JP6544128B2 - 収納容器の蓋体及び収納容器 - Google Patents
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Description
また、本発明の収納容器は、前記蓋体の前記本体部と、前記収納容器の前記前面開口部との間に配置され、前記収納容器の前記前面開口部と前記本体部との間をシールする第4シール部材を備えていてもよい。
FOUP(収納容器)1は、図1に示すように、容器本体2と蓋体3とを備えている。容器本体2の前面部には、枠2Aと、枠2Aに囲まれた前面開口部2aとが形成されている。前面開口部2aには、蓋体3が配置されている。枠2Aと蓋体3との間には、図2に示すように、シール部材(第4シール部材)10が配置されている。シール部材10により、枠2Aと蓋体3とが密封される。シール部材10には、例えばOリングを用いることができる。
FOUP1の蓋体3において、図2(a)及び図2(b)に示すように、上ロックプレート41の上端部41aと第1蓋部20の内周面(第1右貫通孔20pの周面)との間にシール部材(第1シール部材)80が配置され、下ロックプレート42の下端部42aと第1蓋部20の内周面(第2右貫通孔20rの周面)との間にシール部材(第1シール部材)90が配置されている。また、ディスク板40と第2蓋部30の内周面(本体右開口31の周面)との間に、シール部材50が配置されている。
さらに、FOUP1の蓋体3の左側においても、上ロックプレート41の上端部41aと第1蓋部20の内周面(第1左貫通孔20qの周面)との間にシール部材(第1シール部材)が配置され、下ロックプレート42の下端部42aと第1蓋部20の内周面(第2左貫通孔20sの周面)との間にシール部材(第1シール部材)が配置されている。また、ディスク板40と第2蓋部30の内周面(本体右開口31の周面)との間に、シール部材60が配置されている(図3(b)参照)。
これにより蓋体3の第1蓋部20と錠装置4とが密封されるとともに、蓋体3の第2蓋部30と錠装置4とが密封されるため、蓋体3の内部空間Scから酸素や水分等が漏出することを抑止できる。したがって、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。
例えば最先端プロセスへの実用化が望まれている不活性ガスEFEM(不活性ガスを循環させるEFEM)では、PPMオーダーで存在する酸素や数%以下の湿度でも、ウェーハ表面が酸化・腐食するなどして性状が変化するおそれがあるが、本実施形態の蓋体3を有するFOUP1を用いると、常時、蓋体3の内部空間Scから酸素や水分等が漏出すること抑止できる。したがって、従来問題となっていた蓋体3を開放した際にも、酸素や水分等が漏出すること抑止できる。よって、高品質のウェーハを製造することができる。
また、蓋体3を組み立てる際、第1蓋部20の貫通孔(20p,20q,20r,20s)に上ロックプレート41の上端部41a及び下ロックプレート42の下端部42aを配置し、第2蓋部30の本体右開口31及び本体左開口32にディスク板40を配置した状態で、第1蓋部20と第2蓋部30を、シール部材11を介して対向させるとよいため、蓋体3を簡易に組み立てることができる。
次に、本発明の第2実施形態について、図10を参照しつつ説明する。第2実施形態において第1実施形態と異なる点は、容器本体202と蓋体203とを密封するシール部材(第4シール部材)210の位置である。なお、上述した第1実施形態と同一の構成については同一の符号を用い、その説明を適宜省略する。
次に、本発明の第2実施形態の変形例について、図11を参照しつつ説明する。変形例において第2実施形態と異なる点は、i)錠装置4の構成と、ii)錠装置4を解錠及び施錠する鍵部材400の構成である。なお、上述した第2実施形態と同一の構成については同一の符号を用い、その説明を適宜省略する。
さらに、変形例1では、錠装置4を解錠及び施錠する際、鍵部材(非接触駆動部材)400がディスク板40に接触しない非接触構造について説明したが、変形例1の蓋体は、第1実施形態及び第2実施形態のように、錠装置4を解錠及び施錠する際、鍵部材(右鍵部材101、左鍵部材102)がディスク板40に接触する接触構造を備えていてもよい。
このように、鍵部材によって錠装置4を解錠及び施錠する際に鍵部材が錠装置4に接触する接触構造と錠装置4に接触しない非接触構造との両方の構造を蓋体が備えていると、非接触駆動部材を有するロードポートと非接触駆動部材を有さないロードポートのいずれにも対応できるため、使用できる環境の自由度が増す。
2,202 容器本体
3,203 蓋体
2a 前面開口部
2p 第1右溝(溝)
2q 第1左溝(溝)
2r 第2右溝(溝)
2s 第2左溝(溝)
2A,202A 枠
11 シール部材(第3シール部材)
20 第1蓋部
20p 第1右貫通孔(貫通孔)
20q 第1左貫通孔(貫通孔)
20r 第2右貫通孔(貫通孔)
20s 第2左貫通孔(貫通孔)
30,230 第2蓋部
31 本体右開口(本体開口)
32 本体左開口(本体開口)
40 ディスク板(駆動部材)
41 上ロックプレート(移動体)
42 下ロックプレート(移動体)
50,60 シール部材(第2シール部材)
80,90 シール部材(第1シール部材)
100 ドア部
300 磁石
400 鍵部材(非接触駆動部材)
Sf FOUPの内部空間
Sc 蓋体の内部空間
Claims (6)
- 収納容器の容器本体の枠に囲まれた前面開口部に配置される蓋体であり、
内部空間を有し、前記枠に形成された溝に対向する位置に貫通孔が形成された本体部と、
前記本体部の内部空間に配置され、前記貫通孔を通過して前記内部空間から外部へ突出可能な先端部を有する移動体と、
前記本体部に形成された本体開口に配置され、前記移動体を移動させる駆動部材と、
前記貫通孔の周面に配置され、前記移動体と前記貫通孔の周面の間から前記内部空間の雰囲気の流出を防ぐ第1シール部材と、
前記駆動部材と前記本体開口の周面との間に配置された第2シール部材とを備えていることを特徴とする収納容器の蓋体。 - 収納容器の容器本体の枠に囲まれた前面開口部に配置される蓋体であり、
内部空間を有し、前記枠に形成された溝に対向する位置に貫通孔が形成された本体部と、
前記本体部の内部空間に配置され、前記貫通孔を通過して前記溝内に移動可能な先端部を有する移動体と、
前記本体部に形成された本体開口に配置され、前記移動体を移動させる駆動部材と、
前記移動体と前記貫通孔の周面との間に配置された第1シール部材と、
前記駆動部材と前記本体開口の周面との間に配置された第2シール部材とを備えて
おり、
前記駆動部材は磁性体を有しており、非接触駆動部材を前記駆動部材に近付けることにより、前記駆動部材が回転することを特徴とする収納容器の蓋体。 - 前記本体部は、前記貫通孔が形成された第1蓋部と、前記本体開口が形成された第2蓋部とを有し、
前記第1蓋部と前記第2蓋部との間に第3シール部材が配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の収納容器の蓋体。 - 前記移動体、前記本体部に形成された前記貫通孔及び前記第1シール部材が、前記駆動部材の両側に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の収納容器の蓋体。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の蓋体と、前記蓋体が配置される前面開口部が形成された容器本体とを備えていることを特徴とする収納容器。
- 前記蓋体の前記本体部と、前記収納容器の前記前面開口部との間に配置され、前記収納容器の前記前面開口部と前記本体部との間をシールする第4シール部材を備えていることを特徴とする請求項5に記載の収納容器。
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JP2010141222A (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器及びその蓋体取り付け方法 |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
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