KR20110005778A - 리테이너, 및 리테이너를 구비한 기판 수납 용기 - Google Patents

Abstract

프레임체 (32) 의 상하 방향부 (34) 로부터 내측으로 돌출된 탄성편 (38) 에 의해, 기판의 위치를 규제할 수 있게 함으로써, 기판의 위치가 어긋난 경우에, 기판의 위치를 원래의 위치로 복귀시킨다. 또, 프레임체 (32) 의 좌우 방향부 (36) 에 양 단부가 연결되고 상하 방향 (Z) 으로 연장되는 연결편 (42) 을 형성하고, 이 연결편 (42) 에는, 기판 수납 용기의 내측으로 돌출되는 돌출부 (44A, 44B) 를 형성한다. 그리고, 이 돌출부 (44A, 44B) 를, 기판과 교차하는 방향으로 경사지고 기판의 둘레 가장자리와 맞닿을 수 있게 된 경사면 (44e, 44f) 을 갖는 구성으로 함으로써, 이 경사면 (44e, 44f) 에 의해 기판을 안내시켜, 기판의 스침을 저감시키고, 기판의 위치를 규제한다.

Description

리테이너, 및 리테이너를 구비한 기판 수납 용기{RETAINER AND SUBSTRATE STORAGE CONTAINER PROVIDED WITH SAME RETAINER}

본 발명은, 반도체 웨이퍼, 마스크 유리, 펠리클이 부착된 마스크 유리, 펠리클 등의 기판을 유지하는 리테이너, 및 리테이너를 구비한 기판 수납 용기에 관한 것이다.

기판의 수송에 사용되는 기판 수납 용기로서, 특허문헌 1, 2 에 개시된 기판 수납 용기가 알려져 있다. 이와 같은 기판 수납 용기는, 예를 들어 전측 (前側) 인 정면에 개구부가 형성되고 내부에 기판을 수납하는 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구부를 개폐할 수 있도록 하는 덮개체와, 이 덮개체의 내벽면에 장착되고, 기판의 전부 (前部) 둘레 가장자리를 유지하고, 용기 본체와의 사이에 기판을 협지하는 리테이너를 갖고 있다. 이 리테이너에는, 기판을 유지하는 유지홈이 선단부 (先端部) 에 형성된 복수의 탄성편이 기판에 대해 1 쌍씩 형성되고, 이 1 쌍의 탄성편은, 기판을 따라 배치되어 있다. 또, 필요에 따라, 1 개의 탄성편에 대해 복수의 유지홈이 형성된 구성이나, 덮개체의 중앙부측에 다른 탄성편 및 유지홈이 형성된 구성 등이 있다. 그리고, 덮개체는, 수동 또는 덮개체 개폐 장치에 의해 용기 본체에 끼워맞춰지거나 분리되거나 한다. 또, 리테이너에는, 예를 들어 걸림 돌기 또는 걸림 오목부 등의 걸림부가 형성되어 있다. 리테이너의 걸림부를 상대측의 걸림부에 끼움으로써, 리테이너가 덮개체 (또는 용기 본체) 에 고정된다.

일본 공개특허공보 2002-353301호 일본 공개특허공보 2005-320028호

상기한 종래 기술에서는, 예를 들어, 장치에 의한 자동 반송시, 작업원에 의한 수동 반송시에, 낙하 등에 의해 기판 수납 용기에 큰 충격이 가해졌을 때, 탄성편이 크게 휘어지고, 그 반동에 수반하여 탄성편이 변동됨으로써, 기판이 유지홈으로부터 빠져 파손되거나, 파손되지 않더라도 기판과 기판 수용 용기의 마찰에 의해 파티클이 발생하여 기판이 오염되거나 할 우려가 있었다.

또, 이러한 충격이 가해졌을 때의 대책으로서, 유지홈의 형상을 예를 들어 V 자 형상으로 하고, 홈의 깊이를 깊게, 또한, 홈의 폭을 좁게 하는 것이 유효하지만, 이 경우에는, 기판과 유지홈의 접촉에 의한 스침이 많아져, 기판이 오염되기 쉬워진다는 문제나, 기판이 유지홈에 끼이는 것과 같은 문제가 발생할 우려가 있다.

본 발명은, 이와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 기판을 안정적으로 유지할 수 있고, 기판 오염의 우려를 저감시킬 수 있는 리테이너, 및 이것을 구비한 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 의한 리테이너는, 기판을 수납하는 기판 수납 용기에 형성되고, 판 두께 방향이 상하 방향을 따라 일정 간격으로 정렬되고 지지된 기판을 유지하는 리테이너로서, 상하 방향으로 연장되는 1 쌍의 상하 방향부 및 1 쌍의 상하 방향부와 교차하는 좌우 방향으로 연장되는 1 쌍의 좌우 방향부를 갖는 프레임체와, 상하 방향부로부터 내측으로 돌출되고, 기판의 위치를 규제할 수 있는 탄성편과, 상하 방향으로 연장되고 양 단부 (端部) 가 좌우 방향부에 연결된 연결편과, 기판과 교차하는 방향으로 경사지고 상기 기판의 둘레 가장자리와 맞닿을 수 있게 된 경사면이 형성되고, 연결편으로부터 기판 수납 용기의 내측으로 돌출되는 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 리테이너에 의하면, 프레임체의 상하 방향부로부터 내측으로 돌출된 탄성편에 의해, 기판의 위치를 규제할 수 있기 때문에, 기판의 위치가 어긋난 경우에도, 탄성편에 의해 기판의 위치를 원래의 위치로 복귀시킬 수 있다. 또, 프레임체의 좌우 방향부에 양 단부가 연결되고 상하 방향으로 연장되는 연결편을 구비하고, 이 연결편에는, 기판 수납 용기의 내측으로 돌출되는 돌출부가 형성되어 있다. 이 돌출부는, 기판과 교차하는 방향으로 경사지고 기판의 둘레 가장자리와 맞닿을 수 있게 된 경사면을 갖는 구성이기 때문에, 이 경사면에 의해 기판을 용이하게 안내할 수 있어, 기판의 스침을 저감시키고, 기판의 위치를 규제할 수 있다.

또, 돌출부는, 상하 방향에 있어서 인접하는 기판 사이에 배치되고, 경사면으로서, 상단 (上端) 에 형성되어 일방의 기판에 맞닿을 수 있게 된 제 1 경사면과, 하단 (下端) 에 형성되어 타방의 기판에 맞닿을 수 있게 된 제 2 경사면을 갖는 구성인 것이 바람직하다. 이와 같은 구성에 의하면, 기판 사이에 배치된 1 개의 돌출부에 의해, 상하 방향으로 인접하는 2 개의 기판을 안내할 수 있다.

또, 돌출부는, 상하 방향에 있어서 기판의 양측에 형성되고, 기판의 양측에 형성된 돌출부는, 상하 방향에 있어서 기판의 판 두께보다 큰 간극을 형성하며 배치되어 있는 구성인 것이 바람직하다. 이와 같은 구성에 의하면, 기판이 정렬 배치된 통상적인 상태에 있어서, 기판과 돌출부가 맞닿지 않고, 기판이 어긋난 경우에만, 기판과 돌출부를 맞닿게 할 수 있어, 기판과 돌출부의 스침을 저감시켜, 파티클의 발생을 억제할 수 있다.

