JP2003092323A - ロードポート装置及びこの装置と上位装置との取り付け機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ロードポート装置と上位装置とを容易に安全
に取り付けることができるロードポート装置及びこの装
置と上位装置との取り付け機構を提供する。 【解決手段】 本発明のロードポート装置３０は、処理
部２０にロードポート本体３２を吊り下げ支持する支持
機構としての回転調整板８１及び前後調整板８７を、ロ
ードポート本体３２の上部に設けているので、ロードポ
ート本体３２の上部に設けられた前記支持機構により処
理部２０の支持ピン７７にロードポート本体３２を吊り
下げ支持させた状態で、装置３０を処理部２０に取り付
ければ良く、容易に装置３０を処理部２０に取り付ける
ことができ、装置３０を処理部２０に吊り下げ支持させ
た状態では、装置３０が転倒防止に支持されており、取
り付け作業の安全性を確保できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハなど
の基板を多段に収容するカセット内部と上位装置との間
の基板搬送経路を提供して、カセット内部への基板の搬
入および／又はカセット内部からの基板の搬出を可能に
するロードポート装置及びこの装置と上位装置との取り
付け機構に係り、特に、ロードポート装置と上位装置と
を容易に安全に取り付けるための技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイス製造等の製造工程では、
高度クリーン環境が必要とされている。近年では、工場
全体をクリーンルーム化するのではなく、製品の周辺環
境のみをクリーンな状態にするという局所クリーン空間
手法が用いられている。簡単に説明すると、工程内のそ
れぞれの装置内部のみをクリーン環境とし、各装置どう
しの間での基板（半導体ウエハなど）の運搬及び保管
を、内部をクリーンにした、半導体ウエハなどの基板Ｗ
を多段に収容する容器（カセットと称される）を用いて
行なうというものである。このカセットは、開口を有す
る容器本体と、この容器本体の開口を閉塞する蓋とから
構成されている。なお、容器本体の前側に開口が形成さ
れたカセットは、特に、ＦＯＵＰ（Front Open Unified
Pod ）と呼ばれている。

【０００３】カセット内の基板を半導体ウエハ処理装置
等の上位装置に移送する（ロードする）場合は、ロード
ポート装置と呼ばれる装置が用いられる。このロードポ
ート装置は、上位装置に着脱自在に取り付けられる装置
であり、通常、カセットを載置するテーブルと、カセッ
トの蓋を自動で開ける機構とを有している。ロードポー
ト装置は、外界に対して密閉状態を保ったままカセット
を上位装置内のクリーン空間へ開いて、カセット内の基
板を上位装置に移送することができるものである。

【０００４】例えば、ロードポート装置の故障時に、上
位装置を停止してこのロードポート装置のメンテナンス
を行なっていると製造工程のダウンタイムが長くなり、
効率が悪いので、ロードポート装置は、故障時にはロー
ドポート装置自体を交換できるように、上位装置に対し
て着脱される別ユニットとして構成されている。

【０００５】従来、ロードポート装置を上位装置に取り
付ける際には、ロードポート装置をリフターに載せて運
搬して、上位装置に近づけ、この上位装置の前面側下部
に上方向に突出するように設けられた球状の支持部に、
ロードポート装置の底部の半球状の凹部を載せるように
して、ロードポート装置を上位装置に仮置きするととも
に、作業者はロードポート装置が倒れないように支持す
る。そして、作業者はロードポート装置を支持しながら
このロードポート装置を上位装置に対して所定の姿勢状
態となるように調整し、この調整された最終状態を維持
するようにボルトなどの締結部材でもってロードポート
装置を上位装置に固定している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、従来のロードポート装置では、上位装
置の前面側下部に上方向に突出するように設けられた球
状の支持部に、ロードポート装置の底部の半球状の凹部
を載せるようにして、ロードポート装置を上位装置に仮
置きしなければならないが、上位装置の球状の支持部と
ロードポート装置の底部の半球状の凹部との嵌合を目視
確認しながら行なうことができないので、ロードポート
装置を上位装置に取り付けにくいという問題がある。ま
た、ロードポート装置を上位装置の球状の支持部に仮置
きしているだけでので、作業者はロードポート装置が倒
れないように支持する必要があり、ロードポート装置は
非常に不安定であり、取り付け作業の安全性を確保でき
ないという問題がある。

【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、ロードポート装置と上位装置とを容易
に安全に取り付けることができるロードポート装置及び
この装置と上位装置との取り付け機構を提供することを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、基板に所要の処理を施す
ための上位装置に取り付けられ、複数枚の基板を多段に
収容するカセットが載置される載置部を備えたロードポ
ート本体を有し、前記載置部に載置されたカセット内部
と前記上位装置との間の基板搬送経路を提供するロード
ポート装置において、前記上位装置に前記ロードポート
本体を吊り下げ支持するための支持機構を前記ロードポ
ート本体の上部に設けたことを特徴とするものである。

【０００９】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のロードポート装置において、前記支持機構は、
前記上位装置に設けられた部材と協働して前記ロードポ
ート本体を吊り下げ支持する嵌合部材であることを特徴
とするものである。

【００１０】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
または請求項２に記載のロードポート装置において、前
記支持機構は、前記ロードポート本体を揺動変位可能に
吊り下げ支持することを特徴とするものである。

【００１１】また、請求項４に記載の発明は、請求項１
から請求項３のいずれかに記載のロードポート装置にお
いて、前記支持機構は、前記ロードポート本体を吊り下
げ支持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾
きを調整する前後方向傾き調整手段を備えていることを
特徴とするものである。

【００１２】また、請求項５に記載の発明は、請求項１
から請求項４のいずれかに記載のロードポート装置にお
いて、前記支持機構は、前記ロードポート本体を吊り下
げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点
周りに揺動変位調整する吊り下げ支点周り調整手段を備
えていることを特徴とするものである。

