KR20140054205A - 웨이퍼 캐리어 - Google Patents

웨이퍼 캐리어 Download PDF

Info

Publication number
KR20140054205A
KR20140054205A KR1020147006119A KR20147006119A KR20140054205A KR 20140054205 A KR20140054205 A KR 20140054205A KR 1020147006119 A KR1020147006119 A KR 1020147006119A KR 20147006119 A KR20147006119 A KR 20147006119A KR 20140054205 A KR20140054205 A KR 20140054205A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wafer
container
cantilevered
shell
door
Prior art date
Application number
KR1020147006119A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102011159B1 (ko
Inventor
마이클 에스. 아담스
배리 그레거슨
매튜 에이. 풀러
Original Assignee
인티그리스, 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 인티그리스, 인코포레이티드 filed Critical 인티그리스, 인코포레이티드
Publication of KR20140054205A publication Critical patent/KR20140054205A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102011159B1 publication Critical patent/KR102011159B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67303—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

450 mm와 같은 큰 웨이퍼들에 적합한 전방 개구 웨이퍼 용기는 강건한 연결들 및 비용 효율성을 제공하는 편리한 방식으로 구성요소들을 서로 고정하기 위해 분리된 고정자들을 가지는 구성요소들을 이용한다. 용기 부분은 개방 전면을 가지고, 세정 쇠고리들을 위한 오목부들을 제공하는 비틀림 잠금 연결자들에 의해 고정되는 베이스 판을 바닥 표면 상에 수신한다. 운동역학적 결합 구성요소들은 상기 베이스 판 상에 용이하고 강건하게 잠근다. 내부 웨이퍼 지지 구성요소들은 고정 탭들 및 잠금 멈춤쇠돌을 가지는 분리된 잠금 삽입을 이용하여 상기 측벽들 상의 브라켓들에 래치된다. 웨이퍼 리테이너는 지지를 제공하고, 도어가 설치되고 안착된 때 450 mm 웨이퍼들과 연관된 향상된 웨이퍼 처짐에 반격한다.