또, 기판의 양측에 형성된 돌출부는, 좌우 방향에 있어서 상이한 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이로써, 기판의 양측에 형성된 돌출부에 기판이 끼이지 않는다.

또, 연결편으로부터 외측으로 돌출되고, 프레임체가 장착되는 덮개체와 맞닿을 수 있게 되고, 연결편의 이동을 규제하는 받이부를 갖는 구성으로 해도 된다. 또, 받이부는, 연결편의 중앙에 형성되고, 프레임체보다 벽체측의 외측으로 돌출되어 있는 것이 바람직하다. 이로써, 연결편의 이동을 규제하여, 돌출부의 위치를 규제할 수 있다.

또, 본 발명에 의한 기판 수납 용기는, 개구부를 갖고 기판을 수납하는 용기 본체와, 개구부를 폐쇄하는 덮개체와, 용기 본체의 내벽 또는 덮개체에 장착된 상기 리테이너를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 기판 수납 용기에 의하면, 프레임체의 상하 방향부로부터 내측으로 돌출된 탄성편에 의해, 기판의 위치를 규제할 수 있기 때문에, 기판의 위치가 어긋난 경우에도, 탄성편에 의해 기판의 위치를 원래의 위치로 복귀시킬 수 있다. 또, 프레임체의 좌우 방향부에 양 단부가 연결되고 상하 방향으로 연장되는 연결편을 구비하고, 이 연결편에는, 기판 수납 용기의 내측으로 돌출되는 돌출부가 형성되어 있다. 이 돌출부는, 기판과 교차하는 방향으로 경사지고 기판의 둘레 가장자리와 맞닿을 수 있게 된 경사면을 갖는 구성이기 때문에, 이 경사면에 의해 기판을 용이하게 안내할 수 있어, 기판이 스침을 저감시키고, 기판의 위치를 규제할 수 있다.

본 발명에 의하면, 기판의 스침을 저감시킴과 함께 기판의 위치를 규제할 수 있기 때문에, 기판을 안정적으로 유지하고, 기판 오염의 우려를 저감시킬 수 있는 리테이너, 및 이것을 구비한 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.

도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 기판 수납 용기의 분해 사시도이다.
도 2 는 도 1 에 나타내는 기판 수납 용기의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따른 횡단면도이다.
도 3 은 도 1 중의 리테이너가 장착된 덮개체의 배면도이다.
도 4 는 도 3 중의 리테이너의 사시도이다.
도 5 는 도 3 에 나타내는 리테이너를 확대하여 나타내는 정면도이다.
도 6 은 도 3 의 Ⅵ-Ⅵ 을 따른 단면도이다.
도 7 은 용기 본체에 장착된 덮개체, 이 덮개체에 장착된 리테이너, 및 기판 수납 용기 내에서 유지된 기판을 나타내는 부분 단면도이다.
도 8 은 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 리테이너, 덮개체, 기판을 나타내는 부분 단면도이다.
도 9 는 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 리테이너, 덮개체, 기판을 나타내는 부분 단면도이다.
도 10 은 본 발명의 제 4 실시형태에 관련된 리테이너를 나타내는 부분 정면도이다.
도 11 은 본 발명의 제 5 실시형태에 관련된 리테이너를 나타내는 부분 정면도이다.
도 12 는 본 발명의 변형예에 관련된 리테이너를 나타내는 부분 정면도이다.
도 13 은 본 발명의 제 1 실시형태의 변형예에 관련된 리테이너를 나타내는 부분 측면도이다.

발명을 실시하기 위한 형태

이하, 본 발명에 의한 리테이너, 및 리테이너를 구비한 기판 수납 용기의 바람직한 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서, 동일 또는 상당 요소에는 동일한 부호를 달아, 중복되는 설명은 생략한다. 도 1 은, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 기판 수납 용기의 분해 사시도, 도 2 는, 도 1 에 나타내는 기판 수납 용기의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따른 횡단면도이다.

도 1 및 도 2 에 나타내는 기판 수납 용기 (1) 는, 기판 (W) 을 1 또는 복수 장 (예를 들어 6, 13, 25 장) 수용하고, 기판 (W) 의 수송, 반송, 보관 등에 사용되는 수납 용기이다. 기판 수납 용기 (1) 는, 기판 (W) 을 전후 방향 (Y) 으로 출납할 수 있게 하는 개구부 (3) 가 정면에 형성되고, 상하 방향 (Z) 으로 일정 간격으로 기판 (W) 을 정렬 수납하는 용기 본체 (2) 와, 이 용기 본체 (2) 의 개구부 (3) 에 끼워넣어지는 자유롭게 착탈할 수 있는 덮개체 (4) 를 구비하고 있다.

덮개체 (4) 는, 전후 방향 (Y) 으로 소정의 두께를 갖고, 개구부 (3) 의 대향하는 1 쌍의 둘레 가장자리에 걸리는 걸림 기구 (시정 (施錠) 기구) (15) 를 출몰 가능하게 내장하고 있다. 이 걸림 기구 (15) 는, 덮개체 (4) 의 외부로부터의 조작에 기초하여 출몰되고, 개구부 (3) 에 끼워넣어진 덮개체 (4) 를 시정할 수 있다. 또, 덮개체 (4) 의 측벽의 둘레 가장자리에는, 시일 개스킷 (16) (도 3 참조) 이 장착된다. 시일 개스킷 (16) 이 장착된 덮개체 (4) 를 개구부 (3) 에 장착하고, 걸림 기구 (15) 에 의해 시정함으로써, 기판 수납 용기 (1) 내를 밀폐 상태로 할 수 있다. 또, 덮개체 (4) 의 배면측 (기판 수납 용기의 내면) 에는, 복수의 기판 (W) 을 상하 방향으로 수평하게 나열하여 지지하는 리테이너 (8) 가 장착되어 있다. 또한, 리테이너 (8) 의 상세에 대해서는 후술한다.

기판 수납 용기 (1) 내에 수용되는 기판 (W) 은, 예를 들어 직경 300 ㎜ 의 원반 형상의 실리콘 웨이퍼로 이루어지고, 기판 (W) 의 표리 양면은, 각각 경면 가공되어 있다. 기판 (W) 은, 전용의 로봇에 의해 좌우의 측부 둘레 가장자리가 핸들링된 상태에서, 용기 본체 (2) 내로 출납된다. 기판 (W) 의 둘레 가장자리에는, 결정 방향의 판별이나 정렬을 용이하게 하는 노치 (N) (도 6 참조) 가 형성되어 있다. 이 노치 (N) 는, 평면에서 보았을 때, 예를 들어 반원 형상을 이루고 있다.

