JPS61170042A - ウエハ搬送ボツクス - Google Patents
ウエハ搬送ボツクスInfo
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- JPS61170042A JPS61170042A JP914185A JP914185A JPS61170042A JP S61170042 A JPS61170042 A JP S61170042A JP 914185 A JP914185 A JP 914185A JP 914185 A JP914185 A JP 914185A JP S61170042 A JPS61170042 A JP S61170042A
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- Japan
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- wafer carrier
- wafer
- transport box
- carrier
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
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-
- H—ELECTRICITY
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- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体基板（ウェハ）の搬送に用いられるウ
ェハを収納するためのウェハ搬送ボックスに関するもの
である。
ェハを収納するためのウェハ搬送ボックスに関するもの
である。
（従来の技術）
半導体素子の製造においては、例えば、ウェハを装填し
た後、このキャリヤを同様に樹脂製の搬送ボックスに収
納した状態にして次の工程に移行させるようにしている
。このような作業方法においても作業能率の向上、省力
化の観点から自動化にできる工程は極力自動化の推進が
図られてきている。
た後、このキャリヤを同様に樹脂製の搬送ボックスに収
納した状態にして次の工程に移行させるようにしている
。このような作業方法においても作業能率の向上、省力
化の観点から自動化にできる工程は極力自動化の推進が
図られてきている。
第４図は上記したウェハ搬送に用いられる従来のウェハ
搬送ボックスであり、第４図（ａ）はその搬送ボックス
の断面図であり、第４図（ｂ）はその搬送ボックスの内
部の底面図〔第４図（ａ）の［−１′線断面の矢印方向
から見た図〕である。
搬送ボックスであり、第４図（ａ）はその搬送ボックス
の断面図であり、第４図（ｂ）はその搬送ボックスの内
部の底面図〔第４図（ａ）の［−１′線断面の矢印方向
から見た図〕である。
これらの図に示されるように、搬送ボックスはボックス
本体ｌと蓋２から成り、ボックス本体１の底面１−１に
はウェハキャリヤが縦方向及び横方向にずれが生じない
程度の簡易な位置決め突起部４．５が設けられるように
なっている。
本体ｌと蓋２から成り、ボックス本体１の底面１−１に
はウェハキャリヤが縦方向及び横方向にずれが生じない
程度の簡易な位置決め突起部４．５が設けられるように
なっている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記したウェハ搬送ボックスによれば、
そのボックスの底面に設けられる位置決め突起部４．５
はルーズなものであるためにウェハが装填されたウェハ
キャリヤがどの方向にあっても収納されてしまうことに
なる。そのために、方向をまちがえてウェハキャリヤが
収納されることがあり、この状態で次の作業工程にウェ
ハが移行した場合には、この搬送ボックスよりウェハを
取り出し、受渡す時にその作業工程における装置に自動
的にセットできなかったり、或いは、無理にセントした
場合には、まちがって加工すべきでないウェハの面を加
工するといった問題があった。
そのボックスの底面に設けられる位置決め突起部４．５
はルーズなものであるためにウェハが装填されたウェハ
キャリヤがどの方向にあっても収納されてしまうことに
なる。そのために、方向をまちがえてウェハキャリヤが
収納されることがあり、この状態で次の作業工程にウェ
ハが移行した場合には、この搬送ボックスよりウェハを
取り出し、受渡す時にその作業工程における装置に自動
的にセットできなかったり、或いは、無理にセントした
場合には、まちがって加工すべきでないウェハの面を加
工するといった問題があった。
