JP2003303869A

JP2003303869A - 基板搬送装置における蓋部材開閉装置

Info

Publication number: JP2003303869A
Application number: JP2002104398A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Seki; 廣実関
Original assignee: Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 2002-04-05
Filing date: 2002-04-05
Publication date: 2003-10-24

Abstract

(57)【要約】【課題】剛性を確保しつつ基板収納容器とそのドアと
の干渉領域を小さくし、かつ蓋部材を位置決めする際の
再現性を向上させる。【解決手段】複数の基板２を収納可能な基板収納容器
３のドア３ａを蓋部材４により受け支えて開閉させる蓋
部材開閉装置１に、蓋部材４を開閉する平行リンク機構
５を備えさせる。蓋部材４には、基板収納容器３内の基
板２の位置情報を確認するマッピングセンサが取り付け
られていることが好ましい。また、平行リンク機構５を
昇降させる上下スライダを備えることが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送装置にお
ける蓋部材開閉装置に関する。さらに詳述すると、本発
明は、ＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）とも呼ばれ
る基板収納容器をロードポートにドッキングさせて密着
した状態で基板収納容器のドアを開け、クリーン度が保
たれた状況下で基板を搬送するための蓋部材開閉装置の
機構の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、回路原版用基板、液晶ディスプレ
イパネル用基板やプラズマディスプレイパネル用基板等
の表示パネル基板（ガラス基板）、ハードディスク用基
板（磁性体基板）、半導体装置等の電子デバイス用のウ
ェハ（あるいは樹脂基板）等の基板１０２を収納、運搬
および保管する基板収納容器１０１とそれを開閉するロ
ードポート機構を備えた基板搬送装置が利用されている
（図１２参照）。

【０００３】このような基板搬送装置においては、基板
収納容器１０１から例えばロードポート１０３へと基板
１０２を搬送する際、ロードポート１０３内部へのパー
ティクル（異物微粒子）の侵入防止と化学的な汚染防止
を図ることにより集積回路を高歩留まりで生産すること
が要求される。そこで、スライドテーブルに載置した基
板収納容器１０１のドア１０４をロードポート１０３に
押し付け気密状態でドッキングさせるようにしている
が、この状況で基板１０２を基板収納容器１０１からロ
ードポート１０３へと搬送するには、気密状態を保ちな
がらドア１０４を開き、そのドア１０４を基板搬送面よ
り下方もしくはその他の方向に退避させる必要が生じ
る。

【０００４】従来、この動作を実現させるため、ロード
ポート１０３の壁面に開閉可能な蓋部材１０５を設け、
この蓋部材１０５でドア１０４を受け支え開閉させるよ
うにした蓋部材開閉装置、例えば、ドア１０４を基板収納容器１０１から引き離す方向へ
平行移動させて開閉し、その後に下方へドア１０４を逃
がすもの（例えば特開平８−２７９５４６号公報、特開
平１１−２５１４２１号公報参照）基板搬送面より下方に揺動支点を持ち、支点を中心に
揺動することによりドア１０４を基板収納容器１０１か
ら引き離す方向へ開閉し、下方へドア１０４を逃がすも
のなどが提案されている。

【０００５】また、このような基板搬送装置において
は、基板収納容器１０１内に載置された基板１０２のマ
ップ（基板１０２が何処にあって何処にないか、２枚重
なっていないか等の位置情報）を確かめる必要があるこ
とから、マッピングセンサがこの蓋部材１０５に取り付
けられる場合もある。マッピングセンサは、例えば発光
素子と受光素子を先端に備えた一対の開閉可能な旋回ア
ームによって構成される容器内基板１０２の位置情報確
認手段で、これら旋回アームを開いた状態で基板１０２
の近傍を上下動し、基板１０２が所定位置に載置されて
いるかどうかを受光素子・発光素子によって検出する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
蓋部材開閉装置においては以下のような問題がある。す
なわち、の蓋部材１０５を平行移動させてドア１０４
を開閉させる装置の場合、発塵の影響を抑えるため平行
移動機構１０６（例えば特開平１１−２５１４２１号公
報の装置におけるＸ方向移動機構３５などが該当）を基
板搬送面より下部に配置する必要があることから、搬送
面上のドア１０４や蓋部材１０５に対するオフセット
（平行移動機構１０６からドア１０４や蓋部材１０５ま
での高さ）が大きくなってしまい設置バランスが悪化し
やすく、かつＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and
Materials International）により移動機構１０６の占
有容積が決まっていることから機構の剛性確保が難しい
という問題がある。このため、ドア１０４に取り付けら
れるマッピングセンサによる検出が振動等により不安定
になりやすく、動作速度を上げることが難しい。さら
に、剛性不足によるドア１０４の位置決め再現性の低下
という問題もある。