Description

웨이퍼 캐리어{WAFER CARRIER}
이 출원서는 웨이퍼 캐리어를 제목으로 2011년 8월 12일에 출원된, 미국 가출원 특허출원 제 61/523,254호의 우선의 이익을 주장하고 있고, 이 출원서는 참조에 의해 여기에 전부 반영된다.
이 발명은 반도체 웨이퍼들과 같은 민감한 기판들을 위한 용기들에 관한 것으로서, 특히 이러한 용기들에의 구성요소들의 조립체 및 구성요소들에 관한 것이다.
컴퓨터 칩들과 같은 집적 회로들은 반도체 웨이퍼들로부터 제조된다. 이러한 웨이퍼들은 집적 회로들을 만드는 프로세스 동안 수많은 단계들을 거친다. 이것은 일반적으로 특화된 장비에 의해 프로세싱하기 위해 하나의 워크스테이션으로부터 다른 워크스테이션까지의 복수의 웨이퍼들의 이송을 수반한다. 프로세싱 절차의 일부로서, 웨이퍼들은 일시적으로 용기들 안에 저장되거나 다른 공장들 또는 최종 사용자들에게 배달된다. 이러한 내부 설비와 외부 설비의 이동들이 웨이퍼들을 생성하거나 또는 웨이퍼들을 잠재적인 웨이퍼 손상 오염물들에 노출될 수 있다. 웨이퍼들에의 오염물들의 해로운 영향을 감소시키기 위해, 오염물들의 생성을 최소화하고 웨이퍼들을 용기들 외부의 오염물들로부터 격리시키기 위해 특화된 용기들이 개발되어 왔다. 이러한 용기들에 공통된 주요 특징은 내부의 웨이퍼들에 접근을 허용하기 위해 제거가능한 도어들 또는 클로져들이 마련되어 있다는 것이다.
플라스틱 용기들이 프로세스 단계들 및 그 사이에서 웨이퍼들을 저장하고 이송하기 위해 수십년 동안 사용되어 왔다. 이러한 용기들은 용기들을 이송하는 장비/로봇들 뿐만 아니라 프로세싱 장비와 인터페이스하기 위해 매우 잘 제어된 오차범위들을 가진다. 게다가, 이러한 플라스틱 용기들에서, 금속 고정자들은 삽입되고 제거될 때 입자 생성을 야기할 수 있기 때문에, 스크루들과 같은 금속 고정자들을 사용하지 않고 부착가능하고 제거가능한 구성요소들을 사용하는 것이 바람직하다.
반도체 웨이퍼들을 이송 및/또는 저장하기 위한 추가의, 필요하거나 바람직한 특징들은 경량, 강건함, 청결, 한정된 가스 방출, 및 비용 효과적인 제조성을 포함한다. 상기 용기들은 상기 용기들이 폐쇄되었을 때 웨이퍼들의 밀폐 또는 거의 밀폐적인 격리를 제공한다. 간단히 말하면, 이러한 용기들은 상기 웨이퍼들을 깨끗하고, 오염되지 않고, 손상되지 않게 보존할 필요가 있다. 추가적으로, 캐리어들은 상기 용기들의 측벽들의 외부 표면 상에 컨베이어 플랜지들이 결합하는 컨베이어 시스템들을 이용해 이러한 캐리어들을 이송할 뿐만 아니라 상기 용기의 상단에 위치하는 로봇 플랜지에 의해 상기 캐리어를 들어올리는 것을 포함하는 로봇 핸들링의 조작 하에서 이들의 능력을 유지하는 것이 필요하다.
전방 개구 웨이퍼 용기들은 큰 지름 300 mm 웨이퍼들을 저장하고 이송하기 위한 산업 표준이 되어 왔다. 이러한 용기들에 있어서, 상기 전방 도어는 용기 부분의 도어 프레임 안에 래치될 수 있고, 상기 웨이퍼들이 로봇을 이용해 삽입되고 제거되는 전방 접근 개구부를 폐쇄한다. 상기 용기가 웨이퍼들로 완전히 적재된 때, 상기 도어는 상기 용기 부분의 도어 프레임으로 삽입되고 래치된다. 안착된 때, 상기 도어 상의 쿠션들은 상기 웨이퍼들에 대하여 상측, 하측, 및 내측 구속을 제공한다.
반도체 산업은 현재, 보다 큰 450 mm 지름의 웨이퍼들을 이용하는 방향으로 이동중이다. 상기 더 큰 지름의 웨이퍼들은, 비록 비용 효율적이지만, 취약성이 증가되고, 중량이 더 커지고, 플라스틱으로 만들어진 용기들 안에 보다 큰 웨이퍼들을 저장하고 핸들링하는 것과 연관된 알려지지 않은 문제점들을 나타낸다. 상단, 하단, 측면들, 전방 및 후방 상의 플라스틱 구역들과 연관된 휨 및 관련 문제들이 악화된다. 보다 큰 구성요소들의 조립 및 조립되는 구성요소들의 제조 오차범위들이 더 문제이다. 보다 큰 구성요소들 상의 기판들의 증가된 중량에 의해 가해지는 힘들은 더 많은 스트레스를 야기하고, 제조 오차범위들은 더 커지고, 구성요소들 사이의 종래의 연결 기술들은 불충분하거나 최적화되지 못할 수 있다. 예를 들어 더 작은 웨이퍼 캐리어들에 있어서, 부하들은 하나의 구성요소로부터 다른 구성요소로 전달되고, 종종 멈춤쇠와 같은 잠금 구조가 하나의 구성요소 또는 다른 구성요소 상에 직접 놓인다. 예를 들어, US 등록특허 제 7,370,764호를 보면, 핸들에 일체형으로 형성된 멈춤쇠들을 이용해 쉘들에 슬라이딩가능하게 부착될 수 있는 부하 베어링이 개시되어 있다. 이 특허는 본 출원의 출원인이 소유하고 있다. 더 큰 중량들 및 더 큰 구성요소들을 취급할 때 이러한 구성들이 최적이지 않을 수 있다.
더 큰 치수들의 웨이퍼들은 핸들링 및 이송 동안 더 손상받기 쉽게 만드는 더 큰 처짐을 가지고 또한 더 작은 웨이퍼들에 대해서는 필요하지 않은 특유의 지지를 필요로 한다. 이 더 큰 처짐은 로봇 팔들에 의해 로봇을 이용해 웨이퍼들의 배치 및 제거를 허용하는 한편 웨이퍼들 사이에 원하는 간격을 유지하는 데 있어서 큰 난관을 나타낸다.
종래의 300 mm 웨이퍼 용기들, 특히 FOSBS(front opening shipping boxes)로 알려진 용기들에 있어서, 전방 도어는 용기 부분에 래치될 수 있고 로봇을 이용해 삽입 및 제거되는 전방 접근 개구부를 폐쇄한다. 상기 용기가 웨이퍼들로 완전히 적재될 때, 상기 도어는 상기 용기 부분의 도어 프레임에 삽입되고 래치된다. 이러한 구성에 있어서, 상기 웨이퍼들은 측면으로 배치된 선반들 상에 제1수평 안착 위치를 가지고 그후, 상기 도어의 삽입시, 상기 웨이퍼들은 상기 도어의 내부 표면 상에, "쿠션들"로 지칭되는 웨이퍼 지지들 뿐만 아니라 상기 웨이퍼 용기의 후면에 각이 있는 경사들을 가지는 웨이퍼 지지들에 의해 제2안착 위치로 수직으로 상승된다. 상기 용기는 그후 배달을 위해 상기 웨이퍼들을 수직으로 방향짓기 위해 후방으로 90도 회전될 수 있다. 본 출원의 출원인이 소유한 US 등록특허 제 6,267,245호 및 제 6,010,008호는 참조에 의해 여기에 반영된다. 상기 각이 있는 경사들은 V-자형의 홈들의 일부이고, 상기 V들은 90도 회전되어 있고, 이로써 상기 V의 하부 레그는 웨이퍼 엣지와 맞물리고 상기 도어가 삽입될 때 상기 하부 레그의 경사는 타고 올라가서, 최종적으로 상기 V-자형 홈의 내부 정점에 안착한다. 안착된 때 상기 도어 상의 쿠션들은 그후 상측, 하측, 및 내측 구속을 제공한다. 450 mm 웨이퍼들과 연관된 더 큰 처짐에 있어서, 제 6,010,008호에 설명되어 있는 바와 같은 종래의 경사들은 최적화되지 못할 수 있다.
반도체 웨이퍼들의 크기가 증가됨에 따라, 상기 웨이퍼들 상에 형성되는 상기 회로들의 밀도 또한 증가하고, 상기 회로들은 더 작고 작은 입자들 및 다른 오염물들로부터 결함들에 더 쉽게 영향받게 된다. 요약하면, 웨이퍼들이 크기가 증가됨에 따라, 용기들은 물론 크기도 증가하고 웨이퍼들이 더 작은 입자들 및 다른 오염물들에 더 많이 영향받게 되기 때문에 상기 웨이퍼들을 청결하고 오염물이 없게 유지하기 위한 요구조건들이 더 엄중해져 왔다.
따라서, 특히 450 mm 지름 및 그 이상의 웨이퍼들을 위한 용기들에 대하여 존재하는, 이러한 문제들 중 하나 또는 그 이상을 언급하는 웨이퍼 용기에 있어서 그 산업 분야에서의 요구가 있다.
특히 큰 지름 웨이퍼들, 300 mm 및 그보다 큰, 특히 450 mm 웨이퍼들을 위한 도어 및 용기 부분을 포함하는 전방 개구 웨이퍼 용기는, 강건한 연결들 및 비용 효율성을 제공하는 편리한 방식으로 구성요소들을 서로 잠그기 위해, 분리된 고정자들을 가지는 구성요소들을 이용한다. 용기 부분은 개방 전면을 가지고 또한 세정 쇠고리들(purge grommets)을 위한 오목부들(recesses)을 제공하는 비틀림 잠금 연결자들(twist lock connectors)에 의해 고정되는 베이스 판을 바닥 표면 상에 수신한다. 운동역학적 결합 구성요소들(kinematic coupling components)은 상기 베이스 판 상에 용이하고 강건하게 고정된다. 내부 웨이퍼 지지 구성요소들은 상기 측벽들 상의 브라켓들을 가지고 래치되고 고정 탭들(holding tabs) 및 잠금 멈춤쇠들(locking detents)을 가지고 분리된 잠금 삽입을 사용한다. 웨이퍼 리테이너(retainer)는 지지를 제공하고 상기 도어가 설치되고 안착된 때 450 mm 웨이퍼들과 연관된 강화된 웨이퍼 처짐(sag)에 반격한다.
웨이퍼 리테이너는 상기 전방 도어의 내부 대향 표면 상에 제거가능하게 부착될 수 있고, 그 각각이 수직 부재에 매달린 캔틸레버된 핑거들의 한 쌍의 열들을 포함한다. 각각의 핑거는 고정 또는 근처 단 부분, 중간 부분 및 원심 플렉싱 단 부분을 가지고 노출 웨이퍼 결합 표면은 상기 웨이퍼 용기 안으로 향한다. 상기 핑거는 초기에 상기 수직 부재로부터 그후 중간 부분에서 수평으로 연장되고 단 부분은 상기 수평으로부터 약간 하측으로 연장된다. 상기 노출 웨이퍼 결합 표면은 상부 표면 부분과 하부 표면 부분의 접합에 의해 정의되는 선형 오목부 또는 홈(groove) 또는 밸리(valley)를 가진다. 상기 홈 또는 밸리는 상기 도어가 완전히 상기 용기 부분의 도어 프레임 안에 안착된 때를 위해 웨이퍼 안착 홈을 제공한다. 각각의 핑거의 단 부분에 있는 상기 웨이퍼 안착 홈은 상기 핑거의 상부 여백 근처이고 상기 웨이퍼 안착 홈이 상기 고정단 부분에 접근함에 따라 상기 상부 여백과 상기 하부 여백 사이 대략 상기 핑거의 중간에 있도록 연장된다. 상기 노출 웨이퍼 결합 표면의 하부 표면 부분은 각각의 핑거의 원심단 부분에서 수직 방향으로 더 넓고 그후 상기 고정단 부분을 향해 좁아진다. 상기 웨이퍼 리테이너는 상기 웨이퍼 안착 홈에 수평으로 정렬되는 고정 웨이퍼 안착 부분들의 추가적인 열을 가진다.
상기 도어가 상기 용기 부분의 도어 프레임 안에 삽입됨에 따라, 상기 웨이퍼들의 전방 엣지들은 초기에, 상기 웨이퍼들의 처짐 때문에, 각각의 핑거의 단 부분 상의 저점에서, 각각의 핑거에 맞물릴 것이다. 상기 도어가 상기 도어 프레임 안에 더 삽입됨에 따라, 각각의 핑거의 각각의 하부 표면 부분의 수직으로부터의 경사는 각각의 웨이퍼의 전방 선도 엣지를 상측으로 밀고, 각각의 핑거와 각각의 웨이퍼의 맞물림의 수평 방향의 정도는 수평 폭으로 증가하고 상기 도어가 그 안착 위치에 도달할 때까지 더 삽입됨에 따라 각각의 핑거의 고정단 부분에 더 가까이 연장될 것이다. 이러한 점에서, 각각의 웨이퍼는 상기 웨이퍼 결합 홈 대부분을 따라 개별적인 핑거에 의해 최대한 맞물리게 되고 고정 웨이퍼 안착 부분들의 추가적인 열에 의해 맞물리게 될 것이다. 일 실시예에 있어서, 각각의 웨이퍼는 2개의 핑거들 및 2개의 추가적인 고정 웨이퍼 안착 부분들에 의해 상기 도어에 의해 맞물리게 될 것이다. 그러므로, 일 실시예에 있어서, 캔틸레버된 웨이퍼 결합 핑거들의 2개의 수직 열들 및 고정 웨이퍼 안착 부분들의 2개의 열들이 있다.