そこで、このような問題をなくすためにウェハキャリヤ
を正規の方向にして搬送ボックスに収納する必要があり
−１そこで、作業者はそのウェハキャリヤの収納方向を
いちいちチェックしたり、高価なセンサを用いて監視し
なければならず、作業効率の低下、省力化の面で問題が
あり、また、センサを設けた場合には、そのセンサによ
ってアラームされてもその復旧に時間がかかったり、セ
ンサの装備のために製造コストが高くなるとい９た問題
があった。
を正規の方向にして搬送ボックスに収納する必要があり
−１そこで、作業者はそのウェハキャリヤの収納方向を
いちいちチェックしたり、高価なセンサを用いて監視し
なければならず、作業効率の低下、省力化の面で問題が
あり、また、センサを設けた場合には、そのセンサによ
ってアラームされてもその復旧に時間がかかったり、セ
ンサの装備のために製造コストが高くなるとい９た問題
があった。
本発明は、上記した問題点を解決するために、ウェハが
装填されたウェハキャリヤをウェハ搬送ボックスに収納
する際にウェハキャリヤの方向を誤った方向に収納して
しまうミスを防止して、半導体製造工程における作業の
円滑化を図ることを目的とする。
装填されたウェハキャリヤをウェハ搬送ボックスに収納
する際にウェハキャリヤの方向を誤った方向に収納して
しまうミスを防止して、半導体製造工程における作業の
円滑化を図ることを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、上記した目的を達成するために、ウェハが装
填されたウェハキャリヤを収納するウェハ搬送ボックス
において、ウェハキャリヤを搬送ボックス本体に収納す
る際にウェハキャリヤの非対称部分に対応してウェハキ
ャリヤの収納方向を規制する突出部材を前記ウェハキャ
リヤ本体の内面に設けるようにする。
填されたウェハキャリヤを収納するウェハ搬送ボックス
において、ウェハキャリヤを搬送ボックス本体に収納す
る際にウェハキャリヤの非対称部分に対応してウェハキ
ャリヤの収納方向を規制する突出部材を前記ウェハキャ
リヤ本体の内面に設けるようにする。
（作用）
上記したように、ウェハの自動搬送装置におけるウェハ
搬送ボックスにウェハキャリヤ６を収納する際に搬送ボ
ックス本体１の内面に突出部材を設けてウェハキャリヤ
６を一定方向に′＠うて正規の方向に収納できるように
している。即ち、ウェハキャリヤ６が誤った方向に収納
された場合にはウェハ搬送ボックス本体１よりウェハキ
ャリヤ６が浮き出ることになり、この状態では蓋２が斜
めになり、正規の密封状態にならなくなり、ウェハキャ
リヤ６が誤った方向に収納されたことが直ちに検知され
る。
搬送ボックスにウェハキャリヤ６を収納する際に搬送ボ
ックス本体１の内面に突出部材を設けてウェハキャリヤ
６を一定方向に′＠うて正規の方向に収納できるように
している。即ち、ウェハキャリヤ６が誤った方向に収納
された場合にはウェハ搬送ボックス本体１よりウェハキ
ャリヤ６が浮き出ることになり、この状態では蓋２が斜
めになり、正規の密封状態にならなくなり、ウェハキャ
リヤ６が誤った方向に収納されたことが直ちに検知され
る。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳細に説明
する。
する。
第２図はウェハキャリヤの説明図であり、第２図（ａ）
はウェハキャリヤの斜視図、第２図（ｂ）はウェハキャ
リヤの正面（Ｕ面）図、第２図（Ｃ）はウェハキャリヤ
の背面（Ｈ面）図である。
はウェハキャリヤの斜視図、第２図（ｂ）はウェハキャ
リヤの正面（Ｕ面）図、第２図（Ｃ）はウェハキャリヤ
の背面（Ｈ面）図である。
これらの図に示されるように、ウェハキャリヤ６は断面
が略Ｈ形状をしたウェハ１３を収納する溝を有する支持
体を有するとともに、その前面（Ｕ面）にはＵ字形状の
前面板７、つまり、あたかもスカートをはいたような前
面板７を有している。そして、ウェハ１３はＵ面が加工
面となるようにウェハキャリヤ６に装填されることにな
る。
が略Ｈ形状をしたウェハ１３を収納する溝を有する支持
体を有するとともに、その前面（Ｕ面）にはＵ字形状の
前面板７、つまり、あたかもスカートをはいたような前
面板７を有している。そして、ウェハ１３はＵ面が加工
面となるようにウェハキャリヤ６に装填されることにな
る。
ここで留意すべきことはこのウェハキャリヤ６の前後の
形状が非対称であるということである。即ち、（１）前
面板７は長いスカートをはいており、ウェハキャリヤ６
の足元からスカートの裾までの距離がｌ、であるのに対
して後面（Ｈ面）はＨ形となっており、ウェハキャリヤ
