JP3965809B2 - ウェハキャリア用蓋体の着脱移動装置、及び被移動体の水平移動装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロードポート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体に設けられた錠装置の解錠・施錠を行って、前記蓋体の着脱を行う装置によって取り外された蓋体を保持する蓋体保持板を水平移動させる被移動体の水平移動装置、及びウェハキャリア用蓋体の着脱移動装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図29に示されるように、ロードポート装置Lのキャリア設置板1に設置されたウェハキャリアCには、多数枚のウェハU(図5参照)が収納されていて、各ウェハUは、ロボット装置51により半導体製造装置H内に移載される。図10に示されるように、ウェハキャリアCを構成するキャリア本体2と蓋体3とは、前記蓋体3に設けられた錠装置Eによって施錠されている。このため、各ウェハUを移載するためには、鍵部材4によって錠装置Eの解錠を行い、その後、前記キャリア本体2に対して蓋体3を取り外すという操作が必要である。従来、錠装置Eの解錠・施錠は、クリーンルーム内で作業者によって行われていた。しかし、人手によって行われる場合、その効率が悪い。そのため、自動で錠装置Eの解錠・施錠を行うための装置が開発されている。例えば、錠装置Eの解錠・施錠を行うための鍵部材4を、制御モータ(図示せず)によって正逆方向に回動させる構成のものである。なお、図29において符号52は、半導体製造装置H内に移載されたウェハUに、清浄な空気を供給するための清浄空気供給装置である。
【0003】
前記錠装置Eが蓋体3の1箇所にのみ設けられている場合、施錠したときの蓋体3の安定性に欠けるという問題がある。また、前記錠装置Eが複数箇所に設けられている場合、複数個の鍵部材4を同期させて正逆回動させなければならない。このような場合、複数個の鍵部材4に対して個別に制御モータを取付けなければならず、全体の構成が複雑化するという問題がある。
【0004】
また、前記錠装置Eを解錠した後、蓋体3を着脱するために、キャリア本体2に対して蓋体3を保持する蓋体保持板5(図25参照)を水平移動させている。通常の場合、空気圧シリンダ(図示せず)を水平に配設し、該シリンダのシリンダロッドを出入りさせることによって、前記シリンダロッドと連結された蓋体保持板5を水平移動させている。しかし、このように空気圧シリンダを水平に取付けた場合、該空気圧シリンダが張り出してしまい、半導体製造装置H内の部材と干渉するおそれがあり、空気圧シリンダの取付位置に制限が生じるという問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した不具合に鑑み、複数の鍵部材を同期させて正逆回動できるようにすることと、前記蓋体を保持した蓋体保持板を水平移動させるためのシリンダが、周辺の部材に影響を及ぼすことなく取付けられるようにすることを課題としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の被移動体の水平移動装置は、架台の上面に、移動案内部材に案内されて水平移動可能に支持された被移動体を水平移動させるための装置であって、前記架台の下方にほぼ垂直に配設されて、垂直面内で回動可能となるように、シリンダ本体の下端部が固定部材に対して回動可能に支持された1本の垂直シリンダと、前記架台及び前記被移動体との各連結部を結ぶ線分が前記被移動体の移動方向に沿うように、前記垂直シリンダのシリンダロッドと前記架台及び前記被移動体との間にそれぞれ連結される第1及び第2の各アームとを備え、前記垂直シリンダのシリンダロッドの出入りにより、第1及び第2の各アームの先端部を互いに接近・離間させて、被移動体を水平移動させることを特徴としている。
【0007】