일 실시예에 있어서, 웨이퍼 지지 선반들은 협력 브라켓들의 조합, 즉 삽입 부분 및 포켓 부분, 상기 선반 상에 위치되는 하나 및 상기 웨이퍼 지지 선반 구성요소의 후방 측 상에 위치되는 다른 하나, 또한 상기 웨이퍼 지지 선반 구성요소의 전방 측에 있는 3개의 부분 연결자들을 이용해 상기 측벽들에 고정된다. 상기 3개의 부분 연결자들은 상기 웨이퍼 선반 구성요소 상의 브라켓, 상기 쉘에 일체형으로 형성되는 협력 적합 브라켓, 및 상기 2개의 브라켓들을 서로 고정하는 잠금 부재를 포함한다. 상기 잠금 부재는 제자리에 상기 클립을 유지하기 위한 멈춤쇠들을 가지는 클립으로서 구성된다. 상기 클립은 상기 웨이퍼 선반 구성요소를 상기 쉘에 고정한다. 상기 구성요소들을 서로 고정하는 상기 멈춤쇠는 2개의 주요 구성요소들이 아니라 서로를 연결하고 고정하는 구성요소들 상에 있다. 그러므로, 3번째의 구성요소를 함께 고정하는 래치는 상기 2개의 주요 구성요소들을 위해 실질적으로 격리되어 있고 상기 구성요소들 사이의 부하 전달로부터 실질적으로 격리되어 있다. 그러므로 본 발명의 실시예들의 특징 및 장점은 웨이퍼 선반들을 위한 연결 조립에 있고, 이때 상기 선반 구성요소는 상기 쉘에 맞물리고 또한 분리된 구성요소는 그 맞물림을 유지하고 또한 탄성있는 일체형 탭들을 이용해 상기 분리된 구성요소를 고정 위치에 잠그는 멈춤쇠를 가진다.
추가적으로, 운동역학적 결합들을 가지는 베이스 판은 또한 최소한의 조립, 최소한의 입자 생성을 가지고 상기 베이스 판의 강건한 연결을 제공하고, 세정 포트들로서 상기 연결들의 사용을 허용하는 비틀림 잠금 연결자들을 포함하는 추가적인 고정 구성요소들을 이용해 고정될 수 있다. 상기 베이스 판은 상기 베이스 판 상의 꼭 맞는 구멍들에 용이하고 강건하고 정확하게 부착되는 스냅-인 운동역학적 결합 구성요소들을 이용할 수 있다. 상기 연결자는 서로 맞물리게 상기 2개의 주요 구성요소들을 고정하여 상기 2개의 구성요소들 사이의 부하 전달이 상기 구성요소들을 고정하는 상기 연결자를 통해 실질적으로 연장되지 않는다.
그러므로, 450 mm 웨이퍼들을 포함하는, 큰 웨이퍼들을 가지고 이용하는 데 적합한 웨이퍼 용기는 새로운 구성요소 구성 및 부착 수단을 가지고 제시된다. 이러한 신규성은 향상된 성능, 제조 편리성 및 비용 감소를 제공한다.
도 1a는 본 발명들의 실시예들의 웨이퍼 캐리어의 사시도이다.
도 1b는 도어가 제거되고 본 발명들을 구현하는 구성요소들의 부착을 도시하고 있는, 도 1a의 웨이퍼 캐리어의 사시도이다.
도 1c는 도어가 제거되고 본 발명들을 구현하는 구성요소들의 부착을 도시하고 있는, 도 1a의 웨이퍼 캐리어의 사시도이다.
도 2는 본 발명들의 실시예들의 웨이퍼 캐리어의 바닥면의 사시도이다.
도 3은 도 1c의 선 3-3을 따른, 본 발명의 실시예들의 웨이퍼 캐리어의 용기 부분의 입단면도이다.
도 3a는 본 발명의 실시예들을 도시하는 도 3의 단면의 상세 단면 사시도이다.
도 3b는 본 발명들의 실시예들에 따른 운동역학적 결합 구성요소의 사시도이다.
도 3c는 y-z 평면을 따라 도 1c의 선 3c-3c를 따른, 본 발명의 실시예들의 웨이퍼 캐리어의 용기 부분의 상세 측면 입단면도이다.
도 4a는 본 발명들의 실시예들에 따른 웨이퍼 지지 구성요소의 사시도이다.
도 4b는 본 발명들의 실시예들에 따른 잠금 클립의 사시도이다.
도 5a는 본 발명들의 실시예들에 따른 용기 부분의 쉘의 사시도이다.
도 5b는 본 발명들의 실시예들에 따라 그 안에 삽입된 웨이퍼 지지 구성요소를 가지는, 도 5a의 쉘의 사시도이다.
도 5c는 본 발명들의 실시예들에 따른 잠금 클립을 가지고 그 안에 고정된 웨이퍼 지지 구성요소를 가지는, 도 5a 및 도 5b의 쉘의 사시도이다.
도 5d는 본 발명들의 실시예들에 따른 잠금 클립의 사시도이다.
도 5e는 본 발명들의 실시예들에 따른 도 5d의 잠금 클립의 반대 측의 사시도이다.
도 5f는 본 발명들의 실시예들에 따른 후방 브라켓 부분을 가지는 웨이퍼 지지 구성요소의 사시도이다.
도 5g는 본 발명들의 실시예들에 따른 전방 브라켓을 가지는 웨이퍼 지지 구성요소의 사시도이다.
도 5h는 본 발명들의 실시예들에 따른 협력 브라켓을 가지고 쉘에 고정되는 웨이퍼 지지 구성요소가 도시되어 있는 용기 부분 내부의 측면 입면도이다.
도 6은 본 발명들의 실시예들에 따른 전방 도어의 내부 표면에 부착가능한 웨이퍼 구속의 웨이퍼 결합 측의 사시도이다.
도 6a는 도 6의 웨이퍼 구속의 캔틸레버된 핑거들의 사시도이다.
도 6b 내지 도 6e는 도 6a의 각각의 선들에 따른 캔틸레버된 핑거의 다양한 단면들의 구성들 및 상대 두께들의 측면 대략도이다.
도 6f 내지 도 6h는 본 발명들의 실시예들에 따른 캔틸레버된 핑거를 가지는 웨이퍼의 진보적인 결합을 보여주는, 도 6a의 선 6f-6f에 따른, 평면 단면에 있어서의 대략도들이다.
도 6i는 본 발명들의 실시예들에 따른 제자리에 있는 웨이퍼 구속을 가지는 전방 도어의 내부 표면의 입면도이다.
도 7a는 본 발명들의 실시예들에 따른 반 바퀴보다 적게 잠근 비틀림 잠금 연결자의 사시도이다.
도 7b는 본 발명들의 실시예들에 따른 반대 측에서부터 상측으로 본 도 7a의 비틀림 잠금 연결자의 사시도이다.
도 7c는 도 7a의 비틀림 잠금 연결자 상의 노치 또는 홈의 사시도이다.
도 8은 본 발명들의 실시예들에 따른 그 안에서 노출된 쉘과 일체사용되는 보스를 가지는 베이스 판의 바닥 측의 사시도이다.
도 9a는 본 발명들의 실시예들에 따른 하부 벽으로부터 연장되는 일체사용 보스들이 도시된 용기 부분의 쉘의 사시도이다.
도 9b는 도 9a의 쉘의 바닥 상의 보스의 상세도의 사시도이다. 편이를 위해 상기 쉘은 이 도면을 위해 반전되어 있다.
도 9c는 본 발명들의 실시예들에 따른 비틀림 잠금 연결자를 가지는 도 9b의 보스의 상세도의 사시도이다.
도 9d는 세정 포트들로서 사용되는 보스들 및 연결자들에서 사용되기 적합한 체크 밸브를 가지는 탄성 쇠고리의 단면도이다.
도 10a 및 도 10b는 그 사이에 베이스 판이 삽입된 쉘로부터 연장된 보스에 연결자의 부착이 도시되어 있는 도면들이다.
도 10c는 본 발명들의 실시예들에 따른 미도시된 체크 밸브를 가지는 세정 쇠고리를 가지는 비틀림 잠금 연결자 및 보스를 관통하는 단면도이다.
도 1a, 도 1b 및 도 1c를 참조하면, 복수의 어플리케이션 캐리어(MAC)(30)는 본 발명의 일 실시예에 도시되어 있다. 상기 MAC(30)은 일반적으로 상부 부분(36), 상단 벽(37), 하단 부분(38), 바닥 벽(39), 2개의 측면 부분들(40), 2개의 측벽들(41), 후방 벽(42), 및 후방 부분(45)을 포함하는 쉘(33)을 가지는 용기 부분(32)을 포함한다. 상기 상부 부분(36), 하단 부분(38) 및 상기 2개의 측벽 부분들(40)은 폐쇄될 수 있고 도어(44)를 가지고 밀폐될 수 있는 도어 프레임(47)으로 구성되는 전방 개구(43)를 향해 연장된다. 일 실시예에 있어서, 상기 용기 부분(32)의 후방 부분(42)은 그 위에 형성되는 장착 포켓들로 구성되는 복수의 브라켓들(46)을 포함한다. 한 쌍의 웨이퍼 지지 구성요소들(50) 각각은 한 쌍의 일체형으로 성형된 협력 브라켓들을 가진다. 상기 브라켓들은 상기 쉘 상의 브라켓들과 협력한다. 잠금 클립은 제자리에 상기 웨이퍼 지지 구성요소를 고정할 수 있다. 베이스 판(52)은 상기 용기 부분(32)의 외부에 상기 하단 부분(38) 근처에 장착될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 베이스 판(52)은 3개의 운동역학적 결합 홈들 구성요소(56) 및 상기 베이스 판(52)을 상기 용기 부분(32)의 하단 부분(38)에 결합하는 복수의 비틀림 잠금 연결자들(58)을 포함한다. 상기 x-y-z 좌표 시스템은 방향 기준을 위해 다양한 도면들에 도시되어 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 도 1c의 상기 베이스 판(52) 및 상기 운동역학적 결합 홈 구성요소(56)는 격리되어 도시되어 있다. 상기 운동역학적 결합 홈들 구성요소(56)는 상기 베이스 판(52) 상의 장착 구멍들(62)에 첨부되고 또한 그 사이에 정의되는 연속적이고 방해받지 않는 표면을 가지는 테두리 부분(64) 및 정점 부분(66)을 포함한다. 일 실시예에 있어서, 상기 테두리 부분(64)은 긴 직선들(65) 및 반구 단들(66)을 가지는 실질적으로 타원 형태이다. 한 쌍의 잠금 돌출부(68)는 긴 직선들에 있는 상기 운동역학적 결합 홈(56)의 상기 테두리 부분(64)으로부터 연장되도록 일체형으로 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 잠금 돌출부(68)는 바브(72) 및 원심단(76) 상의 가늘어지는 표면(74)을 포함한다. 도 3, 도 3a, 도 3c에 도시된 바와 같이, 반구 단들에 있는 테두리 부분은 외측으로 대향하는 표면(77)에 있는 상기 베이스 판(52)에 중첩되고 긴 직선들에서 상기 잠금 돌출부들은 상기 베이스 판의 캐치 부분(79)의 반대의 내측으로 대향하는 표면(78)을 붙잡는다.
기능적으로, 상기 운동역학적 결합 홈들 구성요소(56)의 연속적인 기하구조는 꼭 맞는 돌출부들에 결합될 때 상기 용기 부분(32)을 지지하는 데 필수적인 강도를 제공한다. 상기 잠금 돌출부(들)(68)의 상기 가늘어지는 표면(74)은 상기 운동역학적 결합 홈들 구성요소(56)가 상기 개별적인 장착 구멍들(62)에 슬라이딩가능하게 삽입되도록 해준다. 각각의 가늘어지는 표면(74)의 베이스에서 정의되는 상기 바브(72)는 상기 개별적인 장착 구멍(62)에 맞물리도록 위치되어 상기 잠금 돌출부(68)는 상기 운동역학적 결합 홈(56)을 상기 베이스 판(52)에 고정하기 위해 그 곳에 스냅결합된다. 일 실시예에 있어서, 상기 운동역학적 결합 홈들 구성요소(56)는 먼저 상기 용기 부분(32)으로부터 상기 베이스 판(52)을 먼저 제거하지 않고는 상기 베이스 판(52)으로부터 제거될 수 없다. 이것은 상기 운동역학적 결합 홈들 구성요소(56)가 무심코 상기 장착 구멍들(62)으로부터 이탈되거나 변경되는 것을 방지하는 것을 도와준다.
도 4a, 도 4b, 도 5g, 및 도 5h를 참조하면, 도 1b 및 도 1c의 상기 웨이퍼 지지 구성요소들(50) 중 하나가 격리 상태에서 도시되어 있고, 이와 함께 클립(82)은 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50)를 상기 쉘(32)의 상기 측벽들(41) 중 하나에 고정하기 위해 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50)에 맞물리도록 설계된다. 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50)는 그 사이에 배치되는 복수의 웨이퍼 지지들을 가지는, 전방 엣지(86) 및 후방 엣지(88)를 포함한다. 상기 후방 엣지(88)는 후방으로 연장되는 복수의 후방 돌출부들(90)을 포함한다. 상기 후방 돌출부들(90)은 상기 용기 부분(32)의 상기 후방 부분(42) 상의 상기 장착 포켓들(46)과 일치하도록 구성된다. 상기 전방 엣지(86)는 상기 쉘 상의 상기 협력 브라켓(110)과 협력하는 브라켓을 포함하고, 상기 웨이퍼 지지 구성요소 브라켓은 전방 엣지 포켓들(92)의 어레이를 포함한다.
