CN109564888A - 基板搬送手、基板搬送机器人、及基板移载装置 - Google Patents

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Abstract

一种基板搬送手，具备基部，连结于机器人手臂；基板保持部，与基部结合，保持基板。此基板搬送手，从垂直贯穿保持于基板保持部的基板的方向亦即基板垂线方向观察，在基部与基板保持部的结合部或其附近折弯，基部与基板保持部作为整体呈现V字形状。

Description

基板搬送手、基板搬送机器人、及基板移载装置
技术领域
本发明关于用来将半导体晶圆或玻璃基板等基板保持并搬送的基板搬送手、具备该基板搬送手的基板搬送机器人、及具备该基板搬送机器人的基板移载装置。
背景技术
以往，已知进行在半导体组件制造材料亦即半导体基板（以下，也可能仅称为「基板」）形成组件等流程处理的基板处理设备。一般而言，在基板处理设备中，设置有流程处理装置、与流程处理装置邻接配置的基板移载装置等。
例如，在专利文献1记载的基板移载装置，具备筐体，在内部形成有搬送室；多个装载埠，设置于筐体的前壁；基板搬送机器人，设置于搬送室内。基板搬送机器人具备机器人手臂；基板搬送手，与机器人手臂的手梢端部连结。此基板搬送机器人，进行对流程处理装置的基板的装载及卸除、对结合于装载埠的基板载具的基板的取出及容纳等作业。作为如上述的基板移载装置的一例，已知设备梢端模块（Equipment Front End Module，简称EFEM）或分类器等。此外，作为如上述的基板载具的一例，已知被称为前开式晶圆传送盒（Front Opening Unified Pod）者。
作为基板搬送手，例如记载于专利文献1般，具备与机器人手臂的手梢端部连结的基部及与此基部连结的基板保持部被广泛使用。基板搬送手，将基板以基板保持部保持并搬送。基板搬送机器人，从结合于装载埠的基板载具的开口部往内部将基板保持部插入，进行基板的授受。
现有技术文献：
专利文献：
专利文献1：日本特开2008-28134号公报。
发明内容
发明要解决的问题：
若将连接基板搬送手的基端部与梢端部的直线定义为「手轴」，在以往的基板搬送手中，基部与基板保持部沿着手轴串连配置，基板搬送手以手轴为左右中心大致左右对称。基板搬送机器人，在将基板搬送手的基板保持部往基板载具内插入时，在与基板载具的开口部连通的装载埠的开口部的附近处，先以手轴与基板往基板载具内的插入方向成为平行的方式，调整基板搬送手的姿势后，再使基板保持部往装载埠的开口部移动。
一般而言，如专利文献1般，基板移载装置的搬送室内呈俯视矩形状，在装载埠的开口部的附近（搬送室内侧），为了使基板搬送手成为手轴与基板往基板载具内的插入方向成为平行而形成有充分的空间。
解决问题的手段：
本案的申请人们，为了追求基板移载装置的进一步缩小，研究了将基板移载装置的至少一个构成要素配置于以往作为搬送室的空间的一部分的筐体内的角落的方式。然而，上述构成要素位于装载埠的开口部的延长线上的场合，在以往的基板搬送手中，为了要成为手轴与基板往基板载具内的插入方向成为平行的姿势而确保充分的空间，在没有筐体的扩张的情况下难以达成。
针对上述问题，本发明的一形态的基板搬送手，是一种连结于机器人手臂的基板搬送手，其特征在于：
具备
基部，与前述机器人手臂连结；
基板保持部，与前述基部结合，保持基板，
从垂直贯穿保持于前述基板保持部的前述基板的方向亦即基板垂线方向观察，在前述基部与前述基板保持部的结合部或其附近折弯，前述基部与前述基板保持部作为整体呈现V字形状。另外“V字形状”中，V字形状可以包括V字形状的拐角是圆形的弧形或U字形状。
此外，本发明的另一形态的基板搬送手，是一种连结于机器人手臂的基板搬送手，其特征在于：
具备
基部，可以规定于前述机器人手臂的手梢端部的关节轴线为中心旋转地与前述机器人手臂连结；
