NL1009466C2 - Transportmoduul voor wafels. - Google Patents

Description

Korte aanduiding: Transportmoduul voor wafels.

De uitvinding heeft betrekking op dragers voor halfgeleider wafels en meer in het bijzonder heeft hij betrekking op een 5 te sluiten houder voor het opslaan en transporteren van wafels.

Omsluitingen, die af te dichten zijn, algemeen aangeduid als transportmodules, zijn gedurende een aantal jaren in de halfgeleider bewerkingsindustrie gebruikt voor het opslaan en transporteren van wafels tussen bewerkingsstappen en/of tussen inrichtingen. 10 Halfgeleider wafels zijn zoals algemeen bekend kwetsbaar voor beschadiging door verontreinigingen, zoals deeltjes. Buitengewone maatregelen worden genomen om in schone ruimtes en andere omgevingen waar halfgeleider wafels worden opgeslagen of bewerkt in circuits verontreinigingen te elimineren.

15 Voor wafels in het gebied van 200 mm en kleiner zijn als SMIF omhulsels (gestandaardiseerd mechanisme tussenvlak) bekende houders gebruikt voor het verschaffen van een schone afgedichte mini-omgeving. Voorbeelden van deze omhulsels zijn weergegeven in U.S. octrooi nr. 4.532.970 en 4.534.389. Dergelijke SMIF omhulsels bestaan 20 gebruikelijk uit een transparante doosvormige mantel met een onderste deurframe of flens, welke een open onderzijde begrenst, en uit een vergrendel bare deur. Het deurframe klemt op de bewerkingsuitrusting en een deur op de bewerkingsuitrusting en de aan de onderzijde van het SMIF gelegen deur, die de open bodem afsluit, worden gelijktijdig naar 25 beneden omlaag bewogen vanaf de mantel in een afgedichte bewerkingsom-geving in de bewerkingsuitrusting. Een afzonderlijk H-staafdrager die is opgesteld op het bovenvlak binnen de deur van het SMIF omhulsel en die beladen is met de wafels, wordt met de deur van het omhulsel omlaag bewogen voor het verkrijgen van toegang tot de wafels voor het 30 bewerken daarvan. In dergelijke omhulsels zal het gewicht van de wafels rechtstreeks inwerken op de deur tijdens opslag en transport.

De industrie voor het verwerken van halfgeleiders beweegt naar het gebruiken van grotere en zwaardere wafels, in het bijzonder wafels van 300 mm. Transportmodules voor dergelijke wafels zullen, bij 35 het ontwikkelen van industriestandaards, gebruik maken van een aan de voorzijde gelegen deur voor het insteken en verwijderen van de wafels

1 OOP dRR

2 in tegenstelling met een deur aan de onderzijde welke vanaf de moduul naar beneden valt. De deur zal de belasting van de wafels niet ondersteunen maar veeleer zal een houdergedeelte, dat een mantel uit helder kunststof (zoals polycarbonaat) omvat en andere organen voor het 5 ondersteunen van de wafels, die zijn gevormd uit een kunststof, dat weinig losse deeltjes zal voortbrengen (zoals polyetheretherketon) de belasting van de wafels dragen. Dergelijke houdergedeelten worden noodzakelijkerwijs uit meerdere samen te bouwen onderdelen vervaardigd.

10 Bij het hanteren en verwerken van halfgeleider wafels is statische elektriciteit een doorlopend probleem. Elektrostatische ontladingen kunnen halfgeleider wafels beschadigen of ruïneren. Daarom moeten maatregelen worden genomen om iedere dergelijke opwekking van potentialen, die statische elektrische ontladingen kunnen veroorzaken, 15 minimaal te maken. H-staafdragers zijn vervaardigd met gebruikelijke statisch verspreidende materialen, zoals met koolstof gevuld polyetheretherketon (PEEK) en polycarbonaat (PC).

De zich ontwikkelende industriestandaards voor dergelijke 300 mm modules vereisen een machine-tussenvlak, zoals een kinematische 20 koppeling, aan de onderzijde van de moduul voor het herhaaldelijk en met nauwkeurigheid uitlijnen van de moduul ten opzichte van de verwer-kingsuitrusting. Dit maakt het mogelijk, dat door robots gevormde behandelingsmiddelen de deur aan de voorzijde van de moduul beetpakken, de deur openen en met de noodzakelijke mate van nauwkeurigheid 25 bepaalde horizontaal opgestelde wafels grijpen en verwijderen.

Het is bijzonder kritisch de wafels opgesteld te hebben op een bepaalde hoogte en met een bepaalde oriëntatie ten opzichte van het tussenvlak van de uitrustingmachine zodanig dat de wafels niet verkeerd zullen worden geplaatst en/of beschadigd tijdens het terug-30 trekken en insteken van de wafels met behulp van een robot of dergelijke.

Tengevolge van de inconsistenties in het gieten leiden samenstellen van kunststof delen tot inconsistenties, zoals open spleten tussen delen en leidt opeenhopen van de toleranties van de 35 afzonderlijke delen tot ongewenste variaties in kritische afmetingen.

1009466 3

Bekende 300 mm transportmodules, die aan de voorzijde open zijn, maken gebruik van meerdere samenstellende delen waaronder meerdere onderdelen tussen het tussenvlak van de uitrusting en de wafel steunen. Dit kan leiden tot moeilijkheden in het vervaardigen van 5 modules met acceptabele toleranties tussen de wafelvlakken en het tussenvlak van de uitrusting. Aanvullend hebben dergelijke modules een baan naar aarde vanaf de uitstekende randen voor ondersteunen van de wafels naar het tussenvlak van de uitrusting via meerdere verschillende onderdelen waaronder metalen schroeven.