상기 클립(82)은 상기 웨이퍼 지지 선반 구성요소의 상기 쉘에의 맞물림을 유지하기 위해 이로부터 후방측으로 연장되는 복수의 유지 탭들(retention tabs, 98, 100), 및 상기 클립을 제자리에 고정하기 위해, 멈춤쇠로서 구성되는 복수의 잠금 탭들(101)을 가지는 그리핑 부분(84)을 포함한다. 상기 유지 탭들(98, 100)은 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50)의 상기 전방 엣지 포켓들(92)과 일치하도록 구성된다. 도시된 실시예에 있어서, 상기 유지 탭들(100) 중 일부는 자유단(104) 근처에 멈춤쇠(102)를 포함한다.
도 5a 내지 도 5c를 참조하면, 상기 MAC(30)은 조립의 다양한 단계들로 도시되어 있다. 도 5d 내지 도 5h는 선반 조립체(50)로서 구성되는 상기 웨이퍼 지지 구성요소를 도시하고 있고 또한 잠금 삽입 또는 클립(82)이 더 도시되어 있다. 상기 도 5a의 도시는 상기 웨이퍼 지지 조립체들(50) 중 하나가 제거된 용기 부분(32)을 나타낸다. 수신 오목부들(47)을 가지는 장착 포켓들(46)로서 구성되는 2개의 브라켓들을 이 도면에서 볼 수 있다. 도 5a는 또한 일체형으로 형성되거나 그렇지 않으면 상기 측면 부분(40)에 부착될 수 있는 장착 브라켓(110)이 도시되어 있고, 상기 장착 브라켓(110)은 후방 엣지(112)를 포함하고 상기 측벽(41)에 인접하는 많은 개구부들(113)을 정의한다. 상기 쉘과 함께 일체형으로 성형되는 추가의 측면 브라켓(114)은 또한 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50) 안의 하나의 슬롯으로서 구성되는 협력 특성(cooperating feature, 115)에 의해 수신된다.
조립체에 있어서, 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50)는 상기 측면 부분들(40) 중 하나 근처에 위치되고 협력 브라켓들이 맞물리고, 상세하게는 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50)의 후방 돌출부들(90)이 상기 용기 부분(32)의 후방 부분(42)의 장착 포켓들(46)로 삽입된다. 웨이퍼 지지 구성요소(50)의 전방 엣지(86)는 y 방향으로 수직 축 주위 위치로 회전되고, 이로써 상기 웨이퍼 지지 구성요소의 전방은 상기 장착 브라켓(110) 바로 뒤의 상기 측벽(41)에 인접한다. 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50)가 위치될 때, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 클립(82)은 상기 장착 브라켓(110)에 삽입되어, 상기 보유 탭들(98, 100)은 상기 장착 브라켓(110) 구멍들(111)을 관통해 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50)의 전방 엣지 포켓들(92)로 연장된다. 상기 잠금 클립(82)이 완전히 삽입된 때, 상기 멈춤쇠들(102)을 가지는 상기 유지 탭들(100)은 그 곳으로 스냅맞춤되어 상기 멈춤쇠들(102)이 상기 장착 브라켓(110)의 후방 엣지(112) 또는 상기 웨이퍼 지지 선반들의 브라켓의 후방 엣지에 맞물린다. 상기 잠금 클립은 핸들 부분(115)을 이용해 수동으로 삽입 및 제거될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 후방 돌출부들(90) 및/또는 상기 장착 포켓들(46) 중 하나는 근사오차 끼워맞춤(close tolerance fit)을 위해 치수지어질 수 있는 한편, 나머지 장착 포켓들(46) 및/또는 후방 돌출부들(90)은 보다 느슨한 끼워맞춤을 위해 치수지어진다. 상기 근사오차 끼워맞춤은 상기 후방 부분(42)에 대한 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50)를 위한 등록을 제공할 수 있는 한편, 상기 나머지, 더 느슨한 끼워맞춤 포켓들(46) 및 후방 돌출부들(90)은 안정성을 제공한다. 예를 들어, 도시된 실시예에 있어서, 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50) 상의 3개의 후방 돌출부들(90)과 일치하는 상기 후방 부분(42) 상의 3개의 장착 포켓들(46)이 있다. 상기 중심 장착 포켓(46) 및 후방 돌출부(90)는 꼭 맞는 끼워맞춤을 제공하기 위해 근사한 오차를 허용할 수 있는 한편, 상기 상단 및 하단 장착 포켓들(46) 및 개별적인 후방 돌출부들(90)은 느슨한 끼워맞춤이다. 상기 상단 및 하단 조합들의 느슨한 끼워맞춤은 과도한 휨 스트레스(bending stress)가 상기 중심 장착 포켓(46)/후방 돌출부(90) 조합에 부가되는 것을 방지하기 위해 여전히 피치, 편향(yaw) 및 회전(roll) 안정성을 제공한다. 상기 근사오차 장착 포켓(46)/후방 돌출부(90) 조합만이 신중하게 정렬될 필요가 있기 때문에, 이 배치는 상기 복수의 장착 포켓들(46)에의 상기 웨이퍼 지지 구성요소(50)의 보다 용이한 장착을 제공한다.
도 6 내지 도 6e, 및 도 6h를 참조하면, 웨이퍼 리테이너(120)가 본 발명의 일 실시예에 도시되어 있다. 상기 웨이퍼 리테이너(120)는 상기 도어로부터 연장되는 보스들(122)과 같은 종래의 수단을 이용해 상기 도어(44)의 상기 내부 표면(121) 상에 장착된다. 상기 웨이퍼 리테이너는 일반적으로 상기 도어의 내부 벽 표면에 의해 수신되는 사각형의 프레임워크를 정의하는 2개의 대향하는 측면 부재들(130)에 의해 분리되는, 상단 부재(126) 및 하단 부재(128)를 가지는 실질적으로 사각형의 외부 프레임(124)을 포함한다. 적어도 하나의 가이드 블록(134)은 상기 상단 부재(126)와 상기 하단 부재(128) 사이에 걸쳐 있다. 복수의 캔틸레버된 핑거들(138)은 상기 가이드 블록(들(134)을 향해 캔틸레버되는 방식으로 상기 측면 부재들 각각으로부터 연장된다. 상기 가이드 블록은 상기 도어가 상기 도어 프레임 안에 완전히 안착된 때 상기 웨이퍼들의 전방 엣지들 각각에 대하여 그 각각이 안착 위치(136)를 정의하는, 캔틸레버되지 않은 고정 웨이퍼 지지들(135)의 열을 가지는, 하나 또는 2개의 수직 지지 부재들을 포함한다.
슬롯(142)이 인접한 캔틸레버된 핑거들(138)의 각 쌍 사이에서 정의되고, 상기 슬롯들(142)은 상기 캔틸레버된 핑거들(138)의 고정단 부분들(144)에서 종결된다. 각각의 캔틸레버된 핑거(138)는 실질적으로 편평하고 상기 고정단 부분들(144)에서 실질적으로 균일한 두께이다. 상기 캔틸레버된 핑거(138)는 상기 고정단 부분들(144)에서 먼 위치들에서 각이 있는 형태를 취하고, 각 또는 홈(143)을 정의한다.
기능적으로, 상기 캔틸레버된 핑거들(138)의 상기 고정단 부분들(144)의 편평도는 상기 고정단 부분들(144)에서 먼 상기 캔틸레버된 핑거들(138)의 각이 있는 형태 부분들에 비해 휨에 더 많이 공헌한다. 따라서, 상기 고정단 부분들(144)은 웨이퍼 또는 기판이 개별적인 캔틸레버된 핑거(138)에 맞물릴 때 생활 힌지로서 행동할 수 있다. 상기 고정 단 부분들은 중간 부분(145)까지 그후 상기 플렉싱 원심단 부분(146)까지 연장되고 지지한다. 이러한 설계에 의해, 일 실시예에 있어서, 각각의 캔틸레버된 핑거(138)는 일반적으로 상기 종결 지점들, 상기 캔틸레버된 핑거(138)의 일 측 상의 상기 슬롯들(142)의 상기 원심 끝단들(149) 사이에서 연장되는 개별적인 축(148) 주위로 구부러지는 한편, 상기 핑거 그 자체는 상대적으로 강건하게 남아 있다.
이러한 방식으로, 상기 캔틸레버된 핑거들(138)은 특히 상기 도어가 안착된 때 유지되는 상기 웨이퍼 또는 기판의 외부 엣지의 반지름에 실질적으로 일치하도록 성형될 수 있다. 상기 캔틸레버된 핑거들(138) 상에 정의되는 각이 있는 표면은 또한 상기 캔틸레버된 핑거들(138) 상의 웨이퍼들을 안내하고 중심을 잡는 데 도움이 된다.
각각의 핑거는 고정 또는 근처 단 부분(144), 중간 부분(145), 및 원심 플렉싱 단 부분(146)을 가지고, 노출 웨이퍼 결합 표면(147)이 상기 웨이퍼 용기에 대향하고, 즉 상기 도어로부터 멀어진다. 상기 핑거는 처음에 상기 수직 부재로부터 그후 상기 중간 부분(145)에서 수평으로 연장되고, 단 부분(146)은 상기 수평으로부터 약간 하측으로 연장된다. 상기 노출 웨이퍼 결합 표면은 상기 홈(143) 또는 밸리를 정의하는 선형 오목부를 가지고, 상기 홈의 정점(150)은 상기 노출 웨이퍼 결합 표면의 상단 표면 부분(151) 및 하단 표면 부분(152)의 접합을 정의한다. 상기 홈 또는 밸리는 상기 도어가 상기 용기 부분의 상기 도어 프레임 안에 완전히 안착된 때를 위해 웨이퍼 안착 홈을 제공한다. 각각의 핑거의 상기 단 부분에 있는 상기 웨이퍼 안착 홈은 상기 핑거의 여백 또는 상기 상단 엣지(154) 근처이고 상기 웨이퍼 안착 홈이 상기 고정단 부분에 접근함에 따라 상기 상단 여백 과 하단 여백(155) 사이 상기 핑거의 중간에 대략 있도록 연장된다. 이중화살표들(156)에 의해 지시되는 바와 같이, 점선들로 도시된, 상기 캔틸레버된 핑거가 그 원래 위치들로부터 편향될 때 상기 웨이퍼(W)의 진보적인 맞물림을 도시하고 있는, 도 6f 내지 도 6g를 참조하라. 상기 노출 웨이퍼 결합 표면의 하단 표면 부분이, 수직 방향으로, 각각의 핑거의 원심단 부분에서, 더 넓어지고 그후 상기 고정단 부분을 향해 좁아진다.
상기에서 설명한 바와 같이, 상기 리테이너는 상기 웨이퍼 안착 홈과 수평으로 정렬되어 있는, 고정된 웨이퍼 안착 부분들의 하나 또는 2개의 추가적인 열들을 더 가진다.
상기 도어가 상기 용기 부분의 도어 프레임 안으로 삽입됨에 따라, 상기 웨이퍼들의 전방 엣지들은 초기에, 웨이퍼들의 처짐으로 인해, 각각의 핑거의 원심단 부분 상의 저점에서, 각각의 핑거에 맞물릴 것이다. 상기 도어가 상기 도어 프레임 안에 더 삽입됨에 따라, 각각의 핑거의 각각의 하부 표면 부분의 수직으로부터의 경사는 각각의 웨이퍼의 전방 선도 엣지를 상측으로 밀고, 각각의 핑거와 각각의 웨이퍼의 맞물림의 수평 방향의 정도는 수평 폭으로 증가하고 상기 도어가 그 안착 위치에 도달할 때까지 더 삽입됨에 따라 각각의 핑거의 고정단 부분에 더 가까이 연장될 것이다. 이러한 점에서, 각각의 웨이퍼는 상기 웨이퍼 결합 홈 대부분을 따라 개별적인 핑거에 의해 최대한 맞물리게 되고 고정 웨이퍼 안착 부분들의 추가적인 열에 의해 맞물리게 될 것이다. 일 실시예에 있어서, 각각의 웨이퍼는 2개의 핑거들 및 2개의 추가적인 고정 웨이퍼 안착 부분들에 의해 상기 도어에 의해 맞물리게 될 것이다. 그러므로, 일 실시예에 있어서, 캔틸레버된 웨이퍼 결합 핑거들의 2개의 수직 열들 및 고정 웨이퍼 안착 부분들의 2개의 열들이 있다.
