JP2008218888A - Ｓｍｉｆオープナの位置調整アダプタ及び位置調整方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 ＳＭＩＦオープナの処理装置に対する取付け位置を前後方向において容易に調整することができるＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ及び位置調整方法を提供する。
【解決手段】 ＳＭＩＦオープナを処理装置に取り付けるに際して、ＳＭＩＦオープナの取付け位置を前後方向に調整可能にする位置調整アダプタ１００が、ＳＭＩＦオープナ１のロードポート２を境にして、上側調整部２００と、下側調整部３００とから成っている。上側調整部２００は、ＳＭＩＦオープナ側のシャッター５と処理装置の開口部との間に介在させられていて、ＳＭＩＦオープナ側に固定可能で、前後方向に伸縮調整自在な第１の組立構造体から成り、下側調整部３００は、ＳＭＩＦオープナ１の下方と処理装置の開口下との間に介在させられていて、ＳＭＩＦオープナ側及び処理装置側の双方の側に固定可能で、前後方向に伸縮調整自在な第２の組立構造体から成る。
【選択図】 図１

Description

本願の発明は、ＳＭＩＦオープナの処理装置への取付け位置を前後方向において容易に調整することができるＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ及び位置調整方法に関する。

従来、半導体分野では、２００ｍｍサイズのウエハを搬送する容器として、底蓋開閉式のＳＭＩＦ（Standard
Mechanical Interface）ボックスがあり、また、３００ｍｍサイズのウエハを搬送する容器として、側面開放式のＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）がある。そして、これらの容器を自動で開閉する装置として、それぞれＳＭＩＦオープナ、ＦＯＵＰオープナがある。

ところで、ＦＯＵＰでウエハを搬送する場合、総重量が１２ｋｇを越え、これを人手で搬送するには危険が伴うので、その容器の搬送の自動化がかなり進んでいるが、ＳＭＩＦボックスでウエハを搬送する場合には、人手による運搬が可能であるので、ＦＯＵＰほど容器搬送の自動化が進んでいないのが現状である。

例えば、従来、ＳＭＩＦボックスをＳＭＩＦオープナに受け渡すのには、ほとんど人手で行われており、これを天井搬送装置（ＯＨＴ）により行おうとした場合には、処理装置のワーク受渡し用開口部に設置されたＳＭＩＦオープナの設置位置に数ミリのずれがあり、受渡しが上手く行かない。これは、ＯＨＴ側の搬送路は真っ直ぐであるのに対して、処理装置の設置位置にばらつきがあるためである。

この問題に対して、ＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰを載置する載置台の待機位置を前後に調整できるようにしたものがある（特許文献１）。ＦＯＵＰオープナの場合には、このように、容器を載置するテーブル（載置台）の待機位置を調整すればよいが、ＳＭＩＦオープナの場合には、どうしてもオープナ装置全体の位置を調整する必要がある。その理由は、容器を載置するテーブルだけでなく、容器の上側部分であるポッドを持ち上げるエレベータも、容器の載置位置に倣わせるために、その位置を調整する必要があるからである。

ＳＭＩＦオープナに関する比較的古い文献（引用文献２）には、ＳＭＩＦオープナの取付け位置やＳＭＩＦボックスを載置する位置を調整する方法が開示されているが、ここで示されている位置調整は、サイズ違いの容器に対応するためであり、エレベータの位置も調整することができるものではない。また、ＳＭＩＦオープナと処理装置との間に設けられた連結エレメントも、処理装置側の振動を伝えないようにすることなどを目的としており、連結エレメントにより生じた隙間を、ワークの受渡し部分となる処理装置の開口部でどのように調整するか等は開示されていない。

また、従来、ＦＯＵＰオープナの取付け部材として、ＢＯＬＴＳプレートという規格サイズの枠体があったが、ＳＭＩＦには、このような規格サイズの連結部材はない。このため、各社がそれぞれに製作した取付け具を処理装置側の壁に取り付け、これによりＳＭＩＦオープナを取り付けていた。ＦＯＵＰ用に作られたＢＯＬＴＳプレートは、規格品であるから、使用するオープナ機種を変更しても、容易にこれを取り付けることができるが、ＳＭＩＦオープナの場合、その処理装置への取付け具は、前記のとおり、各社が自社製品に対して製作したものであるから、使用するＳＭＩＦオープナの機種を変更しようとすると、取付け具自体も全て交換する必要がある。

このため、元々はＦＯＵＰオープナ用の規格品として製作されたＢＯＬＴＳプレートをＳＭＩＦオープナにも利用しようという目的で、特許文献３記載のものも提案されているが、このものにおいて、ＢＯＬＴＳプレートを使用することで得られる利点は、ＦＯＵＰオープナからＳＭＩＦオープナへ、または、現在使用しているＳＭＩＦオープナから他社のＳＭＩＦオープナへ、機種変更を行う場合にのみ生ずるものである。

本願の発明は、従来のＳＭＩＦオープナの処理装置への取付け具が有する前記のような問題点を解決して、その取付け位置を前後方向において容易に調整することができるＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ及び位置調整方法を提供することを課題とする。
ＷＯ２００５−１２２２４１号公報 特許第２６７４９６８号公報 特表２００２−５２０８３１号公報

前記のような課題を解決するために、本願の発明が提供する位置調整アダプタは、ＳＭＩＦオープナと処理装置との間で位置調整を行うものである。このようなアダプタは、一体構造のものでも、上下に二分したものから構成されるものでも良い。また、ＳＭＩＦオープナと処理装置との間での位置調整個所は、上下左右に亘り複数個所設けておくのが良く、このようにすることにより、ＳＭＩＦオープナの水平面内での位置調整だけでなく、処理装置の設置面が傾いていた場合でも、ＳＭＩＦオープナを水平に設置するための立体的な位置調整が可能になる。