同じくウェハキャリア用蓋体の着脱移動装置は、ロードポート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体の着脱と、その水平及び垂直の各移動を行って、半導体製造装置のキャリア用開口の内側の直下の部分に前記蓋体を一時的に格納可能にするためのウェハキャリア用蓋体の着脱移動装置であって、ウェハキャリア用蓋体の着脱装置と、上記した被移動体の水平移動装置と、前記水平移動装置の全体を垂直移動させるための垂直移動装置とから成り、前記ウェハキャリア用蓋体の着脱装置は、ロードポート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体に対して垂直な水平方向に進退動を行う蓋体保持板と、該蓋体に設けられた錠装置の鍵穴に対向し、かつ前記蓋体保持板の正面に突出した状態で、該蓋体保持板に回動可能に支持された複数の鍵部材と、該複数の鍵部材を設定角度だけ正逆回動させて、前記錠装置の解錠・施錠を行うために、前記蓋体保持板の背面に装着された鍵部材回動手段とを備え、前記錠装置の解錠状態において、前記鍵穴と前記鍵部材とが係合して、蓋体保 持板に対して蓋体が保持可能となる構成であって、前記鍵部材回動手段は、複数の鍵部材を同期させて正逆回動させるための同期機構と、該同期機構を駆動させるための単一の駆動源とから成ることを特徴としている。
【0008】
ロードポート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体には、錠装置が設けられている。ロードポート装置の装着板のキャリア用開口は、予め蓋体保持板によって閉塞されていて、該蓋体保持板における前記蓋体と相対向する正面側には、前記錠装置の鍵穴に対向する複数の鍵部材が突出されている。この蓋体保持板は、ウェハキャリアの蓋体に対して垂直な水平方向に進退動する。ウェハキャリアがロードポート装置の装着板に押し付けられると、前記錠装置の鍵穴に前記複数の鍵部材が相対的に進入する。前記蓋体保持板の背面側には、前記複数の鍵部材を同期させて、設定角度だけ正逆回動させるための鍵部材回動手段が設けられていて、該鍵部材回動手段によって複数の鍵部材が同期して所定の方向に回動され、錠装置が解錠・施錠される。複数の鍵部材を同期させるための同期機構が平行リンク機構であり、しかも、前記平行リンク機構を介して複数の鍵部材を回動させるための駆動源が単一のシリンダである場合、その構成が極めて簡単になると共に、蓋体保持板からの張出しも僅かである。更に、蓋体保持板に複数本の押圧ピンが設けられている場合、前記蓋体は前記押圧ピンの付勢力によって安定状態で保持される。
【0009】
蓋体保持板に保持された蓋体は、水平移動装置によって水平移動される。即ち、前記蓋体保持板の下方に、ほぼ垂直に配設された垂直シリンダのシリンダロッドを出入りさせ、前記シリンダロッドの垂直方向の移動を水平方向の移動に変換させることによって、前記蓋体保持板が水平移動される。蓋体保持板は、蓋体を保持した状態で水平移動される。シリンダがほぼ垂直に配設されているため、外部に張り出すことはない。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。最初に、本実施例のロードポート装置Lの全体構成を簡単に説明する。続いて、ウェハキャリアC及びその蓋体3に設けられた錠装置Eについて説明する。次に、第1実施例の鍵装置A1 の構成と作用を説明し、その後に、蓋体3の水平移動装置Bの構成と作用を説明する。そして、最後に、ロードポート装置Lの全体の作用について説明する。図1は本発明に係る第1実施例の鍵装置A1 と、同じく水平移動装置Bとを備えたロードポート装置Lの側面図、図2は同じく正面図である。図3に示されるように、ウェハキャリアCには、予め錠装置Eが設けられていて、本発明に係る鍵装置A1 と協働して蓋体3の着脱が行われる。即ち、鍵装置A1 と錠装置Eとで、蓋体3の着脱装置が構成されている。この錠装置Eは公知のものである。図1に示されるように、半導体製造装置Hの側面壁に、ロードポート装置Lの装着板6が取付けられている。該装着板6の背面側(半導体製造装置Hの側)の上部には、第1実施例の鍵装置A1 が配設されていて、同じく下部には、蓋体3の水平移動装置Bが配設されている。両装置A1,Bは、半導体製造装置H内に入り込んでいる。そして、前記水平移動装置Bは、ロードポート装置Lを構成する装置本体7の内部に垂直に配設されたロッドレスシリンダ8の移動体8aに固着されており、前記ロッドレスシリンダ8を作動させることによって昇降可能である。即ち、本実施例のロードポート装置Lは、前記第1実施例の鍵装置A1 、水平移動装置B及び垂直移動装置(ロッドレスシリンダ8)により構成される蓋体3の着脱移動装置Dを備えている。なお、本明細書では、ウェハキャリアCにおいては蓋体保持板5と相対向する側を「正面」と記載し、蓋体保持板5においてはウェハキャリアCと相対向する側を「正面」と記載する。また、それぞれの反対側を「背面」と記載する。
【0011】