기판 수납 용기 (1) 중, 용기 본체 (2), 덮개체 (4), 로보틱 플랜지 (7), 및 핸들 (10) 등은, 예를 들어, 폴리프로필렌, 시클로올레핀 폴리머, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 폴리아세탈, 폴리에테르이미드 등의 합성 수지를 사용하여 형성할 수 있다. 이들 합성 수지나 열가소성 엘라스토머에 대전 방지제, 대전성 부여제 (카본, 금속 섬유), 자외선 흡수제, 보강제 (유리 섬유, 탄소 섬유) 등의 첨가제를 적당량 첨가해도 된다.

용기 본체 (2) 는, 투명성과 고강성이 우수한 폴리카보네이트 등의 소정의 수지를 사용하여 성형되어 있다. 용기 본체 (2) 는, 정면으로 개구된 프론트 오픈 박스 타입이다. 용기 본체 (2) 의 양 측벽 (21) 의 내벽면에는, 기판 (W) 을 수평하게 지지하는 티스 (17) 가 각각 형성되어 있다. 이 티스 (17) 는, 도시하는 상하 방향 (Z) 으로 소정의 피치로 복수 배열된다. 이 티스 (17) 에 의해, 기판 (W) 이 수평 상태에서 상하 방향 (Z) 으로 나열되어 정렬 수납된다.

각 티스 (17) 는, 기판 (W) 을 지지할 수 있는 구성이면 되고, 그 형상은 한정되지 않는다. 티스 (17) 의 형상으로는, 예를 들어, 평면에서 보았을 때, 직사각형, 「く」 자형 (V 자형), 반원호 형상 등을 들 수 있다. 티스 (17) 는, 기판 (W) 의 둘레 가장자리를 따르도록 형성된 선반부와, 이 선반부 상에 형성되고, 기판 (W) 과 접촉하는 평탄면을 갖는 기판 접촉부를 갖고 있다.

또, 티스 (17) 의 개구부 (3) 측에는, 기판 (W) 의 위치를 규제하는 위치 규제용 단차 (段差) (18) 가 형성되어 있다. 이 위치 규제용 단차 (18) 와, 용기 본체 (2) 의 안쪽 (개구부 (3) 와 반대측) 에서 기판 (W) 과 맞닿을 수 있게 된 측벽 (21) 의 내벽면 부분 (19) 에 의해, 용기 본체 (2) 내의 기판 (W) 의 전후 방향 (Y) 의 움직임을 규제할 수 있다.

이와 같은 구성의 티스 (17) 는, 용기 본체 (2) 와 일체로 하여 형성해도 되고, 고정 부품을 이용하거나, 혹은 마찰 걸어맞춤을 이용하여, 티스 (17) 를 용기 본체 (2) 에 장착해도 된다. 이와 같은 티스 (17) 에 의하면, 기판 (W) 의 측부 둘레 가장자리가, 높은 위치 정밀도를 유지하면서 수평하게 지지되고, 기판 (W) 이 상하 방향 (Z) 으로 경사지는 것이 방지되어, 로봇의 포크에 의한 기판 (W) 의 출납을 용이하게 할 수 있다.

용기 본체 (2) 의 저판 (저부) 의 외면에는, 소정의 장치 (예를 들어 기판을 가공하는 가공 장치 등) 에 대해 위치 결정을 하기 위한 위치 결정부가 형성되어 있다. 위치 결정부는, 3 지점에 설치되고, Y 자형으로 배치되어 있다. 또, 위치 결정부에는, V 자 홈 (오목부) 이 형성되어 있다. 또, 위치 결정부의 단면 (斷面) 형상은, V 자형에 한정되지 않고, 예를 들어, M 자형, 역 V 자형, 역 Y 자형 혹은 움푹 들어간 소판형 (小判形) 등으로 형성된다.

용기 본체 (2) 의 천판 (22) 의 외면에는, 평면에서 보았을 때 직사각형 형상을 이루는 로보틱 플랜지 (7) 가 형성되어 있다. 이 로보틱 플랜지 (7) 는, 용기 본체 (2) 와 일체적으로 형성된 것이어도 되고, 별도 부품으로서 형성되어, 용기 본체 (2) 에 대해 착탈 가능한 구성으로 된 것이어도 된다. 기판 수납 용기 (1) 는, 로보틱 플랜지 (7) 가 OHT (오버헤드 호이스트 트랜스퍼) 라고 불리는 도시하지 않은 자동 반송 기구에 의해 유지되어, 공장 내를 반송된다.

이하, 리테이너 (8) 에 대하여 상세하게 설명한다. 도 3 은, 도 1 중의 리테이너가 장착된 덮개체의 배면도, 도 4 는, 도 3 중의 리테이너의 사시도, 도 5 는, 도 3 에 나타내는 리테이너를 확대하여 나타내는 정면도, 도 6 은, 도 3 의 Ⅵ-Ⅵ 을 따른 단면도, 도 7 은, 용기 본체에 장착된 덮개체, 이 덮개체에 장착된 리테이너, 및 기판 수납 용기 내에서 유지된 기판을 나타내는 부분 단면도이다.

도 3 ∼ 도 5 에 나타내는 바와 같이, 리테이너 (8) 는, 직사각형의 외형을 이루는 프레임체 (32) 를 구비하고, 이 프레임체 (32) 는, 서로 대향하여 상하 방향 (Z) 으로 연장되는 1 쌍의 상하 방향부 (34) 와, 서로 대향하여 좌우 방향 (X) 으로 연장되는 1 쌍의 좌우 방향부 (36) 를 갖고 있다.

리테이너 (8) 는, 폴리프로필렌, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 폴리아세탈, 폴리에테르이미드 등의 합성 수지나, 폴리에스테르계 열가소성 엘라스토머, 폴리올레핀계 열가소성 엘라스토머, 폴리스티렌계 열가소성 엘라스토머, 폴리우레탄계 열가소성 엘라스토머 등의 각종 열가소성 엘라스토머로 형성할 수 있다. 또, 이들 수지나 열가소성 엘라스토머에, 대전 방지제, 카본이나 금속 섬유 등의 도전성 부여제, 자외선 흡수제, 유리 섬유나 탄소 섬유 등의 보강제 등의 첨가제를 적당량 첨가할 수 있다.

상하 방향부 (34) 는, 도 4 및 도 5 에 나타내는 바와 같이, 상하 방향 (Z) 으로 연장되고 평판 형상의 판 형상편 (34a), 판 형상편 (34a) 으로부터 전후 방향 (Y) 으로 돌출되는 복수의 측벽 (34b) 을 갖고 있다. 판 형상편 (34a) 은, 1 쌍의 좌우 방향부 (36) 의 길이 방향의 양 단부에 연결되고, 판 두께 방향을 전후 방향 (Y) 으로 하여 배치되어 있다. 측벽 (34b) 은, 판 형상편 (34a) 의 상하 방향 (Z) 을 따른 외측의 단부에서 교차하고, 판 두께 방향을 좌우 방향 (X) 으로 하여 형성되고, 상하 방향 (Z) 으로 소정의 피치로 복수 형성되어 있다. 예를 들어, 판 형상편 (34a) 은, 측벽 (34b) 의 전후 방향 (Y) 의 대략 중앙에서 교차하고 있다. 또, 판 형상편 (34a) 의 측벽 (34b) 이 형성되어 있지 않은 부분에는, 좌우 방향 (X) 의 내측으로 움푹 패인 절결부 (34c) 가 형성되어 있다. 이 절결부 (34c) 는, 리테이너 (8) 가 덮개체 (4) 에 장착될 때, 덮개체 (4) 에 형성된 돌기부에 끼워져, 리테이너 (8) 를 소정의 위치에 고정시킬 수 있다. 또한, 이들 측벽 (34b) 및 절결부 (34c) 는, 좌우 대칭으로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 그리고, 이들 절결부 (34c) 및 덮개체에 형성된 돌기부는, 리테이너를 덮개체에 장착할 때의 위치 결정을 실시하는 위치 결정부로서 기능한다.