【００１３】また、請求項６に記載の発明は、複数枚の
基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備
えたロードポート本体を有し、この載置部に載置された
カセットに対して基板の搬入・搬出を行なうロードポー
ト装置と、前記上位装置とを取り付ける取り付け機構で
あって、前記ロードポート本体の上部と前記上位装置の
所定部位とに、前記上位装置に前記ロードポート本体を
吊り下げ支持するための支持手段を設け、前記支持手段
により前記ロードポート本体が前記上位装置に支持され
ている状態で前記ロードポート装置を前記上位装置に取
り付けることを特徴とするものである。

【００１４】また、請求項７に記載の発明は、請求項６
に記載のロードポート装置と上位装置との取り付け機構
において、前記支持手段は、前記上位装置に設けられた
部材と、これと協働して前記ロードポート本体を吊り下
げ支持する嵌合部材とからなることを特徴とするもので
ある。

【００１５】また、請求項８に記載の発明は、請求項６
または請求項７に記載のロードポート装置と上位装置と
の取り付け機構において、前記支持手段は、前記ロード
ポート本体を揺動変位可能に吊り下げ支持することを特
徴とするものである。

【００１６】また、請求項９に記載の発明は、請求項６
から請求項８のいずれかに記載のロードポート装置と上
位装置との取り付け機構において、前記支持手段は、前
記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロー
ドポート本体の前後方向の傾きを調整する前後方向傾き
調整手段を備えていることを特徴とするものである。

【００１７】また、請求項１０に記載の発明は、請求項
６から請求項９のいずれかに記載のロードポート装置と
上位装置との取り付け機構において、前記支持手段は、
前記ロードポート本体を吊り下げ支持した状態でこのロ
ードポート本体を吊り下げ支点周りに揺動変位調整する
吊り下げ支点周り調整手段を備えていることを特徴とす
るものである。

【００１８】

【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。ロードポート装置は、基板に所要の処理を施すため
の上位装置に取り付けられるものであり、複数枚の基板
を多段に収容するカセットが載置される載置部を備えた
ロードポート本体を有し、この載置部に載置されたカセ
ット内部と上位装置との間の基板搬送経路を提供するも
のである。さらに、このロードポート装置は、上位装置
にロードポート本体を吊り下げ支持するための支持機構
をこのロードポート本体の上部に備えている。

【００１９】したがって、ロードポート装置の上位装置
との取り付けの際には、ロードポート本体の上部に設け
られた支持機構により上位装置にロードポート本体を吊
り下げ支持させた状態で、ロードポート装置を上位装置
に取り付ければ良いので、容易にロードポート装置を上
位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポー
ト装置が上位装置に吊り下げ支持されるので、ロードポ
ート装置が倒れないように支持されており、取り付け作
業の安全性が確保される。

【００２０】また、請求項２に記載の発明によれば、支
持機構は、上位装置に設けられた部材と協働してロード
ポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材としている。し
たがって、ロードポート装置の上位装置との取り付けの
際には、ロードポート本体の上部に設けられた嵌合部材
を上位装置の対応する部材に嵌合させることで、上位装
置にロードポート本体を吊り下げ支持させているので、
ロードポート装置と上位装置との嵌合を目視確認しなが
ら行なえ、上位装置に吊り下げ支持された状態でロード
ポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロー
ドポート装置を上位装置に取り付けることができる。さ
らに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支持されるの
で、ロードポート装置が倒れないように支持されてお
り、取り付け作業の安全性が確保される。

【００２１】また、請求項３に記載の発明によれば、支
持機構は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ
支持している。したがって、ロードポート本体を上位装
置に対して所望の姿勢状態に変位調整することができ
る。

【００２２】また、請求項４に記載の発明によれば、前
後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支
持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを
調整する。したがって、ロードポート本体の前後方向の
傾きが好適に調整される。

【００２３】また、請求項５に記載の発明によれば、吊
り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り下
げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点
周りに揺動変位調整する。したがって、ロードポート本
体を吊り下げ支点周りに揺動変位させた所望の姿勢に調
整することができる。

【００２４】また、請求項６に記載の発明によれば、複
数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置
部を備えたロードポート本体を有し、基板に所要の処理
を施すための上位装置とカセット内部との間の基板搬送
経路を提供するロードポート装置と、基板に所要の処理
を施すための上位装置とを取り付ける取り付け機構は、
ロードポート本体の上部と上位装置の所定部位とに、上
位装置にロードポート本体を吊り下げ支持するための支
持手段を設け、支持手段によりロードポート本体が上位
装置に支持されている状態でロードポート装置を上位装
置に取り付ける。

【００２５】したがって、ロードポート装置の上位装置
との取り付けの際には、支持手段によりロードポート本
体を上位装置に支持させて、ロードポート装置を上位装
置に取り付ければ良いので、容易にロードポート装置を
上位装置に取り付けることができる。さらに、ロードポ
ート装置が上位装置に吊り下げ支持されるので、ロード
ポート装置が倒れないように支持されており、取り付け
作業の安全性が確保される。

【００２６】また、請求項７に記載の発明によれば、支
持手段は、上位装置に設けられた部材と、これと協働し
てロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材とから
なる。したがって、ロードポート装置の上位装置との取
り付けの際には、ロードポート本体の上部に設けられた
嵌合部材を上位装置の対応する部材に嵌合させること
で、上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させて
いるので、ロードポート装置と上位装置との嵌合を目視
確認しながら行なえ、上位装置に吊り下げ支持された状
態でロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、
容易にロードポート装置を上位装置に取り付けることが
できる。さらに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支
持されるので、ロードポート装置が倒れないように支持
されており、取り付け作業の安全性が確保される。

【００２７】また、請求項８に記載の発明によれば、支
持手段は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ
支持する。したがって、ロードポート本体を上位装置に
対して所望の姿勢状態に変位調整することができる。

【００２８】また、請求項９に記載の発明によれば、前
後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支
持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを
調整する。したがって、ロードポート本体の前後方向の
傾きが好適に調整される。

【００２９】また、請求項１０に記載の発明によれば、
吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り
下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支
点周りに揺動変位調整する。したがって、ロードポート
本体を吊り下げ支点周りに好適に調整することができ
る。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を説明する。図１は本発明の一実施例に係る基板処
理装置の全体構成を示した側面図、図２はその平面図、
図３はその斜視図である。

