TW201826430A - 基板搬送手、基板搬送機器人、及基板移載裝置 - Google Patents

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Abstract

一種基板搬送手，具備基部，連結於前述機器人手臂；基板保持部，與前述基部結合，保持基板。此基板搬送手，從垂直貫穿保持於前述基板保持部之前述基板之方向亦即基板之垂線方向觀看，於前述基部與前述基板保持部之結合部或其附近折彎，前述基部與前述基板保持部全體呈現V字形狀。

Description

基板搬送手、基板搬送機器人、及基板移載裝置
本發明是關於用來將半導體晶圓或玻璃基板等基板保持並搬送之基板搬送手、具備該基板搬送手之基板搬送機器人、及具備該基板搬送機器人之基板移載裝置。
以往，已知進行於半導體元件製造材料亦即半導體基板(以下，亦可能僅稱為「基板」)形成元件等製程處理之基板處理設備。一般而言，於基板處理設備中，設置有製程處理裝置、與製程處理裝置鄰接配置之基板移載裝置等。
例如，於專利文獻1記載之基板移載裝置，具備筐體，於內部形成有搬送室；複數個裝載埠，設置於筐體之前壁；基板搬送機器人，設置於搬送室內。基板搬送機器人具備機器人手臂；基板搬送手，與機器人手臂之手前端部連結。此基板搬送機器人，進行對製程處理裝置之基板之裝載及卸載、對結合於裝載埠之基板載具之基板之取出及收容等作業。作為如上述之基板移載裝置之一例，已知設備前端模組(Equipment Front End Module，簡稱EFEM)或分類器等。此外，作為如上述之基板載具之一例，已知被稱為前開式晶圓傳送盒(Front Opening Unified Pod)者。
作為基板搬送手，例如記載於專利文獻1般，具備與機器人手臂之手前端部連結之基部及與此基部連結之基板保持部者被廣泛使用。基板搬送手，將基板以基板保持部保持並搬送。基板搬送機器人，從結合於裝載埠之基板載具之開口部往內部將基板保持部插入，進行基板之授受。
〔先前技術文獻〕
〔專利文獻〕
〔專利文獻1〕日本特開2008-28134號公報
若將連接基板搬送手之基端部與前端部之直線定義為「手軸」，在以往之基板搬送手中，基部與基板保持部沿著手軸串連配置，基板搬送手以手軸為左右中心大致左右對稱。基板搬送機器人，於將基板搬送手之基板保持部往基板載具內插入時，在與基板載具之開口部連通之裝載埠之開口部之附近處，先以手軸與基板往基板載具內之插入方向成為平行之方式，調整基板搬送手之姿勢後，再使基板保持部往裝載埠之開口部移動。
一般而言，如專利文獻1般，基板移載裝置之搬送室內呈俯視矩形狀，於裝載埠之開口部之附近(搬送室內側)，為了使基板搬送手成為手軸與基板往基板載具內之插入方向成為平行而形成有充分之空間。
本案之申請人們，為了追求基板移載裝置之進一步縮小，研究了將基板移載裝置之至少一個構成要素配置於以往是搬送室之空間之一部分之筐體內之角落的方式。然而，上述構成要素位於裝載埠之開口部之延長線上之場合，在以往之基板搬送手中，為了要成為手軸與基板往基板載具內之插入方向成為平行之姿勢而確保充分之空間，在沒有筐體之擴張之情況下難以達成。
針對上述問題，本發明之一態樣之基板搬送手，是一種基板搬送手，連結於機器人手臂，其特徵在於：具備基部，連結於前述機器人手臂；基板保持部，與前述基部結合，保持基板，從垂直貫穿保持於前述基板保持部之前述基板之方向亦即基板之垂線方向觀看，於前述基部與前述基板保持部之結合部或其附近折彎，前述基部與前述基板保持部全體呈現V字形狀。
