JPWO2009131016A1 - リテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器 - Google Patents

Abstract

枠体３２の上下方向部３４から内側へ突出した弾性片３８によって、基板の位置を規制可能とすることで、基板の位置がずれた場合に、基板の位置を元の位置に復帰させる。また、枠体３２の左右方向部３６に両端部が連結され上下方向Ｚに延在する連結片４２を設け、この連結片４２には、基板収納容器の内側へ突出する突出部４４Ａ，４４Ｂを設ける。そして、この突出部４４Ａ，４４Ｂを、基板と交差する方向に傾斜し基板の周縁と当接可能とされた傾斜面４４ｅ，４４ｆを有する構成とすることで、この傾斜面４４ｅ，４４ｆによって、基板を案内させて、基板の擦れを低減して、基板の位置を規制する。

Description

本発明は、半導体ウェーハ、マスクガラス、ペリクル付きマスクガラス、ペリクル等の基板を保持するリテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器に関する。

基板の輸送に使用される基板収納容器として、特許文献１，２に開示された基板収納容器が知られている。このような基板収納容器は、例えば前側である正面に開口部が形成され内部に基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉可能とする蓋体と、この蓋体の内壁面に取り付けられ、基板の前部周縁を保持して、容器本体との間に基板を挟持するリテーナとを有している。このリテーナには、基板を保持する保持溝が先端部に形成された複数の弾性片が、基板に対して一対ずつ設けられ、この一対の弾性片は、基板に沿って配置されている。また、必要に応じて、一つの弾性片に対して複数の保持溝が形成された構成や、蓋体の中央部側に他の弾性片及び保持溝が形成された構成などがある。そして、蓋体は、手動又は蓋体開閉装置により容器本体に嵌合されたり、取外されたりする。また、リテーナには、例えば係止突起又は係止凹部などの係止部が設けられている。リテーナの係止部を相手側の係止部に嵌めることで、リテーナが蓋体（または容器本体）に固定される。

特開２００２−３５３３０１号公報 特開２００５−３２００２８号公報

上記した従来技術では、例えば、装置による自動搬送時、作業員による手動搬送時に、落下などにより基板収納容器に大きな衝撃が加わった際に、弾性片が大きく撓んでしまい、その反動に伴い弾性片が変動することで、基板が保持溝から外れて破損したり、破損しないまでも基板と基板収容容器との擦れによってパーティクルが発生して基板が汚染されたりするおそれがあった。

また、こうした衝撃が加わった際の対策として、保持溝の形状を例えばＶ字状とし、溝の深さを深く、且つ、溝の幅を狭くすることが有効であるが、この場合には、基板と保持溝と接触による擦れが多くなってしまい、基板が汚染され易くなるといった問題や、基板が保持溝に挟まってしまうといった問題が発生するおそれがある。

本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、基板を安定して保持することが可能であり、基板汚染のおそれを低減することが可能なリテーナ、及びこれを備えた基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明によるリテーナは、基板を収納する基板収納容器に設けられ、板厚方向が上下方向に沿って一定間隔で整列されて支持された基板を保持するリテーナであって、上下方向に延在する一対の上下方向部及び一対の上下方向部と交差する左右方向に延在する一対の左右方向部を有する枠体と、上下方向部から内側に突出し、基板の位置を規制可能な弾性片と、上下方向に延在し両端部が左右方向部に連結された連結片と、基板と交差する方向に傾斜し前記基板の周縁と当接可能とされた傾斜面が形成され、連結片から基板収納容器の内側へ突出する突出部と、を備えることを特徴としている。

このようなリテーナによれば、枠体の上下方向部から内側へ突出した弾性片によって、基板の位置を規制可能であるため、基板の位置がずれた場合であっても、弾性片によって基板の位置を元の位置に復帰させることができる。また、枠体の左右方向部に両端部が連結され上下方向に延在する連結片を備え、この連結片には、基板収納容器の内側へ突出する突出部が形成されている。この突出部は、基板と交差する方向に傾斜し基板の周縁と当接可能とされた傾斜面を有する構成であるため、この傾斜面によって、基板を容易に案内することができ、基板の擦れを低減して、基板の位置を規制することができる。

また、突出部は、上下方向において隣接する基板間に配置され、傾斜面として、上端に形成され一方の基板に当接可能とされた第１の傾斜面と、下端に形成され他方の基板に当接可能とされた第２の傾斜面と、を有する構成であることが好ましい。このような構成によれば、基板間に配置された一つの突出部によって、上下方向に隣接する二つの基板を案内することができる。

また、突出部は、上下方向において基板の両側に設けられ、基板の両側に設けられた突出部は、上下方向において基板の板厚より大きな隙間を形成して配置されている構成であることが好ましい。このような構成によれば、基板が整列配置された通常状態において、基板と突出部とが当接することがなく、基板がずれた場合にのみ、基板と突出部とを当接させることができ、基板と突出部との擦れを低減して、パーティクルの発生を抑制することができる。