【０００７】また、の揺動動作による開閉機構の場
合、のように平行移動させる場合に比べて剛性を確保
しやすい反面、揺動動作によりドア１０４が基板収納容
器１０１に対し斜めに開くことから、蓋部材１０５から
基板１０２までの距離が大きくなりすぎ、この蓋部材１
０５にマッピングセンサを取り付けることができないと
いう問題が生じる。このため、やむなくマッピングセン
サの駆動機構を別途用意する必要があり、構造が複雑と
なり、動作が増えることからサイクルタイムが延びる。
また、軌跡が完全に水平となるわけではなく、基板収納
容器１０１のドア開閉時、ドア１０４が上方もしくは下
方へ移動しながら開くことからドア１０４と基板収納容
器１０１の本体とが干渉する可能性がある。

【０００８】そこで、本発明は、剛性を確保しつつ基板
収納容器とそのドアとの干渉領域を小さくし、かつ蓋部
材を位置決めする際の再現性を向上させた基板搬送装置
における蓋部材開閉装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、複数の基板を収納可能な基
板収納容器のドアを蓋部材により受け支えて開閉させる
基板搬送装置における蓋部材開閉装置において、蓋部材
を開閉する平行リンク機構を備えてなることを特徴とす
るものである。

【００１０】本願発明における平行リンク機構（平行ク
ランク機構とも呼ばれる）は、例えば対向する節の長さ
が等しい四節からなる場合、平行四辺形を維持しながら
回転運動することから、節の一つである蓋部材を常に平
行に保ちながら移動させることができる。この場合、平
行リンク機構は蓋部材との間でピン結合等による回り対
偶をなすことから、蓋部材およびドアを押し付ける壁面
に対し回転方向の倣い性があり、芯出し調整機構を簡素
化する。また、少なくともドアを基板収納容器から取り
外しあるいは再び取り付ける近傍領域において、このド
アをほぼ水平移動させることが可能である。さらに、平
行リンク機構によれば揺動機構に比べドアの回転半径を
小さくできる。このため、揺動機構を利用した場合に比
べて基板収納容器本体とドアとの干渉領域を小さくしや
すいし、さらに、ドアを開閉する際の蓋部材位置決めの
再現性を向上させるといった利点をもたらす。

【００１１】しかもこの平行リンク機構は、ピン結合等
により回り対偶をなす四節によって構成され、蓋部材を
隣り合う２つの節（例えば第１揺動アームと第２揺動ア
ーム）によって支持することから、蓋部材とドアとを支
持しつつ開閉させるのに十分な剛性を確保しやすい。

【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載の基
板搬送装置における蓋部材開閉装置において、基板収納
容器内の基板の位置情報を確認するマッピングセンサが
蓋部材に取り付けられていることを特徴としている。請
求項１記載の発明によれば、平行リンク機構により蓋部
材（およびドア）をほぼ平行に移動させることが可能と
なるとともに、従来よりも高い剛性が得られる結果、蓋
部材にマッピングセンサを取り付け、このマッピングセ
ンサを用いての基板の位置情報検出が可能となる。この
場合、マッピングセンサの駆動機構を別途用意する必要
がないことから構造を単純化することができるし、動作
数が減少することからサイクルタイムが短縮して検出動
作速度の向上が図れる。

【００１３】請求項３記載の基板搬送装置における蓋部
材開閉装置は、平行リンク機構を昇降させる上下スライ
ダを備えることを特徴としている。この蓋部材開閉装置
によれば、平行リンク機構によりドアを平行移動させた
後、その状態のままで平行リンク機構を昇降させ、ドア
ならびに蓋部材を基板搬送面から退避させることができ
る。この場合、平行リンク機構によってドアをロードポ
ートの内壁に当たらない程度まで平行移動させれば足り
ることから平行リンク機構の動作量が少なくて済むし、
ドアの開閉に要するスペースも少なくて済む。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成を図面に示す
実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。