此外，本發明之另一態樣之基板搬送手，是一種基板搬送手，連結於機器人手臂，其特徵在於：具備基部，可以規定於前述機器人手臂之手前端部之關節軸線為中心旋轉地與前述機器人手臂連結；基板保持部，與前述基部結合，保持基板，從垂直貫穿保持於前述基板保持部之前述基板之方向亦即基板之垂線方向 觀看，於比前述基板之中心點更靠近前述基部側處，前述基板之周緣與前述基板保持部之周緣重疊之點之中點規定為中間點，通過前述關節軸線上之點與前述中間點之直線規定為第一基準線，且通過前述基板之中心點與前述中間點之直線規定為第二基準線時，前述第一基準線與前述第二基準線形成之角度比0度大且比180度小。
此外，本發明之再另一態樣之基板搬送手，是一種基板搬送手，連結於機器人手臂，其特徵在於：具備基部，可以規定於前述機器人手臂之手前端部之關節軸線為中心旋轉地與前述機器人手臂連結；基板保持部，與前述基部結合，保持基板，從垂直貫穿保持於前述基板保持部之前述基板之方向亦即基板之垂線方向觀看，於比前述基板之中心點更靠近前述基部側處，前述基板之周緣與前述基板保持部之周緣重疊之點之中點規定為中間點，通過前述基板之中心點與前述中間點之直線規定為基準線時，前述關節軸線從前述基準線偏移。
此外，本發明之又再另一態樣之基板搬送手，是一種基板搬送手，連結於機器人手臂，其特徵在於：具備基部，可以規定於前述機器人手臂之手前端部之關節軸線為中心旋轉地與前述機器人手臂連結；基板保持部，與前述基部結合，保持基板，從垂直貫穿保持於前述基板保持部之前述基板之方向亦即基板之垂線方向 觀看，於比前述基板之中心點更靠近前述基部側處，前述基板之周緣與前述基板保持部之周緣重疊之點之中點規定為中間點，通過前述關節軸線上之點與前述中間點之直線規定為基準線時，前述基板之中心點從前述基準線偏移。
本發明之一態樣之基板搬送機器人，是一種基板搬送機器人，具備：基台；機器人手臂，基端部可旋轉地連結於前述基台；前述基板搬送手，連結於前述機器人手臂之前端部。
本發明之一態樣之基板移載裝置，是一種基板移載裝置，在收容基板之基板載體與半導體之流程處理裝置之間，或，在前述基板載體彼此之間，將前述基板移載，其特徵在於：具備筐體，於內部形成有搬送室；複數個裝載埠，設置於前述筐體之壁；前述基板搬送機器人，設置於前述搬送室，進行前述基板之移載作業。
在上述基板搬送手、基板搬送機器人、及基板移載裝置中，與使用以往之基板搬送手之場合比較，特別可減少從最遠離機器人手臂之基端部之基板載具授受基板時之基板搬送手與機器人手臂之通過範圍。藉此，於搬送室內可於基板搬送手與機器人手臂之通過範圍外(例如，搬送室之角落)配置物體。
根據本發明，與使用以往之基板搬送手之場合比較，可減少搬送室中之基板搬送手與機器人手臂之通過範圍，可於其通過範圍外配置物體。
1‧‧‧基板移載裝置
2‧‧‧製程處理裝置
3‧‧‧基板
3a‧‧‧中心點
4‧‧‧基部
4A‧‧‧第一中心線
4B‧‧‧第一基準線
5‧‧‧基板保持部
5A‧‧‧第二中心線
5B‧‧‧第二基準線
7‧‧‧基板搬送機器人
8‧‧‧筐體
20‧‧‧處理裝置本體
21‧‧‧筐體
22‧‧‧處理室
25‧‧‧基板載具
41‧‧‧殼體
42‧‧‧結合部
51‧‧‧前方導引件
52‧‧‧後方導引件
53‧‧‧推動器
54‧‧‧驅動機構
60‧‧‧容器本體
61‧‧‧容器側門
69‧‧‧升降驅動單元
70‧‧‧升降軸
71‧‧‧機器人手臂
72‧‧‧基板搬送手
73‧‧‧基台
74‧‧‧控制器
圖1是基板處理設備之概略俯視圖。
圖2是基板處理設備之概略側視圖。
圖3是顯示基板搬送機器人之控制系統之構成之方塊圖。
圖4是從基板垂線方向觀察基板搬送手之圖。
圖5是從基板垂線方向觀察基板搬送手之圖。
圖6A是說明基板移載裝置中之基板搬送機器人之變化之圖，顯示待機狀態之基板搬送機器人。
圖6B是說明基板移載裝置中之基板搬送機器人之變化之圖，顯示從待機狀態將手臂伸長之基板搬送機器人。
圖6C是說明基板移載裝置中之基板搬送機器人之變化之圖，顯示基板保持部移動至裝載埠之開口部之搬送室側之狀態之基板搬送機器人。
