CN101219720B - 具弹性定位结构的洁净容器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具弹性定位结构的洁净容器，于一座体上形成有至少一个支撑组件及至少一个后部定位组件，并在座体上罩盖有一盖体，且在盖体与座体间设有定位件，其向外延伸有二弹性臂，且各弹性臂分别延伸有一推顶面。当座体置放一脆性材料平板件，并配合盖体闭合时，推顶面可分别弹性的抵靠并顶推脆性材料平板件，使其向后移动而抵靠于后部定位组件，避免破坏脆性材料平板件。此外，座体、盖体与定位件可为导电材质所制成，以使脆性材料平板件的静电导通至洁净容器的外部，而具有静电放电(ESD)的防护作用。

Description

具弹性定位结构的洁净容器

技术领域

本发明涉及一种洁净容器的定位结构，特别是涉及一种应用于洁净容器中，对脆性材料平板件弹性推顶定位的定位结构。

背景技术

对于一般洁净容器而言，不论是掩模盒、晶片盒或其玻璃基板盒，其内部通常容置有掩模、晶片或玻璃基板，而掩模、晶片或玻璃基板对超高洁净储放环境的要求极高，以现今的半导体工艺需求须达Class 1以上，须严格防止受到微细粉尘颗粒的污染与静电或静电场的影响，也因此，掩模、晶片或玻璃基板在一般半导体或平面显示器制造厂中，必然在一超高洁净无尘环境中进行其制程。此洁净容器即扮演掩模、晶片或玻璃基板在半导体或平面显示器工艺流程中，传送、载卸与储放过程，确保掩模、晶片或玻璃基板处于符合工艺洁净需求的环境。

如美国专利公开公报的US 2004/0004704，请参考图1A所示掩模盒公知技术的俯视剖面图、图1B所示的图1A的A-A剖面示意图以及图2A至图2D所示的掩模盒公知技术的硬顶抵掩模的示意图。以掩模盒为例，其内部所容置的掩模必须定位于掩模盒的底座上，以避免传送、载卸与储放过程中掩模在掩模盒内产生移动而因此产生摩擦的问题。传统的作法，会在掩模盒的底座10上表面凸设有一挡板11提供掩模14定位，并再于掩模盒的上盖12制作出导引肋13及其上的斜面131，之后再以上述斜面131顶推掩模盒内的掩模14而使其抵靠于挡板11上，并因此将掩模14定位。但是，上述公知技术的斜面131没有弹性设计，其会直接顶抵于掩模14上，故当其顶推掩模盒内的掩模14时，极有可能因直接强硬的碰撞接触磨擦而产生微细粉尘颗粒及产生静电而污染掩模14。

另外，上述公知的斜面也没有导电的设计，使得掩模的静电无法导通至掩模盒外部。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具弹性定位结构的洁净容器，在洁净容器的盖体螺设或在洁净容器的盖体内面上组设具有弹性推顶并定位脆性材料平板件，并可导通脆性材料平板件的静电至洁净容器外部的定位结构，来解决上述公知技术中的各种问题。

为了实现上述目的，本发明提供了一种具弹性定位结构的洁净容器，包括：一座体、一盖体及一定位件，座体具有一上表面、数个支撑组件、数个侧部定位组件与数个后部定位组件，盖体紧密罩盖于座体上，其具有一顶板，顶板具有一上表面与一下表面，定位件组设于下表面，其具有一本体，本体一前端分别向两外侧延伸有一第一弹性臂与一第二弹性臂，第一弹性臂与第二弹性臂的端面分别形成一推顶面。

上述洁净容器中，顶板还可具有至少一贯穿孔通上表面与下表面，本体顶面具有至少一螺柱对应于螺孔，且上表面还包括螺设一取付板，取付板通过一螺栓穿过顶板的贯穿孔连接于定位件的螺柱。

上述洁净容器中，顶板下表面具有一第一卡合组件，且在定位件的本体顶面具有对应于第一卡合组件的一第二卡合组件，第一卡合组件与第二卡合组件组成一卡合结构以嵌合组设定位件于盖体的下表面。而上述第一卡合组件为至少一凹槽，且第二卡合组件为对应于凹槽的一凸柱；或为反向设置，第一卡合组件为至少一凸柱，且第二卡合组件为对应于凸柱的一凹槽。