【００３１】この基板処理装置は、大きく分けて、半導
体ウエハなどの基板Ｗに所要の処理を施す上位装置とし
ての処理部２０と、この処理部２０に並設され、複数枚
の基板Ｗを収容するカセットＣに対して基板Ｗの搬入・
搬出を行なうロードポート装置３０とから構成されてい
る。処理部２０は、例えば、基板Ｗにフォトレジスト剤
を回転塗布する塗布処理部２１、基板Ｗの現像処理を行
なう現像処理部２２、基板Ｗに熱処理を施す熱処理部２
３、ロードポート装置３０から受け取った基板Ｗを各処
理部２１，２２，２３に搬送するとともに、処理済の基
板Ｗをロードポート装置３０へ渡す基板移送ロボット２
４などを備えている。処理部２０には、フォトレジスト
剤が塗布された基板Ｗに回路パターンなどを露光する露
光装置２５が並設される。

【００３２】ロードポート装置３０は、処理部２０の前
面側に複数個（例えば４個）並設されている。各ロード
ポート装置３０は、カセットＣを位置決め載置する載置
部３１を備えたロードポート本体３２を有している。こ
のように、各ロードポート装置３０を処理部２０の前面
側に複数個（例えば４個）並設していることで、複数個
のカセットＣは一定間隔に並べられて位置決め載置され
ている。この載置部３１と処理部２０との間は、ロード
ポート本体３２によって雰囲気遮断されている。ロード
ポート本体３２には、基板Ｗを通過させる複数個の通過
口３２ａが載置部３１上のカセットＣと対向するように
開けられている。ロードポート本体３２の通過口３２ａ
にはシャッター部材３３が取り付けられている。ロード
ポート本体３２は、シャッター部材３３を駆動するシャ
ッター駆動機構３４を備えている。このシャッター部材
３３は、シャッター駆動機構３４で駆動されることによ
り、通過口３２ａを閉塞する位置と通過口３２ａを開放
する退避位置とにわたって昇降移動する。

【００３３】処理部２０には、ロードポート本体３２を
挟んで載置部３１と対向するように、各カセットＣに対
して基板Ｗを搬入・搬出する基板搬送機構３５が設けら
れている。この基板搬送機構３５は、カセットＣから未
処理の基板Ｗを一枚ずつ取り出して処理部２０の基板移
送ロボット２４に渡すとともに、処理済の基板Ｗを基板
移送ロボット２４から受け取ってカセットＣに搬入す
る。さらに、ロードポート装置３０は、後に詳しく説明
するように、シャッター部材３３の昇降移動に連動して
カセットＣ内の基板Ｗの有無を検出する基板検出器５２
（図６参照）などを備えている。

【００３４】以下、ロードポート装置３０の各部の構成
を、図４〜図９を用いて詳しく説明する。図４はロード
ポート装置３０の概略構成を示す外観斜視図、図５はそ
の正面図、図６はその側面図である。図７はロードポー
ト装置３０の要部構成を示す一部破断側面図である。図
８はカセットの斜視図である。図９はシャッター部材の
斜視図である。

【００３５】載置部３１には、各カセットＣを位置決め
載置するための載置テーブル３６があり、各載置テーブ
ル３６はモータ３７で駆動されるネジ送り機構３８に連
結されている。後退位置にある載置テーブル３６にカセ
ットＣがセットされると、載置テーブル３６が前進移動
（処理部２０の方に移動）して、カセットＣがロードポ
ート本体３２の通過口３２ａに対向する。

【００３６】カセットＣは、図８に示すように、複数枚
の基板Ｗを一定間隔で多段に収納する容器Ｃａと、この
容器Ｃａの開口Ｃａ1 を閉塞する蓋ＣｂとからなるＦＯ
ＵＰ（Front Open Unified Pod) である。容器Ｃａの内
壁面には基板Ｗの両端部を支持する溝Ｃａ2 が一定間隔
で形成されている。蓋Ｃｂの内部には、内側面にラック
が刻まれた一対のスライド部材Ｃｂ1 が収納されてお
り、各スライド部材Ｃｂ1 の先端には係止ピンＣｂ2 が
形成されている。スライド部材Ｃｂ1 は、同じく蓋Ｃｂ
に内蔵されたピニオンＣｂ3 にそれぞれ噛み合い、この
ピニオンＣｂ3 が正逆に回転することにより、スライド
部材Ｃｂ1 が上下に変位して、係止ピンＣｂ2 が蓋Ｃｂ
の上下端面で出没するようになっている。容器Ｃａの開
口Ｃａ1 の上下面には、蓋Ｃｂの係止ピンＣｂ2 に嵌合
する小孔Ｃａ3 が形成されている。蓋Ｃｂが容器Ｃａの
開口Ｃａ1 に嵌め込まれた後、係止ピンＣｂ2 が突出し
て小孔Ｃａ3 に嵌合することにより、容器Ｃａが蓋Ｃｂ
で閉塞された状態になる。

【００３７】図７および図９を参照して、シャッター部
材３３およびシャッター駆動機構３４の構成を説明す
る。シャッター部材３３は、ロードポート本体３２の通
過口３２ａに嵌まり合うような矩形状に形成されてい
る。このシャッター部材３３は、カセットＣの蓋Ｃｂを
脱着する脱着機構３９を備えている。具体的には、脱着
機構３９は、シャッター部材３３の一方面（カセットＣ
側の面）に突出して設けられた回動自在の連結ピン４０
と、この連結ピン４０を回動するためにシャッター部材
３３に内蔵されたモータ（図示せず）などで構成されて
いる。

【００３８】シャッター部材３３は、アーム４１を介し
てシャッター駆動機構３４に連結されている。シャッタ
ー駆動機構３４は、支点Ｐ周りに揺動自在のベースプレ
ート４２を備えている。このベースプレート４２にロッ
ドレスシリンダ４３が搭載されており、ロッドレスシリ
ンダ４３の摺動子４３ａがアーム４１の基端部に連結さ
れている。また、ベースプレート４２にはリニアスケー
ル４４が搭載されており、このリニアスケール４４の目
盛りをアーム４１の下端部に取り付けられた反射型の光
センサ４５で検出することにより、シャッター部材３３
と連動して昇降する基板検出器５２（これについては後
述する）の位置を把握するようになっている。ベースプ
レート４２はエアーシリンダ４６によって揺動駆動され
る。