圖6D是說明基板移載裝置中之基板搬送機器人之變化之圖，顯示於基板載具插入基板保持部之狀態之基板搬送機器人。
圖7是從基板垂線方向觀察變形例之基板搬送手之圖。
以下，參照圖式說明本發明之實施形態。
(基板處理設備100之概略構成)
首先，一邊參照圖1與圖2，一邊從基板處理設備100之概略構成進行說明。於此基板處理設備100中，設置有具備具有本發明之一實施形態之基板搬送機器人7之基板移載裝置1。
基板處理設備100，具備基板移載裝置1、製程處理裝置2。於本實施形態之基板處理設備100中，基板移載裝置1，是在基板載具25與製程處理裝置2之間移載基板3之所謂前端模組。但，基板移載裝置1，即使是在基板載具25與另一基板載具25之間移載基板3之所謂分類器亦可。基板移載裝置1，是以符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)規格等之規定之方式設計。
製程處理裝置2，是對基板3施加熱處理、不純物導入處理、薄膜形成處理、微影處理、洗淨處理、平坦化處理之至少一個以上之製程處理之裝置或裝置群。但，製程處理裝置2亦可對基板3施加上述之處理以外之處理。
製程處理裝置2，具備處理裝置本體20，對基板3施加處理；筐體21，收容處理裝置本體20；調整裝置(圖示略)，調整形成於筐體21內之處理室22之環境氣體。調整裝置，可藉由例如風扇過濾組來實現。
基板移載裝置1，與製程處理裝置2鄰接配設。基板移載裝置1，作為在基板載具25與製程處理裝置2之間負責基板3之授受之介面部發揮機能。基板載具25，是可收容多數之基板3之可搬式之容器。
基板載具25，包含容器本體60，收容基板3；容器側門61，相對於容器本體 60可裝卸或可開閉；而構成。容器本體60，呈具有往一方開放之出入口之大致箱形狀，此出入口藉由容器側門61可開閉地閉塞。於容器本體60之內部，以可將多數之基板3於上下方向Z等間隔地排列之狀態收容之方式，形成有於上下方向Z排列之多數之架。
(基板移載裝置1之構成)
接著，針對基板移載裝置1詳細地說明。基板移載裝置1，具備基板搬送機器人7；對準器92，調整基板3之方向；調整裝置93；筐體8，收容上述元件；裝載埠91。
筐體8，呈相對於第一方向X之尺寸，第二方向Y之尺寸較大之長方體形狀。在此，假設「第一方向X」是某一水平方向，「第二方向Y」是與第一方向X正交之水平方向。筐體8，由前壁81與後壁82，於第一方向X隔著間隔對峙；一對側壁83，於第二方向Y隔著間隔對峙；頂板84；與底板85；等構成，藉由上述各壁而於筐體8之內部形成搬送室80。另外，於本說明書中，將從搬送室80觀察，前壁81存在之第一方向X之一方表示為「前」，相對於前，將第一方向X之相反側表示為「後」。
搬送室80是潔淨度極高的封閉空間，搬送室80以既定之環境氣體充滿。調整裝置93，是進行搬送室80之污染控制之裝置。藉由調整裝置93，搬送室80之環境中之懸浮微小粒子被管理在既定之清潔度等級以下，並視必要而亦針對溫度、濕度、壓力等搬送室80之環境條件進行管理。
於後壁82，設置有後開口87。後壁82，將製程處理裝置2之處理室22與基板移載裝置1之搬送室80於第一方向X分隔，且通過後開口87處理室22與搬送室80 連通。
裝載埠91，設置於筐體8之前壁81。在本實施形態中，於第二方向Y排列之四個裝載埠91設置於前壁81。裝載埠91，具有基板載具25往基板移載裝置1之結合與解除結合、基板載具25之支持、與基板載具25之開閉等機能。
複數個裝載埠91，沿著筐體8之前壁81於第二方向Y排列，構成裝載埠行。規定於後述之機器人手臂71之基端部之關節軸線A1，位於從裝載埠行之第二方向Y之中央C1偏向第二方向Y之一方處。更具體而言，於基板搬送手72為如圖1所示之態樣之場合，關節軸線A1，位於從裝載埠行之第二方向Y之中央C1偏向第二方向Y之一方(圖1中之上方向)處。於基板搬送手72為如後述之圖7所示之形態之場合，使關節軸線A1位於從裝載埠行之第二方向Y之中央C1偏向第二方向Y之另一方(圖1中之下方向)處亦可。藉由如上述般設定，可將起因於手形態之基板保持部5之往第二方向Y之偏移量，藉由關節軸線A1之配置位置來抵銷。
