TWM453240U - 具有保護套的限制件 - Google Patents

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TWM453240U TW102200583U TW102200583U TWM453240U TW M453240 U TWM453240 U TW M453240U TW 102200583 U TW102200583 U TW 102200583U TW 102200583 U TW102200583 U TW 102200583U TW M453240 U TWM453240 U TW M453240U
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Jain-Ping Sheng
Tzu-Jeng Hsu
Chen-Hao Chang
Cheng-En Chung
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Gudeng Prec Ind Co Ltd
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Description

具有保護套的限制件
    本創作係關於一種限制件，特別是指一種具有保護套並用於基板收納容器的限制件。
    半導體晶圓由於需經過各種不同流程的處理且需配合製程設備，因此會被搬運到不同的工作站。為了方便晶圓的搬運且避免受到外界的污染，常會利用一基板收納容器以供自動化設備輸送。此基板收納容器具有一盒體及一門體，盒體內部係設有複數個插槽可水平容置複數個基板，且在盒體的一側面係具有一開口可供晶圓的載出及載入，而門體具有一個外表面及一個內表面，門體係藉由內表面與盒體的開口相結合，用以保護盒體內部的複數個基板。此外，在門體的外表面上配置至少一個門閂裝置，用以開啟或是封閉盒體。
    在上述基板收納容器中，由於半導體晶圓係水平地置於盒體內部，因此，在基板收納容器搬運過程中需有一限制件，以避免晶圓因震動而產生異位或往盒體的開口方向移動。習知限制件設置於門體之內表面，俾利用複數個左右對稱的限制件之彈性臂個別頂持於各基板上，以避免基板在傳送過程中因震動而異位或往盒體之開口方向移動。
    然，習知限制件頂持於基板邊緣，基板容易與限制件產生摩擦而產生汙染顆粒於基板收納容器內。因此目前限制件之材質係使用高強度塑膠，但是基板之一鈍化層不耐於以高強度塑膠製成之限制件，容易被限制件夾碎，進而產生更多的汙染顆粒於基板收納容器內。
    有鑑於上述問題，本創作提供一種具有保護套之限制件，主要於限制件與基板接觸之部分設有一保護套，已隔離限制件與基板，避免基板之鈍化層被限制件夾碎，進而防止大量的汙染顆粒產生於基板收納容器。
    本創作之目的，在於提供一種具有保護套之限制件，其設置於一基板收納容器，限制件與存放於基板收納容器之至少一基板(例如:晶圓、光罩或其他半導體基板)接觸的部分設有一保護套，以避免限制件直接與基板接觸，進而避免基板之一鈍化層被夾碎而產生大量之汙染顆粒。
    為達上述目的，本創作提出一種具有保護套之限制件，其係包含：一本體，其設置於一基板收納容器內，並具有至少一限制部；以及至少一保護套，其套設於該限制部，該保護套抵接收納於該基板收納容器內之至少一基板的邊緣。
    本創作提出另一種具有保護套之限制件，其係包含：一本體，其設置於一基板收納容器之一門體；複數彈性臂，其分別具有一連接端及一延伸端，該些連接端分別連接該本體之兩側，該些延伸端分別往遠離該本體之方向延伸，每一延伸端具有一限制部；以及複數保護套，其分別套設於每一延伸端之該限制部，該保護套抵接收納於該基板收納容器內之至少一基板的邊緣。
    本創作提出再一種具有保護套之限制件，其係包含：至少一本體，其分別設置於一基板收納容器之一盒體的側壁，並具有一限制部，該本體之延伸方向與收納於該基板收納容器內之至少一基板之置放方向相互垂直；以及至少一保護套，其套設於該限制部，該保護套抵接於該基板之邊緣。
1‧‧‧基板收納容器
10‧‧‧門體
101‧‧‧第一表面
102‧‧‧第二表面
1021‧‧‧凹陷區域
11‧‧‧盒體
110‧‧‧容置空間
111‧‧‧頂部
112‧‧‧底部
113‧‧‧左側壁
114‧‧‧右側壁
115‧‧‧後壁
116‧‧‧支撐肋
2‧‧‧基板
3‧‧‧限制件
30‧‧‧本體
301‧‧‧第一側邊
302‧‧‧第二側邊
31a‧‧‧第一彈性臂
311a‧‧‧第一連接端
312a‧‧‧第一延伸端
313a‧‧‧第一限制部
31b‧‧‧第二彈性臂