基板保持部，与前述基部结合，保持基板，
从垂直贯穿保持于前述基板保持部的前述基板的方向亦即基板垂线方向观察，在比前述基板的中心点更靠近前述基部侧处，前述基板的周缘与前述基板保持部的周缘重叠的点的中点规定为中间点，通过前述关节轴线上的点与前述中间点的直线规定为第一基准线，且通过前述基板的中心点与前述中间点的直线规定为第二基准线时，前述第一基准线与前述第二基准线形成的角度比0度大且比180度小。
此外，本发明的再另一形态的基板搬送手，是一种连结于机器人手臂的基板搬送手，其特征在于：
具备
基部，可以规定于前述机器人手臂的手梢端部的关节轴线为中心旋转地与前述机器人手臂连结；
基板保持部，与前述基部结合，保持基板，
从垂直贯穿保持于前述基板保持部的前述基板的方向亦即基板垂线方向观察，在比前述基板的中心点更靠近前述基部侧处，前述基板的周缘与前述基板保持部的周缘重叠的点的中点规定为中间点，通过前述基板中心点与前述中间点的直线规定为基准线时，前述关节轴线从前述基准线偏移。
此外，本发明的再另一形态的基板搬送手，是一种连结于机器人手臂的基板搬送手，其特征在于：
具备
基部，可以规定于前述机器人手臂的手梢端部的关节轴线为中心旋转地与前述机器人手臂连结；
基板保持部，与前述基部结合，保持基板，
从垂直贯穿保持于前述基板保持部的前述基板的方向亦即基板垂线方向观察，在比前述基板的中心点更靠近前述基部侧处，前述基板的周缘与前述基板保持部的周缘重叠的点的中点规定为中间点，通过前述关节轴线上的点与前述中间点的直线规定为基准线时，前述基板的中心点从前述基准线偏移。
本发明的一形态的基板搬送机器人，其特征在于，具备：
基台；
机器人手臂，基端部可旋转地连结于前述基台；
前述基板搬送手，连结于前述机器人手臂的梢端部。
本发明的一形态的基板移载装置，是在容纳基板的基板载具与半导体的流程处理装置之间，或，在前述基板载具彼此之间，将前述基板移载的一种基板移载装置，其特征在于：
具备
筐体，在内部形成有搬送室；
多个装载埠，设置于前述筐体的壁；
前述基板搬送机器人，设置于前述搬送室，进行前述基板的移载作业。
在上述基板搬送手、基板搬送机器人、及基板移载装置中，与使用以往的基板搬送手的场合比较，特别可减少从最远离机器人手臂的基端部的基板载具授受基板时的基板搬送手与机器人手臂的通过范围。藉此，在搬送室内可在基板搬送手与机器人手臂的通过范围外（例如，搬送室的角落）配置物体。
发明效果：
根据本发明，与使用以往的基板搬送手的场合比较，可减少搬送室中的基板搬送手与机器人手臂的通过范围，可在其通过范围外配置物体。
附图说明
图1是基板处理设备的概略俯视图；
图2是基板处理设备的概略侧视图；
图3是显示基板搬送机器人的控制系统的构成的方块图；
图4是从基板垂线方向观察基板搬送手的图；
图5是从基板垂线方向观察基板搬送手的图；
图6A是说明基板移载装置中的基板搬送机器人的变化的图，显示待机状态的基板搬送机器人；
图6B是说明基板移载装置中的基板搬送机器人的变化的图，显示从待机状态将手臂伸长的基板搬送机器人；
图6C是说明基板移载装置中的基板搬送机器人的变化的图，显示基板保持部移动至装载埠的开口部的搬送室侧的状态的基板搬送机器人；
图6D是说明基板移载装置中的基板搬送机器人的变化的图，显示基板保持部被插入基板载具的状态的基板搬送机器人；
图7是从基板垂线方向观察变形例的基板搬送手的图。
具体实施方式
以下，参照图说明本发明的实施形态。
（基板处理设备100的概略构成）
首先，一边参照图1与图2，一边从基板处理设备100的概略构成进行说明。在此基板处理设备100中，设置有具备具有本发明的一实施形态的基板搬送手72的基板搬送机器人7的基板移载装置1。