【００３９】図７を参照して、基板搬送機構３５の構成
を説明する。基板搬送機構３５は、基板Ｗを載置支持す
る支持アーム４７と、この支持アーム４７を水平１方向
（Ｘ方向）に前後進させるＸ駆動機構４８と、支持アー
ム４７を水平面内で旋回移動させる旋回駆動機構４９
と、支持アーム４７を昇降させるＺ駆動機構５０と、支
持アーム４７を複数個のカセットＣの配列方向（Ｙ方
向）に移動させるＹ駆動機構５１とを備えている。

【００４０】次に、図６に示すように、シャッター部材
３３の後方には、カセットＣ内の基板Ｗの有無を検出す
るための基板検出器５２が設けられている。シャッター
部材３３によりカセットＣの蓋Ｃｂが開かれると、基板
検出器５２がカセットＣ内の基板Ｗを検出する位置に挿
入され、基板検出器５２がシャッター部材３３と連動し
て昇降していき、基板検出器５２によりカセットＣ内の
基板Ｗの有無が検出される。具体的には、この基板検出
器５２は、カセットＣ内の基板Ｗの前端部をほぼ水平に
（好ましくは若干傾斜して）挟み込むように対向配置さ
れた光照射手段と光検知手段とを備えている。光照射手
段から光検知手段への光路中に基板Ｗがある場合、すな
わち、光照射手段と光検知手段との間に基板Ｗがある場
合には、光照射手段から照射された光は基板Ｗによって
遮断され、光検知手段での受光量は低減される。また、
光照射手段と光検知手段との間に基板Ｗがない場合に
は、光照射手段から照射された光は基板Ｗにより遮断さ
れることなく光検知手段に到達し、所定の受光量で検出
される。このように、基板検出器５２を昇降させてい
き、光照射手段から照射された光の受光量の変化を光検
知手段で検知することで、基板Ｗの有無を検知できるよ
うになっている。

【００４１】上述のロードポート装置３０は、処理部２
０に対して着脱自在に構成されている。以下に、ロード
ポート装置３０と処理部２０との取り付け機構につい
て、図１０〜図１４を用いて説明する。図１０はロード
ポート装置３０を処理部２０に取り付けた状態を示す概
略斜視図、図１１はロードポート装置３０を処理部２０
に取り付ける様子を説明するための分解斜視図、図１２
はロードポート装置３０と処理部２０との嵌合機構の外
観形状を示す概略斜視図、図１３はロードポート装置３
０の処理部２０に対する取り付け姿勢を調整するための
機構を示す断面図、図１４はロードポート装置３０の処
理部２０に対する取り付け姿勢を調整するための機構を
示す一部切欠き正面図である。

【００４２】まず、処理部２０側について説明する。図
１１に示すように、処理部２０におけるロードポート装
置３０の上部に相当する所定位置には、長板形状の位置
決めベース７１がその長手方向をＹ方向になるようにボ
ルト７３などの締結部材によって固定されて取り付けら
れている。この位置決めベース７１には、２個の植え込
みボルト７５がＹ方向に間隔を空けて配置されていると
ともにＸ方向にロードポート装置３０側に突き出るよう
にして植え込まれている。さらに、この位置決めベース
７１の中央部分には、Ｘ方向にロードポート装置３０側
に突き出た支持ピン７７が設けられている。この支持ピ
ン７７は、図１２に示すように、例えば、先端部７７ａ
が先細りの円錐形状で、胴体部７７ｂが円柱形状のもの
である。

【００４３】また、図１１に示すように、処理部２０に
おけるロードポート装置３０の下部に相当する所定位置
には、２個の植え込みボルト７９がＹ方向に間隔を空け
て配置されているとともにＸ方向にロードポート装置３
０側に突き出るようにして設けられている。

【００４４】続いて、ロードポート装置３０側について
説明する。図１０に示すように、ロードポート装置３０
のロードポート本体３２の上部には、略Ｌ字形状の回転
調整板８１が例えばボルト８２などの締結部材によって
取り付けられている。回転調整板８１の上下方向（Ｚ方
向）に略平行な面には、例えば、上下方向（Ｚ方向）に
長い長孔８３がＹ方向に複数個（例えば４個）並べるよ
うにして形成されている。これらの長孔８３それぞれに
挿入されたボルト８５を、長板形状の前後調整板８７に
形成されたネジ孔に螺入して締結することで、この前後
調整板８７を回転調整板８１に固定している。

【００４５】さらに、この前後調整板８７の両端側に
は、図１１に示すように、処理部２０の位置決めベース
７１のＸ方向に突き出た植え込みボルト７５に遊嵌させ
るための貫通孔８９が形成されている。なお、この前後
調整板８７は、前後面の真直度・平面度は十分に確保さ
れたものである。前後調整板８７を２個のローレットナ
ット９１で挟むようにするために、処理部２０の位置決
めベース７１の植え込みボルト７５に一方のローレット
ナット９１を螺入しておいてから、植え込みボルト７５
に前後調整板８７の両端側の貫通孔８９を挿入させて、
この植え込みボルト７５に他方のローレットナット９１
を螺入するようにしている。このローレットナット９１
は、外周にローレット加工、内径部分に雌ネジ加工、両
端面に雌ネジに対して直角に加工したものである。