図1及び図2に示されるように、ロードポート装置Lにおいて半導体製造装置Hと相対向する側には装着板6が設けられている。前記ロードポート装置Lは、この装着板6が、固定ボルト(図示せず)によって半導体製造装置Hに締め付けられることによって、前記半導体製造装置Hに一体に取付けられる。図12に示されるように、この装着板6の上部には、ウェハUを移載するための内側開口穴6aが設けられている。この開口穴6aの外側で、しかもウェハキャリアCの側には、更に大きな外側開口穴6bが段付き状態で設けられていて、その段付部には、前記内側開口穴6aの周縁に沿ってパッキン6cが取付けられている。内側開口穴6aは、蓋体保持板5の段付部5aを挿入させるためのものであり、外側開口穴6bはウェハキャリアCの蓋体装着部2aを挿入させるためのものである。前記パッキン6cは、キャリア本体2における蓋体装着部2aと当接することによって、ウェハキャリアCの外部と内部との気密を図るという機能を有している。
【0012】
図1に示されるように、ロードポート装置Lを構成する装置本体7の上面には、ウェハキャリアCの蓋体3に対して垂直な水平方向(矢印Yで示される方向であり、以降、Y軸方向と記載する)に沿ってガイドレール9が敷設されている。このガイドレール9に装着される2個のガイド体9aには、キャリア設置板1が取付けられていて、該キャリア設置板1の上面にウェハキャリアCが設置される。また、装置本体7の上面には、Y軸方向に沿って第1空気圧シリンダ11が取付けられていて、該シリンダ11のシリンダロッド11a(図22参照)と前記キャリア設置板1とが連結されている。このため、第1空気圧シリンダ11を作動させることによってウェハキャリアCをY軸方向に沿って水平移動させることができる。
【0013】
最初に、図3ないし図5を参照しながら、本実施例のウェハキャリアCについて説明し、次に、図6ないし図9を参照しながら、その蓋体3に設けられた錠装置Eについて説明する。図3は、ウェハキャリアCの斜視図、図4は錠装置Eを施錠した状態のウェハキャリアCの正面図、図5は同じく一部を破断した側面図である。図3ないし図5に示されるように、本実施例のウェハキャリアCを構成するキャリア本体2の前部には、その外周縁に沿って張り出された蓋体装着部2aが設けられている。この蓋体装着部2aに、蓋体3が装着される。蓋体3の外周縁部には、全周に亘ってパッキン3bが周設されていて、このパッキン3bが前記蓋体装着部2aの内側に密着することにより、ウェハキャリアCの内部と外部との気密が図られており、ウェハキャリアC内のクリーンな雰囲気が維持される。
【0014】
次に、錠装置Eについて説明する。蓋体3の内部で、しかも幅方向の両側部には、錠装置Eが設けられている。各錠装置Eは、蓋体3の高さ方向のほぼ中央部に、その軸心CL1 を中心に回動可能にして配設された円板状のディスク板12の上下に、ロックプレート13が昇降可能にして取付けられた構成である。図4、図6及び図7に示されるように、各ディスク板12には、その周方向に約90°に亘って溝カム12aが設けられている。この溝カム12aのカム半径Rは、前記ディスク板12の周方向に沿って短くなっている。そして、前記ロックプレート13の基端部(ディスク板12の側の端部)に取付けられた連結ピン13aが、前記溝カム12aに嵌合されている。この連結ピン13aは、前記溝カム12a内を移動可能である。ディスク板12の正面側には、一対の突起体12bが突設されている。錠装置Eによって施錠された状態において、一対の突起体12bは、ほぼ水平な状態を呈している。そして、蓋体3の正面板3aにおいて、前記一対の突起体12bと対応する部分には、鍵部材4(図10参照)を蓋体3の内部に進入させるための鍵穴14が設けられている。後述するように、鍵部材4は、その先端部が必ず水平状態となって前記鍵穴14に進退する。このため、前記鍵穴14は、正面視における鍵部材4の先端部よりも僅かに大きな横長の相似形状である。
【0015】
この錠装置Eは、上下のロックプレート13の先端部が、蓋体装着部2aに設けられた嵌合穴15に嵌合されることによって施錠される構成である。図6ないし図9を参照しながら、錠装置Eを解錠する際の作用について説明する。鍵穴14を介して蓋体3の内部に進入した鍵部材4が、一対の突起体12bの間に入り込む。そして、鍵部材4が矢印Pの方向に回動されることにより、一対の突起体12bを介してディスク板12が、その軸心CL1 を中心に同方向に回動される。ディスク板12が矢印Pの方向に回動されるのに伴い、そのカム半径Rが徐々に小さくなり、カム半径R’となるため、上下のロックプレート13の基端部が互いに接近する。すると、上下のロックプレート13の先端部が、蓋体装着部2aの嵌合穴15から離脱されるため、錠装置Eの解錠が行われる。鍵部材4を矢印Pと反対の方向に回動させることによって、再び錠装置Eの施錠を行うことができる。
