DE19830640A1 - Waferträger - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Waferträger nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Verschließbare Waferträger werden in der Halbleiterindustrie zur Aufnahme und zum Transport von Wafern zwischen Verarbeitungsschrit­ ten und/oder zwischen Verarbeitungsstätten verwendet. Halbleiterwafer sind sehr empfindlich gegenüber Kontamination durch Teilchen od. dgl., so daß außerordentliche Anstrengungen unternommen werden, um eine Konta­ minierung durch Verwendung von Reinräumen, in denen Wafern gelagert oder zu Schaltkreisen verarbeitet werden, zu vermeiden.

Für Wafer bis zu einem Durchmesser bis zu 200 mm werden Wafer­ träger verwendet, wie sie in US 4 532 970 und US 4 534 389 beschrieben sind. Solche Waferträger verwenden eine transparente kastenartige Schale mit einem unterseitigen Flansch, der eine Bodenöffnung umgibt, die mit einem verriegelbaren Deckel verschließbar ist. Der Flansch ist mit einem Bearbeitungsgerät in Eingriff bringbar, und ein Deckel hiervon sowie der den Boden des Waferträgers verschließende Deckel werden gleichzeitig von der Schale in eine abgedichtete Verarbeitungsumgebung in dem Verarbei­ tungsgerät abgesenkt. Ein getrennt ausgebildeter Träger auf dem Deckel, der mit Wafern beladen ist, wird mit dem Deckel abgesenkt, um Zugang zu den Wafern zu deren Verarbeitung zu haben. Hierbei liegt das ganze Ge­ wicht der Wafer während der Aufbewahrung und des Transports direkt auf dem Deckel.

In der Halbleiterindustrie geht man zu immer größeren Wafer­ durchmessern über, die inzwischen 300 mm und mehr erreichen können und dementsprechend schwerer und größer sind. Hierbei ist es wünschenswert, daß die Wafer nicht auf einem bodenseitigen Deckel angeordnet werden, wobei es außerdem zu vermeiden ist, daß elektrostatische Ladungen die Wafer beeinträchtigen können. In diesem Zusammenhang ist es bereits be­ kannt, die von dem bodenseitigen Deckel getragenen Träger aus einem sta­ tische Elektrizität ableitenden Material, wie kohlenstoffgefülltem Poly­ etheretherketon oder Polycarbonat, herzustellen.

Außerdem benötigen Waferträger ein Anschlußstück zum Ankoppeln an ein Verarbeitungsgerät, so daß sich die Wafer aus einer vorbestimmten Position und in einer vorbestimmten Orientierung in bezug auf das Verar­ beitungsgerät mittels eines roboterartigen Handhabungsgeräts ergreifen, herausnehmen und wieder einlegen lassen, ohne daß dies zu Beschädigungen der Wafer führt.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Waferträger nach dem Ober­ begriff des Anspruchs zu schaffen, der sich für Wafer größeren Durch­ messers eignet.

Diese Aufgabe wird entsprechend dem kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 gelöst.

Bei einem derartigen Waferträger werden die Wafer frontseitig durch eine von einem Deckel verschließbare Öffnung entnommen, wobei der Deckel nicht mit dem Gewicht der Wafer belastet ist, während das Gehäuse eine Schale umfaßt, die mit einer bodenseitigen und/oder oberseitigen öffnung versehen ist, wobei ein Träger für die Wafer in diese Schale durch eine der Öffnungen eingesetzt ist, der wenigstens zwei zueinander beabstandete Aufnahmesäulen zur axial ausgerichteten Aufnahme von Wafern und ein Anschlußstück zum maschinenseitigen Ankoppeln umfaßt. Hierdurch können sich nicht Toleranzen zwischen dem Träger und dem Anschlußstück kumulieren, da diese einstückig miteinander ausgebildet sind. Es wird ein definierter Anschluß zur Verarbeitungsmaschine gebildet. Metallische Teile werden nicht benötigt, abgesehen davon wird über das mit dem Trä­ ger einstückige Anschlußstück ein ununterbrocherer Pfad zur Erde zur Ab­ leitung von statischer Elektrizität gebildet.