【００４６】図１２に示すように、前後調整板８７の中
央には、処理部２０の位置決めベース７１に設けられた
支持ピン７７に嵌合させるための円形の嵌合孔９３が形
成されている。さらに、回転調整板８１の上下方向（Ｚ
方向）に略平行な面の中央には、処理部２０の支持ピン
７７が挿入可能な、上下方向（Ｚ方向）に長い長孔９５
が形成されている。そして、前後調整板８７の嵌合孔９
３の上半円が回転調整板８１の長孔９５の開口の上側の
半円に位置するようにして、前後調整板８７と回転調整
板８１とが前述の４本のボルト８５により結合されてい
る。処理部２０の位置決めベース７１の支持ピン７７
は、前後調整板８７の嵌合孔９３と回転調整板８１の長
孔９５とに同時に挿入される。処理部２０の支持ピン７
７が回転調整板８１の長孔９５に挿入された状態では、
回転調整板８１の長孔９５の開口上側の半円に処理部２
０の支持ピン７７の上側の半円が当接するとともに、図
１４に示すように、回転調整板８１のＸ，Ｙ方向に略平
行な面である折れ曲がり部９７に、位置決めベース７１
の上部にＹ方向に間隔を空けて設けられた２個の上下調
整ボルト９９の少なくとも一方の上下調整ボルト９９の
ボルト頭が当接するようになっている。回転調整板８１
の長孔９５と前後調整板８７の嵌合孔９３とで形成され
るロードポート本体３２の嵌合孔は、ロードポート装置
３０の重心の鉛直線上から若干Ｙ方向にずれて形成され
ている。こうすることで、回転調整板８１の折れ曲がり
部９７に、少なくとも一方の上下調整ボルト９９のボル
ト頭が当接するようになっている。

【００４７】このように、ロードポート本体３２の上部
の嵌合孔、すなわち、前後調整板８７の嵌合孔９３に、
処理部２０の支持ピン７７を挿入させて嵌合させた状態
にすると、ロードポート本体３２が処理部２０に吊り下
げ支持されるようになる。

【００４８】なお、上述した処理部２０の支持ピン７７
が本発明の上位装置に設けられた部材に相当し、上述し
た前後調整板８７の嵌合孔９３が本発明の嵌合部材に相
当し、上述した回転調整板８１と前後調整板８７とが本
発明の支持機構に相当し、上述したロードポート本体３
２の回転調整板８１及び前後調整板８７と処理部２０の
位置決めベース７１とが本発明の支持手段に相当する。

【００４９】図１４に示すように、位置決めベース７１
の上部の２個の上下調整ボルト９９のうちの一方の上下
調整ボルト９９を、この上下調整ボルト９９のボルト頭
よりも径の小さい回転調整板８１の貫通孔１０１を介し
てドライバレンチ１０３（例えば六角レンチ）などの工
具により緩めたり締めたりして、上下調整ボルト９９の
ボルト頭の上下方向（Ｚ方向）の位置を適宜に調整する
ことで、回転調整板８１の左右方向の傾きを調整し、処
理部２０に嵌合させて吊り下げ支持された状態における
ロードポート本体３２の左右方向の傾き（図１０に示す
ａ方向）を調整する。つまり、ロードポート本体３２を
吊り下げ支点である支持ピン７７周りに揺動変位（所望
角度分だけ回動）させる。図１０に示すａ方向は、Ｘ方
向に突き出た支持ピン７７の周り方向である。なお、上
述した回転調整板８１と上下調整ボルト９９とが本発明
の吊り下げ支点周り調整手段に相当する。

【００５０】上述したロードポート本体３２の上部の４
個のローレットナット９１を適宜に調整することで、処
理部２０に嵌合させた状態におけるロードポート本体３
２の前後方向の傾き（図１０に示すｂ方向）を調整する
ことができる。なお、図１０に示すｂ方向は、Ｙ方向を
軸方向としたＹ軸周り方向である。ここで、ロードポー
ト本体３２の前後方向の傾き調整の一例について説明す
る。例えば図１３に示すように、植え込みボルト７５に
螺入された紙面左側のローレットナット９１を紙面左側
に所望の長さ分だけ移動させておき、紙面右側のローレ
ットナット９１を紙面左側に移動させていくことで、回
転調整板８１を左側に移動させる、つまり、ロードポー
ト本体３２を前方向に傾斜させることができる。なお、
上述した前後調整板８７と４個のローレットナット９１
とが本発明の前後方向傾き調整手段に相当する。

【００５１】図１０に示すように、ロードポート装置３
０のロードポート本体３２の下部には、前述した処理部
２０の下部の２個の植え込みボルト７９に固定するため
の２個の下部プレート１０５が例えばボルト１０７など
の締結部材によって取り付けられている。図１１に示す
ように、この下部プレート１０５の下側には、植え込み
ボルト７９が差し入れられるＵ字形状の切欠き部１０９
を有している。下部プレート１０５を２個のローレット
ナット１１１で挟むようにするために、処理部２０の下
部の植え込みボルト７９に一方のローレットナット１１
１を螺入しておいてから、下部プレート１０５の切欠き
部１０９に植え込みボルト７９を差し入れて、この植え
込みボルト７９に他方のローレットナット１１１を螺入
するようにしている。このローレットナット１１１は、
外周にローレット加工、内径部分に雌ネジ加工、両端面
に雌ネジに対して直角に加工したものである。

【００５２】上述したように処理部２０とロードポート
装置３０とを取り付ける取り付け機構は、ロードポート
本体３２の回転調整板８１及び前後調整板８７と処理部
２０の位置決めベース７１からなる支持手段と、回転調
整板８１と上下調整ボルト９９とからなる吊り下げ支点
周り調整手段と、前後調整板８７と４個のローレットナ
ット９１とからなる前後方向傾き調整手段を備えてい
る。

【００５３】次に、上述したロードポート装置３０を処
理部２０に取り付ける取り付け手順の一例について説明
する。なお、図１１に示すように、処理部２０における
ロードポート装置３０の上部に相当する所定位置には、
ロードポート装置３０側に支持ピン７７及び２個の植え
込みボルト７５を有するとともに、上部に２個の上下調
整ボルト９９を有する位置決めベース７１が備えられて
おり、処理部２０におけるロードポート装置３０の下部
に相当する所定位置には、２個の植え込みボルト７９が
備えられている。処理部２０の上部の２個の植え込みボ
ルト７５及び下部の２個の植え込みボルト７９には、そ
れぞれ１個のローレットナット９１，１１１が螺入され
ている。