10 Wafels van 300 mm zijn aanzienlijk groter in afmeting en gewicht dan de 200 mm wafels. Een constructief sterkere moduul voor het transporteren van wafelladingen wordt dan ook vereist. Gebruikelijk werd de moduul met het 200 mm SMIF omhulsel eenvoudig met de hand gedragen door de onderranden te grijpen bij de aansluiting van de 15 manteldeurflens en de deur. Handgrepen zijn aangebracht op de bovenzijde van het mantelgedeelte voor aan de onderzijde openende omhulsels. Om de grotere, zwaardere en omvangrijkere modules voor wafels van 300 mm te dragen zijn aan de zijkanten aangebrachte handgrepen geschikt. Voor bepaalde toepassingen kan de beweging van een moduul 20 voor wafels van 300 mm uitsluitend plaatsvinden door middel van robotorganen waarbij geen handgrepen of andere middelen worden vereist voor het met de hand transporteren van de houder. Een hefhandgreep voor een robotorgaan zal dan zijn aangebracht en eventueel handgrepen voor het met de hand optillen zullen gemakkelijk verwijderbaar zijn.

25 Tengevolge van de grote gevoeligheid van wafels voor verontreiniging door deeltjes, vocht of andere verontreinigingen is het verder ideaal een minimaal aantal potentiële intredebanen naar het inwendige van de moduul te hebben.

Banen of breuken in de kunststof tussen het inwendige en 30 uitwendige van het omhulsel, zoals bij bevestigingsorganen of bij de aansluiting van afzonderlijke samenstellende delen van de moduul moeten worden vermeden. Iedere dergelijke vereiste baan moet geschikt afgedicht zijn.

Aanvullend is het gebruik van metalen bevestigingsorganen 35 of andere metalen delen op enige plaats in het omhulsel bijzonder ongewenst bij dragers of houders voor halfgeleider wafels. Metalen 1 009 466 4 delen kunnen bijzonder schadelijke deeltjes voortbrengen indien er langs wordt gewreven of geschraapt. Samenbouw van een moduul met bevestigingsorganen veroorzaakt dergelijk wrijven en schrapen. Het gebruik van transportmodules, waarbij metalen bevestigingsorganen of 5 andere metalen delen noodzakelijk zijn moet dus worden vermeden.

Volgens de uitvinding heeft een transportmoduul voor wafels met een opening aan de voorzijde een houdergedeelte met transparante mantel en een centrale steunconstructie welke is voorzien van een bij de onderzijde van de moduul opgesteld machine-tussenvlak en integrale 10 steunkolommen voor de wafels, die zich in het houdergedeelte omhoog uitstrekken voor het ondersteunen van de wafels. Aanvullend hebben de zijwanden van de mantel uitgespaarde gedeelten met aangrijpings- organen, die samenwerken met aangrijpingsorganen op verwijderbare handgrepen. De handgrepen zijn voorzien van pallen voor vergrendeling 15 in uitsparingen op de zijwanden van de drager. Bevestiging van de handgrepen aan de zijwanden wordt bewerkstelligd zonder onderbrekingen tussen het inwendige en uitwendige van de moduul.

Een kenmerk en voordeel van de uitvinding is dat er geen opeenhoping van toleranties is onder onderdelen ten opzichte van het 20 niveau van het machine-tussenvlak en de niveaus van de wafels op de uitstekende randen voor het ondersteunen van de wafels.

Waar meerdere onderdelen het niveau van het machine- tussenvlak en de wafelniveaus bepalen heeft ieder deel een afzonder lijke vervaardigingstolerantie en indien dergelijke onderdelen in de 25 moduul worden samengebouwd zijn de toleranties cumulatief. Dit ver taalt zich in een hogere uitworp van afzonderlijke delen en/of een hoger uitworpniveau van samengebouwde moduuls. De onderhavige uitvinding maakt gebruik van een enkel integraal onderdeel voor het machine-tussenvlak en de wafel steunorganen.

30 Een ander voordeel en kenmerk van de uitvinding is dat een niet-onderbroken baan naar de aarde zich vanaf iedere uitstekende rand voor het ondersteunen van een wafel uitstrekt naar het machine-tussen-vl ak.

Een ander oogmerk en voordeel van de uitvinding is dat de 35 centrale steunconstructie, welke de wafels vasthoudt, in de mantel wordt ingebouwd via een nabij de onderzijde gelegen opening en op zijn 1 009 466 5 plaats wordt bevestigd door draaiing van de centrale steunconstructie ten opzichte van de mantel. Er worden geen metalen bevestigingsorganen gebruikt.

Aanvullend grijpt de centrale steunconstructie aan bij de 5 bovenzijde van de mantel en wordt daar vergrendeld door middel van een bovenste gedeelte met een kraag, welke zich uitstrekt in een opening in het bovenste deel van de mantel terwijl een met een robot te bedienen hefflens, schuivend aangrijpt op het bovenste gedeelte van de centrale steunconstructie en daarbij ook de steunconstructie niet-10 verdraaibaar aan de mantel vergrendelt. Er zijn weer geen metalen bevestigingsorganen of onderdelen gebruikt.

Een ander oogmerk en voordeel van de uitvinding is dat de onderbrekingen of openingen in de module tussen het inwendige en uitwendige zijn afgedicht zoals door elastomeren afdichtingen. De 15 onderbrekingen of openingen anders dan bij de voordeur zijn cirkel vormig in vorm en worden afgedicht met bijvoorbeeld 0-ringen.

