JP2019121773A

JP2019121773A - Ｅｆｅｍ及びｅｆｅｍのガス置換方法

Info

Publication number: JP2019121773A
Application number: JP2018002838A
Authority: JP
Inventors: 忠将岩本; Tadamasa Iwamoto; 淳江本; Atsushi Emoto; 拓哉工藤; Takuya Kudo
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2018-01-11
Filing date: 2018-01-11
Publication date: 2019-07-22
Anticipated expiration: 2038-01-11
Also published as: JP7106866B2

Abstract

【課題】ドアの姿勢を好適に調整し得るロードポート装置等を提供する。【解決手段】装置開口を有するフレームと、ウエハ搬送容器の蓋に着脱自在に係合し、前記蓋および前記装置開口を開閉するドアと、前記ドアに接続する可動アーム部を有しており、前記ドアが前記装置開口を塞ぐ閉止位置と、前記ドアが前記装置開口を開放する開放位置との間で、前記可動アーム部を介して前記ドアを移動させるドア駆動部と、前記ドアと前記可動アーム部との接続位置に設けられており、前記ドアの姿勢を調整するドア調整部と、を有するロードポート装置。【選択図】図３

Description

本発明は、半導体工場内において、搬送容器内からウエハを取り出すロードポート装置に関する。

半導体の製造工程では、フープ（ＦＯＵＰ）やフォスビ（ＦＯＳＢ）等と呼ばれるウエハ搬送容器を用いて、各処理装置の間のウエハの搬送が行われる。また、このようなウエハ搬送容器から処理室へウエハを搬送する際に、ロードポート装置が用いられる。ロードポート装置は、ウエハ搬送容器の蓋に係合するとともに、装置開口を開閉するドアと、ドアを駆動するドア駆動部を有する。

ロードポート装置では、ドアが確実に装置開口を閉止し、また、ドアがウエハ搬送容器の蓋に確実に係合するために、閉止位置におけるドアの姿勢が適切である必要がある。閉止位置においてドアが不適切な姿勢となることを防止する技術として、たとえば、板バネを用いてドアを支柱に固定することにより、板バネが弾性変形することによりドアの傾きを抑制する技術が提案されている。

特開２０１５−５０４１７号公報

しかし、従来のロードポート装置では、板バネが不均一に変形することにより蓋や装置開口を閉止するための力が不均一となり、確実な蓋および装置開口の開閉動作を阻害する問題が生じている。また、板バネの変形が生じるために、蓋や装置開口を閉止する際にドアから作用させる押圧力を厳密に調整することが難しくなる問題や、板バネによってドアの可動範囲が大きくなり、かえって装置が大掛かりになる問題が発生し得る。

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、ドアの姿勢を好適に調整し得るロードポート装置およびそのようなロードポート装置によるウエハ搬送容器の連結方法を提供する。

本発明に係るロードポート装置は、
装置開口を有するフレームと、
ウエハ搬送容器の蓋に着脱自在に係合し、前記蓋および前記装置開口を開閉するドアと、
前記ドアに接続する可動アーム部を有しており、前記ドアが前記装置開口を塞ぐ閉止位置と、前記ドアが前記装置開口を開放する開放位置との間で、前記可動アーム部を介して前記ドアを移動させるドア駆動部と、
前記ドアと前記可動アーム部との接続位置に設けられており、前記ドアの姿勢を調整するドア調整部と、を有する。

本発明に係るロードポート装置は、可動アーム部との接続位置に設けられるドア調整部を有しているため、ドア駆動部によってドアが適切に閉止位置に位置するように、ドアの姿勢を調整することができる。ドア調整部によってドアの姿勢を調整することにより、ドア駆動部の駆動量などでドアの姿勢を調整する場合に比べて、微妙な位置調整を行うことができる。また、ドアに近い接続位置にドア調整部が設けられているため、メンテナンス時などにおいて、ロードポート装置が取り付けられるミニエンバイロメントの内部に入らなくても、装置開口を介して外部からドアの姿勢調整を行うことができるので、本発明に係るロードポート装置はメンテナンス性に優れている。