【００５４】作業者は、ロードポート本体３２の上部の
回転調整板８１に取り付けられた前後調整板８７の嵌合
孔９３に、処理部２０の支持ピン７７を挿入させるよう
にして嵌合させて、ロードポート本体３２を処理部２０
に吊り下げ支持させる。前述したように、ロードポート
本体３２の嵌合孔９３つまり前後調整板８７の嵌合孔９
３は、ロードポート装置３０の重心の鉛直線上から若干
Ｙ方向にずれて形成されているので、ロードポート本体
３２を処理部２０に嵌合させた状態では、回転調整板８
１の折れ曲がり部９７に一方の上下調整ボルト９９のボ
ルト頭が当接して、ロードポート本体３２の左右傾きが
初期位置に規正されるようになっている。

【００５５】作業者は、載置部３１の載置テーブル３６
上の３箇所に設けられた、カセットＣを支持するための
キネマティックピンと呼ばれるカセット支持ピン１１３
の水準度を出すために、載置テーブル３６の３箇所のカ
セット支持ピン１１３上に水準器をセットする。

【００５６】作業者は、載置テーブル３６上の水準器を
確認しながら、ロードポート本体３２の左右方向の傾き
と、ロードポート本体３２の前後方向の傾きとを次に説
明するように調整する。具体的には、ロードポート本体
３２の左右方向の傾きは、位置決めベース７１の上部に
設けられた２個の上下調整ボルト９９のうちの一方を、
図１４に示すように回転調整板８１の貫通孔を介してド
ライバレンチ１０３により緩めたり締めたりして、上下
調整ボルト９９のボルト頭の上下方向（Ｚ方向）の位置
を適宜に調整することで、回転調整板８１の左右方向の
傾きを調整し、処理部２０に嵌合させた状態におけるロ
ードポート本体３２の左右方向の傾きを調整、つまり、
ロードポート本体３２を支持ピン７７周りに所望角度分
だけ回動させて調整する。

【００５７】また、ロードポート本体３２の前後方向の
傾きは、次のようにして調整される。作業者は、ロード
ポート本体３２の下部プレート１０５を処理部２０の下
部の植え込みボルト７９に仮固定する程度にローレット
ナット１１１で無理のないように軽く固定する。そし
て、作業者は、載置テーブル３６上の水準器を確認しな
がら、カセット支持ピン１１３の水準度を出すように、
ロードポート本体３２の上部の前後調整板８７の前後方
向（Ｘ方向）の位置をローレットナット９１により位置
調整する。そして、カセット支持ピン１１３の水準度が
出ると、ロードポート本体３２の上部及び下部のローレ
ットナット９１，１１１を締めてロードポート本体３２
を処理部２０に対して固定する。

【００５８】このようにすることで、ロードポート装置
３０は、処理部２０に対して所望の姿勢に取り付けられ
る。なお、上述したロードポート本体３２の左右方向の
傾き調整と、ロードポート本体３２の前後方向の傾き調
整とは、どちらを先に行なっても良い。また、ロードポ
ート装置３０の高さは、処理部２０の支持ピン７７の高
さにより一義的に決まることになる。つまり、位置決め
ベース７１の両端に設けられたＺ方向に長い長孔７２に
挿入された固定ボルト７４を、支持ピン７７が所望の高
さとなるようにこの位置決めベース７１の高さ調整をし
て締結しているので、支持ピン７７は所望の高さに調整
済みとなっており、この支持ピン７７にロードポート本
体３２の嵌合孔９３が嵌合されることで、必然的にロー
ドポート装置３０は所望の高さに取り付けられることに
なる。

【００５９】上述した説明から明らかなように、本実施
例装置によれば、ロードポート装置３０は、処理部２０
にロードポート本体３２を吊り下げ支持するための支持
機構（例えば回転調整板８１と前後調整板８７とで構成
される）をこのロードポート本体３２の上部に備えてい
るので、ロードポート装置３０の処理部２０との取り付
けの際には、ロードポート本体３２の上部に設けられた
前記支持機構により処理部２０にロードポート本体３２
を吊り下げ支持させた状態で、ロードポート装置３０を
処理部２０に取り付ければ良いので、容易にロードポー
ト装置３０を処理部２０に取り付けることができる。さ
らに、ロードポート装置３０が処理部２０に吊り下げ支
持されるので、ロードポート装置３０が倒れないように
支持されており、取り付け作業の安全性が確保される。

【００６０】また、処理部２０の支持ピン７７と協働し
てロードポート本体３２を吊り下げ支持する嵌合孔９３
を備えているので、ロードポート装置３０の処理部２０
との取り付けの際には、ロードポート本体３２の上部に
設けられた嵌合孔９３を処理部２０の支持ピン７７に嵌
合させて、ロードポート装置３０を処理部２０に吊り下
げ支持させた状態で、ロードポート装置３０を処理部２
０に取り付ければ良く、ロードポート装置３０の嵌合孔
９３と処理部２０の支持ピン７７との嵌合を目視確認し
ながら行なうことができ、容易にロードポート装置３０
を処理部２０に取り付けることができる。さらに、ロー
ドポート装置３０が処理部２０に吊り下げ支持されるの
で、ロードポート装置３０が倒れないように支持されて
おり、取り付け作業の安全性を確保することができる。

【００６１】また、ロードポート本体３２を揺動変位可
能に吊り下げ支持しているので、ロードポート本体３２
を処理部２０に対して所望の姿勢状態に変位調整するこ
とができる。

【００６２】また、ロードポート本体３２を処理部２０
に吊り下げ支持した状態でこのロードポート本体３２の
前後方向の傾きを調整する前後方向傾き調整手段（例え
ば、前後調整板８７と４個のローレットナット９１とで
構成される）を備えているので、ロードポート本体３２
の前後方向の傾きを好適に調整することができる。

【００６３】また、ロードポート本体３２を吊り下げ支
持した状態でこのロードポート本体３２を吊り下げ支点
（支持ピン７７）周りに揺動変位調整する吊り下げ支点
周り調整手段（例えば、回転調整板８１と上下調整ボル
ト９９とで構成される）を備えているので、ロードポー
ト本体３２を吊り下げ支点（支持ピン７７）周りに揺動
変位させた所望の姿勢に調整することができる。