また、基板の両側に設けられた突出部は、左右方向において異なる位置に配置されていることが好ましい。これにより、基板の両側に設けられた突出部に基板が挟まることがない。

また、連結片から外側に突出し、枠体が取り付けられる蓋体と当接可能とされ、連結片の移動を規制する受け部を有する構成としてもよい。また、受け部は、連結片の中央に形成され、枠体より壁体側の外方に突出していることが好ましい。これにより、連結片の移動を規制して、突出部の位置を規制することができる。

また、本発明による基板収納容器は、開口部を有し基板を収納する容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体と、容器本体の内壁又は蓋体に取り付けられた上記のリテーナと、を備えることを特徴としている。

このような基板収納容器によれば、枠体の上下方向部から内側へ突出した弾性片によって、基板の位置を規制可能であるため、基板の位置がずれた場合であっても、弾性片によって基板の位置を元の位置に復帰させることができる。また、枠体の左右方向部に両端部が連結され上下方向に延在する連結片を備え、この連結片には、基板収納容器の内側へ突出する突出部が形成されている。この突出部は、基板と交差する方向に傾斜し基板の周縁と当接可能とされた傾斜面を有する構成であるため、この傾斜面によって、基板を容易に案内することができ、基板の擦れを低減して、基板の位置を規制することができる。

本発明によれば、基板の擦れを低減すると共に基板の位置を規制することができるため、基板を安定して保持し、基板汚染のおそれを低減することが可能なリテーナ、及びこれを備えた基板収納容器を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。 図１に示す基板収納容器のＩＩ−ＩＩ線に沿う横断面図である。 図１中のリテーナが取り付けられた蓋体の背面図である。 図３中のリテーナの斜視図である。 図３に示すリテーナを拡大して示す正面図である。 図３のＶＩ−ＶＩに沿う断面図である。 容器本体に装着された蓋体、この蓋体に取り付けられたリテーナ、及び、基板収納容器内で保持された基板を示す部分断面図である。 本発明の第２実施形態に係るリテーナ、蓋体、基板を示す部分断面図である。 本発明の第３実施形態に係るリテーナ、蓋体、基板を示す部分断面図である。 本発明の第４実施形態に係るリテーナを示す部分正面図である。 本発明の第５実施形態に係るリテーナを示す部分正面図である。 本発明の変形例に係るリテーナを示す部分正面図である。 本発明の第１実施形態の変形例に係るリテーナを示す部分側面図である。

以下、本発明によるリテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図、図２は、図１に示す基板収納容器のＩＩ−ＩＩ線に沿う横断面図である。

図１及び図２に示す基板収納容器１は、基板Ｗを１又は複数枚（例えば６，１３，２５枚）収容し、基板Ｗの輸送、搬送、保管などに使用される収納容器である。基板収納容器１は、基板Ｗを前後方向Ｙに出し入れ可能とする開口部３が正面に形成され、上下方向Ｚに一定間隔で基板Ｗを整列収納する容器本体２と、この容器本体２の開口部３に嵌入される着脱自在の蓋体４とを備えている。

蓋体４は、前後方向Ｙに所定の厚さを有し、開口部３の対向する一対の周縁に係止される係止機構（施錠機構）１５を出没可能に内蔵している。この係止機構１５は、蓋体４の外部からの操作に基づいて出没し、開口部３に嵌入された蓋体４を施錠することができる。また、蓋体４の側壁の周縁には、シールガスケット１６（図３参照）が装着される。シールガスケット１６が装着された蓋体４を開口部３に取り付け、係止機構１５によって施錠することで、基板収納容器１内を密閉状態とすることができる。また、蓋体４の背面側（基板収納容器の内面）には、複数の基板Ｗを上下方向に水平に並べて支持するリテーナ８が取り付けられている。なお、リテーナ８の詳細については後述する。

基板収納容器１内に収容される基板Ｗは、例えば直径３００ｍｍの円盤状のシリコンウェーハからなり、基板Ｗの表裏両面は、それぞれ鏡面加工されている。基板Ｗは、専用のロボットにより左右の側部周縁がハンドリングされた状態で、容器本体２内に出し入れされる。基板Ｗの周縁には、結晶方向の判別や整列を容易にするノッチＮ（図６参照）が形成されている。このノッチＮは、平面視において、例えば半円形状を成している。

基板収納容器１のうち、容器本体２、蓋体４、ロボティックフランジ７、及びハンドル１０などは、例えば、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアセタール、ポリエーテルイミドなどの合成樹脂を用いて形成することができる。これらの合成樹脂や熱可塑性エラストマーに帯電防止剤、帯電性付与剤（カーボン、金属繊維）、紫外線吸収剤、補強剤（ガラス繊維、炭素繊維）などの添加剤を適量添加してもよい。