６の足元からＨ形の支持体の中央部までの距離は１２と
なっている。
形状が非対称であるということである。即ち、（１）前
面板７は長いスカートをはいており、ウェハキャリヤ６
の足元からスカートの裾までの距離がｌ、であるのに対
して後面（Ｈ面）はＨ形となっており、ウェハキャリヤ
６の足元からＨ形の支持体の中央部までの距離は１２と
なっている。
（２）また、前面板７の下部の隅９−１は角ぼっている
のに対して、後面（Ｈ面）の隅９−２は切り取られた形
状になっている。
のに対して、後面（Ｈ面）の隅９−２は切り取られた形
状になっている。
そこで、本発明においてはウェハキャリヤ６にはウェハ
１３の加工面がＵ面つまり、前面板７の方向となるよう
に装填される。つまり、ウェハ１３とウェハキャリヤ６
の向きは定められており、しかもこのウェハキャリヤ６
の前後面、つまりＵ面とＨ面は非対称な形状を有してい
るということに着目して、キャリヤボックス１の内面に
このウェハキャリヤ６の非対称な形状に対応して正規な
方向にウェハキャリヤが収納されない時にはこれを検知
できる突出部材を設けるようにする。
１３の加工面がＵ面つまり、前面板７の方向となるよう
に装填される。つまり、ウェハ１３とウェハキャリヤ６
の向きは定められており、しかもこのウェハキャリヤ６
の前後面、つまりＵ面とＨ面は非対称な形状を有してい
るということに着目して、キャリヤボックス１の内面に
このウェハキャリヤ６の非対称な形状に対応して正規な
方向にウェハキャリヤが収納されない時にはこれを検知
できる突出部材を設けるようにする。
この点について詳細に説明する。第１図（ａ）はウェハ
搬送ボックスの斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）の
Ａ−Ａ’線の断面図、第１図（Ｃ）は第１図（ａ）のＢ
−Ｂ ’線の断面図、第１図（ｄ）は当該ボックスの内
部底面図である。図中、ｌはボックス本体、２は密封用
の蓋、６はボックスに収納されるウェハキャリヤ、１４
は各工程における履歴等を記録したランシート入れであ
る。１０．１１．１２はボックス本体ｌの内面に設けら
れるウェハキャリヤの収納方向を規制する突出部材であ
る。Ｃはウェハキャリヤの足の部分が位置する箇所をホ
し、Ｄはウェハキャリヤの縁の部分が位置する箇所を示
している。ここで、これらの突出部材１０．１１．１２
の機能について説明する。（１）突出部材ｌＯはウェハ
キャリヤ６が正規の方向に収納される場合にはＨ面に対
応する箇所に設けられるものである。つまり、この突出
部材ｌＯはウェハキャリヤ６が正規に収納される場合に
は第２図（Ｃ）に示される距離１２以内に位置するため
に支障にならないが、ウェハキャリヤ６が正規な方向と
は１８０度回転した状態、つまり、前後面が逆に収納さ
れた場合にはウェハキャリヤ６の前面（Ｕ面）板７のス
カートの裾、つまり、スカートが長くウェハキャリヤの
足元からの距離が第２図（ｂ）に示されるように１！２
と短いためにこの突出部材１０に当接してウェハキャリ
ヤ６が浮き上がってしまうことになる。この状態では蓋
２を正規に閉じることができなくなってしまう。
搬送ボックスの斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）の
Ａ−Ａ’線の断面図、第１図（Ｃ）は第１図（ａ）のＢ
−Ｂ ’線の断面図、第１図（ｄ）は当該ボックスの内
部底面図である。図中、ｌはボックス本体、２は密封用
の蓋、６はボックスに収納されるウェハキャリヤ、１４
は各工程における履歴等を記録したランシート入れであ
る。１０．１１．１２はボックス本体ｌの内面に設けら
れるウェハキャリヤの収納方向を規制する突出部材であ
る。Ｃはウェハキャリヤの足の部分が位置する箇所をホ
し、Ｄはウェハキャリヤの縁の部分が位置する箇所を示
している。ここで、これらの突出部材１０．１１．１２
の機能について説明する。（１）突出部材ｌＯはウェハ
キャリヤ６が正規の方向に収納される場合にはＨ面に対
応する箇所に設けられるものである。つまり、この突出
部材ｌＯはウェハキャリヤ６が正規に収納される場合に
は第２図（Ｃ）に示される距離１２以内に位置するため
に支障にならないが、ウェハキャリヤ６が正規な方向と
は１８０度回転した状態、つまり、前後面が逆に収納さ
れた場合にはウェハキャリヤ６の前面（Ｕ面）板７のス
カートの裾、つまり、スカートが長くウェハキャリヤの
足元からの距離が第２図（ｂ）に示されるように１！２
と短いためにこの突出部材１０に当接してウェハキャリ
ヤ６が浮き上がってしまうことになる。この状態では蓋
２を正規に閉じることができなくなってしまう。
