KR20220054332A - 기판 수납 용기 - Google Patents

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KR20220054332A
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준야 도다
다카시 스다
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신에츠 폴리머 가부시키가이샤
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Abstract

반송 부품의 장착력을 높인 기판 수납 용기를 제공한다. 용기 본체(20)에 대하여 후방으로부터 전방으로 상대 변위시킴으로써 용기 본체(20)에 장착 가능한 반송 부품(30)을 구비하는 기판 수납 용기(1)로서, 용기 본체(20)는, 위쪽으로 돌출하는 본체측 돌기부(29)를 구비하고, 반송 부품(30)은, 아래쪽으로 돌출하는 부품측 돌기부(34)를 구비하고, 장착 상태에서, 부품측 돌기부(34)는, 본체측 돌기부(29)의 전측에 걸어맞추어져 후방으로의 변위가 규제되고, 부품측 돌기부(34)에 위쪽을 향하여 소정 하중을 주었을 때의 변위량은, 본체측 돌기부(29)에 아래쪽을 향하여 동일한 소정 하중을 주었을 때의 변위량보다 작다.

Description

기판 수납 용기
본 개시는, 반송(搬送) 부품을 구비하는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 기판은, 기판 수납 용기의 내부 공간에 수납된 상태에서, 창고에서의 보관, 반도체 가공 장치 사이에서의 반송, 공장 사이에서의 수송 등이 행해지고 있다. 이 기판 수납 용기는, 천장 주행 장치나 로봇 등의 자동 반송 장치에서 취급할 수 있도록, 용기 본체의 천장면에 반송 부품이 장착되어 있다.
예를 들면, 특허문헌 1에는, 용기 본체의 천장면에, 가이드편과 간섭 걸어맞춤부를 조합하여 갈래부가 형성된 장착 기구를 설치하고, 장착 기구의 갈래부에 반송용 반송 부품에 설치된 탄성 걸어맞춤편을 착탈(着脫) 가능하게 장착하도록 한 기판 수납 용기가 기재되어 있다.
일본공개특허 제2011-181867호 공보
그러나, 특허문헌 1과 같이, 탄성 걸어맞춤편의 걸어맞춤에 의한 장착 구조에서는, 기판 수납 용기의 반송 중의 급정지 또는 이동에 의한 충격에 의해, 반송 부품이 용기 본체로부터 빠질 우려가 있었다. 또한, 작업자가 취급하는 경우라도, 반송 부품이 용기 본체로부터 간단히 빠지지 않도록 하는 것이 기대되고 있었다.
이에, 하나의 측면에서는, 본 발명은, 반송 부품의 장착력을 높인 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
하나의 측면에서는, 다음과 같은 해결 수단을 제공한다.
(1) 본체부와, 상기 본체부에 대하여 제1 방향에서 제2 측으로부터 제1 측으로 상대 변위시킴으로써 상기 본체부에 대하여 장착 가능한 반송 부품을 구비하고, 상기 본체부는, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향의 제3 측으로 돌출하는 제1 돌기부와, 제1 걸어맞춤부를 가지고, 상기 반송 부품은, 상기 제2 방향에서 상기 제3 측과는 반대의 제4 측으로 돌출하는 제2 돌기부와, 제2 걸어맞춤부를 가지고, 상기 본체부에 대하여 상기 반송 부품이 장착된 장착 상태에서, 상기 제2 걸어맞춤부는, 상기 제2 방향에서 상기 제1 걸어맞춤부에 걸어맞춤으로써 상기 제2 방향에서의 상기 본체부와 상기 반송 부품 사이의 상대 변위를 규제하고, 상기 장착 상태에서, 상기 제2 돌기부는, 상기 제1 돌기부에 대하여 상기 제1 방향의 상기 제1 측에 위치하고, 상기 제1 방향에서 상기 제1 돌기부에 걸어맞춤으로써 상기 본체부에 대한 상기 반송 부품의 상기 제1 방향의 상기 제2 측으로의 상대 변위를 규제하고, 상기 제2 돌기부에 상기 제2 방향에서 상기 제3 측을 향하여 소정 하중을 주었을 때의, 상기 제2 돌기부의 상기 제2 방향의 변위량은, 상기 제1 돌기부에 상기 제2 방향에서 상기 제4 측을 향하여 동일한 소정 하중을 주었을 때의, 상기 제1 돌기부의 상기 제2 방향의 변위량보다 작은 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기이다.
