KR200187489Y1

KR200187489Y1 - 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비에 있어서, 웨이퍼 카셋트보관용기의 잠금장치

Info

Publication number: KR200187489Y1
Application number: KR2019970043617U
Authority: KR
Inventors: 김용표
Original assignee: 이완근; 주식회사신성이엔지
Priority date: 1997-12-30
Filing date: 1997-12-30
Publication date: 2000-07-15
Also published as: KR19990030920U

Abstract

본고안은 반도체 생산장비 내측으로 웨이퍼 카셋트를 투입하거나 인출토록 하는 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비에 있어서, 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비와 이에 얹어지는 반도체 웨이퍼 보관용기인 포드(Pod)를 고정토록 하는 포드 잠금장치에 관한 것으로, 인덱스 테두리에 포드 뚜껑을 고정하는 고정구를 좌우양측에 가지며, 상기 고정구는 좌우양측에 고정발을 가지며, 고정구의 양측단은 삽치구에 스프링 및 지지볼트에 의해 삽치되어지며, 고정구에 부착된 로울러를 삽치한 브라켓에는 상,하에 로울러를 삽치한 로울러지지대 중앙에 고정된 와이어가 감겨지게 되며, 상기 와이어는 로울러지지대에 삽치된 상,하 로울러를 거쳐 와이어 동작장치와 연결되는 한편, 상기 와이어 동작장치는 좌우양측의 브라켓에 나사축의 양단이 유설되어지며, 그 일측에는 모타의 축과 커플링에 의해 연결되어지며, 상기 나사축에는 이동구가 삽치되어지며, 상기 이동구에는 상기 와이어의 단부가 삽치 고정되도록 한 것으로, 모타가 회전될 때 나사축을 회전시키며, 회전되는 나사축은 이에 삽치된 이동구를 좌우로 이동시킬 때 이동구에 고정된 와이어가 당겨지거나 풀어지게 되며, 와이어의 당김작용시 그 힘은 와이어를 상,하로울러 삽치구의 로울러를 거쳐 고정구 브라켓이 잡아 당기게 되며, 이로 인해 고정구가 작동되도록 하는 것이다.

Description

반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비에 있어서, 웨이퍼 카셋트 보관용기의 잠금장치

본고안은 반도체 생산장비 내측으로 웨이퍼 카셋트(water casstte)를 투입하거나 인출토록 하는 반도체용 웨이퍼 카셋트 수납장비에 있어서, 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비와 이에 얹어지는 반도체 웨이퍼 카셋트 운반 및 보관용기인 포드(Pod)를 고정토록 하는 포드 잠금 고정장치에 관한 것이다.

반도체 제조에 사용되는 웨이퍼는 웨이퍼 카셋트에 수납되어 보관용기인 포드에 담겨져 운반 및 보관되며, 또한, 카셋트에 수납된 웨이퍼는 포드에 의해 반도체 제조장비와 장비 사이를 이동하게 된다.

반도체 생산장비 입구에는 반도체 생산장비 내측으로 반도체의 소재가 되는 웨이퍼 또는 웨이퍼가 장착되는 웨이퍼 카셋트를 수납하는 반도체용 웨이퍼 카셋트 수납장비가 부착되어지며, 상기 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비 위에는 웨이퍼를 삽치 보관한 웨이퍼 카셋트를 내장한 보관상자인 포드(Pod)가 장착되어 반도체 생산장비 내측으로 포드내에 삽치된 웨이퍼 장착 카셋트를 이동하거나 반대로 반도체 생산장비 내측으로부터 포드(Pod) 내부로 웨이퍼가 장착된 카셋트를 인출하여 적재하게 된다.

본고안은 반도체 생산장비 내측으로 반도체 웨이퍼를 공급토록 하는 반도체 웨이퍼 수납장비와 그 위에 얹어지는 포드를 고정하기 위한 장치에 관한 것이다.

반도체 생산장비 내측으로 반도체 웨이퍼를 공급하려면 반도체 웨이퍼가 수장된 카셋트(cassette) 보관용기인 포드를 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비에 얹어 놓은 후, 반도체 웨이퍼 수납장비를 작동시키게 되면 웨이퍼 수납장비에 내장된 포드(Pod)감지 센서에 의해 유, 무 확인후, 반도체 웨이퍼 수납장비의 잠금장치가 작동하여 포드의 뚜껑을 고정함과 동시에 포드의 바닥은 웨이퍼 수납장비 중앙바닥인 인덱스 테이블에 고정되어지게 된다.

그 후, 포드 뚜껑을 고정한 인덱스 테두리가 상승하여 포드 뚜껑과 포드바닥을 분리하여 개방하게 된다. 포드 뚜껑이 개방되면 포드안에 웨이퍼를 삽치한 카셋트가 개방상태로 되며, 그 후 로버트 암(Robort Arm)에 의해 웨이퍼를 삽치한 카셋트가 반도체 생산장비로 이동되어지게 된다.