Inbesondere wird der Träger von unten in die Schale eingesetzt und durch Drehen und ein dadurch bewirktes Ineingriffbringen von Ein­ griffsabschnitten an der Schale und am Träger an ersterer befestigt. Zusätzlich kann der Träger an der Oberseite der Schale verriegelt und auch dort mit einem Anschlußflansch versehen werden. Zwischen dem Träger und der Schale können zur Abdichtung nach außen Elastomerdichtungsringe verwendet werden. Auch zwischen dem Deckel und dem Gehäuse kann eine Elastomerdichtung, etwa ein O-Ring, angeordnet werden. Handgriffe an den Seiten können von außen lösbar angebracht werden, wobei jedoch die Sei­ tenwände durchgehend sind und keine nach innen durchgehenden Öffnungen aufweisen.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind der nachfolgenden Beschreibung und den Unteransprüchen zu entnehmen.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines in den beigefügten Abbildungen dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert.

Fig. 1 zeigt perspektivisch einen Waferträger.

Fig. 2 zeigt den Waferträger von Fig. 1 in Entnahmestellung für die Wafer.

Fig. 3 zeigt perspektivisch die Innenseite eines Deckels für den Waferträger von Fig. 1.

Fig. 4 zeigt die Teile des Waferträgers von Fig. 1 auseinan­ dergezogen.

Fig. 5 zeigt perspektivisch den Behälter des Waferträgers von Fig. 1.

Fig. 6 zeigt perspektivisch einen Ausschnitt des Waferträgers von Fig. 5.

Fig. 7 zeigt eine bodenseitige Ansicht der Schale des Wafer­ trägers von Fig. 1.

Fig. 8 zeigt eine Draufsicht auf einen Trägereinsatzeinsatz für den Waferträger.

Fig. 9 und 10 sind Schnitte längs der Linien 9-9 bzw. 10-10 von Fig. 8 bzw. 7.

Fig. 11 zeigt eine Frontansicht der Oberseite des Trägerein­ satzeinsatzes.

Fig. 12 zeigt eine Frontansicht eines Anschlußflansches.

Fig. 13 ist ein Schnitt längs der Linie 13-13 von Fig. 8.

Fig. 14 und 15 zeigen eine Front- bzw. Seitenansicht eines Handgriffs.

Fig. 16 zeigt ausschnittsweise eine Seitenansicht des Wafer­ trägers.

Fig. 17 zeigt einen Schnitt längs der Linie 17-17 von Fig. 16.

Fig. 18 zeigt eine weitere Ausführungsform eines Handgriffs und dessen Anordnung.

Fig. 19 und 20 zeigen Schnitte längs der Linien 19-19 bzw. 20-20 von Fig. 18.

Fig. 21 und 22 zeigen eine weitere Ausführungsform eines Hand­ griffs.

Fig. 23 und 24 zeigen Schnitte längs der Linien 23-23 bzw. 24-24 von Fig. 21.

In Fig. 1 bis 3 umfaßt der Waferträger 20 einen Behälter 22 und einen Deckel 24, wobei der Behälter 22 mit einem Flansch 26 zum Er­ fassen und Anheben mittels eines Roboters und mit Handgriffen 28 zum ma­ nuellen Anheben versehen ist. Der Deckel 24 besitzt manuell betätigbare Handgriffe 30 sowie Schlüssellöcher 32 zum manuellen bzw. öffnen mittels Roboter. Im Innenraum 36 des Behälters 22 kann eine Vielzahl von Wafern 38 axial ausgerichtet angeordnet werden. Der Deckel 24 besitzt ein Paar von Waferhalterungen 42, die mit den Wafern 38 in Eingriff gelangen und diese halten, wenn der Deckel 24 am Behälter 22 befestigt ist. Die Wa­ ferhalter 42 umfassen flexible Zähne 44 aus elastischem gespritzten Pla­ stikmaterial. Der Deckel 24 paßt in einen Deckelflansch 46 am Behälter 22 und verwendet Riegel 48, die bezüglich des Deckelrandes 50 ein- und ausschiebar sind, um mit Vertiefungen 54 im Deckelflansch 46 in Eingriff zu gelangen. Der Deckel 24 besitzt ein Paar von darin befindlichen Ver­ riegelungsmechanismen, die unabhängig voneinander und über den Handgriff 30 bzw. das Schlüsselloch 32 arbeiten. Ein Bauteil 55 der Verarbeitungs­ linie ist mit einem Anschlußteil 56 zum Eingriff mit dem Waferträger 20 gemäß Fig. 2 versehen.