상기 캔틸레버된 핑거들의 원심단 부분들의 하측으로의 틸트는 또한 도 6h에 도시되어 있고, 이때 상기 웨이퍼 리테이너는 전방 도어의 내부 표면 상에 설치된다.
도 7a 내지 도 7c를 참조하면, 비틀림 잠금 연결자들(58) 중 하나가 본 발명의 일 실시예에 도시되어 있다. 상기 비틀림 잠금 연결자의 기능은 나사산을 이용하지 않고 180도보다 적은 부분 회전을 이용해 상기 베이스 판(52)을 상기 용기에 고정하는 것이다. 다른 실시예에 있어서, 대략 90도의 회전을 이용한다. 추가적으로, 상기 연결자들은 실시예들에 있어서 접근 포트를 제공할 수 있다. 상기 도시된 실시예의 상기 비틀림 잠금 연결자(58)는 플랜지된 단(162) 및 플랜지없는 단(164)을 가지는 실질적으로 원통형 몸체(160)를 포함한다. 상기 플랜지된 단(162)의 플랜지(166)는 우수한 또는 외측으로 대향하는 표면(170) 및 열등한 또는 내측으로 대향하는 표면(172)을 가진다. 상기 원통형 몸체(160)는 내부 관통 포트(173)를 정의한다. 상기 플랜지(166)는 상기 플랜지(166)의 외부 둘레(178) 또는 그 근처의 구멍들(holes) 또는 노치들(176)을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 노치들(176)은 상기 노치(176)의 일 부분만이 상기 외측으로 대향하는 표면(170)으로부터 접근가능하게 형성되고, 상기 노치(176)의 나머지 부분은 상기 내측으로 대향하는 표면(172)으로부터 접근가능한 오목부(180)를 형성한다(도 7 참조).
상기 비틀림 잠금 연결자(58)는 또한 상기 원통형 몸체(160)의 상기 플랜지없는 단(164) 근처에 형성된 아치형 팔(184)을 포함할 수 있다. 상기 아치형 팔(184)은 상기 플랜지없는 단(164)으로부터 접근가능한 접선 슬롯(tangential slot, 186)을 정의한다. 일 실시예에 있어서, 우수한 또는 외측 탭(188)은 상기 원통형 몸체(160)로부터 방사상으로 연장되고 열등한 또는 내측 탭(190)은 상기 아치형 팔(184)로부터 방사상으로 연장되고, 상기 탭들은 상기 접선 슬롯(186)의 반대 측면들 상에 위치한다. 상기 비틀림 잠금 연결자(58)는 상기 원통형 몸체(160) 상에 보스(192)를 더 포함할 수 있다. 도시된 실시예에 있어서, 상기 보스(192)는 실질적으로 상기 접선 슬롯(186)에 정반대된다.
도 8을 참조하면, 상기 베이스 판(52) 상에 위치하는 잠금 포트(200)가 본 발명의 일 실시예에 도시되어 있다. 상기 잠금 포트(200)는 상기 비틀림 잠금 연결자(58)에 선택적으로 일치하도록 설계된다. 상기 잠금 포트(200)는 상기 잠금 포트(200)의 내부 둘레(206) 상에 반대되는 내부 플랜지들(202, 204)을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 내부 플랜지들(202) 중 적어도 하나는 캔틸레버된 방식으로 상기 내부 플랜지(202)로부터 접선으로 연장되는 잠금 팔(208)을 정의하고, 멈춤쇠(209)는 상기 잠금 팔(208)의 자유단 근처에 위치된다. 돌출부(210) 또한 상기 잠금 팔(208)의 자유단 근처에 위치될 수 있다. 상기 내부 플랜지들(202, 204) 및 돌출부(210)는 제1간격(212) 및 제2간격(214)을 정의한다.
도 9a 및 도 9b를 참조하면, 숫-고정 부재들(213)가 본 발명의 일 실시예에 도시되어 있다. 상기 숫-고정 부재들(213)은 상기 용기 부분의 바닥으로부터 연장되는 튜브형 보스(215)로서 구성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 보스(215)는 상기 용기 부분의 쉘에 일체형으로 형성되고, 즉 상기 용기 부분(32)의 세정 또는 접근 포트(216)로서 구성될 수 있고 상기 쉘과 일체사용될 수 있는데 본 발명의 일 실시예에 도시되어 있다. 다른 실시예들에 있어서, 상기 고정 부재는 상기 쉘(33)을 관통하는 구멍 안에 위치하는 플랜지된 부재일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 연결자가 접근 포트와 연관되어 있는 경우, 상기 보스는 상기 용기 부분(32)의 내부와 유체 소통하는 통로(219)를 가진다. 도시된 바와 같은 4개의 연결자들 모두 또는 일부는 접근 포트들과 연관될 수 있다. 상기 접근 포트(216)는 베이스 부분(220) 및 자유단(222)을 가지는 것으로 더 특징지어질 수 있고, 상기 고정 부재(213)의 상기 베이스 부분(220)을 따라 상기 용기의 하단 부분(38)으로부터 연장되는 보강재들(223)을 포함할 수 있다. 도시된 실시예에 있어서, 상기 접근 포트(216)는 또한 상기 자유단(222) 근처 상기 몸체(218)로부터 방사상으로 외측으로 연장되는 부차적인 보스, 돌출부, 또는 핀(224)을 포함한다.
도 9c를 참조하면, 상기 비틀림 잠금 연결자(58)의 상기 접근 포트(216)에의 결합은 본 발명의 일 실시예에 도시되어 있다. (상기 베이스 판(52)은 상기 비틀림 잠금 연결자(58)와 상기 접근 포트(216) 사이의 상호작용의 명확성을 위해 도 9a 내지 도 9c로부터 제거되어 있다. 작동시, 상기 베이스 판(52)은 포함될 것이다. ) 상기 접근 포트(216)의 상기 돌출부(224)는 베이오넷-스타일 연결을 제공하기 위해 상기 비틀림 잠금 연결자(58)의 상기 접선 슬롯(186)과 협력한다. 일 실시예에 있어서, 상기 비틀림 잠금 연결자(58)의 상기 플랜지없는 단(164)은 상기 보강재들(223)의 단들에 대하여 등록된다.
도 9d를 참조하면, 세정 밸브(230)가 본 발명의 실시예들에 사용되기 위해 도시되어 있다. 상기 세정 밸브(230)는 통로(234)를 관통하는 흐름의 제어를 위해 체크 밸브(236)를 하우징하는 통로(234)를 가지는 쇠고리(232)를 포함할 수 있다. 상기 쇠고리(232)는 또한 상기 고정 부재(213)의 상기 접근 포트(216) 안에 상기 쇠고리(232)의 밀폐 및 마찰 끼워맞춤을 제공하기 위해 외부 립들(238)을 포함할 수 있다. 예를 들어 Tieben 등의 US 특허출원번호 제 7,328,727호에서 알 수 있는 바와 같이, 어떠한 수의 세정 밸브들 또는 쇠고리들이라도 상기 접근 포트(216) 안에 사용될 수 있고, 상기 특허의 개시내용은 그 안에 포함된 정의들이 명백할 때를 제외하고 전체로서 여기에 참조에 의해 반영된다.
도 10a 및 도 10b를 참조하면, 작동 중 상기 비틀림 잠금 연결자(58)가 도시되어 있다. 상기 비틀림 잠금 연결자(58)는 상기 보스(192)가 상기 잠금 포트(200)의 내부 플랜지들(202, 204) 사이 상기 제1간격(212)에 정렬되도록 방향지어지고 상기 외측 및 내측 탭들(188, 190)은 상기 제2간격(214)에 정렬된다 (도 10a 참조). 상기 비틀림 잠금 연결자(58)는 그후 상기 잠금 포트(200)에 배치되어, 상기 보스(192) 및 상기 외측/내측 탭들(188, 190)은 상기 제1 및 제2간격들(212, 214)을 관통하고, 상기 접근 포트(216)의 상기 핀(224)은 상기 비틀림 잠금 연결자의 접선 슬롯(186)에 들어간다. 상기 비틀림 잠금 연결자의 상기 플랜지(166)의 상기 내측으로 대향하는 표면(172)은 그후 상기 내부 플랜지들(202, 204) 및 상기 잠금 포트(200)의 돌출부(210)에 접촉한다.
이 점에서, 상기 비틀림 잠금 연결자의 상기 플랜지(166)의 상기 내측으로 대향하는 표면(172)은 또한 상기 잠금 팔(208)의 원심단 상의 멈춤쇠(209)에 접촉하여, 상기 잠금 팔(208)이 상기 내측으로 대향하는 표면(172)으로부터 멀리 휘게 한다. 상기 비틀림 잠금 연결자(58)는 그후 회전되어(도 10b) 상기 핀(224)이 상기 외측 및 내측 탭들(188, 190) 사이 접선 슬롯(186) 안에 위치된다. 상기 회전은 또한 상기 잠금 팔(208)의 원심단에 있는 멈춤쇠(209)를 가지고 상기 비틀림 잠금 연결자의 상기 플랜지(166)의 상기 내측으로 대향하는 표면(172) 상의 상기 오목부들(180) 중 하나에 정렬한다. 상기 잠금 팔(208)의 탄성은 상기 멈춤쇠(209)가 상기 오목부(180)에 스냅맞춤을 야기시킨다.
가능적으로, 상기 비틀림 잠금 연결자(58)는 상기 비틀림 잠금 연결자의 상기 플랜지(166)의 상기 내측으로 대향하는 표면(172)과 상기 보스(192)와 상기 비틀림 잠금 연결자(58)의 외측 탭(188) 사이 상기 베이스 판(52)의 상기 내부 플랜지들(202, 204)을 캡쳐한다. 상기 접선 슬롯(186) 및 상기 핀(224)은 상기 보강재들(223)의 단들에 대하여 상기 비틀림 잠금 연결자(58)를 고정하기 위해 상호작용하고, 이것은 상기 접근 포트(216)에 대하여 상기 비틀림 잠금 연결자의 축상 위치를 결정한다.
상기 아치형 팔(184)과 접촉하는 상기 보강재(223) 사이의 상호작용은 상기 연결자에 안정성을 제공하고, 상기 비틀림 잠금 연결자가 상기 접근 포트(216) 상에서 기울어지는 것을 방지한다. 상기 보강재(223) 및 핀(224)은 또한 상기 아치형 팔(184)이 상기 베이스 판의 부하 하에서 휨 모멘트를 겪는 것을 방지하기 위해 상기 아치형 팔(184)을 제자리에 고정한다. 대신, 상기 아치형 팔(184)로 힘들의 전달은 주로 향상된 강도를 위한 전단응력으로 귀결된다. 또한, 관통하는 개별적인 간격들(212, 214) 및 상기 내측 탭(190) 및 상기 보스(192)의 접선 치수는 상기 베이스 판(52)이 그 곳에 잠길 때 상기 비틀림 잠금 연결자(58)의 적절한 방향을 보장하기 위해 다를 수 있다.
상기 잠금 팔(208)의 원심단에 있는 상기 멈춤쇠(209)는 정상 작동 하에서 상기 비틀림 잠금 연결자(58)의 회전 운동을 막는다. 상기 돌출부(210)는 상기 잠금 팔(208)의 원심단이 과하게 연장되는 것을 막고 상기 비틀림 잠금 연결자(58)의 보다 안정적인 등록을 제공한다. 상기 비틀림 잠금 연결자(58)를 제거하기 위해, 핀들이 상기 비틀림 잠금 연결자의 상기 플랜지(166)의 상기 외측으로 대향하는 표면(170)으로부터 접근가능한 상기 노치(176)의 일 부분에 삽입될 수 있다. 상기 삽입은 상기 잠금 팔(208)을 낮추어, 상기 멈춤쇠(209)가 상기 오목부(180)로부터 자유로와지고 상기 비틀림 잠금 연결자(58)가 위치를 이탈하여 회전될 수 있다.
상기에서 설명한 상기 웨이퍼 캐리어의 구성요소들은 구성요소들의 조립체 및 주입성형 고분자들에 의해 형성될 수 있다.