【0016】
次に、第1実施例の鍵装置A1 について説明する。図10は第1実施例の鍵装置A1 及び錠装置Eの斜視図、図11は第1実施例の鍵装置A1 の正面図、図12は図11のX−X線断面図、図13は蓋体保持板5の正面図である。図2に示されるように、装着板6には、高さ方向に沿って一対のガイドレール16が敷設されている。一対のガイドレール16には、ガイド体16aが2個ずつ装着されていて、各ガイド体16aには水平移動装置B(後述)を構成する装置フレーム17が取付けられている。この装置フレーム17はL字状を成していて、2個の補強プレート17aによって補強されている。装置フレーム17を構成する上面板17bには、Y軸方向に沿って一対のガイドレール18が敷設されていて、各ガイドレール18にガイド体18aが装着されている。そして、各ガイド体18aの上面には幅広の支持板19が取付けられていて、更に前記支持板19にブラケット21が立設されている。このブラケット21の上部には、ウェハキャリアCの蓋体3と相対向する蓋体保持板5が取付けられている。前記支持板19は、ガイドレール18、及びガイド体18aにガイドされてY軸方向に水平移動可能であるため、蓋体保持板5もY軸方向に水平移動可能である。この蓋体保持板5の外周縁部には段付部5aが設けられていて、該段付部5aにパッキン5b(図12参照)が周設されている。このパッキン5bは、装着板6に押圧されることによって、半導体製造装置Hと外部との気密を図るという機能を有している。
【0017】
図10ないし図13に示されるように、蓋体保持板5の正面側(ウェハキャリアCの側)には、蓋体3における一対の鍵穴14と相対向する一対の鍵部材4が突出して設けられている。図12に示されるように、各鍵部材4の回動軸部4aは、蓋体保持板5に内装された軸受22に支承されている。このため、各鍵部材4は、その軸心CL2 を中心として回動可能である。正面視における鍵部材4は、前記鍵穴14よりも少し小さい横長の長方形状であり、通常の状態で水平状態を呈している。そして、一対の鍵部材4における回動軸部4aの背面側には、各リンク板23の下端部が取付けられている。一対のリンク板23の上端部は、連結ピン24により遊動状態で連結板25と連結されている。一対のリンク板23は、前記連結板25によって互いにほぼ平行な状態で連結されていて、平行リンク機構Qが形成されている。このため、前記連結板25を円弧状に移動させることによって、一対のリンク板23を、各鍵部材4の軸心CL2 を中心とするクランク運動をさせることができる。この結果、一対の鍵部材4は同期して、同一方向に、しかも予め設定された角度だけ回動される。この角度は、錠装置Eを構成するディスク板12における溝カム12aの角度とほぼ同一であり、約90°である。
【0018】
上記したクランク運動は、単一の第2空気圧シリンダ26によって行われる。即ち、蓋体保持板5の背面側で連結板25の上方には、第2空気圧シリンダ26が、前記蓋体保持板5の板面に対して平行に配設されている。この第2空気圧シリンダ26の後端部は、蓋体保持板5の背面に垂直に取付けられた支点ピン27に支承されている。そして、Y軸方向と直交する垂直面内で回動可能である。そして、そのシリンダロッド26aは、連結ブロック28を介して、ほぼ水平に配置されるように連結板25と連結されている。第2空気圧シリンダ26を作動させると、そのシリンダロッド26aが出入りする。該第2空気圧シリンダ26は、支点ピン27の軸心を中心に上下に揺動しながら、連結板25を円弧状に移動させる。すると、一対のリンク板23を介して各鍵部材4が、それぞれの軸心CL2 を中心に、同期して同一方向に、設定角度だけ回動される。
【0019】