また、例えば、前記ドア調整部が設けられる前記接続位置は、前記ドアの内面であるドア内面に配置されていてもよい。

接続位置がドア内面であることにより、ドア調整部の構造を単純化することが可能である。また、接続位置がドア内面であれば、装置開口を介して手が届きやすいため、メンテナンス性がよい。ただし、ドア調整部が設けられる接続位置は、接手等を介してドア内面から離れた位置に配置されていてもよい。

また、前記ドア調整部が設けられる前記接続位置は、前記ドア内面のうち水平方向から見て前記ドアの重心位置と重なるように配置されていてもよい。

接続位置がドアの重心位置と重なるように配置されていることにより、アーム部によるドアの支持が安定するので、ドア調整部によるドアの姿勢調整が容易になる。

また、例えば、前記ドア調整部は、前記閉止位置における前記ドアの傾きを調整する傾き調整機構を有してもよい。

ドア調整部が傾き調整機構を有することにより、ドアが閉止位置に位置した際に、適切に装置開口を閉じ、または、適切にウエハ搬送容器の蓋に係合できるように、ドアの傾きを調整することができる。

また、例えば、前記ドア調整部は、前記ドア内面と前記可動アーム部に挟まれる中継プレートを有してもよく、
前記傾き調整機構は、前記ドアと前記可動アーム部との隙間の幅を調整可能なスペーサーと、前記スペーサーを貫通しており前記スペーサーを固定する傾き調整固定ネジと、を有してもよい。

このような傾き調整機構は、ドアの傾きを容易にかつ正確に調整することが可能である。

また、例えば、前記ドア調整部は、前記閉止位置における前記ドアの位置を調整する位置調整機構を有する。

ドア調整部が位置調整機構を有することにより、ドアが閉止位置に位置した際に、適切に装置開口を閉じ、または、適切にウエハ搬送容器の蓋に係合できるように、ドアの位置を調整することができる。

また、例えば、前記ドア調整部は、前記ドア内面と前記可動アーム部に挟まれる中継プレートを有していてもよく、
前記中継プレートは、前記可動アームに対する前記ドアの相対位置移動をガイドするガイド部を有していてもよい。

このような中継プレートを有するドア駆動部は、ドアの正確な位置調整を、容易に行うことができる。また、ドア駆動部が中継プレートを有することにより、ドアの傾き調整機構も、シンプルな構成で実現できる。

本発明に係るロードポート装置によるウエハ搬送容器の連結方法は、
いずれかの上述したロードポート装置を用いて、
前記ドア調整部を駆動して前記ドアの姿勢を調整する工程と、
前記閉止位置にある前記ドアと、前記ウエハ搬送容器の前記蓋とを係合させる工程と、
前記ドア駆動部によって前記ドアを前記開放位置に位置させ、前記ウエハ搬送容器の前記蓋を開放し、前記ウエハ搬送容器と前記装置開口とを連通させる工程と、
を行う。

このようなウエハ搬送方法の連結方法によれば、ドアの姿勢が正確に調整された状態でドアの駆動が実施されるため、ウエハ搬送容器の装置開口への連結において、装置の動作エラーが生じることを防止することができる。

図１は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置において、ドアが閉止位置にある状態を示す概念図である。図２は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置において、ドアが開放位置にある状態を示す概念図である。図３は、図１に示すロードポート装置におけるドア内面周辺を表す部分拡大図である。図４は、図３に示すIV−IV線に沿う部分断面図である。図５は、図４に示すドア調整部の一部を拡大した拡大断面図である。図６は、図３に示すVI−VI線に沿う部分断面図である。

