KR20030028012A - 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기 및 그의 저장 방법 - Google Patents

백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기 및 그의 저장 방법 Download PDF

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KR20030028012A KR1020010059884A KR20010059884A KR20030028012A KR 20030028012 A KR20030028012 A KR 20030028012A KR 1020010059884 A KR1020010059884 A KR 1020010059884A KR 20010059884 A KR20010059884 A KR 20010059884A KR 20030028012 A KR20030028012 A KR 20030028012A
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Abstract

현존하는 이송 용기의 메인 몸체에 있어서, 다수의 굽힘 저항 어댑터의 갭내에 교호적으로 배치되는 다수의 백 그라운드 웨이퍼는 카세트의 지지홈에 의해 적층된다. 굽힘 저항 어댑터는 백 그라운드 웨이퍼와 접촉하고 굽힘을 억제한다.

Description

백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기 및 그의 저장 방법{TRANSPORT CONTAINER AND STORAGE METHOD OF BACK GROUND WAFERS}
본 발명은 반도체 제품의 생산시 사용되는 실리콘 웨이퍼와 같은 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기 및 저장 방법에 관한 것이다. 보다 자세하게는, 본 발명은 웨이퍼 표면에 전자 회로의 배선 패턴이 형성된 웨이퍼의 저장 및 이송을 위해 백그라운드 웨이퍼용의 적절한 이송 용기 및 저장 방법에 관한 것이며, 상기 배면은 정확한 공정에 의한 백 그라인딩 처리시에 극히 작은 두께로 연삭된다.
종래의 웨이퍼 이송 용기는 바닥을 구비한 원통형 형태의 용기 메인 몸체와, 용기 메인 몸체내에 저장되는 카세트(5)와, 밀봉 부재를 통해 용기 메인 몸체의 개구를 개방 및 폐쇄하는 뚜껑 본체(lid body)와, 상기 뚜껑 본체의 내면상에 선택적으로 놓이는 웨이퍼 리테이너를 포함하며, 다수의 웨이퍼는 지지홈(8) 사이에 특정한 피치로 적층된다. 6인치(대략 150㎜) 및 8인치(대략 200㎜) 직경의 폴리싱된 형태의 웨이퍼가 대량 생산된다. 이들 웨이퍼의 두께는 주로 625㎛ 내지 725㎛이다.
그러나, 각종 공정이 행해지는 웨이퍼의 표면상에 전자 회로의 패턴이 형성되는 경우, 백 그라인딩 처리는 반대 표면(배면)을 연삭하도록 행해져 최종 물품 두께 사양을 만족시킨다. 웨이퍼는 매우 얇게(50㎛ 내지 304㎛) 및 백 그라운드 웨이퍼(W)를 정확하게 제어하도록 처리된다. 이들 백 그라운드 웨이퍼(W)에는 표면상에 전자 회로 패턴이 형성되며, 이것은 매우 고가이다. 또한, 상기 백 그라운드 웨이퍼가 실제로 굽혀지고 쉽고, 기계적으로 손상되기 쉽기 때문에, 세심한 주위를 가지고 백 그라운드 웨이퍼를 취급할 필요가 있다(이점에 대해 도 1을 참조함).
종래의 웨이퍼 이송 용기에 있어서, 다수의 백 그라운드 웨이퍼(W)는 상기와 같은 저장을 위해 카세트(5)내의 지지홈(8) 사이에 단지 적층된다. 백 그라운드 웨이퍼가 다이싱(dicing)과 같은 다음 공정을 위해 다른 위치로 저장 및 이송되는경우, 백 그라운드 웨이퍼(W)의 두께와 카세트(5)의 지지홈(8)의 치수 사이의 치수 불일치가 증가할 때, 백 그라운드 웨이퍼는 마찬가지로 쉽게 느슨하게 된다. 이송중의 진동으로 인해, 백 그라운드 웨이퍼(W) 사이에서 비교적 쉽게 공진이 야기될 수 있다. 또한, 종래의 이송 용기에 있어서, 백 그라운드 웨이퍼를 보유하는 일부가 전혀 제공되지 않는 경우, 느슨하게 되는 범위가 커짐에 따라, 백 그라운드 웨이퍼(W)는 굽혀지기 쉽고 서로 많이 접촉하게 된다. 결과적으로, 허용가능한 강도 한계가 초과될 수 있어, 웨이퍼가 진동하며, 결과적으로, 백 그라운드 웨이퍼가 손상되거나 또는 파손될 수 있는 위험성이 있다.