또, 리테이너 (8) 에는, 도 4 ∼ 도 6 에 나타내는 바와 같이, 판 형상편 (34a) 으로부터 좌우 방향 (X) 의 내측으로 돌출되고, 기판 (W) 의 전후 방향 (Y) 의 위치를 규제할 수 있는 탄성편 (판 스프링) (38) 이, 상하 방향 (Z) 으로 소정의 피치로 복수 형성되어 있다. 탄성편 (38) 은, 예를 들어 직사각형 형상 (가로로 긴 형상) 을 이루고, 길이 방향이 좌우 방향 (X) 으로 연장되어 있다. 탄성편 (38) 은, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 판 형상편 (34a) 에 연결된 기단부 (基端部) (38b) 측보다 선단부 (38a) 측이, 기판 수납 용기 (1) 의 내측에 위치하도록 좌우 방향 (X) 에 대해 경사지게 배치되어 있다. 그리고, 탄성편 (38) 은, 상하 방향 (Z) 에 있어서 기판 (W) 의 위치에 대응하는 위치에 배치됨과 함께 좌우 대칭으로 배치되어 있다.

탄성편 (38) 의 선단부 (38a) 에는, 대략 직육면체를 이루고, 기판 (W) 과 대면하는 면에 기판 (W) 을 유지하는 유지홈이 형성된 유지부 (40) 가 형성되어 있다. 유지부 (40) 의 유지홈은, 기판 (W) 과 교차하는 단면이 예를 들어 V 자 형상을 이루고, 기판 (W) 의 둘레 가장자리를 따르도록 형성되어 있다. 그리고, 이 유지홈을 구성하는 면은, 상하 방향 (Z) 에 대해 경사져 있어, 상하 방향 (Z) 에 있어서 기판 (W) 을 소정의 위치로 안내할 수 있다. 또한, 유지홈을 형성하는 면은, 곡면이어도 되고, 예를 들어, V 자 단면의 유지홈 대신에, U 자 단면의 유지홈이어도 된다.

또, 리테이너 (8) 는, 상하 방향 (Z) 으로 연장되고 길이 방향의 양 단부가 좌우 방향부 (36) 에 연결된 연결편 (42) 을 구비하고 있다. 이 연결편 (42) 은, 평판 형상을 이루고, 판 두께 방향을 전후 방향 (Y) 으로 하여, 주면 (主面) 이 기판 (W) 의 둘레 가장자리와 대면하도록 배치되어 있다. 또, 연결편 (42) 은, 좌우 방향 (X) 에 있어서, 리테이너 (8) 의 중앙에 배치되어 있다.

또, 연결편 (42) 의 기판 (W) 측의 주면에는, 기판 (W) 측으로 돌출되는 복수의 볼록 리브편 (돌출부) (44A, 44B) 이 형성되어 있다. 볼록 리브편 (44A, 44B) 은, 측면에서 보았을 때, 예를 들어 산형 (山型) (대략 사다리꼴) 을 이루고 있다. 이 볼록 리브편 (44A, 44B) 은, 상하 방향 (Z) 으로 인접하는 기판 (W) 사이에 각각 배치되어 있다. 볼록 리브편 (44A, 44B) 은, 평판 형상을 이루고, 판 두께 방향이 좌우 방향 (X) 이 되도록 배치되고, 상하 방향 (Z) 의 단면이 기판 (W) 과 교차하는 방향에 대해 경사지는 경사면 (44e, 44f) 을 구성하고 있다. 즉, 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 상단면인 경사면 (44e) (제 1 경사면) 은, 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 선단측 (기판 수납 용기 (1) 의 후방측) 이 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 기단측 (연결편 (42) 측) 보다, 상하 방향 (Z) 에 있어서 하방에 위치하도록 경사져 있다. 또, 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 하단면인 경사면 (44f) (제 2 경사면) 은, 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 선단측 (기판 수납 용기 (1) 의 후방측) 이 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 기단측보다, 상하 방향 (Z) 에 있어서 상방에 위치하도록 경사져 있다.

또, 상하 방향 (Z) 으로 인접하는 볼록 리브편 (44A, 44B) 은, 좌우 방향 (X) 에서 상이한 위치에 배치되어 있다. 구체적으로는, 볼록 리브편 (44A) 이 기판 수납 용기 (1) 의 중앙보다 도시하는 우측 (도 5 참조) 에 배치되고, 볼록 리브편 (44B) 이 기판 수납 용기 (1) 의 중앙보다 도시하는 좌측에 배치되어 있다. 즉, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 볼록 리브편 (44A, 44B) 은, 좌우 방향 (X) 으로 이간되고, 상하 방향 (Z) 에 있어서, 기판 (W) 의 노치 (N) 와 중첩되지 않는 위치에 배치되어 있다. 또, 우측에 배치된 볼록 리브편 (44A) 및 좌측에 배치된 볼록 리브편 (44B) 은, 상하 방향 (Z) 으로 교대로 배치되고, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 각각 동일 직선 상에 배열되어 있다.

또, 리테이너 (8) 에서는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 기판 (W) 이 소정의 위치에서 정렬 배치된 통상적인 상태에 있어서, 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 경사면 (44e, 44f) 은, 기판 (W) 과 맞닿지 않는 위치에 배치되어 있다. 구체적으로는, 상하 방향 (Z) 으로 인접하는 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 간격 (P) 은, 기판 (W) 의 판 두께 (t) 보다 크게 되어 있다. 또, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 최상단에 배치된 볼록 리브편 (45A) 은, 상하 방향 (Z) 에 있어서 세로로 반으로 나눈 형상이 되고, 하방을 향하는 경사면 (44f) 을 갖고, 최하단에 배치된 볼록 리브편 (45B) 은, 상하 방향 (Z) 에 있어서 세로로 반으로 나눈 형상이 되고, 상방을 향하는 경사면 (44e) 을 갖고 있다. 또, 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 선단부는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 통상시, 상하 방향 (Z) 에 있어서 기판 (W) 의 둘레 가장자리의 일부와 중첩되도록 형성되어 있다.