【００１５】図１〜図１１に、本発明の一実施形態を示
す。本発明にかかる蓋部材開閉装置１は、複数の基板２
を収納可能な基板収納容器３のドア３ａを開閉させるた
め、このドア３ａを受け支える蓋部材４を開閉させるた
めの装置であって、本実施形態においては、平行リンク
機構５を備えることを特徴としている。

【００１６】基板収納容器３は、ロードポート（図示省
略）に接近離反可能なスライドテーブル２１上の所定位
置に固定され、ドア３ａを押し付けられるようにしてロ
ードポートとドッキングする。このとき、ロードポート
の壁面の蓋部材４に受け支えられたドア３ａは、この蓋
部材４によって基板収納容器３から外され、ロードポー
ト側に平行移動した後に下方へ退避し、基板収納容器３
とロードポートとを気密に連通させる。蓋部材４は、平
行リンク機構５によってほぼ平行に移動することが可能
である。この平行リンク機構５は上下スライダ７により
昇降可能である。

【００１７】基板収納容器３は、回路原版用基板、液晶
ディスプレイパネル用基板やプラズマディスプレイパネ
ル用基板等の表示パネル基板、ハードディスク用基板、
半導体装置等の電子デバイス用のウェハ等の基板に用い
られるガラス基板、磁性体基板、樹脂基板等の種々の基
板に適用可能な基板収納治具であり、例えば３００ｍｍ
のウェハ用ポッドとして使用される。本実施形態の基板
収納容器３は、ポッド本体である筐体３ｂと、ポッド本
体に対する開閉自在な蓋であって閉じられた状態で筐体
３ｂのシール面に密着して筐体３ｂ内部へのパーティク
ルの侵入防止および化学的な汚染防止を図る開閉扉部で
あるドア３ａを有している。

【００１８】筐体３ｂは、機械的強度の向上を図るとと
もに、乾燥温度を上げるために、樹脂に代えて金属で作
られた筐体であって、図示しないＯＨＴ（Overhead Hoi
st Transfer）部で掴持して釣り上げるためのマッシュ
ルーム３ｃ、スライドテーブル２１に突設された位置決
めピン（図示省略）が挿入された状態でこの筐体自体を
所定位置に位置決めするための位置決めピン孔（図示省
略）を備えている。

【００１９】ドア３ａは、擦れによる金属汚染を抑制す
るために、樹脂または金属を主材として形成されてお
り、密閉性を保つためにドア３ａに周設されたシール材
（パッキン）３ｄ、ドア３ａの機械的開閉機構であるド
アクランピング機構部３ｅ、ウェハ押さえ機構であるリ
テーナ３ｆを備えている（図１０参照）。ドアクランピ
ング機構部３ｅは、異物や汚染物質混入に起因する異物
の問題や化学汚染を防止するために、樹脂を主材とした
構成、または樹脂でコーティングされた構成となってい
る。リテーナ３ｆは、基板２への金属汚染を防止するた
めに樹脂を主材として形成されている。ドア３ａ自体は
樹脂でも金属でもどちらでも良いが、筐体３ｂと強く擦
れるドアクランピング機構部３ｅを樹脂製とすることで
金属汚染を抑えることができる。基板２に直接触れるの
はリテーナ３ｆおよびウェハティース部３ｇのみである
ため、リテーナ３ｆおよびウェハティース部３ｇの材質
を樹脂にすることで金属汚染を抑えることができる。ま
た、図１０には特に示していないが、ドア３ａは蓋部材
４によって受け支えられるためのラッチ孔１６及び位置
決め孔１８，２０を有している（図６参照）。

【００２０】蓋部材４は、通常時はロードポートの基板
収納容器３と接続される開口部を閉めてロードポート内
のクリーン度を保つとともに、基板２が基板収納容器３
からロードポートへと搬送される際は基板収納容器３が
ロードポートに密着した状態で基板収納容器３のドア３
ａを受け支え、このドア３ａとともにロードポート側に
ずれ、下方へ退避する部材である。この蓋部材４は、一
定の動きをする平行リンク機構５によってよってロード
ポート側に外されまたは再び取り付けられてロードポー
トと基板収納容器３との接続口を開閉する。