Claims (32)

  1. 도어 프레임 및 웨이퍼 캐리어를 밀폐 폐쇄하기 위해 상기 도어 프레임에 수령가능한 도어를 가지는 용기 부분을 포함하는 전방 개구 웨이퍼 캐리어에 있어서,
    상기 용기 부분은 수직으로 정렬되고 이격된 웨이퍼들의 스택을 수신하기 위해 배치되는 웨이퍼 선반들의 복수의 열들을 포함하고, 상기 도어는 내부 대향 표면, 외부 대향 표면, 둘레를 가지고, 안착 부분에 상기 도어를 고정하기 위한 도어 프레임에 맞물리는 래칭 부분들을 가지는 래칭 메카니즘을 포함하고, 상기 도어는 상기 도어의 내부 대향 표면에 부착되는 웨이퍼 리테이너를 더 포함하고, 상기 웨이퍼 리테이너는 프레임워크로부터 연장되는 캔틸레버된 웨이퍼 핑거들의 한 쌍의 열들을 포함하는 프레임워크를 포함하고, 각각의 핑거는 상부 엣지 부분, 하부 엣지 부분을 가지고 상기 프레임워크에 부착되는 고정단 부분, 중간 부분 및 원심단을 가지는 원심 부분을 포함하고, 각각의 웨이퍼 핑거는 상기 원심단으로부터 상기 중간 부분까지 연장되는 웨이퍼 수신 홈 부분을 더 가지고, 상기 웨이퍼 수신 홈 부분은 상기 원심단의 상부 엣지 부분 근처에 위치하고 상기 중간 부분에서 상기 캔틸레버된 핑거의 수직 중간 근처의 위치까지 연장되는 홈 정점을 가지는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어는 450 mm 웨이퍼들을 위한 크기이고, 상기 캔틸레버된 핑거들 각각은 각각의 핑거의 원심단에 위치하도록 구성되어 상기 도어가 상기 용기 부분 안에 안착된 웨이퍼들을 가지는 상기 도어 프레임에 삽입될 때 상기 웨이퍼들 각각은 먼저 상기 캔틸레버된 핑거들이 상기 고정단 부분보다는 상기 원심단 근처에 맞물리는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  3. 제 2 항에 있어서, 각각의 웨이퍼 수신 홈은 상기 원심단으로부터 상기 고정단 부분 근처의 홈 끝단까지 연장되는 길이를 가지고, 각각의 캔틸레버된 핑거는 상기 도어가 완전히 안착된 때 상기 웨이퍼 수신 홈 부분이 각각의 웨이퍼 수신 홈의 실질적인 길이에 맞물리도록 구성되는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  4. 제 1 항에 있어서, 캔틸레버된 핑거들의 각각의 열은 캔틸레버된 핑거들의 다른 열을 향하는 방향으로 캔틸레버되는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 웨이퍼 리테이너는 그 각각이 V-자형 웨이퍼 엣지 수신 표면을 가지는 고정 웨이퍼 지지들의 추가적인 열을 포함하는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 캔틸레버된 핑거는 상기 도어로부터 멀어지는 웨이퍼 결합 표면을 가지고 상기 표면은 각각의 웨이퍼의 상단 엣지 및 하단 엣지를 정의하고, 상기 웨이퍼 수신 홈은 상부 표면 및 하부 표면 사이에서 상기 웨이퍼 결합 표면을 나누고, 상기 상부 표면은 상기 하부 표면보다 적은 면적을 가지고 상기 하부 표면 수직 폭은 참조 위치가 상기 끝단 지점을 향해 이동할 때 점점 가늘어지는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  7. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 캔틸레버된 핑거는 수형 방향으로 상기 프레임 부재로부터 멀리 캔틸레버되고 그후 상기 원심단 근처에서 하측으로 구부러지도록 구성되는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  8. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 웨이퍼 리테이너의 프레임워크는 상부 수평 프레임 부재 및 하부 수평 프레임 부재에 의해 정의되는 둘레를 포함하고, 상기 상부 수평 프레임 부재는 상기 하부 수평 프레임 부재로부터 이격되고, 4개의 수직 지지 부재들 각각은 서로에 대하여 측면 방향으로 수평 이격된 2 개 각각으로부터 개별적으로 연장되고, 2개의 상기 수평 지지 부재들은 캔틸레버된 핑거들의 2개의 열들와 연관되는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  9. 도어 프레임 및 웨이퍼 캐리어를 밀폐 폐쇄하기 위해 상기 도어 프레임에 수령가능한 도어를 가지는 용기 부분을 포함하는 전방 개구 웨이퍼 캐리어에 있어서,
    상기 용기 부분은 수직으로 정렬되고 이격된 웨이퍼들의 스택을 수신하기 위해 배치되는 웨이퍼 선반들의 복수의 열들을 포함하고, 상기 도어는 내부 대향 표면, 외부 대향 표면, 둘레를 가지고, 안착 부분에 상기 도어를 고정하기 위한 도어 프레임에 맞물리는 래칭 부분들을 가지는 래칭 메카니즘을 포함하고, 상기 도어는 상기 도어의 내부 대향 표면에 부착되는 웨이퍼 리테이너를 더 포함하고, 상기 웨이퍼 리테이너는 프레임워크로부터 연장되는 캔틸레버된 웨이퍼 핑거들의 한 쌍의 열들을 포함하는 프레임워크를 포함하고, 각각의 핑거는 길이, 상부 엣지 부분, 및 하부 엣지 부분을 가지고 각각의 캔틸레버된 핑거는 상기 프레임워크에 부착되는 고정단 부분, 중간 부분 및 원심단을 가지는 원심 부분을 포함하고, 각각의 웨이퍼 핑거는 상기 원심단 근처로부터 상기 중간 부분까지 연장되는, 적어도 개별적인 캔틸레버된 핑거의 길이의 반보다 더 긴 거리의 웨이퍼 수신 홈 부분을 더 가지고, 각각의 캔틸레버된 핑거는 상기 원심단 부분에서 수평에서 하측으로 연장되는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어는 450 mm 웨이퍼들을 위한 크기이고, 상기 캔틸레버된 핑거들 각각은 각각의 핑거의 원심단에 위치하도록 구성되어 상기 도어가 상기 용기 부분 안에 안착된 웨이퍼들을 가지는 상기 도어 프레임에 삽입될 때 상기 웨이퍼들 각각은 먼저 상기 캔틸레버된 핑거들이 상기 고정단 부분보다는 상기 원심단 근처에 맞물리는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  11. 제 10 항에 있어서, 각각의 웨이퍼 수신 홈은 상기 원심단으로부터 상기 고정단 부분 근처의 홈 끝단까지 연장되는 길이를 가지고, 각각의 캔틸레버된 핑거는 상기 도어가 완전히 안착된 때 상기 웨이퍼 수신 홈 부분이 각각의 웨이퍼 수신 홈의 실질적인 길이에 맞물리도록 구성되는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  12. 제 9 항에 있어서, 캔틸레버된 핑거들 각각의 열은 캔틸레버된 핑거들의 다른 열을 향하는 방향으로 캔틸레버되고 상기 웨이퍼 리테이너는 캔틸레버된 핑거들의 2개의 열들 중간에 위치하는 고정 웨이퍼 지지들의 2개의 열들을 포함하는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  13. 제 9 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 웨이퍼 수신 홈 부분은 상기 원심단에서 상기 상부 엣지 부분 근처에 위치하고 상기 중간 부분에서 상기 캔틸레버된 핑거의 수직 중간 근처의 위치까지 연장되는 홈 정점을 가지는, 전방 개구 웨이퍼 캐리어.
  14. 도어 프레임 및 웨이퍼 캐리어를 밀폐 폐쇄하기 위해 상기 도어 프레임에 수령가능한 도어를 가지는 용기 부분을 포함하는 450 mm 웨이퍼들을 위한 전방 개구 웨이퍼 용기에 있어서,
    상기 용기 부분은 수직으로 정렬되고 이격된 웨이퍼들의 스택을 수신하기 위해 배치되는 웨이퍼 선반들의 복수의 열들을 포함하고, 상기 도어는 내부 대향 표면, 외부 대향 표면, 둘레를 가지고, 안착 부분에 상기 도어를 고정하기 위한 도어 프레임에 맞물리는 둘레에서 래칭 부분들을 가지는 래칭 메카니즘을 포함하고, 상기 도어는 상기 도어의 내부 대향 표면에 부착되는 웨이퍼 리테이너를 더 포함하고, 상기 웨이퍼 리테이너는 캔틸레버된 핑거들의 한 쌍의 열들이 이로부터 외부에 장착되고, 상기 이격된 스택의 각각의 웨이퍼를 위한 웨이퍼 결합 오목부들을 가지는 수직으로 정렬된 고정된 캔틸레버되지 않은 웨이퍼 지지들의 적어도 하나의 열을 포함하고, 각각의 열은 연관된 수직 지지 부재를 가지고, 각각의 핑거는 개별적인 수직 지지 부재에 부착되는 고정단 부분, 상기 고정단 부분에 의해 지지되는 중간 부분 및 상기 중간 부분에 의해 지지되는 원심 부분을 가지고, 상기 중간 부분은 수평으로 연장되고, 상기 원심 부분은 수평으로부터 하측으로 예각으로 연장되고, 각각의 캔틸레버된 핑거는 상기 캔틸레버된 핑거의 원심 부분의 상단 여백에 평행하지 않고, 각각의 캔틸레버된 핑거의 원심 부분을 가로지르는 웨이퍼 결합 홈을 가지는, 전방 개구 웨이퍼 용기.
  15. 제 14 항에 있어서, 캔틸레버된 핑거들의 각각의 열들의 상기 캔틸레버된 핑거들 각각은 캔틸레버된 핑거들의 다른 열을 향해 캔틸레버되도록 방향지어지는, 전방 개구 웨이퍼 용기.
  16. 제 14 항에 있어서, 각각의 핑거의 각각의 원심 부분 상의 홈은 상기 캔틸레버된 핑거의 원심 부분의 상단 여백에 평행하지 않은, 전방 개구 웨이퍼 용기.
  17. 내부 및 외부를 가지는 쉘;
    기판을 수용하기 위해 상기 내부에 배치되는 지지들;
    상기 쉘에 의해 밀폐가능하게 수용되는 도어;
    복수의 위치들에서 상기 쉘에 연결되고, 복수의 방사상으로 정렬된 운동역학적 홈들을 가지는 바닥판; 및