基板处理设备100，具备基板移载装置1、流程处理装置2。在本实施形态的基板处理设备100中，基板移载装置1，是在基板载具25与流程处理装置2之间移载基板3的所谓梢端模块。但，基板移载装置1，即使是在基板载具25与另一基板载具25之间移载基板3的所谓分类器也可。基板移载装置1，以符合SEMI（Semiconductor Equipment and MaterialsInternational）规格等的规定的方式设计。
流程处理装置2，是对基板3施加热处理、不纯物导入处理、薄膜形成处理、微影处理、洗净处理、平坦化处理的至少一个以上的流程处理的装置或装置群。但，流程处理装置2也可对基板3施加上述的处理以外的处理。
流程处理装置2，具备处理装置主体20，对基板3施加处理；筐体21，容纳处理装置主体20；调整装置（图标略），调整形成在筐体21内的处理室22的环境气体。调整装置，可藉由例如风扇过滤组来实现。
基板移载装置1，与流程处理装置2邻接配设。基板移载装置1，作为在基板载具25与流程处理装置2之间负责基板3的授受的界面部发挥机能。基板载具25，是可容纳多数的基板3的可搬式的容器。
基板载具25，包含容器主体60，容纳基板3；容器侧门61，相对于容器主体60可装卸或可开闭；而构成。容器主体60，呈具有往一方开放的出入口的大致箱形状，此出入口藉由容器侧门61可开闭地闭塞。在容器主体60的内部，以可将多数的基板3在上下方向Z等间隔地排列的状态容纳的方式，形成有在上下方向Z排列的多数的架。
（基板移载装置1的构成）
接着，针对基板移载装置1详细地说明。基板移载装置1，具备基板搬送机器人7；对准器92，调整基板3的方向；调整装置93；筐体8，容纳上述组件；装载埠91。
筐体8，呈第二方向Y的尺寸相对于第一方向X的尺寸较大的长方体形状。在此，假设「第一方向X」是某一水平方向，「第二方向Y」是与第一方向X正交的水平方向。筐体8，由在第一方向X隔着间隔对置的前壁81与后壁82；在第二方向Y隔着间隔对置的一对侧壁83；顶板84；与底板85等构成，藉由上述各壁而在筐体8的内部形成搬送室80。另外，在本说明书中，将从搬送室80观察，前壁81存在的第一方向X的一方表示为「前」，相对于前，将第一方向X的相反侧表示为「后」。
搬送室80是洁净度极高的封闭空间，搬送室80以规定的环境气体充满。调整装置93，是进行搬送室80的污染控制的装置。藉由调整装置93，搬送室80的环境中的悬浮微小粒子被管理在规定的清洁度等级以下，并视必要而也针对温度、湿度、压力等搬送室80的环境条件进行管理。
在后壁82，设置有后开口87。后壁82，将流程处理装置2的处理室22与基板移载装置1的搬送室80在第一方向X分隔，且通过后开口87处理室22与搬送室80连通。
装载埠91，设置于筐体8的前壁81。在本实施形态中，在第二方向Y排列的四个装载埠91设置于前壁81。装载埠91，具有基板载具25往基板移载装置1的结合与解除结合、基板载具25的支持、与基板载具25的开闭等机能。
多个装载埠91，沿着筐体8的前壁81在第二方向Y排列，构成装载埠列。规定于后述的机器人手臂71的基端部的关节轴线A1，位于从装载埠列的第二方向Y中央C1偏向第二方向Y的一方处。更具体而言，在基板搬送手72为如图1所示的形态的场合，关节轴线A1，位于从装载埠列的第二方向Y中央C1偏向第二方向Y的一方（图1中的上方向）处。在基板搬送手72为如后述的图7所示的形态的场合，使关节轴线A1位于从装载埠列的第二方向的中央C1偏向第二方向Y的另一方（图1中的下方向）处也可。藉由如上述般设定，可将起因于手形态的基板保持部5的往第二方向Y的偏移量，藉由关节轴线A1的配置位置来抵销。
各装载埠91，具备开口框95、支持台97、与开放器98。开口框95构成筐体8的前壁81的一部分，藉由开口框95而规定的装载埠91的开口部86，也是筐体8前侧的开口部。通过此装载埠91的开口部86，与基板移载装置1结合的基板载具25与搬送室80连通。