Gemäß Fig. 4 besteht der Behälter 22 aus einer Schale 58 und einem zentralen Trägereinsatz 60. Die Schale 58 besitzt eine oberseitige Wand 64 mit einer Öffnung 66, eine Bodenwand 68 mit einer unteren öff­ nung 70, eine offene Frontseite 72, eine linke Seitenwand 74 und eine rechte Seitenwand 76, die beide mit Vertiefungen 78 zur Aufnahme der Handgriffe 28 versehen sind, die die Vertiefungen 78 vollkommen ver­ schließen. Die Rückwand ist durchgehend. Die die Handgriffe 28 aufneh­ menden Abschnitte sind ausgenommene ebene Abschnitte 80 der Seitenwan­ dungen 74, 76.

Der Trägereinsatz 60 umfaßt einen Bodenabschnitt mit einem An­ schlußstück 86, das als Platte mit drei Anschlußbereichen 88 konfigu­ riert ist, die eine kinematische Kopplung ermöglichen. Einstückig mit dem Anschlußstück 86 ist ein Paar von Aufnahmesäulen 92 für Wafer 38 vorgesehen, von denen jede eine Vielzahl von Fächern 94 zur Aufnahme ei­ nes Wafers 38 in einem Waferaufnahmebereich 95 umfaßt. Jedes Fach 94 be­ sitzt Wafereingriffsabschnitte 96. Die Aufnahmesäulen 92 sind einstückig mit einem Oberteil 100 ausgebildet, das sich zwischen den Oberseiten 98 der Aufnahmesäulen 92 erstreckt und ein Anschlußstück 104 umfaßt.

Der Trägereinsatz 60 wird von unten durch die untere Öffnung 70 in die Schale 58 eingesetzt, so daß sich das Anschlußstück 104 durch die Öffnung 66 in der oberen Wand 64 der Schale 58 erstreckt. Ein weite­ res Anschlußstück 106 ist auf das Anschlußstück 104 aufgeschoben, um den Trägereinsatz 60 in der Schale 58 zu halten. Das Anschlußstück 106 kann einstückig mit einem Griffstück 108 zum Anheben durch einen Roboter, das als Flansch ausgebildet sein kann, verbunden sein. Die Schale 58 umfaßt ferner erste Eingriffsstücke 112 als Teil eines Eingriffsabschnitts 113 zum Eingriff mit zweiten Eingriffsstücken 114 als Teil eines Eingriffs­ abschnitts 115 des Trägereinsatzs 60. Diese miteinander in Eingriff bringbaren Eingriffsteile 112, 114 sichern den Trägereinsatz 60 in der Schale 58. Ein O-Ring 118 zwischen dem Oberteil 100 des Trägereinsatzs 60 und der oberen Wand 64 der Schale 58 dient zum Abdichten hierzwi­ schen. Entsprechend dichtet ein O-Ring 120 zwischen dem Anschlußstück 86 und der Bodenwand 68 der Schale 58 ab. Gemäß Fig. 5 wird in der darin dargestellten Ausführungsform eine Einführeinrichtung 122 verwendet, die mit Schienen 124, 126 an der Innenseite 130 der Seitenwandung 74, 76 in Eingriff steht, wobei die Schienen 124, 126 mit den Seitenwandungen 74, 76 einstückig ausgebildet sind. Gemäß Fig. 6 umfaßt jede Einführeinrich­ tung 122 ein langgestrecktes Teil 136 zum Eingriff mit den Schienen 124, 126, wobei Rippen 138 Schlitze 140 definieren, die im wesentlichen par­ allel zueinander sind und mit Schlitzen 142 korrelieren, die die Fächer 94 der Aufnahmesäulen 92 definieren. Typischerweise werden die Einfüh­ rungseinrichtungen 122 dann verwendet, wenn die Wafer 38 manuell anstatt per Roboter eingesetzt werden. Die Einführeinrichtungen 122 können auch verlängert werden, um die jeweiligen Wafer 38 nicht nur beim Ein- und Ausschieben aus dem Waferträger 20 abzustützen.