    복수의 연결자들을 포함하고,
    상기 쉘은 상기 쉘의 하단 부분으로부터 외측으로 연장되는 복수의 고정 부재들을 포함하고, 각각의 고정 부재는 상기 쉘의 내부와 유체 소통하는 접근 포트를 정의하고,
    상기 복수의 연결자들 각각은 상기 복수의 고정 부재들 각각에 대응하고, 상기 복수의 연결자들은 상기 복수의 고정 부재들에 선택적으로 결합되도록 구성되고 상기 복수의 고정 부재들을 실질적으로 둘러싸는 관통 포트를 정의하고, 이때 상기 복수의 고정 부재들은 상기 바닥판을 관통해 연장되고, 상기 복수의 연결자들은 상기 복수의 연결자들과 상기 쉘 사이에서 상기 바닥 플랜지를 캡쳐하도록 구성되는, 웨이퍼 용기.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 복수의 연결자들은 비틀림 잠금 연결자들인, 웨이퍼 용기.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 복수의 고정 부재들 각각은 그로부터 방사상으로 외측으로 연장되는 핀을 가지는 원통형 몸체를 포함하고, 상기 복수의 연결자는 제1단 상에 플랜지 및 제2단 상에 아치형 팔을 포함하고, 상기 아치형 팔은 상기 핀과 맞물리기 위한 접선 슬롯을 정의하고, 상기 아치형 팔은 플랜지에 평행하게 방사상으로 외측으로 연장되는 탭을 포함하고, 상기 바닥판은 상기 탭과 상기 플랜지 사이에서 캡쳐되는, 웨이퍼 용기.
  20. 제 17 항에 있어서, 상기 복수의 고정 부재들 각각은 고정 부재의 베이스 부분을 따라 상기 쉘의 바닥 부분으로부터 연장되는 보강 부재를 포함하고, 상기 아치형 팔은 상기 보강 부재에 접촉되는, 웨이퍼 용기.
  21. 제 17 항에 있어서, 쇠고리가 상기 복수의 고정 부재들 안에 배치되는, 웨이퍼 용기.
  22. 내부 및 외부를 가지는 쉘. ;
    기판을 수용하기 위해 상기 내부에 배치되는 지지들;
    상기 쉘에 의해 밀폐가능하게 수용되는 도어;
    복수의 위치들에서 상기 쉘에 연결되고, 복수의 방사상으로 정렬된 운동역학적 홈들을 가지고, 복수의 고정 부재들 각각에 대응하는 개구부들을 가지는 바닥판; 및
    복수의 연결자들을 포함하고,
    상기 쉘은 상기 쉘의 하단 부분으로부터 외측으로 연장되는 복수의 고정 부재들을 포함하고, 각각의 고정 부재는 튜브형 몸체를 가지는 보스로서 구성되고,
    상기 복수의 연결자들 각각은 상기 복수의 고정 부재들 각각에 대응하고, 상기 복수의 연결자들은 상기 복수의 고정 부재들에 결합되도록 구성되고, 이때 상기 복수의 고정 부재들은 상기 바닥판을 관통해 연장되고, 상기 복수의 연결자들은 상기 복수의 연결자들과 상기 쉘 사이에서 상기 바닥 플랜지를 캡쳐하도록 구성되는, 웨이퍼 용기.
  23. 제 17 항 내지 제 22 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 연결자들 및 상기 복수의 고정 부재들 각각에 의해 형성되는 연결은 베이오넷 연결로서 구성되는, 웨이퍼 용기.
  24. 전방 개구 및 상기 전방 개구에 삽입되기 위한 도어를 가지는 용기 부분을 가지는 전방 개구 웨이퍼 용기에 있어서,
    상기 용기 부분은 상단 벽, 하단 벽, 2개의 측벽들, 후방 벽, 및 내부를 가지는 쉘을 포함하고, 상기 용기 부분은 상기 쉘 내부에 배치되는 한 쌍의 웨이퍼 지지 구성요소들 및 복수의 연결 지점들에서 상기 쉘에 연결되는 3개의 운동역학적 결합 홈들을 가지는 베이스 판을 더 포함하고, 각각의 웨이퍼 지지 구성요소는 이격된 웨이퍼들의 스택을 지지하기 위한 복수의 선반들을 포함하고, 각각의 웨이퍼 지지 구성요소는 브라켓의 후방측 단을 상기 측벽에 고정하기 위해 상기 측벽에 일체사용되는 브라켓과 맞물리는 상기 구성요소의 후방측 단에 브라켓을 가지고, 상기 구성요소는 상기 쉘에 일체형으로 형성된 협력 전방 브라켓 상의 복수의 개구부들에 정렬되는 복수의 개구부들을 가지는 전방 브라켓을 더 포함하고, 상기 용기는 잠금 클립을 더 포함하고, 상기 잠금 클립은 상기 잠금 클립이 고정 위치에 놓일 때 상기 쉘의 전방 브라켓 안의 상기 개구부들 중 하나 및 상기 구성요소의 전방 브라켓 안의 상기 개구부들 중 하나를 관통해 연장되는 복수의 탭들을 포함하는, 전방 개구 웨이퍼 용기.
  25. 제 24 항에 있어서, 상기 잠금 클립은 상기 구성요소에 일체사용되는 전방 브라켓 및 상기 쉘에 일체사용되는 전방 브라켓 중 하나와 맞물리기 위해 멈춤쇠를 더 포함하는, 전방 개구 웨이퍼 용기.
  26. 전방 개구 및 상기 전방 개구에 삽입되기 위한 도어를 가지는 용기 부분을 가지는 전방 개구 웨이퍼 용기에 있어서,
    상기 용기 부분은 상단 벽, 하단 벽, 2개의 측벽들, 후방 벽, 및 내부를 가지는 쉘을 포함하고, 상기 용기 부분은 상기 쉘 내부에 배치되는 한 쌍의 웨이퍼 지지 구성요소들 및 복수의 연결 지점들에서 상기 쉘에 연결되는 3개의 운동역학적 결합 홈들을 가지는 베이스 판을 더 포함하고, 각각의 웨이퍼 지지 구성요소는 이격된 웨이퍼들의 스택을 지지하기 위한 복수의 선반들을 포함하고, 각각의 웨이퍼 지지 구성요소는 브라켓의 후방측 단을 상기 측벽에 고정하기 위해 상기 측벽에 일체사용되는 협력 후방 브라켓과 맞물리는 상기 구성요소의 후방측 단에 브라켓을 가지고, 상기 웨이퍼 지지 구성요소는 상기 복수의 선반들과 일체형으로 형성된 전방 브라켓을 더 포함하고, 상기 웨이퍼 지지 구성요소 후방 브라켓이 상기 쉘 후방 브라켓과 맞물릴 때, 상기 전방 브라켓은 상기 쉘에 일체형으로 형성된 협력 전방 브라켓에 정렬하여 위치될 수 있고, 상기 용기는 상기 웨이퍼 지지 구성요소의 전방 브라켓 부분과 동시에 상기 쉘의 전방 브라켓과 맞물릴 수 있는 잠금 클립을 더 포함하고, 이로써 상기 웨이퍼 지지 구성요소는 상기 쉘에 고정되는, 전방 개구 웨이퍼 용기.
  27. 제 26 항에 있어서, 상기 잠금 클립은 상기 웨이퍼 지지 구성요소가 상기 쉘에 고정될 때 잠금 위치에 상기 잠금 클립을 고정하기 위해 편향되는 일체형 탄성 부분을 포함하는, 전방 개구 웨이퍼 용기.
  28. 제 24 항 내지 제 26 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 잠금 클립은 상기 쉘의 장착 브라켓 및 상기 웨이퍼 지지 구성요소의 장착 브라켓을 결합하기 위해, 상기 용기 부분으로 웨이퍼들의 삽입 제거 방향에 평행한 z 방향으로 삽입되는, 전방 개구 웨이퍼 용기.
  29. 전방 개구 및 상기 전방 개구에 삽입되기 위한 도어를 가지는 용기 부분을 가지는 전방 개구 웨이퍼 용기에 있어서,
    상기 용기 부분은 상단 벽, 하단 벽, 2개의 측벽들, 후방 벽, 및 내부를 가지는 쉘을 포함하고, 상기 용기 부분은 베이스 판 안의 3개의 구멍들에서 상기 베이스 판에 연결되는 3개의 운동역학적 결합 홈 구성요소들을 가지는 베이스 판을 더 포함하고, 각각의 운동역학적 결합 홈 구성요소는 긴 직선들 및 반구 단들을 가지는 변형된 타원 형태를 가지는 테두리 부분(64)을 가지고, 각각의 운동역학적 결합 홈 구성요소는 그 각각이 긴 직선들을 가지는 테두리 부분에 일체형으로 위치되고 이로부터 연장되는 바브를 가지는 한 쌍의 돌출부들을 가지고, 상기 돌출부들은 상기 베이스 판의 내측으로 대향하는 캐치 표면들에 맞물리고, 상기 2개의 반구 단들에 있는 테두리 부분은 상기 베이스 판의 외측으로 대향하는 캐치 표면들에 맞물리는, 전방 개구 웨이퍼 용기.
  30. 제 29 항에 있어서, 상기 베이스 판 안의 3개의 구멍들 각각은 상기 운동역학적 결합 홈 구성요소의 테두리 부분에 꼭 맞는 형태를 가지는, 전방 개구 웨이퍼 용기.
  31. 전방 개구 및 상기 전방 개구에 삽입되기 위한 도어를 가지는 용기 부분을 가지는 전방 개구 웨이퍼 용기에 있어서,
    상기 용기 부분은 상단 벽, 하단 벽, 2개의 측벽들, 후방 벽, 및 내부를 가지는 쉘을 포함하고, 상기 용기 부분은 베이스 판 안의 3개의 구멍들에서 상기 베이스 판에 연결되는 3개의 운동역학적 결합 홈 구성요소들을 가지는 베이스 판을 더 포함하고, 각각의 운동역학적 결합 홈 구성요소는 2개의 긴 측면들 및 2개의 짧은 측면들을 가지는 테두리 부분(64)을 가지고, 각각의 운동역학적 결합 홈 구성요소는 긴 직선들 및 그 각각이 상기 테두리 부분의 평면으로부터 대략적으로 수직으로 각도를 가지고 상기 테두리 부분으로부터 연장되고 또한 일체형으로 위치되는 바브를 가지는 한 쌍의 돌출부들을 가지고, 상기 돌출부들은 상기 베이스 판의 내측으로 대향하는 캐치 표면들에 맞물리고, 2개의 반구 단들에 있는 테두리 부분은 상기 베이스 판의 외측으로 대향하는 캐치 표면들에 맞물리는, 전방 개구 웨이퍼 용기.
  32. 제 24 항 내지 제 31 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 용기 부분은 450 mm 웨이퍼들을 수신하도록 구성되는, 전방 개구 웨이퍼 용기.
KR1020147006119A 2011-08-12 2012-08-13 웨이퍼 캐리어 KR102011159B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201161523254P 2011-08-12 2011-08-12
US61/523,254 2011-08-12
PCT/US2012/050624 WO2013025629A2 (en) 2011-08-12 2012-08-13 Wafer carrier