上記した蓋体保持板5には、蓋体3に設けられた錠装置Eを解錠・施錠する際に、該蓋体3を安定状態で保持するための複数本(本実施例の場合、4本)の押圧ピン29が設けられている。次に、図13ないし図17を参照しながら、この押圧ピン29について説明する。図13及び図14に示されるように、蓋体保持板5における四隅の近傍には、4本の押圧ピン29が配設されている。そし、図15に示されるように、これらの押圧ピン29の本体部29aは、蓋体保持板5のY軸方向に沿って設けられた各押圧ピン挿通穴31に挿通されている。この押圧ピン29は樹脂製であり、その先端部が略紡錘状を成す本体部29aと、前記押圧ピン挿通穴31の内径よりも大きな外径を有するガイド部29bとから成っている。そして、蓋体保持板5の背面側から前記押圧ピン挿通穴31に挿通されていて、更に、蓋体保持板5の背面にばね受け体32が取付けられている。このばね受け体32は有底円筒状であり、押圧ピン29が落下しないように支持するためのものである。押圧ピン29のガイド部29bが、ばね受け体32の内部に配置される。そして、押圧ピン29のガイド部29bとばね受け体32の底部との間に圧縮ばね33が介装されている。このため、押圧ピン29の本体部29aの先端部は常に、蓋体保持板5の正面側に付勢状態で突出されている。
【0020】
押圧ピン29の作用について説明する。図15ないし図17に示されるように、通常の状態では、蓋体保持板5の段付部5aが装着板6の内側開口穴6aに入り込んでいる。ロードポート装置Lの装置本体7の上面に配設された第1空気圧シリンダ11(図1参照)を作動させることによって、ウェハキャリアCがY軸の正方向に水平移動される。図15及び図16に示されるように、ディスク板12の軸心CL1 と鍵部材4の軸心CL2 とは合致しているため、各鍵部材4が、鍵穴14を介して一対の突起体12bの間に入り込む。同時に、蓋体3の正面板3aが押圧ピン29を押圧する。しかも、蓋体装着部2aは、装着板6の段付部に設けられたパッキン6cに押圧される。このため、ウェハキャリアCの内部と外部との気密が図られる。
【0021】
そして、図14に示されるように、鍵装置A1 を構成する第2空気圧シリンダ26のシリンダロッド26aが突出される。一対の鍵部材4が同期して、しかも、それらの軸心CL2 を中心にして設定角度だけ回動され、錠装置Eが解錠される。このとき、図17に示されるように、各鍵部材4は起立状態を呈しているため、鍵穴14から抜け出ることが防止される。しかも、各押圧ピン29が、付勢状態で蓋体3を押圧している。即ち、該蓋体3は鍵部材4によって蓋体保持板5の側に引っ張られていると共に、各押圧ピン29の付勢力によってウェハキャリアCの側に押付けられている。このため、蓋体3は安定状態で蓋体保持板5に保持される。
【0022】
次に、図1、図2及び図18ないし図21を参照しながら、蓋体3の水平移動装置Bについて説明する。図18は蓋体3の水平移動装置Bの正面図、図19は同じく側面断面図である。図18及び図19に示されるように、正面視における装置フレーム17のほぼ中央部の下端部には、二股状のブラケット34が固着されている。そして、該ブラケット34に取付けられた支点ピン35には、第3空気圧シリンダ36の後端部が支承されている。このため、第3空気圧シリンダ36は、Y軸方向に沿った垂直面内で回動可能である。そして、平面視における装置フレーム17の上面板17bのほぼ中央部には、開口穴37が設けられている。支持板19の底面部には可動側ブラケット38が固着されていて、装置フレーム17の上面板17bの底面部には固定側ブラケット39が固着されている。前記可動側ブラケット38は、前記開口穴37を介して下方に突出されており、その下端部における高さ方向の位置は、固定側ブラケット39の下端部における高さ方向の位置とほぼ同一である。そして、前記可動側ブラケット38の下端部は、遊動状態で可動側リンク41の上端部と連結されていて、前記固定側ブラケット39の下端部は、遊動状態で固定側リンク42の上端部と連結されている。これらの可動側リンク41と固定側リンク42とは、いずれも蓋体保持板5の移動方向(Y軸方向)に対する垂直な面内で回動可能である。そして、可動側リンク41の下端部と、固定側リンク42の下端部は、第3空気圧シリンダ36のシリンダロッド36aの先端部に重なり合った状態で、しかも遊動状態で連結されている。前述したように、可動側ブラケット38と固定側ブラケット39の各下端部の高さ方向の位置がほぼ同一なので、第3空気圧シリンダ36は、ほぼ垂直な状態に配設される。そして、該第3空気圧シリンダ36のシリンダロッド36aの垂直移動を、蓋体保持板5の水平移動に変換した構成である。このため、空気圧シリンダを水平に配設した場合と比較して、外部に張り出される部分が少なくなり、半導体製造装置H内の部材と干渉するおそれがない。
【0023】