具体的には、本願の特許請求の範囲の各請求項に記載された次のような発明が、前記のような課題を解決する。
先ず、その請求項１に記載された発明は、ＳＭＩＦオープナを処理装置に取り付けるに際して、前記ＳＭＩＦオープナの前記処理装置に対する取付け位置を前後方向に調整可能にする位置調整アダプタが、前記ＳＭＩＦオープナの載置台を境にして、上側調整部と、下側調整部とから成り、前記上側調整部は、前記ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと前記処理装置の開口部との間に介在させられていて、前記ＳＭＩＦオープナ側に固定可能で、前後方向に伸縮調整自在な第１の組立構造体から成り、前記下側調整部は、前記ＳＭＩＦオープナの下方と前記処理装置の開口下との間に介在させられていて、前記ＳＭＩＦオープナ側及び前記処理装置側の双方の側に固定可能で、前後方向に伸縮調整自在な第２の組立構造体から成ることを特徴とするＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタである。

請求項１に記載された発明は、前記のように構成されているので、処理装置の設置位置にばらつきがあったとしても、第１の組立構造体及び第２の組立構造体をそれぞれ前後方向に適切に伸縮調整することにより、ＳＭＩＦオープナを処理装置に対して適切な位置に容易に取り付けることができる。しかも、ＳＭＩＦオープナの載置台を境にした上下の背面構造にそれぞれ対応させて、個別に伸縮調整することができるので、汎用性の高い位置調整アダプタを得ることができる。

また、その請求項２に記載された発明は、請求項１に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタにおいて、その第１の組立構造体が、矩形状のスライド式の枠体を備えており、該枠体は、入れ子と受け子とが二重もしくは多重に摺動自在に嵌まり合って構成されていることを特徴としている。

請求項２に記載された発明は、この構成により、ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと処理装置の開口部との間のトンネル部の気密性を保ちながら、これらの間の間隔を容易に調整することができる。

また、その請求項３に記載された発明は、請求項２に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタにおいて、その枠体は、上下左右4個所の角部において、そのスライド量が調整自在にされていることを特徴としている。

請求項３に記載された発明は、この構成により、後述する第２の組立構造体を構成する横倒Ｈ字形状の一対の板の組立体の両板間の間隔が該両板の上下左右4個所の角部において調整自在にされていることとも相俟って、ＳＭＩＦオープナの水平面内での位置調整だけでなく、処理装置の設置面が傾いていた場合でも、ＳＭＩＦオープナを水平に設置するための立体的な位置調整が可能になる。

さらに、その請求項４に記載された発明は、請求項１に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタにおいて、その第２の組立構造体が、横倒Ｈ字形状の一対の板の組立体から成り、該組立体は、該一対の板の間の間隔が調整自在にされていることを特徴としている。

請求項４に記載された発明は、この構成により、簡易、軽量な組立構造体を以って、ＳＭＩＦオープナの下方と処理装置の開口下との間の間隔を容易に調整することができる。

また、その請求項５に記載された発明は、請求項４に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタにおいて、その組立体が、上下左右4個所の角部において、一対の板の間の間隔が調整自在にされていることを特徴としている。

請求項５に記載された発明は、この構成により、前述した第１の組立構造体が備えるスライド式の枠体のスライド量が該枠体の上下左右4個所の角部において調整自在にされていることとも相俟って、ＳＭＩＦオープナの水平面内での位置調整だけでなく、処理装置の設置面が傾いていた場合でも、ＳＭＩＦオープナを水平に設置するための立体的な位置調整が可能になる。

また、その請求項６に記載された発明は、請求項４に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタにおいて、その組立体の上下左右4個所の角部が、ＳＭＩＦオープナ本体から左右方向外方にはみ出した位置に配置されていることを特徴としている。

請求項６に記載された発明は、この構成により、その組立体を構成する一対の板間の間隔を調整するのに、ＳＭＩＦオープナを設置した後でも、これを容易に行うことができる。また、一対の板間の間隔を調整する場合に限らず、ＳＭＩＦオープナをこれらの板の一方若しくは双方に取り付けたり取り外したり、ＳＭＩＦオープナを処理装置に取り付けたり取り外したりする場合であっても、ＳＭＩＦオープナを設置した後に、これらの作業を容易に行うことができる。

さらに、その請求項７に記載された発明は、請求項４ないし請求項６のいずれかに記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタにおいて、その一対の板の間の間隔を調整自在にする調整手段が、レベル調整ボルトを備えていることを特徴としている。

請求項７に記載された発明は、この構成により、一対の板の間の間隔を調整自在にする調整手段を、汎用の手段を利用して簡単な構造のものとして得ることができる。

また、その請求項８に記載された発明は、請求項４ないし請求項７のいずれかに記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタにおいて、その一対の板は、両板の互いに向かい合う面の略中央部に係止部材を備え、これらの係止部材が上下方向に係合させられていることを特徴としている。

請求項８に記載された発明は、この構成により、一方の板の重量を他方の板に担わせることができるので、両板間の間隔を調整しながらこれらの板を連結する際に、その調整・連結作業を楽に行うことができる。また、一方の板の重量を、両板を連結するのに使用される調整手段（前記したレベル調整ボルトを含むボルト締結手段等）のみで支持させると、調整手段そのものに負荷が掛かるが、これらの係止部材を設けておくことにより、その負荷を軽減することができる。

また、その請求項９に記載された発明は、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタにおいて、その下側調整部が、ＳＭＩＦオープナ側及び処理装置側の双方の側に着脱自在に固定可能であることを特徴としている。

請求項９に記載された発明は、この構成により、ＳＭＩＦオープナをメンテナンスで取り外す際に、両板を処理装置に残したままにしておくこともできるし、ＳＭＩＦオープナに両板をくっ付けたまま取り外すこともできるので、ＳＭＩＦオープナの再設置時に便利である。特に、両板の上下左右4個所の角部においてこれらの板の間の間隔が調整自在にされる場合において、それらの角部がＳＭＩＦオープナ本体から左右方向外方にはみ出した位置に配置される場合には、その便利性は一層向上する。

さらに、その請求項１０に記載された発明は、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタにおいて、その第１の組立構造体と、第２の組立構造体とは、上下方向に一体に結合されていることを特徴としている。