(2) 상기 (1)의 구성에 있어서, 상기 장착 상태에서, 상기 제1 돌기부의 상기 제3 측의 정상부와 상기 제2 돌기부의 상기 제4 측의 정상부는, 상기 제2 방향의 중첩되는 범위가, 1.5㎜∼3.5㎜인 것을 특징으로 한다. 그리고, 본 명세서에 있어서, α∼β로 나타내는 수치 범위는, α 이상, β 이하의 범위를 나타낸다.
(3) 상기 (1) 또는 (2)의 구성에 있어서, 상기 제1 돌기부는, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 양쪽에 수직한 제3 방향으로 볼 때, 상기 제3 측에 꼭짓점이 위치하는 삼각형상을 가지고, 상기 제2 돌기부에서의 상기 제4 측의 정상부는, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 제4 측에 꼭짓점이 위치하는 삼각형상을 가지는 것을 특징으로 한다.
(4) 상기 (3)의 구성에 있어서, 상기 제1 돌기부의 상기 삼각형상은, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 장착 상태에서 제2 측의 변 쪽이 상기 제1 측의 변보다 상기 제2 방향에 대한 경사 각도가 크고, 상기 제2 돌기부에서의 상기 정상부의 상기 삼각형상은, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 장착 상태에서 상기 제1 측의 변 쪽이 상기 제2 측의 변보다 상기 제2 방향에 대한 경사 각도가 큰 것을 특징으로 한다.
(5) 상기 (4)의 구성에 있어서, 상기 제2 돌기부의 상기 정상부의 상기 삼각형상은, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 장착 상태에서 상기 제1 측의 변의, 상기 경사 각도가 60°∼80°의 범위 내인 것을 특징으로 한다.
(6) 상기 (4) 또는 (5)의 구성에 있어서, 상기 제2 돌기부의 상기 정상부의 상기 삼각형상은, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 장착 상태에서 상기 제2 측의 변의, 상기 경사 각도가 0°∼5°의 범위 내인 것을 특징으로 한다.
(7) 상기 (3)∼(6) 중 어느 하나의 구성에 있어서, 상기 제2 돌기부의 상기 제3 측의 기부(基部)는, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 제2 방향에 대하여 경사지는 것을 특징으로 한다.
(8) 상기 (7)의 구성에 있어서, 상기 기부는, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 제2 방향에 대하여 상기 제1 측에서 40°∼50°의 범위 내의 각도를 이루고, 또한, 상기 제2 방향에 대하여 상기 제2 측에서 40°∼50°의 범위 내의 각도를 이루는 것을 특징으로 한다.
(9) 상기 (1)∼(8) 중 어느 하나의 구성에 있어서, 상기 제2 돌기부의 상기 제3 측의 기부는, 상기 제1 방향으로 오목한 구멍 또는 상기 제1 방향의 관통공을 가지는 것을 특징으로 한다.
(10) 상기 (1)∼(9) 중 어느 하나의 구성에 있어서, 상기 제1 돌기부의 높이는 6.5㎜∼10㎜의 범위 내인 것을 특징으로 한다.
(11) 상기 (1)∼(10) 중 어느 하나의 구성에 있어서, 상기 본체부는, 상기 제1 돌기부에 상기 제2 방향에서 상기 제4 측을 향하여 상기 소정 하중을 주었을 때, 상기 제1 돌기부 주변의 부위가 탄성 변형함으로써, 상기 제1 돌기부의 상기 제2 방향의 변위가 실현되는 것을 특징으로 한다.
하나의 측면에서는, 본 발명에 의하면, 반송 부품의 장착력을 높인 기판 수납 용기를 제공하는 것이 가능해진다.
[도 1] 본 발명의 실시형태에 관한 기판 수납 용기를 나타내는 분해 사시도이다.
[도 2] 기판 수납 용기의 반송 부품이 장착된 부분을 나타내는 평면도이다.
[도 3] 반송 부품을 하측으로부터 본 사시도이다.