다음으로, 이와 같이 구성된 리테이너 (8) 에 의한 기판 (W) 의 위치 규제에 대하여 설명한다. 통상적인 상태에서, 기판 (W) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 티스 (17) 에 의해, 좌우 방향 (X) 의 둘레 가장자리부가 지지되어, 기판 수납 용기 (1) 내에서의 수평이 유지되고 있다. 이 때, 기판 (W) 은, 위치 규제용 단차 (18) 에 의해 전방으로의 이동이 규제되고, 측벽 (21) 의 내벽면 부분 (19) 에 의해 후방으로의 이동이 규제되고 있다. 또, 이 통상적인 상태에서, 기판 (W) 은, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 탄성편 (38) 에 지지된 유지부 (40) 에 의해, 전방측의 둘레 가장자리부가 유지되어, 전방측으로의 이동이 규제되고 있다. 그리고, 기판 (W) 은, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 상하 방향 (Z) 에 있어서 볼록 리브편 (44A, 44B) 사이에 배치되어, 볼록 리브편 (44A, 44B) 과는 접촉되지 않는 상태이다.

여기에서, 예를 들어, 기판 수납 용기 (1) 가 전방측 (리테이너 (8) 측) 으로 경사진 경우 등, 기판 (W) 을 전방으로 이동시키는 힘이 작용했을 때에는, 기판 (W) 은, 탄성편 (38) 에 의한 복원력에 의해 후방으로 되밀려, 통상적인 상태와 동일한 위치로 복귀된다.

또, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 기판 (W) 이 전방측으로 이동한 경우에는, 기판 (W) 은, 리테이너 (8) 의 연결편 (42) 의 기판 (W) 측의 주면과 맞닿아, 상기 서술한 바와 같이, 탄성편 (38) 에 의한 복원력에 의해 후방으로 되밀려, 통상적인 상태와 동일한 위치로 복귀된다.

또, 기판 (W) 의 전방측이 상방으로 경사진 경우에는, 기판 (W) 은, 리테이너 (8) 의 연결편 (42) 의 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 경사면 (44f) 과 맞닿는다. 그리고, 기판 (W) 은, 경사면 (44f) 에 의해 이동이 규제되고, 상하 방향 (Z) 에 있어서 인접하는 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 중간 위치로 안내되어, 통상적인 상태와 동일한 위치로 복귀된다.

동일하게, 기판 (W) 의 전방측이 하방으로 경사진 경우에는, 기판 (W) 은, 리테이너 (8) 의 연결편 (42) 의 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 경사면 (44e) 과 맞닿는다. 그리고, 기판 (W) 은, 경사면 (44e) 에 의해 이동이 규제되고, 상하 방향 (Z) 에 있어서 인접하는 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 중간으로 안내되어, 통상적인 상태와 동일한 위치로 복귀된다.

이와 같은 리테이너 (8) 를 구비한 기판 수납 용기 (1) 에서는, 프레임체 (32) 의 상하 방향부 (34) 로부터 내측으로 돌출된 탄성편 (38) 에 의해, 기판 (W) 의 전후 방향의 위치를 규제할 수 있기 때문에, 기판 (W) 의 위치가 어긋난 경우에도, 탄성편 (38) 에 의해 기판 (W) 의 위치를 원래의 위치로 복귀시킬 수 있다. 또, 리테이너 (8) 는, 프레임체 (32) 의 좌우 방향부 (36) 에 길이 방향 (도 시 상하 방향 (Z)) 의 양 단부가 연결되고 상하 방향 (Z) 으로 연장되는 연결편 (42) 을 구비하고, 이 연결편 (42) 에는, 기판 수납 용기 (1) 의 내측으로 돌출되는 복수의 볼록 리브편 (44A, 44B) 이 형성되어 있다. 이 볼록 리브편 (44A, 44B) 은, 기판 (W) 의 둘레 가장자리와 맞닿을 수 있게 된 경사면 (44e, 44f) 을 갖는 구성이기 때문에, 이 경사면 (44e, 44f) 에 의해, 기판 (W) 을 용이하게 통상적인 상태와 동일한 위치로 안내할 수 있어, 기판 (W) 의 스침을 저감시키고, 기판 (W) 의 위치를 규제할 수 있다.

또, 볼록 리브편 (44A, 44B) 은, 상하 방향 (Z) 에 있어서 인접하는 기판 (W) 사이에 배치되어 있기 때문에, 1 개의 볼록 리브편 (44A, 44B) 에 의해, 상하 방향 (Z) 으로 인접하는 2 개의 기판 (W) 을 안내할 수 있다. 그 결과, 부품 점수를 삭감하여, 간소한 구성으로 할 수 있어, 제조 비용을 억제할 수 있다.

또, 볼록 리브편 (44A, 44B) 은, 상하 방향 (Z) 에 있어서 기판 (W) 의 판 두께 (t) 보다 큰 간극 (P) 을 형성하도록 배치되어 있기 때문에, 기판 (W) 이 정렬 배치된 통상적인 상태에 있어서, 기판 (W) 과 볼록 리브편 (44A, 44B) 이 맞닿지 않고, 기판 (W) 이 어긋난 경우에만, 기판 (W) 과 볼록 리브편 (44A, 44B) 을 맞닿게 할 수 있도록 되어 있다. 이와 같은 배치에 의해, 기판 (W) 과 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 스침을 저감시켜, 파티클의 발생을 억제할 수 있다.

또, 기판 (W) 을 사이에 두고 상하 방향 (Z) 의 양측에 형성된 볼록 리브편 (44A, 44B) 은, 좌우 방향 (X) 에 있어서 상이한 위치에 배치되어 있기 때문에, 상하 방향 (A) 으로 인접하는 볼록 리브편 (44A, 44B) 에 기판 (W) 이 끼이지 않는다.

여기에서, 제 1 실시형태의 변형예에 관련된 리테이너 (70) 에 대하여 도 13 을 참조하여 설명한다. 탄성편 (38) 의 선단부 (38a) 에 형성되는 유지부 (72) 의 유지홈은, 제 1 실시형태의 유지부 (40) 의 유지홈과 같은 V 자 상 외에, 도 13 과 같은 2 단 경사면을 구비한 형상으로 할 수 있다. 이 경우, 유지홈의 개구부측의 마주보는 경사면 (72a) 이 이루는 각도 θ1 는, 기판 (W) 의 위치를 규제하기 위해, 100 ° ∼ 120 °의 범위로 설정하는 것이 바람직하다. 각도 θ1 이 100 °이상이면, 유지홈으로부터 심이 어긋난 기판 (W) 을 넓은 범위에서 유지홈 내로 유도할 수 있다. 또, 각도 θ1 이 120 °이하이면, 기판 (W) 이 경사면의 도중에 걸리지 않고 유지홈 내로 확실하게 유도된다.

또, 유지홈의 안쪽부의 경사면 (72b) 이 이루는 각도 θ2 는, 기판 (W) 을 안정적으로 유지할 수 있게 되도록 35 ° ∼ 55 °의 범위로 설정하는 것이 바람직하다. 각도 θ2 가 35 °이상이면, 기판 (W) 이 유지홈에 끼여 덮개체 (4) 를 해제했을 때 기판 (W) 이 리테이너 (70) 에 의해 끌어 내어지는 것을 방지할 수 있다. 또, 각도 θ2 가 55 °이하이면, 진동 등이 있었을 때 유지홈으로부터 기판 (W) 이 튀어나오기 어렵게 할 수 있다.

