KR19990013418A - 수송 모듈 - Google Patents

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스탠게이어
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Abstract

개방가능하고 폐쇄가능한 도어가 있는 모듈이, 모듈의 밑바닥에 노출된 기계 접촉면을 포함하는 중심의 지지 구조물을 가지고 있으며 완전체의 웨이퍼 지주는 웨이퍼를 지지하기 위해 모듈 내에 상향으로 연장하고 있다. 본 발명의 장점과 특징은 접지에의 비중단의 경로가 각 웨이퍼 지지 선반으로부터 기계 접촉면에 연장하고 있다는 점이다. 게다가, 셸의 측벽들은 제거가능한 핸들들 상의 교합 부재들과 협력하는 교합 부재들이 있는 리세스 부를 가지고 있다. 핸들은 그런 핸들을 캐리어의 측벽 상의 위치에 회전가능하게 잠그는 멈춤쇠를 활용한다.

Description

수송 모듈
본 발명은 반도체 위이퍼 용 캐리어에 관한 것이며 더 상세하게는 웨이퍼들을 저장하고 수송하는 폐쇄가능의 컨테이너에 관한 것이다.
일반적으로 수송 모듈이라 불리는 밀봉가능의 격납장치는, 처리단계들 간 및/또는 설비들 간에 웨이퍼들을 저장하고 수송하기 위해, 반도체 가공 산업에 한동안 활용돼 왔다. 반도체 웨이퍼는 입자 따위의 오염물질로 유별나게 손상당하기 쉽다. 반도체 웨이퍼를 저장하거나 회로에 처리하는 청정실 및 타의 환경에 있어서는 오염물질을 배제하는 비상한 조치가 취해진다.
200mm 이하의 범위의 웨이퍼들에 대하여는, SMIF(standadized mechanism interface) 포드로 알려진 컨테이너들이 청정 밀봉의 미니환경을 마련하는 데 활용돼 왔다. 이들 포드의 예들은 미국특허들 제 4,532,970 및 4,534,389 호에 기재돼 있다. 그러한 SMIF 포드들은, 개방의 밑과 걸쇠걸 수 있는 도어를 규정하는 하 도어 프레임 또는 플랜지가 있는, 투명한 상자형의 셸을 전형적으로 활용한다. 그 도어 프레임은 처리장비에 고정시키며 그 처리장비 상의 도어와 개방의 밑바닥을 닫는 하 SMIF 포드 도어가 상기 처리장비의 밀폐된 처리환경 안으로 셸로부터 하향으로 동시에 낮추어진다. SMIF 포드 도어의 상표면에 배치되어 웨이퍼가 많이 채워진 독립의 H바 캐리어가 상기 웨이퍼들을 접근하여 처리하기 위해 그 포드 도어와 함께 낮추어진다. 상기의 포드들에 있어서 웨이퍼들의 중량은 저장 및 수송 중 그 도어 상에 직접 있게 된다.
반도체 처리 산업은 크고 무거운 웨이퍼, 특히 300mm 웨이퍼의 활용을 향해이행하고 있다. 그런 모듈에 대한 수송 모듈은, 공업규격의 개발을 거쳐, 모듈로부터 하향으로 떨어 뜨리는 밑바닥 도어와 대비하여 웨이퍼들의 삽입과 제거 용의 전방 개방 도어를 활용하게 될 것이다. 도어는 웨이퍼들의 하중을 지지하지 않을 것이고, 오히려 투명 플라스틱(폴리카보네이트 따위) 셸과, 타의 저 입자발생 플라스틱(폴리에테르에테르케톤 따위)으로 성형된, 웨이퍼를 지지하는 부재들을 포함하게 되는 컨테이너 부가 웨이퍼의 하중을 지탱할 것이다.
반도체 웨이퍼들의 취급과 처리에 있어서, 정전기는 계속 관심사이다. 정전기 방전은 반도체 위이퍼를 손상시키거나 못쓰게 하는 수가 있다. 그러므로, 정전기 방전을 야기할 수 있는 그러한 잠재력의 발생도 최소화하는 방법이 강구되어야 한다. H바 지지체는 탄소 충전의 폴리에테르에테르케톤(PEEK)과 폴리카보네이트(PC) 따위의 종래의 정전기 소산성 재료로 제조돼 왔다.
상기의 300mm 모듈에 대한 개발 공업규격은, 처리장비에 대하여 모듈을 반복적으로 정확하게 정렬시킬 운동학적 커플링 따위의 기계 접촉면을, 모듈의 밑에 필요로 한다. 이는 로벗식 취급수단이 모듈 전방측 상의 도어를 교합하게 하고, 도어를 열게 하며, 특유한 수평배열의 웨이퍼들을 필요한 정도의 정밀 붙잡음으로 제거하게 한다. 장비기계 접촉면에 관하여 특정한 높이와 배열로 웨이퍼들을 배치 것은 매우 정밀하여서 상기 웨이퍼들의 로벗식 철회와 삽입 중에는 웨이퍼들이 배치되지 않아 손상되지 않을 것이다.
성형에 있어서의 불일치 등으로 인하여 상기 플라스틱 부품들로 된 플라스틱 부품 어셈블리는, 부품들 간의 개방 균열 및 중요 치수의 바람직하지 않은 변화를 유인하는 각 개별 부품의 공차의 누적 따위의 불일치에 이른다.