（２）突出部材１１は前記と同様にウェハキャリヤ６が
正規の方向に収納される場合には、Ｈ面の隅９−２の切
り取られた部分に位置するものである。ところが、ウェ
ハキャリヤ６が上記のように正規の方向から１８０度回
転した方向に収納された場合には、この突出部材１１が
ウェハキャリヤの前面（Ｕ面）板７の角ぼった隅９−１
に当接してウェハキャリヤ６は浮き上がってしまうこと
になる。
正規の方向に収納される場合には、Ｈ面の隅９−２の切
り取られた部分に位置するものである。ところが、ウェ
ハキャリヤ６が上記のように正規の方向から１８０度回
転した方向に収納された場合には、この突出部材１１が
ウェハキャリヤの前面（Ｕ面）板７の角ぼった隅９−１
に当接してウェハキャリヤ６は浮き上がってしまうこと
になる。
（３）突出部材１２はウェハ搬送ボックスの内面の側方
に設けられ、ウェハキャリヤ６が正規の方向から９０度
回転した方向に収納されるとウェハキャリヤ６の前面（
Ｕ面）板７のスカートの裾が当接してウェハキャリヤ６
は浮き上がることになる。
に設けられ、ウェハキャリヤ６が正規の方向から９０度
回転した方向に収納されるとウェハキャリヤ６の前面（
Ｕ面）板７のスカートの裾が当接してウェハキャリヤ６
は浮き上がることになる。
このように、ウェハ搬送ボックスの内面に上記した各種
の突出部材が設けられるため、おのずとウェハキャリヤ
の収納方向が規制されることになる。
の突出部材が設けられるため、おのずとウェハキャリヤ
の収納方向が規制されることになる。
また、このような突出部材１Ｏ１１１，１２はウエノ）
搬送ボックスの内面、つまり底面或いは側面に取付取外
し自在に設けることができる。即ち、第３図（ａ）乃至
（ｄ）に示されるようにウェハ搬送ボックスの底面１−
１或いは側面１−２には突出部材の係止部１−３．１−
４．１−５、ｌ−６を設けておき、該係止部に突出部材
に設けた弾力性を有する係止突起を圧入することにより
取付けることができる。取外す場合には力を加えて突出
部材を引き抜くようにする。
搬送ボックスの内面、つまり底面或いは側面に取付取外
し自在に設けることができる。即ち、第３図（ａ）乃至
（ｄ）に示されるようにウェハ搬送ボックスの底面１−
１或いは側面１−２には突出部材の係止部１−３．１−
４．１−５、ｌ−６を設けておき、該係止部に突出部材
に設けた弾力性を有する係止突起を圧入することにより
取付けることができる。取外す場合には力を加えて突出
部材を引き抜くようにする。
このように突出部材は着脱自在な取付装置を有するため
にいろいろな形状のウェハキャリヤに対応せしめること
ができるし、突出部材の数は前述した第１図（ｄ）の配
置に限定されることはなく適宜増減させるようにするこ
とができる。
にいろいろな形状のウェハキャリヤに対応せしめること
ができるし、突出部材の数は前述した第１図（ｄ）の配
置に限定されることはなく適宜増減させるようにするこ
とができる。
また、実際のウェハキャリヤ６の前面（Ｕ面）板７のス
カートの長さは定まってはいない。つまり、第２図（ｂ
）に示された距離１１はまちまちであるが第２図（ｃ）
に示されるＨ面の距離１２よりは少なくとも３０ｍｍは
短くなるので、その点を考慮して突出部材の高さを決定
するとよい。
カートの長さは定まってはいない。つまり、第２図（ｂ
）に示された距離１１はまちまちであるが第２図（ｃ）
に示されるＨ面の距離１２よりは少なくとも３０ｍｍは
短くなるので、その点を考慮して突出部材の高さを決定
するとよい。
この場合、突出部材の高さも数種類具なったものを用意
しておくと、ウェハキャリヤ６の前面板７のスカートの
長さに応じて、それらの突出部材の内から適宜選択して
その突出部材をウェハボックス本体ｌの内面に取付ける
ようにすることができる。
しておくと、ウェハキャリヤ６の前面板７のスカートの
長さに応じて、それらの突出部材の内から適宜選択して
その突出部材をウェハボックス本体ｌの内面に取付ける
ようにすることができる。
（発明の効果）
本発明によれば、ウェハキャリヤを搬送ボックス本体に
収納する際にウェハキャリヤの非対称部分に対応してウ
ェハキャリヤの収納方向を規制す突出部材をウェハ搬送
ボックスの内面に設けるようにしたので、ウェハキャリ
ヤを誤った方向に収納するミスを防止することができ、
ウェハキャリヤを次の自動化された製造工程に移行する
場合にはその処理を円滑に遂行することができる。また
、そのための構成も極めて簡単であり、しかもウェハキ
ャリヤの形状に対応して突出部材も適宜セットすること
ができるといった利点があり、その効果は大なるものが
ある。
収納する際にウェハキャリヤの非対称部分に対応してウ