[도 4] 반송 부품의 부품측 돌기부를 나타내는 사시도이다.
[도 5] 반송 부품의 부품측 돌기부를 나타내는 측면도이다.
[도 6] 용기 본체의 반송 부품 장착부를 나타내는 사시도이다.
[도 7] 반송 부품의 장착 방법을 나타내는 설명도이며, 도 2의 A-A선으로 절단한 부분 단면도(斷面圖)이다.
[도 8] 반송 부품의 장착 방법을 나타내는 설명도이며, 도 2의 B-B선으로 절단한 부분 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그리고, 본 명세서의 실시형태에 있어서는, 전체를 통하여, 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고 있다. 또한, 도면 중에는, 전후 방향을 X축 방향(제1 방향), 상하 방향을 Y축 방향(제2 방향), X축 방향 및 Y축 방향과 직교하는 좌우 방향을 Z축 방향(제3 방향)으로 하여 나타냈다.
[기판 수납 용기]
기판 수납 용기에 대하여 설명한다. 도 1은, 본 발명의 실시형태에 관한 기판 수납 용기의 분해 사시도이다. 도 2는, 기판 수납 용기의 반송 부품이 장착된 부분을 나타내는 평면도이다.
도 1에 나타낸 기판 수납 용기(1)는, 덮개체(10)와, 복수 개의 기판(W)을 수납하는 용기 본체(20)(본체부의 일례)를 구비하고 있다. 기판 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)으로서는, 직경이 300㎜나 450㎜의 반도체 웨이퍼, 마스크 글라스 등을 들 수 있다.
용기 본체(20)는, 개구부(21)를 형성하는 정면 개구 프레임과, 배면과, 좌우의 측면(23)과, 상면(22)과, 바닥면으로 형성되는, 소위 프론트 오픈 박스 타입의 것이다. 이 용기 본체(20)의 개구부(21)는, 덮개체(10)에 의해 폐쇄된다. 용기 본체(20)의 상면(22)에는, 후술하는 반송 부품(30)이 장착되어 있다.
이들 덮개체(10) 및 용기 본체(20)는, 소정의 수지를 함유하는 성형 재료에 의해 복수의 부품이 각각 사출 성형되고, 복수의 부품이 조립되어 구성되어 있다. 성형 재료 중의 소정의 수지로서는, 예를 들면 기계 특성이나 내열성 등이 우수한 폴리카보네이트, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르이미드, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리아세탈, 액정 폴리머, 혹은 환형(環形) 올레핀 수지 등을 들 수 있다. 또한, 필요에 따라 이들 수지에, 카본, 금속 섬유, 도전성(導電性) 폴리머, 대전 방지제, 또는 난연제 등이 선택적으로 첨가되는 것도 있다.
[반송 부품]
반송 부품에 대하여 설명한다. 도 3은, 반송 부품을 하측으로부터 본 사시도이다. 도 4는, 반송 부품의 제2 돌기부를 나타내는 사시도이다. 도 5는, 반송 부품의 제2 돌기부를 나타내는 측면도이다.
도 3에 나타낸 반송 부품(30)은, 용기 본체(20)의 상면(22)의 대략 중앙부에 장착되는 것이다. 반송 부품(30)은, 로보틱 플랜지(robotic flange)라고도 불리고, 용기 본체(20)에 장착된 상태에서, 예를 들면, 천장 반송 장치에 파지되고, 반송된다. 이 반송 부품(30)은, 기판(W)을 수납한 기판 수납 용기(1)를 확실하게 지지하는 관점에서, 덮개체(10) 및 용기 본체(20)와 동일한 성형 재료에 의해 성형된다.
반송 부품(30)은, 평면에서 볼 때 대략 중공(中空) 프레임형의 부품 본체(31)를 구비하고 있다. 이 부품 본체(31)의 하단부(下端部) 양측에는, 좌우 한쌍의 피협지판(32)(제2 걸어맞춤부의 일례)이 수평 방향으로 연장되어 있다. 한편, 부품 본체(31)가 개구된 상단부(上端部)에는, 천장 반송 장치에 파지되는 플랜지(33)가 일체로 형성되어 있다.
좌우 한쌍의 피협지판(32)은, 용기 본체(20)의 상면(22)에 중첩되는 평탄한 판형으로 형성되어, 그 외측면이 용기 정면측에서 가까워지도록 경사져 있다.