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140054205A true KR20140054205A (ko) 2014-05-08
KR102011159B1 KR102011159B1 (ko) 2019-08-14

Family

ID=47715660

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020147006119A KR102011159B1 (ko) 2011-08-12 2012-08-13 웨이퍼 캐리어

Country Status (7)

Country Link
US (2) US9312157B2 (ko)
EP (1) EP2742526A4 (ko)
JP (1) JP6096776B2 (ko)
KR (1) KR102011159B1 (ko)
CN (2) CN106941087B (ko)
TW (1) TWI587444B (ko)
WO (1) WO2013025629A2 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170003602U (ko) * 2016-04-08 2017-10-18 엔테그리스, 아이엔씨. 퍼지 성능을 갖는 웨이퍼 운반기 미세 환경
KR20190137779A (ko) * 2017-04-06 2019-12-11 미라이얼 가부시키가이샤 기판 수납 용기
KR20230143494A (ko) 2022-04-05 2023-10-12 주식회사 삼에스코리아 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9837295B2 (en) 2010-04-15 2017-12-05 Suss Microtec Lithography Gmbh Apparatus and method for semiconductor wafer leveling, force balancing and contact sensing
US9859141B2 (en) 2010-04-15 2018-01-02 Suss Microtec Lithography Gmbh Apparatus and method for aligning and centering wafers
WO2012054627A2 (en) * 2010-10-19 2012-04-26 Entegris, Inc. Front opening wafer container with wafer cushion
US10134618B2 (en) * 2013-06-03 2018-11-20 Miraial Co., Ltd. Substrates storing container
CN105556653B (zh) * 2013-06-18 2019-09-24 恩特格里斯公司 具有重量压载装置的前开式晶片容器
WO2014203359A1 (ja) * 2013-06-19 2014-12-24 ミライアル株式会社 基板収納容器
KR102154303B1 (ko) 2013-08-22 2020-09-09 미라이얼 가부시키가이샤 기판수납용기
WO2016189579A1 (ja) * 2015-05-22 2016-12-01 ミライアル株式会社 基板収納容器
CN107851595A (zh) * 2015-06-15 2018-03-27 恩特格里斯公司 具有具单一主体构造的门的晶片载体
WO2017006406A1 (ja) 2015-07-03 2017-01-12 ミライアル株式会社 基板収納容器
CN108028216B (zh) * 2015-08-25 2022-08-02 恩特格里斯公司 互锁模块化衬底支撑柱
WO2017040707A1 (en) * 2015-08-31 2017-03-09 Entegris, Inc. Front opening substrate container with compression latches
US9881820B2 (en) * 2015-10-22 2018-01-30 Lam Research Corporation Front opening ring pod
US10388554B2 (en) 2016-04-06 2019-08-20 Entegris, Inc. Wafer shipper with purge capability
JP2017188609A (ja) * 2016-04-08 2017-10-12 インテグリス・インコーポレーテッド パージ性能を備えたウエハシッパー微環境
CN106428923A (zh) * 2016-10-08 2017-02-22 无锡宏纳科技有限公司 晶圆储存箱
US10764270B2 (en) 2017-11-20 2020-09-01 Allstate Insurance Company Cryptographically transmitting and storing identity tokens and/or activity data among spatially distributed computing devices
TWI698608B (zh) * 2018-01-11 2020-07-11 家登精密工業股份有限公司 快拆式氣閥及應用其之基板容器
US10978326B2 (en) 2018-10-29 2021-04-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co, , Ltd. Semiconductor wafer storage device
WO2020219361A1 (en) * 2019-04-26 2020-10-29 Entegris, Inc. Purge connectors and modules for a substrate container
US10964584B2 (en) 2019-05-20 2021-03-30 Applied Materials, Inc. Process kit ring adaptor
US11104496B2 (en) * 2019-08-16 2021-08-31 Gudeng Precision Industrial Co., Ltd. Non-sealed reticle storage device
USD980176S1 (en) * 2020-06-02 2023-03-07 Applied Materials, Inc. Substrate processing system carrier
USD954769S1 (en) * 2020-06-02 2022-06-14 Applied Materials, Inc. Enclosure system shelf
TWI746014B (zh) * 2020-06-16 2021-11-11 大立鈺科技有限公司 晶圓存取總成及其晶圓存取裝置與晶圓載具
TWI746045B (zh) * 2020-07-07 2021-11-11 家登精密工業股份有限公司 基板載具鎖扣結構
WO2022192335A1 (en) * 2021-03-10 2022-09-15 Entegris, Inc. Semiconductor substrate carrying container with front and rear openings
TWI782689B (zh) * 2021-09-02 2022-11-01 家登精密工業股份有限公司 快拆式氣閥、具有快拆式氣閥的基板容器及快拆式氣閥的安裝和拆卸方法
CN113562309B (zh) * 2021-09-27 2021-12-14 徐州和润电子材料有限公司 一种通讯电子产品制造用硅晶片无损存储装置
CN116805608A (zh) * 2023-08-29 2023-09-26 芯岛新材料(浙江)有限公司 一种晶圆盒

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6010008A (en) 1997-07-11 2000-01-04 Fluoroware, Inc. Transport module
US6267245B1 (en) 1998-07-10 2001-07-31 Fluoroware, Inc. Cushioned wafer container
KR20060088900A (ko) * 2003-11-07 2006-08-07 인티그리스, 인코포레이티드 바닥판을 갖는 전방 개구형 기판 용기
US7370764B2 (en) 1997-07-11 2008-05-13 Entegris, Inc. Transport module
KR20100084514A (ko) * 2007-11-09 2010-07-26 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 리테이너 및 기판 수납 용기
KR20100105875A (ko) * 2008-01-13 2010-09-30 엔테그리스, 아이엔씨. 큰 지름의 웨이퍼를 취급하는 장치 및 방법
KR20110005778A (ko) * 2008-04-25 2011-01-19 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 리테이너, 및 리테이너를 구비한 기판 수납 용기

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6082540A (en) * 1999-01-06 2000-07-04 Fluoroware, Inc. Cushion system for wafer carriers
JP4133407B2 (ja) * 2003-02-13 2008-08-13 ミライアル株式会社 薄板収納容器
TWI283038B (en) * 2002-12-02 2007-06-21 Miraial Co Ltd Thin plate storage container
TWI239931B (en) 2003-05-19 2005-09-21 Miraial Co Ltd Lid unit for thin plate supporting container and thin plate supporting container
JP4716671B2 (ja) * 2003-05-19 2011-07-06 ミライアル株式会社 薄板支持容器用蓋体
CN101443244A (zh) * 2003-11-07 2009-05-27 安堤格里斯公司 带底板的前开式基板容器
JP2005294386A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Miraial Kk 薄板支持容器用蓋体
US7328727B2 (en) 2004-04-18 2008-02-12 Entegris, Inc. Substrate container with fluid-sealing flow passageway
JP4213078B2 (ja) * 2004-05-07 2009-01-21 信越ポリマー株式会社 リテーナ及び基板収納容器
CN1760092B (zh) * 2004-10-14 2010-12-22 未来儿株式会社 薄板支持容器用盖体
US7523830B2 (en) * 2004-11-23 2009-04-28 Entegris, Inc. Wafer container with secondary wafer restraint system
JP4412235B2 (ja) * 2005-05-25 2010-02-10 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US7422107B2 (en) * 2006-01-25 2008-09-09 Entegris, Inc. Kinematic coupling with textured contact surfaces
EP2022730B1 (en) * 2006-05-29 2013-08-14 Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. Substrate container
US20070295638A1 (en) 2006-06-21 2007-12-27 Vantec Co., Ltd. Wafer transportable container
JP4889460B2 (ja) * 2006-12-05 2012-03-07 信越ポリマー株式会社 半導体搬送容器用部品用導電性樹脂組成物及びこれを用いた半導体搬送容器用部品並びに半導体搬送容器
TWI343353B (en) * 2008-11-04 2011-06-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container having the snap-fitting constraint module
WO2010131291A1 (ja) 2009-05-13 2010-11-18 ミライアル株式会社 半導体ウエハ収納容器
JP2011060994A (ja) 2009-09-10 2011-03-24 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器及び基板の取り扱い方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6010008A (en) 1997-07-11 2000-01-04 Fluoroware, Inc. Transport module
US7370764B2 (en) 1997-07-11 2008-05-13 Entegris, Inc. Transport module
US6267245B1 (en) 1998-07-10 2001-07-31 Fluoroware, Inc. Cushioned wafer container
KR20060088900A (ko) * 2003-11-07 2006-08-07 인티그리스, 인코포레이티드 바닥판을 갖는 전방 개구형 기판 용기
KR20100084514A (ko) * 2007-11-09 2010-07-26 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 리테이너 및 기판 수납 용기
KR20100105875A (ko) * 2008-01-13 2010-09-30 엔테그리스, 아이엔씨. 큰 지름의 웨이퍼를 취급하는 장치 및 방법
KR20110005778A (ko) * 2008-04-25 2011-01-19 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 리테이너, 및 리테이너를 구비한 기판 수납 용기

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170003602U (ko) * 2016-04-08 2017-10-18 엔테그리스, 아이엔씨. 퍼지 성능을 갖는 웨이퍼 운반기 미세 환경
KR20190137779A (ko) * 2017-04-06 2019-12-11 미라이얼 가부시키가이샤 기판 수납 용기
US11348815B2 (en) 2017-04-06 2022-05-31 Miraial Co., Ltd. Board storing container
KR20230143494A (ko) 2022-04-05 2023-10-12 주식회사 삼에스코리아 웨이퍼 수납용기 및 그에 사용되는 캡 조립체

Also Published As

Publication number Publication date
TWI587444B (zh) 2017-06-11
EP2742526A4 (en) 2015-01-14
EP2742526A2 (en) 2014-06-18
CN103828033B (zh) 2016-11-16
US20150041353A1 (en) 2015-02-12
WO2013025629A3 (en) 2013-04-18
CN106941087A (zh) 2017-07-11
JP6096776B2 (ja) 2017-03-15
US10147624B2 (en) 2018-12-04
JP2014527721A (ja) 2014-10-16
US20160254172A1 (en) 2016-09-01
CN103828033A (zh) 2014-05-28
WO2013025629A2 (en) 2013-02-21
CN106941087B (zh) 2020-03-10
KR102011159B1 (ko) 2019-08-14
US9312157B2 (en) 2016-04-12
TW201324678A (zh) 2013-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20140054205A (ko) 웨이퍼 캐리어
US6261044B1 (en) Pod to port door retention and evacuation system
JP4057536B2 (ja) ウェーハ容器のクッション装置
US20030132133A1 (en) Wafer carrier with wafer retaining system
JP7334264B2 (ja) 基板容器
US9929032B2 (en) Front opening wafer container with robotic flange
US20130299384A1 (en) Front opening wafer container with wafer cushion
JP2002504750A (ja) 処理システムのウェーハハンドラーのためのエンドエフェクタ
TW200417501A (en) Precision substrate storage container
US20090194456A1 (en) Wafer cassette
US20100025288A1 (en) Wafer container with constraints
TWI634062B (zh) Substrate storage container
US11282738B2 (en) Lift pin module
US20100108565A1 (en) Wafer container having the snap-fitting restraint module
WO2016154536A1 (en) Wafer container with cross-slotting protection
US7971722B2 (en) Wafer container with restrainer
JP6111362B2 (ja) テストハンドラ用のインサート
TW202240745A (zh) 基板收納容器
JP2014500616A (ja) 扉のたわみを最小化した前面開放式ウエハ容器

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant