KR20190046808A - 기판 반송 핸드, 기판 반송 로봇 및 기판 이송 장치 - Google Patents

기판 반송 핸드, 기판 반송 로봇 및 기판 이송 장치 Download PDF

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Abstract

기판 반송 핸드는, 로봇 암과 연결되는 베이스부와, 상기 베에스부에 결합되어 기판을 유지하는 기판 유지부를 구비한다. 이러한 기판 반송 핸드는 기판 유지부에 유지되는 기판을 수직으로 관통하는 방향인 기판 수선 방향에서 볼 때, 베이스부와 기판 유지부의 결합부 또는 그 근방에서 구부러져서, 베이스부 및 기판 유지부가 전체적으로 V자 형상을 이룬다.

Description

기판 반송 핸드, 기판 반송 로봇 및 기판 이송 장치
본 발명은 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 기판을 유지(保持)하여 반송하기 위한 기판 반송 핸드, 그 기판 반송 핸드를 구비한 기판 반송 로봇 및 그 기판 반송 로봇을 구비한 기판 이송 장치에 관한 것이다.
종래부터 반도체 소자 제조 재료인 반도체 기판(이하, 단순히 「기판」이라고 하는 경우가 있다)에 소자 형성 등의 프로세스 처리를 행하는 기판 처리 설비가 알려져 있다. 일반적으로 기판 처리 설비에는 프로세스 처리 장치나 프로세스 처리 장치와 인접 배치된 기판 이송 장치 등이 설치되어 있다.
예를 들어, 특허문헌에 개시된 기판 이송 장치는 내부에 반송 챔버가 형성된 케이스와, 케이스의 전방 벽에 설치된 복수의 로드 포트(load port)와, 반송 챔버 내에 설치된 기판 반송 로봇을 구비하고 있다. 기판 반송 로봇은 로봇 암과, 로봇 암의 손끝부와 연결된 기판 반송 핸드를 구비하고 있다. 이러한 기판 반송 로봇은 프로세스 처리 장치에 대한 기판의 로드 및 언로드, 로드 포트에 도킹된 기판 캐리어에 대한 기판의 추출 및 수용 등의 작업을 수행한다. 상기와 같은 기판 이송 장치의 일례로서, 프론트 엔드 모듈(Equipment Front End Module, 약칭 EFEM)아니 소터(sorter)가 알려져 있다. 또한, 상기와 같은 기판 캐리어의 일례로서 FOUP(Front Opening Unified Pod)라는 것이 알려져 있다.
기판 반송 핸드로는, 예를 들어, 특허문헌에 기재된 바와 같이 로봇 암의 손끝부와 연결되는 베이스와, 이 베이스와 연결된 기판 유지부를 구비한 것이 널리 사용되고 있다. 기판 반송 로봇은 기판을 기판 유지부로 유지하여 반송한다. 기판 반송 로봇은 로드 포트에 도킹된 기판 캐리어의 개구부를 통해 내부에 기판 유지부를 삽입하여 기판의 수수(授受)를 실시한다.
일본특허공개공보 특개2008-28134호
기판 반송 핸드의 기단부와 선단부를 연결하는 직선을 「핸드 축」으로 규정하면, 종래의 기판 반송 핸드에서는 핸드 축을 따라 베이스와 기판 유지부가 직렬적으로 배치되어 있고, 기판 반송 핸드는 핸드 축을 좌우 중심으로 하여 대략 대칭이다. 기판 반송 로봇은 기판 반송 핸드의 기판 유지부를 기판 캐리어 내에 삽입할 때 기판 캐리어의 개구부과 연통되는 로드 포트의 개구부의 앞쪽에서 핸드축과 기판 캐리어의 기판 삽입 방향과 평행이 되도록 일단 기판 반송 핸드의 자세를 정렬하고 나서 기판 유지부를 로드 포트의 개구부를 향해 이동시킨다.
일반적으로 특허문헌과 같이, 기판 이송 장치의 반송 챔버 내부는 평면에서 볼 때 직사각형을 가지고, 로드 포트의 개구부의 앞쪽(반송 챔버 내측)에는 기판 반송 핸드를 핸드 축과 기판 캐리어 내로의 기판의 삽입 방향과 평행이 되는 자세로 하기 때문에, 충분한 공간이 형성되어 있다.