容器本体２は、透明性や高剛性に優れるポリカーボネート等の所定の樹脂を用いて成形されている。容器本体２は、正面に開口したフロントオープンボックスタイプである。容器本体２の両側壁２１の内壁面には、基板Ｗを水平に支持するティース１７が各々形成されている。このティース１７は、図示上下方向Ｚに所定のピッチで複数配列される。このティース１７によって、基板Ｗが水平状態で上下方向Ｚに並べて整列収納される。

各ティース１７は、基板Ｗを支持可能な構成であればよく、その形状は限定されない。ティース１７の形状としては、例えば、平面視において、長方形、「く」の字形（Ｖ字形)、半円弧形状等が挙げられる。ティース１７は、基板Ｗの周縁に沿うように形成された棚部と、この棚部上に形成され、基板Ｗと接触する平坦面を有する基板接触部とを有している。

また、ティース１７の開口部３側には、基板Ｗの位置を規制する位置規制用段差１８が形成されている。この位置規制用段差１８と、容器本体２の奥側（開口部３と反対側）で基板Ｗと当接可能とされた側壁２１の内壁面部分１９とによって、容器本体２内の基板Ｗの前後方向Ｙの動きを規制することができる。

このような構成のティース１７は、容器本体２と一体として形成してもよく、固定部品を利用して、あるいは、摩擦係合を用いて、ティース１７を容器本体２に取り付けてもよい。このようなティース１７によれば、基板Ｗの側部周縁が、高い位置精度を保ちつつ水平に支持され、基板Ｗが上下方向Ｚに傾斜することが防止され、ロボットのフォークによる基板Ｗの出し入れを容易とすることができる。

容器本体２の底板（底部）の外面には、所定の装置（例えば基板を加工する加工装置等）に対して位置決めを行うための位置決め部が形成されている。位置決め部は、３箇所に設置され、Ｙ字形に配置されている。また、位置決め部には、Ｖ字溝（凹部）が形成されている。また、位置決め部の断面形状は、Ｖ字形に限定されず、例えば、Ｍ字形、逆Ｖ字形、逆Ｙ字形あるいは凹んだ小判形等に形成される。

容器本体２の天板２２の外面には、平面視において矩形状を成すロボティックフランジ７が形成されている。このロボティックフランジ７は、容器本体２と一体的に形成されたものでもよく、別部品として形成され、容器本体２に対して着脱可能な構成とされたものでもよい。基板収納容器１は、ロボティックフランジ７がＯＨＴ（オーバーヘッドホイストトランスファー）と呼ばれる図示しない自動搬送機構によって保持されて、工場内を搬送される。

以下、リテーナ８について詳説する。図３は、図１中のリテーナが取り付けられた蓋体の背面図、図４は、図３中のリテーナの斜視図、図５は、図３に示すリテーナを拡大して示す正面図、図６は、図３のＶＩ−ＶＩに沿う断面図、図７は、容器本体に装着された蓋体、この蓋体に取り付けられたリテーナ、及び、基板収納容器内で保持された基板を示す部分断面図である。

図３〜図５に示すように、リテーナ８は、矩形の外形を成す枠体３２を備え、この枠体３２は、互いに対向して上下方向Ｚに延在する一対の上下方向部３４と、互いに対向して左右方向Ｘに延在する一対の左右方向部３６と有している。

リテーナ８は、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアセタール、ポリエーテルイミドなどの合成樹脂や、ポリエステル系熱可塑性エラストマー、ポリオレフィン系熱可塑性エラストマー、ポリスチレン系熱可塑性エラストマー、ポリウレタン系熱可塑性エラストマー等の各種熱可塑性エラストマーから形成することができる。また、これらの樹脂や熱可塑性エラストマーに、帯電防止剤、カーボンや金属繊維などの導電性付与剤、紫外線吸収剤、ガラス繊維や炭素繊維などの補強剤などの添加剤を適量添加することができる。

上下方向部３４は、図４及び図５に示すように、上下方向Ｚに延在し平板状の板状片３４ａ、板状片３４ａから前後方向Ｙに突出する複数の側壁３４ｂを有している。板状片３４ａは、一対の左右方向部３６の長手方向の両端部に連結され、板厚方向を前後方向Ｙとして配置されている。側壁３４ｂは、板状片３４ａの上下方向Ｚに沿う外側の端部で交差し、板厚方向を左右方向Ｘとして形成され、上下方向Ｚに所定のピッチで複数形成されている。例えば、板状片３４ａは、側壁３４ｂの前後方向Ｙの略中央で交差している。また、板状片３４ａの側壁３４ｂが形成されていない部分には、左右方向Ｘの内側へ凹む切欠き部３４ｃが形成されている。この切欠き部３４ｃは、リテーナ８が蓋体４に取り付けられる際に、蓋体４に形成された突起部に嵌められて、リテーナ８を所定の位置に固定することができる。なお、これらの側壁３４ｂ及び切欠き部３４ｃは、左右対称に配置されていることが好ましい。そして、これらの切欠き部３４ｃ及び蓋体に形成された突起部は、リテーナを蓋体に取り付ける際の位置決めを行う位置決め部として機能する。