알려진 전방구멍 300mm 수송 모듈은, 장비 접촉면과 웨이퍼 지지체 간에 다수의 구성요소를 포함하는, 복합의 성분들을 활용한다. 이는 웨이퍼 면과 장비 접촉면 간의 수용가능한 공차의 모듈을 산출함에 있어 어려움에 봉착할 수 있다. 게다가, 상기의 모듈은 금속 나사들을 포함하는 몇몇의 상이한 구성요소를 통해 웨이퍼 선반들로부터 장비 접촉면에 접지하는 경로를 가지고 있다.
300mm 웨이퍼는 사이즈와 무게가 200mm의 것 보다 사실상 크며; 따라서, 웨이퍼의 단(batch)을 수송하기 위해 구조적으로 강한 모듈을 필요로 한다. 전형적으로 200mm SMIF 포드를 가진 모듈은 셸 도어 플랜지와 도어의 접속점의 아래 가장자리를 손으로 쥐어 쉽게 운반되었다. 저면 개방 포드를 위해 셸 부의 상측에 핸들들이 마련되었다. 300mm 웨이퍼 용의 크고, 무거우며, 다루기 힘든 모듈을 운반하는 데는 사이드 핸들들이 어울린다. 어떤 정해진 적용을 위하여, 300mm 모듈의 이동은 로벗의 수단을 통해서만 있게 되고 따라서 그 컨테이너를 손으로 수송하는 핸들들이나 또는 타의 수단을 필요로 하지 않게 된다. 그런 까닭에, 로벗식 들어 올림 핸들을 마련하여야 하며 어떤 수동식 핸들들을 용이하게 제거할 수 있어야 한다.
게다가, 입자들이나 습기 또는 타의 오염물질에 의한 오염에 대한 웨이퍼들의 고민감성으로 인하여, 모듈의 내부로의 가능한 입장 통로들을 최소한도의 수로 가지는 것이 이상적이다. 패스너들에 대한, 또는 모듈의 따로따로의 구성부품들의 접속점에서 따위의, 포드의 내부와 외부 사이의 플라스틱에 있어서의 통로들과 갈라진 틈들은 피하게 돼 있다. 어떤 필수의 통로은 충분히 밀봉되어야 한다.
게다가, 금속의 패스너들이나 또는 타의 금속부품들의 포드의 어떤 위치에의 사용은 반도체 웨이퍼 캐리어들 또는 컨테이너들에 있어서 바람직하지 않다. 금속부품은 마찰하거나 긁히는 경우에 크게 손상시키는 입자들을 발생시킨다. 패스너들이 있는 모듈의 어셈블리는 그러한 마찰과 긁음을 야기한다. 그러므로, 금속의 패스너들이나 또는 타의 금속부품을 필요로 하는 모듈들의 사용은 피하게 돼 있다.
전방개방 웨이퍼 수송 모듈이, 투명 셸을 가진 컨테이너 부와, 모듈의 밑에 노출된 기계 접촉면과 그 컨테이너 부 내에 웨이퍼들을 지지하기 위해 상향으로 연장하는 완전체의 웨이퍼 지주들을 포함하고 있는 중심의 지지 구조물을 가진다. 게다가, 그 셸의 측벽은 제거가능한 핸들 상의 교합부재들에 협력하는 교합부재들이 있는 리세스 부들을 가지고 있다. 그 핸들은 그 캐리어의 측벽 상의 리세스들의 위치에 잠그는 데 멈춤쇠들을 활용한다. 측벽에 대한 핸들의 부착은 모듈의 내부와 외부 간의 갈라진 틈이 없이 달성된다.
본 발명의 특징과 장점은 기계 접촉면 수준과 웨이퍼 선반들 상의 웨이퍼들의 수준들에 관계가 있는 부품들의 사이에 공차의 누적이 없다는 것이다. 다수의 구성요소들이 기계 접촉면 수준과 웨이퍼 수준들을 한정하고, 각 부품이 따로따로의 제조 공차를 가지는 데에서와, 그런 구성요소들이 모듈로 조립되는 때에는 그 공차들은 누적한다. 이는 고도의 불합격의 개별 부품 및/또는 고도의 불합격 수준의 조립 모듈로 변질시킨다. 본 발명은 기계 접촉면과 웨이퍼 지지 부재들에 대하여 단일의 완전체의 구성요소를 활용한다.
본 발명의 또 다른 장점과 특징은 비방해의 대 접지 통로가 각 웨이퍼 지지 선반으로부터 기계 접촉면으로 연장하고 있다는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적과 장범은 웨이퍼들을 보지하는 중심의 지지 구조물이 하 구멍을 통해 셸 안에 조립되며 셸에 관해 중심의 지지 구조물을 회전시켜 위치에 고착시킨다는 것이다. 금속의 패스너들을 사용하지 않는다.
게다가, 중심의 지지 구조물은 셸의 꼭대기의 구멍 안으로 연장하는 칼러와 중심의 지지 구조물의 꼭대기 부를 슬라이드가능하게 교합하는 로벗식 들어 올림 플랜지를 통해 셸의 꼭대기에 교합하여 잠그며 또한 그에 의해 그 지지 구조물을 셸에 비회전가능하게 잠근다. 또, 금속의 패스너나 구성요소들을 사용하지 않는다.