各裝載埠91，具備開口框95、支持台97、與開放器98。開口框95構成筐體8之前壁81之一部分，藉由開口框95而規定之裝載埠91之開口部86，也是筐體8前側之開口部。通過此裝載埠91之開口部86，與基板移載裝置1結合之基板載具25與搬送室80連通。
支持台97，配置於裝載埠91之開口部86之前方近處。支持台97，具有支持被載置之基板載具25之機能、保持基板載具25之機能。載置及保持於支持台97之基板載具25，以容器本體60之出入口之全周圍與開口框95接觸，且容器側門 61與裝載埠91之開口部86於第一方向X重疊之方式被定位。
開放器98，具備將裝載埠91之開口部86開閉之開放器側門96與其驅動機構。開放器98，藉由使基板載具25之容器側門61及開放器側門96一體地往搬送室80內移動，使裝載埠91之開口部86開放。
圖3是顯示基板搬送機器人之控制系統之構成之方塊圖。如圖1~3所示，基板搬送機器人7，具備機器人手臂(以下，僅稱為「手臂71」)、連結於手臂71之手前端部之基板搬送手(以下，僅稱為「手部72」)、支持手臂71之基台73、掌管基板搬送機器人7之動作之控制器74。本實施形態之基板搬送機器人7，是水平多關節機器人。另外，基台73，於搬送室80中，設置於第二方向Y之中央部。
手臂71，具備從基端部往前端部依序連結之複數個連桿75、76。另外，於手臂71與手部72中，將相對於基台73較接近之端部稱為「基端部」，將相對於基台73較遠離之端部稱為「前端部」。於手臂71，規定有垂直於各連桿75、76之連結部之關節軸線A1~A3。於連桿75、76內，設置有將各連桿75、76繞關節軸線A1~A3個別變位驅動之水平驅動單元77、78、79。
手臂71，於基端部具有可相對於基台73往上下方向Z移動之升降軸70。此升降軸70，藉由升降驅動單元69而相對於基台73往上下方向Z伸縮驅動。水平驅動單元77、78、79與升降驅動單元69之各單元，例如，包含依照從控制器74給予之信號角變位之伺服馬達、將伺服馬達之動力往連桿體傳達之動力傳達機構、檢測伺服馬達之角變位之位置檢測器(皆圖示略)
於上述構成之手臂71之前端部亦即手前端部，連結有手部72。手部72，藉由水平驅動單元79，以關節軸線A3為中心相對於手臂71相對轉動變位。手部72，具備與手臂71之手前端部連結之基部4、與基部4結合之基板保持部5。手部72之構成將於之後詳述。
控制器74，是所謂包含電腦之演算控制裝置，例如，具有微控制器、CPU、MPU、PLC、DSP、ASIC或FPGA等演算處理部、ROM、RAM等記憶部(皆不圖示)。於記憶部記憶有演算處理部執行之程式、各種固定資料等。此外，於記憶部保存有用來控制基板搬送機器人7之動作之教示點資料、關於手臂71於手部72之形狀與尺寸之資料、關於保持於手部72之基板3之形狀與尺寸之資料等。在控制器74中，藉由將記憶於記憶部之程式等軟體由演算處理部讀出並執行，來進行用來控制基板搬送機器人7之動作之處理。另外，控制器74可藉由以單一電腦進行之集中控制來執行各處理，或藉由以複數個電腦之合作進行之分散控制來執行各處理亦可。
控制器74，基於與以位置檢測器之各者檢測之旋轉位置對應之手部72之姿勢(位置及姿勢)與記憶於記憶部之教示點資料，演算既定之控制時間後之目標姿勢。之後，控制器74，以於既定之控制時間後手部72成為目標姿勢之方式，往伺服放大器輸出控制指令。在伺服放大器中，基於控制指令對各伺服馬達供給驅動電力。藉此，可使手部72往想要之姿勢移動。
(基板搬送手72之構成)