また、リテーナ８には、図４〜図６に示すように、板状片３４ａから左右方向Ｘの内側に突出し、基板Ｗの前後方向Ｙの位置を規制可能な弾性片（板バネ）３８が、上下方向Ｚに所定のピッチで複数形成されている。弾性片３８は、例えば短冊状（横長形状）を成し、長手方向が左右方向Ｘに延在している。弾性片３８は、図６に示すように、板状片３４ａに連結された基端部３８ｂ側より先端部３８ａ側が、基板収納容器１の内側へ位置するように左右方向Ｘに対して傾斜して配置されている。そして、弾性片３８は、上下方向Ｚにおいて基板Ｗの位置に対応する位置に配置されると共に左右対称に配置されている。

弾性片３８の先端部３８ａには、略直方体を成し、基板Ｗと対面する面に基板Ｗを保持する保持溝が形成された保持部４０が設けられている。保持部４０の保持溝は、基板Ｗと交差する断面が例えばＶ字状を成し、基板Ｗの周縁に沿うように形成されている。そして、この保持溝を構成する面は、上下方向Ｚに対して傾斜しており、上下方向Ｚにおいて基板Ｗを所定の位置に案内することができる。なお、保持溝を形成する面は、曲面でもよく、例えば、Ｖ字断面の保持溝に代えて、Ｕ字断面の保持溝であってもよい。

また、リテーナ８は、上下方向Ｚに延在し長手方向の両端部が左右方向部３６に連結された連結片４２を備えている。この連結片４２は、平板状を成し、板厚方向を前後方向Ｙとして、主面が基板Ｗの周縁と対面するように配置されている。また、連結片４２は、左右方向Ｘにおいて、リテーナ８の中央に配置されている。

また、連結片４２の基板Ｗ側の主面には、基板Ｗ側へ突出する複数の凸リブ片（突出部）４４Ａ，４４Ｂが形成されている。凸リブ片４４Ａ，４４Ｂは、側面視において、例えば山型（略台形）を成している。この凸リブ片４４Ａ，４４Ｂは、上下方向Ｚに隣接する基板Ｗ間に各々配置されている。凸リブ片４４Ａ，４４Ｂは、平板状を成し、板厚方向が左右方向Ｘとなるように配置され、上下方向Ｚの端面が基板Ｗと交差する方向に対して傾斜する傾斜面４４ｅ，４４ｆを構成している。すなわち、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの上端面である傾斜面４４ｅ（第１の傾斜面）は、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの先端側（基板収納容器１の後方側）が凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの基端側（連結片４２側）より、上下方向Ｚにおいて下方に位置するように傾斜している。また、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの下端面である傾斜面４４ｆ（第２の傾斜面）は、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの先端側（基板収納容器１の後方側）が凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの基端側より、上下方向Ｚにおいて上方に位置するように傾斜している。

また、上下方向Ｚに隣接する凸リブ片４４Ａ，４４Ｂは、左右方向Ｘにおいて異なる位置に配置されている。具体的には、凸リブ片４４Ａが、基板収納容器１の中央より図示右側（図５参照）に配置され、凸リブ片４４Ｂが、基板収納容器１の中央より図示左側に配置されている。すなわち、図６に示すように、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂは、左右方向Ｘに離間され、上下方向Ｚにおいて、基板ＷのノッチＮと重ならない位置に配置されている。また、右側に配置された凸リブ片４４Ａ及び左側に配置された凸リブ片４４Ｂは、上下方向Ｚに交互に配置され、図５に示すように、各々同一直線上に配列されている。

また、リテーナ８では、図７に示すように、基板Ｗが所定の位置で整列配置された通常状態において、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの傾斜面４４ｅ，４４ｆは、基板Ｗと当接しない位置に配置されている。具体的には、上下方向Ｚに隣接する凸リブ片４４Ａ、４４Ｂの間隔Ｐは、基板Ｗの板厚ｔより大きくされている。また、図４に示すように、最上段に配置された凸リブ片４５Ａは、上下方向Ｚにおいて半割り形状とされ、下方に向く傾斜面４４ｆを有し、最下段に配置された凸リブ片４５Ｂは、上下方向Ｚにおいて半割り形状とされ、上方に向く傾斜面４４ｅを有している。また、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの先端部は、図６に示すように、通常時、上下方向Ｚにおいて基板Ｗの周縁の一部と重なるように設けられている。

次に、このように構成されたリテーナ８による基板Ｗの位置規制について説明する。通常状態において、基板Ｗは、図２に示すように、ティース１７によって、左右方向Ｘの周縁部が支持されて、基板収納容器１内における水平が保持されている。このとき、基板Ｗは、位置規制用段差１８によって前方への移動が規制され、側壁２１の内壁面部分１９によって後方への移動が規制されている。また、この通常状態において、基板Ｗは、図６に示すように、弾性片３８に支持された保持部４０によって、前方側の周縁部が保持され、前方側への移動が規制されている。そして、基板Ｗは、図８に示すように、上下方向Ｚにおいて凸リブ片４４Ａ，４４Ｂ間に配置され、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂとは接触していない状態である。