Wie insbesondere aus den Fig. 4, 5 und 8 ersichtlich, umfaßt der untere Abschnitt des Trägereinsatzs 60 ein plattenförmiges An­ schlußstück 86 mit einer planen Oberseite 170 und einer Stufe 174, die zu einer unteren ebenen Fläche 176 führt, die gegenüber von einem sich einwärts erstreckenden Abschnitt 180 der Bodenwand 86 der Schale 58 an­ geordnet ist. Der Abschnitt 180 erstreckt sich nicht gleichmäßig umlau­ fend um die untere allgemein kreisförmige Öffnung 70, sondern ein weite­ res Einsatzstück 184 erlaubt es dem Trägereinsatz 60, in einer aus der vollständig ausgerichteten Position etwas verdrehten eingesetzt werden zu können, um das Einsetzen der Eingriffsteile 114 zwischen die Ein­ griffsteile 112 an der Schale 58 zu ermöglichen. Der Trägereinsatz 60 kann dann entsprechend gedreht werden, um in die in Fig. 5 dargestellte Position gebracht zu werden.

Die Anschlußstücke 104 des Oberteils 100 sind im Schnitt all­ gemein T-förmig, vergl. Fig. 11. Die Anschlußstücke 104 passen in Schlitze 186 des Anschlußstücks 106, die ebenfalls im Schnitt T-förmig sind. Das Anschußstück 106 ist Teil des flanschförmigen Griffstück 108. Nachdem der Trägereinsatz 60 in der Schale 58 plaziert und in die genaue Ausrichtposition gedreht ist, erstreckt sich ein Kragen 188 des Ober­ teils 100 durch die Öffnung 66 und befindet sich gegenüber von der diese definierenden Innenkante 190. Ein kleiner O-Ring 118 sitzt in einer Nut 194 am Kragen 188 und liefert eine Dichtung zwischen der Schale 58 und der Innenkante 190. Die gestrichelte Linie von Fig. 11 zeigt die Bezie­ hung der oberen Wand 64 der Schale 58 zum gegenüberliegenden Kragen 188 des Oberteils 100 des Trägereinsatzs 60. Wenn daher die Anschlußstücke 104, 106 in Eingriff stehen, befindet sich die obere Wand 64 der Schale 58 zwischen dem Anschlußstück 106 und dem Oberteil 100 des Trägerein­ satzs 60. Das Anschlußstück 106 kann auf dem Anschlußstück 104 mittels eines geeignet positionierten Anschlags 202, vgl. Fig. 4, auf der Ober­ seite 203 der oberen Wand 64 der Schale 58 verriegelt werden. Alternativ oder zusätzlich können Schrauben 206 verwendet werden, die sich durch das Griffstück 108 und Anschlußstück 106 in Gewindebohrungen 208 im An­ schlußstück 104 erstrecken. Die Schrauben sind geeigneterweise aus Nylon anstatt aus einem metallischen Material.

Das Anschlußstück 86 umfaßt eine kinematische Kupplung 90, die durch die Eingriffsabschnitte 88 für externe Ausrüstung gebildet werden. Gemäß Fig. 13 umfaßt die Unterseite 220 einer derartigen Struktur ein Paar von abgewinkelten Flächen 222, 224, die eine Nut 225 definieren, die teilweise mit (nicht dargestellten) sphärischen Flächen an der Aus­ rüstung in Eingriff bringbar ist. Alternativ kann das Anschlußstück 86 die drei Teilkugelflächen umfassen, während die damit zusammenarbeitende Ausrüstung die durch die abgewinkelten Flächen gebildeten Nuten umfas­ sen. Jedoch sind auch andere alternative Konfigurationen möglich.