그런데, 본 출원의 출원인들은 기판 이송 장치의 추가적인 축소를 도모하고, 종래에는 반송 챔버의 공간의 일부인 케이스 내의 모퉁이에 기판 이송 장치의 적어도 하나의 구성 요소를 배치하는 것을 검토하고 있었다. 그러나, 상기 구성 요소가 로드 포트의 개구부의 연장 선상에 위치하는 경우에는 종래의 기판 반송 핸드에서는 핸드 축과 기판 캐리어 내로의 기판의 삽입 방향과 평행이 되는 자세를 취하기 위한 충분한 공간을 확보하는 것이 케이스의 확장 없이는 어려웠다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 핸드는, 로봇 암에 연결되는 기판 반송 핸드로서, 상기 로봇 암과 연결되는 베이스부와, 상기 베이스부에 결합되어 기판을 유지하는 기판 유지부를 구비하고, 상기 기판 유지부에 유지되는 기판을 수직으로 관통하는 방향인 기판 수선(垂線) 방향에서 볼 때, 상기 베이스부와 상기 기판 유지부의 결합부 또는 그 근방에서 구부러져서, 상기 베이스부 및 상기 기판 유지부가 전체적으로 V자 형상을 이루고 있는 것을 특징으로 한다. 여기서, 「V 자 형상」에는 V자 형상의 모서리가 라운딩된 원호 형상이나 U자 형상도 포함되어 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 반송 핸드는, 로봇 암에 연결되는 기판 반송 핸드로서, 상기 로봇 암의 손끝부에 규정된 관절 축선을 중심으로 회전 가능하게 상기 로봇 암에 연결되는 베이스부와, 상기 베이스부와 결합되어 기판을 유지하는 기판 유지부를 구비하고, 상기 기판 유지부에 유지되는 상기 기판을 수직으로 관통하는 방향인 기판 수선 방향에서 볼 때, 상기 기판의 중심점보다 상기 베이스부 측에서 상기 기판의 가장자리와 상기 기판 유지부의 가장자리가 겹치는 점의 중점이 중간점으로 규정되고, 상기 관절 축선 상의 점과 상기 중간점을 통과하는 직선이 제1 기준선으로 규정되며, 상기 기판의 중심점과 상기 중간점을 통과하는 직선이 제2 기준선으로 규정된 경우, 상기 제1 기준선과 상기 제2 기준선이 이루는 각도가 0 °보다 크고 180 °보다 작은 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 반송 핸드는, 로봇 암에 연결되는 기판 반송 핸드로서, 상기 로봇 암의 손끝부에 규정된 관절 축선을 중심으로 회전 가능하게 상기 로봇 암에 연결되는 베이스부와, 상기 베이스부와 결합되어 기판을 유지하는 기판 유지부를 구비하고, 상기 기판 유지부에 유지되는 상기 기판을 수직으로 관통하는 방향인 기판 수선 방향에서 볼 때, 상기 기판의 중심점보다 상기 베이스부 측에서 상기 기판의 가장자리와 상기 기판 유지부의 가장자리가 겹치는 점의 중점이 중간점으로 규정되고, 상기 기판의 중심점과 상기 중간점을 통과하는 직선이 기준선으로 규정된 경우, 상기 관절 축선이 상기 기준선으로부터 오프셋(offset)된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 반송 핸드는, 로봇 암에 연결되는 기판 반송 핸드로서, 상기 로봇 암의 손끝부에 규정된 관절 축선을 중심으로 회전 가능하게 상기 로봇 암에 연결되는 베이스부와, 상기 베이스부와 결합되어 기판을 유지하는 기판 유지부를 구비하고, 상기 기판 유지부에 유지되는 상기 기판을 수직으로 관통하는 방향인 기판 수선 방향에서 볼 때, 상기 기판의 중심점보다 상기 베이스부 측에서 상기 기판의 가장자리와 상기 기판 유지부의 가장자리가 겹치는 점의 중점이 중간점으로 규정되고, 상기 관절 축선 상의 점과 상기 중간점을 통과하는 직선이 기준선으로 규정된 경우, 상기 기판의 중심이 상기 기준선으로부터 오프셋된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇은, 베이스와, 기단부가 상기 베이스에 회전 가능하게 연결된 로봇 암과, 상기 로봇 암의 선단부에 연결된 상기 기판 반송 핸드를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 기판을 수용한 기판 캐리어와 반도체의 프로세스 처리 장치 사이 또는 상기 기판 캐리어들의 사이에서 상기 기판을 이송하는 기판 이송 장치로서, 내부에 반송 챔버가 형성된 케이스와, 상기 케이스의 벽에 설치된 복수의 로드 포트와, 상기 반송 챔버에 설치되어 상기 기판의 이송 작업을 수행하는 상기 기판 반송 로봇을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 기판 반송 핸드, 기판 반송 로봇 및 기판 이송 장치는 종래의 기판 반송 핸드를 이용하는 경우와 비교하여 특히 로봇 암의 기단부에서 가장 먼 기판 캐리어에서 기판을 수수하는 경우, 기판 반송 핸드 및 로봇 암의 통과 범위를 좁힐 수 있다. 따라서, 반송 챔버 내에서 기판 반송 핸드 및 로봇 암의 통과 범위 외(예를 들어, 반송 챔버의 모퉁이)에 물체를 배치할 수 있게 된다.
본 발명에 따르면, 종래의 기판 반송 핸드를 이용하는 경우와 비교하여 반송 챔버에서 기판 반송 핸드 및 로봇 암의 통과 범위를 좁힐 수 있어, 그 통과 범위 외에 물체를 배치하는 것이 가능해진다.
도 1은 기판 처리 설비의 개략적인 평면도이다.
도 2는 기판 처리 설비의 개략적인 측면도이다.
도 3은 기판 반송 로봇의 제어 시스템의 구성을 도시하는 블록도이다
도 4는 기판 반송 핸드를 기판 수선 방향에서 바라본 도면이다.