請求項１０に記載された発明は、この構成により、位置調整アダプタの上側調整部と下側調整部とが一体構造のものとされるので、その取り扱い、持ち運びが簡便になる。

また、その請求項１１に記載された発明は、ＳＭＩＦオープナを処理装置に取り付けるに際して、前記ＳＭＩＦオープナの前記処理装置に対する取付け位置を前後方向に調整可能にする位置調整アダプタが、前記ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと前記処理装置の開口部との間及び前記ＳＭＩＦオープナの下方と前記処理装置の開口下との間に跨って介在させられていて、少なくとも前記ＳＭＩＦオープナ側に固定可能で、前後方向に伸縮調整自在な組立構造体から成ることを特徴とするＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタである。

請求項１１に記載された発明は、前記のように構成されているので、処理装置の設置位置にばらつきがあったとしても、組立構造体を前後方向に適切に伸縮調整することにより、ＳＭＩＦオープナを処理装置に対して適切な位置に容易に取り付けることができる。しかも、その組立構造体は、全体が一体構造のものであるので、その取り扱い、持ち運びが簡便である。

また、その請求項１２に記載された発明は、ＳＭＩＦオープナを処理装置に取り付けるに際して、前記ＳＭＩＦオープナの前記処理装置に対する取付け位置を前後方向に調整可能にする位置調整方法が、前記ＳＭＩＦオープナの載置台を境にして、上側調整方法と、下側調整方法とから成り、前記上側調整方法は、前記ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと前記処理装置の開口部との間に介在させられていて、前記ＳＭＩＦオープナ側に固定可能にされた上側調整部を前後方向に伸縮調整することから成り、前記下側調整方法は、前記ＳＭＩＦオープナの下方と前記処理装置の開口下との間に介在させられていて、前記ＳＭＩＦオープナ側及び前記処理装置側の双方の側に着脱自在に固定可能にされた下側調整部を前後方向に伸縮調整することから成ることを特徴とするＳＭＩＦオープナの位置調整方法である。

請求項１２に記載された発明は、前記のように構成されているので、処理装置の設置位置にばらつきがあったとしても、上側調整部及び下側調整部をそれぞれ前後方向に適切に伸縮調整することにより、ＳＭＩＦオープナを処理装置に対して適切な位置に容易に取り付けることができる。しかも、ＳＭＩＦオープナの載置台を境にした上下の背面構造にそれぞれ対応させて、個別に伸縮調整することができるので、汎用性の高い位置調整方法を得ることができる。

さらに、その請求項１３に記載された発明は、請求項１２に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整方法において、その上側調整部が、矩形状のスライド式の枠体を備えており、該枠体は、入れ子と受け子とが二重もしくは多重に摺動自在に嵌まり合って構成されており、また、その下側調整部が、横倒Ｈ字形状の一対の板の組立体から成り、該組立体は、一対の板の間の間隔が調整自在にされていることを特徴としている。

請求項１３に記載された発明は、この構成により、ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと処理装置の開口部との間のトンネル部の気密性を保ちながら、これらの間の間隔を容易に調整することができるとともに、簡易、軽量な組立構造体を以って、ＳＭＩＦオープナの下方と処理装置の開口下との間の間隔を容易に調整することができる。

さらに、また、その請求項１４に記載された発明は、ＳＭＩＦオープナを処理装置に取り付けるに際して、前記ＳＭＩＦオープナの前記処理装置に対する取付け位置を前後方向に調整可能にする位置調整方法が、前記ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと前記処理装置の開口部との間及び前記ＳＭＩＦオープナの下方と前記処理装置の開口下との間に跨って介在させられていて、少なくとも前記ＳＭＩＦオープナ側に固定可能にされた調整部を、前後方向に伸縮調整することから成ることを特徴とするＳＭＩＦオープナの位置調整方法である。

請求項１４に記載された発明は、前記のように構成されているので、処理装置の設置位置にばらつきがあったとしても、調整部を前後方向に適切に伸縮調整することにより、ＳＭＩＦオープナを処理装置に対して適切な位置に容易に取り付けることができる。しかも、その調整部は、全体が一体構造のものであるので、その取り扱い、持ち運びが簡便である。

前記のとおり、本願の発明のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ及び位置調整方法によれば、処理装置の設置位置にばらつきがあったとしても、第１の組立構造体（上側調整部）及び第２の組立構造体（下側調整部）をそれぞれ前後方向に適切に伸縮調整することにより、ＳＭＩＦオープナを処理装置に対して適切な位置に容易に取り付けることができる。しかも、ＳＭＩＦオープナの載置台を境にした上下の背面構造にそれぞれ対応させて、個別に伸縮調整することができるので、汎用性の高い位置調整アダプタ及び位置調整方法を得ることができる。

また、第１の組立構造体（上側調整部）と第２の組立構造体（下側調整部）とが一体構造のものとして構成される場合には、位置調整アダプタ（調整部）の取り扱い、持ち運びが簡便になる。
その他、前記したような種々の効果を奏することができる。

ＳＭＩＦオープナを処理装置に取り付けるに際して、ＳＭＩＦオープナの処理装置に対する取付け位置を前後方向に調整可能にする位置調整アダプタを、ＳＭＩＦオープナのロードポートを境にして、上側調整部と、下側調整部とから成るものとする。ここで、上側調整部は、ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと処理装置の開口部との間に介在させられていて、ＳＭＩＦオープナ側に固定可能で、前後方向に伸縮調整自在な第１の組立構造体から成るものとし、下側調整部は、ＳＭＩＦオープナの下方と処理装置の開口下との間に介在させられていて、ＳＭＩＦオープナ側及び処理装置側の双方の側に着脱自在に固定可能で、前後方向に伸縮調整自在な第２の組立構造体から成るものとする。

第１の組立構造体は、矩形状のスライド式の枠体を備え、該枠体は、入れ子と受け子とが二重もしくは多重に摺動自在に嵌まり合って構成されるものとし、上下左右4個所の角部において、そのスライド量が調整自在にされるものとする。