【００２１】蓋部材開閉装置１は、その下端側を上下ス
ライダ７によって支持され昇降可能であるとともに、上
端側で蓋部材４を支持しこの蓋部材４を前後に振ってド
ア３ａを開閉させるように設けられた装置で、上下スラ
イダ７上に設けられた平行リンク機構５とこの機構を動
作させる駆動シリンダ１４とからなる。

【００２２】平行リンク機構５は、蓋部材４を平行に保
ちつつ前後に振るための機構で、前後方向に揺動可能な
第１揺動アーム８、この第１揺動アーム８と平行であっ
て同じく前後方向に揺動可能な第２揺動アーム９を備え
る（図１および図２参照）。また、第１揺動アーム８ま
たは第２揺動アーム９を揺動可能に取り付けるためのブ
ラケット１０〜１３が蓋部材４の内壁側に取り付けられ
ている。

【００２３】第１揺動アーム８は、その上端部が蓋部材
４の内側面のブラケット１０に揺動可能に取り付けら
れ、中間部よりも下端部寄りをブラケット１１上の揺動
支点Ａに揺動可能に支持されている（図１参照）。ま
た、下端部は駆動シリンダ１４に揺動可能に取り付けら
れている。本実施形態の第１揺動アーム８は、図１に示
すように、駆動シリンダ１４を引くと揺動支点Ａを中心
に図中時計回りに揺動して蓋部材４を開口部から外し、
逆に駆動シリンダ１４を押し出すように作動させると反
時計回りに揺動して再び蓋部材４を開口部に戻して閉じ
るように動作する。一方、第２揺動アーム９は、図２に
示すように、上端部を蓋部材４のブラケット１２に揺動
可能に取り付けられ、下端部を上下スライダ７上のブラ
ケット１３上の揺動支点Ｂにおいて揺動可能に支持され
ている。第１揺動アーム８、第２揺動アーム９が回転可
能に接続される支点（ブラケット１０〜１３上の各揺動
支点）においては、例えばベアリングジョイントなどの
連結手段が用いられている。また本実施形態の場合、第
１揺動アーム８と第２揺動アーム９とは平行であって、
第１揺動アーム８の上端支点（ブラケット１０上の支
点）から揺動支点Ａまでの距離と、第２揺動アーム９の
上端支点（ブラケット１２上の支点）から揺動支点Ｂま
での距離が等しくなるように構成され、４つの揺動支点
により平行四辺形が形成されるようにしている。なお、
本実施形態における第２揺動アーム９は図２に示すよう
に途中が折り曲げられており真っ直ぐではないが、各支
点が所定の位置に配置されている限りこの第２揺動アー
ム９や第１揺動アーム８の形状は真っ直ぐに限られるこ
とはない。

【００２４】なお、平行リンク機構５は、いずれかの節
の長さを調整することにより蓋部材４の傾きを微調整し
うるように設けられていることが好ましい。本実施形態
の平行リンク機構５の場合、図２、図３に示すように第
２揺動アーム９をボルト２７で組み付けられる２つのア
ームから構成するとともに、一方のアームのボルト孔２
８を長孔とすることによってその長孔のストローク分だ
けアーム全長を調整できるようにしている。

【００２５】上下スライダ７は、ロードポートの内壁に
沿って平行リンク機構５ならびにこの平行リンク機構５
によって支持される蓋部材４とドア３ａを昇降させる装
置で、平行リンク機構５を支持するベース７ａとこのベ
ース７ａを昇降させる図示しない駆動源、およびベース
７ａを鉛直方向に案内するリニアガイド２３からなる
（図９等参照）。駆動源は、例えば、ベース７ａを昇降
させるねじ機構２５とこれを駆動させるモータなどのよ
うな公知の昇降手段で構わない。また、この上下スライ
ダ７はベース７ａとともに駆動シリンダ１４も昇降させ
る（図７等参照）。上下スライダ７は、駆動シリンダ１
４と第１揺動アーム８の動きを妨げないよう図３に示す
ようにベース７ａが二股形状であり両足の間に駆動シリ
ンダ１４を通している。