311b‧‧‧第二連接端
312b‧‧‧第二延伸端
313b‧‧‧第二限制部
32‧‧‧保護套
321‧‧‧接觸面
321a‧‧‧第一傾斜面
321b‧‧‧第二傾斜面
322‧‧‧凹槽
4‧‧‧限制件
40‧‧‧條狀本體
41‧‧‧限制部
42‧‧‧保護套
第一圖為本創作之第一實施例之基板收納容器之示意圖；
第二圖為本創作之第一實施例之限制件的示意圖；
第三圖為本創作之第一實施例之限制件的組裝圖；
第四圖為本創作之第一實施例之限制部與保護套的示意圖；
第五圖為本創作之第二實施例之限制部與保護套的示意圖；
第六圖為本創作之第三實施例之限制部與保護套的示意圖；
第七圖為本創作之第四實施例之限制部與保護套的示意圖；及
第八圖為本創作之第一實施例之基板收納容器的局部示意圖。
    茲為使　貴審查委員對本創作之結構特徵及所達成之功效有更進一步之瞭解與認識，謹佐以實施例及配合詳細之說明，說明如後：
    習知基板收納容器內具有一限制件，限制件直接抵接於存放於基板收納容器內之至少一基板(例如:晶圓、光罩或其他半導體基板)的邊緣，目前限制件使用高強度塑膠(如PEEK)，已減少因基板之邊緣與限制件相互摩擦而產生之汙染顆粒。但基板之鈍化層(passivation layer)之強度不耐於以高強度塑膠製成之限制件，因此容易被限制件夾碎，而產生更多污染顆粒於基板收納容器內。有鑒於上述問題，本創作提供一種具有保護套之限制件，可避免基板直接接觸以高強度塑膠製成之限制件，進而避免基板之鈍化層被限制件夾碎而產生大量汙染顆粒於基板收納容器內。
    請參閱第一圖，係本創作之第一實施例之基板收納容器的示意圖；如圖所示，本實施例提供一種基板收納容器1，基板收納容器1包含一門體10及一盒體11，盒體11具有一容置空間110，容置空間110容置至少一基板2，其中基板2為晶圓、光罩或其他半導體基板。門體10具有一第一表面101及對應第一表面101之一第二表面102，第二表面102朝向盒體11之容置空間110。門體10之第二表面102具有一凹陷區域1021，凹陷區域1021供一限制件3設置。當門體10組設於盒體11時，門體10之限制件3用以抵接於盒體11之基板2的邊緣，以防止基板2於盒體11內產生偏移。
    請一併參閱第二圖及第三圖，係本創作之第一實施例之限制件的示意圖及組裝圖；如圖所示，本實施例之限制件3包含一本體30、複數第一彈性臂31a及複數第二彈性臂31b。本體30具有一第一側邊301及與第一側邊301對應之一第二側邊302，該些第一彈性臂31a設置於本體30之第一側邊301，該些第二彈性臂31b設置於本體30之第二側邊302，該些第一彈性臂31a及該些第二彈性臂31b分別於第一側邊301及第二側邊302上間隔排列，並相對本體30作對稱設置。每一第一彈性臂31a具有一第一連接端311a及一第一延伸端312a，第一連接端311a與本體30之第一側邊301連接，第一延伸端312a往遠離本體30之方向延伸；同樣地，每一第二彈性臂31b具有一第二連接端311b及一第二延伸端312b，第二連接端311b連接本體30之第二側邊302，第二延伸端312b往遠離本體30之方向延伸，第二延伸端312b之延伸方向與第一延伸端312a之延伸方向相反。
    然，每一第一彈性臂31a之第一延伸端312a及每一第二彈性臂31b之第二延伸端312b分別具有一第一限制部313a及一第二限制部313b。本實施例之限制件3更包含複數保護套32，該些保護套32套設於該些第一限制部313a及該些第二限制部313b。當門體10組設於體11時，門體10之限制件3的該些第一限制部313a及該些第二限制部313b抵接於盒體11之基板2的邊緣，因第一限制部313a及該些第二限制部313b分別設有保護套32，以避免該些第一限制部313a與該些第二限制部313b直接與基板2之邊緣接觸，進而避免該些第一限制部313a與該些第二基板部313b因與基板2產生摩擦而產生汙染顆粒於基板收納容器1之盒體11內，更避免該些第一限制部313a與該些第二限制部313b夾碎基板2之鈍化層，而產生更多的汙染顆粒於盒體11內。
    請參閱第四圖，係本創作之第一實施例之限制部與保護套的示意圖；如圖所示，本實施例之第一限制部313a與第二限制部313b之結構相同，故於此僅說明第一限制部313a與保護套32接合之結構。第一限制部313a為一凸塊，保護套32具有與基板2接觸之一接觸面321及相對於接觸面321之一凹槽322，為凸塊之第一限制部313a設置於保護套32之凹槽322，使保護套32位於第一限制部313a上。其中第一限制部313a之截面形狀與保護套32之凹槽322相對應，例如，本實施例之第一限制部313a之截面形狀為矩形，凹槽322之截面形狀亦為矩形。另參閱第五圖，係本創作之第二實施例之限制部與保護套的示意圖；如圖所示，本實施例之第一限制部313a之截面形狀為M字型，而凹槽322之截面形狀對應第一限制部313a之截面形狀為M字型，即使第一限制部313a與保護套32之凹槽322間產生互補效應，避免保護套32容易從第一限制部313a上脫落。