플랜지(33)는, 네 코너부가 면취(面取)된 평면 직사각형으로 형성되고, 상면 중앙부에 오목부(330)가 형성되어 있고, 천장 반송 장치로 센싱되거나, 위치 결정되거나 한다.
플랜지(33)의 하면 중앙부로서, 부품 본체(31)로 둘러싸이는 영역에는, 아래쪽으로 돌출하는 부품측 돌기부(34)(제2 돌기부의 일례)가 형성되어 있다. 부품측 돌기부(34)에서의 하측의 정상부(340)는, 좌우 방향으로 볼 때, 아래쪽에 꼭짓점이 위치하는 삼각형상을 가진다. 부품측 돌기부(34)에서의 정상부(340)의 삼각형상은, 좌우 방향으로 볼 때, 장착 상태에서 전측(前側)의 변(341) 쪽이 후측(後側)의 변(342)보다 상하 방향에 대한 경사 각도가 크다. 예를 들면, 전측의 변(341)의 상하 방향에 대한 경사 각도 θ1은 60°∼80°의 범위 내이고, 후측의 변(342)의 상하 방향에 대한 경사 각도 θ2는 0°∼5°의 범위 내이다. 그 이유는 후술한다.
부품측 돌기부(34)의 상측의 기부(343)는, 좌우 방향으로 볼 때, 상하 방향에 대하여 경사져 있다. 예를 들면, 기부(343) 전측의 면(344)은, 좌우 방향으로 볼 때, 상하 방향에 대하여 40°∼50°의 범위 내의 각도 θ3을 이루고, 또한, 기부(343)의 후측의 면(345)은, 상하 방향에 대하여 40°∼50°의 범위 내의 각도 θ4를 이루고 있다. 즉, 기부(343)는, 좌우 방향으로 볼 때, 상측일수록 전후 폭이 넓어지는 사다리꼴형상을 가진다.
또한, 기부(343)는, 전후 방향으로 관통하는 관통공(346)을 가진다. 이와 같은 관통공(346)에 의하면, 성형 시에서의 싱크마크, 보이드 등의 외관 불량을 억제함으로써, 반송 부품(30)의 성형성이 높아질 뿐만 아니라, 세정 후 물이 남는 것을 억제할 수 있다. 그리고, 기부(343)는 관통공(346) 대신, 전후 방향으로 오목한 구멍을 가져도 된다.
[반송 부품 장착부]
다음으로, 반송 부품 장착부에 대하여 설명한다. 도 6은, 용기 본체의 반송 부품 장착부를 나타내는 사시도이다.
반송 부품(30)이 장착되는 반송 부품 장착부(24)는, 용기 본체(20)의 상면(22)에 일체로 형성되어 있다. 그러므로, 반송 부품 장착부(24)는, 용기 본체(20)와 동일한 성형 재료에 의해 형성되어 있다.
반송 부품 장착부(24)는, 장착 상태에서, 반송 부품(30)의 상하 방향 및 좌우 방향으로의 변위를 규제하는 지지 레일(25)(제1 걸어맞춤부의 일례)와, 장착 상태에서, 반송 부품(30)의 전방으로의 변위를 규제하는 제1∼제3 스토퍼(26∼28)와, 장착 상태에서, 반송 부품(30)의 후방으로의 변위를 규제하는 본체측 돌기부(29)(제1 돌기부의 일례)를 구비한다.
지지 레일(25)은, 전후 방향을 따르고, 또한 좌우 방향으로 병렬하도록 용기 본체(20)의 상면(22)에 형성되는 제1∼제4 레일부(251∼254)를 구비한다. 제1 레일부(251)는 반송 부품(30)의 좌측의 피협지판(32)의 외측 면부를 지지하고, 제2 레일부(252)는 반송 부품(30)의 좌측의 피협지판(32)의 내측 면부를 지지하고, 제3 레일부(253)는 반송 부품(30)의 우측의 피협지판(32)의 내측 면부를 지지하고, 제4 레일부(254)는, 반송 부품(30)의 우측의 피협지판(32)의 외측 면부를 지지한다.