또한, 다수의 대직경 백 그라운드 웨이퍼(W), 또는 전자 회로 패턴이 형성된 다수의 백 그라운드 웨이퍼(W)의 이송동안, 만일 한개의 피스가 손상된다면, 손상된 피스가 다른 백 그라운드 웨이퍼(W)의 전자 회로에 악영향을 가하는 소위 2차적인 손실이 발생한다. 이러한 것이 발생할 경우, 모든 백 그라운드 웨이퍼(W)는 대부분의 모든 경우에서 사용할 수 없게 되어, 상당한 재정적인 손실을 가져온다.
그러한 문제를 고려하여, 일본 특허 공개 제 1997-129719 호 및 일본 특허 공개 제 1997-246369 호에서는 이송 용기의 용기 메인 몸체에 대해 대략 원통형 형상을 갖는 원통형 섹션을 제공하고, 다수의 백 그라운드 웨이퍼가 상기 원통형 섹션 내측의 쿠션 재료 사이에 수평하게 층으로 적층되는 방법을 개시한다. 그러나, 상기 방법에는 특별한 장치가 필수적이며, 이는 현존하는 장치가 전혀 사용될 수 없다고 하는 다른 문제점을 야기시킨다.
전술한 바를 살펴보면, 본 발명의 목적은 백 그라운드 웨이퍼의 손상 또는 파손을 야기하는 진동에 의해 비교적 쉽게 백 그라운드 웨이퍼가 서로 공진하도록 하는 위험성을 효과적으로 억제 및 제거할 수 있는 백 그라운드 웨이퍼용 이송 용기 및 백 그라운드 웨이퍼용 저장 방법을 제공하고; 손상된 백 그라운드 웨이퍼의 파손된 피스가 다른 백 그라운드 웨이퍼에 악영향을 미치는 소위 2차적인 손실을 방지하며, 또한 현존하는 장치를 사용할 수 있도록 하는 것이다.
본 발명은 전술한 목적을 달성할 수 있으며, 이들 요점은 하기와 같다.
본 발명의 제 1 실시예에 따르면, 용기 메인 몸체내에 백 그라운드 웨이퍼를 저장하는 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기는 용기 메인 몸체가 굽힘 저항 어댑터 사이의 갭내에 백 그라운드 웨이퍼를 샌드위치시키는 적어도 한쌍의 굽힘 저항 어댑터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 실시예에 따르면, 상기 제 1 특징부를 갖는 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기는 굽힘 저항 어댑터의 적어도 하나의 표면이 접촉에 의해 백 그라운드 웨이퍼의 굽힘을 제한하는 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 실시예에 따르면, 상기 제 1 특징부를 갖는 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기는 회전 제한 부재가 각 굽힘 저항 어댑터에 제공되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 4 실시예에 따르면, 상기 제 2 특징부를 갖는 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기는 회전 제한 부재가 각 굽힘 저항 어댑터에 제공되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 5 실시예에 따르면, 다수의 굽힘 저항 어댑터와 다수의 백 그라운드 웨이퍼가 용기 메인 몸체내의 지지홈 사이에 저장되는 백 그라운드 웨이퍼의 저장 방법은 상기 다수의 굽힘 저항 어댑터가 백 그라운드 웨이퍼를 상기 용기 메인 몸체내에 저장하기 위한 갭 공간 사이에 각 백 그라운드 웨이퍼를 샌드위치시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 이송 용기는 상면 개방형 박스 타입일 수 있거나, 또는 전면 개방형 박스 타입일 수 있다. 다수의 백 그라운드 웨이퍼를 이송 용기내에 배치 및 저장하기 위한 수단으로서, 다수의 백 그라운드 웨이퍼를 카세트내에 배치 및 저장하고 상기 카세트를 용기 메인 몸체내에 저장시키는 방법과; 지지홈을 하나의 유닛으로서 용기 메인 몸체의 2개의 내측벽에 각기 일체식으로 형성하고, 다수의 지지홈을 이용해 다수의 백 그라운드 웨이퍼를 배치 및 저장하고, 카세트를 생략하는 방법; 및 다른 방법이 이용될 수 있다. 백 그라운드 웨이퍼의 재료 및 직경은 3인치, 6인치, 8인치, 12인치 등의 실리콘 웨이퍼일 수 있으며, 필요에 따라 바뀔 수 있다. 백 그라운드 웨이퍼의 개수는 12피스, 13피스, 24피스, 25피스, 26피스 등일 수 있다.