Een ander oogmerk en voordeel van de uitvinding is dat handgrepen gemakkelijk kunnen worden aangebracht op en verwijderd van de moduul zonder het gebruik maken van metalen bevestigingsorganen of 20 andere afzonderlijke bevestigingsorganen en zonder onderbrekingen of openingen in de massieve zijwanden.

Een ander oogmerk en voordeel van de uitvinding is dat de samenstellende delen gemakkelijk kunnen worden gedemonteerd voor reinigen en/of vervangen met het oog op onderhoud of dergelijke.

25 De uitvinding zal hieronder nader worden uiteengezet aan de hand van bijgaande tekeningen.

Figuur 1 toont een perspectivisch aanzicht van een trans-portmoduul volgens de uitvinding.

Figuur 2 toont een perspectivisch aanzicht van het houder-30 gedeelte van een de uitvinding belichamende transportmoduul.

Figuur 3 toont een perspectivisch aanzicht van de inwendige afdekking van de deur voor de de uitvinding belichamende transportmoduul .

Figuur 4 toont een geëxplodeerd aanzicht dat de verschil-35 lende samenstellende delen van een transportmoduul toont.

1009466 6

Figuur 5 toont een perspectivisch aanzicht van een houder-gedeelte van de transportmoduul.

Figuur 6 toont een perspectivisch aanzicht van een gel ei -dingsconstructie.

5 Figuur 7 toont een onderaanzicht van de mantel van het houdergedeelte.

Figuur 8 toont een bovenaanzicht van de centrale steuncon- structie.

Figuur 9 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 9-9 in 10 figuur 8.

Figuur 10 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 10-10 in figuur 7.

Figuur 11 toont een vooraanzicht van het bovenste gedeelte van de centrale steunconstructie.

15 Figuur 12 toont een vooraanzicht van een tweede verbin- dingsorgaan voorzien van een door een robot te bedienen flens.

Figuur 13 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 13-13 in figuur 8.

Figuur 14 toont een vooraanzicht van een handgreep.

20 Figuur 15 toont een zijaanzicht van de handgreep.

Figuur 16 toont een zijaanzicht van een gedeelte van de mantel onder het weergeven van een uitsparing voor de handgreep.

Figuur 17 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 17-17 in figuur 16.

25 Figuur 18 toont een aanzicht van een alternatieve uitvoe ringsvorm van de uitvinding gericht op de handgreep en uitsparing voor het opnemen van de handgreep.

Figuur 19 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 19-19 in figuur 18.

30 Figuur 20 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 20-20 in figuur 18.

Figuur 21 toont een zijaanzicht van een gedeelte van de moduul onder het weergegeven van een alternatieve uitvoeringsvorm van een handgreep.

35 Figuur 22 toont een zijaanzicht van de handgreep.

1 009 466 7

Figuur 23 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 23-23 in figuur 21.

Figuur 24 toont een dwarsdoorsnede volgens lijn 24-24 in figuur 21.

5 Zoals weergegeven in figuren 1, 2 en 3 omvat een samenge stelde transportmoduul 20 voor wafels een houdergedeelte 22 en een deur 24. Het houdergedeelte omvat een flens 26 voor het optillen van de houder met behulp van een robot of dergelijke evenals handgrepen 28 voor het met de hand optillen van het houdergedeelte.

10 De deur 24 heeft met de hand te bedienen openingshandgrepen 30 en een slot 32 welke zodanig is uitgevoerd, dat deze met behulp van een robotorgaan kan worden geopend.

Figuur 2 toont het houdergedeelte en zijn open inwendige ruimte 36 met een aantal wafels 38, die in de inwendige ruimte 36 zijn 15 ondersteund en in deze ruimte axiaal zijn opgesteld. Figuur 3 toont het binnenvlak 40 van de deur. De deur is voorzien van een paar tegenhoudorganen 42 voor wafels, die aangrijpen op de wafels en deze vasthouden indien de deur op zijn plaats is. Deze tegenhoud- of vasthoudorganen voor de wafels zijn uitgevoerd als flexibele tanden 20 44, die zijn vervaardigd uit gegoten veerkrachtige kunststof. De deur 24 past binnen een deurflens 46 op het houdergedeelte 22 en is voorzien van grendels 48, welke kunnen worden uitgestoken en teruggetrokken ten opzichte van de deuromsluiting 50 om in resp. uit ingrijping te worden gebracht met uitsparingen 54 in de deurflens. De deur heeft 25 een paar in dit aanzicht niet weergegeven inwendige grendelmechanismes die onafhankelijk van elkaar in werking kunnen worden gesteld met behulp van de met de hand bedienbare handgrepen 30 of sleutel sleuven 32. Figuur 3 toont ook een deel van bewerkingsuitrusting 55 met een moduul-tussenvlakgedeelte 56 waarop de transportmoduul 20 in ingrij-30 ping is gebracht.

Figuur 4 toont een geëxplodeerd perspectivisch aanzicht van een transportmoduul, waarbij details van de constructie en de verschillende samenstellende delen zijn afgebeeld. Het houdergedeelte 22 bestaat in hoofdzaak uit een mantel 58 en een centrale steunconstruc-35 tie 60.

1009466 8

De mantel 58 heeft een bovenzijde 64 met een opening 66, een onderzijde 68 met een onderste opening 70, een open voorzijde 72, een linker zijwand 74 en een rechter zijwand 76, die beide zijn voorzien van naar binnen uitstekende uitsparingen 78, die bestemd zijn 5 als opneemgedeelten voor handgrepen.

De uitsparingen steken uit in het inwendige maar bezitten geen scheuren, onderbrekingen, openingen of gaten tussen het inwendige 74 en het uitwendige van de houder. De zijwanden zijn doorlopend en massief. De handgreep opnemende gedeelten omvatten een uitgespaard 10 vlak gedeelte 80, dat een deel is van de zijwanden.