제1 레일부(251)와 제2 레일부(252), 및 제3 레일부(253)와 제4 레일부(254)는, 용기 본체(20)의 정면측을 향함에 따라서, 레일 사이의 폭이 서서히 좁아지도록 경사져 설치되어 있다. 또한, 각 레일부(251∼254)는, 용기 본체(20)의 상면(22)과의 사이에 걸어맞춤 홈을 형성하도록, 상면(22)으로부터 기립하는 단면(斷面)이 대략 L자형으로 굴곡 형성되고(도 7 참조), 전후 방향으로 직선적으로 연장되어 있다. 이와 같은 지지 레일(25)에 의하면, 장착 상태에서, 반송 부품(30)의 좌우 한쌍의 피협지판(32)의 외측 면부 및 내측 면부를 걸어맞춤 지지함으로써, 적어도 반송 부품(30)의 상하 방향 및 좌우 방향의 변위를 규제할 수 있다.
용기 본체(20)의 상면(22)에 있어서, 제1 스토퍼(26)는, 제1 레일부(251)의 전단부(前端部)와 제2 레일부(252)의 전단부 사이에 좌우 방향을 따라 형성되고, 제2 스토퍼(27)는, 제3 레일부(253)의 전단부와 제4 레일부(254)의 전단부 사이에 좌우 방향을 따라 형성되어 있다. 제1 스토퍼(26) 및 제2 스토퍼(27)는, 지지 레일(25)과 마찬가지로 단면이 대략 L자형이며, 장착 상태에서, 반송 부품(30)의 좌우 한쌍의 피협지판(32)의 전단부에 걸어맞추어지고, 적어도 반송 부품(30)의 전방으로의 변위를 규제한다.
제3 스토퍼(28)는, 용기 본체(20)의 상면(22)에 있어서, 제2 레일부(252)의 후단부와 제3 레일부(253)의 후단부 사이에 좌우 방향을 따라 형성되어 있다. 제3 스토퍼(28)는, 지지 레일(25)과 마찬가지로 단면이 대략 L자형이며(도 8 참조), 장착 상태에서, 반송 부품(30)의 부품 본체(31)의 후단부에 걸어맞추어지고, 적어도 반송 부품(30)의 전방으로의 변위를 규제한다.
본체측 돌기부(29)는, 용기 본체(20)의 상면(22)에 있어서, 제2 레일부(252)와 제3 레일부(253) 사이에 형성되어 있다. 본체측 돌기부(29)는, 소정의 높이 H1을 가지도록, 용기 본체(20)의 상면(22)으로부터 위쪽으로 돌출 형성된다. 예를 들면, 본체측 돌기부(29)의 높이 H1은, 6.5㎜∼10㎜의 범위 내에서 규정된다.
본체측 돌기부(29)는, 좌우 방향을 따르는 판형상이며, 그 정상부(290)는, 좌우 방향으로 볼 때, 둥그스름하게 형성되어 있다. 또한, 본체측 돌기부(29)는, 좌우 방향을 따르는 판형상의 돌기 본체(291)와, 돌기 본체(291)의 좌우 양 단부로부터 후방으로 연장되는 좌우 한쌍의 보강 리브(rib)(292)를 구비한다. 좌우 한쌍의 보강 리브(292)는, 좌우 방향으로 볼 때 삼각형이며, 돌기 본체(291)와 용기 본체(20)의 상면(22)의 결합 영역을 확장함으로써, 본체측 돌기부(29)의 쓰러짐 강도를 높이고 있다.
[반송 부품의 장착 방법]
반송 부품의 장착 방법에 대하여 설명한다. 도 7은, 반송 부품의 장착 방법을 나타내는 설명도이며, 도 2의 A-A선으로 절단한 부분 단면도이다. 도 8은, 반송 부품의 장착 방법을 나타내는 설명도이며, 도 2의 B-B선으로 절단한 부분 단면도이다.