支持台97，配置于装载端口91的开口部86的前方近处。支持台97，具有支持被载置的基板载具25的机能、保持基板载具25的机能。载置及保持于支持台97的基板载具25，以容器主体60的出入口的全周围与开口框95接触，且容器侧门61与装载埠91的开口部86在第一方向X重叠的方式被定位。
开放器98，具备将装载埠91的开口部86开闭的开放器侧门96与其驱动机构。开放器98，藉由使基板载具25的容器侧门61及开放器侧门96一体地往搬送室80内移动，使装载埠91的开口部86开放。
图3是显示基板搬送机器人7的控制系统的构成的方块图。如图1～3所示，基板搬送机器人7，具备机器人手臂（以下，仅称为「手臂71」）、连结于手臂71的手梢端部的基板搬送手（以下，仅称为「手部72」）、支持手臂71的基台73、掌管基板搬送机器人7的动作的控制器74。本实施形态的基板搬送机器人7，是水平多关节机器人。另外，基台73，在搬送室80中，设置于第二方向Y中央部。
手臂71，具备从基端部往梢端部依序连结的多个连杆75、76。另外，在手臂71与手部72中，将相对于基台73的近位端部称为「基端部」，将相对于基台73的远位端部称为「梢端部」。在手臂71，规定有垂直于各连杆75、76的连结部的关节轴线A1～A3。在连杆75、76内，设置有将各连杆75、76绕关节轴线A1～A3个别变位驱动的水平驱动单元77、78、79。
手臂71，在基端部具有可相对于基台73往上下方向Z移动的升降轴70。此升降轴70，藉由升降驱动单元69而相对于基台73往上下方向Z伸缩驱动。水平驱动单元77、78、79与升降驱动单元69的各单元，例如，包含依照从控制器74给予的信号角变位的伺服马达、将伺服马达的动力往连杆体传达的动力传达机构、检测伺服马达的角变位的位置检测器（皆图示略）。
在上述构成的手臂71的梢端部亦即手梢端部，连结有手部72。手部72，藉由水平驱动单元79，以关节轴线A3为中心相对于手臂71相对转动变位。手部72，具备与手臂71的手梢端部连结的基部4、与基部4结合的基板保持部5。手部72的构成将在之后详述。
控制器74，是所谓包含计算机的演算控制装置，例如，具有微控制器、CPU、MPU、PLC、DSP、ASIC或FPGA等演算处理部、ROM、RAM等存储部（皆未图示）。在存储部存储有演算处理部执行的程序、各种固定数据等。此外，在存储部保存有用来控制基板搬送机器人7的动作的示教点数据、关于手臂71及手部72的形状与尺寸的数据、关于保持于手部72的基板3的形状与尺寸的数据等。在控制器74中，藉由将存储在存储部的程序等软件由演算处理部读出并执行，来进行用来控制基板搬送机器人7的动作的处理。另外，控制器74可藉由以单一计算机进行的集中控制来执行各处理，或藉由以多个计算机的合作进行的分散控制来执行各处理也可。
控制器74，基于与以位置检测器的各者检测的旋转位置对应的手部72的姿势（位置及姿势）与存储在存储部的示教点数据，演算规定的控制时间后的目标姿势。之后，控制器74，以在规定的控制时间后手部72成为目标姿势的方式，往伺服放大器输出控制指令。在伺服放大器中，基于控制指令对各伺服马达供给驱动电力。藉此，可使手部72往想要的姿势移动。
（基板搬送手72的构成）
在此，针对手部72的构成，详细进行说明。图4是从基板垂线方向观察基板搬送手72的图。另外，所谓「基板垂线方向」，是指垂直贯穿保持于手部72的基板保持部5的基板3的主面的方向。
在手部72的基部4，从基板垂线方向观察，规定有通过其基端部与梢端部的第一中心线4A。第一中心线4A，是与基板垂线方向正交的直线。第一中心线4A，与关节轴线A3交叉。此外，从基板垂线方向观察基部4时，基部4，形成为除了梢端部的一部分外，以第一中心线4A为中心实质上对称。
基部4，是由中空的壳体41形成。基部4的基端部，相对于手臂71的手梢端部可绕关节轴线A3转动地连结。在基部4的梢端部，设置有结合基板保持部5的结合部42。基板保持部5的基端部，从壳体41的梢端部往其内部插入，结合于结合部42。基板保持部5，可以例如不图示的紧固件等固定在结合部42。