【００２６】駆動シリンダ１４は揺動支点Ａを中心とし
て第１揺動アーム８を揺動させる駆動手段で、シリンダ
内のピストンを前後させることにより第１揺動アーム８
の下端部を前後に振り、この第１揺動アーム８を揺動さ
せる。このとき、蓋部材４の開閉動作に伴い連動する第
２揺動アーム９が、第１揺動アーム８との平行を保ちな
がら揺動することから、４つの支点を頂点とする四辺形
が平行に保たれて蓋部材４は常に平行に移動することに
なる。なお、ここでの駆動シリンダ１４は第１揺動アー
ム８を前後に振る駆動手段の一例に過ぎず、同じように
第１揺動アーム８を揺動させうる他の手段たとえばモー
タにクランクを付けたものやソレノイド等を用いて構わ
ない。

【００２７】マッピングセンサ６は、一対の開閉可能な
旋回アーム６ａ，６ｂによって構成された容器内基板２
の位置情報確認手段で（図３、図４参照）、基板２の近
傍を上下動し、旋回アーム６ａ，６ｂの先端部の受光素
子と発光素子からなる光素子６ｃにより基板２が所定位
置に載置されているかどうかあるいは基板２が２枚重な
っていないかといった位置情報（マップ）を検出する。
本実施形態のマッピングセンサ６は図３に示すように蓋
部４の上部に配置され、モータなどのアクチュエータお
よび駆動力を互いに逆となる方向に伝達する機構により
旋回アーム６ａ，６ｂが開閉するように設けられてい
る。旋回アーム６ａ，６ｂは、基板２を検出しない通常
時は図４に実線で示すように退避して待機しているが、
基板２を検出する際は想像線で示すように両光素子６ｃ
で基板２を挟み込みうる位置まで旋回し、基板２を光検
出する。

【００２８】以上のような蓋部材開閉装置１の動作を以
下に説明するが、その前にまず基板収納容器３をスライ
ドテーブル２１上に固定して搬送しロードポートにドッ
キングさせるまでの動作について述べておく。スライド
テーブル２１はその上に載置された基板収納容器３をそ
の位置に固定した状態でロードポート側へ搬送し基板収
納容器３のドア３ａのある面をロードポートの蓋部材４
のある面に押し付けドッキングさせる（図１参照）。ス
ライドテーブル２１は図示しないガイドに沿ってロード
ポート側へ移動可能であり、その上面の例えば３本の位
置決めピンで基板収納容器３を所定位置に位置決めす
る。また、スライドテーブル２１は、基板収納容器３の
底部のクランプ用凹部３ｈを引っ掛け引き下げることに
よってこの基板収納容器３をスライドテーブル２１の所
定位置にクランプするクランプ部材３０を有している。
このクランプ部材３０はクランプ用凹部３ｈを引っ掛け
る爪部３０ａを有するとともに、この爪部３０ａをクラ
ンプ用凹部３０ｈに滑り込ますことができるように旋回
可能に設けられている。クランプ部材３０によりクラン
プされスライドテーブル２１上に固定された基板収納容
器３は、ロードポートに押し付けられてもスライドテー
ブル２１上の所定位置からずれたり傾いたりすることが
ない。

【００２９】スライドテーブル２１によって基板収納容
器３をロードポートにドッキングさせたら、蓋部材４で
ドア３ａを受け支える体勢をつくる（図７参照）。そう
したら、駆動シリンダ１４により第１揺動アーム８を揺
動させ、基板収納容器３からドア３ａを取り外し、開口
させる（図８参照）。このとき、図１１に示すように、
支点Ｂを中心に揺動する第２揺動アーム９が、支点Ａを
中心に揺動する第１揺動アーム８との平行を保ちながら
揺動し、４つの頂点（つまりブラケット１０〜１３上の
揺動支点）からなる四辺形が常に平行四辺形であること
から、ドア３ａおよび蓋部材４は平行に保たれながら移
動する。ドア３ａをロードポートの内壁に干渉しない位
置まで移動させたら、駆動シリンダ４を停止させ、今度
は上下スライダ７を駆動して平行リンク機構５ごとこれ
らドア３ａと蓋部材４を下方に逃がす（図９参照）。こ
れにより基板収納容器３およびロードポートの開口部か
らドア３ａおよび蓋部材４が退避することから、基板収
納容器３内の基板２をロードポートへと搬送することが
可能となる。