    復參閱第四圖，保護套32之接觸面321具有一第一傾斜面321a及一第二傾斜面321b，第一傾斜面321a與第二傾斜面321b相交形成一溝槽並具有一夾角角度，夾角角度係依據基板2之厚度而定，如本實施例之基板2的厚度較薄，第一傾斜面321a與第二傾斜面321b間之夾角角度約45度。當基板2之厚度越厚時，第一傾斜面321a與第二傾斜面321b間之夾角角度越大。當第一傾斜面321a與第二傾斜面321b間之夾角角度為180度時，即使保護套32之接觸面321為一平整面(請參閱第六圖)。此外，保護套32之接觸面321也可為一弧面(請參閱第七圖)，接觸面321之弧度係依據基板2之厚度而定。
    復參閱第一圖，並一併參閱第八圖，本實施例之基板收納容器1之盒體11具有一頂部111、一底部112、一左側壁113、一右側壁114及一後壁115，後壁115之兩側分別連接左側壁113及右側壁114，並位於頂部111與底部112之間。左側壁113及右側壁114設有複數支撐肋116，該些支撐肋116於左側壁113及右側壁114呈間隔排列，位於左側壁113之該些支撐肋116與位於右側壁114之該些支撐肋116相互對應，基板2設置於該些支撐肋116之間。然本實施例於盒體11更設有二限制件4，二限制件4分別設置於左側壁113及右側壁114，並鄰近後壁116。每一限制件4具有條狀本體40，條狀本體40之延伸方向係與基板2置入盒體11之方向相互垂直。條狀本體40之頂端具有一限制部41，限制部41用以抵接於基板2之邊緣。而本實施例之限制件4更包含一條狀保護套42，條狀保護套42套設於限制部41，以避免基板2直接與限制部41接觸，有效減少限制部41與基板2產生摩擦，進而降低產生汙染顆粒於基板收納容器1內，更避免該些第一限制部313a與該些第二限制部313b夾碎基板2之鈍化層，而產生更多的汙染顆粒於盒體11內。
    由上述可知，上述實施例之該些限制件具有不同結構，但都具有限制部，限制部用以抵接於基板之邊緣，以定位基板於基板收納容器，然於限制部套設保護套，即可避免基板直接與限制部接觸，並達到本創作之功效，換句話說，設置於基板收納容器內之限制件與基板接觸之部分設置保護套，即可達到本創作之功效。因此限制件可為各種型態，於此不再贅述。然限制件於基板收納容器之位置並不限於上述實施例。
    綜上所述，本創作提供一種具有保護套之限制件，限制件設置於基板收納容器內，並具有抵接於基板邊緣之至少一限制部。而基板非直接接觸限制部，而是抵接於限制部上之保護套，如此避免基板與限制件因摩擦而產生汙染顆粒，更避免限制件之限制部夾碎基板之鈍化層而產生更多的汙染顆粒。
    故本創作實為一具有新穎性、進步性及可供產業利用者，應符合我國專利法所規定之專利申請要件無疑，爰依法提出創作專利申請，祈　鈞局早日賜准專利，至感為禱。
    惟以上所述者，僅為本創作之較佳實施例而已，並非用來限定本創作實施之範圍，舉凡依本創作申請專利範圍所述之形狀、構造、特徵及精神所為之均等變化與修飾，均應包括於本創作之申請專利範圍內。
3‧‧‧限制件
30‧‧‧本體
301‧‧‧第一側邊
302‧‧‧第二側邊
31a‧‧‧第一彈性臂
311a‧‧‧第一連接端
312a‧‧‧第一延伸端
313a‧‧‧第一限制部
31b‧‧‧第二彈性臂
311b‧‧‧第二連接端
312b‧‧‧第二延伸端
313b‧‧‧第二限制部
32‧‧‧保護套

Claims (17)

  1. 一種具有保護套之限制件，其係包含：
    一本體，其設置於一基板收納容器內，並具有至少一限制部；以及
    至少一保護套，其套設於該限制部，該保護套抵接收納於該基板收納容器內之至少一基板的邊緣。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之限制件，其中該保護套具有一接觸面，該接觸面與該基板接觸。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之限制件，其中該接觸面具有一第一傾斜面及一第二傾斜面，該基板抵接於該第一傾斜面與該第二傾斜面相交處，該第一傾斜面與該第二傾斜面之夾角角度係依據該基板之厚度。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之限制件，其中該第一傾斜面與該第二傾斜面之夾角角度為180度，該接觸面為一平整面。