また、第２の組立構造体は、横倒Ｈ字形状の一対の板の組立体から成るものとし、該組立体は、これら一対の板の間の間隔が調整自在にされるものとし、しかも、その組立体の上下左右４個所の角部において、これら一対の板の間の間隔が調整自在にされるものとする。さらに、その組立体の上下左右4個所の角部は、ＳＭＩＦオープナ本体から左右方向外方にはみ出した位置に配置されるものとする。

次に、本願の発明の一実施例について説明する。
ここでは、便宜上、ＳＭＩＦオープナの載置台を境にして、上側調整部と下側調整部とから成り、各々を調整することにより、ＳＭＩＦオープナの位置調整を行うにされたＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ及び位置調整方法について説明する。上側調整部は、ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと処理装置の開口部との間に介在させられ、これらの間の隙間を調整するもので、ＳＭＩＦオープナ側に固定されたスライド式の枠体から成るものである。また、下側調整部は、処理装置の開口下とＳＭＩＦオープナの下方との間に介在させられ、これらの間の隙間を調整するものである。ＳＭＩＦオープナを処理装置へ取り付ける場合、下側調整部の連結部材を使用するので、その取付け・取外しが非常に簡単になる。

以下、図面をもとに、本実施例を詳細に説明する。
図１は、ＳＭＩＦオープナ本体に本実施例の位置調整アダプタを取り付けた状態の斜視図、図２は、同アダプタ単体の外観斜視図、図３は、同アダプタの上側調整部の分解・組立図であって、（ａ）は、同上側調整部を構成する要素である薄板形状部のみの斜視図、（ｂ）は、同薄板形状部に、同上側調整部を構成するもう１つの要素である枠型形状部の受け子が固着された状態を、同枠型形状部の入れ子とともに示す斜視図、（ｃ）は、これら薄板形状部と枠型形状部（入れ子と受け子とから成る）とが組み立てられた状態を示す斜視図、図４は、同アダプタの上側調整部の調整機構部を詳細に示す図１の部分拡大図、図５は、同アダプタをＳＭＩＦオープナと処理装置との間に介在させて同ＳＭＩＦオープナを同処理装置に取り付けた状態をＳＭＩＦオープナ側から見た正面図、図６は、同アダプタの下側調整部の調整機構部を詳細に示す図５の部分拡大図、図７は、図５の拡大されたＸ−Ｘ線矢視概略断面図、図８は、同アダプタの下側調整部の調整機構部において使用される調整手段の断面図である。なお、図５及び図７において、ＳＭＩＦオープナを構成する、ＳＭＩＦボックスのポッドを持ち上げる枠台、該枠台と一体のエンクロージャー、該エンクロージャーを囲む外カバー及びシャッターは、図示省略されている。また、図７においては、ＳＭＩＦオープナを構成する、背箱内に収容されているロボットも、図示省略されている。

図１及び図２に図示されるように、本実施例のＳＭＩＦオープナ１の位置調整アダプタ１００は、上側調整部２００と下側調整部３００とから成っている。
上側調整部２００は、枠型形状部２０１と、薄板形状部２０２とから成る。枠型形状部２０１は、入れ子状の二重構造となっており、そこに形成されるトンネルの長さを、入れ子２０１ｂを受け子２０１ａに挿入する深さを調節することにより、調整できるようになっている。

受け子２０１ａは、図２及び図３に図示されるように、完全な長方形状の枠体であり、その各辺の枠材は、細長い板状部材から成り、それら板状部材の端部同志が付き合わせられて溶着されることにより、それら板状部材の幅と同じ深さの長方形状の枠体が形成されるようになっている。そして、その内周面には、全周に亘ってパッキン２０３が貼り付けられている。なお、この受け子２０１ａは、１本の細長い板状部材を長方形状に折曲することにより形成するようにされても良い。

また、入れ子２０１ｂは、受け子２０１ａにパッキン２０３を介して挿入される長方形状の枠体部分２０４と、該枠体部分２０４の四周の処理装置４００側の一方端縁から直角に外方に折曲されて矩形状に広げられて成る拡張枠板部分２０５との一体構造から成っている。そして、この拡張枠板部分２０５は、枠体部分２０４より上方及び下方に所要の長さだけ延長された延長部分２０５ａ、２０５ｂをそれぞれ備えていて、この延長部分２０５ａ、２０５ｂの両端には、後述する調整機構部の構成要素を成し、ボルト挿通位置を可変にできる長溝２０８を有する溝付き舌片２０６ａ、２０６ｂ、２０７ａ、２０７ｂ（不図示）が、それぞれ薄板形状部２０２へ向けてＬ字型に折曲されて形成されている。前記した「所要の長さだけ延長」の「所要の長さ」は、これら溝付き舌片２０６ａ、２０６ｂ、２０７ａ、２０７ｂを設けるのに必要十分な長さである。なお、本実施例において、枠型形状部２０１は、二重とされたが、必要であれば、何重にされても良い。

また、薄板形状部２０２は、枠型形状部２０１を取り付ける基台をなすもので、枠型形状部２０１が囲む領域Ｓに対応する面積部分をくり抜かれた打抜き板形状をなしており、枠型形状部２０１を取り付けたとき、この枠型形状部２０１より上方及び下方に突出する突出部分２０９ａ、２０９ｂをそれぞれ備えていて、この突出部分２０９ａ、２０９ｂの両端部には、後述する調整機構部の構成要素を成し、ボルト孔２１２を有するＬ型フレーム２１０ａ、２１０ｂ、２１１ａ、２１１ｂがそれぞれねじ止めされて固定されている。また、この突出部分２０９ａ、２０９ｂは、上側調整部２００全体を上下でＳＭＩＦオープナ１の背面部にボルトにより固定するための取付け部をなすものであり、そのために、突出部分２０９ａ、２０９ｂの両端部の適所にボルト挿通用の孔２１３がそれぞれ形成されている。なお、突出部分２０９ｂは、ＳＭＩＦオープナ１の背面部の壁面形状に応じて、ＳＭＩＦオープナ１側にわずかに後退して垂下するように、薄板形状部２０２の残りの板部に対して段付けされて折曲形成される場合もある(図１、図７参照)。