在此，針對手部72之構成，詳細進行說明。圖4是從基板垂線方向觀察基板搬送手72之圖。另外，所謂「基板垂線方向」，是指垂直貫穿保持於手部72之基板保持部5之基板3之主面之方向。
於手部72之基部4，從基板垂線方向觀察，規定有通過其基端部與前端部之第一中心線4A。第一中心線4A，是與基板垂線方向正交之直線。第一中心線4A，與關節軸線A3交叉。此外，從基板垂線方向觀察基部4時，基部4，形成為除了前端部之一部分外，以第一中心線4A為中心實質上對稱。
基部4，是由中空之殼體41形成。基部4之基端部，相對於手臂71之手前端部可繞關節軸線A3轉動地連結。於基部4之前端部，設置有結合基板保持部5之結合部42。基板保持部5之基端部，從殼體41之前端部往其內部插入，結合於結合部42。基板保持部5，可以例如不圖示之鎖緊具等固定於結合部42。
手部72之基板保持部5，是前端側分為雙股之形成為Y字狀之薄板狀構件，亦稱為葉片部或叉部。但，基板保持部5之態樣並不限定於本實施形態，只要是例如以嵌合、吸附、夾持、或其他態樣使手部72保持基板3者即可。
於基板保持部5，從基板垂線方向觀察，規定有通過基板保持部5之基端部、保持於基板保持部5之基板3之中心點3a之第二中心線5A。第二中心線5A，是與基板垂線方向正交之直線。本實施形態之基板保持部5，形成為從基板垂線方向觀察時，以第二中心線5A為中心實質上對稱。但，第二中心線5A，只要有通過保持於基板保持部5之基板3之中心點3a即可，並不限定於基板保持部5以第二中心線5A對稱。
基板保持部5之分為雙股之各自之前端部分，設置有前方導引件51。此外，於基板保持部5之基端側，以對向於一對前方導引件51之方式設置有一對後方導 引件52。一對前方導引件51與一對後方導引件52，具有將基板從下方支持之機能。因此，此等構成要素，對應於基板3之形狀，形成為可將該基板3適切地支持之位置與形狀。
手部72，進一步具有用來使基板保持部5保持載置於基板保持部5之基板3之保持機構。在此，於基板3之保持，包含以嵌合、吸附、夾持、或其他態樣使載置於基板保持部5之基板3不從基板保持部5脫落。於本實施形態之手部72，具備夾持式之保持機構。此保持機構，由一對前方導引件51、推動器53、與其驅動機構54構成。
推動器53，設置於基板保持部5之基端側，支持於基部4之前端部。推動器53之驅動機構54，設置於形成基部4之殼體41之內部。驅動機構54，使推動器53與第二中心線5A平行地進退移動。驅動機構54，例如以氣壓缸等致動器構成，其動作由控制器74控制。
於基板保持部5之上面載置基板3後，基板3之周緣部藉由一對前方導引件51與一對後方導引件52從下方支持。在此狀態下，若推動器53往基板保持部5之前端側前進，推動器53會將基板3之側面往前方導引件51推壓。藉此，以推動器53與一對前方導引件51把持基板3，基板保持於手部72。
上述構成之手部72，從基板垂線方向觀察，於基部4與基板保持部5之結合部42或其附近折彎，基部4與基板保持部5作為全體呈現V字形狀。於上述之「V字形狀」中，亦可包含V字形狀之角被圓滑化之圓弧形狀或U字形狀等。另外，所謂結合部42之附近，是指接近結合部42且包含於手部72之中，從基部4之前端 部至基部4之全長之30%之範圍。
再如上述之手部72中，從基板垂線方向觀察，基部4之中心線亦即第一中心線4A與基板保持部5之中心線亦即第二中心線5A交叉。另外，從基板垂線方向觀察，第一中心線4A與第二中心線5A形成之角度，可以是比90度大且比180度小之範圍。若第一中心線4A與第二中心線5A形成之角度比90度小，手部72反而會成為難以操作控制者。此外，第一中心線4A與第二中心線5A形成之角度，可對應於於筐體8內設置於裝載埠91之開口部86之延長線上之物體88(參照圖1)之形狀來決定。