본 발명에 따르면, 이송 용기가 이송용으로 사용될 경우, 백 그라운드 웨이퍼가 굽힌채로 저장될 지라도, 갭을 가로질러 대향된 굽힘 저항 어댑터는 백 그라운드 웨이퍼와 접촉하고 굽힘을 제한한다.
도 1은 종래의 이송 용기의 카세트내에 배치되고 저장되는 굽혀진 상태의 백 그라운드 웨이퍼를 도시하는 부분 단면적인 평면도,
도 2는 본 발명에 따른 백 그라운드 웨이퍼의 저장 방법 및 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기의 실시예를 도시하는 전개 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기의 실시예에 있어서 굽힘 저항 어댑터를 도시하는 예시적인 도면의 정면도,
도 4는 본 발명에 따른 백 그라운드 웨이퍼의 저장 방법 및 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기의 제 2 실시예를 도시하는 전개 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기의 제 2 실시예를 도시하는 도면으로서, 도 4의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도,
도 6은 본 발명에 따른 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기의 제 3 실시예에 있어서 굽힘 저항 어댑터를 도시하는 정면도,
도 7은 본 발명에 따른 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기의 제 3 실시예에 있어서 굽힘 저항 어댑터를 도시하는 도 6의 Ⅵ-Ⅵ선 단면도,
도 8은 본 발명에 따른 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기의 제 4 실시예를 도시하는 단면도,
도 9는 본 발명에 따른 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기의 제 4 실시예에 있어서 굽힘 저항 어댑터를 도시하는 정면도,
도 10은 본 발명에 따른 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기의 제 4 실시예에 있어서 굽힘 저항 어댑터를 도시하는 도 9의 Ⅸ-Ⅸ선 단면도,
도 11은 본 발명에 따른 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기의 제 5 실시예를 도시하는 전개 사시도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
2 : 용기 메인 몸체3 : 리세스
5 : 카세트6 : 측벽
8 : 지지홈15 : 굽힘 저항 어댑터
13 : 웨이퍼 리테이너14 : 지지 피스
하기에 있어서, 본 발명의 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 상술된다. 본 실시예에 있어서, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같은 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기에 대해, 현존하는 이송 용기(1)의 용기 메인 몸체(2)내에는 다수의 굽힘 저항 어댑터(15)가 배치되어 있으며, 카세트(5)의 지지홈(8)을 통해 착탈식으로 갭 사이에 다수의 백 그라운드 웨이퍼(W)를 지지하도록 정렬된다.
도 2에 도시된 바와 같은 이송 용기(1)는 바닥을 구비한 장방형 배럴의 종래의 용기 메인 몸체(2)와, 폴리프로필렌으로 제조되며 다수의 백 그라운드 웨이퍼(W)와 굽힘 저항 어댑터(15)가 교호적으로 그 내에 배치 및 정렬되는 카세트(5)와, 밀봉 부재(12)를 통해 용기 메인 몸체(2)의 개구를 개방 및 폐쇄하는 뚜껑 본체(lid body)(9)와, 다수의 웨이퍼(W)가 진동하는 것을 방지하고 충격을 가하는 것을 방지하며 상기 뚜껑 본체(9)의 내면상에 선택적으로 놓이는 웨이퍼 리테이너(13)를 포함한다. 용기 메인 몸체(2)는 예를 들면, 내화학성 등이 우수한 폴리프로필렌 등을 사용해 사출 성형함으로써 투명하게 형성된다. 상기 용기 메인 몸체(2)의 개구의 주연부는 밀봉 부재(12)용 삽입 리세스(3)를 형성하도록 얇게 형성되고, 다수의 후크(4)가 용기 메인 몸체(2)의 2개의 외측 측벽의 상부로부터 각기 돌출한다.