手部72的基板保持部5，是梢端侧分为双股的形成为Y字状的薄板状构件，也称为叶片部或叉部。但，基板保持部5的形态并不限定于本实施形态，只要是例如以嵌合、吸附、夹持、或其他形态使手部72保持基板3者即可。
在基板保持部5，从基板垂线方向观察，规定有通过基板保持部5的基端部、保持于基板保持部5的基板3中心点3a的第二中心线5A。第二中心线5A，是与基板垂线方向正交的直线。本实施形态的基板保持部5，形成为从基板垂线方向观察时，以第二中心线5A为中心实质上对称。但，第二中心线5A，只要通过保持于基板保持部5的基板3中心点3a即可，并不限定于基板保持部5以第二中心线5A对称。
基板保持部5的分为双股的各自的梢端部分，设置有前方导引件51。此外，在基板保持部5的基端侧，以与一对前方导引件51相向的方式设置有一对后方导引件52。一对前方导引件51与一对后方导引件52，具有从下方支持基板3的机能。因此，这些构成要素，形成为对应于基板3的形状、可将该基板3适当地支持的位置与形状。
手部72，进一步具有用来使基板保持部5保持载置在基板保持部5的基板3的保持机构。在此，在基板3的保持，包含以嵌合、吸附、夹持、或其他形态使载置于基板保持部5的基板3不从基板保持部5脱落。在本实施形态的手部72，具备夹持式的保持机构。此保持机构，由一对前方导引件51、推动器53、与其驱动机构54构成。
推动器53，设置于基板保持部5的基端侧，支持于基部4的梢端部。推动器53的驱动机构54，设置于形成基部4的壳体41的内部。驱动机构54，使推动器53与第二中心线5A平行地进退移动。驱动机构54，例如以气压缸等致动器构成，其动作由控制器74控制。
在基板保持部5的上面载置基板3后，基板3的周缘部藉由一对前方导引件51与一对后方导引件52从下方支持。在此状态下，若推动器53往基板保持部5的梢端侧前进，推动器53会将基板3的侧面往前方导引件51推压。藉此，以推动器53与一对前方导引件51把持基板3，基板保持于手部72。
上述构成的手部72，从基板垂线方向观察，在基部4与基板保持部5的结合部42或其附近折弯，基部4与基板保持部5作为整体呈现V字形状。在上述的「V字形状」中，也可包含V字形状的角被圆滑化的圆弧形状或U字形状等。另外，所谓结合部42的附近，是指接近结合部42且包含在手部72中，从基部4的梢端部至基部4的全长的30％的范围。
再如上述的手部72中，从基板垂线方向观察，基部4中心线亦即第一中心线4A与基板保持部5中心线亦即第二中心线5A交叉。另外，从基板垂线方向观察，第一中心线4A与第二中心线5A形成的角度，可以是比90度大且比180度小的范围。若第一中心线4A与第二中心线5A形成的角度比90度小，手部72反而会变得难以操作控制。此外，第一中心线4A与第二中心线5A形成的角度，可对应于在筐体8内设置于装载埠91的开口部86的延长线上的物体88（参照图1）的形状来决定。
此外，在上述的手部72中，在图5中，从基板垂线方向观察，比保持于基板保持部5的基板3中心点3a更靠近基部4侧基板3的周缘与基板保持部5的周缘重叠的点3b、3b中点规定为中间点C2，通过关节轴线A3上的点与中间点C2的直线规定为第一基准线4B，且通过基板3中心点3a与中间点C2的直线规定为第二基准线5B。
如图5所示，在上述手部72中，从基板垂线方向观察，前述第一基准线4B与前述第二基准线5B形成的角度比0度大且比180度小。此外，在上述手部72中，从基板垂线方向观察，基板3中心点3a，从第一基准线4B偏移了偏移量D1。此外，在上述手部72中，从基板垂线方向观察，关节轴线A3，从第二基准线5B偏移了偏移量D2。
（基板移载装置1的动作）
在此，参照图6A～6D，针对基板移载装置1的动作的一例进行说明。图6A～6D是说明基板移载装置1中的基板搬送机器人7的变化的图。