De centrale steunconstructie 60 omvat een bodemgedeelte met een uitrusting-tussenvlak 86, dat gevormd is als een plaat met drie tussenvlakstructuren 88, welke een kinematische koppeling vormen. Integraal met het machine-tussenvlakgedeelte 86 zijn een paar steun-15 kolommen 92 voor de wafels, die ieder een aantal uitstekende randen 94 bezitten en samen een wafel opnemend gebied 95 begrenzen. Iedere uitstekende rand 94 heeft wafel grijpende delen 96. De steunkolommen 92 voor de wafels zijn integraal met een bovenste gedeelte 100, dat een overspanningsorgaan 101 omvat, dat zich uitstrekt tussen de 20 boveneinden 98 van de steunkolommen 92 en verder is voorzien van een eerste verbindingsorgaan 104.

De centrale steunconstructie 60 is voor samenbouw opwaarts in te steken in de onderste opening 70 van de mantel 58 waarbij het eerste verbindingsorgaan zich omhoog uitstrekt door de opening 66 aan 25 de bovenzijde 64 van de mantel 58. Het tweede verbindingsorgaan 106 kan dan schuivend in ingrijping worden gebracht op het eerste verbindingsorgaan 104 om de centrale steunconstructie in de mantel vast te houden. Dit tweede verbindingsorgaan 106 vormt een geheel met een met behulp van een robot te hanteren hefhandgreep 108, die is uitgevoerd 30 als een flens. De mantel omvat ook eerste ingrijpingsorganen 112 als deel van een ingrijpingsgedeelte 113 van de steunconstructie, welke ingrijpingsorganen 112 in ingrijping kunnen worden gebracht met tweede ingrijpingsorganen 114 die deel uitmaken van een op de mantel aangrijpend gedeelte 115 op de centrale steunconstructie. Deze met elkaar 35 samenwerkende ingrijpingsorganen bevestigen de centrale steunconstructie eveneens aan de mantel indien deze binnen de mantel is gelegen.

1009466 9

Een eerste O-ring 118 komt te liggen tussen het bovenste gedeelte 100 van de centrale steunconstructie en de bovenzijde 64 van de mantel voor het tot stand brengen van een afdichting daar omheen. Op soortgelijke wijze vormt een tweede O-ring 120 een afdichting tussen het 5 gedeelte 86 van het machine-tussenvlak en de onderzijde 68 van de mantel.

Verwijzend naar figuur 5 waarin de transportmoduul 20 zonder de deur 24 is weergegeven zijn de open binnenzijde 36 en de verschillende inwendige structuren afgebeeld.

10 In deze uitvoeringsvorm is gebruik gemaakt van een gelei- dingsstructuur 122, die in ingrijping is met op de binnenvlakken 130 van de zijwanden 74, 76 aangebrachte uit een stuk daarmede bestaande rails 124, 126. Zoals in figuur 6 weergegeven omvat iedere geleidings-structuur 122 1 anggestrekte ingrijpingsorganen 136, die in de rails 15 124, 126 passen. Verder omvat de geleidingsstructuur 122 tanden 138, die sleuven 140 begrenzen, die in hoofdzaak evenwijdig zijn en samenhangen met ieder van de sleuven 142, die worden begrensd door de uitstekende randen 94 van de steunkolommen 92 voor de wafels. Gebruikelijk zijn de geleidingsorganen 122 bestemd om te worden gebruikt 20 indien de wafels met de hand worden ingestoken in tegenstelling tot het insteken met behulp van een robot. De geleidingsstructuren 122 kunnen ook zodanig zijn uitgevoerd, dat zij iedere wafel gedurende een meer of minder groot deel van zijn beweging ondersteunen tijdens insteken van de wafel in resp. uithalen van de wafel uit de transport-25 moduul.

Zoals het beste weergegeven in figuren 4, 5 en 8 omvat het onderste gedeelte van de centrale steunconstructie een machine-tussen-vlakplaat 86, welke een vlak bovenvlak 170 heeft en een borst 174, welke een overgang vormt naar een lager gelegen vlak oppervlak 176. 30 Dit lager gelegen vlakke oppervlak ligt tegenover het zich naar binnen uitstrekkende gedeelte 180 van de onderzijde 68 van de mantel 58. Zoals uit de figuren duidelijk zal zijn verloopt dit zich naar binnen uitstrekkende gedeelte 180 niet gelijkmatig als een koorde over de onderste algemeen cirkelvormige opening 70, maar veeleer maakt een 35 verder inspringend gedeelte 184 het mogelijk, dat de centrale steunconstructie 60 op zijn plaats wordt gebracht terwijl het een weinig 1009466 10 uit de geheel in lijn liggende stand is gedraaid om te voorzien in het insteken van de tweede ingrijpingsorganen in een stand tussen het eerste ingrijpingsorgaan 112 op de uitstekende rand. De centrale steunconstructie 60 kan dan enigszins worden gedraaid naar de in 5 figuur 5 weergegeven samengebouwde stand.