薄板形状部２０２のくり抜かれた開口部を囲み、枠型形状部２０１の受け子２０１ａ（入れ子状の二重構造から成る枠型形状部２０１の一番外側にある部材）と重なる部分（図３（ａ）においてハッチングが付された領域）Ｔは、当該受け子２０１ａと溶接留めがされる領域を示している。

枠型形状部２０１の入れ子２０１ｂの上下延長部分２０５ａ、２０５ｂの両端にそれぞれ折曲形成された溝付き舌片２０６ａ、２０６ｂ、２０７ａ、２０７ｂにそれぞれ形成された長溝２０８に挿通されるボルト２１４は、その位置に対応して薄板形状部２０２に取り付けられたＬ型フレーム２１０ａ、２１０ｂ、２１１ａ、２１１ｂのボルト孔２１２にも挿通され、入れ子２０１ｂと薄板形状部２０２との間の距離が調整された後緊締されて、これにより、受け子２０１ａに入れ子２０１ｂが挿入されて組み立てられた枠型形状部２０１と薄板形状部２０２とが連結されるようになっている。つまり、延長部２０５ａ、２０５ｂの両端（入れ子２０１ｂの四隅）を、薄板形状部２０２に対して位置調整しながら、ボルト２１４により該薄板形状部２０２に固定することにより、枠型形状部２０１の入れ子２０１ｂと薄板形状部２０２との間の距離、換言すれば、枠型形状部２０１のトンネルの長さ、を調整することが可能である。

このように、溝付き舌片２０６ａ、２０６ｂ、２０７ａ、２０７ｂと、Ｌ型フレーム２１０ａ、２１０ｂ、２１１ａ、２１１ｂと、４本のボルト２１４とを用いて、枠型形状部２０１のトンネルの長さを調整することが可能にされている４個所の部分の各々を、本明細書においては、特に上側調整部２００の「調整機構部」と呼んでいる。また、前記のようにして枠型形状部２０１と薄板形状部２０２とが連結されて組み立てられた構造体を、本明細書においては、特に「第１の組立構造体」と呼んでいる。

枠型形状部２０１の入れ子２０１ｂが処理装置４００の開口４０２の周辺の壁面と接触する部位には、シール材２１５が貼り付けられており、上側調整部２００をＳＭＩＦオープナ１側から強めに同壁面に当接させると、完全な密閉空間が形成される。
なお、本実施例においては、枠型形状部２０１が入れ子状の二重構造として構成されたが、伸縮可能な部材を用いてトンネルを形成するようにして構成されても良い。

次に、下側調整部３００の構造について、図１、図２、図５乃至図７を参照しながら、詳細に説明する。
下側調整部３００は、あらまし、処理装置側４００側に取り付けられる板Ａと、ＳＭＩＦオープナ１側に取り付けられる板Ｂと、これらの間の隙間の距離を調整可能な複数の調整手段３０１とを備えて成る。

板Ａと板Ｂとは、本実施例では、コストダウンのために、同一形状に製作されている。そして、一方の板が、他方の板に対して反転、上下逆にされ、両者向き合わせにして使用されている。しかし、必ずしも同一形状に製作される必要はない。板Ａと板Ｂとは、これらが正面視Ｈ型形状のステンレス製板を使用して製作される場合には、そのＨ字形を９０度回転させて横倒しにした状態にして使用される。この向きにおいて、本実施例では、それらの上下の両端部分、つまり、９０度回転させられたＨ字形の上下横一の両端部分が、ＳＭＩＦオープナ１を設置した際に、該ＳＭＩＦオープナ１の両側からはみ出す大きさにされているが、これは、図５及び図６に図示されるように、本実施例で使用されるＳＭＩＦオ−プナ１の取付け部位８が当該ＳＭＩＦオ−プナ１の本体からはみ出した上下左右の位置に付いているからであり、最低でも、板Ｂの上下の両端部分がＳＭＩＦオープナ１の該取付け部位８と対応する位置ではみ出すようにされていれば良い。

また、本実施例では、これらの板Ａと板ＢのＳＭＩＦオープナ１の両側からはみ出した部分（図５のＥで指示される左右方向突出領域。全部で４個所ある。）に、これらの板Ａ、板Ｂ間の隙間を調整する調整手段３０１が設けられている。この調整手段３０１は、板Ａと板ＢのＳＭＩＦオープナ１の両側からはみ出した４個所の部分Ｅの各々の上下２個所に設けられており、その設置個所は、合計８個所となる。そして、これら８個所の調整手段３０１をそれぞれ調整することにより、ＳＭＩＦオープナ１を取り外すことなく、ＳＭＩＦオープナ１の水平方向の位置調整及びＳＭＩＦオープナ１の処理装置４００の壁４０１に対する傾斜角度の調整（立体的な位置調整）が可能にされている。このように、板Ａと板Ｂとが調整手段３０１を介して連結されて組み立てられた構造体を、本明細書においては、特に「第２の組立構造体」と呼んでいる。調整手段３０１の詳細については、後述する。

また、板Ａ、板Ｂには、位置決め用の孔３０２が上下に２個所設けられている。通常、処理装置４００の壁４０１には、位置決め用として使用されるための孔４０３が処理装置４００の開口４０２の真下に上下２個所設けられている（図７参照）。この孔４０３は、ＳＭＩＦオープナ１の設置時の位置合わせ用として、多くの処理装置４００に設けられており、また、多くのＳＭＩＦオープナには、この孔４０３に対応した位置に凸部９が設けられている（図７参照）。