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１および図２は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置１０を表す部分断面図であり、図１は、ロードポート装置１０において、ドア３０が閉止位置Ｐ１にある状態を表しており、図２は、ドア３０が開放位置Ｐ２にある状態を表している。ロードポート装置１０は、たとえば半導体工場において、ウエハ搬送容器であるフープ７０からウエハ７４を取り出す際に、フープ７０とミニエンバイロメント８０とを接続するインターフェース装置として用いられ、内部にミニエンバイロメント８０を形成するＥＦＥＭ（イーフェム、Equipment Front End Module）の壁などに設置される。

フープ７０は、略矩形の外形上を有しており、内部に複数のウエハ７４を収容する。フープ７０の一方の側面には、ウエハ７４を取り出すための主開口（図２参照）が形成されている。フープ７０は、主開口７３を閉じるための蓋７２を有しており、フープ７０の蓋７２は、ロードポート装置１０のドア３０及びドア駆動部４０により、開閉される。なお、ロードポート装置１０のドア３０が開閉するウエハ搬送容器としてはフープ７０に限定されず、フォスビ（ＦＯＳＢ）のようなＳＥＭＩスタンダードに準拠する他のウエハ搬送容器であってもよく、ＳＥＭＩスタンダードに準拠しないウエハ搬送容器であってもよい。

図１に示すように、ロードポート装置１０は、載置台１５、フレーム２０、ドア３０、ドア駆動部４０、ドア調整部５０等を有している。図１に示すように、載置台１５にはフープ７０が載置される。載置台１５はフープ７０を載せる移動テーブル（不図示）を有しており、移動テーブルは、図１に示すようにフープ７０がフレーム２０に接触するドック位置と、フープ７０がフレーム２０から離れるアンドック位置（不図示）の間で移動する。フープ７０の蓋７２を開けて、フープ７０内のウエハ７４を取り出す場合、ロードポート装置１０は、フープ７０がフレーム２０に接触するドック位置に、移動テーブルを配置する。また、フープ７０をＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）のような搬送手段に受け渡す場合は、ロードポート装置１０は、フープ７０がフレーム２０から離れるアンドック位置に、移動テーブルを配置する。

フレーム２０は、載置台１５の端部から上方へ突出する枠状の部材であり、フープ７０が接続される貫通孔である装置開口２２を有する。装置開口２２は、フープ７０とＥＦＥＭ内に形成されるミニエンバイロメント８０との間で、ウエハ７４を移動させる際の出入口となる。

図１に示すように、ロードポート装置１０のドア３０は、装置開口２２を開閉する。ドア３０は、装置開口２２と同様か、少し大きい略平板状の外形状を有する。ドア３０において、フープ７０の蓋７２と対向する面であるドア外面３０ｂには、図６に示すような蓋係合部３１が設けられており、ドア３０は、ドック位置まで移動した移動テーブルに載置されたフープ７０の蓋７２に対して、着脱自在に係合する。ドア３０は、図１及び図２に示すように、蓋７２に係合した状態で移動することにより、蓋７２および装置開口２２を開閉する。

ロードポート装置１０のドア駆動部４０は、図１に示すようにドア３０が装置開口２２を塞ぐ閉止位置Ｐ１と、図２に示すようにドア３０が装置開口２２を開放する開放位置Ｐ２との間で、ドア３０を移動させる。ドア駆動部４０は、ドア３０に接続される可動アーム部４２を有する。可動アーム部４２はドア３０に固定されており、ドア３０と伴に移動する。

ドア駆動部４０は、可動アーム部４２を介して、ドア３０を移動させる。すなわち、図１および図２に示すように、ドア駆動部４０は、可動アーム部４２及びドア３０を上下方向に移動させる上下移動機構４６と、可動アーム部４２及びドア３０を水平方向に移動させる水平移動機構４８を有する。上下移動機構４６や、水平移動機構４８としては、所定の方向へ対象物を移動させる機構であれば特に限定されないが、たとえばエアシリンダや、モータ等が挙げられる。