도 2에 도시된 카세트(5)는 그들 사이에 간격을 외쪽과 오른쪽 대향 측면에 한쌍의 측벽(6)을 갖는다. 단부 벽(7)은 이들 쌍으로 이루어진 측벽(6) 사이의 전방부 및 후방부에 배치된다. 각 측벽(6)의 내면에는 상부에서 하부 방향으로 연장하는 다수의 지지홈(8)이 전방에서 후방으로 나란히 형성된다. 다수의 지지홈(8)은 저장을 위해 소정의 피치로 평행하게 다수의 백 그라운드 웨이퍼(W) 및 굽힘 방지 어댑터(15)의 위치를 결정한다. 뚜껑 본체(9)는 내충격성, 내열성 등이 우수한 폴리카보네이트 등을 사용해 사출 성형함으로써 투명하게 형성되어, 백 그라운드 웨이퍼(W)가 관찰될 수 있다. 피봇가능한 플레이트를 포함하는 맞물림 피스(10)는 2개의 측벽의 하부로부터 돌출한다. 각각의 맞물림 피스(10)의 다수의 구멍(11)은 후크(4)와 체결되고 용기 메인 몸체(2)의 개구를 폐쇄한다.
도 2에 도시된 바와 같이 밀봉 부재(12)는 상이한 형태의 폴리에스테르의 탄성중합체와 같은 열가소성 탄성중합체, 실리콘 고무와 같은 합성고무, 및 플루오린함유 고무(fluorine-containing rubber) 등을 사용해 프레임 형태로 형성된다. 뚜껑 본체(9)가 배치될 경우, 상기 뚜껑 본체(9)는 기밀을 보장하기 위한 패킹에 의해 용기 메인 몸체(2)의 리세스(3)에 단단히 끼워맞춰진다. 웨이퍼 리테이너(13)는 내충격성이 우수한 폴리에스테르계의 탄성중합체와 같은 각종 열가소성 탄성중합체와 같은 기본적인 합성수지, 및 폴리프로필렌 등을 사용해 사출 성형함으로써 성긴 프레임 형태로 형성되고, 착탈식으로 뚜껑 본체(9)의 내부에 놓이게 된다. 대략 L자형 단면을 가지며 실제로 탄성체인 지지 피스(14)가 상기 웨이퍼 리테이너(13)의 2개의 측벽상에 전방에서 후방으로 정렬되어 형성되어 있다. 백 그라운드 웨이퍼(W)의 상부의 외주연부 및 굽힘 저항 어댑터(15)를 안내하는 V자형 홈이 각각의 지지 피스(14)의 팁상에 삽입되고 가압되어 접촉된다. 각각의 V자 홈은 지지홈(8) 내측으로의 백 그라운드 웨이퍼(W) 및 굽힘 저항 어댑처(15)의 이동을 제한한다.
도 3에 도시된 바와 같은 각 굽힘 저항 어댑터(15)는 적절한 강성을 갖는 폴리프로필렌 및 폴리카보네이트와 같은 합성 수지, 세라믹, 및 알루미늄과 같은 각종 재료를 사용해 형성된다. 상기 굽힘 저항 어댑터(15)는 백 그라운드 웨이퍼(W)와 대략 동일한 사이즈의 원형 플레이트 형상으로 형성되고, 각 백 그라운드 웨이퍼(W)를 서로 분리시킨다.
전술한 구조체에 있어서, 이송하기 위해 백 그라운드 웨이퍼(W)를 이송 용기(1)내에 저장하는 경우, 우선 굽힘 저항 어댑터(15) 및 백 그라운드 웨이퍼는 카세트(5)의 전방에서 후방으로 지지홈(8) 사이에 교호적으로 저장된다. 쌍으로 이루어진 전방 및 후방 굽힘 저항 어댑터(15)는 그룹으로써 상기 굽힘 저항 어댑터 사이의 갭에 백 그라운드 웨이퍼(W)를 샌드위치 적층시킨다. 그 후, 용기 메인 몸체(2)의 개구에 대해 웨이퍼 리테이너(13)를 구비한 뚜껑 본체(9)가 밀봉 부재(12)를 통해 삽입된다. 백 그라운드 웨이퍼(W) 및 굽힘 저항 어댑터(15)의 이동이 웨이퍼 리테이너(13)의 다수의 지지 피스(14)에 의해 억제될 때, 다수의 백 그라운드 웨이퍼(W)가 이송 용기(1)내에 적절히 저장될 수 있고, 안전하게 이송될 수 있다.