ここで、例えば、基板収納容器１が前方側（リテーナ８側）へ傾斜した場合など、基板Ｗを前方へ移動させる力が作用した際には、基板Ｗは、弾性片３８による復元力によって、後方へ押し戻され、通常状態と同じ位置に復帰する。

また、図７に示すように、基板Ｗが前方側へ移動した場合には、基板Ｗは、リテーナ８の連結片４２の基板Ｗ側の主面と当接して、上述したように、弾性片３８による復元力によって、後方へ押し戻され、通常状態と同じ位置に復帰する。

また、基板Ｗの前方側が上方へ傾斜した場合には、基板Ｗは、リテーナ８の連結片４２の凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの傾斜面４４ｆと当接する。そして、基板Ｗは、傾斜面４４ｆによって移動が規制されて、上下方向Ｚにおいて隣接する凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの中間位置に案内され、通常状態と同じ位置に復帰する。

同様に、基板Ｗの前方側が下方へ傾斜した場合には、基板Ｗは、リテーナ８の連結片４２の凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの傾斜面４４ｅと当接する。そして、基板Ｗは、傾斜面４４ｅによって移動が規制されて、上下方向Ｚにおいて隣接する凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの中間に案内され、通常状態と同じ位置に復帰する。

このようなリテーナ８を備えた基板収納容器１では、枠体３２の上下方向部３４から内側へ突出した弾性片３８によって、基板Ｗの前後方向の位置を規制可能であるため、基板Ｗの位置がずれた場合であっても、弾性片３８によって基板Ｗの位置を元の位置に復帰させることができる。また、リテーナ８は、枠体３２の左右方向部３６に長手方向（図示上下方向Ｚ）の両端部が連結され上下方向Ｚに延在する連結片４２を備え、この連結片４２には、基板収納容器１の内側へ突出する複数の凸リブ片４４Ａ，４４Ｂが形成されている。この凸リブ片４４Ａ，４４Ｂは、基板Ｗの周縁と当接可能とされた傾斜面４４ｅ，４４ｆを有する構成であるため、この傾斜面４４ｅ，４４ｆによって、基板Ｗを容易に通常状態と同じ位置に案内することができ、基板Ｗの擦れを低減して、基板Ｗの位置を規制することができる。

また、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂは、上下方向Ｚにおいて隣接する基板Ｗ間に配置されているため、一つの凸リブ片４４Ａ，４４Ｂによって、上下方向Ｚに隣接する二つの基板Ｗを案内することができる。その結果、部品点数を削減して、簡素な構成とすることができ、製造コストを抑制することができる。

また、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂは、上下方向Ｚにおいて基板Ｗの板厚ｔより大きな隙間Ｐを形成するように配置されているため、基板Ｗが整列配置された通常状態において、基板Ｗと凸リブ片４４Ａ，４４Ｂとが当接することがなく、基板Ｗがずれた場合にのみ、基板Ｗと凸リブ片４４Ａ，４４Ｂとを当接させるようになっている。このような配置により、基板Ｗと凸リブ片４４Ａ，４４Ｂとの擦れを低減して、パーティクルの発生を抑制することができる。

また、基板Ｗを挟んで上下方向Ｚの両側に設けられた凸リブ片４４Ａ，４４Ｂは、左右方向Ｘにおいて異なる位置に配置されているため、上下方向Ａに隣接する凸リブ片４４Ａ，４４Ｂに基板Ｗが挟まることがない。

ここで、第１実施形態の変形例に係るリテーナ７０について図１３を参照して説明する。弾性片３８の先端部３８ａに設けられる保持部７２の保持溝は、第１実施形態の保持部４０の保持溝のようなＶ字上のほか、図１３のような二段傾斜面を備えた形状とすることができる。この場合、保持溝の開口部側の向き合う傾斜面７２ａがなす角度θ１は、基板Ｗの位置を規制するために、１００°〜１２０°の範囲に設定することが好ましい。角度θ１が１００°以上であれば、保持溝から芯ずれした基板Ｗを広い範囲で保持溝内に導くことができる。また、角度θ１が１２０°以下であれば、基板Ｗが傾斜面の途中で引っかかることなく保持溝内に確実に誘導できる。

また、保持溝の奥部の傾斜面７２ｂがなす角度θ２は、基板Ｗを安定的に保持可能となるように３５°〜５５°の範囲に設定することが好ましい。角度θ２が３５°以上であれば、基板Ｗが保持溝に挟まれて蓋体４を解除したときに基板Ｗがリテーナ７０によって引きずり出されてしまうことを防止できる。また、角度θ２が５５°以下であれば、振動等があったときに保持溝から基板Ｗが飛び出しにくくできる。