본고안은 이와 같이 인덱스 테이블에 고정되는 포두뚜껑이 보다 확실하게 고정되도록 하는 잠금장치를 제공하고자 안출된 것으로, 인덱스 테이블 좌우양측에 서로 대칭으로 작동되는 누름장치를 가지며, 상기 누름장치를 구동시키는 동작장치와를 와이어에 의해 서로 연결토록 한 것으로, 하나의 동작장치로 좌우 2개의 누름장치가 작동되도록 한 것이다.

특히, 상기 누름장치는 스프링에 의해 복귀되도록 하며, 당겨지는 와이어에 의해 누름작동이 행하여지도록 하며, 와이어를 잡아당기는 동작장치는 모터에 의해 회전되는 나사축에 좌우로 이동되는 이동구를 삽치하여 이동구에 좌우 누름장치를 작동시키는 좌우 와이어를 각각 부착토록 한 것이다.

도1 - 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비의 사시도.

도2 - 웨이퍼 보관용기(Pod)와 인덱스 테이블 및 인덱스 테두리의 부분분해

사시도.

도3 - 인덱스 테두리의 부분단면도.

도4 - 포드(Pod) 잠금장치의 부분 분해사시도.

도5 - 포드 잠금장치의 잠금상태시의 부분단면도.

도6 - 포드 잠금장치의 잠금해제시의 부분단면도.

도7 - 포드 잠금장치의 작동기구의 부분사시도.

포드(31)를 삽치하여 포드의 뚜껑(31-1)을 인덱스 테두리(21)와 고정시키며, 포드의 바닥(31-2)은 인덱스 중앙부인 인덱스 테이블(22)과 고정토록 하는 반도체 웨이퍼 수납장비(1)에 있어서, 인덱스테두리(21) 위 좌우양측에 포드뚜껑(31-1)의 테두리를 고정하는 고정구(11)를 각각 가지며, 상기 고정구(11)는 좌우양측에 고정발(11-1)을 가지며, 고정구(11) 양측단은 지지볼트(12) 및 스프링(13)이 삽치된 삽치구(14)에 의해 지지되어지며, 고정구(11) 중앙의 브라켓트(11-2)에는 로울러(15)가 삽치되어지며, 상기 고정구 중앙의 브라켓트(11-2) 일측에는 상,하에 로울러(17)(18)를 삽치한 로울러지지대(16)가 고정되며, 상기 로울러지지대(16) 중앙에는 와이어(20)의 일측단부가 고정되어지며, 상기 와이어(20)는 고정구의 브라켓트(11-2)에 삽치된 로울러(15)를 감아 돌은 후 로울러지지대(16)의 상방로울러(17)와 하방로울러(18)를 감아 돌은 후, 로울러지지대(16) 앞에 부착한 가이드로울러(25)를 거쳐 와이어 동작장치(41)로 이어지는 한편, 상기 와이어 동작장치(41)는 좌우양측에 지지 브라켓(42-1)(42-2)을 가지며, 상기 좌우 지지브라켓(42-1)(42-2)의 가운데에는 나사축(43)의 양단이 유설되어지며, 나사축(43)의 일단은 모타(44) 축과 연결 고정되어지며, 상기 좌우 지지브라켓(42-1)(42-2)에는 상,하 가이드레일(45-1)(45-2)의 양단부가 고정되어지며, 상기 상,하 가이드레일(45-1)(45-2) 및 나사축(43)에는 와이어(20)의 타측단부를 삽치 고정한 이동구(46)가 유설되어지며, 상기, 이동구(46)에 고정된 상기 좌우와이어(20)는 상기 고정구(11)의 브라켓(11-2)의 로울러(15)를 거쳐 로울러지지대(16)의 중앙에 고정되도록 한 것이다.

이와 같이 구성된 본고안은 다음과 같이 작동하게 된다.

모타(44)가 작동되어 모타축과 연결된 나사축(43)을 회전시키면 나사축(43)의 좌우양단은 좌우 지지브라켓(42-1)(42-2)에 삽치되어 공회전하게 되지만 회전되는 나사축(43)에 의해 이에 삽치된 이동구(46)는 나사축(43)의 회전에 의해 앞으로 또는 뒤로 이동되어지게 된다.

또한, 이동구(46)는 아래,위에 상,하 가이드레일(45-1)(45-2)을 삽치하므로 이동구(46) 나사축(43)에 의해 회전되지 않고, 나사축(43) 및 가이드레일(45-1)(45-2)을 따라 좌우로 이동되어지게 된다. 이동구(46)에는 좌우와이어(20)의 타측단부가 고정되어지므로 이동구(46)의 좌,우 이동은 좌우와이어(20)를 당기거나 밀어주게 된다.

