 이면에 설치되고 상기 가압판의 기판부를 끼움 및 이탈 가능하게 연결되는 긴 홈부로 이루어지며, 상기 웨이퍼 캐리어 내에 반도체 웨이퍼를 수납하여 상기 상자체의 케이스를 덮개의 각 부재 사이에 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 포장 용기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 덮개은 탈가스한 폴리카브네이트 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체웨이퍼 포장 용기.
  3. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어의 플랜지에 그려 넣어진 수치는 수납된 웨이퍼의 디바이스 형성면측으로부터 승순인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 포장 용기.
  4. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어의 전방판에 핸들을 설치한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 포장용기.
  5. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어의 측판의 외측 표면을 파형으로 형성한 것을 특징으로 하는 반도체웨이퍼 포장 용기.
  6. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어의 측판의 상부 모서리에 상자 덮개형의 손잡이부를 설치한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 포장 용기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950704251A 1993-04-27 1994-02-16 반도체 웨이퍼 포장 용기(Container for Packing Semiconductor Wafer) KR960702175A (ko)

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JP13639293 1993-04-27
JP93-136392 1993-04-27
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JP93-227755 1993-07-28
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100296825B1 (ko) * 1998-10-22 2001-10-26 성재갑 웨이퍼 운반 및 보관용 플라스틱 용기
KR100972039B1 (ko) * 2010-01-12 2010-07-23 신병길 태양광을 이용한 통합연동형 옥외광고물의 제어시스템

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3292800B2 (ja) * 1995-10-12 2002-06-17 信越ポリマー株式会社 密封容器のクランプ構造
US5873468A (en) * 1995-11-16 1999-02-23 Sumitomo Sitix Corporation Thin-plate supporting container with filter means
US6354601B1 (en) * 1999-01-06 2002-03-12 Fluoroware, Inc. Seal for wafer containers
JP3916342B2 (ja) * 1999-04-20 2007-05-16 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
TWI259501B (en) * 2000-12-07 2006-08-01 Shinetsu Polymer Co Seal and substrate container using same
US7413099B2 (en) * 2001-06-08 2008-08-19 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Sealing element with a protruding part approximately obliquely outward and a hermetic container using the same
WO2003042059A1 (en) * 2001-11-14 2003-05-22 Entegris, Inc. Wafer enclosure sealing arrangement for wafer containers
JP4634772B2 (ja) * 2004-10-14 2011-02-16 ミライアル株式会社 収納容器
US7607543B2 (en) * 2005-02-27 2009-10-27 Entegris, Inc. Reticle pod with isolation system
US8037847B2 (en) * 2005-05-13 2011-10-18 Tecniplast, S.p.A. Closure system for a cage containing laboratory animals and methods thereof
US7967146B2 (en) * 2007-08-08 2011-06-28 E.Pak International, Inc. Container
JP2009102021A (ja) * 2007-10-20 2009-05-14 Hoya Corp マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体
WO2011001522A1 (ja) * 2009-07-01 2011-01-06 Hoya株式会社 マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体
ES2401641T3 (es) * 2010-07-19 2013-04-23 Red Bull Gmbh Tapa de envase que se puede volver a cerrar, envase, en particular latas de bebidas, que contienen la tapa de envase que se puede volver a cerrar, procedimiento para la fabricación de dicho envase, así como utilización de la tapa de envase según la invención
TWI501910B (zh) * 2011-11-17 2015-10-01 Gudeng Prec Ind Co Ltd 具有排水結構之極紫外光光罩儲存傳送盒
PL3215882T3 (pl) 2014-11-04 2020-07-13 CommScope Connectivity Belgium BVBA Obudowa do stosowania w światłowodowej sieci rozdzielczej
US11581209B2 (en) * 2019-11-08 2023-02-14 Entegris, Inc. Environmental control material holder

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2383089A (en) * 1941-01-16 1945-08-21 Soc Of Chemical Ind Device for the construction of tight flange joints in lined apparatus
US2396491A (en) * 1943-12-02 1946-03-12 James M W Chamberlain Sealing ring and assembly comprising the same
US2501943A (en) * 1947-07-18 1950-03-28 Duriron Co Pipe joint
US2666548A (en) * 1949-04-09 1954-01-19 Dole Valve Co Spaced wall container
US2937065A (en) * 1956-01-09 1960-05-17 Zelma D Harza Water stop
US2857075A (en) * 1956-06-11 1958-10-21 Columbia Basin Plastics Compan Can lid seal ring
US3134612A (en) * 1962-02-12 1964-05-26 Clarence O Glasgow Gasket ring for pipe couplings
US3217921A (en) * 1962-02-21 1965-11-16 Gen Tire & Rubber Co Sealing device
US3294409A (en) * 1963-02-20 1966-12-27 Dover Corp Metal seal construction
US3334774A (en) * 1964-11-27 1967-08-08 Johns Manville Fluid seal
US3355057A (en) * 1964-12-31 1967-11-28 Pine Scient Company Desiccator seal
US3701452A (en) * 1971-09-07 1972-10-31 Erwin W Tonn Sealing gasket for a container
US4088302A (en) * 1976-10-13 1978-05-09 Bradley Corporation Seal member for faucet valve
JPS5512715A (en) * 1978-07-13 1980-01-29 Zenkiyou Kasei Kogyo Kk Container for high purity ic wafer
JPS57124149U (ko) * 1981-01-27 1982-08-03
JPS61170042A (ja) * 1985-01-23 1986-07-31 Oki Electric Ind Co Ltd ウエハ搬送ボツクス
JPS6233436A (ja) * 1985-08-07 1987-02-13 Shin Etsu Handotai Co Ltd 輸送用ウエ−ハケ−ス
JPS6287442U (ko) * 1985-11-19 1987-06-04
JPS6289145U (ko) * 1985-11-22 1987-06-08
US4699293A (en) * 1985-12-20 1987-10-13 Allen-Bradley Company, Inc. Enclosure seal
JPH0610690Y2 (ja) * 1986-11-17 1994-03-16 信越ポリマー株式会社 輸送容器
US4966284A (en) * 1987-07-07 1990-10-30 Empak, Inc. Substrate package
EP0309272A3 (en) * 1987-09-25 1990-03-07 Southtech, Inc. Apparatus and method for sample holders and wafer cages fabricated from silicon carbide for processing semiconductor materials
US4834037A (en) * 1987-10-14 1989-05-30 Dana Corporation Unitary molded plastic valve seal
US4854476A (en) * 1988-07-25 1989-08-08 Serco Mold, Inc. Container and perimeter seal therefor
US5058906A (en) * 1989-01-19 1991-10-22 Vetco Gray Inc. Integrally redundant seal
JPH0563066A (ja) * 1991-08-30 1993-03-12 Shin Etsu Handotai Co Ltd ウエーハ収納容器の係止構造
US5228568A (en) * 1991-08-30 1993-07-20 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Semiconductor wafer basket

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100296825B1 (ko) * 1998-10-22 2001-10-26 성재갑 웨이퍼 운반 및 보관용 플라스틱 용기
KR100972039B1 (ko) * 2010-01-12 2010-07-23 신병길 태양광을 이용한 통합연동형 옥외광고물의 제어시스템

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JP2946450B2 (ja) 1999-09-06
US5971191A (en) 1999-10-26
JPH0714913A (ja) 1995-01-17

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