도 5는 기판 반송 핸드를 기판 수선 방향에서 바라본 도면이다.
도 6a는 기판 이송 장치에서 기판 반송 로봇의 변화를 설명하는 도면이고, 대기 상태의 기판 반송 로봇을 도시하고 있다.
도 6b는 기판 이송 장치에서 기판 반송 로봇의 변화를 설명하는 도면이고, 대기 상태에서 암을 신장한 기판 반송 로봇을 도시하고 있다.
도 6c는 기판 이송 장치에서 기판 반송 로봇의 변화를 설명하는 도면이고, 기판 유지부가 로드 포트의 개구부의 반송 챔버 측까지 이동한 상태의 기판 반송 로봇을 도시하고 있다.
도 6d는 기판 이송 장치에서 기판 반송 로봇의 변화를 설명하는 도면이고, 기판 캐리어에 기판 유지부가 삽입된 상태의 기판 반송 로봇을 도시하고 있다.
도 7은 변형예에 따른 기판 반송 핸드를 기판 수선 방향에서 바라본 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
[기판 처리 설비(100)의 개략적인 구성]
먼저, 도 1 및 도 2를 참조하면서 기판 처리 설비(100)의 개략적인 구성부터 설명한다. 이 기판 처리 설비(100)에는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 핸드(72)를 구비하는 기판 반송 로봇(7)을 구비하는 기판 이송 장치(1)가 설치되어 있다.
기판 처리 설비(100)는 기판 이송 장치(1)와, 프로세스 처리 장치(2)를 구비하고 있다. 본 실시예에 따른 기판 처리 설비(100)에서, 기판 이송 장치(1)는 기판 캐리어(25)와 프로세스 처리 장치(2)의 사이에서 기판(3)을 이송하는 이른바 프론트 엔드 모듈이다. 다만, 기판 이송 장치(1)는 기판 캐리어(25)와 다른 기판 캐리어(25) 사이에서 기판(3)을 이송하는 이른바 소터라도 좋다. 기판 이송 장치(1)는 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격 등의 규정에 적합하도록 설계되어 있다.
프로세스 처리 장치(2)는 열처리, 불순물 도입 처리, 박막 형성 처리, 리소그래피 처리, 세정 처리 및 평탄화 처리 중 적어도 하나 이상의 프로세스 처리를 기판(3)에 실시하는 장치 또는 장치 그룹이다. 다만, 프로세스 처리 장치(2)가 기판(3)에 대해 상술한 처리 이외의 처리를 실시하여도 좋다.
프로세스 처리 장치(2)는 기판(3)에 처리를 실시하는 처리 장치 본체(20)와, 처리 장치 본체(20)가 수용된 케이스(21)와, 케이스(21) 내에 형성된 처리 챔버(22)의 분위기 기체를 조절하는 조절 장치(도시 생략)를 구비하고 있다. 조절 장치는 예를 들어, 팬 필터 유닛(fan filter unit) 등으로 구현되어도 좋다.
기판 이송 장치(1)는 프로세스 처리 장치(2)와 인접하여 설치되어 있다. 기판 이송 장치(1)는 기판 캐리어(25)와 프로세스 처리 장치(2) 사이에서 기판(3)의 주고받음을 담당하는 인터페이스부로서 기능한다. 기판 캐리어(25)는 다수의 기판(3)을 수용할 수 있는 이동식 컨테이너이다.
기판 캐리어(25)는 기판(3)이 수용되는 용기 본체(60)와, 용기 본체(60)에 대해 착탈 가능 또는 개폐 가능한 용기측 도어(61)를 포함하여 구성된다. 용기 본체(60)는 한쪽에 개방되는 출입구를 구비하는 대략 상자 형태를 이루고, 이 출입구는 용기측 도어(61)에 의해 개폐 가능하게 폐쇄되어 있다. 용기 본체(60)의 내부에는 다수의 기판(3)을 상하 방향(Z)으로 일정한 간격으로 정렬한 상태로 수용할 수 있도록 상하 방향(Z)으로 늘어선 복수의 선반이 형성되어 있다.
[기판 이송 장치(1)의 구성]
다음으로, 기판 이송 장치(1)에 대해 상세하게 설명한다. 기판 이송 장치(1)는 기판 반송 로봇(7)과, 기판(3)의 방향을 정렬하는 얼라이너(92)와, 조절 장치(93)와, 이들을 수용하는 케이스(8)와, 로드 포트(91)를 구비한다.
케이스(8)는 제1 방향(X)의 치수에 대하여 제2 방향(Y)의 치수가 큰 직육면체 형상을 가진다. 여기에서, 「제1 방향(X)」은 임의의 수평 방향이며, 「제2 방향(Y)」는 제1 방향(X)와 직교하는 수평 방향으로 한다. 케이스(8)는 제1 방향(X)으로 간격을 두고 마주하는 전방 벽(81) 및 후방 벽(82)과, 제2 방향(Y)으로 간격을 두고 마주하는 한 쌍의 측벽(83), 천장판(84) 및 바닥판(85) 등에 의해 구성되어 있고, 이들에 의해 케이스(8)의 내부에 반송 챔버(80)가 형성된다. 여기서, 본 명세서에서는, 반송 챔버(80)에서 볼 때 전방 벽(81)이 존재하는 제1 방향(X)의 일 측을 「전방(前)」으로 나타내고, 전방에 대해 제1 방향(X)의 반대 측을 「후방(後)」으로 나타낸다.