また、保持溝の深さｈは、基板の半径の１．５％〜３．０％となる深さとすることが好ましい。例えば、半径１５０ｍｍ（直径３００ｍｍ）の基板Ｗの場合、深さｈは、２．２５ｍｍ〜４．５ｍｍと設定される。深さｈが２．２５ｍｍ以上であれば、振動等があったときに保持溝から基板Ｗが飛び出しにくくできる。深さｈが４．５ｍ以下であれば、保持部７２が蓋体４の表面から飛び出るような大きさになることを防止し且つ弾性片３８のバネ性を損ねないようにすることができる。

次に、本発明の第２実施形態に係るリテーナについて図８を参照して説明する。図８は、本発明の第２実施形態に係るリテーナ、蓋体、基板を示す部分断面図である。この第２実施形態に係るリテーナ５０が第１実施形態に係るリテーナ８と違う点は、連結片４２から前方に突出する受け部５２を有する点である。

受け部５２は、具体的には、連結片４２の蓋体４に対向する主面に形成されて、蓋体４に向かって突出している。この受け部５２は、側面視において例えば台形状を成し、上下方向に所定のピッチで複数設けられている。上下方向Ｚにおいて、凸リブ片４４Ａに対応する位置に設けられている。また、受け部５２は、左右方向Ｘにおいて、連結片４２の中央に配置されている。なお、受け部５２の形状は、限定されず、要は、蓋体４に当接可能であればよい。

このような第２実施形態に係るリテーナ５０にあっても第１実施形態と同様な作用、効果を奏する。さらに、第２実施形態のリテーナ５０では、連結片４２から前方に突出する受け部５２が形成されているため、受け部５２と蓋体４を当接させることで、連結片４２の前方への移動を規制することができる。その結果、連結片４２の前方への移動を抑制して、基板Ｗの移動を一層好適に規制することができ、基板Ｗの擦れを低減することができる。なお、受け部５２は、リテーナ５０の側壁３４ｂより前方側（壁体４側）へ突出する構成とすることが好ましい。これにより、連結片４２の前後方向Ｙの移動量を一層低減させることが可能となる。また、受け部５２の高さ（前後方向Ｙの長さ）を変更することで、連結片４２の前後方向の位置を好適に調節することができる。また、受け部５２は、前後方向Ｙから視て、円形、矩形、平板状でもよく、その他の形状でもよい。

次に、本発明の第３実施形態に係るリテーナについて図９を参照して説明する。図９は、本発明の第３実施形態に係るリテーナ、蓋体、基板を示す部分断面図である。この第３実施形態に係るリテーナ５４が第２実施形態に係るリテーナ５０と違う点は、受け部５６の形状が異なる点である。

受け部５６は、具体的には、連結片４２の蓋体４に対向する主面に形成されて、蓋体４に向かって突出している。この受け部５６は、上下方向Ｚにおいて中央部５６ａの高さ（前後方向Ｙの長さ）が最も高く、上下方向Ｚの両端部に向かって傾斜する斜辺５６ｂが形成されている。このような構成とすることで、前後方向Ｙの移動量が最も大きい中央部５６ａの位置を好適に規制することができる。なお、側面視において直線状の斜辺５６ｂに代えて、湾曲形状としてもよい。

次に、本発明の第４実施形態に係るリテーナについて図１０を参照して説明する。図１０は、本発明の第４実施形態に係るリテーナの部分正面図である。なお、リテーナの正面とは、基板Ｗ側の面である。第４実施形態に係るリテーナ５８が第１実施形態に係るリテーナ８と違う点は、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂとは形状及び位置が異なる凸リブ片（突出部）６０Ａ，６０Ｂを有する点である

具体的には、第４実施形態に係るリテーナ５８の凸リブ片６０Ａ，６０Ｂは、ブロック状に形成され、第１実施形態の凸リブ片４４Ａ，４４Ｂより左右方向Ｘに幅を有している。なお、凸リブ片６０Ａ，６０Ｂの側面形状は、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂと同じ形状であり、例えば山型（略台形）に形成されている。そして、上下方向Ｚの端面が基板Ｗと交差する方向に傾斜する傾斜面６０ｅ，６０ｆを構成している。すなわち、凸リブ片６０Ａ，６０Ｂの上端面である傾斜面６０ｅ（第１の傾斜面）は、凸リブ片６０Ａ，６０Ｂの先端側（基板収納容器１の後方側）が凸リブ片６０Ａ，６０Ｂの基端側（連結片４２側）より下方に位置するように傾斜している。また、凸リブ片６０Ａ，６０Ｂの下端面である傾斜面６０ｆ（第２の傾斜面）は、凸リブ片６０Ａ，６０Ｂの先端側（基板収納容器１の後方側）が凸リブ片６０Ａ，６０Ｂの基端側より上方に位置するように傾斜している。