此外，於上述之手部72中，在圖5中，從基板垂線方向觀察，比保持於基板保持部5之基板3之中心點3a更靠近基部4側基板3之周緣與基板保持部5之周緣重疊之點3b、3b之中點規定為中間點C2，通過關節軸線A3上之點與中間點C2之直線規定為第一基準線4B，且通過基板3之中心點3a與中間點C2之直線規定為第二基準線5B。
如圖5所示，在上述手部72中，從基板垂線方向觀察，前述第一基準線4B與前述第二基準線5B形成之角度比0度大且比180度小。此外，在上述手部72中，從基板垂線方向觀察，基板3之中心點3a，從第一基準線4B偏移了偏移量D1。此外，在上述手部72中，從基板垂線方向觀察，關節軸線A3，從第二基準線5B偏移了偏移量D2。
(基板移載裝置1之動作)
在此，參照圖6A~6D，針對基板移載裝置1之動作之一例進行說明。圖6A~6D是說明基板移載裝置1中之基板搬送機器人7之變化之圖。
在如圖6A~6D所示之基板移載裝置1中，於搬送室80之角落配置有物體88。此物體88，可以是基板移載裝置1之構成要素之中之至少一個。於物體88與設置於基板移載裝置1之第二方向Y之端部之裝載埠91E之開口部86之間，設有第一方向X之間隙G。間隙G之第一方向X之尺寸，比基板3之直徑小，在基板3之一部分插入基板載具25內之狀態下，容許基板3之往此間隙G之進入。物體88，於搬送室80內，雖往第二方向Y伸出至與裝載埠91E之開口部86同程度，但物體88之往搬送室80露出之朝向第二方向Y之面88a，具有從前往後且朝向搬送室80之第二方向Y之中央之傾斜。
如圖6A所示之基板搬送機器人7，處於待機狀態，連桿75、76與手部72於上下方向Z重疊。以下，針對從此待機狀態往與設置於基板移載裝置1之第二方向Y之端部之裝載埠91(91E)結合之基板載具25去取基板3之基板搬送機器人7之動作進行說明。另外，雖不特別註明，但基板搬送機器人7之動作，是由控制器74控制。
首先，基板搬送機器人7，從如圖6A所示之態樣往如圖6B所示之態樣變化。在如圖5所示之基板搬送機器人7中，手部72之前端部側朝向裝載埠91E側，規定於手部72之第二中心線5A與裝載埠91E之開口部86之開口方向(在此是第二方向Y)平行，手部72之前端部位於從裝載埠91E之開口部86往第一方向X離開處。
在基板搬送機器人7從如圖6A所示之待機狀態變化至如圖6B所示之狀態之過程中，手部72與手臂71，在搬送室80內之可動區域內移動。另外，於搬送室80，規定有手臂71可移動之可動區域、手臂71不能進入之排他區域。此排他區 域，為了容器側門61與開放器側門96之開閉操作而由裝載埠91(開放器98)來利用。可動區域，是從搬送室80扣除排他區域後之區域。
接著，基板搬送機器人7，從如圖6B所示之態樣往如圖6C所示之態樣變化。如圖6C所示之基板搬送機器人7，手部72之基板保持部5之前端部分已進入基板載具25。此時之手部72，至少一部分位於排他區域。在基板搬送機器人7從如圖6B所示之狀態變化至如圖6C所示之狀態之過程中，手部72，一邊維持規定於手部72之第二中心線5A與裝載埠91之開口部86之開口方向(在此是第二方向Y)之平行，一邊沿著物體88之傾斜之面88a將手部72往開口部86移動。
在如圖6C所示之狀態之手部72中，可稱為基板保持部5之中心線之第二中心線5A與開口部86之開口方向平行，可稱為基部4之中心線之第一中心線4A則相對於開口部86之開口方向傾斜。其結果，基部4之基端部，位於比基板保持部5更靠近搬送室80之第二方向Y之中央側處。因此，物體88，可在不與如圖6C所示之狀態之手部72干涉之範圍內，往搬送室80之第二方向Y之中央側處伸出。在本實施形態中，藉由將物體88之朝向搬送室80之第二方向Y之中央側之面88a從前往後朝向第二方向Y之中央傾斜，可將物體88往搬送室80之第二方向Y之中央側更大幅伸出。換言之，物體88之朝向搬送室80之第二方向Y之中央側之面88a，以容許手部72之往開口部86之接近之方式，從前往後朝向第二方向Y之中央傾斜。