In figuren 4, 8, 11 en 12 zijn details weergegeven van elementen en onderdelen, die deel uitmaken van de verbinding tussen het bovenste gedeelte 100 van de centrale steunconstructie 60 en de mantel 58. Het bovenste gedeelte 100 heeft een paar eerste verbin-10 dingsorganen 104 welke, zoals in het bijzonder weergegeven in figuur 11 een algemeen T-vormige dwarsdoorsnede hebben. De eerste verbin-dingsorganen 104 grijpen aan op en passen in eveneens een T-vormige dwarsdoorsnede bezittende sleuven 186 in het tweede verbindingsorgaan 106, dat deel uitmaakt van de met een robot te bedienen hefflens 108. 15 Nadat de centrale steunconstructie 60 op zijn plaats is ingestoken in de mantel 58 en in de juiste uitlijnstand is gedraaid zal de kraag of nek 188 van het bovenste gedeelte 100 zich uitstrekken door de opening 66 en tegenover de de opening begrenzende binnenrand 190 zijn gelegen. De kleinere O-ring 118 past in de desbetreffende groef 194 voor de 0-20 ring op de nek 188 en brengt bij de binnenrand 190 een afdichting met de mantel tot stand. De stippellijn van figuur 11 toont de verhouding van de bovenzijde 64 van de mantel 58 indien hij tegenover de nek 188 van het bovenste gedeelte van de centrale steunconstructie 60 is gelegen. Indien het tweede verbindingsorgaan 106 dus in ingrijping is 25 met de eerste verbindingsorganen 104 is het boveneinde 64 van de mantel 58 opgesloten tussen het eerste ingrijpingsorgaan 106 en het bovenste gedeelte 100 van de centrale steunconstructie. Het tweede verbindingsorgaan 106 kan op zijn plaats op de eerste verbindingsorganen 104 worden vergrendeld door middel van een geschikt opgestelde 30 pal of knop 202 op het bovenvlak 203 van het boveneinde van de mantel 58, zoals weergegeven in figuur 4.

Alternatief of aanvullend kunnen schroeven 206 worden gebruikt, welke zich zullen uitstrekken door de opneemflens 108, door het tweede verbindingsorgaan 106 en in de van schroefdraad voorziene 35 gaten 208 in de eerste verbindingsorganen 106. De schroeven zijn 1009466 11 geschikt vervaardigd uit nylon in plaats van uit een metalen materiaal .

Het uitrusting-tussenvlak 86 omvat, zoals het beste weergegeven in figuren 4, 5 en 8, een kinematische koppeling 90, die 5 gevormd is met behulp van het uitrusting grijpende gedeelte 88. Zoals nader weergegeven in figuur 13 waarin een dwarsdoorsnede door een dergelijke structuur is weergegeven, omvat het onderste oppervlak 220 een paar onder een hoek verlopende vlakken 222, 224, die een groef 225 begrenzen welke zal aangrijpen op niet-weergegeven gedeeltelijk 10 bolvormige oppervlakken op de uitrusting. Alternatief kan het tussen-vlakgedeelte van de centrale steunconstructie 60 genoemde drie gedeeltelijk bolvormige delen omvatten terwijl de samenwerkende uitrusting de door de onder een hoek verlopende vlakken gevormde groeven bezit.

Alternatief kan het uitrusting-tussenvlak 86 andere 15 vormgevingen en kenmerken bezitten voor samenvoeging met de bijbehorende uitrusting.

In figuren 2, 14, 15, 16 en 17 zijn verdere details van de constructie en samenbouw van de verwijderbare handgrepen 28 voor het met de hand optillen afgebeeld. De handgreep omvat een grijpgedeelte 20 240 en een op de mantel aangrijpend gedeelte 242. Het op de mantel aangrijpende gedeelte is voorzien van veerkrachtige delen 244 met pallen 246 en aanslagen 248. De pallen 246 hebben een wiggedeelte 250, welke aanbrengen van de handgrepen in de uitsparingen 78 en draaiing onder de tweede ingrijpingsstructuren 254 op de mantel 58 vergemakke-25 lijken. Deze tweede ingrijpingsstructuren 254 zijn voorzien van een paar zich naar binnen uitstrekkende delen 255, die zijn uitgevoerd als geleidingsstrippen, die overeenkomen met het uitstekende gedeelte 258 op het ingrijpingsgedeelte 242 van de handgreep indien de handgreep in de uitsparing 78 in een vergrendelde stand is. In een dergelijke 30 vergrendelde stand zijn de pallen 246 en de aanslagen 248 bij tegenoverliggende einden van de geleidingsstrippen 255. De uitsparing 78 wordt begrensd door middel van een vlak gedeelte 262, dat integraal is met een omtrekswand van de uitsparing, die gevormd is als een ringvormig gedeelte 264, dat integraal is met de mantel. De geleidingsorganen 35 255 zijn integraal met en strekken zich uit vanaf het ringgedeelte 264.

1 009 46R

12

Deze vormgeving maakt gemakkelijke installatie mogelijk door eenvoudig de handgrepen 28 in de uitsparingen 78 (figuur 16) te plaatsen met de zich naar buiten uitstrekkende gedeelten opgesteld tussen de geleidingsorganen 255 om dan de handgrepen met de eerste 5 ingrijpingsstructuren in de richting van de wijzers van de klok te draaien waardoor de pallen 246 omvattende uitstekende gedeelten 258 onder de geleidingsorganen 255 draaien totdat de pallen 246 bij hun zittinggedeelten 269 op hun plaats snappen op welk tijdstip de aanslagen 248 in hun desbetreffende zittinggedeelten 270 zijn.

10 Van belang is dat deze speciale vormgeving makkelijk aanbrengen en verwijderen van de handgreep mogelijk maakt, zoals voor reinigen of opslag. Bij toepassing van een robot wordt het gebruik van de handgrepen niet vereist.

Verder wordt de integriteit van de scheiding tussen het 15 inwendige van de transportmoduul en het uitwendige niet nadelig beïnvloed. Met andere woorden zijn er geen onderbrekingen, openingen of bevestigingsorganen door de zijwand voor het bewerkstelligen van de verbinding van een handgreep aan de mantel.