반송 부품(30)을 용기 본체(20)의 반송 부품 장착부(24)에 장착하기 위해서는, 용기 본체(20)의 상면(22)의 후방측에 반송 부품(30)을 배치하고, 반송 부품 장착부(24)의 지지 레일(25)을 구성하는 복수의 레일부(251∼254) 사이에 반송 부품(30)의 피협지판(32)을 후방으로부터 전방으로 슬라이드형으로 끼워넣는다. 반송 부품(30)은, 소정의 장착 위치까지 끼워지면, 피협지판(32)의 좌우 양 측면부가 지지 레일(25)에 의해 걸어맞춤 지지되고 또한, 피협지판(32)의 전단부 및 부품 본체(31)의 후단부가 각 스토퍼(26∼28)에 의해 걸어맞춤 지지된다. 이로써, 장착 상태의 반송 부품(30)은 상하 방향, 좌우 방향 및 전방으로의 변위가 규제된다.
또한, 반송 부품(30)을 후방으로부터 전방으로 슬라이드시키면, 반송 부품(30)의 부품측 돌기부(34)의 정상부(340)가 반송 부품 장착부(24)의 본체측 돌기부(29)의 정상부(290)를 넘어가고, 본체측 돌기부(29)의 정상부(290)의 전측에 부품측 돌기부(34)의 정상부(340)가 걸어맞추어진다. 이로써, 장착 상태의 반송 부품(30)은, 후방으로의 변위도 규제된다.
반송 부품(30)의 부품측 돌기부(34)의 정상부(340)가 반송 부품 장착부(24)의 본체측 돌기부(29)의 정상부(290)를 넘어가는 데에는, 본체측 돌기부(29) 및 부품측 돌기부(34) 중 적어도 한쪽이 상하 방향으로 탄성적으로 변위할 필요가 있다. 본 개시의 기판 수납 용기(1)에서는, 부품측 돌기부(34)에 위쪽을 향하여 소정 하중을 주었을 때의, 부품측 돌기부(34)의 위쪽으로의 변위량은, 본체측 돌기부(29)에 아래쪽을 향하여 동일한 소정 하중을 주었을 때의, 본체측 돌기부(29)의 아래쪽으로의 변위량보다 작게 하고 있다.
예를 들면, 본 실시형태의 기판 수납 용기(1)에서는, 본체측 돌기부(29)에 아래쪽을 향하여 소정 하중을 주었을 때, 본체측 돌기부(29)의 주변 부위[상면(22)의 일부]가 아래쪽으로 탄성 변형함으로써, 본체측 돌기부(29)의 아래쪽으로의 변위가 실현된다. 또한, 부품측 돌기부(34)에 위쪽을 향하여 소정 하중을 주었을 때의, 부품측 돌기부(34)의 위쪽으로의 변위량은, 본체측 돌기부(29)의 아래쪽으로의 변위량에 비하여 지극히 작다.
이와 같은 기판 수납 용기(1)에 의하면, 종래와 같이 탄성 걸어맞춤편과 돌기부의 걸어맞춤이 아니고, 돌기부(29, 34)끼리의 걸어맞춤으로 용기 본체(20)에 반송 부품(30)을 장착시키므로, 반송 부품(30)의 장착력을 높일 수 있다. 이로써, 기판 수납 용기(1)의 반송 중의 급정지 또는 이동에 의한 충격에 의해, 반송 부품(30)이 용기 본체(20)로부터 빠지거나, 작업자가 취급할 때, 반송 부품(30)이 용기 본체(20)로부터 빠지는 것을 방지할 수 있다.
상기의 장착 상태에 있어서, 본체측 돌기부(29)의 정상부(290)와 부품측 돌기부(34)의 정상부(340)는, 상하 방향이 중첩되는 범위가 1.5㎜∼3.5㎜로 되어 있다. 그 이유는, 상하 방향의 중첩되는 범위가 1.5㎜ 미만이면, 필요한 장착력(분리 하중)을 실현할 수 없고, 또한, 3.5㎜를 넘으면, 장착 시의 하중(장착 하중)이 증대하여, 반송 부품(30)의 장착성이 저하되기 때문이다.
