CN203232858U - 具有保护套的限制件 - Google Patents

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盛剑平
徐子政
张宸豪
钟承恩
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    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions

Abstract

本实用新型提供一种具有保护套的限制件，其可设置于基板收纳容器，并抵接收纳于基板收纳容器内的至少一基板。本实用新型的限制件具有至少一限制部及至少一保护套，保护套设置于限制部，当限制部抵接于基板的边缘时，限制部因设有保护套而不会直接与基板的边缘接触，所以基板不会与限制部产生摩擦，进而不会产生污染颗粒于基板收纳容器内。此外，也避免基板的一钝化层被限制部夹碎而产生大量污染颗粒。

Description

具有保护套的限制件
技术领域
本实用新型是关于一种限制件，特别是指一种具有保护套并用于基板收纳容器的限制件。
背景技术
半导体晶圆由于需经过各种不同流程的处理且需配合制程设备，因此会被搬运到不同的工作站。为了方便晶圆的搬运且避免受到外界的污染，常会利用一基板收纳容器以供自动化设备输送。此基板收纳容器具有一盒体及一门体，盒体内部设有多个插槽可水平容置多个基板，且在盒体的一侧面具有一开口可供晶圆的载出及加载，而门体具有一个外表面及一个内表面，门体藉由内表面与盒体的开口相结合，用以保护盒体内部的多个基板。此外，在门体的外表面上配置至少一个门闩装置，用以开启或是封闭盒体。
在上述基板收纳容器中，由于半导体晶圆水平地置于盒体内部，因此，在基板收纳容器搬运过程中需有一限制件，以避免晶圆因震动而产生异位或往盒体的开口方向移动。习知限制件设置于门体的内表面，俾利用多个左右对称的限制件的弹性臂个别顶持于各基板上，以避免基板在传送过程中因震动而异位或往盒体的开口方向移动。
然，习知限制件顶持于基板边缘，基板容易与限制件产生摩擦而产生污染颗粒于基板收纳容器内。因此目前限制件的材质使用高强度塑料，但是基板的一钝化层不耐于以高强度塑料制成的限制件，容易被限制件夹碎，进而产生更多的污染颗粒于基板收纳容器内。
有鉴于上述问题，本实用新型提供一种具有保护套的限制件，主要于限制件与基板接触的部分设有一保护套，已隔离限制件与基板，避免基板的钝化层被限制件夹碎，进而防止大量的污染颗粒产生于基板收纳容器。
实用新型内容
本实用新型的目的，在于提供一种具有保护套的限制件，其设置于一基板收纳容器，限制件与存放于基板收纳容器的至少一基板(例如：晶圆、光罩或其它半导体基板)接触的部分设有一保护套，以避免限制件直接与基板接触，进而避免基板的一钝化层被夹碎而产生大量的污染颗粒。
为达上述目的，本实用新型提出一种具有保护套的限制件，其包含：一本体，其设置于一基板收纳容器内，并具有至少一限制部；以及至少一保护套，其套设于该限制部，该保护套抵接收纳于该基板收纳容器内的至少一基板的边缘。
本实用新型提出另一种具有保护套的限制件，其包含：一本体，其设置于一基板收纳容器的一门体；多个弹性臂，其分别具有一连接端及一延伸端，该些连接端分别连接该本体的两侧，该些延伸端分别往远离该本体的方向延伸，每一延伸端具有一限制部；以及多个保护套，其分别套设于每一延伸端的该限制部，该保护套抵接收纳于该基板收纳容器内的至少一基板的边缘。
本实用新型提出再一种具有保护套的限制件，其包含：至少一本体，其分别设置于一基板收纳容器的一盒体的侧壁，并具有一限制部，该本体的延伸方向与收纳于该基板收纳容器内的至少一基板的置放方向相互垂直；以及至少一保护套，其套设于该限制部，该保护套抵接于该基板的边缘。
实施本实用新型的有益效果：本实用新型提供一种具有保护套的限制件，限制件设置于基板收纳容器内，并具有抵接于基板边缘的至少一限制部。而基板非直接接触限制部，而是抵接于限制部上的保护套，如此避免基板与限制件因摩擦而产生污染颗粒，更避免限制件的限制部夹碎基板的钝化层而产生更多的污染颗粒。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：
图1为本实用新型的第一实施例的基板收纳容器的示意图；
图2为本实用新型的第一实施例的限制件的示意图；
图3为本实用新型的第一实施例的限制件的组装图；
图4为本实用新型的第一实施例的限制部与保护套的示意图；
图5为本实用新型的第二实施例的限制部与保护套的示意图；