そこで、板Ａには、その位置決め用孔３０２に、ＳＭＩＦオープナ１に通常設けられる凸部９と同じ形状の位置決め部材３０３を埋め込み、これを処理装置４００の位置決め用孔４０３に挿入し、板Ｂに設けられた同様の位置決め用孔３０２は、この位置決め部材３０３に対する位置決め用孔として使用する。そして、この板Ｂに設けられた位置決め用孔３０２は、さらに、ＳＭＩＦオープナ１に設けられた凸部９の位置合わせ用の孔として使用することとする。このようにすれば、ＳＭＩＦオープナ１を、下側調整部３００を介して処理装置４００に正しく取り付けることができる。

また、板Ａ、板Ｂの中央部には、これらのうちの一方の板を他方の板に対して反転、上下逆にする前の状態において、これらの板の長軸（板Ａ、板ＢのＨ字形状の平行な２辺を繋ぐ中央の連結辺に沿ったＨ字の中心軸）を直角に二等分した面に直方体形状の小片ブロック材Ｃ、ブロック材Ｄの上面が合うようにして、当該ブロック材Ｃ、ブロック材Ｄがそれぞれ取り付けられている。したがって、板Ａのブロック材Ｃと板Ｂのブロック材Ｄとを対向させた状態で、一方の板Ｂを他方の板Ａに対して上下逆にして接近させると、図７に図示されるように、ブロック材Ｃ上にブロック材Ｄが載った状態となる。この時、ブロック材Ｃ、ブロック材Ｄの各先端が相手の板に衝突するのを避けるために、当該相手の板に矩形状の小開口３０４がそれぞれ打ち抜き形成されている（図１、図２、図７参照）。なお、板Ａ、板Ｂの全面に亘って、その６個所に大小打ち抜かれた円孔３０７が形成されているが、これは、これらの板の軽量化を図るためのものである

これらのブロック材Ｃ、ブロック材Ｄは、必ずしもなくてはならないものではないが、板Ａと板Ｂとを連結する際に、ブロック材Ｃ、ブロック材Ｄ同志を係合させておくことにより、調整手段３０１等で使用されるボルトを締結する際の作業を楽に行うことができる。また、板Ｂの重量を、板Ａと板Ｂとを連結する調整手段３０１のみで支持させると、調整手段３０１そのものに負荷が掛かるが、これらのブロック材Ｃ、ブロック材Ｄを設けておくことにより、その負荷を軽減することができる。これらのブロック材Ｃ、ブロック材Ｄは、板Ａと板Ｂとを上下方向に係合関係に置くための係合部材をなす。

次に、板Ａ、板Ｂを処理装置４００とＳＭＩＦオープナ１との間に設置する方法について説明する。
まず、板Ａと板Ｂとを８個の調整手段３０１によって仮連結する。なお、この時点での板Ａと板Ｂとの間の距離は、自由である。次に、板Ａの位置決め部材（凸部）３０３を処理装置４００の位置決め用孔４０３に合わせ、板Ｂ側から該板Ｂ及び板Ａを貫通して上下左右４本の取付けボルト３０５（図２、図５、図６参照）を処理装置４００の壁４０１のボルト孔（不図示）に通してナット（不図示）で固定し、板Ａと板Ｂとを処理装置４００に取り付ける。

このようにして、板Ａと板Ｂとを処理装置４００に取り付けたら、次に、ＳＭＩＦオープナ１と板Ｂとを連結する。これは、図５及び図６に示されるように、ＳＭＩＦオープナ１の取付け部位８にあるボルト挿通用切り欠き８ａと、該ボルト挿通用切り欠き８ａに対向する位置に設けてある板Ｂのボルト孔（不図示）とにボルト３０６を通し、ナット（不図示）で締結することにより行う。

このように、板Ａ、板Ｂを処理装置４００へ取り付けるボルト位置や、板ＢとＳＭＩＦオープナ１とを連結するボルト位置を板Ａ、板ＢがＳＭＩＦオープナ１からはみ出した部分（左右方向突出領域Ｅ）にしておくことにより、ＳＭＩＦオープナ１をメンテナンスで取り外す際に、それらのボルトの締結を解く作業が容易になるとともに、板Ａ、板Ｂを処理装置４００に残したままにしておくことも、ＳＭＩＦオープナ１に板Ａ、板Ｂをくっ付けたまま取り外すことも容易に行えて、ＳＭＩＦオープナ１の再設置時に便利となる。

このようにして、ＳＭＩＦオープナ１の設置が済んだら、板Ａと板Ｂとの間の隙間を調整手段３０１を用いて調整することになる。次に、この調整手段３０１の構造と使用法とについて、図８を参照しながら、詳細に説明する。
調整手段３０１は、図８に図示されるように、中心部に位置する固定ボルト３１０と、該固定ボルト３１０に遊嵌されるレベル調整ボルト３１１と、これら固定ボルト３１０とレベル調整ボルト３１１との間に介装されるワッシャ３１２と、レベル調整ボルト３１１の外周面のねじに螺合させられるロックナット３１３とから成っている。レベル調整ボルト３１１は、鍔付き円筒形状をなし、その円筒部の外周面にねじが刻設されていて、ロックナット３１３は、このねじと螺合し合っている。

そこで、今、板Ａと板Ｂとの間の隙間を調整しながら、これら両板を連結するには、次のようにして行う。
先ず、レベル調整ボルト３１１を、その外周面のねじにロックナット３１３が螺合させられた状態で、板Ｂに形成された円孔３１４に通して、その先端を板Ａの表面に当接させる。この時、ロックナット３１３は、板Ｂに衝突しない位置にまでレベル調整ボルト３１１のねじにねじ込まれている。次に、固定ボルト３１０を、その頭部にワッシャ３１２を装着した状態で、レベル調整ボルト３１１の内部に通して、その先端のねじ部を板Ａの表面に穿孔されたボルトねじ孔３１５に所定長ねじ込む。この状態においては、固定ボルト３１０は、レベル調整ボルト３１１の先端をワッシャ３１２を介して板Ａの表面にきつく押し付けている。次に、板Ａと板Ｂとの間の隙間を所望の距離に仮設定した状態において、ロックナット３１３をねじ戻し、これが板Ｂの表面にきつく当接するようにする。このようにすることによって、板Ａと板Ｂとの間の隙間を所望の距離に設定調整することができる。このように、調整手段３０１を用いて、板Ａと板Ｂとの間の隙間を所望の距離に設定調整することが可能にされている８個所の部分の各々を、本明細書においては、特に下側調整部３００の「調整機構部」と呼んでいる。このような構造と使用法とを備えた調整手段３０１は、市販されている。