この装置フレーム17は、垂直に配設されたロッドレスシリンダ8の移動体8aに取付けられている。このため、前記ロッドレスシリンダ8を作動させることによって、装置フレーム17、即ち、水平移動装置Bの全体を昇降させることができる。なお、図2において符号43は、装置フレーム17の下端部に取付けられたドッグであり、同じく符号44は、前記ドッグ43に対応して取付けられた近接スイッチである。
【0024】
次に、図19ないし図21を参照しながら、この水平移動装置Bの作用について説明する。図19に示されるように、第3空気圧シリンダ36のシリンダロッド36aが突出して、可動側リンク41と固定側リンク42は、略水平な状態に配置されている。そして、この状態は、蓋体保持板5のパッキン5bが装着板6に押圧された状態である。ここで、第3空気圧シリンダ36を作動させて、そのシリンダロッド36aを引っ込める。すると、図20及び図21に示されるように、可動側リンク41と固定側リンク42とが下方に引っ張られる。ところが、固定側リンク42は固定側ブラケット39を介して装置フレーム17の上面板17bに固定されている。しかも、可動側リンク41及び可動側ブラケット38を介して連結された支持板19は、ガイドレール18によりY軸方向に水平移動可能である。このため、第3空気圧シリンダ36のシリンダロッド36aを引っ込めると、該第3空気圧シリンダ36は、支点ピン35の軸心を中心に揺動しながら、可動側リンク41の先端部を、固定側リンク42の先端部の側に接近させる。この結果、蓋体保持板5がY軸の正方向に水平移動する。第3空気圧シリンダ36のシリンダロッド36aを再び突出させると、前記蓋体保持板5は反対方向(Y軸の負方向)に水平移動する。
【0025】
次に、ロードポート装置Lの全体の作用について説明する。図22に示されるように、ロードポート装置Lの装置本体7の上面に設けられたキャリア設置板1に、ウェハキャリアCが設置される。このウェハキャリアCを構成するキャリア本体2には、予め所定枚数のウェハUが収納されていて、前記キャリア本体2と蓋体3とは、錠装置Eによって施錠されている。また、図23に示されるように、装着板6における内側開口穴6aは、蓋体保持板5に周設されたパッキン5bが、半導体製造装置Hの側から押圧されることにより、気密状態で閉塞されている。第1空気圧シリンダ11を作動させて、ウェハキャリアCをY軸の正方向に水平移動させる。ウェハキャリアCにおける蓋体装着部2aが、装着板6の外側開口穴6bに入り込み、その段付部に取付けられたパッキン6cに押圧される。こうすることによって、ウェハキャリアCの内部と外部との気密が図られ、ウェハキャリアCの内部のクリーンな雰囲気が維持される。
【0026】
図15、図16及び図24に示されるように、ウェハキャリアCがY軸の正方向に水平移動された際に、蓋体保持板5に設けられた一対の鍵部材4が、相対向する鍵穴14を介して蓋体3の内部に相対的に進入する。錠装置Eが施錠されている状態では、前記鍵穴14は、前記鍵部材4に対応する水平状態に配置されていて、しかも両者14,4の各軸心CL1,CL2 は合致しているため、一対の鍵部材4はスムーズに進入する。そして、蓋体装着部2aが装着板6のパッキン6cに押圧された状態で、各鍵部材4の先端部の全体が、蓋体3の内部に進入する。また、この状態で、蓋体3の正面板3aが4本の押圧ピン29を押圧するため、各押圧ピン29は、圧縮ばね33の付勢力に抗してY軸の正方向に押し付けられる。
【0027】
図14に示されるように、鍵装置A1 を構成する第2空気圧シリンダ26を作動させて、そのシリンダロッド26aを突出させる。すると、連結板25を介して一対のリンク板23がクランク運動を行うため、一対の鍵部材4が、それらの軸心CL2 を中心に設定角度(ほぼ90°)だけ回動される。一対の鍵部材4は、同期して同一角度だけ回動される。図17に示されるように、上下のロックプレート13が昇降して、ウェハキャリアCの蓋体装着部2aに設けられた嵌合穴15から離脱されるため、錠装置Eが解錠される。このとき、各鍵部材4は起立状態に配置されているため、対応する鍵穴14から抜け出ることはない。しかも、蓋体3の四隅の近傍は4本の押圧ピン29によってY軸の負方向に押圧されているため、該蓋体3は突っ張った状態で保持される。この結果、蓋体3は前記蓋体保持板5に安定状態で保持される。
【0028】