반송 챔버(80)는 청정도가 높은 닫힌 공간이고, 반송 챔버(80)는 소정의 분위기 기체로 채워져 있다. 조절 장치(93)는 반송 챔버(80)의 오염 관리(contamination control)를 실시하는 장치이다. 조절 장치(93)에 의해 반송 챔버(80)의 분위기 중에서 부유 미립자는 소정의 청정도 레벨 이하로 관리되고, 필요에 따라 온도, 습도, 압력 등의 반송 챔버(80)의 환경 조건에 대해서도 관리된다.
후방 벽(82)에는 후방 개구(87)가 설치되어 있다. 후방 벽(82)은 프로세스 처리 장치(2)의 처리 챔버(22)와 기판 이송 장치(1)의 반송 챔버(80)를 제1 방향(X)으로 나누고 있고, 후방 개구(87)를 통해 처리 챔버(22)와 반송 챔버(80)가 연통된다.
로드 포트(91)는 케이스(8)의 전방 벽(81)에 설치되어 있다. 본 실시예에서는 제2 방향(Y)으로 늘어선 4개의 로드 포트(91)가 전방 벽(81)에 설치되어 있다. 로드 포트(91)는 기판 이송 장치(1)의 기판 캐리어(25)의 도킹 및 도킹 해제, 기판 캐리어(25)의 지지 및 기판 캐리어(25)의 개폐 등의 기능을 가진다.
복수의 로드 포트(91)는 케이스(8)의 전방 벽(81)을 따라 제2 방향(Y)으로 나란하게 로드 포트 열을 이루고 있다. 후술하는 로봇 암(71)의 기단부에 규정된 관절 축선(A1)은 로드 포트 열의 제2 방향의 중앙(C1)에서 제2 방향(Y)의 한쪽으로 치우친 곳에 위치하고 있다. 더 구체적으로는 기판 반송 핸드(72)가 도 1에 도시된 형태인 경우에는 관절 축선(A1)은 로드 포트 열의 제2 방향의 중앙(C1)에서 제2 방향(Y)의 한쪽(도 1의 상방)으로 치우친 곳에 위치하고 있다. 기판 반송 핸드(72)가 후술하는 도 7에 도시된 형태인 경우에는 관절 축선(A1)을 로드 포트 열의 제2 방향의 중앙(C1)에서 제2 방향(Y)의 다른 쪽(도 1에서 하방)으로 치우친 곳에 위치시키고 있다. 이에 따라서, 핸드 형태에 기인하는 기판 유지부(5)의 제2 방향(Y)에 오프셋을 관절 축선(A1)의 배치 위치에 의해 제거할 수 있다.
각각의 로드 포트(91)는 개구 프레임(95), 지지대(97) 및 오프너(98)를 구비한다. 개구 프레임(95)은 케이스(8)의 전방 벽(81)의 일부를 구성하고 있고, 개구 프레임(95)에 의해 규정되는 로드 포트(91)의 개구부(86)는 케이스(8)의 전방 측 개구부이기도 하다. 이러한 로드 포트(91)의 개구부(86)를 통해 기판 이송 장치(1)와 도킹된 기판 캐리어(25)와 반송 챔버(80)가 연통된다.
지지대(97)는 로드 포트(91)의 개구부(86)의 바로 전방에 배치되어 있다. 지지대(97)는 재치(載置)된 기판 캐리어(25)를 지지하는 기능과, 기판 캐리어(25)를 유지하는 기능을 가진다. 지지대(97)에 재치 및 유지된 기판 캐리어(25)는 용기 본체(60)의 출입구의 전체 둘레가 개구 프레임(95)과 접촉하고, 또한 용기측 도어(61)가 로드 포트(91)의 개구부(86)와 제1 방향(X)으로 중복되도록 위치가 정해진다.
오프너(98)는 로드 포트(91)의 개구부(86)를 개폐하는 오프너측 도어(96)와 그의 구동 기구를 구비한다. 오프너(98)는 기판 캐리어(25)의 용기측 도어(61) 및 오프너측 도어(96)를 일체로 반송 챔버(80)의 내부로 이동시킴으로써 로드 포트(91)의 개구부(86)를 개방시킨다.
도 3은 기판 반송 로봇(7)의 제어 시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 1 ~ 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 반송 로봇(7)은 로봇 암(이하, 「암(71)」이라고 한다)과, 암(71)의 손끝부에 연결된 엔드 이펙터의 일례인 로봇 핸드(이하, 간단히 「핸드(72)」라고 한다)와, 암(71)을 지지하는 베이스(73)와, 기판 반송 로봇(7)의 동작을 담당하는 컨트롤러(74)를 구비한다. 본 실시예에 따른 기판 반송 로봇(7)은 수평 다관절 로봇이다. 여기서, 베이스(73)는 반송 챔버(80)에서 제2 방향(Y)의 중앙부에 설치되어 있다.