在如图6A～6D所示的基板移载装置1中，在搬送室80的角落配置有物体88。此物体88，可以是基板移载装置1的构成要素中的至少一个。在物体88与设置于基板移载装置1的第二方向Y的端部的装载埠91E的开口部86之间，设有第一方向X的间隙G。间隙G的第一方向X的尺寸，比基板3的直径小，在基板3的一部分插入基板载具25内的状态下，容许基板3的往此间隙G的进入。物体88，在搬送室80内，虽往第二方向Y伸出至与装载埠91E的开口部86同程度，但物体88的往搬送室80露出的朝向第二方向Y的面88a，具有从前往后且朝向搬送室80的第二方向Y的中央的倾斜。
如图6A所示的基板搬送机器人7，处于待机状态，连杆75、76与手部72在上下方向Z重叠。以下，针对从此待机状态往与设置于基板移载装置1的第二方向Y的端部的装载埠91（91E）结合的基板载具25去取基板3的基板搬送机器人7的动作进行说明。另外，虽不特别注明，但基板搬送机器人7的动作，是由控制器74控制。
首先，基板搬送机器人7，从如图6A所示的形态往如图6B所示的形态变化。在如图5所示的基板搬送机器人7中，手部72的梢端部侧朝向装载埠91E侧，规定于手部72的第二中心线5A与装载埠91E的开口部86的开口方向（在此是第二方向Y）平行，手部72的梢端部位于从装载埠91E的开口部86往第一方向X离开处。
在基板搬送机器人7从如图6A所示的待机状态变化至如图6B所示的状态的过程中，手部72与手臂71，在搬送室80内的可动区域内移动。另外，在搬送室80，规定有手臂71可移动的可动区域、手臂71不能进入的排他区域。排他区域是从框体8的前壁81向第一方向X规定尺寸的区域。此排他区域，为了容器侧门61与开放器侧门96的开闭操作而由装载埠91（开放器98）来利用。可动区域，是从搬送室80扣除排他区域后的区域。
接着，基板搬送机器人7，从如图6B所示的形态往如图6C所示的形态变化。如图6C所示的基板搬送机器人7，手部72的基板保持部5的梢端部分已进入基板载具25。此时的手部72，至少一部分位于排他区域。在基板搬送机器人7从如图6B所示的状态变化至如图6C所示的状态的过程中，手部72，一边维持规定于手部72的第二中心线5A与装载埠91的开口部86的开口方向（在此是第二方向Y）的平行，一边沿着物体88的倾斜的面88a将手部72往开口部86移动。
在如图6C所示的状态的手部72中，可称为基板保持部5中心线的第二中心线5A与开口部86的开口方向平行，可称为基部4中心线的第一中心线4A则相对于开口部86的开口方向倾斜。其结果，基部4的基端部，位于比基板保持部5更靠近搬送室80的第二方向Y的中央侧处。因此，物体88，可在不与如图6C所示的状态的手部72干涉的范围内，往搬送室80的第二方向Y的中央侧处伸出。在本实施形态中，藉由将物体88的朝向搬送室80的第二方向Y中央侧的面88a从前往后朝向第二方向Y中央倾斜，可将物体88往搬送室80的第二方向Y中央侧更大幅伸出。换言之，物体88的朝向搬送室80的第二方向Y中央侧的面88a，以容许手部72的往开口部86的接近的方式，从前往后朝向第二方向Y中央倾斜。
接着，基板搬送机器人7，从如图6C所示的形态往如图6D所示的形态变化。如图6D所示的基板搬送机器人7，基板保持部5进入至基板载具25的深处。如上述，在基板保持部5进入至基板载具25的深处的状态下，从基板载具25进行基板3的接收与交付。
在基板搬送机器人7从如图6C所示的状态变化至如图6D所示的状态的过程中，手部72，一边维持第二中心线5A与开口部86的开口方向的平行，一边往前方移动。另外，开口部86的开口方向，与相对于基板载具25的基板3的插拔方向平行。如上述，基板保持部5进入基板载具25的期间，基板保持部5与相对于基板载具25的基板3的插拔方向平行地移动，故基板3不会在基板载具25内摩擦或振动，可进行安定的基板3的插拔。