또한, 전술한 바와 같이, 본체측 돌기부(29)의 높이 H1은, 6.5㎜∼10㎜의 범위 내에서 규정되므로, 본체측 돌기부(29)의 정상부(290)와 부품측 돌기부(34)의 정상부(340)의 상하 방향이 중첩되는 범위를 최적화하면서, 본체측 돌기부(29)의 파손을 방지할 수 있다. 즉, 본체측 돌기부(29)의 높이 H1이 6.5㎜ 미만인 경우는, 본체측 돌기부(29)의 정상부(290)와 부품측 돌기부(34)의 정상부(340)와 상하 방향이 중첩되는 범위가 작아지게 될 가능성이 있고, 또한, 10㎜를 넘는 경우에는, 본체측 돌기부(29)의 강도가 부족하고, 장착 시에 파손되거나, 장착 상태에 있어서 필요한 걸어맞춤력을 유지할 수 없을 가능성이 있다.
또한, 전술한 바와 같이, 부품측 돌기부(34)의 기부(343)는, 전측의 면(344)이, 좌우 방향으로 볼 때, 상하 방향에 대하여 40°∼50°의 범위 내의 각도 θ3을 이루고, 또한, 후측의 면(345)이, 상하 방향에 대하여 40°∼50°의 범위 내의 각도 θ4를 이룸으로써, 좌우 방향으로 볼 때, 상측일수록 전후 폭이 넓어지고, 강도적으로 우수한 사다리꼴형상을 가지므로, 장착 시의 하중에 의해 부품측 돌기부(34)이 파손되는 것을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 장착 상태에 있어서 필요한 걸어맞춤력을 유지할 수 있다.
또한, 전술한 바와 같이, 부품측 돌기부(34)에서의 정상부(340)의 삼각형상은, 좌우 방향으로 볼 때, 장착 상태에서 전측의 변(341) 쪽이 후측의 변(342)보다 상하 방향에 대한 경사 각도가 크므로, 부품측 돌기부(34)의 정상부(340)가 본체측 돌기부(29)의 정상부(290)를 넘어가기 쉬워지고, 장착 시의 장착 하중을 저감할 수 있을 뿐만 아니라, 필요한 걸어맞춤력을 실현할 수 있다.
또한, 전술한 바와 같이, 전측의 변(341)의 상하 방향에 대한 경사 각도 θ1이, 60°∼80°의 범위 내인 경우에는, 장착 시의 장착 하중을 저감하면서, 본체측 돌기부(29)를 소정량(예를 들면, 1.5㎜∼3.5㎜) 아래쪽으로 밀어 넣을 수 있다.
또한, 전술한 바와 같이, 후측의 변(342)의 상하 방향에 대한 경사 각도 θ2가, 0°∼5°의 범위 내인 경우에는, 장착 상태의 걸어맞춤력을 높일 수 있다.
덧붙이자면, 용기 본체(20)에 장착된 반송 부품(30)을 후방측으로 눌러, 용기 본체(20)로부터 반송 부품(30)이 빠지는지의 여부를, 본 실시형태의 기판 수납 용기(1)와, 특허문헌 1에 보여지는 종래의 기판 수납 용기를 비교하여 실험한 바, 본 실시형태의 기판 수납 용기(1)에서는, 종래의 기판 수납 용기에 비하여 1000N 이상의 힘이 더 필요했다.
이상, 각 실시예에 대하여 상술했으나, 특정의 실시예에 한정되지 않고, 특허청구의 범위에 기재된 범위 내에 있어서, 각종 변형 및 변경이 가능하다. 또한, 전술한 실시예의 구성 요소를 전부 또는 복수를 조합하는 것도 가능하다.