【００６４】本発明は上述した実施例のものに限らず、
次のように変形実施することができる。

【００６５】（１）上述した実施例では、図１１に示す
ように、ロードポート本体３２の回転調整板８１に前後
調整板８７を取り付けた状態で、処理部２０に取り付け
るようにしているが、処理部２０の位置決めベース７１
の支持ピン７７に前後調整板８７の嵌合孔９３を嵌合さ
せるとともに、この前後調整板８７をローレットナット
９１により位置決めベース７１の植え込みボルト７５に
取り付けた状態とし、ロードポート本体３２上部には回
転調整板８１のみが取り付けられた状態としておいて、
ロードポート本体３２を処理部２０に取り付けるように
しても良い。

【００６６】（２）上述した実施例では、ロードポート
本体３２の上部のローレットナット９１と、ロードポー
ト本体３２の下部のローレットナット１１１とによっ
て、前後方向の傾きを調整しているが、ロードポート本
体３２の下部固定にローレットナット１１１を用いるこ
となく、ロードポート本体３２の下部を所定位置に規正
するとともにロードポート本体３２の前後方向の所定角
度範囲内の傾きが許容可能な位置規正機構を設け、ロー
ドポート本体３２の上部のローレットナット９１により
前後方向の傾きを調整するようにしても良い。また、前
後調整板８７を位置調整できるナットであればローレッ
トナット９１以外のナットを採用しても良い。

【００６７】（３）上述した実施例では、上位装置とし
ての処理部２０に支持ピン７７を設け、ロードポート本
体３２に嵌合孔９３を設けているが、処理部２０に嵌合
孔９３を設け、ロードポート本体３２に支持ピン７７を
設けても良い。また、処理部２０におけるロードポート
本体３２の上部に対応する位置に、上方向に突出した球
状突出部（少なくとも上半分が球面形状である突出部）
を設け、ロードポート本体３２の上部にその球状突出部
に嵌合する半球状受部（球面の一部分の形状を有し最大
で半球形状となる受部）を設け、処理部２０の球状突出
部にロードポート本体３２の半球状受部を嵌合させるこ
とで処理部２０にロードポート本体３２を吊り下げ支持
させるようにしても良い。また、逆に、ロードポート本
体３２の上部に前記球状突出部を設け、処理部２０にお
けるロードポート本体３２の上部に対応する位置に、前
記半球状受部を設け、処理部２０の半球状受部にロード
ポート本体３２の球状突出部を嵌合させることで処理部
２０にロードポート本体３２を吊り下げ支持させるよう
にしても良い。

【００６８】（４）上述した実施例では、開口部が蓋で
閉塞されるカセット（ＦＯＵＰ）を用いた場合を例示し
たが、本発明は開口部に蓋を設けない、いわゆるオープ
ンタイプのカセット内の基板検出にも適用することがで
きる。

【００６９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば次の効果を奏する。請求項１に記載の発明によ
れば、ロードポート本体の上部に、上位装置にロードポ
ート本体を吊り下げ支持するための支持機構を備えてい
るので、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際
には、ロードポート本体の上部に設けられた支持機構に
より上位装置にロードポート本体を吊り下げ支持させた
状態で、ロードポート装置を上位装置に取り付ければ良
く、容易にロードポート装置を上位装置に取り付けるこ
とができる。さらに、ロードポート装置が上位装置に吊
り下げ支持されるので、ロードポート装置が倒れないよ
うに支持されており、取り付け作業の安全性を確保する
ことができる。

【００７０】また、請求項２に記載の発明によれば、支
持機構は、上位装置に設けられた部材と協働してロード
ポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材としているの
で、ロードポート装置の上位装置との取り付けの際に
は、ロードポート本体の上部に設けられた嵌合部材を上
位装置の対応する部材に嵌合させることで、上位装置に
ロードポート本体を吊り下げ支持させており、ロードポ
ート装置と上位装置との嵌合を目視確認しながら行なう
ことができ、上位装置に吊り下げ支持された状態でロー
ドポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロ
ードポート装置を上位装置に取り付けることができる。
さらに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支持される
ので、ロードポート装置が倒れないように支持されてお
り、取り付け作業の安全性を確保することができる。

【００７１】また、請求項３に記載の発明によれば、支
持機構は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ
支持しているので、ロードポート本体を上位装置に対し
て所望の姿勢状態に変位調整することができる。

【００７２】また、請求項４に記載の発明によれば、前
後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支
持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを
調整するので、ロードポート本体の前後方向の傾きを好
適に調整することができる。

【００７３】また、請求項５に記載の発明によれば、吊
り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り下
げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点
周りに揺動変位調整するので、ロードポート本体を吊り
下げ支点周りに揺動変位させた所望の姿勢に調整するこ
とができる。

【００７４】また、請求項６に記載の発明によれば、複
数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置
部を備えたロードポート本体を有し、基板に所要の処理
を施すための上位装置とカセット内部との間の基板搬送
経路を提供するロードポート装置と、上位装置とを取り
付ける取り付け機構は、ロードポート本体の上部と上位
装置の所定部位とに、上位装置にロードポート本体を吊
り下げ支持するための支持手段を設け、支持手段により
ロードポート本体が上位装置に支持されている状態でロ
ードポート装置を上位装置に取り付けるので、ロードポ
ート装置の上位装置との取り付けの際には、支持手段に
よりロードポート本体を上位装置に支持させて、ロード
ポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易にロー
ドポート装置を上位装置に取り付けることができる。さ
らに、ロードポート装置が上位装置に吊り下げ支持され
るので、ロードポート装置が倒れないように支持されて
おり、取り付け作業の安全性を確保することができる。

【００７５】また、請求項７に記載の発明によれば、支
持手段は、上位装置に設けられた部材と、これと協働し
てロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材とから
なるので、ロードポート装置の上位装置との取り付けの
際には、ロードポート本体の上部に設けられた嵌合部材
を上位装置の対応する部材に嵌合させることで、上位装
置にロードポート本体を吊り下げ支持させており、ロー
ドポート装置と上位装置との嵌合を目視確認しながら行
なうことができ、上位装置に吊り下げ支持された状態で
ロードポート装置を上位装置に取り付ければ良く、容易
にロードポート装置を上位装置に取り付けることができ
る。さらに、ロードポート装置が上位装置に嵌合支持さ
れるので、ロードポート装置が倒れないように支持され
ており、取り付け作業の安全性を確保することができ
る。