続いて、図19、図20及び図25に示されるように、水平移動装置Bを構成する第3空気圧シリンダ36を作動させ、そのシリンダロッド36aを引っ込める。同時に、可動側リンク41と固定側リンク42が下方に引っ張られるため、可動側リンク41の先端部と固定側リンク42の先端部とが、相対的に接近するる。この結果、ガイドレール18にガイドされた蓋体保持板5がY軸の正方向に水平移動する。その際、蓋体3は前記蓋体保持板5に保持されていて、該蓋体保持板5と一体となって水平移動するため、キャリア本体2から完全に取り外される。次に、図21、図26及び図27に示されるように、ロッドレスシリンダ8を作動させて、水平移動装置Bの装置フレーム17全体を下降させる。蓋体保持板5が、蓋体3を保持したまま下降して、蓋体保持板5がロードポート装置Lの内側の直下の部分に一時的に格納される。このようにして、装着板6の内側開口穴6aが開口され、ウェハキャリアCに収納されたウェハUが半導体製造装置H内に移載される。
【0029】
半導体製造装置H内で化学処理が施されたウェハUは、再びウェハキャリアCに収納される。そして、上記した作用と全く逆の順序で、ウェハキャリアCにおけるキャリア本体2の蓋体装着部2aに蓋体3が取付けられ、錠装置Eの施錠が行われる。
【0030】
次に、図28を参照しながら、第2実施例の鍵装置A2 について説明する。この実施例の場合、一対の鍵部材4を同期して正逆回動させるための同期手段が歯付ベルト45であり、その駆動源が単一の制御モータ46である。即ち、一対の鍵部材4の背面側には、それぞれ歯付プーリ47が取付けられていて、該歯付プーリ47に歯付ベルト45が掛装されている。そして、前記歯付ベルト45は、蓋体保持板5の背面に設けられた単一の制御モータ46のモータプーリ46aに掛装されている。前記制御モータ46の回動角度と回動方向を制御することによって、歯付ベルト45を一定の距離だけ周回走行させる。このようにして、一対の鍵部材4を同期して設定角度だけ正逆回動することができる。この実施例の場合、制御を変更するだけで一対の鍵部材4の回動角度を自在に変えることができるという利点がある。
【0031】
本明細書では、請求項1に記載の「被移動体の水平移動装置」を、ロードポート装置Lを構成する蓋体保持板5(被移動体)を水平移動させるための水平移動装置Bとして説明した。しかし、前記「被移動体の水平移動装置」は、ロードポート装置Lにおける水平移動装置Bばかりでなく、他の用途に対しても、一般的な使用が可能である。
【0032】
また、本明細書では、一対の(即ち、2本の)鍵部材4を同期させて回動させる場合について説明した。しかし、3本、或いはそれ以上の鍵部材4を同期させて回動させることも可能である。
【0033】
【発明の効果】
本発明に係る被移動体の水平移動装置は、蓋体保持板を水平移動させるためのシリンダをほぼ垂直に配設し、該シリンダのシリンダロッドの垂直方向の移動を蓋体保持板の水平方向の移動に変換した構成である。このため、従来のように、シリンダが水平に配設された場合と比較して、外部に張り出される部分が少なくなり、半導体製造装置内の各部材と干渉するおそれがない。
【0034】
また、本発明に係るウェハキャリア用蓋体の着脱移動装置は、上記した被移動体の水平移動装置を利用して、ロードポート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体の着脱と、その水平及び垂直の各移動を行って、半導体製造装置のキャリア用開口の内側の直下の部分に前記蓋体を一時的に格納できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る第1実施例の鍵装置A1 と、同じく水平移動装置Bとを備えたロードポート装置Lの側面図である。
【図2】 同じく正面図である。
【図3】 ウェハキャリアCの斜視図である。
【図4】 錠装置Eを施錠した状態のウェハキャリアCの正面図である。
【図5】 同じく一部を破断した側面図である。
【図6】 錠装置Eの鍵穴14に鍵部材4が挿入された状態の正面図である。
【図7】 鍵部材4が回動された状態の正面図である。
【図8】 ロックプレート13が蓋体装着部2aの嵌合穴15に嵌合された状態の側面断面図である。
【図9】 ロックプレート13が蓋体装着部2aの嵌合穴15から離脱された状態の側面断面図である。
【図10】 第1実施例の鍵装置A1 及び錠装置Eの斜視図である。
【図11】 第1実施例の鍵装置A1 の正面図である。
【図12】 図11のX−X線断面図である。
【図13】 蓋体保持板5の正面図である。
【図14】 第2空気圧シリンダ26が作動して、一対の鍵部材4が回動された状態の作用説明図である。
【図15】 蓋体3と蓋体保持板5の関係を示す側面断面図である。