図１に示すように、ドア３０が閉止位置Ｐ１にある状態から装置開口２２を開く場合、まず、ドア駆動部４０の水平移動機構４８が、ドア３０をＹ軸正方向に移動させ、ドア３０をミニエンバイロメント８０内に引きこむ。さらに、ドア駆動部４０の上下移動機構４６が、ドア３０をＺ軸負方向に移動させ、フープ７０からウエハ７４を取り出す動作の邪魔にならないように、下方の開放位置Ｐ２までドア３０を移動させる。このようにして、ドア駆動部４０は、閉止位置Ｐ１と開放位置Ｐ２との間で、ドア３０を移動させる。ただし、ドア駆動部４０としては図１及び図２に示す機構に限定されない。たとえば、ドア駆動部４０は、上下移動機構４６や、水平移動機構４８に代えて、あるいはこれらに加えて、可動アーム部４２及びドア３０を回動させる回動移動機構を有していてもよい。

図１及び図２に示すように、ドア３０と可動アーム部４２との接続位置Ｃ１には、ドア３０の姿勢を調整するドア調整部５０が設けられる。ドア調整部５０は、可動アーム部４２とドア３０との相対的な位置や傾きを変化させることにより、ドア３０の姿勢を調整する。ドア調整部５０は、特に、図１に示すような閉止位置Ｐ１にあるドア３０の姿勢を調整する。これにより、フープ７０がフレーム２０に接触するドック位置に移動テーブルが移動したにもかかわらず、ドア３０が蓋７２に係合できない係合エラーや、閉止位置Ｐ１にドア３０を移動させたにもかかわらず蓋７２や装置開口２２を塞ぐことができない閉止エラーなど、ロードポート装置１０の動作エラーを防止することができる。

図３は、ドア３０の内面であるドア内面３０ａおよびドア内面３０ａに配置されるドア調整部５０を表す部分拡大図である。ドア内面３０ａは、平板状のドア３０におけるミニエンバイロメント８０側の面であり、フープ７０の蓋７２に対向するドア外面３０の反対面である。ドア調整部５０が設けられる接続位置Ｃ１は、水平方向であるＹ軸方向から見てドア３０の重心位置３２と重なるように配置される。

ドア調整部５０は、閉止位置Ｐ１（図１）におけるドア３０の傾きを調整する傾き調整機構５１と、閉止位置Ｐ１（図１）におけるドア３０の位置を調整する位置調整機構６１とを有する。また、ドア調整部５０は、ドア内面３０ａと可動アーム部４２に挟まれる中継プレート６６を有する。図３及び図４に示すように、中継プレート６６は、連結ネジ８２、８３、８４によって可動アーム部４２に固定されている。中継プレート６６の構造については、後程詳述する。

図３に示すように、位置調整機構６１は、ドア３０に取り付けられる位置調整ネジ６３を有している。また、位置調整機構６１は、位置調整ネジ６３と、中継プレート６６と、ドア内面３０ａに形成されるガイド溝３０ａａとで構成される。ガイド溝３０ａａは、水平方向であるＸ軸方向に沿って延びており、ドア内面３０ａが向くＹ軸正方向へ向かって開口する。図３の断面図である図６に示すように、中継プレート６６は、可動アーム部４２に対するドア３０の相対位置移動をガイドするガイド部としてのガイド突起６７を有する。ガイド突起６７は、ドア内面３０ａのガイド溝３０ａａに係合する。中継プレート６６は、ガイド突起６７がガイド溝３０ａａに沿って案内されることにより、ドア３０に対して水平方向に相対移動することができる。

図３に示す位置調整ネジ６３は、ドア内面３０ａに形成されたネジ穴に螺合する位置ネジ本体６３ｂと、位置ネジ本体６３ｂに対して偏心しているカム６３ａとを有する。カム６３ａの外周面は中継プレート６６の側面に接触する。そのため、位置調整ネジ６３を回してカム６３ａを回転させることにより、カム６３ａと中継プレート６６の接触位置から位置ネジ本体６３ｂまでの距離が変化し、これに伴い、中継プレート６６および中継プレート６６に固定された可動アーム部４２と、ドア３０との相対位置が変化する。このように、位置調整機構６１は、位置調整ネジ６３を回転させることにより、ドア３０の位置調整を行う。