本実施例の下側調整部３００は、前記のように構成されており、２枚の同形の板Ａ、板Ｂ間の間隔を調整したり、ＳＭＩＦオープナ１を板Ｂに取り付けたり取り外したり、ＳＭＩＦオープナ１を処理装置４００に取り付けたり取り外したりするためのボルトねじ止め個所が、図５に図示されるように、ＳＭＩＦオープナ１の本体から外れた位置（左右方向突出領域Ｅ）に設けられているので、ＳＭＩＦオープナ１を設置した後でも、その位置調整や、その取付け・取外しが容易である。

なお、本実施例のＳＭＩＦオープナ１の構造は、従来、公知のものであるが、以下に、これを簡単に、図１、図５、図７を参照しながら、説明しておく。
半導体製造工場におけるベイ内の天井搬送装置（ＯＨＴ）等により搬送されてきたＳＭＩＦボックス（不図示）は、処理装置４００に取り付けられたＳＭＩＦオープナ１の載置台２上に載置される。そうすると、エレベータ７（その駆動部は、載置台２の下方部に収容されている。）が作動して、載置台２を囲む平面視矩形状の枠台３が、その上にＳＭＩＦボックスのポッド部分（覆い部分）を載せて、それと一体構造にして下方に設けられていて外カバー４の内側に隠れているエンクロージャー、シャッター５とともに上昇する。そうすると、処理装置４００の開口４０２が開かれ、載置台２上に載置された状態で取り残されたカセットは、エンクロージャーにより包囲されて、エンクロージャー内は、処理装置４００の内部と気密に連通状態となる。なお、この時、カセットは、ＳＭＩＦボックスのドア部分に載せられた状態で、載置台２上に載置されて取り残されている。

次いで、ＳＭＩＦオープナ１の背箱６内に収納されていたロボット（不図示）が、そのカセットを把持して、これを処理装置４００内の所定の処理部に搬送する。カセットに収納された複数枚のウエハには、ここの処理部において、所定の処理が施されることになる。

所定の処理が施された複数枚のウエハを収納したカセットは、再び、処理装置４００内の搬送装置と背箱６内に収納されたロボットとの連携搬送により載置台２上に戻される。次いで、エレベータ７が再び作動して、その上にポッド部分を載せた枠台３が、エンクロージャー、シャッター５とともに下降する。これにより、処理装置４００の開口４０２が閉じられ、先に載置台２上に戻されていたカセットは、ポッド部分により覆われる。ポッド部分により覆われたカセットは、カセットを載せたＳＭＩＦドアがポッド部分（ＳＭＩＦポッド）と気密に連結されて一体化されることにより、ＳＭＩＦボックスの内部に密封されて収納されることになる。この状態において、ベイ内の天井搬送装置（ＯＨＴ）は、このＳＭＩＦボックスを把持して、次の処理装置へと搬送する。なお、シャッター５は、それが上昇した時には、背箱６内に収納された状態となる。符号１０は、背箱６内に収納されるロボットアームの上下動用ＬＭガイドを示している。

本願の発明は、以上の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。
例えば、本実施例においては、下側調整部３００として、２枚の同形の板Ａ、Ｂを用い、これらの間の間隔をボルトねじ止めにより調整する手段を用いたが、これに代えて、上側調整部２００において使用されたようなテレスコピック状の組立体や、厚みが可変できる１枚の板状のもの（板状ブロック体）を用いて構成してもよい。

また、上側調整部２００の第１の組立構造体と、下側調整部３００の第２の組立構造体とは、上下方向に一体に結合されても良い。この場合において、当初、別体の第１の組立構造体と第２の組立構造体とが、連結されて一体に結合されても良く、また、当初から、ＳＭＩＦオープナ１側のシャッター５と処理装置４００の開口４０２の部分との間及びＳＭＩＦオープナ１の下方と処理装置４００の開口４０２の下方との間に跨るようにして、同一素材より一体に製作されて、一体に結合されているのでも良い。

ＳＭＩＦオープナ本体に本実施例の位置調整アダプタを取り付けた状態の斜視図である。 同アダプタ単体の外観斜視図である。 同アダプタの上側調整部の分解・組立図であって、（ａ）は、同上側調整部を構成する要素である薄板形状部のみの斜視図、（ｂ）は、同薄板形状部に、同上側調整部を構成するもう１つの要素である枠型形状部の受け子が固着された状態を、同枠型形状部の入れ子とともに示す斜視図、（ｃ）は、これら薄板形状部と枠型形状部（入れ子と受け子とから成る）とが組み立てられた状態を示す斜視図である。 同アダプタの上側調整部の調整機構部を詳細に示す図１の部分拡大図である。 同アダプタをＳＭＩＦオープナと処理装置との間に介在させて同ＳＭＩＦオープナを同処理装置に取り付けた状態をＳＭＩＦオープナ側から見た正面図である。 同アダプタの下側調整部の調整機構部を詳細に示す図５の部分拡大図である。 図５の拡大されたＸ−Ｘ線矢視断面図である。 同アダプタの下側調整部の調整機構部において使用される調整手段の断面図である。