图6为本实用新型的第三实施例的限制部与保护套的示意图；
图7为本实用新型的第四实施例的限制部与保护套的示意图；及
图8为本实用新型的第一实施例的基板收纳容器的局部示意图。
【图号对照说明】
1     基板收纳容器                        10    门体
101   第一表面                            102   第二表面
1021  凹陷区域                            11    盒体
110   容置空间                            111   顶部
112   底部                                113   左侧壁
114   右侧壁                              115   后壁
116   支撑肋                              2     基板
3     限制件                              30    本体
301   第一侧边                            302   第二侧边
31a   第一弹性臂                          311a  第一连接端
312a  第一延伸端                          313a  第一限制部
31b   第二弹性臂                          311b  第二连接端
312b  第二延伸端                          313b  第二限制部
32    保护套                              321   接触面
321a  第一倾斜面                          321b  第二倾斜面
322   凹槽                                4     限制件
40    条状本体                            41    限制部
42    保护套
具体实施方式
为使对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下：
习知基板收纳容器内具有一限制件，限制件直接抵接于存放于基板收纳容器内的至少一基板(例如：晶圆、光罩或其它半导体基板)的边缘，目前限制件使用高强度塑料(如PEEK)，已减少因基板的边缘与限制件相互摩擦而产生的污染颗粒。但基板的钝化层(passivation1ayer)的强度不耐于以高强度塑料制成的限制件，因此容易被限制件夹碎，而产生更多污染颗粒于基板收纳容器内。有鉴于上述问题，本实用新型提供一种具有保护套的限制件，可避免基板直接接触以高强度塑料制成的限制件，进而避免基板的钝化层被限制件夹碎而产生大量污染颗粒于基板收纳容器内。
请参阅图1，是本实用新型的第一实施例的基板收纳容器的示意图；如图所示，本实施例提供一种基板收纳容器1，基板收纳容器1包含一门体10及一盒体11，盒体11具有一容置空间110，容置空间110容置至少一基板2，其中基板2为晶圆、光罩或其它半导体基板。门体10具有一第一表面101及对应第一表面101的一第二表面102，第二表面102朝向盒体11的容置空间110。门体10的第二表面102具有一凹陷区域1021，凹陷区域1021供一限制件3设置。当门体10组设于盒体11时，门体10的限制件3用以抵接于盒体11的基板2的边缘，以防止基板2于盒体11内产生偏移。
请一并参阅图2及图3，是本实用新型的第一实施例的限制件的示意图及组装图；如图所示，本实施例的限制件3包含一本体30、多个第一弹性臂31a及多个第二弹性臂31b。本体30具有一第一侧边301及与第一侧边301对应的一第二侧边302，该些第一弹性臂31a设置于本体30的第一侧边301，该些第二弹性臂31b设置于本体30的第二侧边302，该些第一弹性臂31a及该些第二弹性臂31b分别于第一侧边301及第二侧边302上间隔排列，并相对本体30作对称设置。每一第一弹性臂31a具有一第一连接端311a及一第一延伸端312a，第一连接端311a与本体30的第一侧边301连接，第一延伸端312a往远离本体30的方向延伸；同样地，每一第二弹性臂31b具有一第二连接端311b及一第二延伸端312b，第二连接端311b连接本体30的第二侧边302，第二延伸端312b往远离本体30的方向延伸，第二延伸端312b的延伸方向与第一延伸端312a的延伸方向相反。