  5. 如申請專利範圍第2項所述之限制件，其中該接觸面為一弧面，其弧度係依據該基板之厚度。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之限制件，其中該保護套具有一凹槽，該限制部設置於該凹槽。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之限制件，其中該限制部之截面形狀與該凹槽之截面形狀相對應。
  8. 一種具有保護套之限制件，其係包含：
    一本體，其設置於一基板收納容器之一門體；
    複數彈性臂，其分別具有一連接端及一延伸端，該些連接端分別連接該本體之兩側，該些延伸端分別往遠離該本體之方向延伸，每一延伸端具有一限制部；以及
    複數保護套，其分別套設於每一延伸端之該限制部，該保護套抵接收納於該基板收納容器內之至少一基板的邊緣。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之限制件，其中該保護套具有一接觸面，該接觸面與該基板接觸。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之限制件，其中該接觸面具有一第一傾斜面及一第二傾斜面，該基板抵接於該第一傾斜面與該第二傾斜面相交處，該第一傾斜面與該第二傾斜面之夾角角度係依據該基板之厚度。
  11. 如申請專利範圍第10項所述之限制件，其中該第一傾斜面與該第二傾斜面之夾角角度為180度，該接觸面為一平整面。
  12. 如申請專利範圍第9項所述之限制件，其中該接觸面為一弧面，其弧度係依據該基板之厚度。
  13. 如申請專利範圍第8項所述之限制件，其中該保護套具有一凹槽，該限制部設置於該凹槽。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之限制件，其中該限制部之截面形狀與該凹槽之截面形狀相對應。
  15. 一種具有保護套之限制件，其係包含：
    至少一本體，其分別設置於一基板收納容器之一盒體的側壁，並具有一限制部，該本體之延伸方向與收納於該基板收納容器內之至少一基板之置放方向相互垂直；以及
    至少一保護套，其套設於該限制部，該保護套抵接於該基板之邊緣。
  16. 如申請專利範圍第15項所述之限制件，其中該保護套具有一接觸面，該接觸面與該基板接觸。
  17. 如申請專利範圍第15項所述之限制件，其中該保護套具有一凹槽，該限制部設置於該凹槽。
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Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3222769A (en) * 1961-12-22 1965-12-14 Backstay Welt Company Inc Methods of making strip structures
US3310928A (en) * 1964-11-27 1967-03-28 Bright Mfg Co Ltd Trimming member
LU50094A1 (zh) * 1965-12-17 1967-06-19
US3451169A (en) * 1967-03-20 1969-06-24 Flex O Lators Edge protector
US3752384A (en) * 1972-01-05 1973-08-14 Int Paper Co Resilient packaging spacer
US4043451A (en) * 1976-03-18 1977-08-23 Fluoroware, Inc. Shipping container for silicone semiconductor wafers
US4718552A (en) * 1986-12-11 1988-01-12 Fluoroware, Inc. Disk shipper and transfer tray
US4752007A (en) * 1986-12-11 1988-06-21 Fluoroware, Inc. Disk shipper
US5253755A (en) * 1991-03-20 1993-10-19 Fluoroware, Inc. Cushioned cover for disk container