전술한 구조체에 의해, 백 그라운드 웨이퍼가 이동 또는 이송중 진동에 의해 전방 및 후방으로 굽혀질 수 일지라도, 이웃한 굽힘 방지 어댑터(15)가 예를 들면 백 그라운드 웨이퍼(W)의 상부 및 중앙부에 닿아 추가의 굽힘을 억제시킨다. 결과적으로, 간단한 구조에 의해, 백 그라운드 웨이퍼(W)가 서로 닿도록 굽혀지거나 또는 강도 한계를 넘어 진동하여, 백 그라운드 웨이퍼(W)가 손상되거나 또는 파손되는 위험성이 상당히 효과적으로 회피될 수 있다.
또한, 굽힘 저항 어댑터(15)가 격벽으로서 작용하기 때문에, 다수의 대직경 백 그라운드 웨이퍼(W), 또는 전자 패턴이 형성된 다수의 백 그라운드 웨이퍼가 이송될 때 한개의 피스가 손상될 지라도, 파손된 피스가 다른 백 그라운드 웨이퍼(W)상의 전자 회로에 악영향을 미칠 위험성이 전혀 없다. 따라서, 소위 2차적인 손실의 발생을 방지할 수 있으며, 모든 백 그라운드 웨이퍼가 쓸모없게 되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 현존하는 이송 용기(1)가 이송 용기로서 사용될 수 있기 때문에, 특별한 이송 장치 및 공급 장치가 전혀 필요없다. 현존하는 장치의 효과적인 사용이 기대될 수 있으며 실제로 저렴하다.
또한, 현존하는 이송 용기(1)가 이송 용기로서 사용될 수 있기 때문에, 포장동안 과도한 쿠션 재료가 생략될 수 있다. 이로 인해, 소형 포장이 기대될 수 있다. 또한, 각 굽힘 저항 어댑터(15)가 지지홈(8)에 저장될 수 있는 플레이트 형태로 형성되기 때문에, 굽힘 저항 어댑터(15)는 백 그라운드 웨이퍼(W)를 장전 및 제거하는 이송 장치에 의해 백 그라운드 웨이퍼와 유사하게 취급될 수 있다. 결과적으로, 굽힘 저항 어댑터(15)를 다루기 위한 새로운 장치가 필요없다.
다음으로, 도 4 및 도 5에는 본 발명의 제 2 실시예가 도시되어 있다. 본 경우에 있어서, 백 그라운드 웨이퍼(W)와 맞닿는 한쌍의 좌측 및 우측 돌출부(16)가 각 굽힘 저항 어댑터(15)의 2개의 정면 및 배면상에 각기 일체로 형성된다.
각 돌출부(16)는 열가소성 탄성중합체와 같은 가요성 재료를 사용해 전방에 칼럼 형태로 형성되고, 백 그라운드 웨이퍼의 삽입방향으로 평행하게(도 4에서 상부에서 바닥으로) 백 그라운드 웨이퍼(W)의 정면과 배면에서 각기 연장하도록 형성된다. 각 돌출부(16)를 일체로 형성하기 위한 수단으로서, 열 결합 및 초음파 결합외에, 볼록/오목 맞물림에 의해 상호체결, 또는 2개의 칼라 몰딩 또는 삽입 몰딩에 의한 돌출부의 전체 몰딩이 고려될 수 있다. 다른 부분에 대해서는, 전술한 실시예와 동일하고, 생략될 수 있다.
본 실시예에서도, 전술한 실시예와 동일한 기능적 결과가 기대될 수 있다. 또한, 이동 또는 이송중 진동에 의해 백 그라운드 웨이퍼가 굽혀질 지라도, 이웃하는 굽힘 저항 어댑터(15)로부터 돌출하는 돌출부(16)는 백 그라운드 웨이퍼(W)의 상부 및 중심부 등과 맞닿아 그 이상의 굽힘을 효과적으로 억제한다. 백 그라운드 웨이퍼(W)의 굽힘 정도가 감소될 수 있음이 명백하다. 또한, 각각의 돌출부(16)가 열가소성 탄성중합체 등과 같은 가요성 재료로 형성될 경우, 쿠션 효과가 보장된다. 따라서, 굽힘 저항 어댑터(15)가 예를 들면 금속으로 제조될 지라도, 백 그라운드 웨이퍼가 손상될 위험성은 없다.