ェハキャリヤの収納方向を規制す突出部材をウェハ搬送
ボックスの内面に設けるようにしたので、ウェハキャリ
ヤを誤った方向に収納するミスを防止することができ、
ウェハキャリヤを次の自動化された製造工程に移行する
場合にはその処理を円滑に遂行することができる。また
、そのための構成も極めて簡単であり、しかもウェハキ
ャリヤの形状に対応して突出部材も適宜セットすること
ができるといった利点があり、その効果は大なるものが
ある。
第１図は本発明に係るウェハ搬送ボックスの説明図、第
２図はウェハキャリヤの説明図、第３図は突出部材の取
付装置の説明図、第４図は従来のウェハ搬送ボックスの
説明図である。 ■・・・ウェハ搬送ボックス本体、２・・・蓋、６・・
・ウェハキャリヤ、１０．１１．１２・・・突出部材。
２図はウェハキャリヤの説明図、第３図は突出部材の取
付装置の説明図、第４図は従来のウェハ搬送ボックスの
説明図である。 ■・・・ウェハ搬送ボックス本体、２・・・蓋、６・・
・ウェハキャリヤ、１０．１１．１２・・・突出部材。
Claims (4)
- （１）ウェハが装填されたウェハキャリヤを収納するウ
ェハ搬送ボックスにおいて、前記ウェハキャリヤをウェ
ハ搬送ボックス本体に収納する際に前記ウェハキャリヤ
の非対称部分に対応してウェハキャリヤの収納方向を規
制する突出部材をウェハ搬送ボックス本体の内面に設け
るようにしたことを特徴とするウェハ搬送ボックス。 - （２）前記突出部材は前記ウェハキャリヤが正規な収納
方向から１８０度回転した向きに収納されることを規制
するものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のウェハ搬送ボックス。 - （３）前記突出部材は前記ウェハキャリヤが正規な収納
方向から９０度回転した向きに収納されることを規制す
るものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のウェハ搬送ボックス。 - （４）前記突出部材は前記搬送ボックス本体の内面に着
脱自在に設けられるようにしたことを特徴とする特許請
求の範囲第１項、第２項又は第３項記載のウェハ搬送ボ
ックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP914185A JPS61170042A (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | ウエハ搬送ボツクス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP914185A JPS61170042A (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | ウエハ搬送ボツクス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61170042A true JPS61170042A (ja) | 1986-07-31 |
Family
ID=11712347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP914185A Pending JPS61170042A (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | ウエハ搬送ボツクス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61170042A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994025980A1 (en) * | 1993-04-27 | 1994-11-10 | Kyushu Komatsu Electronics Co., Ltd. | Container for packing semiconductor wafer |
-
1985
- 1985-01-23 JP JP914185A patent/JPS61170042A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994025980A1 (en) * | 1993-04-27 | 1994-11-10 | Kyushu Komatsu Electronics Co., Ltd. | Container for packing semiconductor wafer |
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