US5228568A (en) * 1991-08-30 1993-07-20 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Semiconductor wafer basket
US5555981A (en) * 1992-05-26 1996-09-17 Empak, Inc. Wafer suspension box
US5332105A (en) * 1992-10-13 1994-07-26 John Stanfield Portable dish rack
US5348151A (en) * 1993-12-20 1994-09-20 Empak, Inc. Low profile disk carrier
USD379298S (en) * 1996-03-13 1997-05-20 Bowen Walter L Door edge pad
US6776289B1 (en) * 1996-07-12 2004-08-17 Entegris, Inc. Wafer container with minimal contact
JPH10163310A (ja) * 1996-11-28 1998-06-19 Komatsu Electron Metals Co Ltd 半導体ウェハ包装容器のウェハ押さえ構造
US6318389B1 (en) * 1999-10-29 2001-11-20 Memc Electronic Materials, Inc. Apparatus for cleaning semiconductor wafers
JP3938293B2 (ja) * 2001-05-30 2007-06-27 信越ポリマー株式会社 精密基板収納容器及びその押さえ部材
WO2004038789A1 (ja) * 2002-10-25 2004-05-06 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. 基板収納容器
TWI239931B (en) * 2003-05-19 2005-09-21 Miraial Co Ltd Lid unit for thin plate supporting container and thin plate supporting container
US20050145584A1 (en) * 2004-01-06 2005-07-07 Buckley Richard F. Wafer boat with interference fit wafer supports
WO2007146936A2 (en) * 2006-06-13 2007-12-21 Entegris, Inc. Reusable resilient cushion for wafer container
EP2081223A4 (en) * 2006-11-07 2011-09-07 Shinetsu Polymer Co SUBSTRATE CONTAINER
WO2009060782A1 (ja) * 2007-11-09 2009-05-14 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. リテーナ及び基板収納容器
WO2009131016A1 (ja) * 2008-04-25 2009-10-29 信越ポリマー株式会社 リテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器
TWI384577B (zh) * 2008-07-31 2013-02-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd 門上凹陷區域兩旁配置有晶圓限制件模組之前開式晶圓盒
US8387799B2 (en) * 2008-08-27 2013-03-05 Gudeng Precision Industrial Co, Ltd. Wafer container with purgeable supporting module
CN102362340B (zh) * 2009-05-13 2013-12-25 未来儿株式会社 半导体晶片收纳容器
TWI465375B (zh) * 2010-06-02 2014-12-21 Gudeng Prec Industral Co Ltd 一種配置有彈性件模組之晶圓盒

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