上述洁净容器的第一弹性臂与第二弹性臂的端面，可分别形成一定位面。而定位件的后端，可分别向两外侧延伸有一第三弹性臂与一第四弹性臂并在其底面分别设有凸缘，在第三弹性臂与第四弹性臂端面外侧分别设有一定位斜面。再有，上述的定位件还可在后端形成一扣臂，扣臂具有一对向下的凹槽，以对应于后部定位组件，可在盖体与座体闭合时提供定位件将静电经座体导引接地的功能，及固定定位件。

实施上述本发明的具定位结构的洁净容器的功效为：本发明以定位件的数个弹性臂上的推顶面及定位面，弹性的推顶定位脆性材料平板件并同时导正其角度，解决公知技术的直接硬接触磨擦顶脆性材料平板件而产生微细粉尘颗粒而污染掩模的问题，且本发明的定位件除推顶脆性材料平板件予以定位之外，还可进一步在脆性材料平板件上形成一持续的、平稳的、具弹性的压力，在搬移洁净容器时，对脆性材料平板件产生较佳的紧固作用，另外本发明的洁净容器的定位件、盖体及座体俱为导电材料，可将脆性材料平板件的静电导出至洁净容器外部，避免脆性材料平板件累积静电后，有静电放电造成损坏的问题。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1A为掩模盒公知技术的俯视剖面图；

图1B为图1A的A-A剖面示意图；

图2A至图2D为掩模盒公知技术的硬顶抵掩模的示意图；

图3为本发明具弹性定位结构的洁净容器实施例的立体分解图；

图4为图3的A局部放大示意图；

图5为本发明具弹性定位结构的洁净容器实施例的立体组合剖视图；

图6A为图5的B-B剖视图的具弹性定位结构的洁净容器实施例的盖合前示意图；

图6B为图5的B-B剖视图的具弹性定位结构的洁净容器实施例的盖合时示意图；

图6C为图5的B-B剖视图的具弹性定位结构的洁净容器实施例的盖合后示意图；

图7为本发明具弹性定位结构的洁净容器的定件器的定位面与定位斜面的仰视示意图；

图8为本发明具弹性定位结构的洁净容器的螺合式定位件实施例剖视图；以及

图9为本发明具弹性定位结构的洁净容器的嵌合式定位件实施例剖视图。

其中，附图标记：

10    底座

11    挡板

12    上盖

13    导引肋

131   斜面

14　　掩模

20    洁净容器

30    座体

31    上表面

32    支撑组件

33    侧部定位组件

34    后部定位组件

40    盖体

41    顶板

42    上表面

43    下表面

431   第一卡合组件

44    贯穿孔

50    定位件

501   本体

5011  顶面

502   螺柱

503   第二卡合组件

51    前端

511   后端

52    第一弹性臂

521   推顶面

522   定位面

53    第二弹性臂

531   推顶面

532   定位面

54    第三弹性臂

541   凸缘

542   定位斜面

55    第四弹性臂

551    凸缘

552    定位斜面

56     扣臂

561    凹槽

57     卡合结构

60     取付板

70     脆性材料平板件

80     螺栓

90     扣合组件

具体实施方式

首先请参考图3所示本发明具弹性定位结构的洁净容器实施例的立体分解图、图4所示图3的A局部放大示意图以及图5所示本发明具弹性定位结构的洁净容器实施例的立体组合剖视图。其洁净容器20包含一座体30及一盖体40(图示中三角形所标方向为前方部位)，座体30具有一供承置脆性材料平板件70的上表面31，在上表面31上设有至少一个支撑组件32以支撑脆性材料平板件70、至少一个侧部定位组件33与至少一个后部定位组件34，盖体40紧密罩盖于座体30上，盖体40具有一容置空间，其顶部包含一顶板41，顶板41具有一上表面42与一下表面43，且下表面43组设有一定位件50，定位件50的相对于后部定位组件34的一前端51，分别向两外侧延伸有一第一弹性臂52与一第二弹性臂53，第一弹性臂52与第二弹性臂53的端面分别朝下、后方形成一推顶面521，531。当然，此推顶面521，531主要为有弹性力的软推顶脆性材料平板件70朝水平移动，故可为一斜面或一曲面。另外，在第一弹性臂52与第二弹性臂53的推顶面521，531外侧，分别邻接形成一定位面522，532。

在定位件50的相同于后部定位组件34的一后端部，分别向两外侧延伸有一第三弹性臂54与一第四弹性臂55，第三弹性臂54与第四弹性臂55的底面分别设有凸缘541，551，而其端面外侧分别向下设有一定位斜面542，552。上述凸缘541，551可在盖体40与座体30扣合时，弹性压住脆性材料平板件70以避免在搬运洁净容器20时产生晃动，而定位斜面542，552则可在凸缘541，551产生作用前，先导引导正固持脆性材料平板件70(详述如下)。