符号の説明

１…ＳＭＩＦオープナ、２…載置台、３…枠台、４…外カバー、５…シャッター、６…背箱、７…エレベータ、８…取付け部位、８ａ…ボルト挿通用切り欠き、９…凸部、１０…ＬＭガイド、１００…位置調整アダプタ、２００…上側調整部、２０１…枠型形状部、２０１ａ…受け子、２０１ｂ…入れ子、２０２…薄板形状部、２０３…パッキン、２０４…枠体部分、２０５…拡張枠板部分、２０５ａ、２０５ｂ…延長部分、２０６ａ、２０６ｂ…溝付き舌片、２０７ａ、２０７ｂ…溝付き舌片、２０８…長溝、２０９ａ、２０９ｂ…突出部分、２１０ａ、２１０ｂ…Ｌ型フレーム、２１１ａ、２１１ｂ…Ｌ型フレーム、２１２…ボルト孔、２１３…ボルト挿通用孔、２１４…ボルト、２１５…シール材、３００…下側調整部、３０１…調整手段、３０２…位置決め用孔、３０３…位置決め部材、３０４…小開口、３０５…取付けボルト、３０６…ボルト、３０７…円孔、３１０…固定ボルト、３１１…レベル調整ボルト、３１２…ワッシャ、３１３…ロックナット、３１４…円孔、３１５…ボルトねじ孔、４００…処理装置、４０１…壁、４０２…開口、４０３…位置決め用孔、Ａ、Ｂ…板、Ｃ、Ｄ…ブロック材、Ｅ…左右方向突出領域、Ｓ、Ｔ…領域。

Claims (14)

1. ＳＭＩＦオープナを処理装置に取り付けるに際して、前記ＳＭＩＦオープナの前記処理装置に対する取付け位置を前後方向に調整可能にする位置調整アダプタが、前記ＳＭＩＦオープナの載置台を境にして、上側調整部と、下側調整部とから成り、
   前記上側調整部は、前記ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと前記処理装置の開口部との間に介在させられていて、前記ＳＭＩＦオープナ側に固定可能で、前後方向に伸縮調整自在な第１の組立構造体から成り、
   前記下側調整部は、前記ＳＭＩＦオープナの下方と前記処理装置の開口下との間に介在させられていて、前記ＳＭＩＦオープナ側及び前記処理装置側の双方の側に固定可能で、前後方向に伸縮調整自在な第２の組立構造体から成る
   ことを特徴とするＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ。
2. 前記第１の組立構造体は、矩形状のスライド式の枠体を備えており、
   前記枠体は、入れ子と受け子とが二重もしくは多重に摺動自在に嵌まり合って構成されている
   ことを特徴とする請求項１に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ。
3. 前記枠体は、上下左右4個所の角部において、そのスライド量が調整自在にされていることを特徴とする請求項２に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ。
4. 前記第２の組立構造体は、横倒Ｈ字形状の一対の板の組立体から成り、
   前記組立体は、前記一対の板の間の間隔が調整自在にされている
   ことを特徴とする請求項１に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ。
5. 前記組立体は、上下左右4個所の角部において、前記一対の板の間の間隔が調整自在にされていることを特徴とする請求項４に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ。
6. 前記組立体の前記上下左右4個所の角部は、前記ＳＭＩＦオープナ本体から左右方向外方にはみ出した位置に配置されていることを特徴とする請求項５に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ。
7. 前記一対の板の間の間隔を調整自在にする調整手段は、レベル調整ボルトを備えていることを特徴とする請求項４ないし請求項６のいずれかに記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ。
8. 前記一対の板は、両板の互いに向かい合う面の略中央部に係止部材を備え、これらの係止部材が上下方向に係合させられている
   ことを特徴とする請求項４ないし請求項７のいずれかに記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ。
9. 前記下側調整部は、前記ＳＭＩＦオープナ側及び前記処理装置側の双方の側に着脱自在に固定可能であることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ。
10. 前記第１の組立構造体と、前記第２の組立構造体とは、上下方向に一体に結合されていることを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれかに記載のＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ。
11. ＳＭＩＦオープナを処理装置に取り付けるに際して、前記ＳＭＩＦオープナの前記処理装置に対する取付け位置を前後方向に調整可能にする位置調整アダプタが、
    前記ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと前記処理装置の開口部との間及び前記ＳＭＩＦオープナの下方と前記処理装置の開口下との間に跨って介在させられていて、
    少なくとも前記ＳＭＩＦオープナ側に固定可能で、前後方向に伸縮調整自在な組立構造体から成る
    ことを特徴とするＳＭＩＦオープナの位置調整アダプタ。
12. ＳＭＩＦオープナを処理装置に取り付けるに際して、前記ＳＭＩＦオープナの前記処理装置に対する取付け位置を前後方向に調整可能にする位置調整方法が、前記ＳＭＩＦオープナのロードポートを境にして、上側調整方法と、下側調整方法とから成り、
    前記上側調整方法は、前記ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと前記処理装置の開口部との間に介在させられていて、前記ＳＭＩＦオープナ側に固定可能にされた上側調整部を前後方向に伸縮調整することから成り、
    前記下側調整方法は、前記ＳＭＩＦオープナの下方と前記処理装置の開口下との間に介在させられていて、前記ＳＭＩＦオープナ側及び前記処理装置側の双方の側に着脱自在に固定可能にされた下側調整部を前後方向に伸縮調整することから成る
    ことを特徴とするＳＭＩＦオープナの位置調整方法。
13. 前記上側調整部は、矩形状のスライド式の枠体を備えており、
    前記枠体は、入れ子と受け子とが二重もしくは多重に摺動自在に嵌まり合って構成されており、
    前記下側調整部は、横倒Ｈ字形状の一対の板の組立体から成り、
    前記組立体は、前記一対の板の間の間隔が調整自在にされている
    ことを特徴とする請求項１２に記載のＳＭＩＦオープナの位置調整方法。
14. ＳＭＩＦオープナを処理装置に取り付けるに際して、前記ＳＭＩＦオープナの前記処理装置に対する取付け位置を前後方向に調整可能にする位置調整方法が、
    前記ＳＭＩＦオープナ側のシャッターと前記処理装置の開口部との間及び前記ＳＭＩＦオープナの下方と前記処理装置の開口下との間に跨って介在させられていて、少なくとも前記ＳＭＩＦオープナ側に固定可能にされた調整部を、前後方向に伸縮調整することから成る
    ことを特徴とするＳＭＩＦオープナの位置調整方法。
    
    
    
    
    

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