본 발명의 또 다른 목적과 장점은 모듈의 내부와 외부 사이의 갈라진 틈들이나 또는 구멍들은 탄성 중합체 밀봉재 따위에 의하여 밀봉된다는 것이다. 전방 도어에 쓰는 외의 갈라진 틈들이나 구멍들은 형상이 원형이며 O링 따위에 의해 밀봉된다.
본 발명의 또 다른 목적과 장점은 핸들들이, 금속의 패스너들이나 또는 타의 따로따로의 패스너 없이 또 단단한 측벽들에 갈라진 틈들이나 또는 구멍들 없이, 모듈에 용이하게 부가되고 제거될 수 있다는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적과 장점은 구성 부품들을 세정을 위해 및/또는 정비를 위한 대체를 위해 용이하게 분해할 수도 있다는 것이다.
도 1은 본 발명을 도모하는 수송 모듈의 사시도이다.
도 2는 본 발명을 구체화하는 수송 모듈의 컨테이너 부의 사시도이다.
도 3은 본 발명을 구체화하는 수송 모듈에 대한 도어 이면 커버의 사시도이다.
도 4는 수송 모듈의 여러가지 구성 부품들을 보이는 분해도이다.
도 5는 수송 모듈의 컨테이너 부의 사시도이다.
도 6은 안내해 들이는 구조물의 사시도이다.
도 7은 컨테이너 부의 셸의 밑바닥 그림이다.
도 8은 중심의 지지 구조물의 평면도이다.
도 9는, 도 8의 9-9 선에서 취한 단면도이다.
도 10은, 도 7의 10-10 선에서 취한 단면도이다.
도 11은 중심의 지지 구조물의 꼭대기 부의 정면도이다.
도 12는 로벗식 플랜지를 포함하는 제 2의 접속 부재의 정면도이다.
도 13은, 도 8의 13-13 선에서 취한 단면도이다.
도 14는 핸들의 정면도이다.
도 15는 핸들의 측면도이다.
도 16은 핸들을 위한 리세스를 보이는, 셸의 부분의 측면도이다.
도 17은, 도 16의 17-17 선에서 취한 단면도이다.
도 18은 핸들과 핸들을 받는 리세스에 초점을 맞추고 있는 본 발명의 대체 실시양태의 정면도이다.
도 19는, 도 18의 19-19 선에서 취한 단면도이다.
도 20은, 도 18의 20-20 선에서 취한 단면도이다.
도 21은 핸들의 대안의 실시양태를 보이는 모듈의 부분의 측면도이다.
도 22는 핸들의 정면도이다.
도 23은, 도 21의 23-23 선에서 취한 단면도이다.
도 24는, 도 21의 24-24 선에서 취한 단면도이다.
도 1, 2 및 3을 참조하면 일반적으로 수자 (20)으로 지정된, 웨이퍼들 용의 합성 수송 모듈이 주로 컨테이너 부 (22)와 도어 (24)로 구성돼 있다. 컨테이너 부는 로벗식의 들어 올림 플랜지 (26)과 수동식 들어 올림 핸들들 (28)을 포함하고 있다. 도어 (24)는 수동개방 핸들 (30)과 로벗 수단을 통해 개방시키는 가능성을 제공하는 키 슬롯 (32)를 가지고 있다. 도 2는 컨테이너 부와 그의 개방 내부 (36)을 상기 개방 내부에 축방향으로 배열되어 지지된 것을 보인 복수의 웨이퍼와 함께 나타내고 있다. 도 3은, 도어의 내측 표면 (40)을 보이고 있다. 도어는, 도어가 위치에 있는 때 위이퍼들을 교합하여 제지하는 한쌍의 웨이퍼 억제장치 (42)를 가지고 있다. 그 웨이퍼 억제장치는 탄성이 있는 성형의 플라스틱인 유연성의 이들(teeth) (44)로 형성돼 있다. 도어 (24)는 컨테이너 부 (22) 상의 도어 플랜지 (46) 안에 맞으며 도어 외위(enclosure) (50)으로부터 도어 플랜지의 리세들 (54)를 교합하게 연장하고 수축시키는 래치들 (48)을 활용고 있다. 도어는, 이 그림에는 도시하지 않은, 상호 독립하여 그리고 수동식 도어핸들 (30) 또는 키 슬롯 (32)를 통해 작동하는, 한쌍의 내부의 래치 기구를 가지고 있다. 도 2는 또한, 일편의 처리장비 (55)를 수송 모듈이 교합돼 있는 모듈 접촉면 부 (56)과 함께 묘사하고 있다.
도 4를 참조하면, 수송 모듈의 분해 사시도로서 그 구성과 각종 구성부품들의 상세를 보이고 있다. 컨테이너 부 (22)는 주로 셸 (58)과 중심의 지지 구조물 (60)으로 구성돼 있다.
셸 (58)은 구멍 (66)이 있는 꼭대기 (64), 하 구멍 (70)이 있는 밑바닥 (68), 개방 전면 측 (72), 양자 모두 내향으로 연장하는 리세스 (78)로서 구성된 핸들 받이 부가 있는 좌측벽 (74), 및 우측벽 (76)을 가지고 있다. 현저하게, 그 리세스들은 내부로 돌출하나 내부 (74)와 컨테이너의 외부의 사이에는 균열, 갈라진 틈, 구멍 또는 뚫린 데가 없다. 측벽들은 연속적이며 단단하다. 핸들 받이 부들은 측벽의 부분인 리세스의 평면 부 (80)을 포함한다.