또, 유지홈의 깊이 (h) 는, 기판 반경의 1.5 ％ ∼ 3.0 ％ 가 되는 깊이로 하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 반경 150 ㎜ (직경 300 ㎜) 의 기판 (W) 인 경우, 깊이 (h) 는, 2.25 ㎜ ∼ 4.5 ㎜ 로 설정된다. 깊이 (h) 가 2.25 ㎜ 이상이면, 진동 등이 있었을 때 유지홈으로부터 기판 (W) 이 튀어나오기 어렵게 할 수 있다. 깊이 (h) 가 4.5 m 이하이면, 유지부 (72) 가 덮개체 (4) 의 표면으로부터 튀어나오는 크기가 되는 것을 방지하고, 또한 탄성편 (38) 의 스프링성을 저해하지 않도록 할 수 있다.

다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 리테이너에 대하여 도 8 을 참조하여 설명한다. 도 8 은, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 리테이너, 덮개체, 기판을 나타내는 부분 단면도이다. 이 제 2 실시형태에 관련된 리테이너 (50) 가 제 1 실시형태에 관련된 리테이너 (8) 와 상이한 점은, 연결편 (42) 으로부터 전방으로 돌출되는 받이부 (52) 를 갖는 점이다.

받이부 (52) 는, 구체적으로는, 연결편 (42) 의 덮개체 (4) 에 대향하는 주면에 형성되고, 덮개체 (4) 를 향해 돌출되어 있다. 이 받이부 (52) 는, 측면에서 보았을 때 예를 들어 사다리꼴 형상을 이루고, 상하 방향으로 소정의 피치로 복수 형성되어 있다. 상하 방향 (Z) 에 있어서, 볼록 리브편 (44A) 에 대응하는 위치에 형성되어 있다. 또, 받이부 (52) 는, 좌우 방향 (X) 에 있어서, 연결편 (42) 의 중앙에 배치되어 있다. 또한, 받이부 (52) 의 형상은, 한정되지 않고, 요컨대, 덮개체 (4) 에 맞닿을 수 있으면 된다.

이와 같은 제 2 실시형태에 관련된 리테이너 (50) 에 있어서 도 제 1 실시형태와 동일한 작용, 효과를 발휘한다. 또한 제 2 실시형태의 리테이너 (50) 에서는, 연결편 (42) 으로부터 전방으로 돌출되는 받이부 (52) 가 형성되어 있기 때문에, 받이부 (52) 와 덮개체 (4) 를 맞닿게 함으로써, 연결편 (42) 의 전방으로의 이동을 규제할 수 있다. 그 결과, 연결편 (42) 의 전방으로의 이동을 억제하여, 기판 (W) 의 이동을 더욱 바람직하게 규제할 수 있어, 기판 (W) 의 스침을 저감시킬 수 있다. 또한, 받이부 (52) 는, 리테이너 (50) 의 측벽 (34b) 보다 전방측 (벽체 (4) 측) 으로 돌출되는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 이로써, 연결편 (42) 의 전후 방향 (Y) 의 이동량을 더욱 저감시킬 수 있게 된다. 또, 받이부 (52) 의 높이 (전후 방향 (Y) 의 길이) 를 변경함으로써, 연결편 (42) 의 전후 방향의 위치를 바람직하게 조절할 수 있다. 또, 받이부 (52) 는, 전후 방향 (Y) 에서 보았을 때, 원형, 직사각형, 평판 형상이어도 되고, 그 밖의 형상이어도 된다.

다음으로, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 리테이너에 대하여 도 9 를 참조하여 설명한다. 도 9 는, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 리테이너, 덮개체, 기판을 나타내는 부분 단면도이다. 이 제 3 실시형태에 관련된 리테이너 (54) 가 제 2 실시형태에 관련된 리테이너 (50) 와 상이한 점은, 받이부 (56) 의 형상이 상이한 점이다.

받이부 (56) 는, 구체적으로는, 연결편 (42) 의 덮개체 (4) 에 대향하는 주면에 형성되고, 덮개체 (4) 를 향해 돌출되어 있다. 이 받이부 (56) 는, 상하 방향 (Z) 에 있어서 중앙부 (56a) 의 높이 (전후 방향 (Y) 의 길이) 가 가장 높고, 상하 방향 (Z) 의 양 단부를 향해 경사지는 사변 (56b) 이 형성되어 있다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 전후 방향 (Y) 의 이동량이 가장 큰 중앙부 (56a) 의 위치를 바람직하게 규제할 수 있다. 또한, 측면에서 보았을 때 직선 형상의 사변 (56b) 대신에, 만곡 형상으로 해도 된다.

다음으로, 본 발명의 제 4 실시형태에 관련된 리테이너에 대하여 도 10 을 참조하여 설명한다. 도 10 은, 본 발명의 제 4 실시형태에 관련된 리테이너의 부분 정면도이다. 또한, 리테이너의 정면이란, 기판 (W) 측의 면이다. 제 4 실시형태에 관련된 리테이너 (58) 가 제 1 실시형태에 관련된 리테이너 (8) 와 상이한 점은, 볼록 리브편 (44A, 44B) 과는 형상 및 위치가 상이한 볼록 리브편 (돌출부) (60A, 60B) 을 갖는 점이다.

구체적으로는, 제 4 실시형태에 관련된 리테이너 (58) 의 볼록 리브편 (60A, 60B) 은, 블록 형상으로 형성되고, 제 1 실시형태의 볼록 리브편 (44A, 44B) 보다 좌우 방향 (X) 으로 폭을 갖고 있다. 또한, 볼록 리브편 (60A, 60B) 의 측면 형상은, 볼록 리브편 (44A, 44B) 과 동일한 형상이며, 예를 들어 산형 (대략 사다리꼴) 으로 형성되어 있다. 그리고, 상하 방향 (Z) 의 단면 (端面) 이 기판 (W) 과 교차하는 방향으로 경사지는 경사면 (60e, 60f) 을 구성하고 있다. 즉, 볼록 리브편 (60A, 60B) 의 상단면인 경사면 (60e) (제 1 경사면) 은, 볼록 리브편 (60A, 60B) 의 선단측 (기판 수납 용기 (1) 의 후방측) 이 볼록 리브편 (60A, 60B) 의 기단측 (연결편 (42) 측) 보다 하방에 위치하도록 경사져 있다. 또, 볼록 리브편 (60A, 60B) 의 하단면인 경사면 (60f) (제 2 경사면) 은, 볼록 리브편 (60A, 60B) 의 선단측 (기판 수납 용기 (1) 의 후방측) 이 볼록 리브편 (60A, 60B) 의 기단측보다 상방에 위치하도록 경사져 있다.