然，每一第一弹性臂31a的第一延伸端312a及每一第二弹性臂31b的第二延伸端312b分别具有一第一限制部313a及一第二限制部313b。本实施例的限制件3更包含多个保护套32，该些保护套32套设于该些第一限制部313a及该些第二限制部313b。当门体10组设于体11时，门体10的限制件3的该些第一限制部313a及该些第二限制部313b抵接于盒体11的基板2的边缘，因第一限制部313a及该些第二限制部313b分别设有保护套32，以避免该些第一限制部313a与该些第二限制部313b直接与基板2的边缘接触，进而避免该些第一限制部313a与该些第二基板部313b因与基板2产生摩擦而产生污染颗粒于基板收纳容器1的盒体11内，更避免该些第一限制部313a与该些第二限制部313b夹碎基板2的钝化层，而产生更多的污染颗粒于盒体11内。
请参阅图4，是本实用新型的第一实施例的限制部与保护套的示意图；如图所示，本实施例的第一限制部313a与第二限制部313b的结构相同，故于此仅说明第一限制部313a与保护套32接合的结构。第一限制部313a为一凸块，保护套32具有与基板2接触的一接触面321及相对于接触面321的一凹槽322，为凸块的第一限制部313a设置于保护套32的凹槽322，使保护套32位于第一限制部313a上。其中第一限制部313a的截面形状与保护套32的凹槽322相对应，例如，本实施例的第一限制部313a的截面形状为矩形，凹槽322的截面形状亦为矩形。另参阅图5，是本实用新型的第二实施例的限制部与保护套的示意图；如图所示，本实施例的第一限制部313a的截面形状为M字型，而凹槽322的截面形状对应第一限制部313a的截面形状为M字型，即使第一限制部313a与保护套32的凹槽322间产生互补效应，避免保护套32容易从第一限制部313a上脱落。
复参阅图4，保护套32的接触面321具有一第一倾斜面321a及一第二倾斜面321b，第一倾斜面321a与第二倾斜面321b相交形成一沟槽并具有一夹角角度，夹角角度依据基板2的厚度而定，如本实施例的基板2的厚度较薄，第一倾斜面321a与第二倾斜面321b间的夹角角度约45度。当基板2的厚度越厚时，第一倾斜面321a与第二倾斜面321b间的夹角角度越大。当第一倾斜面321a与第二倾斜面321b间的夹角角度为180度时，即使保护套32的接触面321为一平整面(请参阅图6)。此外，保护套32的接触面321也可为一弧面(请参阅图7)，接触面321的弧度依据基板2的厚度而定。
复参阅图1，并一并参阅图8，本实施例的基板收纳容器1的盒体11具有一顶部111、一底部112、一左侧壁113、一右侧壁114及一后壁115，后壁115的两侧分别连接左侧壁113及右侧壁114，并位于顶部111与底部112之间。左侧壁113及右侧壁114设有多个支撑肋116，该些支撑肋116于左侧壁113及右侧壁114呈间隔排列，位于左侧壁113的该些支撑肋116与位于右侧壁114的该些支撑肋116相互对应，基板2设置于该些支撑肋116之间。然本实施例于盒体11更设有二限制件4，二限制件4分别设置于左侧壁113及右侧壁114，并邻近后壁116。每一限制件4具有条状本体40，条状本体40的延伸方向与基板2置入盒体11的方向相互垂直。条状本体40的顶端具有一限制部41，限制部41用以抵接于基板2的边缘。而本实施例的限制件4更包含一条状保护套42，条状保护套42套设于限制部41，以避免基板2直接与限制部41接触，有效减少限制部41与基板2产生摩擦，进而降低产生污染颗粒于基板收纳容器1内，更避免该些第一限制部313a与该些第二限制部313b夹碎基板2的钝化层，而产生更多的污染颗粒于盒体11内。
由上述可知，上述实施例的该些限制件具有不同结构，但都具有限制部，限制部用以抵接于基板的边缘，以定位基板于基板收纳容器，然于限制部套设保护套，即可避免基板直接与限制部接触，并达到本实用新型的功效，换句话说，设置于基板收纳容器内的限制件与基板接触的部分设置保护套，即可达到本实用新型的功效。因此限制件可为各种型态，于此不再赘述。然限制件于基板收纳容器的位置并不限于上述实施例。
综上所述，本实用新型提供一种具有保护套的限制件，限制件设置于基板收纳容器内，并具有抵接于基板边缘的至少一限制部。而基板非直接接触限制部，而是抵接于限制部上的保护套，如此避免基板与限制件因摩擦而产生污染颗粒，更避免限制件的限制部夹碎基板的钝化层而产生更多的污染颗粒。
应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。