如以上已说明般，本实施形态的基板搬送手72，具备基部4，连结于机器人手臂71；基板保持部5，与基部4结合，保持基板3。此基板搬送手72，从垂直贯穿保持于前述基板保持部5的前述基板3的方向亦即基板垂线方向观察，在前述基部4与前述基板保持部5的结合部42或其附近折弯，前述基部4与前述基板保持部5作为整体呈现V字形状。
此外，本实施形态的基板搬送手72中，从基板垂线方向观察，在比前述基板3中心点3a更靠近前述基部4侧处，前述基板3的周缘与前述基板保持部5的周缘重叠的点3b、3b的中点规定为中间点C2，通过关节轴线A3上的点与前述中间点C2的直线规定为第一基准线4B，且通过前述基板3中心点3a与前述中间点C2的直线规定为第二基准线5B时，前述第一基准线4B与前述第二基准线5B形成的角度比0度大且比180度小。
此外，在本实施形态的基板搬送手72中，从基板垂线方向观察，关节轴线A3，从第二基准线5B偏移，基板3的中心点3a，从第一基准线4B偏移。
本实施形态的基板搬送机器人7，具备基台73、基端部可旋转地连结于基台73的机器人手臂71、连结于机器人手臂71的梢端部的上述基板搬送手72。
而且，本实施形态的基板移载装置1，是在容纳有基板3的基板载具25与半导体的流程处理装置2之间，或在基板载具25彼此之间将基板3移载者，具备在内部形成有搬送室80的筐体8、设置于筐体8的壁的多个装载埠91、设置于搬送室80并进行基板3的移载作业的上述的基板搬送机器人7。
在上述的基板搬送手72、基板搬送机器人7、与基板移载装置1中，从基板垂线方向观察的基板搬送手72呈现V字形状。因此，在基板保持部5的一部分或全部通过装载埠91的开口部86插入基板载具25的状态下，基部4比基板保持部5更靠近机器人手臂71的基端部。藉此，变成可在以往的基板搬送手中，原本基板保持部的一部分或全部通过装载埠的开口部插入基板载具的状态下，基部存在的位置（亦即，装载埠91的开口部86的往搬送室80侧的延长线上）配置物体88。亦即，藉由基板搬送手72折弯为V字形状，与使用以往的基板搬送手的场合比较，可减少在搬送室80内的基板搬送手72与机器人手臂71的通过范围，特别可减少从位于最远离机器人手臂71的基端部的基板载具25授受基板3时的基板搬送手72与机器人手臂71的通过范围，可在其通过范围外配置物体88。
此外，在本实施形态的基板搬送手72中，规定有通过基部4的基端部与梢端部的第一中心线4A，规定有通过基板保持部5的基端部与保持于基板保持部5的基板3中心点3a的第二中心线5A。此外，若从基板垂线方向观察第一中心线4A与第二中心线5A，该第一中心线4A与第二中心线5A交叉。另外，从基板垂线方向观察的第一中心线4A与第二中心线5A形成的角度，优选比90度大且比180度小。
虽已在以上说明了本发明的理想的实施形态，但在不脱离本发明的精神的范围内，将上述实施形态的具体的构造及/或机能的细节变更者，也可包含于本发明。上述的基板搬送手72、基板搬送机器人7、与基板移载装置1的构成，例如，可如以下般变更。
图7是从基板垂线方向观察变形例的基板搬送手的图。在上述实施形态的基板搬送手72中，从第一中心线4A观察，第二中心线5A在90度～180度之间逆时针旋转。但，如图7所示，基板搬送手72即使是从第一中心线4A观察，第二中心线5A在90度～180度之间顺时针旋转的形态也可。
符号说明：
1 基板移载装置
2 流程处理装置
3 基板
3a 中心点
4 基部
4A 第一中心线
4B 第一基准线
5 基板保持部
5A 第二中心线
5B 第二基准线
7 基板搬送机器人
8 筐体
20 处理装置主体
21 筐体
22 处理室
25 基板载具
41 壳体
42 结合部
51 前方导引件
52 后方导引件
53 推动器
54 驱动机构
60 容器主体
61 容器侧门
69 升降驱动单元
70 升降轴