1 : 기판 수납 용기
10 : 덮개체
20 : 용기 본체
21 : 개구부
22 : 상면
23 : 측면
24 : 반송 부품 장착부
25 : 지지 레일
251 : 제1 레일부
252 : 제2 레일부
253 : 제3 레일부
254 : 제4 레일부
26 : 제1 스토퍼
27 : 제2 스토퍼
28 : 제3 스토퍼
29 : 본체측 돌기부
290 : 정상부
291 : 돌기 본체
292 : 보강 리브
30 : 반송 부품
31 : 부품 본체
32 : 피협지판
33 : 플랜지
330 : 오목부
34 : 부품측 돌기부
340 : 정상부
341 : 변
342 : 변
343 : 기부
344 : 면
345 : 면
346 : 관통공
W : 기판

Claims (11)

  1. 본체부; 및
    상기 본체부에 대하여 제1 방향에서 제2 측으로부터 제1 측으로 상대 변위시킴으로써 상기 본체부에 대하여 장착 가능한 반송(搬送) 부품;을 구비하고,
    상기 본체부는, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향의 제3 측으로 돌출하는 제1 돌기부와, 제1 걸어맞춤부를 가지고,
    상기 반송 부품은, 상기 제2 방향에서 상기 제3 측과는 반대의 제4 측으로 돌출하는 제2 돌기부와, 제2 걸어맞춤부를 가지고,
    상기 본체부에 대하여 상기 반송 부품이 장착된 장착 상태에서, 상기 제2 걸어맞춤부는, 상기 제2 방향에서 상기 제1 걸어맞춤부에 걸어맞추어짐으로써 상기 제2 방향에서의 상기 본체부와 상기 반송 부품 사이의 상대 변위를 규제하고,
    상기 장착 상태에서, 상기 제2 돌기부는, 상기 제1 돌기부에 대하여 상기 제1 방향의 상기 제1 측에 위치하고, 상기 제1 방향에서 상기 제1 돌기부에 걸어맞추어짐으로써 상기 본체부에 대한 상기 반송 부품의 상기 제1 방향의 상기 제2 측으로의 상대 변위를 규제하고,
    상기 제2 돌기부에 상기 제2 방향에서 상기 제3 측을 향하여 소정 하중을 주었을 때의, 상기 제2 돌기부의 상기 제2 방향의 변위량은, 상기 제1 돌기부에 상기 제2 방향에서 상기 제4 측을 향하여 동일한 소정 하중을 주었을 때의, 상기 제1 돌기부의 상기 제2 방향의 변위량보다 작은,
    기판 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 장착 상태에서, 상기 제1 돌기부의 상기 제3 측의 정상부와 상기 제2 돌기부의 상기 제4 측의 정상부는, 상기 제2 방향의 중첩되는 범위가, 1.5㎜∼3.5㎜인, 기판 수납 용기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 돌기부는, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 양쪽에 수직인 제3 방향으로 볼 때, 상기 제3 측에 꼭짓점이 위치하는 삼각형상을 가지고,
    상기 제2 돌기부에서의 상기 제4 측의 정상부는, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 제4 측에 꼭짓점이 위치하는 삼각형상을 가지는, 기판 수납 용기.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 돌기부의 상기 삼각형상은, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 장착 상태에서 제2 측의 변 쪽이 상기 제1 측의 변보다 상기 제2 방향에 대한 경사 각도가 크고,
    상기 제2 돌기부에서의 상기 정상부의 상기 삼각형상은, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 장착 상태에서 상기 제1 측의 변 쪽이 상기 제2 측의 변보다 상기 제2 방향에 대한 경사 각도가 큰, 기판 수납 용기.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2 돌기부의 상기 정상부의 상기 삼각형상은, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 장착 상태에서 상기 제1 측의 변의, 상기 경사 각도가, 60°∼80°의 범위 내인, 기판 수납 용기.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 제2 돌기부의 상기 정상부의 상기 삼각형상은, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 장착 상태에서 상기 제2 측의 변의, 상기 경사 각도가, 0°∼5°의 범위 내인, 기판 수납 용기.
  7. 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 돌기부의 상기 제3 측의 기부(基部)는, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 제2 방향에 대하여 경사지는, 기판 수납 용기.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기부는, 상기 제3 방향으로 볼 때, 상기 제2 방향에 대하여 상기 제1 측에서 40°∼50°의 범위 내의 각도를 이루고, 또한, 상기 제2 방향에 대하여 상기 제2 측에서 40°∼50°의 범위 내의 각도를 이루는, 기판 수납 용기.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 돌기부의 상기 제3 측의 기부는, 상기 제1 방향으로 오목한 구멍 또는 상기 제1 방향의 관통공을 가지는, 기판 수납 용기.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 돌기부의 높이는, 6.5㎜∼10㎜의 범위 내인, 기판 수납 용기.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 본체부는, 상기 제1 돌기부에 상기 제2 방향에서 상기 제4 측을 향하여 상기 소정 하중을 주었을 때, 상기 제1 돌기부 주변의 부위가 탄성 변형함으로써, 상기 제1 돌기부의 상기 제2 방향의 변위가 실현되는, 기판 수납 용기.
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