Claims (17)

1.一种具有保护套的限制件，其特征在于，其包含：
一本体，其设置于一基板收纳容器内，并具有至少一限制部；以及
至少一保护套，其套设于该限制部，该保护套抵接收纳于该基板收纳容器内的至少一基板的边缘。
2.如权利要求1所述的限制件，其特征在于，其中该保护套具有一接触面，该接触面与该基板接触。
3.如权利要求2所述的限制件，其特征在于，其中该接触面具有一第一倾斜面及一第二倾斜面，该基板抵接于该第一倾斜面与该第二倾斜面相交处，该第一倾斜面与该第二倾斜面的夹角角度依据该基板的厚度。
4.如权利要求3所述的限制件，其特征在于，其中该第一倾斜面与该第二倾斜面的夹角角度为180度，该接触面为一平整面。
5.如权利要求2所述的限制件，其特征在于，其中该接触面为一弧面，其弧度依据该基板的厚度。
6.如权利要求1所述的限制件，其特征在于，其中该保护套具有一凹槽，该限制部设置于该凹槽。
7.如权利要求6所述的限制件，其特征在于，其中该限制部的截面形状与该凹槽的截面形状相对应。
8.一种具有保护套的限制件，其特征在于，其包含：一本体，其设置于一基板收纳容器的一门体；多个弹性臂，其分别具有一连接端及一延伸端，该些连接端分别连接该本体的两侧，该些延伸端分别往远离该本体的方向延伸，每一延伸端具有一限制部；以及
多个保护套，其分别套设于每一延伸端的该限制部，该保护套抵接收纳于该基板收纳容器内的至少一基板的边缘。
9.如权利要求8所述的限制件，其特征在于，其中该保护套具有一接触面，该接触面与该基板接触。
10.如权利要求9所述的限制件，其特征在于，其中该接触面具有一第一倾斜面及一第二倾斜面，该基板抵接于该第一倾斜面与该第二倾斜面相交处，该第一倾斜面与该第二倾斜面的夹角角度依据该基板的厚度。
11.如权利要求10所述的限制件，其特征在于，其中该第一倾斜面与该第二倾斜面的夹角角度为180度，该接触面为一平整面。
12.如权利要求9所述的限制件，其特征在于，其中该接触面为一弧面，其弧度依据该基板的厚度。
13.如权利要求8所述的限制件，其特征在于，其中该保护套具有一凹槽，该限制部设置于该凹槽。
14.如权利要求13所述的限制件，其特征在于，其中该限制部的截面形状与该凹槽的截面形状相对应。
15.一种具有保护套的限制件，其特征在于，其包含：至少一本体，其分别设置于一基板收纳容器的一盒体的侧壁，并具有一限制部，该本体的延伸方向与收纳于该基板收纳容器内的至少一基板的置放方向相互垂直；以及
至少一保护套，其套设于该限制部，该保护套抵接于该基板的边缘。
16.如权利要求15所述的限制件，其特征在于，其中该保护套具有一接触面，该接触面与该基板接触。
17.如权利要求15所述的限制件，其特征在于，其中该保护套具有一凹槽，该限制部设置于该凹槽
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