接著，基板搬送機器人7，從如圖6C所示之態樣往如圖6D所示之態樣變化。如圖6D所示之基板搬送機器人7，基板保持部5進入至基板載具25之深處。如上述，在基板保持部5進入至基板載具25之深處之狀態下，從基板載具25進行基板 3之接收與交付。
在基板搬送機器人7從如圖6C所示之狀態變化至如圖6D所示之狀態之過程中，手部72，一邊維持第二中心線5A與開口部86之開口方向之平行，一邊往前方移動。另外，開口部86之開口方向，與相對於基板載具25之基板3之插拔方向平行。如上述，基板保持部5進入基板載具25之期間，基板保持部5與相對於基板載具25之基板3之插拔方向平行地移動，故基板3不會在基板載具25內摩擦或振動，可進行安定之基板3之插拔。
如以上已說明般，本實施形態之基板搬送手72，具備基部4，連結於機器人手臂71；基板保持部5，與基部4結合，保持基板3。此基板搬送手72，從垂直貫穿保持於前述基板保持部5之前述基板3之方向亦即基板之垂線方向觀看，於前述基部4與前述基板保持部5之結合部42或其附近折彎，前述基部4與前述基板保持部5全體呈現V字形狀。
此外，本實施形態之基板搬送手72中，從垂直貫穿保持於前述基板保持部之前述基板之方向亦即基板之垂線方向觀看，於比前述基板3之中心點3a更靠近前述基部4側處，前述基板3之周緣與前述基板保持部5之周緣重疊之點3b、3b之中點規定為中間點C2，通過關節軸線A3上之點與前述中間點C2之直線規定為第一基準線4B，且通過前述基板3之中心點3a與前述中間點C2之直線規定為第二基準線5B時，前述第一基準線4B與前述第二基準線5B形成之角度比0度大且比180度小。
此外，在本實施形態之基板搬送手72中，從基板垂線方向觀察，關節軸線 A3，從第二基準線5B偏移，基板3之中心點3a，從第一基準線4B偏移。
本實施形態之基板搬送機器人7，具備基台73、基端部可旋轉地連結於基台73之機器人手臂71、連結於機器人手臂71之前端部之上述基板搬送手72。
而且，本實施形態之基板移載裝置1，是在收容有基板3之基板載具25與半導體之製程處理裝置2之間，或在基板載具25彼此之間將基板3移載者，具備於內部形成有搬送室80之筐體8、設置於筐體之壁之複數個裝載埠91、設置於搬送室80並進行基板3之移載作業之上述之基板搬送機器人7。
在上述之基板搬送手72、基板搬送機器人7、與基板移載裝置1中，從基板垂線方向觀看之基板搬送手72呈現V字形狀。因此，在基板保持部5之一部分或全部通過裝載埠91之開口部86插入基板載具25之狀態下，基部4比基板保持部5更靠近機器人手臂71之基端部。藉此，變成可於以往之基板搬送手中，原本基板保持部之一部分或全部通過裝載埠之開口部插入基板載具之狀態下，基部存在之位置(亦即，裝載埠91之開口部86之往搬送室80側之延長線上)配置物體88。亦即，藉由基板搬送手72折彎為V字形狀，與使用以往之基板搬送手之場合比較，可減少在搬送室80內之基板搬送手72與機器人手臂71之通過範圍，特別可減少從位於最遠離機器人手臂71之基端部之基板載具25授受基板3時之基板搬送手72與機器人手臂71之通過範圍，可於其通過範圍外配置物體。
此外，在本實施形態之基板搬送手72中，規定有通過基部4之基端部與前端部之第一中心線4A，規定有通過基板保持部5之基端部與保持於基板保持部5之基板3之中心點3a之第二中心線5A。此外，若從基板垂線方向觀察第一中心線4A 與第二中心線5A，該第一中心線4A與第二中心線5A交叉。另外，從基板垂線方向觀察之第一中心線4A與第二中心線5A形成之角度，比90度大且比180度小。
雖已於以上說明了本發明之理想之實施形態，但在不脫離本發明之精神之範圍內，將上述實施形態之具體之構造及/或機能之細節變更者，亦可包含於本發明。上述之基板搬送手72、基板搬送機器人7、與基板移載裝置1之構成，例如，可如以下般變更。