なお、中継プレート６６は、図３に示す２本の固定ネジ６８、６９と、２本の傾き調整ネジ５２、５６に含まれる傾き調整固定ネジ５３によってドア３０に固定されるが、これらのネジ６８、６９、５３による中継プレート６６の水平方向の固定位置については、位置調整可能な余裕が設けられている。すなわち、断面図である図４及び図５に示すように、固定ネジ６８が通る中継プレート６６の貫通孔の内径や、傾き調整固定ネジ５３が通るスペーサー５４の内径は、中を通る固定ネジ６８や傾き調整固定ネジ５３の外径に対して一定程度大きい。このようにして、中継プレート６６を介する可動アーム部４２とドア３０との固定構造は、位置調整機構６１による位置調整を可能にしている。

図３に示すように、傾き調整機構５１は、２つの傾き調整ネジ５２、５６を有する。傾き調整ネジ５２、５６は、Ｚ軸方向に沿って並んで配置されている。傾き調整機構５１は、これらの２つの傾き調整ネジ５２、５６と、中継プレート６６とで構成される。Ｘ軸方向の断面である図４に示すように、中継プレート６６は、水平方向の一方の端部（Ｘ軸正方向の端部）に配置される厚肉部６６ｂと、水平方向の他方の端部（Ｘ軸負方向の端部）に配置されており、厚肉部６６ｂより厚さの薄い薄肉部６６ａとを有する。

厚肉部６６ｂには、固定ネジ６８が通る貫通孔が形成されており、厚肉部６６ｂはドア内面３０ａに接触する。これに対して、傾き調整ネジ５２、５６が螺合するねじ溝付き貫通孔が形成される薄肉部６６ａには、ドア内面３０ａとの対向面に切り欠きが形成されており、図４及び図５に示すように、薄肉部６６ａとドア内面３０ａとの間には隙間Ｇ１が形成されている。

図５に示すように、傾き調整ネジ５２は、ネジ溝付きスリーブで構成されるスペーサー５４と、傾き調整固定ネジ５３と、押さえネジ５５とを有する。スペーサー５４の軸の外周にはネジ溝（オネジ）が形成されており、スペーサー５４は、中継プレート６６の薄肉部６６ａに形成されるネジ溝付き貫通孔６６ａａ（メネジ）に螺合している。スペーサー５４は薄肉部６６ａを貫通しており、スペーサー５４の先端は、ドア内面３０ａに接触する。スペーサー５４の中継プレート６６に対するネジ込み量を調整することで、スペーサー５４が中継プレート６６からドア内面３０ａ側（Ｙ軸負方向側）へ突出する突出量が変化する。これにより、スペーサー５４は、ドア３０と中継プレート６６との間の隙間Ｇ１の幅を調整し、可動アーム部４２に対するドア３０の傾きを調整する。

図５に示すように、傾き調整固定ネジ５３の軸部はスペーサー５４の内部を貫通しており、傾き調整固定ネジ５３の先端は、ドア内面３０ａに形成されるネジ穴に螺合する。傾き調整固定ネジ５３は、スペーサー５４および中継プレート６６を、ドア３０に固定する。押さえネジ５５は、スペーサー５４の外周に形成されたネジ溝に螺合されており、スペーサー５４および傾き調整固定ネジ５３の緩みを防止する。

図３に示す傾き調整ネジ５６も、図４及び図５に示す傾き調整ネジ５２と同様の構造を有する。

以下に、ドア調整部５０によるドア３０の姿勢の調整方法について説明する。ドア３０の姿勢の調整は、ロードポート装置１０をＥＦＥＭへ組付けた際や、ロードポート装置１０のメンテナンスの際に実施される。ドア３０の姿勢の調整は、図２に示すようにドア３０を開放位置Ｐ２に配置するか、又は、ドア３０を閉止位置Ｐ１と開放位置Ｐ２の間の位置に配置して行われる。また、調整は、フープ７０が載置台１５に載置されていない状態で行われる。