암(71)은 기단부에서 선단부를 향해 순차적으로 연결된 복수의 링크(75, 76)를 구비한다. 여기서, 암(71)과 핸드(72)에서 베이스(73)에 대한 근위 단부를 「기단부」라고 칭하고, 베이스(73)에 대한 원위 단부를 「선단부」라고 칭한다. 암(71)에는 각각의 링크(75 ,76)의 연결부에 수직인 관절 축선(A1 ~ A3)이 규정되어 있다. 링크(75, 76) 내에는 각각의 링크(75, 76)를 관절 축선(A1 ~ A3)을 중심으로 개별적으로 각각 변위 구동시키는 수평 구동 유닛(77, 78, 79)이 설치되어 있다.
암(71)은 베이스(73)에 대해 상하 방향(Z)으로 이동 가능한 승강축(70)을 기단부에 구비한다. 이 승강축(70)은 승강 구동 유닛(69)에 의해 베이스(73)에 대해 상하 방향(Z)으로 신축 구동한다. 수평 구동 유닛(77, 78, 79) 및 승강 구동 유닛(69) 각각은, 예를 들어, 컨트롤러(74)에서 주어지는 신호에 따라 각도 변위하는 서보 모터와, 서보 모터의 동력을 링크체에 전달하는 동력 전갈 기구와, 서보 모터의 각도 변위를 검출하는 위치 검출기를 포함한다(모두 도시 생략).
상기 구성의 암(71)의 선단부인 손끝부에는 핸드(72)가 연결되어 있다. 핸드(72)는 수평 구동 유닛(79)에 의해 관절 축선(A3)을 중심으로 암(71)에 대해 상대적으로 회전 변위될 수 있다. 핸드(72)는 암(71)의 손끝부와 연결되는 베이스부(4)와, 베이스부(4)와 결합된 기판 유지부(5)를 구비한다. 핸드(72)의 구성은 나중에 상세하게 설명한다.
컨트롤러(74)는 이른바 컴퓨터를 포함한 연산 제어 장치로서, 예를 들어, 마이크로 컨트롤러, CPU, MPU, PLC, DSP, ASIC 또는 FPGA 등의 연산 처리부와, ROM, RAM 등의 저장부를 구비한다(모두 미도시). 저장부에는 연산 처리부가 실행하는 프로그램, 각종 고정 데이터 등이 저장되어 있다. 또한, 저장부에는 기판 반송 로봇(7)의 동작을 제어하기 위한 교시점 데이터, 암(71) 및 핸드(72)의 형상 치수에 대한 데이터, 핸드(72)에 유지된 기판(24)의 형상 치수에 관한 데이터 등이 저장되어 있다. 컨트롤러(74)에서는, 저장부에 저장된 프로그램 등의 소프트웨어를 연산 처리부가 읽어 실행함으로써 기판 반송 로봇(7)의 동작을 제어하기 위한 처리가 이루어진다. 또한, 컨트롤러(74)는 단일 컴퓨터에 의한 집중 제어를 통해 각각의 작업을 수행하여도 좋고, 복수의 컴퓨터의 협동에 의한 분산 제어를 통해 각각의 작업을 수행하여도 좋다.
컨트롤러(74)는 위치 검출기의 각각에서 검출된 회전 위치에 대응하는 핸드(72)의 포즈(즉, 위치 및 자세)와 저장부에 저장된 교시점 데이터에 기초하여, 소정의 제어 시간 후의 목표 포즈를 연산한다. 그리고, 컨트롤러(74)는 소정의 제어 시간 후에 핸드(72)가 목표 포즈가 되도록 서보 앰프에 제어 지령을 출력한다. 서보 앰프는 제어 지령에 따라 각각의 서보 모터에 구동 전력을 공급한다. 그리하면, 핸드(72)를 원하는 포즈로 움직일 수 있다.
[기판 반송 핸드(72)의 구성]
여기서, 핸드(72)의 구성을 상세하게 설명한다. 도 4는 기판 반송 핸드(72)를 기판 수선 방향에서 바라본 도면이다. 여기서 「기판 수선 방향」이란 핸드(72)의 기판 유지부(5)에 유지된 기판(3)의 주면(主面)을 수직으로 관통하는 방향이다.
핸드(72)의 베이스부(4)에는 기판 수선 방향에서 볼 때 그 기단부 및 선단부를 통과하는 제1 중심선(4A)이 규정되어 있다. 제1 중심선(4A)은 기판 수선 방향과 직교하는 직선이다. 제1 중심선(4A)은 관절 축선(A3)과 교차하고 있다. 또한, 베이스부(4)를 기판 수선 방향에서 볼 때, 베이스부(4)는 선단부의 일부분을 제외하고 제1 중심선(4A)을 중심으로 실질적으로 대칭으로 형성되어 있다.
베이스부(4)는 중공의 케이싱(41)에 의해 형성되어 있다. 베이스부(4)의 기단부는 암(71)의 손끝부에 대해 관절 축선(A3) 둘레를 회전 가능하게 연결되어 있다. 베이스부(4)의 선단부에는 기판 유지부(5)가 결합되는 결합부(42)가 설치되어 있다. 기판 유지부(5)의 기단부는 케이싱(41)의 선단부에서 그 내부에 삽입되어 결합부(42)에 결합되어 있다. 기판 유지부(5)는 결합부(42)에 예를 들어, 도시되지 않는 체결구 등에 의해 고정되어도 좋다.