Verwijzend naar figuur 18 omvat ingrijpingsstuctuur 275 een 20 alternatieve uitvoeringsvorm van de verwijderbare handgreep 28. Deze uitvoeringsvorm maakt weer gebruik van een zich in de zijwand 74 naar binnen uitstrekkende uitsparing 78 met een vlak gedeelte 262 bij de bodem van de uitsparing. Een uitsparingswand of randgedeelte 274 strekt zich rondom uit en begrenst de uitsparing en is integraal met 25 het vlakke gedeelte 262 en de zijwand 74. Eerste ingrijpingsorgaan 276, omvat een viertal zich vanaf de uitsparingswand 274 naar binnen uitstrekkende oren. De handgreep 28 voor het met de hand optillen is voorzien van een grijpgedeelte 240 en een ingrijpingsgedeelte 254, dat een vlak gedeelte 277 met veerkrachtig flexibele gedeelten met pallen 30 284 omvat. De handgreep 28 wordt zodanig in de uitsparing 78 ingesto ken, dat de veerkrachtige gedeelten 280 tussen de oren 276 worden geplaatst en de handgreep wordt dan zodanig naar links geschoven, dat de pallen zich uitstrekken onder de oren en verschuiven totdat zij hun in figuur 18 weergegeven grendel stand bereiken. Deze vormgeving 35 doorbreekt weer de het inwendige van het transportmoduul van de omgeving scheidende zijwand niet. Andere vormgevingen zijn ook denk- 1009466 13 baar voor gebruik van de handgreep met daarmee samenwerkende van pallen voorziene ingrijpingsorganen. Het gebruik van de pallen verschaft een hoog niveau van flexibiliteit in het plaatsen en verwijderen van de handgrepen en maakt uitwisseling mogelijk van handgrepen 5 van verschillende afmetingen voor bijvoorbeeld verschillende bedieners.

Het mantel gedeelte is bij voorkeur uit een geschikt spuitgietmateriaal, bijvoorbeeld polycarbonaat of polyetherimide of dergelijke. De centrale steunconstructie is ook ideaal integraal door 10 spuitgieten vervaardigd en kan zijn gevormd uit met kool stofvezels gevuld PEEK of soortgelijke materialen die ideaal voorzien in een statisch spreidende eigenschap. De handgrepen kunnen door spuitgieten worden vervaardigd uit polycarbonaat of polyetherimide. Het tweede bovenste verbindingsorgaan dat de met een robot te grijpen hefhand-15 greep omvat kan ook zijn gevormd uit met koolstofvezels gevuld PEEK of andere spuitgietmaterialen, die statische elektriciteit verspreiden.

Het mechanisme, dat wordt gebruikt voor het vergrendelen van de deuren kan op verschillende manieren zijn uitgevoerd en bijvoorbeeld zijn vervaardigd zoals weergegeven in het Amerikaanse 20 octrooi 4.995.430, maar ook andere soortgelijke mechanismes zijn toepasbaar.

In figuren 19 en 20 zijn nog dwarsdoorsnede-aanzichten weergegeven over delen van de in figuur 18 weergegeven mantel en handgreeporgaan. Zoals uit deze figuren blijkt omvat de pal 284 een 25 wigvormig gedeelten 250 om insteken onder het ingrijpingsorgaan 276 te vergemakkelijken.

In figuren 21, 22, 23 en 24 zijn verschillende aanzichten weergegeven van een verdere uitvoeringsvorm van het handgreeporgaan en de samenwerkende ingrijpingsstructuur van de mantel. In deze uitvoe-30 ringsvorm strekken de palorganen 300 zich loodrecht uit vanaf het inspringende vlakke gedeelte 304 en dus loodrecht vanaf de zijwand van de mantel. De palorganen zijn voorzien van een paar onder een hoek verlopende of wigvormige gedeelten 308, die bemeten zijn om te passen in een samenwerkend tweede ingrijpingsorgaan 312 dat voorzien is van 35 een cirkel vormige opening 314.

1009466 14

De huidige uitvinding kan binnen de geest en beschermings-omvang van de uitvinding in andere specifieke vormen worden belichaamd en het is dan ook beoogd, dat de hierboven beschreven uitvoeringsvormen in het bijzonder worden beschouwd als illustratief en niet-5 beperkend.

1009466

Claims (33)

1. Transportmoduul voor wafels met een bovenzijde, een onderzijde, een open inwendige ruimte en ene open voorzijde voor 5 insteken en verwijderen van wafels waarbij de moduul is voorzien van: a) een mantel met een linker zijwand, een rechter zijwand, een open voorzijde en een bodem met tenminste een onderste opening; b) een centrale steunconstructie die is voorzien van tenminste een kolom van wafels ondersteunende uitstekende randen om 10 wafels te ondersteunen in een axiaal uitgelijnde gestapelde verhouding en van een onderste uitrusting grijpend gedeelte dat integraal is met de kolommen en blootgegeven is door de onderste opening, waarbij de wafels ondersteunende randen ten opzichte van de mantel zijn vastgezet in het open inwendige van de mantel en een wafel opnemend gebied 15 bepalen; en c) een deur om de open voorzijde van de moduul te sluiten.

2. Transportmoduul volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de mantel een bovenzijde heeft met een opening, die bemeten is voor het opnemen van de centrale steunconstructie waarbij de centrale 20 steunconstructie via de opening in de transportmoduul wordt ingebouwd.