【図16】 蓋体3が蓋体保持板5に押圧された状態の作用説明図である。
【図17】 蓋体3が蓋体保持板5に押圧されて、一対の鍵部材4が回動される状態の作用説明図である。
【図18】 蓋体3の水平移動装置Bの正面図である。
【図19】 同じく側面断面図である。
【図20】 蓋体3を保持した蓋体保持板5が水平移動される状態の作用説明図である。
【図21】 蓋体保持板5が下降される状態の作用説明図である。
【図22】 ロードポート装置Lに設置されたウェハキャリアCが、Y軸の正方向に水平移動される状態の作用説明図である。
【図23】 図22の要部の拡大断面図である。
【図24】 同じく、蓋体3の拡大断面図である。
【図25】 蓋体保持板5が水平移動されて、蓋体3が取り外された状態の作用説明図である。
【図26】 蓋体保持板5が下降される状態の作用説明図である。
【図27】 図26の正面図である。
【図28】 第2実施例の鍵装置A2 の概略正面図である。
【図29】 ロードポート装置Lが取付けられた半導体製造装置Hの側面図である。
【符号の説明】
A1,A2 :鍵装置(着脱装置)
B:水平移動装置
C:ウェハキャリア
D:着脱移動装置
E:錠装置
H:半導体製造装置
L:ロードポート装置
Q:平行リンク機構
Y:Y軸方向(蓋体に対して垂直な水平方向)
2:キャリア本体
3:蓋体
4:鍵部材
5:蓋体保持板(被移動体)
6:装着板
6a:内側開口穴(キャリア用開口)
8:ロッドレスシリンダ(垂直移動装置)
14:鍵穴
17:装置フレーム(架台)
18:ガイドレール(移動案内部材)
18a:ガイド体(移動案内部材)
23:リンク板(平行リンク機構)
25:連結板(平行リンク機構)
26:第2空気圧シリンダ(駆動源)
29:押圧ピン
33:圧縮ばね(付勢手段)
36:第3空気圧シリンダ(垂直シリンダ)
36a:シリンダロッド
41:可動側リンク(第1のアーム)
42:固定側リンク(第2のアーム)
45:歯付ベルト(同期機構)
46:制御モータ(駆動源)
Claims (3)
- 架台の上面に、移動案内部材に案内されて水平移動可能に支持された被移動体を水平移動させるための装置であって、
前記架台の下方にほぼ垂直に配設されて、垂直面内で回動可能となるように、シリンダ本体の下端部が固定部材に対して回動可能に支持された1本の垂直シリンダと、
前記架台及び前記被移動体との各連結部を結ぶ線分が前記被移動体の移動方向に沿うように、前記垂直シリンダのシリンダロッドと前記架台及び前記被移動体との間にそれぞれ連結される第1及び第2の各アームと、
を備え、
前記垂直シリンダのシリンダロッドの出入りにより、第1及び第2の各アームの先端部を互いに接近・離間させて、被移動体を水平移動させることを特徴とする被移動体の水平移動装置。 - 被移動体は、ロードポート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体の着脱を行うために、該蓋体に対して垂直な水平方向に進退動を行う蓋体保持板であることを特徴とする請求項1に記載の被移動体の水平移動装置。
- ロードポート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体の着脱と、その水平及び垂直の各移動を行って、半導体製造装置のキャリア用開口の内側の直下の部分に前記蓋体を一時的に格納可能にするためのウェハキャリア用蓋体の着脱移動装置であって、
ウェハキャリア用蓋体の着脱装置と、
請求項2に記載の被移動体の水平移動装置と、
前記水平移動装置の全体を垂直移動させるための垂直移動装置と、
から成り、
前記ウェハキャリア用蓋体の着脱装置は、
ロードポート装置に設置されたウェハキャリアの蓋体に対して垂直な水平方向に進退動を行う蓋体保持板と、
該蓋体に設けられた錠装置の鍵穴に対向し、かつ前記蓋体保持板の正面に突出した状態で、該蓋体保持板に回動可能に支持された複数の鍵部材と、
該複数の鍵部材を設定角度だけ正逆回動させて、前記錠装置の解錠・施錠を行うために、前記蓋体保持板の背面に装着された鍵部材回動手段とを備え、
前記錠装置の解錠状態において、前記鍵穴と前記鍵部材とが係合して、蓋体保持板に対して蓋体が保持可能となる構成であって、
前記鍵部材回動手段は、複数の鍵部材を同期させて正逆回動させるための同期機構と、該同期機構を駆動させるための単一の駆動源とから成ることを特徴とするウェハキャリア用蓋体の着脱移動装置。
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