Die lösbar angebrachten Handgriffe 28 umfassen jeweils einen Griff 240 und ein Befestigungsteil 242. Letzteres verwendet elastische Abschnitte 244 mit Klinken 246 und Anschlägen 248. Die Klinken 246 be­ sitzen einen Keilabschnitt 250, der die Anbringung des Handgriffs 28 in der Vertiefung 78 unter Drehen unter Befestigungselemente 254 an der Schale 58 erleichtert. Die Befestigungselemente 254 umfassen ein Paar von sich einwärts erstreckenden Teilen 255, die als Führungsränder aus­ gebildet sind, die den verlängerten Abschnitten 258 an den Befestigungs­ elementen 242 entsprechen, wenn der Handgriff 28 in der Vertiefung 78 verriegelt ist. In einer derartigen verriegelten Position befinden sich die Klinken 246 und die Anschläge 248 an gegenüberliegenden Enden der Führungselemente 255. Die Vertiefung 78 wird durch einen planen Ab­ schnitt 262 definiert, der einstückig mit einer umlaufenden Wandung aus­ gebildet ist, die als ein ringförmiger Abschnitt 264 konfiguriert ist, der einstückig mit der Schale 58 ist. Die Führungselemente 255 erstrec­ ken sich einwärts von den Ringabschnitten 264 und sind einstückig hier­ mit ausgebildet. Diese Konfiguration ermöglicht eine leichte Anbringung einfach durch Anordnung der Handgriffe 28 in den Vertiefungen 78 von Fig. 16, wobei die sich auswärts erstreckenden Abschnitte 258 zwischen den Führungselementen 255 angeordnet werden und dann eine Drehung im Uhrzeigersinn des Handgriffs 28 vorgenommen wird, wobei die Abschnitte 258, die die Klinke 246 umfassen, unter die Führungselemente 255 gedreht werden, bis die Klinken 246 in zugehörige Sitze 269 einschnappen, an welcher Stelle die Anschläge 248 sich in ihren entsprechenden Sitzposi­ tionen 270 befinden.

Auf diese Weise wird eine einfache Anbringung und ebenso ein einfaches Entfernen der Handgriffe 28 zum Reinigen oder zur Aufbewahrung oder für den Fall, daß die Anwendung diese nicht erfordert, ermöglicht. Zusätzlich wird die Trennung zwischen dem Inneren des Waferträgers und dem Außenraum nicht beeinträchtigt.

Die in Fig. 18 dargestellte alternative Ausführungsform eines entfernbaren Handgriffs 28 umfaßt eine Eingriffsstruktur 275, die wie­ derum eine Vertiefung 78 verwendet, die sich einwärts in die Seitenwand 74 erstreckt und einen planen Abschnitt 262 am Boden der Vertiefung 78 umfaßt. Eine Schulter 272 erstreckt sich um die Vertiefung 78 und bildet den Übergang zu einem planen Abschnitt 262 der Seitenwand 74. Ein Befe­ stigungselement 276 ist in Form von vier Nasen ausgebildet, die sich von der Schulter 274 einwärts erstrecken. Der Handgriff 28 umfaßt einen Griff 240 und einen Befestigungsabschnitt 254, der einen ebenen Ab­ schnitt 277 mit elastisch flexiblen Abschnitten mit Klinken 284 umfaßt.

Der Handgriff 28 wird in die Vertiefung 78 eingesetzt, so daß die ela­ stischen Abschnitte 280 zwischen die Nasen 278 eingesetzt und der Hand­ griff dann nach links verschoben wird, so daß die Klinken 284 unter die Nasen geschoben werden, bis sie ihre Verriegelungsposition, vgl. Fig. 18, erreichen. Auch hierbei bleibt die Trennung zwischen Innenraum des Waferträgers und Außenraum voll erhalten. Andere Ausbildungen des Hand­ griffs 240 mit zusammenarbeitenden Befestigungsteilen, die Klinken ver­ wenden, sind ebenfalls möglich. Die Verwendung von Klinken liefert einen hohen Grad von Flexibilität in der Anbringung und dem Entfernen der Handgriffe 28 und erlaubt ferner den Austausch verschiedener Größen von Handgriffen 28, beispielsweise für unterschiedliche Handhabungsgeräte.