3. Transportmoduul volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de onderste opening is bemeten voor het opnemen van de centrale steunconstructie, welke via de onderste opening in de transportmoduul is aangebracht en de mantel is voorzien van een eerste ingrijpings- 25 orgaan terwijl de centrale steunconstructie een integraal uitrusting-tussenvlak met het uitrusting grijpende gedeelte heeft en het uitrusting grijpende gedeelte een integraal tweede ingrijpingsorgaan heeft, dat samenwerkt met het eerste ingri jpingsorgaan om de centrale steunconstructie in de mantel te bevestigen.

4. Transportmoduul volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de centrale steunconstructie een mantel grijpend gedeelte heeft en de mantel een samenwerkend de steunconstructie grijpend gedeelte heeft, waarbij deze delen met elkaar kunnen worden vergrendeld door draaiing ten opzichte van elkaar om daarbij de 35 centrale steunconstructie aan de mantel te bevestigen. 1009466

5. Transportmoduul volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de transportmoduul is voorzien van een met een robot of dergelijke te grijpen opneemflens, die zich vanaf de moduul omhoog uitstrekt en rechtstreeks in ingrijping is met de centrale steuncon- 5 structie.

6. Transportmoduul volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de centrale steunconstructie bij het boveneinde en nabij de onderste opening in de bodem met de mantel in ingrijping is.

7. Transportmoduul volgens een der voorgaande conclusies, met 10 het kenmerk, dat de transportmoduul is voorzien van een paar handgrepen, die door draaiing met de mantel in ingrijping resp. van de mantel loskoppel baar zijn en die zich vanaf de rechterzijde en de linkerzijde van de mantel uitstrekken.

8. Transportmoduul volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat 15 het paar handgrepen met de mantel in ingrijping is zonder gebruik maken van zich door de zijwand van de mantel uitstrekkende openingen.

9. Transportmoduul voor wafels voorzien van een open inwendige ruimte en een open voorzijde voor het insteken en verwijderen van wafels, waarbij de moduul is voorzien van: 20 a) een buitenste mantel met een bovenzijde met een gat, een onderzijde met een onderste opening met een omtrek en een open inwendige ruimte, b) een integrale centrale steunconstructie met een bovenste gedeelte en een onderste gedeelte met een machine-tussenvlak, waarbij 25 de centrale steunconstructie met de mantel in ingrijping is bij het gat en bij de onderste opening en de centrale steunconstructie een naar beneden gericht machine-tussenvlak heeft, en c) een deur om de open voorzijde te sluiten.

10. Transportmoduul volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat 30 het gat in hoofdzaak cirkel vormig is en de transportmoduul verder is voorzien van een eerste elastomere afdichting bij het gat voor afdichting tussen de mantel en het bovenste gedeelte van de centrale steunconstructie.

11. Transportmoduul volgens conclusie 9 of 10, met het kenmerk, 35 dat de onderste opening in hoofdzaak cirkelvormig is en de transportmoduul verder is voorzien van een tweede elastomere afdichting bij de 1009468 onderste opening voor afdichting tussen de mantel en het onderste gedeelte van de centrale steunconstructie.

12. Transportmoduul volgens een van de conclusies 9-11, met het kenmerk, dat de moduul is voorzien van een paar steunkolommen voor 5 wafels in het inwendige van de moduul waarbij de steunkolommen integraal zijn met de centrale steunconstructie.

13. Transportmoduul volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de moduul is voorzien van een eerste 0-ring met behulp waarvan mantel en het bovenste gedeelte ten opzichte van elkaar 10 zijn afgedicht.

14. Transportmoduul volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het onderste gedeelte van de centrale steunconstructie en de mantel door draaiing aan elkaar zijn bevestigd.

15. Transportmoduul voor wafels voorzien van een bovenzijde, 15 een onderzijde, een voorzijde met een deuropening, een linker zijwand, een rechter zijwand, een voor het sluiten van de deuropening bemeten deur en een paar handgrepen, waarbij de linker zijwand en de rechter zijwand ieder een eerste ingrijpingsstructuur daarop hebben en iedere handgreep een daarmee samenwerkende tweede ingrijpingsstructuur heeft 20 die door schuiven in ingrijping te brengen is met resp. los te koppelen van de eerste ingrijpingsstructuur, waarbij ieder van de handgrepen op een desbetreffende rechter of linker zijwand te plaatsen resp. te verwijderen is zonder gebruik maken van enige opening in de rechter en linker zijwanden.

16. Transportmoduul volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de eerste ingri jpingsstructuur en iedere desbetreffende daarmee samenwerkende tweede ingrijpingsstructuur is voorzien van een pal waardoor de eerste ingrijpingsstructuur en de tweede ingrijpingsstructuur schuifbaar in ingrijping met elkaar te brengen zijn en met elkaar 30 te vergrendelen zijn.

17. Transportmoduul volgens conclusie 15 of 16, met het kenmerk, dat tweede ingrijpingsstructuur schuifbaar in ingrijping te brengen is in een draairichting ten opzichte van de eerste ingrij-pingsstructuur.

18. Transportmoduul volgens een van de conclusies 15-17, met het kenmerk, dat de tweede ingrijpingsstructuur schuivend in een in 1009466 hoofdzaak lineaire richting in ingrijping te brengen is met de eerste ingrijpingsstructuur.

19. Transportmoduul volgens een van de conclusies 15-18, met het kenmerk, dat ieder van de eerste ingrijpingsstructuren is voorzien 5 van een zich naar binnen uitstrekkende uitsparing in ieder van de desbetreffende linker en rechter zijwanden.