【００３０】また、基板収納容器３から所定の基板２を
取り出す作業を終えたら以上と逆の動作、すなわち、上
下スライダ７を駆動してドア３ａと蓋部材４を上方に移
動させ、続いて駆動シリンダ１４を駆動し、ドア３ａと
蓋部材４を元の位置に戻して開口部を閉じる動作を行
う。

【００３１】なお、上述の実施形態は本発明の好適な実
施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能で
ある。例えば、本実施形態では、対向する節の長さが等
しい四節からなり、平行四辺形を維持しながら回転運動
する平行リンク機構について説明したが、本明細書でい
う平行リンク機構はこのようなものに限られない。例示
すれば、基板収納容器３あるいはロードポートの開口部
の近傍において平行と近似しうる動作が可能であれば、
例えば第１揺動アーム８と第２揺動アーム９とが平行だ
が長さが異なる台形のようなリンク機構を適用すること
も可能である。この場合、ドア３ａおよび蓋部材４は開
口部から離れるに従い傾きを増すであろうが、これらを
基板収納容器３や蓋部材４に嵌め込みまたは外す動作を
行うときの前後の僅かな間において鉛直になってさえい
れば、本実施形態と同様、剛性を確保しつつ基板収納容
器３とドア３ａとの干渉領域を小さくすることが可能で
ある。

【００３２】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、請求項
１記載の基板搬送装置における蓋部材開閉装置による
と、揺動機構を利用した場合に比べて基板収納容器本体
とドアとの干渉領域を小さくすることが可能となる。し
かも、平行リンク機構を利用していることから、蓋部材
とドアとを支持しつつ開閉させるのに十分な剛性を確保
しやすい。このため、ドアを開閉する際の蓋部材位置決
めの再現性を向上させることも可能となる。

【００３３】また、請求項２記載の発明によると、蓋部
材に取り付けられたマッピングセンサを用いての基板の
位置情報検出が可能となる。この場合、マッピングセン
サの駆動機構を別途用意する必要がないことから構造を
単純化することができるし、動作数が減少することから
サイクルタイムが短縮して検出動作速度の向上が図れ
る。

【００３４】さらに請求項３記載の発明によると、平行
リンク機構によりドアを平行移動させた後、その状態の
ままで平行リンク機構を昇降させ、ドアならびに蓋部材
を基板搬送面から退避させることができる。この場合、
平行リンク機構によってドアをロードポートの内壁に当
たらない程度まで平行移動させれば足りることから平行
リンク機構の動作量が少なくて済むし、ドアの開閉に要
するスペースも少なくて済む。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す図で、基板搬送装置
における蓋部材開閉装置の主要部を側面図により表した
ものである。

【図２】第２揺動アームとその周辺の構成を示す側面図
である。

【図３】ロードポート側からみた蓋部材開閉装置の主要
部を示す図である。

【図４】基板搬送装置と蓋部材の平面図である。

【図５】蓋部材開閉装置と基板収納容器を示す側面図で
ある。

【図６】ラッチ孔等が設けられたドアの一例を示す図で
ある。

【図７】蓋部材でドアを受け支えた状態を示す側面図で
ある。

【図８】基板収納容器からドアを取り外し開口させた状
態を示す側面図である。

【図９】上下スライダを駆動して平行リンク機構ごとド
アと蓋部材を下方に逃がした状態を示す側面図である。

【図１０】基板収納容器の一例を示す斜視図である。

【図１１】蓋部材開閉装置の平行リンク機構の構成を示
す概略図である。

【図１２】従来の基板搬送装置における蓋部材開閉装置
の一例を示す概略図である。

【符号の説明】

１蓋部材開閉装置２基板３基板収納容器４蓋部材５平行リンク機構６マッピングセンサ７上下スライダ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の基板を収納可能な基板収納容器の
ドアを蓋部材により受け支えて開閉させる基板搬送装置
における蓋部材開閉装置において、上記蓋部材を開閉す
る平行リンク機構を備えてなることを特徴とする基板搬
送装置における蓋部材開閉装置。
【請求項２】上記基板収納容器内の基板の位置情報を
確認するマッピングセンサが上記蓋部材に取り付けられ
ていることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置に
おける蓋部材開閉装置。
【請求項３】上記平行リンク機構を昇降させる上下ス
ライダを備えることを特徴とする請求項１記載の基板搬
送装置における蓋部材開閉装置。