圖7是從基板垂線方向觀察變形例之基板搬送手之圖。在上述實施形態之基板搬送手72中，從第一中心線4A觀看，第二中心線5A在90度~180度之間逆時針旋轉。但，如圖7所示，基板搬送手72即使是從第一中心線4A觀看，第二中心線5A在90度~180度之間順時針旋轉之態樣亦可。

Claims (9)

  1. 一種基板搬送手，連結於機器人手臂，其特徵在於：具備基部，連結於前述機器人手臂；基板保持部，與前述基部結合，保持基板，從垂直貫穿保持於前述基板保持部之前述基板之方向亦即基板之垂線方向觀看，於前述基部與前述基板保持部之結合部或其附近折彎，前述基部及前述基板保持部全體呈現V字形狀。
  2. 如申請專利範圍第1項之基板搬送手，其中，通過前述基部之基端部及前端部之直線規定為第一中心線，且通過前述基板保持部之基端部及保持於前述基板保持部之前述基板之中心點之直線規定為第二中心線時，從前述基板垂線方向觀看，前述第一中心線與前述第二中心線交叉。
  3. 如申請專利範圍第2項之基板搬送手，其中，從前述基板垂線方向觀看，前述第一中心線與前述第二中心線形成之角度比90度大且比180度小。
  4. 一種基板搬送手，連結於機器人手臂，其特徵在於：具備基部，可以規定於前述機器人手臂之手前端部之關節軸線為中心旋轉地與前述機器人手臂連結；基板保持部，與前述基部結合，保持基板，從垂直貫穿保持於前述基板保持部之前述基板之方向亦即基板之垂線方向觀看，於比前述基板之中心點更靠近前述基部側處，前述基板之周緣與前述基板保持部之周緣重疊之點之中點規定為中間點，通過前述關節軸線上之點與前 述中間點之直線規定為第一基準線，且通過前述基板之中心點與前述中間點之直線規定為第二基準線時，前述第一基準線與前述第二基準線形成之角度比0度大且比180度小。
  5. 一種基板搬送手，連結於機器人手臂，其特徵在於：具備基部，可以規定於前述機器人手臂之手前端部之關節軸線為中心旋轉地與前述機器人手臂連結；基板保持部，與前述基部結合，保持基板，從垂直貫穿保持於前述基板保持部之前述基板之方向亦即基板之垂線方向觀看，於比前述基板之中心點更靠近前述基部側處，前述基板之周緣與前述基板保持部之周緣重疊之點之中點規定為中間點，通過前述基板之中心點與前述中間點之直線規定為基準線時，前述關節軸線從前述基準線偏移。
  6. 一種基板搬送手，連結於機器人手臂，其特徵在於：具備基部，可以規定於前述機器人手臂之手前端部之關節軸線為中心旋轉地與前述機器人手臂連結；基板保持部，與前述基部結合，保持基板，從垂直貫穿保持於前述基板保持部之前述基板之方向亦即基板之垂線方向觀看，於比前述基板之中心點更靠近前述基部側處，前述基板之周緣與前述基板保持部之周緣重疊之點之中點規定為中間點，通過前述關節軸線上之點與前述中間點之直線規定為基準線時，前述基板之中心點從前述基準線偏移。
  7. 一種基板搬送機器人，具備：基台；機器人手臂，基端部可旋轉地連結於前述基台； 申請專利範圍第1~6項中任一項之基板搬送手，連結於前述機器人手臂之前端部。
  8. 一種基板移載裝置，在收容基板之基板載體與半導體之流程處理裝置之間，或，在前述基板載體彼此之間，將前述基板移載，其特徵在於：具備筐體，於內部形成有搬送室；複數個裝載埠，設置於前述筐體之壁；申請專利範圍第7項之基板搬送機器人，設置於前述搬送室，進行前述基板之移載作業。
  9. 如申請專利範圍第8項之基板移載裝置，其中，前述複數個裝載埠，沿著前述筐體之壁於既定方向排列而構成裝載埠行，上述機器人手臂之基端部位於從前述裝載埠行之前述既定方向之中央偏向前述既定方向之一方處。
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