다음으로, 도 6 및 도 7에는 본 발명의 제 3 실시예가 도시되어 있다. 본 경우에 있어서, 각 굽힘 저항 어댑터(15)의 정면 및 배면상에는 백 그라운드 웨이퍼(W)와 맞닿는 쌍으로 이루어진 좌측 및 우측 돌출부(16)가 각기 돌출한다. 대략 장방형 형상의 회전 제한 부재(17)가 각 굽힘 저항 어댑터(15)의 하부의 외주연부로부터 반경방향 외측으로 돌출한다. 회전 제한 부재(17)는 백 그라운드 웨이퍼(W)의 저장동안 카세트(5)를 형성하는 쌍으로 이루어진 측벽(6)의 하부 사이에 삽입되도록 형성된다(약 3㎜의 갭을 갖는 간극을 포함함). 측벽(6)의 하부에대한 회전 제한 부재(17)의 접촉부는 바람직하게는 R자 형상으로, C자 형상 또는 경사진 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 다른 부분에 대해서는, 전술한 실시예와 동일하고, 생략될 수 있다.
본 실시예에서도, 전술한 실시예와 동일한 기능적 결과가 예상될 수 있다. 또한, 회전 제한 부재(17)가 카세트(5)의 내부에서 굽힘 저항 어댑터(15)의 회전을 억제하기 때문에, 백 그라운드 웨이퍼(W)를 빼낼 때, 테이크-아웃 로봇(take-out robot)의 아암이 굽힘 저항 어댑터(15)를 건드릴 수 있는 위험성이 효과적으로 배제될 수 있으며, 처리의 안정성을 상당히 향상시킨다.
다음으로, 도 8 내지 도 10에는 본 발명의 제 4 실시예가 도시되어 있다. 본 경우에 있어서, 백 그라운드 웨이퍼(W)와 접촉하는 각 굽힘 저항 어댑터(15)의 정면 및 배면으로부터 각각의 반원형 단면 돌출부의 돌출부(16)는 다수로 나란히 돌출된다. 한쌍의 좌측 및 우측 반원형 회전 제한 부재(17)는 각 굽힘 저항 어댑터(15)의 하부의 외주연부로부터 반경방향 외측으로 나란히 돌출한다. 백 그라운드 웨이퍼(W)의 저장동안, 쌍으로 이루어진 회전 제한 부재(17)는 카세트(5)를 형성하는 쌍으로 이루어진 측벽(6)의 하부 사이에 삽입되도록 형성된다(약 3㎜의 갭을 갖는 간극을 포함함). 측벽(6)의 하부에 대한 회전 제한 부재(17)의 접촉부가 R자 형상, C자 형상 또는 경사진 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 다른 부분에 대해서, 전술한 실시예와 동일하고, 생략될 수 있다.
본 실시예에서도, 전술한 실시예와 동일한 기능적 결과가 기대될 수 있다. 또한, 각 돌출부(16) 및 각 회전 제한 부재(17)의 재료는 감소되고, 저렴한 비용으로 제조될 수 있다.
전술한 실시예에 있어서, 각 굽힘 저항 어댑터(15)는 얇은 원형의 평평한 형상으로 형성되지만, 형태에 있어서 어떠한 제한도 부과되지 않고, 사각형 및 오각형 또는 원형 형상과의 조합이 이루어질 수도 있다. 또한, 다수의 굽힘 저항 어댑터(15)는 카세트(5)의 전방에서 후방으로 지지홈 사이에 하나의 텅빈 공간을 이루는 지지홈(8) 사이에 적층될 수 있다. 백 그라운드 웨이퍼(W)는 저장을 위해 카세트(5)내의 매 다른 공간마다 비어있는 다수의 지지홈(8)에 각기 삽입될 수 있다. 각 백 그라운드 웨이퍼(W)는 굽힘 저항 어댑터 사이에 갭을 갖는 한쌍의 굽힘 저항 어댑터(15)의 그룹에 의해 샌드위치될 수 있다. 이러한 공정의 반대 공정이 수행될 수 있다.