중심의 지지 구조물 (60)은, 운동학적 커플링을 구성하는 셋의 접촉면 구조물들 (88)이 있는 판으로서 구성된 장비 접촉면을 가진 밑바닥 부로 구성돼 있다. 각각이 복수의 선반 (94)를 함유하며 웨이퍼 받이 구역 (95)를 형성하는 한쌍의 웨이퍼 지주 (92)는 기계 접촉면 부 (86)과의 완전체이다. 각 선반은 웨이퍼 교합 부 (96)을 가지고 있다. 웨이퍼 지주들 (92)는, 그 지주의 꼬대기들 (98) 사이에 연장하며 제 1의 접속부재 (104)를 또한 포함하는 걸침 부재 (101)을 포함하고 있는 꼭대기 부 (100)과의 완전체이다.
중심의 지지 구조물 (60)은 셸 (58)의 하 구멍 (70) 안으로 상향으로 조립하여 제 1의 접속부재는 셸 (58)의 꼭대기 (64) 상의 구멍 (66)을 통해 상향으로 연장하는 것이다. 제 2의 접속부재 (106)은, 중심의 지지 구조물의 셸 내의 보존을 위하여 제 1의 접속부재 (104) 상에 활주가능하게 교합시킨다. 로벗식 들어 올림 핸들 (108)과의 완전체인 제 2 접속부재 (106)은 플랜지로서 형성되었다. 셸은, 중심의 지지 구조물 상의 셸 교합 부 (115)의 부분으로서의 제 2의 교합 부재 (114)와 교합시키는 지지 구조물 교합 부 (113)의 부분으로서의 제 1의 교합 부재 (112)를 또한 포함한다. 이들 협력 교합 부재들은 중심의 지지 구조물을 셸에 안으로 또한 고정시킨다. 제 1의 O링 (118)이 중심의 지지 구조물의 꼭대기 부 (100)과 셸의 꼭대기 (64)의 사이에 교합되어 그의 둘레의 밀봉을 이루어내게 된다. 마찬가지로, 제 2의 O링 (120)이 기계 접촉면 부 (86)과 셸의 밑바닥 (68)의 사이를 밀봉한다. 도 5를 참조하면, 수송 묘듈 (20)은 도어 (24)가 제거되어 트인 내부 (36)과 각종의 내부 구조물을 드러내고 있다. 이 특유의 실시양태는, 측벽들 (74, 76)의 내부 표면 상의 그와 완전체인 레일들 (124, 126)과 교합하는 안내 구조물 (122)을 활용한다. 도 6에는 레일들 (124, 126) 안에 맞는 기다란 교합 부재들 (136)을 활용하고 있음을 보이고 있다. 안내 구조물 (122)는 상기 웨이퍼 지주들 (92)의 선반들 (94)에 의하여 한정된 바와 같은 각 슬롯들 (142)에 사실상 평행하며 관련하는 슬롯들 (140)을 한정하는 이들(teeth) (138)을 포함한다. 전형적으로 그 안내 부재들은 로벗식 삽입에 대하여 웨이퍼들을 수동으로 삽입하는 경우 사용하려는 것이다. 이 안내 구조물들 (122)는, 수송 모듈의 내외로의 더 많은 각각의 웨이퍼의 왕복운동 중에 각 웨이퍼를 지지하게 또한 확장될 수 있다.
도 4, 5 및 8에 가장 잘 나타낸 바와 같이, 중심의 지지 구조물의 하 부는 평면의 상 표면 (170)과, 아래로 하 평면 표면 (176)에 단(step) (174)를 가지고 있는 기계 접촉면 판 (86)을 포함한다. 그 하 평면 표면이 셸 (58)의 밑바닥 (68)의 내향 연장 부 (180)에 직면하고 있음을 주목하기 바란다. 이 내향 연장 부 (180)이, 일반적으로 둥근 하 구멍 (70)을 가로지르는 현으로서 균일하게 연장하고 있지 않고; 오히려 그 이상의 삽입물 부 (184)가 완전히 정렬된 위치를 벗어나 약간 회전한 위치에 중심의 지지 구조물 (60)을 놓이게 하여 선반 상의 제 1의 교합 부재 (112) 중간의 위치로의 제 2의 교합 부재들의 삽입을 대비하게 된다는 것을 주목하기 바란다. 중심의 지지 구조물 (60)은 다음, 도 5에 보인 바와 같이, 조립의 위치에 부분적으로 회전시킬 수 있다.