또, 볼록 리브편 (60A, 60B) 은, 상하 방향 (Z) 을 따라 2 열로 배치되고, 볼록 리브편 (60A) 은 도시하는 우측에 배치되고, 볼록 리브편 (60B) 은 도시하는 좌측에 배치되어 있다. 그리고, 볼록 리브편 (60A, 60B) 은, 상하 방향 (Z) 에서 보았을 때, 좌우 방향 (X) 에 있어서 일부가 중첩되도록 배치되어 있다. 예를 들어, 좌우 방향 (X) 에 있어서 약 절반이 중첩되도록 배치되어 있다. 또, 볼록 리브편 (60A, 60B) 의 경사면 (60e, 60f) 은, 기판 (W) 에 형성된 노치 (N) (도 6 참조) 의 좌우 방향 (X) 의 폭보다 광범위하게 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성된 제 4 실시형태의 리테이너 (8) 에 있어서도 제 1 실시형태의 리테이너 (8) 와 동일한 작용 효과를 발휘한다.

다음으로, 본 발명의 제 5 실시형태에 관련된 리테이너에 대하여 도 11 을 참조하여 설명한다. 도 11 은, 본 발명의 제 5 실시형태에 관련된 리테이너의 부분 정면도이다. 이 제 5 실시형태에 관련된 리테이너 (62) 가 제 1 실시형태에 관련된 리테이너 (8) 와 상이한 점은, 유지부 (40) 를 지지하는 구조가 상이한 점이고, 외팔보 구조에 의해 지지된 유지부 (40) 대신에, 양팔보 구조에 의해 지지된 유지부 (40) 를 갖는 점이다.

제 5 실시형태에 관련된 리테이너는, 좌우 방향 (X) 의 내측으로부터 유지부 (40) 를 지지하는 연결 탄성편 (64) 을 구비하고 있다. 연결 탄성편 (64) 은, 좌우 방향 (X) 으로 연장되고, 일방의 단부 (64a) 가 연결편 (42) 에 연결되고, 타방의 단부 (64b) 가 유지부 (40) 에 연결되어 있다. 그리고, 유지부 (40) 는, 탄성편 (38) 및 연결 탄성편 (64) 에 의해 좌우 방향 (X) 의 양측으로부터 지지되어 있다. 이와 같이 구성된 제 5 실시형태의 리테이너 (62) 에 있어서도 제 1 실시형태의 리테이너 (8) 와 동일한 작용 효과를 발휘한다.

다음으로, 본 발명의 변형예에 관련된 리테이너에 대하여 도 12 를 참조하여 설명한다. 도 12 는, 본 발명의 변형예에 관련된 리테이너의 정면도이다. 변형예에 관련된 리테이너 (66) 가 제 1 실시형태에 관련된 리테이너 (8) 와 상이한 점은, 연결편 (42) 대신에 좌우 방향 (X) 으로 인접하는 유지부 (40) 를 연결하는 연결 탄성편 (68) 을 구비하는 점, 볼록 리브편 (44A, 44B) 이 상하 방향으로 인접하는 2 개의 연결 탄성편 (68) 에 걸쳐 고정되어 있는 점이다. 이와 같은 구성으로 한 경우에는, 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 전방으로의 이동을 규제하기 위해, 연결 탄성편 (68) 으로부터 덮개체 (4) 를 향해 돌출되는 받이부 (52, 56) 를 형성하는 것이 바람직하다.

이상, 본 발명을 그 실시형태에 기초하여 구체적으로 설명하였는데, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태에 있어서, 본 발명의 기판 수납 용기를, 반도체 웨이퍼를 수납하는 것으로서 설명하고 있는데, 수납물되는 기판은, 반도체 웨이퍼에 한정되지 않고, 마스크 유리를 비롯한 그 밖의 정밀 기판이어도 된다. 또, 수용되는 기판의 크기는, 300 ㎜ 에 한정되지 않고, 예를 들어 450 ㎜ 등 그 밖의 크기여도 된다. 또, 수납 장수도 1 ∼ 25 장에 한정되지 않고 26 장 이상이어도 된다.

또, 상기 실시형태에서는, 리테이너 (8) 를 덮개체 (4) 의 배면측에 장착한 기판 수납 용기 (1) 로 하고 있지만, 리테이너 (8) 의 장착 위치는, 용기 본체 (2) 의 측벽 (21) 의 내벽면, 배면벽의 내벽면으로 해도 된다.

또, 리테이너 (8) 를 덮개체 (4) 에 장착할 때의 위치 결정부인 위치 결정 돌기 및 위치 결정 오목부는, 프레임체 (32) 의 상하 방향부 (34) 에 있어서 좌우 대칭이 되는 위치에 형성되어 있지만, 좌우 비대칭이 되도록 위치 결정부를 형성해도 된다. 이와 같이 위치 결정부를 좌우 비대칭으로 형성하는 경우, 리테이너 (8) 를 장착할 때, 상하 방향 (Z) 에 있어서의 방향성을 낼 수 있기 때문에, 기판 (W) 과 유지부 (40) 의 유지홈을 형성하는 벽면을 양호한 정밀도로 맞닿게 할 수 있다. 또, 좌우 대칭의 위치 결정부를 구비하는 구성으로 한 경우에도, 추가로 비대칭의 위치 결정부를 형성함으로써, 상하 방향에 있어서의 장착 오류를 방지하도록 해도 된다.

또, 덮개체와 리테이너의 위치 결정부나, 리테이너의 걸림 갈고리는, 일방의 측벽 뿐만 아니라, 타방의 측벽에 형성되어 있어도 된다. 또, 프레임체의 일부에 상방으로 굴곡 가능한 굴곡부를 갖는 구성으로 함으로써, 리테이너의 장착이나 분리를 용이하게 할 수도 있다.

또, 리테이너 (50, 54) 의 배면측에 형성된 받이부 (52, 56) 대신에, 받이부를 덮개체 (4) 의 배면 (리테이너측의 주면) 에 형성함으로써, 연결편 (42), 볼록 리브편 (44A, 44B) 의 전방으로의 이동을 규제해도 된다.

실시예

다음으로 본 발명을 실시예에 의해 더욱 상세하게 설명하는데, 본 발명은 실시예에 한정되는 것은 아니다.

(실시예 1)

먼저, 제 1 실시형태의 리테이너 (8) (도 4 참조) 를 구비한 기판 수납 용기 (1) 를 준비하고, 이 기판 수납 용기 (1) 에 기판 (W) 을 25 장 수납시켰다. 수납된 각 기판 (W) 은, 티스 (17) 에 의해 수평하게 지지되어 있다.

계속해서, 이와 같이 각 기판 (W) 이 수납된 기판 수납 용기 (1) 의 저면을 기준면으로부터 10 ㎝ 들어올려, 저면을 아래로 한 상태에서 기판 수납 용기 (1) 를 수직으로 낙하시켜, 리테이너 (8) 로부터의 기판 (W) 의 빠짐이나 기판 (W) 의 파손 유무를 확인하였다. 또, 리테이너 (8) 로부터의 기판 (W) 의 빠짐이나 기판 (W) 의 파손이 발생할 때까지, 10 ㎝ 마다 낙하 높이를 높이고, 동일하게 낙하시켜, 견딜 수 있는 최대 낙하 높이를 확인하였다.