【００７６】また、請求項８に記載の発明によれば、支
持手段は、ロードポート本体を揺動変位可能に吊り下げ
支持するので、ロードポート本体を上位装置に対して所
望の姿勢状態に変位調整することができる。

【００７７】また、請求項９に記載の発明によれば、前
後方向傾き調整手段は、ロードポート本体を吊り下げ支
持した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを
調整するので、ロードポート本体の前後方向の傾きを好
適に調整することができる。

【００７８】また、請求項１０に記載の発明によれば、
吊り下げ支点周り調整手段は、ロードポート本体を吊り
下げ支持した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支
点周りに揺動変位調整するので、ロードポート本体を吊
り下げ支点周りに揺動変位させた所望の姿勢に調整する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板処理装置の一実施例の概略構
成を示した側面図である。

【図２】本発明に係る基板処理装置の一実施例の概略構
成を示した平面図である。

【図３】本発明に係る基板処理装置の一実施例の概略構
成を示した斜視図である。

【図４】本発明の実施例に係るロードポート装置の概略
構成を示した斜視図である。

【図５】本発明の実施例に係るロードポート装置の概略
構成を示した正面図である。

【図６】本発明の実施例に係るロードポート装置の概略
構成を示した側面図である。

【図７】実施例に係る基板処理装置の一部破断側面図で
ある。

【図８】カセットの斜視図である。

【図９】シャッター部材の斜視図である。

【図１０】実施例に係るロードポート装置を処理部に取
り付けた状態を示す概略斜視図である。

【図１１】ロードポート装置を処理部に取り付ける様子
を説明するための分解斜視図である。

【図１２】ロードポート装置と処理部との嵌合機構の外
観形状を示す概略斜視図である。

【図１３】ロードポート装置の処理部に対する取り付け
姿勢を調整するための機構を示す断面図である。

【図１４】ロードポート装置の処理部に対する取り付け
姿勢を調整するための機構を示す一部切欠き正面図であ
る

【符号の説明】

２０ …処理部 ３０ …ロードポート装置 ３１ …載置部 ３２ …ロードポート本体 ３２ａ…通過口 ３３ …シャッター部材 ７１ …位置決めベース ７７ …支持ピン ８１ …回転調整板 ８７ …前後調整板 ９１ …ローレットナット ９３ …嵌合孔 ９９ …上下調整ボルト Ｃ …カセット Ｃｂ…蓋 Ｗ …基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塩見 昭雄 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 小林 稔幸 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA01 DA08 EA12 EA14 FA01 FA07 FA11 JA05 JA13 JA22 KA20 LA07 LA12 MA02 MA03 MA11 MA17 NA10

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板に所要の処理を施すための上位装置
   に取り付けられ、複数枚の基板を多段に収容するカセッ
   トが載置される載置部を備えたロードポート本体を有
   し、前記載置部に載置されたカセット内部と前記上位装
   置との間の基板搬送経路を提供するロードポート装置に
   おいて、 前記上位装置に前記ロードポート本体を吊り下げ支持す
   るための支持機構を前記ロードポート本体の上部に設け
   たことを特徴とするロードポート装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のロードポート装置にお
   いて、 前記支持機構は、前記上位装置に設けられた部材と協働
   して前記ロードポート本体を吊り下げ支持する嵌合部材
   であることを特徴とするロードポート装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載のロード
   ポート装置において、 前記支持機構は、前記ロードポート本体を揺動変位可能
   に吊り下げ支持することを特徴とするロードポート装
   置。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３のいずれかに記載
   のロードポート装置において、 前記支持機構は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持
   した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調
   整する前後方向傾き調整手段を備えていることを特徴と
   するロードポート装置。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４のいずれかに記載
   のロードポート装置において、 前記支持機構は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持
   した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに
   揺動変位調整する吊り下げ支点周り調整手段を備えてい
   ることを特徴とするロードポート装置。
6. 【請求項６】 複数枚の基板を多段に収容するカセット
   が載置される載置部を備えたロードポート本体を有し、
   基板に所要の処理を施すための上位装置と前記カセット
   内部との間の基板搬送経路を提供するロードポート装置
   と、前記上位装置とを取り付ける取り付け機構であっ
   て、 前記ロードポート本体の上部と前記上位装置の所定部位
   とに、前記上位装置に前記ロードポート本体を吊り下げ
   支持するための支持手段を設け、 前記支持手段により前記ロードポート本体が前記上位装
   置に支持されている状態で前記ロードポート装置を前記
   上位装置に取り付けることを特徴とするロードポート装
   置と上位装置との取り付け機構。
7. 【請求項７】 請求項６に記載のロードポート装置と上
   位装置との取り付け機構において、 前記支持手段は、前記上位装置に設けられた部材と、こ
   れと協働して前記ロードポート本体を吊り下げ支持する
   嵌合部材とからなることを特徴とするロードポート装置
   と上位装置との取り付け機構。
8. 【請求項８】 請求項６または請求項７に記載のロード
   ポート装置と上位装置との取り付け機構において、 前記支持手段は、前記ロードポート本体を揺動変位可能
   に吊り下げ支持することを特徴とするロードポート装置
   と上位装置との取り付け機構。
9. 【請求項９】 請求項６から請求項８のいずれかに記載
   のロードポート装置と上位装置との取り付け機構におい
   て、 前記支持手段は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持
   した状態でこのロードポート本体の前後方向の傾きを調
   整する前後方向傾き調整手段を備えていることを特徴と
   するロードポート装置と上位装置との取り付け機構。
10. 【請求項１０】 請求項６から請求項９のいずれかに記
    載のロードポート装置と上位装置との取り付け機構にお
    いて、 前記支持手段は、前記ロードポート本体を吊り下げ支持
    した状態でこのロードポート本体を吊り下げ支点周りに
    揺動変位調整する吊り下げ支点周り調整手段を備えてい
    ることを特徴とするロードポート装置と上位装置との取
    り付け機構。