도 4, 8, 11 및 12를 참조하면, 중심의 지지 구조물 (60)의 상부 (100)과 셸 (58) 간의 접속을 구성하는 요소와 구성성분의 상세를 자세히 나타내고 있다. 그 상부 (100)은 도 11에 잘 나타낸 바와 같이 보통 T형의 단면을 가지고 있는 한쌍의 제 1의 접속부재 (104)를 가지고 있다. 이 제 1의 접속부재 (104)는 로벗식 들어올림 플랜지 (108)의 부분인 제 2의 접속부재 (106)의 역시 T형의 단면을 가진 슬롯들 (186)과 맞물리어 들어맞는다. 중심의 지지 구조물 (60)을 셸 (58) 내의 위치에 삽입하여 적당한 정렬 위치에 회전시킨 후에는, 상부 (100)의 칼러 또는 목 (188)이 구멍 (66)을 통해 연장하게 되며 상기 구멍부를 한정하는 내측 가장자리 (190)을 대면하게 된다. 보다 작은 O링 (118)을 상기 목 (188)의 O링 홈 (194)에 맞추어 그 내측 가장자리에서의 셸과의 밀봉을 만들어 낸다. 도 11의 가상선은 중심의 지지 구조물 (60)의 상부의 목 (188)을 대면하는 때의 셸 (58)의 꼭대기 (64)의 연고관계를 보이고 있다. 제 2의 접속부재 (106)이 제 1의 접속부재 (104)와 맞물리는 때에는, 이렇게, 셸 (58)의 꼭대기 (64)가 상기 제 2의 교합부재 (104)와 중심의 지지 구조물의 상부 (100)의 사이에 샌드위치된다. 제 2의 접속부재 (106)은, 도 4에 보인 따위의 셸 (58)의 꼭대기의 상 표면에 적당히 배치된 멈추개 또는 너브 (202)를 통해 제 1의 접속부재 (104) 상의 위치에 잠그어져도 좋다. 대신에 또는 더하여, 제 2의 접속부재 (106)을 통하여 제 1의 접속부재들 (106)의 나사낸 구멍 (208) 안으로 로벗식 들어올림 플랜지 (108)을 통해 연장하게 되는 스크루 (206)을 활용하여도 좋다.
장비 접촉면 (86)은 도 4, 5 및 8에 잘 나타낸 바와 같이 장비 교합 부 (88)을 의도하여 형성된 운동학적 커플링 (90)을 포함한다. 상기 구조의 하나를 통한 단면도인 도 13을 참조하면, 하 표면 (220)은 도시하지 않은, 장비 상의 부분적인, 구상의 표면을 교합하게 될 홈 (225)를 한정하는 한쌍의 각이룬 면 (222, 224)를 포함한다. 대신, 중심의 지지 구조물 (60)의 접촉면 부가 상기 셋의 부분적인 구면을 포함할 수 있으면 협력 장비는 각이룬 면으로 형성된 홈들을 포함한다. 대신, 장비 접촉면 (86)은 연합장비와 협력시킬 대체의 형상과 특징을 포함할 수도 있다. 도 2, 14, 15, 16 및 17을 참조하면, 제거가능한 수동식 들어올림 핸들 (28)의 구성과 조립의 상세를 나타내 있다. 핸들은 손잡이 부 (240)과 셸 교합 부 (242)로 이루어져 있다. 셸 교합 부는 멈춤쇠 (246)과 떠받치개 (248)이 있는 탄성부 (244)를 이용한다. 멈춤쇠 (246)은, 리세스 (78) 안으로의 핸들의 삽입과 셸 (58) 상의 제 2의 교합 구조 (254) 밑으로의 회전을 손쉽게 하는 쐐기 부 (250)을 가지고 있다. 상기 제 2의 교합 구조는, 상기 핸들이 상기 리세스 (78)에 잠그어진 위치에 있는 경우 핸들 교합 부(242) 상의 연장부 (258)에 대응하는 안내 스트립으로 형성된, 한쌍의 내향연장 부재 (255)로 이루어져 있다. 그러한 잠그어진 위치에 있어서는, 멈춤쇠 (246)과 떠받치개 (248)은 안내 스트립 (255)의 양 끝에 있다. 리세스 (78)은, 셸과 완전체인 링형상 부 (264)로 형성된 원주의 리세스 벽과 완전체의 평면부 (262)를 통해 한정된다. 안내 부재들 (255)는 상기 링형상 부 (264)와 일체로 되어 그로부터 연장하고 있다. 상기 구성은, 도 16에 보인 리세스 (78) 안으로 핸들 (28)을 단지 배치함에 의해 외향연장 부를 안내 부재들 (255)의 중간에 배치하고 다음 제 1의 교합구조를 가진 상기 핸들을 시계 방향으로 회전시킴으로써 멈춤쇠 (246)을 포함하는 연장부 (258)이 가이드 부재 (255) 아래를, 떠받치개 (248)이 그들의 각각의 착석위치 (270)에 있게 되는 점에서 그들의 착석 위치 (269)의 위치에 멈춤쇠 (246)이 물릴 때까지 회전시킴에 의하여 설치를 용이하게 한다.
현저하게, 이 특별한 형상은 세정하기 위해서나 저장 또는 로벗의 응용이 핸들의 이용을 필요로 하지 않는 때 등의, 핸들의 설치와 제거를 쉽게 한다. 게다가, 수송 모듈의 내부와 외부간의 분리의 보전성에 영향이 없다. 환언하면, 상기 셸에 핸들의 접속을 달성하는 데는 측벽들을 통하는 갈라진 틈들이나, 구멍들 또는 패스너들이 없다.