また、凸リブ片６０Ａ，６０Ｂは、上下方向Ｚに沿って２列に配置され、凸リブ片６０Ａは図示右側に配置され、凸リブ片６０Ｂは図示左側に配置されている。そして、凸リブ片６０Ａ，６０Ｂは、上下方向Ｚから視て、左右方向Ｘにおいて一部が重なるように配置されている。例えば、左右方向Ｘにおいて約半分重なるように配置されている。また、凸リブ片６０Ａ，６０Ｂの傾斜面６０ｅ，６０ｆは、基板Ｗに形成されたノッチＮ（図６参照）の左右方向Ｘの幅より広範囲に形成されていることが好ましい。このように構成された第４実施形態のリテーナ８にあっても第１実施形態のリテーナ８と同様な作用効果を奏する。

次に、本発明の第５実施形態に係るリテーナについて図１１を参照して説明する。図１１は、本発明の第５実施形態に係るリテーナの部分正面図である。この第５実施形態に係るリテーナ６２が第１実施形態に係るリテーナ８と違う点は、保持部４０を支持する構造が異なる点であり、片持ちはり構造によって支持された保持部４０に代えて、両持ちはり構造によって支持された保持部４０を有する点である。

第５実施形態に係るリテーナは、左右方向Ｘの内側から保持部４０を支持する連結弾性片６４を備えている。連結弾性片６４は、左右方向Ｘに延在し、一方の端部６４ａが連結片４２に連結され、他方の端部６４ｂが保持部４０に連結されている。そして、保持部４０は、弾性片３８及び連結弾性片６４によって左右方向Ｘの両側から支持されている。このように構成された第５実施形態のリテーナ６２にあっても第１実施形態のリテーナ８と同様な作用効果を奏する。

次に、本発明の変形例に係るリテーナについて図１２を参照して説明する。図１２は、本発明の変形例に係るリテーナの正面図である。変形例に係るリテーナ６６が第１実施形態に係るリテーナ８と違う点は、連結片４２に代えて左右方向Ｘに隣接する保持部４０を連結する連結弾性片６８を備える点、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂが上下方向に隣接する２つの連結弾性片６８にまたがって固定されている点である。このような構成とした場合には、凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの前方への移動を規制するために、連結弾性片６８から蓋体４に向かって突出する受け部（５２，５６）を形成することが好ましい。

以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、本発明の基板収納容器を、半導体ウェーハを収納するものとして説明しているが、収納物される基板は、半導体ウェーハに限定されず、マスクガラスを始めとしたその他の精密基板でもよい。また、収容される基板の大きさは、３００ｍｍに限定されず、例えば４５０ｍｍ等その他の大きさでもよい。また、収納枚数も１〜２５枚に限らず２６枚以上であっても良い。

また、上記実施形態では、リテーナ８を蓋体４の背面側に取付けた基板収納容器１としているが、リテーナ８の取り付け位置は、容器本体２の側壁２１の内壁面、背面壁の内壁面としてもよい。

また、リテーナ８を蓋体４に取り付ける際の位置決め部である位置決め突起及び位置決め凹部は、枠体３２の上下方向部３４において左右対称となる位置に設けられているが、左右非対称となるように位置決め部を形成してもよい。このように位置決め部を左右非対称に形成する場合、リテーナ８を取り付ける際に、上下方向Ｚにおける方向性を出すことができるため、基板Ｗと保持部４０の保持溝を形成する壁面とを精度良く当接させることができる。また、左右対称の位置決め部を備える構成とした場合であっても、さらに、非対称の位置決め部を形成することで、上下方向における取り付け間違いを防止するようにしてもよい。

また、蓋体とリテーナとの位置決め部や、リテーナの係止爪は、一方の側壁だけでなく、他方の側壁に形成されていてもよい。また、枠体の一部に上方に屈曲可能な屈曲部を有する構成とすることで、リテーナの取り付けや取り外しを容易にすることもできる。

また、リテーナ５０，５４の背面側に設けられた受け部５２，５６に代えて、受け部を蓋体４の背面（リテーナ側の主面）に形成することで、連結片４２，凸リブ片４４Ａ，４４Ｂの前方への移動を規制してもよい。

次に本発明を実施例によって更に詳しく説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
まず、第１実施形態のリテーナ８（図４参照）を備えた基板収納容器１を準備し、この基板収納容器１に基板Ｗを２５枚収納させた。収納された各基板Ｗは、ティース１７によって水平に支持されている。

続いて、このように各基板Ｗが収納された基板収納容器１の底面を基準面から１０ｃｍ持ち上げて、底面を下にした状態で基板収納容器１を垂直に落下させ、リテーナ８からの基板Ｗの外れや基板Ｗの破損の有無を確認した。また、リテーナ８からの基板Ｗの外れや基板Ｗの破損が生じるまで、１０ｃｍ毎に落下高さを高くして、同様に落下させて、耐え得る最大落下高さを確認した。

