JP2011181867A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体ウェーハ収納用の容器本体1の天井2に取付機構20を設け、取付機構20に搬送部品30であるロボティックフランジ31を着脱自在に装着する基板収納容器であり、取付機構20は、天井2に対設される複数対の支持レール21と、天井2に設けられる複数のガイド片23と、各ガイド片23に形成される干渉係合部24とを備え、ガイド片23と干渉係合部24を組み合わせてその前部を二股部25に形成する。また、搬送部品30は、複数対の支持レール21間に支持される部品本体32を備え、部品本体32に、流体用の流通口36を穿孔するとともに、二股部25に干渉する弾性変形可能な弾性係合片35を内蔵する。
【選択図】 図3
Description
取付機構は、容器本体の周壁に設けられる支持レール部と、容器本体の周壁に設けられるガイド片と、このガイド片に形成される干渉係合部とを含み、ガイド片と干渉係合部とを組み合わせてその前部を二股部に形成し、
搬送部品は、取付機構の支持レール部に支持される部品本体を備え、この部品本体に、流体用の流通口を設けるとともに、取付機構のガイド片に案内される弾性係合片を設け、この弾性係合片を取付機構のガイド片と干渉係合部との二股部に干渉させるようにしたことを特徴としている。
また、容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスに形成し、取付機構のガイド片を容器本体の前後方向に向けてその側面には干渉係合部を形成するとともに、ガイド片を容器本体の前後方向に交差する方向に傾斜させ、搬送部品の弾性係合片に、取付機構のガイド片に接触して撓む可撓性を付与し、この弾性係合片には、取付機構の干渉係合部に干渉する突部を形成することができる。
搬送部品の部品本体を中空に形成してその内部には弾性係合片を内蔵し、部品本体の両側部に、取付機構の複数の支持レール部に挟み持たれる被挟持板をそれぞれ形成して各被挟持板の側面を支持レール部の傾斜に沿うよう傾斜させ、部品本体の上部にフランジを形成するとともに、このフランジには、弾性係合片を露出させる操作孔を設け、複数の被挟持板とフランジの少なくともいずれかに流体用の流通口を設けることができる。
搬送部品の部品本体を略台形の板に形成してその両側面を支持レール部の傾斜に沿うよう傾斜させ、部品本体の裏面には弾性係合片を形成し、部品本体に、弾性係合片を露出させる操作孔を設けることができる。
部品本体に、取付機構のガイド片との接触に伴う弾性係合片の過剰な変形を規制する変形規制部を形成することが可能である。
また、部品本体の流通口は、液体や気体等からなる流体が使用される際、この流体を部品本体の内外に円滑に流通させ、搬送部品の洗浄や乾燥作業の作業性を向上させる。
また、請求項3記載の発明によれば、取付機構の傾斜したガイド片に搬送部品の弾性係合片を接触させ、この弾性係合片を変形させながら適切に案内することができる。また、弾性係合片が撓んで変形した後、弾性係合片がその反力によりガイド片を通過してガイド片と干渉係合部との二股部に突部を干渉させるので、容器本体の周壁に搬送部品を強固に取り付けることができる。
なお、容器本体1の各側壁3には、必要に応じ、マニュアルハンドル4の前部に係止する断面略L字形の複数のストッパ22が間隔をおいて適宜形成される。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、取付機構20や搬送部品30の構成の多様化を図ることができるのは明らかである。
2 天井(周壁)
3 側壁(周壁)
4 マニュアルハンドル(搬送部品)
10 蓋体
20 取付機構
21 支持レール(支持レール部)
22 ストッパ
23 ガイド片
24 干渉係合部
25 二股部
30 搬送部品
31 ロボティックフランジ(搬送部品)
32 部品本体
33 周壁
34 補強リブ(変形規制部)
35 弾性係合片
36 流通口
37 隙間
38 ロックピン(突部)
39 把持片
40 被挟持板
41 側面
42 流通口
43 凹凸部
44 フランジ
47 流通口
48 角孔(操作孔)
49 内側辺
52 サイドレール(搬送部品)
53 部品本体
54 側面
Claims (6)
- 基板を収納する容器本体に取付機構を設け、この取付機構に搬送部品を着脱自在に取り付けるようにした基板収納容器であって、
取付機構は、容器本体の周壁に設けられる支持レール部と、容器本体の周壁に設けられるガイド片と、このガイド片に形成される干渉係合部とを含み、ガイド片と干渉係合部とを組み合わせてその前部を二股部に形成し、
搬送部品は、取付機構の支持レール部に支持される部品本体を備え、この部品本体に、流体用の流通口を設けるとともに、取付機構のガイド片に案内される弾性係合片を設け、この弾性係合片を取付機構のガイド片と干渉係合部との二股部に干渉させるようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 取付機構は、容器本体の周壁に設けられ、搬送部品に引っかかるストッパを含んでなる請求項1記載の基板収納容器。
- 容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスに形成し、取付機構のガイド片を容器本体の前後方向に向けてその側面には干渉係合部を形成するとともに、ガイド片を容器本体の前後方向に交差する方向に傾斜させ、搬送部品の弾性係合片に、取付機構のガイド片に接触して撓む可撓性を付与し、この弾性係合片には、取付機構の干渉係合部に干渉する突部を形成した請求項1又は2記載の基板収納容器。
- 取付機構の支持レール部を複数にして対向させ、この対向する複数の支持レール部を、容器本体の後方から前方に向かうに従い支持レール部間の距離が短くなるようそれぞれ傾斜させ、取付機構のガイド片を複数の支持レール部間に設けて容器本体の左右方向の中心線に向けて傾斜させ、
搬送部品の部品本体を中空に形成してその内部には弾性係合片を内蔵し、部品本体の両側部に、取付機構の複数の支持レール部に挟み持たれる被挟持板をそれぞれ形成して各被挟持板の側面を支持レール部の傾斜に沿うよう傾斜させ、部品本体の上部にフランジを形成するとともに、このフランジには、弾性係合片を露出させる操作孔を設け、複数の被挟持板とフランジの少なくともいずれかに流体用の流通口を設けた請求項3記載の基板収納容器。 - 取付機構の支持レール部を複数にして対向させ、この対向する複数の支持レール部を、容器本体の後方から前方に向かうに従い支持レール部間の距離が短くなるようそれぞれ傾斜させ、取付機構のガイド片を複数の支持レール部間に設けて容器本体の上下方向に傾斜させ、
搬送部品の部品本体を略台形の板に形成してその両側面を支持レール部の傾斜に沿うよう傾斜させ、部品本体の裏面には弾性係合片を形成し、部品本体に、弾性係合片を露出させる操作孔を設けた請求項3記載の基板収納容器。 - 部品本体と被挟持板の少なくともいずれか一方の裏面に、容器本体の周壁との間に隙間を区画する凹凸部を形成し、
部品本体に、取付機構のガイド片との接触に伴う弾性係合片の過剰な変形を規制する変形規制部を形成した請求項4又は5記載の基板収納容器。
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