또한, 백 그라운드 웨이퍼(W)가 지지홈(8) 사이에 갭 공간을 가지는 굽힘 저항 어댑터(15)에 의해 샌드위치되도록 저장 조건이 형성되는 한, 이송 용기(1)내에 저장되는 백 그라운드 웨이퍼 개수에 부과되는 특별한 제한이 없다. 따라서, 지지홈의 일부가 텅 빌 수 있다.
또한, 도 11의 제 5 실시예에 도시된 바와 같이 각 굽힘 저항 어댑터(15)의 정면과 배면 양자상에, 또는 그들중 어느 한 면상에는, 단일의 또는 다수의 돌출부(16)가 굽힘 저항 어댑터와 동일한 재료로 일체로 형성될 수 있거나, 또는 동일한 재료 또는 상이한 재료중 어느 하나에 의해 형성된 분리 부재가 착탈식으로 제공될 수 있다. 착탈식으로 제공되는 돌출부(16)용 수단으로서, 볼록/오목 맞춤부, 볼록/오목 접합부, 또는 접착 형태의 사용이 언급될 수 있다.
또한, 돌출부의 형상 및 개수는 필요에 따라 조절함으로써 적절히 증가 또는 감소될 수도 있다. 예를 들면, 돌출부(16)의 형상은 정면에서 장방형, 삼각형, 다각형, 타원형, 또는 계란형 등일 수 있다.
본 발명의 이송 용기의 구조는 전술한 예시적인 실시예와 다를 수도 있다. 예를 들면, 용기 메인 몸체의 전방에 개구를 가지며 용기 메인 몸체를 폐쇄하는 뚜껑 본체를 가지는 용기 메인 몸체로 이루어진 전면 개방형 이송 용기일 수 있다. 본 경우에 있어서, 용기 메인 몸체의 각 대향 측벽에는 백 그라운드 웨이퍼를 수평으로 지지하는 지지부가 일정한 간격으로 형성되어 있으며, 본 발명의 굽힘 저항 어댑터가 위에서 아래로 백 그라운드 웨이퍼 사이에 샌드위치될 수 있다.
하기에는, 본 발명과 관련된 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기의 실시예가 비교예와 함께 상술되어 있다.
본 실시예의 이송 용기(1)와 비교예의 이송 용기(1)를 사용하여, 하기의 진동 시험 및 낙하 충격 시험이 각기 수행되었으며, 백 그라운드 폴리싱이 가해진 백 그라운드 웨이퍼(W)의 손상 상태가 시험되었다.
본 실시예의 이송 용기
도 6 및 도 7에 도시된 굽힘 저항 어댑터(15)와, 300㎛ 두께 및 8인치 직경의 백 그라운드 웨이퍼가 카세트(5)의 전방부에서 후방부로 지지홈(8)을 경유해 선택적으로 배치되고 저장된다. 쌍으로 이루어진 전방 및 후방 굽힘 저항 어댑터(15)는 그들 사이에 갭 공간을 가지고 백 그라운드 웨이퍼(W)를 샌드위치하는 그룹으로서 적층된다. 또한, 용기 메인 몸체(2)의 개구에는 웨이퍼리테이너(13)를 갖는 뚜껑 본체(9)가 밀봉 부재(12)를 통해 단단히 끼워맞춤된다. 백 그라운드 웨이퍼(W)와 굽힘 저항 어댑터(15)의 이동은 웨이퍼 리테이너(13)의 다수의 지지 피스(14)에 의해 조절된다. 전체적으로, 12 피스의 백 그라운드 웨이퍼가 이송 용기(1)내에 저장된다.
비교예의 이송 용기
백 그라운드 웨이퍼(W)만이 카세트(5)의 전방부에서 후방부로 지지홈(8)에 의해 배치 및 저장된다. 굽힘 저항 어댑터(15)는 생략될 수 있다. 또한, 용기 메인 몸체(2)의 개구에는 웨이퍼 리테이너(13)를 갖는 뚜껑 본체(9)가 밀봉 부재(12)를 통해 단단히 끼워맞춤된다. 백 그라운드 웨이퍼(W)의 이동은 웨이퍼 리테이너(13)의 다수의 지지 피스(14)에 의해 조절된다. 25개의 백 그라운드 웨이퍼가 이송 용기(1)내에 저장된다.