Die Schale 58 wird vorzugsweise durch Spritzgießen aus Poly­ carbonat oder Polyetherimid od. dgl. hergestellt. Der Trägereinsatz 60 ist ebenfalls vorzugsweise einstückig durch Spritzengießen hergestellt und kann aus kohlenstoffasergefülltem Polyetheretherketon od. dgl. Mate­ rialien hergestellt werden, die idealerweise statische Elektrizität ab­ leiten. Die Handgriffe 28 können aus Polycarbonat oder Polyetherimid durch Spritzgießen hergestellt sein. Das Anschlußstück 106, das das Griffstück 108 umfaßt, kann ebenfalls aus kohlenstoffasergefülltem Poly­ etheretherketon oder einem anderen statische Elektrizität ableitenden spritzgegossenen Material hergestellt sein.

Der Mechanismus, der zum Verriegeln des Deckels 24 verwendet wird, kann entsprechend US 4 995 430 ausgebildet sein.

Gemäß Fig. 19 und 20, die Schnitte entsprechend der Linien 19-19 und 20-20 von Fig. 18 zeigen, umfaßt die Klinke 284 einen keilför­ migen Abschnitt 250 zum Unterstützen des Eingriffs mit dem Befestigungs­ element 276. Gemäß den Fig. 21, 22, 23 und 24 kann eine Klinke 300 vor­ gesehen sein, die sich von dem vertieften ebenen Abschnitt 304 und damit senkrecht zur Seitenwand 74 der Schale 58 erstreckt. Die Klinke 300 um­ faßt ein Paar von keilförmigen Abschnitten 308 zum Eingriff mit einer kreisförmigen öffnung 314 in einem Einsatzstück 312 des Handgriffs 28.

Claims (14)

1. Waferträger bestehend aus einem Gehäuse (22) mit einem Innenraum (26) zur Aufnahme einer Vielzahl von Wafern (W) und einem Deckel (24), dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (22) eine Schale (58) mit einer offenen, durch den Deckel (24) verschließbaren Frontseite (72) und einer bodenseitigen und/oder oberseitigen Öffnung (66, 70) umfaßt, wobei ein Trägereinsatz (60) für die Wafer (W) in die Schale (58) durch eine der Öffnungen (66, 70) eingesetzt ist, der wenigstens zwei zueinander beabstandete Aufnahmesäulen (92) zur axial ausgerichteten Aufnahme von Wafern (W) und ein Anschlußstück (86) zum maschinenseitigen Ankoppeln umfaßt.

2. Waferträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägereinsatz (60) in der oberseitigen und/oder der bodenseitigen Öffnung (66, 70) der Schale (58) aufgenommen und bezüglich der Schale (58) befestigt ist.

3. Waferträger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die bodenseitige Öffnung (70) Eingriffsabschnitte (112) aufweist, die mit korrespondierenden Eingriffsabschnitten (114) am Trägereinsatz (60) in Eingriff stehen.

4. Waferträger nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingriffsabschnitte (112, 114) drehbar in Eingriff stehen.

5. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß oberseitig ein Aufnahmeflansch (108) vorgesehen ist, der mit dem Trägereinsatz (60) verbunden ist.

6. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Schale (58) ein Paar von Handgriffen (28) aufweist, die insbesondere durch Dreh- oder Schubeingriff mit der Schale (58) lösbar verbunden sind.

7. Waferträger nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Handgriffe (28) über Rastnasen (246) an der Schale (58) lösbar verriegelt sind.

8. Waferträger nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Handgriffe (28) auf durchgehenden Seitenwänden (80) befestigt sind.

9. Waferträger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Handgriffe (28) in Vertiefungen (78) der Seitenwände (80) aufgenommen sind.

10. Wafetrträger nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägereinsatz (60) einstückig ist.

11. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die oberseitige und/oder die bodenseitige Öffnung (66, 70) kreisförmig sind und der Trägereinsatz (60) in deren Bereich über eine Dichtung gegenüber der Schale (58) abgedichtet ist.

12. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Schale (58) transparent ist.

13. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägereinsatz (60) aus statische Elektrizität ableitendem Material besteht.

14. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Deckel (24) an der dem Behälter (22) zugekehrten Seite wenigstens eine Waferhalterung (42) aufweist.