ドア３０の姿勢の調整は、作業者による人為的な操作によって行うことができる。ドア調整部５０は、ドア３０と可動アーム部４２との接続位置Ｃ１に設けられているため、たとえばドア駆動部４０の内部に調整機構が配置されるような場合に比べて、作業者は、ドア３０の姿勢の調整を容易に行うことができる。

ドア３０の位置調整と傾き調整の両方を行う場合は、まず、図３に示す固定ネジ６８、６９及び傾き調整ネジ５２、５６（傾き調整ネジの傾き調整固定ネジ５３）を緩め、中継プレート６６の固定を解除する。次に、位置調整機構６１の位置調整ネジ６３を回転させることにより、中継プレート６６および中継プレート６６に固定される可動アーム部４２と、ドア３０との相対位置を変化させ、ドア３０の位置調整を行う。ドア３０の位置が決まったら、位置調整ネジ６３および固定ネジ６８、６９を締め、中継プレート６６とドア３０とを固定する。なお、可動アーム部４２の駆動位置は、上下移動機構４６や水平移動機構４８により決定されるので、可動アーム部４２とドア３０との相対位置を調整することで、閉止位置Ｐ１におけるドア３０の位置を調整できる。

上述した位置調整の次に、ドア３０の傾き調整を行う。ドア３０の傾き調整では、図３に示す傾き調整ネジ５２、５６におけるスペーサー５４を回転させ、図５に示すように、スペーサー５４の中継プレート６６のネジ込み量を調整することにより、ドア３０と中継プレート６６との間の隙間Ｇ１の幅を調整し、ドア３０の傾きを調整する。ドア３０の姿勢が決まったら、押さえネジ５５および傾き調整固定ネジ５３を締めて、調整を完了する。なお、ドア３０の傾き調整の間、図３に示す２つの固定ネジ６８、６９は緩めなくてもよい。

このようなドア調整部５０を有するロードポート装置は、ドア３０の姿勢を好適に調整することができるため、ドア３０が蓋７２に係合できない係合エラーや、閉止位置Ｐ１にドア３０を移動させたにもかかわらず蓋７２や装置開口２２を塞ぐことができない閉止エラーなど、ロードポート装置１０の動作エラーを防止することができる。また、ドア調整部５０は、傾き調整機構５１や位置調整機構６１により、精度良くドア３０の姿勢を調整することができる。

さらに、ドア調整部５０は、図３〜図５に示す中継プレート６６により、精度良く、かつ容易にドア３０の姿勢を調整することができるため、ロードポート装置１０はメンテナンス性に優れている。

以上、本発明に係るロードポート装置について、実施形態を挙げて説明したが、本発明は上述した実施形態のみに限定されず、他の実施形態を含むことは言うまでもない。たとえば、他の実施形態に係るロードポート装置は、ドア調整部が図３に示す傾き調整ネジ５２、５６を駆動する調整駆動部を有しており、ドア３０の姿勢を自動的に調整する。調整駆動部は、たとえば図５に示すスペーサー５４や傾き調整固定ネジ５３を回転させるモータ等を有する。このようなロードポート装置の制御部は、たとえば図１に示す載置台１５に載置されたフープ７０における蓋７２の傾きを、検出センサにより検出し、検出センサの検出結果に基づき調整駆動部を駆動し、ドア３０が閉止位置Ｐ１において蓋７２に係合できるように、ドア３０の傾きを調整する。