(실시예 2)

제 1 실시형태의 변형예의 리테이너 (70) 로서, 유지홈이 2 단 경사면 (72a, 72b) 을 갖는 유지부 (72) (도 13 참조) 를 포함하는 리테이너 (70) 를 구비한 기판 수납 용기를 준비하고, 실시예 1 과 동일하게 기판 수납 용기에 기판 (W) 을 25 장 수납시켰다. 그 후, 이 기판 수납 용기에 대해, 실시예 1 과 동일한 낙하 시험을 실시하였다.

(실시예 3)

제 2 실시형태의 리테이너 (50) 를 구비한 기판 수납 용기 (도 8 참조) 를 준비하고, 실시예 1 과 동일하게 기판 수납 용기에 기판 (W) 을 25 장 수납시켰다. 그 후, 이 기판 수납 용기에 대해, 실시예 1 ∼ 2 와 동일한 낙하 시험을 실시하였다.

(실시예 4)

제 3 실시형태의 리테이너 (54) 를 구비한 기판 수납 용기 (도 9 참조) 를 준비하고, 실시예 1 과 동일하게 기판 수납 용기에 기판 (W) 을 25 장 수납시켰다. 그 후, 이 기판 수납 용기에 대해, 실시예 1 ∼ 3 과 동일한 낙하 시험을 실시하였다.

(실시예 5)

제 4 실시형태의 리테이너 (58) 를 구비한 기판 수납 용기 (도 10 참조) 를 준비하고, 실시예 1 과 동일하게 기판 수납 용기에 기판 (W) 을 25 장 수납시켰다. 그 후, 이 기판 수납 용기에 대해, 실시예 1 ∼ 4 와 동일한 낙하 시험을 실시하였다.

(실시예 6)

제 5 실시형태의 리테이너 (62) 를 구비한 기판 수납 용기 (도 11 참조) 를 준비하고, 실시예 1 과 동일하게 기판 수납 용기에 기판 (W) 을 25 장 수납시켰다. 그 후, 이 기판 수납 용기에 대해, 실시예 1 ∼ 5 와 동일한 낙하 시험을 실시하였다.

(비교예)

제 1 실시형태의 리테이너 (8) 에서 연결편 (42) 을 제거한 리테이너를 비교용 리테이너로 하고, 이 비교용 리테이너를 구비한 기판 수납 용기를 준비하였다. 그 후, 이 기판 수납 용기에 대해, 실시예 1 ∼ 6 과 동일한 낙하 시험을 실시하였다.

상기 서술한 실시예 1 ∼ 실시예 6 에서의 낙하 시험 및 비교예에서의 낙하 시험의 결과는, 표 1 과 같다.

낙하 높이 (cm)	실시예 1	실시예 2	실시예 3	실시예 4	실시예 5	실시예 6	비교예
10	양호	양호	양호	양호	양호	양호	양호
20	양호	양호	양호	양호	양호	양호	양호
30	양호	양호	양호	양호	양호	양호	빠짐 발생
40	양호	양호	양호	양호	양호	양호	-
50	양호	양호	양호	양호	양호	양호	-
60	양호	양호	양호	양호	양호	양호	-
70	양호	양호	양호	양호	양호	양호	-
80	빠짐 발생	양호	빠짐 발생	양호	빠짐 발생	빠짐 발생	-
90	-	빠짐 발생	-	빠짐 발생	-	-	-

표 1 로부터 명백한 바와 같이, 비교용 리테이너 (연결편 (42) 을 갖지 않는 리테이너) 를 구비한 기판 수납 용기에서는, 낙하 높이 30 ㎝ 에서의 낙하 시험에서 기판 (W) 이 유지홈에서 빠지고, 그 빠짐에 수반되는 파손이 기판 (W) 에 발생하였다. 이것에 대해, 실시예 1 ∼ 6 의 기판 수납 용기에서는, 낙하 높이 70 ㎝ ∼ 80 ㎝ 에서의 낙하 시험에서도 기판 (W) 이 유지홈에서 빠지지 않았다 (표 중의 「양호」는, 기판 (W) 의 빠짐 없음을 의미). 따라서, 본 실시형태에 관련된 리테이너에 의하면, 비교예의 리테이너에 비해, 3 배 이상의 낙하 높이에 견딜 수 있어, 기판 (W) 을 보다 안정적으로 유지할 수 있다.

1 … 기판 수납 용기, 2 … 용기 본체, 3 … 개구부, 4 … 덮개체, 8, 50, 54, 58, 62, 70 … 리테이너, 32 … 프레임체, 34 … 상하 방향부, 36 … 좌우 방향부, 38 … 탄성편, 40, 72 … 유지부, 42 … 연결편, 44A, 44B, 60A, 60B … 볼록 리브편 (돌출부), 44e, 60e … 경사면 (제 1 경사면), 44f, 60f … 경사면 (제 2 경사면), 52, 56 … 받이부.

Claims (7)

1. 기판을 수납하는 기판 수납 용기에 형성되고, 판 두께 방향이 상하 방향을 따라 일정 간격으로 정렬되고 지지된 기판을 유지하는 리테이너로서,
   상하 방향으로 연장되는 1 쌍의 상하 방향부 및 상기 1 쌍의 상하 방향부와 교차하는 좌우 방향으로 연장되는 1 쌍의 좌우 방향부를 갖는 프레임체와,
   상기 상하 방향부로부터 내측으로 돌출되고, 상기 기판의 위치를 규제할 수 있는 탄성편과,
   상하 방향으로 연장되고 양 단부 (端部) 가 상기 좌우 방향부에 연결된 연결편과,
   상기 기판과 교차하는 방향으로 경사지고 상기 기판의 둘레 가장자리와 맞닿을 수 있게 된 경사면이 형성되고, 상기 연결편으로부터 상기 기판 수납 용기의 내측으로 돌출되는 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 리테이너.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 돌출부는, 상하 방향에 있어서 인접하는 기판 사이에 배치되고,
   상기 경사면으로서,
   상단 (上端) 에 형성되어 일방의 기판에 맞닿을 수 있게 된 제 1 경사면과,
   하단 (下端) 에 형성되어 타방의 기판에 맞닿을 수 있게 된 제 2 경사면을 갖는 것을 특징으로 하는 리테이너.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 돌출부는, 상하 방향에 있어서 기판의 양측에 형성되고,
   기판의 양측에 형성된 돌출부는, 상하 방향에 있어서 기판의 판 두께보다 큰 간극을 형성하며 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 리테이너.
4. 제 3 항에 있어서,
   기판의 양측에 형성된 상기 돌출부는, 좌우 방향에 있어서 상이한 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 리테이너.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 연결편으로부터 외측으로 돌출되고, 상기 프레임체가 장착되는 벽체와 맞닿을 수 있게 되고, 상기 연결편의 이동을 규제하는 받이부를 갖는 것을 특징으로 하는 리테이너.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 받이부는, 상기 연결편의 중앙에 형성되고, 상기 프레임체보다 상기 벽체측의 외측으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 리테이너.
7. 개구부를 갖고 기판을 수납하는 용기 본체와,
   상기 개구부를 폐쇄하는 덮개체와,
   상기 용기 본체의 내벽 또는 상기 덮개체에 장착된 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 리테이너를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
   
   

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