핸드(72)의 기판 유지부(5)는 선단 측이 두 갈래로 나누어진 Y자 형상으로 형성된 박판 형상 부재이고, 블레이드와 포크라고도 불리고 있다. 다만, 기판 유지부(5)의 형태는 본 실시예에 한정되지 않고, 예를 들어, 끼워 맞춤, 흡착, 협지 또는 다른 방식으로 기판(3)을 핸드(72)에 유지시킬 수 있는 것이면 좋다.
기판 유지부(5)에는 기판 수선 방향에서 볼 때 기판 유지부(5)의 기단부와 기판 유지부(5)에 유지되는 기판(3)의 중심점(3a)을 통과하는 제2 중심선(5A) 규정되어 있다. 제2 중심선(5A)은 기판 수선 방향과 직교하는 직선이다. 본 실시예에 따른 기판 유지부(5)는 기판 수선 방향에서 볼 때 제2 중심선(5A)를 중심으로 실질적으로 대칭으로 형성되어 있다. 다만, 제2 중심선(5A)은 기판 유지부(5)에 유지된 기판(3)의 중심점(3a)을 통과하기만 하면 좋고, 기판 유지부(5)가 제2 중심선(5A)을 중심으로 하여 대칭인 것에 한정되지는 않는다.
기판 유지부(5)의 두 갈래로 나누어진 각각의 선단 부분에는 프론트 가이드(51)가 설치되어 있다. 또한, 기판 유지부(5)의 기단 측에는 한 쌍의 프론트 가이드(51)에 대향하도록 한 쌍의 리어 가이드(52)가 설치되어 있다. 한 쌍의 프론트 가이드(51)와 한 쌍의 리어 가이드(52)는 기판(3)을 하방에서 지지하는 기능을 가진다. 따라서, 이것들은 기판(3)의 형상에 대응하고, 당해 기판(3)을 적절히 지지할 수 있는 위치 및 형상으로 형성되어 있다.
핸드(72)는 기판 유지부(5)에 재치된 기판(3)을 기판 유지부(5)에 유지시키기 위한 유지 기구를 더 구비하고 있다. 여기서, 기판(24)의 유지에는 기판 유지부(5)에 재치된 기판(3)을 끼워 맞춤, 흡착, 협지 또는 다른 방식으로 기판 유지부(5)가 탈락하지 않도록 하는 것이 포함된다. 본 실시예에 따른 핸드(72)에는 협지(挾持)식의 유지 기구가 구비되어 있다. 이러한 유지 기구는 한 쌍의 프론트 가이드(51)와 푸셔(pusher)(53) 및 그 구동 기구(54)에 의해 구성되어 있다.
푸셔(53)는 기판 유지부(5)의 기단 측에 설치되고, 베이스부(4)의 선단부에 지지되어 있다. 푸셔(53)의 구동 기구(54)는 베이스부(4)를 형성하는 케이싱(41)의 내부에 설치되어 있다. 구동 기구(54)는 푸셔(53)를 제2 중심선(5A)과 평행하게 진퇴 이동시킨다. 구동 기구(54)는 예를 들어, 에어 실린더 등의 액츄에이터로 구성되어 있고, 그 동작은 컨트롤러(74)에 의해 제어된다.
기판 유지부(5)의 상면에 기판(3)을 올리면, 기판(3)의 둘레부가 한 쌍의 프론트 가이드(51) 및 한 쌍의 리어 가이드(52)에 의해 하방에서 지지된다. 이 상태에서 푸셔(53)가 기판 유지부(5)의 선단 측을 향해 진출하면 푸셔(53)가 기판(3)의 측면을 한 쌍의 프론트 가이드(51)로 누른다. 이에 따라서, 푸셔(53)와 한 쌍의 프론트 가이드(51)에 의해 기판(3)이 파지되어, 핸드(72)에 유지된다.
상기 구성의 핸드(72)는 기판 수선 방향에서 볼 때 베이스부(4)와 기판 유지부(5)의 결합부(42) 또는 그 근방에서 절곡하여, 베이스부(4) 및 기판 유지부(5)가 전체적으로 V자 형상을 이루고 있다. 상기의 「V자 형상」에는 V자 형상의 모서리가 라운딩된 원호 형상이나 U자 형상 등도 포함되어 있다. 여기서, 결합부(42)의 근방은 결합부(42)에 근접하고 또한 핸드(72) 중 베이스부(4)의 선단부에서 베이스부(4)의 길이의 30 %까지 포함되는 범위이다.