たとえば、ドア調整部が調整駆動部を有するロードポート装置は、制御部がドア調整部を駆動してドア３０の姿勢を調整する工程と、図１に示すように、閉止位置Ｐ１にあるドア３０と、フープ７０の蓋７２とを係合させる工程と、図２に示すように、ドア駆動部４０によってドア３０を開放位置Ｐ２に位置させ、フープ７０の蓋７２を開放し、フープ７０と装置開口２２とを連通させる工程とを有する。このようなロードポート装置１０は、載置されるフープ７０の蓋７２が、若干傾いて取り付けられているような場合であっても、ドア３０が蓋７２に係合できない係合エラーなどが発生することを防止できる。

１０…ロードポート装置
１５…載置台
２０…フレーム
２２…装置開口
３０…ドア
３０ａ…ドア内面
３０ｂ…ドア外面
３０ａａ…ガイド溝
３１…蓋係合部
３２…重心位置
４０…ドア駆動部
４２…可動アーム部
４６…上下移動機構
４８…水平移動機構
５０…ドア調整部
５１…傾き調整機構
５２、５６…傾き調整ネジ
５３…傾き調整固定ネジ
５４…スペーサー
５５…押さえネジ
６１…位置調整機構
６３…位置調整ネジ
６３ａ…カム
６３ｂ…位置ネジ本体
６６…中継プレート
６６ａ…薄肉部
６６ａａ…ネジ溝付き貫通孔
６７…ガイド突起
６８、６９…固定ネジ
７０…フープ
７２…蓋
７３…主開口
７４…ウエハ
８０…ミニエンバイロメント
８２、８３、８４…連結ネジ
Ｐ１…閉止位置
Ｐ２…開放位置
Ｃ１…接続位置
Ｇ１…隙間

Claims

装置開口を有するフレームと、
ウエハ搬送容器の蓋に着脱自在に係合し、前記蓋および前記装置開口を開閉するドアと、
前記ドアに接続する可動アーム部を有しており、前記ドアが前記装置開口を塞ぐ閉止位置と、前記ドアが前記装置開口を開放する開放位置との間で、前記可動アーム部を介して前記ドアを移動させるドア駆動部と、
前記ドアと前記可動アーム部との接続位置に設けられており、前記ドアの姿勢を調整するドア調整部と、を有するロードポート装置。
前記ドア調整部が設けられる前記接続位置は、前記ドアの内面であるドア内面に配置される請求項１に記載のロードポート装置。
前記ドア調整部が設けられる前記接続位置は、前記ドア内面のうち水平方向から見て前記ドアの重心位置と重なるように配置されている請求項２に記載のロードポート装置。
前記ドア調整部は、前記閉止位置における前記ドアの傾きを調整する傾き調整機構を有する請求項１から請求項３までのいずれかに記載のロードポート装置。
前記ドア調整部は、前記ドア内面と前記可動アーム部に挟まれる中継プレートを有しており、
前記傾き調整機構は、前記ドアと前記中継プレートとの隙間の幅を調整可能なスペーサーと、前記スペーサーを貫通しており前記スペーサーを固定する傾き調整固定ネジと、を有する請求項４に記載のロードポート装置。
前記ドア調整部は、前記閉止位置における前記ドアの位置を調整する位置調整機構を有する請求項１から請求項５までのいずれかに記載のロードポート装置。
前記ドア調整部は、前記ドア内面と前記可動アーム部に挟まれる中継プレートを有しており、
前記中継プレートは、前記可動アームに対する前記ドアの相対位置移動をガイドするガイド部を有する請求項１から請求項６までのいずれかに記載のロードポート装置。
請求項１に記載のロードポート装置によるウエハ搬送容器の連結方法であって、
前記ドア調整部を駆動して前記ドアの姿勢を調整する工程と、
前記閉止位置にある前記ドアと、前記ウエハ搬送容器の前記蓋とを係合させる工程と、
前記ドア駆動部によって前記ドアを前記開放位置に位置させ、前記ウエハ搬送容器の前記蓋を開放し、前記ウエハ搬送容器と前記装置開口とを連通させる工程と、
を有するロードポート装置によるウエハ搬送容器の連結方法。