71 机器人手臂
72 基板搬送手
73 基台
74 控制器
75 连杆
76 连杆
77 水平驱动单元
78 水平驱动单元
79 水平驱动单元
80 搬送室
86 开口部
88 物体
91，91E 装载埠
92 对准器
93 调整装置
95 开口框
96 开放器侧门
97 支持台
98 开放器
100 基板处理设备。

Claims (9)

1.一种基板搬送手，是连结于机器人手臂的基板搬送手，其特征在于，
具备
基部，连结于所述机器人手臂；
基板保持部，与所述基部结合，保持基板，
从垂直贯穿保持于所述基板保持部的所述基板的方向亦即基板垂线方向观察，在所述基部与所述基板保持部的结合部或其附近折弯，所述基部及所述基板保持部作为整体呈现V字形状。
2.根据权利要求1所述的基板搬送手，其特征在于，
通过所述基部的基端部及梢端部的直线规定为第一中心线，且通过所述基板保持部的基端部及保持于所述基板保持部的所述基板的中心点的直线规定为第二中心线时，从所述基板垂线方向观察，所述第一中心线与所述第二中心线交叉。
3.根据权利要求2所述的基板搬送手，其特征在于，
从所述基板垂线方向观察，所述第一中心线与所述第二中心线形成的角度比90度大且比180度小。
4.一种基板搬送手，是连结于机器人手臂的基板搬送手，其特征在于，
具备
基部，能够以规定于所述机器人手臂的手梢端部的关节轴线为中心旋转地与所述机器人手臂连结；
基板保持部，与所述基部结合，保持基板，
从垂直贯穿保持于所述基板保持部的所述基板的方向亦即基板垂线方向观察，在比所述基板的中心点更靠近所述基部侧处，所述基板的周缘与所述基板保持部的周缘重叠的点的中点规定为中间点，通过所述关节轴线上的点与所述中间点的直线规定为第一基准线，且通过所述基板的中心点与所述中间点的直线规定为第二基准线时，所述第一基准线与所述第二基准线形成的角度比0度大且比180度小。
5.一种基板搬送手，是连结于机器人手臂的基板搬送手，其特征在于，
具备
基部，能够以规定于所述机器人手臂的手梢端部的关节轴线为中心旋转地与所述机器人手臂连结；
基板保持部，与所述基部结合，保持基板，
从垂直贯穿保持于所述基板保持部的所述基板的方向亦即基板垂线方向观察，在比所述基板的中心点更靠近所述基部侧处，所述基板的周缘与所述基板保持部的周缘重叠的点的中点规定为中间点，通过所述基板的中心点与所述中间点的直线规定为基准线时，所述关节轴线从所述基准线偏移。
6.一种基板搬送手，是连结于机器人手臂的基板搬送手，其特征在于，
具备
基部，能够以规定于所述机器人手臂的手梢端部的关节轴线为中心旋转地与所述机器人手臂连结；
基板保持部，与所述基部结合，保持基板，
从垂直贯穿保持于所述基板保持部的所述基板的方向亦即基板垂线方向观察，在比所述基板的中心点更靠近所述基部侧处，所述基板的周缘与所述基板保持部的周缘重叠的点中点规定为中间点，通过所述关节轴线上的点与所述中间点的直线规定为基准线时，所述基板的中心点从所述基准线偏移。
7.一种基板搬送机器人，其特征在于，具备：
基台；
机器人手臂，基端部能够旋转地连结于所述基台；
权利要求1至6中任一项所述的基板搬送手，连结于所述机器人手臂的梢端部。
8.一种基板移载装置，是在容纳基板的基板载具与半导体的流程处理装置之间，或，在所述基板载具彼此之间，将所述基板移载的基板移载装置，其特征在于，
具备
筐体，在内部形成有搬送室；
多个装载埠，设置于所述筐体的壁；
权利要求7所述的基板搬送机器人，设置于所述搬送室，进行所述基板的移载作业。
9.根据权利要求8所述的基板移载装置，其特征在于，
所述多个装载埠，沿着所述筐体的壁在规定方向排列而构成装载埠列，上述机器人手臂的基端部位于从所述装载埠列的所述规定方向的中央偏向所述规定方向的一方处。
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