도 18을 참조하면, 제거가능한 핸들 (28)의 대체 실시양태를 포함하는 교합 구조 (275)를 보이고 있다. 이 실시양태는 밑에 평면부 (262)가 있는 내향으로 연장하는 리세스 (78)을 측벽 (74)에 또한 활용한다. 리세스 벽 또는 경계부 (274)가 둘레에 연장하여 상기 리세스를 한정하며 평면부 (262)와 측벽 (74)는 완전체이다. 제 1의 교합부재 (276)은 리세스 벽 (274)로부터 내향으로 연장하는 넷의 태브로 구성돼 있다. 수동식 들어 올림 핸들 (28)은 손잡이 부 (240)과, 멈춤쇠들 (284)가 있는 탄성 유연부들을 가진 평면부 (277)를 포함하는 교합부 (254)로 이루어져 있다. 수동식 핸들 (28)을 리세스 (78) 안으로 삽입하여 탄성부들 (280)이 태브들 (276) 중간에 놓이게 한 다음 핸들을 좌측으로 활주시켜 멈춤쇠들이 상기 태브들 밑으로 연장하게 하여 도 18에 보인 바와 같이 그들의 잠금위치에 도달할 때까지 미끄러뜨린다. 이 구성 또한 수송 모듈의 내부를 외부와 분리하는 측벽의 보전성을 파괴하지 않는다. 멈춤쇠를 활용하는 협력 교합부재들이 있는 핸들을 활용하는 타의 구성이 또한 이용가능하다. 멈춤쇠의 이용은 핸들의 배치와 제거에 있어 고수준의 유연성을 제공하며 예를 들어, 상이한 작업자들을 위한, 상이한 사이즈의 핸들들의 교환을 가능하게 한다.
셸 부의 자재는 폴리카보네이트나 폴리에테르이비드 따위로 바람직하게 사출성형된다. 중심의 지지 구조물도 더할 나위 없이 또한 일체로 사출성형되며 정전기 소산 특성을 제공하는 탄소섬유 충전의 PEEK나 또는 유사재료로 이상적으로 형성되어도 좋다. 로벗식 들어 올림 핸들을 포함하는 꼭대기의 제 2의 접속부재는 탄소섬유 충전의 PEEK나 또는 타의 정전기 소산성의 사출성형의 재료로 또한 형성되어도 좋다.
도어를 잠그기 위하여 활용되는 장치는 변경될 수 있으며 안토니 시. 보노라 및 그 외에 대한 미국특허 제 4,995,430 호에 보인 그런 것이거나, 또는 유사한 장치들이어도 좋다.
도 19 및 20을 참조하면, 단면도들이 도 18에 보인 바와 같이 셸과 핸들 부재를 통해 그려져 있다. 멈춤쇠 (284)은 교합부재 (276) 밑으로의 삽입을 도울 쐐기형상 부 (250)을 포함하고 있음에 주목하기 바란다. 도 21 22, 23 및 24를 참조하면, 핸들 부재와 셸의 협력 교합 구조물의, 추가의 실시양태의 각종 그림들을 보이고 있다. 이 특유한 실시양태에서는 멈춤쇠 부재들 (300)은 보통 리세스의 평면부로부터 그리고 따라서 보통 셸의 측벽으로부터 연장한다. 멈춤쇠 부재들은 일반적으로, 원형의 구멍 (314)를 활용하는 협력의 제 2의 교합부재 (312)에 들어 맞는 크기로 만든 한쌍의 각이룬 또는 쐐기형상 부 (312)로 이루어져 있다.
본 발명의 수송 모듈은, 기계 접촉면과 웨이퍼 지지부재 등에 대하여 단일의 완전체의 구성요소를 활용하기 때문에 고도의 불합격의 개별 부품 및 / 또는 고도의 불합격 수준의 조립모듈로 변질되지 않는다.
또 본 발명의 수송모듈은, 모듈의 측벽에 대한 핸들의 부착이 모듈이 내부와 외부간이 갈라진 틈이 없이 성취되므로, 웨이퍼를 손상시키는 오염물질의 모듈내에의 침입이 방지된다.
또 본발명의 수송모듈은 금속의 패스너를 사용하지 않아, 마찰이나 긁힘에 의한 오염물질 발생이 없다.
본 발명은 그의 정신 또는 필수의 속성을 일탈함이 없이 타의 특정한 형태로 구체화되어도 좋으며, 따라서 본 실시양태는 모든 점에서 예증즉이며 한적적이 아니고, 본 발명의 범위를 지정함에는 참조가 앞의 설명보다 첨부의 청구의 범위에 이루어지고 있는 것으로 고찰함이 바람직하다.

Claims (33)

  1. 꼭대기와, 밑바닥, 그리고 개방 내부, 및 위이퍼들의 삽입과 제거를 위한 개방 정면을 가진, 웨이퍼 용 수송 모듈로서,
    a) 좌측 벽, 우측 벽, 개방 전면, 및 적어도 하나의 아래 구멍이 있는 밑바 닥을 가진 셸;
    b) 축방향으로 정렬되어 치쌓아진 관계에 웨이퍼들을 지지하는 웨이퍼 지지 선반들의 적어도 둘의 기둥과 상기 아래 구멍을 통해 노출된 완전체의 아래의 장비교합부를 함유하고, 셸의 개방 내부에 배치되어 웨이퍼 받이 구역을 한정하는 중심의 지지 구조물; 및
    c) 모듈의 개방 전면을 닫는 도어,
    로 이루어지는 모듈.