（実施例２）
第１実施形態の変形例のリテーナ７０であって、保持溝が２段傾斜面７２ａ，７２ｂを有する保持部７２（図１３参照）を含むリテーナ７０を備えた基板収納容器を準備し、実施例１と同様に基板収納容器に基板Ｗを２５枚収納させた。その後、この基板収納容器に対して、実施例１と同様の落下試験を行った。

（実施例３）
第２実施形態のリテーナ５０を備えた基板収納容器（図８参照）を準備し、実施例１と同様に基板収納容器に基板Ｗを２５枚収納させた。その後、この基板収納容器に対して、実施例１〜２と同様の落下試験を行った。

（実施例４）
第３実施形態のリテーナ５４を備えた基板収納容器（図９参照）を準備し、実施例１と同様に基板収納容器に基板Ｗを２５枚収納させた。その後、この基板収納容器に対して、実施例１〜３と同様の落下試験を行った。

（実施例５）
第４実施形態のリテーナ５８を備えた基板収納容器（図１０参照）を準備し、実施例１と同様に基板収納容器に基板Ｗを２５枚収納させた。その後、この基板収納容器に対して、実施例１〜４と同様の落下試験を行った。

（実施例６）
第５実施形態のリテーナ６２を備えた基板収納容器（図１１参照）を準備し、実施例１と同様に基板収納容器に基板Ｗを２５枚収納させた。その後、この基板収納容器に対して、実施例１〜５と同様の落下試験を行った。

（比較例）
第１実施形態のリテーナ８から連結片４２を取り除いたリテーナを比較用リテーナとして、この比較用リテーナを備えた基板収納容器を準備した。その後、この基板収納容器に対して、実施例１〜６と同様の落下試験を行った。

上述した実施例１〜実施例６での落下試験及び比較例での落下試験の結果は、表１のとおりである。

表１から明らかなとおり、比較用リテーナ（連結片４２を有しないリテーナ）を備えた基板収納容器では、落下高さ３０ｃｍでの落下試験で基板Ｗが保持溝から外れ、その外れに伴う破損が基板Ｗに発生した。これに対し、実施例１〜６の基板収納容器では、落下高さ７０ｃｍ〜８０ｃｍでの落下試験でも基板Ｗが保持溝から外れなかった（表中の「良好」は、基板Ｗの外れなしを意味）。よって、本実施形態に係るリテーナによれば、比較例のリテーナに比べて、３倍以上の落下高さに耐えることができ、基板Ｗをより安定して保持することができる。

１…基板収納容器、２…容器本体、３…開口部、４…蓋体、８，５０，５４，５８，６２，７０…リテーナ、３２…枠体、３４…上下方向部、３６…左右方向部、３８…弾性片、４０，７２…保持部、４２…連結片、４４Ａ，４４Ｂ，６０Ａ，６０Ｂ…凸リブ片（突出部）、４４ｅ，６０ｅ…傾斜面（第１の傾斜面）、４４ｆ，６０ｆ…傾斜面（第２の傾斜面）、５２，５６…受け部。

Claims (7)

1. 基板を収納する基板収納容器に設けられ、板厚方向が上下方向に沿って一定間隔で整列されて支持された基板を保持するリテーナであって、
   上下方向に延在する一対の上下方向部及び前記一対の上下方向部と交差する左右方向に延在する一対の左右方向部を有する枠体と、
   前記上下方向部から内側に突出し、前記基板の位置を規制可能な弾性片と、
   上下方向に延在し両端部が前記左右方向部に連結された連結片と、
   前記基板と交差する方向に傾斜し前記基板の周縁と当接可能とされた傾斜面が形成され、前記連結片から前記基板収納容器の内側へ突出する突出部と、を備えることを特徴とするリテーナ。
2. 前記突出部は、上下方向において隣接する基板間に配置され、
   前記傾斜面として、
   上端に形成され一方の基板に当接可能とされた第１の傾斜面と、
   下端に形成され他方の基板に当接可能とされた第２の傾斜面と、を有することを特徴とする請求項１記載のリテーナ。
3. 前記突出部は、上下方向において基板の両側に設けられ、
   基板の両側に設けられた突出部は、上下方向において基板の板厚より大きな隙間を形成して配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のリテーナ。
4. 基板の両側に設けられた前記突出部は、左右方向において異なる位置に配置されていることを特徴とする請求項３記載のリテーナ。
5. 前記連結片から外側に突出し、前記枠体が取り付けられる壁体と当接可能とされ、前記連結片の移動を規制する受け部を有することを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のリテーナ。
6. 前記受け部は、前記連結片の中央に形成され、前記枠体より前記壁体側の外方に突出していることを特徴とする請求項５記載のリテーナ。
7. 開口部を有し基板を収納する容器本体と、
   前記開口部を閉鎖する蓋体と、
   前記容器本体の内壁又は前記蓋体に取り付けられた請求項１〜６の何れか１項に記載のリテーナと、を備えることを特徴とする基板収納容器。

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