20. Transportmoduul voor wafels voorzien van een bovenzijde, een onderzijde, een voorzijde met een toegang tot een open inwendige ruimte verschaffende deuropening, een mantel met een gesloten linker 10 zijwand en een gesloten rechter zijwand, een voor het sluiten van de deuropening bemeten deur en een paar handgrepen, waarbij de linker zijwand en de rechter zijwand ieder een eerste ingrijpingsstructuur daarop hebben en ieder handgreep een daarmee samenwerkende tweede ingrijpingsstructuur heeft voorzien van een pal, waarbij de tweede 15 ingrijpingsstructuur losmaakbaar in ingrijping te brengen is met een eerste ingrijpingsstructuur voor het bevestigen van een desbetreffende handgreep aan een desbetreffende rechter en linker zijwand zonder gebruik maken van afzonderlijke bevestigingsorganen.

21. Transportmoduul voorzien van: 20 a) ene mantel met een bovenzijde met een gat, een voorzijde met een voorste opening voor het opnemen en uittrekken van wafels en een open inwendige ruimte; b) een deur voor het sluiten van de open voorzijde; c) een centrale steunconstructie voorzien van een aantal 25 kolommen wafelsteunen die zijn opgesteld voor het ondersteunen van de wafels in de open inwendige ruimte en een integraal bovenste gedeelte, dat bij het gat met de mantel in ingrijping is; en d) een met een robot of dergelijke te grijpen opneemhand-greep, die bevestigd aan het bovenste gedeelte bij het gat en zich 30 boven de mantel uitstrekt.

22. Transportmoduul volgens conclusie 21, met het kenmerk, dat de mantel verder is voorzien van een onderste opening, terwijl de centrale steunconstructie verder is voorzien van een uitrusting grijpend gedeelte, dat bij de onderste opening aan de onderzijde is 35 blootgegeven. IOO3486

23. Transportmoduul volgens conclusie 21 of 22, met het kenmerk, dat de mantel aan de centrale steunconstructie is bevestigd bij de onderste opening.

24. Transportmoduul volgens een der conclusies 21-23, met het 5 kenmerk, dat het uitrusting grijpende gedeelte integraal is met de kolommen wafel steunen.

25. Samengestelde transportmoduul voorzien van een houder-gedeelte met een open inwendige ruimte en een open voorzijde voor het insteken en verwijderen van wafels, van een gesloten linker zijwand en 10 van een gesloten rechter zijwand waarbij het houdergedeelte verder is voorzien van een uitrusting-tussenvlak, dat integraal is met tenminste een wafelsteunkolom en het uitrusting-tussenvlak en de wafelsteunkolom afzonderlijk van de linker zijwand en de rechter zijwand zijn gevormd, en ten opzichte van de linker en rechter zijwanden vastgezet, terwijl 15 het uitrusting-tussenvlak uitwendig op de transportmoduul is bloot gegeven en de transportmoduul verder is voorzien van een deur voor het sluiten van de open voorzijde.

25. Samengestelde transportmoduul volgens conclusie 25, waarin het houdergedeelte is voorzien van een transparante mantel en een 20 bodem heeft met een onderste opening, terwijl het uitrusting-tussen vlak bij de onderste opening aan de mantel is bevestigd en daardoor is blootgegeven.

27. Samengestelde transportmoduul volgens conclusie 25 of 26, waarin het bovenste deel van de mantel is voorzien van een gat en de 25 transportmoduul verder een bovenste gedeelte omvat, dat zich in het gat uitstrekt en integraal is met de steunkolom voor wafels.

28. Samengestelde transportmoduul volgens een der conclusies 25-27, met het kenmerk, dat de transportmoduul is voorzien van een elastomere afdichting, die bij het gat is opgesloten tussen het 30 bovenste gedeelte en de mantel.

29. Samengestelde transportmoduul volgens een der conclusies 25-28, met het kenmerk, dat de transportmoduul is voorzien van een door een robot of dergelijke te grijpen hefflens in een samenhangende verhouding met het bovenste gedeelte waarbij de hefflens zich boven de 35 mantel uitstrekt. n > ) yoj - :

30. Samengestelde transportmoduul volgens een van de conclusies 25-29, met het kenmerk, dat de mantel een eerste ingrijpingsgedeelte bij de omtrek van de onderste opening heeft en de centrale steuncon-structie een daarmee samenwerkend tweede ingrijpingsgedeelte heeft, 5 waarbij het eerste ingrijpingsgedeelte door draaiing in ingrijping te brengen is met het tweede ingrijpingsgedeelte teneinde de centrale steunconstructie aan de mantel te bevestigen.

31. Transportmoduul volgens een der conclusies 25-30, met het kenmerk, dat de transportmoduul verder is voorzien van een cirkel- 10 vormige elastomere afdichting rondom de onderste opening voor het afdichten van de centrale steunconstructie ten opzichte van de mantel.

32. Transportmoduul volgens een der conclusies 25-31, met het kenmerk, dat de steunkolom voor wafels en het uitrusting-tussenvlak bij de onderste opening in de mantel is samengevoegd.

33. Samengestelde houder voor wafels voorzien van: a) een mantel met een bovenzijde, een onderzijde, een voorzijde met een voorste opening voor het opnemen en uittrekken van wafels en een open inwendige ruimte; b) een deur voor het sluiten van de open voorzijde; en 20 c) een centrale steunstructuur voorzien van een aantal kolommen wafel steunen, die zijn opgesteld voor het ondersteunen van de wafels in de inwendige ruimte en een integraal naar beneden gericht onderste uitrusting-tussenvlak voor aangrijping op uitwendige uitrusting waarbij de centrale steunstructuur integraal is gegoten uit 25 statisch verspreidend materiaal waardoor de wafel steunen een rechtstreekse geleidingsbaan naar het uitrusting-tussenvlak hebben. 1009468