이러한 핸드(72)에서는 기판 수선 방향에서 볼 때 베이스부(4)의 중심선인 제1 중심선(4A)과, 기판 유지부(5)의 중심선인 제2 중심선(5A)이 교차하고 있다. 여기서, 기판 수선 방향에서 볼 때 제1 중심선(4A) 및 제2 중심선(5A)이 이루는 각도는 90 °보다 크고 180 °보다 작은 범위여도 좋다. 제1 중심선(4A)와 제2 중심선(5A)이 이루는 각도가 90 °보다 작으면 오히려 핸드(72)가 다루기 힘들게 된다. 또한, 제1 중심선(4A) 및 제2 중심선(5A)이 이루는 각도는, 케이스(8) 내에서 로드 포트(91)의 개구부(86)의 연장 선상에 설치된 물체(88)(도 1 참조)의 형상에 따라서 정해지면 좋다.
또한, 상기 핸드(72)에서, 도 5에서는, 기판 수선 방향에서 볼 때 기판 유지부(5)에 유지되는 기판(3)의 중심점(3a)보다 베이스부(4) 측에서 기판(3)의 가장자리와 기판 유지부(5)의 가장자리가 겹치는 점(3b, 3b)의 중점이 중간점(C2)으로 규정되고, 관절 축선(A3) 상의 점과 중간점(C2)을 통과하는 직선이 제1 기준선(4B)로 규정되며, 기판(3)의 중심점(3a)과 중간점(C2)을 통과하는 직선이 제2 기준선(5B)으로 규정되어 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 핸드(72)에서는 기판 수선 방향에서 볼 때 제1 기준선(4B)과 상기 제2 기준선(5B)이 이루는 각도가 0 °보다 크고 180 °보다 작다. 또한, 상기 핸드(72)에서는 기판 수선 방향에서 볼 때 기판(3)의 중심점(3a)은 제1 기준선(4B)에서 오프셋 량(D1)만큼 오프셋되어 있다. 또한, 상기 핸드(72)에서는 기판 수선 방향에서 볼 때 관절 축선(A3)는 제2 기준선(5B)에서 오프셋 량(D2)만큼 오프셋되어 있다.
[기판 이송 장치(1)의 동작]
여기서, 도 6a ~ 6d를 참조하여 기판 이송 장치(1)의 동작의 일례에 대해 설명한다. 도 6a ~ 6d는 기판 이송 장치(1)의 기판 반송 로봇(7)의 변화를 설명하는 도면이다.
도 6a ~ 도 6d에 도시된 기판 이송 장치(1)에서는 반송 챔버 (80)의 모퉁이에 물체(88)가 배치되어 있다. 이 물체(88)는 기판 이송 장치(1)의 구성 요소 중 적어도 하나여도 좋다. 물체(88)와, 기판 이송 장치(1)의 제2 방향(Y)의 끝에 설치된 로드 포트(91E)의 개구부(86) 사이에는 제1 방향(X)의 간극(G)이 설치되어 있다. 간극(G)의 제1 방향(X)의 치수는 기판(3)의 직경보다 작고, 기판(3)의 일 부분이 기판 캐리어(25) 내에 삽입된 상태에서 이 간극(G)에의 기판(3)의 진입이 허용된다. 물체(88)는 반송 챔버(80) 내에서 로드 포트(91E)의 개구부(86)와 동일한 레벨까지 제2 방향(Y)에 걸쳐 있지만, 물체(88)의 반송 챔버(80)에 노출된 제2 방향(Y)을 향하는 면(88a)은 전방에서 후방을 향해 반송 챔버(80)의 제2 방향(Y)의 중앙으로 향하는 기울기를 가지고 있다.
도 6a에 도시된 기판 반송 로봇(7)은 대기 상태에 있고, 링크(75, 76) 및 핸드(72)는 상하 방향(Z)으로 겹쳐져 있다. 이하에서는, 이 대기 상태로부터 기판 이송 장치(1)의 제2 방향(Y)의 끝에 설치된 로드 포트(91)(91E)와 도킹된 기판 캐리어(25)에 기판(3)을 꺼내러 가는 기판 반송 로봇(7)의 동작에 대해 설명한다. 여기서, 별도로 언급하지 않지만, 기판 반송 로봇(7)의 동작은 컨트롤러(74)에 의해 제어된다.
먼저, 기판 반송 로봇(7)은 도 6a에 도시된 양태로부터 도 6b에 도시된 양태로 변화한다. 도 5에 도시된 기판 반송 로봇(7)에서는 핸드(72)의 선단부 측은 로드 포트(91E) 측을 향하고, 핸드(72)에 규정된 제2 중심선(5A)과 로드 포트(91E)의 개구부(86)의 개구 방향(여기에서는 제1 방향(X))이 평행이며, 핸드(72)의 선단부가 로드 포트(91E)의 개구부(86)에서 제1 방향(X)으로 떨어진 곳에 위치하고 있다.
기판 반송 로봇(7)이 도 6a에 도시된 대기 상태에서 도 6b에 도시된 상태로 변화하는 과정에서는 핸드(72) 및 암(71)은 반송 챔버(80) 내의 가동 영역을 움직인다. 여기서, 반송 챔버(80)에는 암(71)이 이동 가능한 가동 영역과 암(71)이 진입할 수 없는 배타적 영역이 규정되어 있다. 배타적 영역은 케이스(8)의 전방 벽(81)에서 제1 방향(X)으로 소정 치수인 영역이다. 이 배타적 영역은 용기측 도어(61) 및 오프너측 도어 (96)의 개폐 조작을 위해 로드 포트(91)(오프너(98))에 의해 이용된다. 가동 영역은 반송 챔버(80)에서 배티적 영역을 제외한 영역이다.