  2. 제 1 항에 있어서,
    셸은 꼭대기와 밑바닥을 가지고 있어, 상기 꼭대기와 밑바닥 중의 하나가 중심의 지지 구조물을 받는 크기로 된 구멍을 가지며, 그 중심의 지지 구조물은 상기의 구멍을 통해 수송 모듈 안에 조립하는 수송 모듈.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 구멍이 셸의 밑바닥 측에 있고 셸은 제 1의 교합부재를 포함하고 중심의 지지 구조물은 장비 교합 부를 포함하는 완전체의 장비 접촉면을 가지고 있으며, 장비 교합 부는 상기 제 1의 교합부재와 협력하는 완전체의 제 2의 교합부재를 가지고 있어 그에 의해 중심의 지지 구조물을 상기 셸 내에 고정되는 수송 모듈.
  4. 제 1 항에 있어서,
    중심의 지지 구조물은 셸 교합 부를 가지고 있으며 셸은 협력하는 지지 구조물 교합 부를 가지고 있어 그에 의해 상기 셸과 지지 구조물 교합 부가 서로에 관한 회전에 의해 상호 교합하여 맞물리게 됨으로써 상기 중심의 지지 구조물을 상기 셸에 고정시키는 수송 모듈.
  5. 제 1 항에 있어서,
    모듈로부터 상향으로 연장하며 중심의 지지 구조물과 직접 교합되는 로벗식 들어 올림 플랜지를 더 함유하는, 수송 모듈.
  6. 제 1 항에 있어서,
    중심의 지지 구조물이 꼭대기와 밑바닥의 아래 구멍 인접에서 셸을 교합하는 수송 모듈.
  7. 제 1 항에 있어서,
    셸에 회전가능하게 교합할 수 있고 뗄 수 있으며 셸의 우측 및 좌측으로부터 연장하는 한쌍의 핸들을 더 함유하는, 수송 모듈.
  8. 제 7 항에 있어서,
    핸들의 그 쌍이 상기 측벽을 통한 어떤 구멍을 활용함이 없이 셸을 또한 교합하는 수송 모듈.
  9. 개방 내부, 및 위이퍼들의 삽입과 제거를 위한 개방 전면을 가진, 웨이퍼 수송 모듈로서,
    a) 구멍이 있는 꼭대기, 주변이 있는 밑바닥 구멍을 가진 밑바닥, 및 개방 내부를 가지는 외측 셸,
    b) 꼭대기 부와 기계 접촉면을 가진 밑바닥 부와를 가지고, 그 꼭대기 구멍 에서와 그 밑바닥 구멍에서 셸과 교합되며, 하향에 면하는 기계 접촉면을 가진, 완전체의 중심의 지지 구조물, 및
    c) 개방 전면을 닫는 도어,
    로 이루어지는 모듈.
  10. 제 9 항에 있어서,
    꼭대기 구멍은 또한 사실상 원형이며, 셸과 중심의 지지 구조물의 꼭대기 부의 사이를 밀봉하기 위해 그 구멍에 제 1의 일래스토머 실(seal)을 더 함유하는, 수송 모듈.
  11. 제 10 항에 있어서,
    밑바닥 구멍은 사실상 원형이며, 셸과 중심의 지지 구조물의 하부의 사이를 밀봉하기 위해 그 밑바닥 구멍에 제 2의 일래스토머 실(seal)을 더 함유하는, 수송 모듈.
  12. 제 9 항에 있어서,
    모듈의 내부에 한쌍의 웨이퍼 지주를 더 함유하고, 상기 웨이퍼 지주는 중심의 지지 구조물과 완전체인 수송 모듈.
  13. 제 9 항에 있어서,
    제 1의 O링을 더 함유하여 셸과 꼭대기 부가 상기 O링을 통하여 밀봉되는, 수송 모듈.
  14. 제 9 항에 있어서,
    중심의 지지 구조물의 하부와 셸이 회전가능하게 함께 고정되는 수송 모듈.
  15. 꼭대기, 밑바닥, 도어구멍이 있는 전면측, 좌측벽, 우측벽, 도어구멍을 막는 크기로 된 도어, 및 한쌍의 핸들을 함유하고, 좌측벽과 우측벽은 각각 제 1의 교합 구조를 그에 가지고, 각 핸들은 상기 제 1의 교합 구조 중의 하나와 슬라이드가능하게 교합가능하고 탈교합가능한 협력의 제 2의 교합 구조를 가지고 있어 그에 의하여 상기 핸들의 각각이 상기 우 및 좌 측의 벽에 어떠한 구멍을 이용함이 없이 상기 모듈의 우 및 좌 측에 설치가능하고 제거가능한 웨이퍼 수송 모듈.
  16. 제 15 항에 있어서,
    각 제 1의 교합 구조와 각기 협력하는 제 2의 교합 구조가 멈춤쇠를 함유하여 그에 의하여 상기 제 1의 교합 구조와 상기 제 2의 교합 구조가 슬라이드가능하게 교합할 수 있고 함께 잠글 수 있는 수송 모듈.
  17. 제 16 항에 있어서,
    제 2의 교합 구조는 제 1의 교합 구조에 관하여 회전의 방향에 슬라이드가능하게 교합할 수 있는 수송 모듈.
  18. 제 16 항에 있어서,
    제 2의 교합 구조는 제 1의 교합 구조에 관하여 사실상 직선의 방향에 슬라이드가능하게 교합할 수 있는 수송 모듈.