另外，为使定位件50在盖体40与座体30扣合后产生更稳固的固定力，并提供静电导电途径，定位件50后端511还可形成一扣臂56，扣臂56具有一对开口向下的凹槽561，凹槽561对应于座体30的后部定位组件34，以在盖体40与座体30扣合后，利用凹槽561扣合于后部定位组件34(如图6C所示)。

上述洁净容器20实施例中，座体30、盖体40及定位件50为导电材质，且形成连接状态，利于将容置于洁净容器20内的脆性材料平板件70的静电导通至外部释放，避免形成静电放电时对脆性材料平板件70造成损坏。

另外，上述洁净容器20的座体30与盖体40上，也可设置一扣合组件90，以使盖体40罩盖于座体30后，可自行扣合，并配合上述的定位件50的推顶与压持脆性材料平板件70，形成一可自我锁固的系统。

请继续参考图6A、图6B及图6C所示的本发明具弹性定位结构的洁净容器实施例的盖合过程的剖视图。如图6A所示，在以适当器具(可由人工操作或机械装置驱动，图中未示)固定盖体40之后，将尚未定位的脆性材料平板件70置放于座体30的支撑组件32上，且落于侧部定位组件33与后部定位组件34范围内，再升上座体30使与盖体40配合(或者固定座体30而使盖体40移入，其作用相同)，此时，若盖体40上嵌有扣合组件90须同时处于解扣位置，以使座体30通过而与盖体40罩合。如图6B所示，当上升的脆性材料平板件70的上部边缘触及定位件50的推顶面521时，因推顶面521的斜面或曲面的作用，将脆性材料平板件70水平向后部推移，直至其前缘抵住后部定位组件34，如图6C所示。

请继续参考图7所绘示的本发明具弹性定位结构的洁净容器的定件器的定位面与定位斜面的仰视示意图。在上述定位件50的推顶面521水平推移脆性材料平板件70向后时，因脆性材料平板件70同时保持上升的状态，此时，若脆性材料平板件70在初步置放时，己水平偏转一转角如图7中的x所示，除推顶面521可在推顶过程中具有矫正角度至图7中的y的作用外，第一、二弹性臂52，53上的定位面522，532、第三、第四弹性臂54，55上的定位斜面542，552也有矫正角度的作用，而在脆性材料平板件70上升至最高位置时，定位件50的第一至第四弹性臂52，53，54，55即可完成推顶并定位角度与位置，最后再由第一弹性臂52与推顶面521、定位面522交界面，第二弹性臂53与推顶面531、定位面532交界面及第三、第四弹性臂54，55上的凸缘541，551弹性的压持脆性材料平板件70，待扣合盖体40与座体30后，定位件50可形成一自我紧固脆性材料平板件70的作用，避免搬移洁净容器20时，脆性材料平板件70产生滑移，再配合扣臂56的扣合后部定位组件34的结构，以增强定位件50的固持脆性材料平板件70的紧固力。

请参考图8所示本发明具弹性定位结构的洁净容器的螺合式定位件实施例剖视图。盖体40顶板41上预设至少一贯穿孔44穿透上表面42与下表面43，且定位件50的本体501顶面具有对应于贯穿孔44的至少一螺柱502，且上表面还包括螺设一取付板60，通过螺栓80穿过顶板41的贯穿孔44与定位件50的螺柱502相互螺接，将取付板60与定位件50固定于盖体40的顶板41上。此一结构除可以借取付板60提供机械手臂或手持搬移功能外，还可通过连接于定位件50与取付板60的具导电性的螺栓80，将洁净容器20内的脆性材料平板件70上的静电导通至洁净容器20外部。

请参考图9所示本发明具弹性定位结构的洁净容器的嵌合式定位件实施例剖视图。上述的定位件50与盖体40的组合方式也可利用一卡合结构57来组设，主要是在顶板41下表面43具有一第一卡合组件431，定位件50的本体501顶面5011具有对应于第一卡合组件431的一第二卡合组件503，第一卡合组件431与第二卡合组件503组成一卡合结构57将定位件50嵌设于盖体40的下表面43上。上述第一卡合组件431可以是设于顶板41下表面43的至少一凹槽，第二卡合组件503为对应于凹槽的一凸柱的实施形态，或者，第一卡合组件431为至少一凸柱，且第二卡合组件503为对应于凸柱的一凹槽(此实施例图中未示)。

当然，本发明还可有其他多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (16)