또한, 이동구(46)에 단부가 고정된 와이어(20)는 앞, 뒤의 로크볼트(46-1)에 의해 와이어(20)의 장력을 임의로 조절할 수 있게 된다. 상기에 있어 좌우와이어(20)이 맞닿는 일측 브라켓트(41-2) 하방에는 와이어(20)의 마찰력을 감쇄시키기 위한 가이드로울러(49)가 삽치되어지게 된다.

이와 같이 나사축(43)에 삽치된 이동구(46)의 이동에 의해 좌우로 당겨지거나 밀어주게 되는 좌우와이어(20)는 다수개의 가이드로울러(50)를 통해 로울러지지대(16) 상,하 로울러(17)(18)를 거쳐 고정구(11)의 브라켓(11-2)에 삽치된 로울러(15)를 감은 후, 상,하 로울러(17)(18)가 삽치된 로울러지지대(16)의 중앙에 와이어(20)의 일측단부가 고정되어지므로 와이어(20)가 당겨질 때 고정구(11)의 브라켓(11-2) 사이의 로울러(15)를 잡아당겨 고정구(11)를 작동시키게 되며, 좌우삽치구(14)의 볼트(12)를 축으로 회전하는 고정구(11)의 고정발(11-1)은 포드(31)의 뚜껑(31-1)을 가압하여 포드뚜껑(31-1)과 인덱스 테두리(21)를 고정토록 하는 것이다.

반대로 모타를 역회전시키게 되면 좌우와이어(20)가 풀리게 되며, 고정구(11) 양측단에 삽치된 스프링(13)에 의해 고정구(11)는 반대로 회전되어 포드(31) 뚜껑(31-1)의 잠금상태를 해제하게 된다.

본고안은 반도체 웨이퍼 수납장치의 인덱스 테두리 내측에 설치되어 인덱스 위에 포드가 얹혀지게 될 때 포드를 인덱스 테두리에 정확히 고정시키거나 해제시킬 수 있도록 한 것으로, 하나의 모타(44) 및 이에 의해 동작하는 나사축(43)으로 좌우의 고정구(11)를 좌우 2개의 와이어(20)에 의해 동작토록 함으로 말미암아 정확한 동작을 얻을 수 있게 되며, 또한, 고정구(11)는 포드의 뚜껑을 정확하게 고정하여 인덱스 테두리가 상승되어질 때 포드 뚜껑이 동시에 상승되도록 하는 아주 유용한 고안인 것이다.

Claims

포드(31)를 삽치하여 포드의 뚜껑(31-1)을 인덱스 테두리(21)와 고정시키며, 포드의 바닥(31-2)은 인덱스 중앙부인 인덱스 테이블과 고정토록 하는 반도체 웨이퍼 수납장치(1)에 있어서, 인덱스테두리(21) 위 좌우양측에 포드뚜껑(31-1)의 테두리를 고정하는 고정구(11)를 각각 가지며, 상기 고정구(11)는 좌우양측에 고정발(11-1)을 가지며, 고정구(11) 양측단은 지지볼트(12) 및 스프링(13)이 삽치된 삽치구(14)에 의해 지지되어지며, 고정구(11) 중앙의 브라켓트(11-2)에는 로울러(15)가 삽치되어지며, 상기 고정구 중앙의 브라켓트(11-2) 일측에는 상,하에 로울러(17)(18)를 삽치한 로울러지지대(16)가 고정되며, 상기 로울러지지대(16) 중앙에는 와이어(20)의 일측단부가 고정되어지며, 상기 와이어(20)는 고정구의 브라켓트(11-2)에 삽치된 로울러(15)를 감아 돌은 후 로울러지지대(16)의 상방로울러(17)와 하방로울러(18)를 감아 돌은 후, 로울러지지대(16) 앞에 부착한 가이드로울러(25)를 거쳐 와이어 동작장치(41)로 이어지는 한편, 상기 와이어 동작장치(41)는 좌우양측에 지지 브라켓(42-1)(42-2)을 가지며, 상기 좌우 지지브라켓(42-1)(42-2)의 가운데에는 나사축(43)의 양단이 유설되어지며, 나사축(43)의 일단은 모타(44) 축과 연결 고정되어지며, 상기 좌우 지지브라켓(42-1)(42-2)에는 상,하 가이드레일(45-1)(45-2)의 양단부가 고정되어지며, 상기 상,하 가이드레일(45-1)(45-2) 및 나사축(43)에는 와이어(20)의 타측단부를 삽치 고정한 이동구(46)가 유설되어지며, 상기, 이동구(46)에 고정된 상기 좌우와이어(20)는 상기 고정구(11)의 브라켓(11-2)의 로울러(15)를 거쳐 로울러지지대(16)의 중앙에 고정되도록 한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납장비의 웨이퍼 보관용기 잠금장치.