진동 시험
진동 시험 장치가 사용되었다. 본 진동 시험 장치의 진동판상에는 본 실시예의 이송 용기(1)와 비교예의 이송 용기(1)가 캔버스로 만들어진 밴드에 의해 각기 고정된다. 30㎐ ×5분 + 50㎐ ×5분 + 70㎐ ×5분의 조건으로 진동이 가해진다. 진동이 멈추었을 때, 각 이송 용기의 뚜껑 본체(9)를 천천히 개방하여, 백 그라운드 웨이퍼의 손상을 눈으로 확인한다. 그 결과가 표 1에 요약되어 있다.
손상된 백 그라운드 웨이퍼의 개수
실시예 0/25
비교예 5/25
낙하 충격 시험
본 실시예의 이송 용기(1)와 비교예의 이송 용기(1)에 대해, 판지에 의한 외부 포장과 이송 용기(1)의 상부 및 하부가 각기 쿠션 재료와 접촉하게 되는 내부 포장이 이루어졌다. 그런 후, 각 이송 용기(1)가 낙하되었다. 낙하 방향은 이송 용기(1)의 바닥면이 콘크리트면과 대향하는 직립한 방향이다. 또한, 이송 용기가 낙하될 때, 이송 용기는 콘크리트면 위의 40㎝ 높이에서 자유낙하하여, 이송 용기(1)에 약 50G의 충격이 가해진다.
이러한 방법으로 낙하시킨 후, 각 이송 용기의 뚜껑 본체(9)를 천천히 개방하여, 백 그라운드 웨이퍼의 손상을 눈으로 확인한다. 그 결과는 표 2에 요약되어 있다.
손상된 백 그라운드 웨이퍼의 개수
실시예 0/25
비교예 15/25
전술한 방법에 의해, 본 발명은 진동에 의해 비교적 쉽게 백 그라운드 웨이퍼의 공진, 또는 백 그라운드 웨이퍼의 손상 또는 파손을 포함한 위험성을 효과적으로 억제 또는 제거할 수 있는 효과를 갖는다. 또한, 손상된 백 그라운드 웨이퍼의 피스에 의해 야기되는 악영향에 의해 다른 백 그라운드 웨이퍼를 손상시키는 소위 2차적인 파손을 방지할 수 있다. 또한, 현존하는 장치를 기본적으로 사용할 수 있다.
본 발명은 진동에 의해 비교적 쉽게 백 그라운드 웨이퍼의 공진, 또는 백 그라운드 웨이퍼의 손상 또는 파손을 포함한 위험성을 효과적으로 억제 또는 제거할 수 있으며, 손상된 백 그라운드 웨이퍼의 피스에 의해 야기되는 악영향에 의해 다른 백 그라운드 웨이퍼를 손상시키는 소위 2차적인 파손을 방지할 수 있고, 현존하는 장치를 기본적으로 사용할 수 있다.

Claims (5)

  1. 용기 메인 몸체내에 백 그라운드 웨이퍼를 저장하는 백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기에 있어서,
    상기 용기 메인 몸체는 한쌍의 굽힘 저항 어댑터 사이의 갭내에 백 그라운드 웨이퍼를 샌드위치하는 적어도 한쌍의 굽힘 저항 어댑터를 포함하는
    백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 굽힘 저항 어댑터의 적어도 하나의 표면은 접촉에 의해 백 그라운드 웨이퍼의 굽힘을 제한하는 돌출부를 포함하는
    백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 각각의 굽힘 저항 어댑터는 회전 제한 부재를 포함하는
    백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기.
  4. 제 2 항에 있어서,
    각각의 굽힘 저항 어댑터는 회전 제한 부재를 포함하는
    백 그라운드 웨이퍼의 이송 용기.
  5. 다수의 굽힘 저항 어댑터와 다수의 백 그라운드 웨이퍼가 용기 메인 몸체내의 지지홈 사이에 저장되는 백 그라운드 웨이퍼의 저장 방법에 있어서,
    상기 다수의 굽힘 저항 어댑터는 백 그라운드 웨이퍼를 상기 용기 메인 몸체내에 저장하기 위한 갭 공간 사이에 각 백 그라운드 웨이퍼를 샌드위치시키는 것을 특징으로 하는
    백 그라운드 웨이퍼의 저장 방법.
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