  19. 제 15 항에 있어서,
    제 1의 교합 구조의 각각은 각기의 좌 및 우 측벽의 각각에 내향연장의 리세스를 함유하는 수송 모듈.
  20. 꼭대기, 밑바닥, 개방 내부에의 접근을 제공하는 도어구멍이 있는 전면측, 막힌 좌측벽과 막힌 우측벽을 가진 셸, 도어구멍을 막는 크기로 된 도어, 및 한쌍의 핸들을 함유하고, 좌측벽과 우측벽은 각각 제 1의 교합 구조를 그에 가지고, 각 핸들은 멈춤쇠를 포함하는 협력의 제 2의 교합 구조를 가지는 동시에 상기 제 2의 교합 구조들은 상기 제 1의 교합 구조 중의 하나와 제거가능하게 교합할 수 있어 그에 의하여 상기 핸들의 각각이 우 및 좌 측의 각기의 벽에 어떠한 따로의 패스너를 이용함이 없이 부착가능하고 제거가능한 웨이퍼 수송 모듈.
  21. a) 구멍이 있는 꼭때기와, 웨이퍼를 받아들이며 철회시키는 전방 구멍을 가 진 전면, 및 개방 내부,를 가진 셸;
    b) 개방 전면을 닫는 도어;
    c) 개방 내부에 웨이퍼를 지지하게 배치된 복수의 기둥의 웨이퍼 지지물과 꼭대기 구멍에서 셸과 교합되는 완전체의 상부를 함유하는 중심의 지지 구조물; 및
    d) 상기 구멍에서 상기 상부에 고정되고 상기 셸 위로 연장하는 로벗식 들 어 올림 핸들,
    로 이루어지는 수송 모듈.
  22. 제 21 항에 있어서,
    셸은 하 구멍을 더 함유하며 중심의 지지 구조물은 상기 하 구멍에 하향으로 드러난 장비 교합 부를 더 함유하는 수송 모듈.
  23. 제 22 항에 있어서,
    셸은 상기 하 구멍에서 중심의 지지 구조물에 고정되는 수송 모듈.
  24. 제 23 항에 있어서,
    장비 교합 부는 웨이퍼 지지물의 기둥과 완전체인 수송 모듈.
  25. 개방 내부와 웨이퍼의 삽입과 제거를 위한 개방 전면을 가진 컨테이너 부, 막힌 좌측벽 및 막힌 우측벽을 함유하며, 그 컨테이너 부는 적어도 하나의 웨이퍼 지주와 완전체인 장비 접촉면을 또한 함유하고, 장비 접촉면과 웨이퍼 지주는 좌측벽 및 우측벽과 갈라져 성형되고, 수송 모듈은 개방 전면을 닫는 도어를 더 함유하는, 합성의 수송 모듈.
  26. 제 25 항에 있어서,
    컨테이너 부는 투명의 셸로 이루어져 하 구멍이 있는 밑바닥을 가지고 있고, 장비 접촉면은 그 하 구멍에서 셸에 고정되는 합성의 수송 모듈.
  27. 제 26 항에 있어서,
    셸의 꼭대기는 구멍을 가지고 있으며 수송 모듈은, 그 구멍 안으로 연장하며 웨이퍼 지주와 완전체인, 꼭대기 부를 더 함유하는 합성의 수송 모듈.
  28. 제 27 항에 있어서,
    꼭대기 부와 상기 구멍의 셸과의 사이에 교합되는 일래스토머 실을 더 함유하는, 합성의 수송 모듈.
  29. 제 27 항에 있어서,
    꼭대기 부와 접속관계에 있는 로벗식 들어 올림 플랜지를 더 함유하고, 그 들어 올림 플랜지는 셸 위로 연장하는, 합성의 수송 모듈.
  30. 제 26 항에 있어서,
    셸은 하 구멍의 주변에 제 1의 교합 부를 가지고 있고, 중심의 지지 구조물은 협력하는 제 2의 교합 부를 가지고 있고, 제 1의 교합 부는 제 2의 교합 부와 회전가능하게 교합되어 그에 의해 중심의 지지 구조물이 셸에 고정되는 합성의 수송 모듈.
  31. 제 30 항에 있어서,
    중심의 지지 구조물을 셸에 밀봉하는 하 구멍 둘레의 원형의 일래스토머 실을 더 함유하는, 컨테이너.
  32. 제 26 항에 있어서,
    웨이퍼 지주와 장비 접촉면은 하 구멍에서 셸 내로 조립하는 컨테이너.
  33. a) 꼭때기, 밑바닥, 웨이퍼를 받아들이며 철회시키는 전방 구멍을 가진 전면, 및 개방 내부,를 가진 셸;
    b) 개방 전면을 닫는 도어; 및
    c) 개방 내부에 웨이퍼를 지지하게 배치된 복수의 기둥의 웨이퍼 지지물과 외부의 장비를 교합하는 완전체의 하향에 면하는 하 장비 접촉면을 함유 하고, 중심의 지지 구조물은 정전기 소산성 재료로 성형되어 그에 의해 웨이퍼 지지물은 장비 접촉면에의 직접 도통로를 가지고 있는 중심의 지 지 구조물,
    로 이루어지는 합성의 웨이퍼 컨테이너.
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