1.一种具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，包含：

一座体，具有一供承置脆性材料平板件的上表面，该上表面上设有至少一个支撑组件、至少一个侧部定位组件及至少一后部定位组件；

一盖体，紧密罩盖于该座体上，该盖体具有一顶板，该顶板具有一上表面与一下表面；以及

一定位件，组设于该盖体的下表面，该定位件具有一本体，该定位件具有相对于该后部定位组件的一前端部，分别向两外侧延伸有一第一弹性臂与一第二弹性臂，该第一弹性臂与该第二弹性臂的端面分别朝下、朝后形成一弹性推顶面；该定位件的相对于该后部定位组件的一后端部，分别向两外侧延伸有一第三弹性臂与一第四弹性臂，该第三弹性臂与该第四弹性臂的底面分别设有凸缘，该第三弹性臂与该第四弹性臂的端面外侧分别向下设有一定位斜面；

其中，该凸缘在该盖体与该座体扣合时，弹性压住该脆性材料平板件避免搬运洁净容器产生晃动，该定位斜面在该凸缘产生作用前，先导引导正该脆性材料平板件。

2.根据权利要求1所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该顶板具有至少一贯穿孔穿透该上表面与该下表面，该定位件的本体顶面具有对应于该贯穿孔的至少一螺柱，且该顶板的上表面还螺设一取付板，该取付板通过一螺栓穿过该顶板的该贯穿孔螺接于该定位件上的螺柱。

3.根据权利要求1所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该推顶面为一斜面或曲面。

4.根据权利要求1所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该第一弹性臂与该第二弹性臂的端面，且相邻于该推顶面之外侧，分别形成一定位面。

5.根据权利要求1所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该定位件的该后端部还形成至少一扣臂，该扣臂具有至少一向下的凹槽，该凹槽对应于该座体的该后部定位组件，在盖体与座体扣合后，利用凹槽扣合于后部定位组件。

6.根据权利要求1所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该座体与该盖体还包含至少一扣合组件以紧密扣合该盖体于该座体上。

7.根据权利要求1所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该座体、该盖体及该定位件为导电材质。

8.一种具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，包含：

一座体，具有一供承置脆性材料平板件的上表面，该上表面上设有至少一个支撑组件、至少一个侧部定位组件及至少一后部定位组件；

一盖体，紧密罩盖于该座体上，该盖体具有一顶板，该顶板具有一上表面与一下表面，该顶板下表面具有一第一卡合组件；以及

一定位件，组设于该盖体的下表面，该定位件具有一本体，该定位件具有相对于该后部定位组件的一前端部，分别向两外侧延伸有一第一弹性臂与一第二弹性臂，该第一弹性臂与该第二弹性臂的端面分别朝下、朝后形成一弹性推顶面，该定位件的相对于该后部定位组件的一后端部，分别向两外侧延伸有一第三弹性臂与一第四弹性臂，该第三弹性臂与该第四弹性臂的底面分别设有凸缘，该第三弹性臂与该第四弹性臂的端面外侧分别设有一定位斜面；且该定位件的本体顶面具有对应于该第一卡合组件的一第二卡合组件，该第一卡合组件与该第二卡合组件组成一卡合结构以嵌设该定位件于该盖体的下表面；

其中，该凸缘在该盖体与该座体扣合时，弹性压住该脆性材料平板件避免搬运洁净容器产生晃动，该定位斜面在该凸缘产生作用前，先导引导正该脆性材料平板件。

9.根据权利要求8所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该第一卡合组件为至少一凹槽，且该第二卡合组件为对应于该凹槽的一凸柱。

10.根据权利要求8所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该第一卡合组件为至少一凸柱，且该第二卡合组件为对应于该凸柱的一凹槽。

11.根据权利要求8所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该顶板的上表面还包括螺设一取付板，该取付板通过一螺栓螺接于该盖体上表面的对应螺孔，以固定该取付板于该盖体上。

12.根据权利要求8所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该第一弹性臂上与该第二弹性臂上的推顶面为一斜面或曲面。

13.根据权利要求8所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该第一弹性臂与该第二弹性臂的端面，且相邻于该推顶面的外侧，分别形成一定位面。

14.根据权利要求8所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该定位件的该后端部还形成至少一扣臂，该扣臂具有至少一向下的凹槽，该凹槽对应于该座体的该后部定位组件。

15.根据权利要求8所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该座体与该盖体还包含至少一扣合组件以紧密扣合该盖体于该座体上。

16.根据权利要求8所述的具弹性定位结构的洁净容器，其特征在于，该座体、该盖体及该定位件为导电材质。

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