다음으로, 기판 반송 로봇(7)은 도 6b에 도시된 양태에서 도 6c에 도시된 양태로 변화한다. 도 6c에 도시된 기판 반송 로봇(7)은 핸드(72)의 기판 유지부(5)의 선단 부분이 기판 캐리어(25)에 진입하고 있다. 이 때의 핸드(72)는 적어도 일 부분이 배타적 영역에 있다. 기판 반송 로봇(7)이 도 6b에 도시된 상태에서 도 6c에 도시된 상태까지 변화하는 과정에서는 핸드(72)는 핸드(72)에 규정된 제2 중심선(5A)과 로드 포트(91)의 개구부(86)의 개구 방향(여기에서는 제1 방향(X))의 평행을 유지하면서 물체(88)의 경사진 면(88a)을 따라 핸드(72)를 개구부(86)을 향해 이동시킨다.
도 6c에 도시된 상태의 핸드(72)에서는 기판 유지부(5)의 중심선이라고 할 제2 중심선(5A)이 개구부(86)의 개구 방향과 평행이고, 베이스부(4)의 중심선이라고 할 제1 중심선(4A)이 개구부(86)의 개구 방향에 대해 기울어져 있다. 그 결과, 베이스(4)의 기단부는 기판 유지부(5)보다 반송 챔버(80)의 제2 방향(Y)의 중앙 측에 있다. 따라서, 물체(88)는 도 6c에 도시된 상태의 핸드(72)와 간섭하지 않는 범위에서 반송 챔버(80)의 제2 방향(Y)의 중앙 측으로 돌출될 수 있다. 본 실시예에서는 물체(88)의 반송 챔버(80)의 제2 방향(Y)의 중앙 측으로 향한 면(88a)을 전방에서 후방으로 제2 방향((Y)의 중앙을 향해 기울이는 것으로 물체(88)를 반송 챔버(80)의 제2 방향(Y)의 중앙 측으로 더 크게 돌출시키도록 하고 있다. 다시 말해서, 물체(88)의 반송 챔버(80)의 제2 방향(Y)의 중앙 측으로 향한 면(88a)은 핸드(72)의 개구부(86)에 대한 액세스가 허용되도록 전방에서 후방으로 제2 방향(Y)의 중앙을 향해 기울어져 있다.
이어서, 기판 반송 로봇(7)은 도 6c에 도시된 양태에서 도 6d에 도시된 양태로 변화한다. 도 6d에 도시된 기판 반송 로봇(7)은 기판 유지부(5)가 기판 캐리어(25)의 안쪽까지 진입하고 있다. 이와 같이, 기판 유지부(5)가 기판 캐리어(25)의 안쪽까지 진입한 상태에서 기판 캐리어(25)로부터 기판(3)의 수취 및 인도가 이루어진다.
기판 반송 로봇(7)이 도 6c에 도시된 상태에서 도 6d에 도시된 상태까지 변화하는 과정에서는 핸드(72)는 제2 중심선(5A)과 개구부(86)의 개구 방향의 평행을 유지하면서 전방으로 이동한다. 여기서, 개구부(86)의 개구 방향은 기판 캐리어(25)에 대한 기판(3)의 삽탈(揷脫) 방향과 평행이다. 이와 같이, 기판 유지부(5)가 기판 캐리어(25)에 진입하는 사이에는 기판 유지부(5)가 기판 캐리어(25)에 대한 기판(3)의 삽탈 방향과 평행하게 움직이기 때문에, 기판(3)이 기판 캐리어(25) 내에서 마찰 또는 진동하지 않으므로, 안정적으로 기판(3)의 삽탈이 이루어진다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 반송 핸드(72)는 로봇 암(71)과 연결되는 베이스부(4)와, 베이스부(4)와 결합되어 기판(3)을 유지하는 기판 유지부(5)를 구비하고 있다. 이 기판 반송 핸드(72)는 기판 유지부(5)에 유지되는 기판(3)을 수직으로 관통하는 방향인 기판 수선 방향에서 볼 때 베이스부(4)와 기판 유지부(5)의 결합부(42) 또는 그 근방에서 구부러져서, 베이스부(4) 및 기판 유지부(5)가 전체적으로 V자 형상을 이루고 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 실시예에 따른 기판 반송 핸드(72)에서는 기판 수선 방향에서 볼 때 기판(3)의 중심점(3a)보다 베이스부(4) 측에서 기판(3)의 가장자리와 기판 유지부(5)의 가장자리가 겹치는 점(3b, 3b)의 중점이 중간점(C2)으로 규정되고, 관절 축선(A3) 상의 점과 중간점(C2)를 통과하는 직선이 제1 기준선(4B)으로 규정되며, 기판(3)의 중심점(3a)과 중간점(C2)을 지나는 직선이 제2 기준선(5B)으로 규정된 때에, 제1 기준선(4B) 및 제2 기준선(5B)의 이루는 각도가 0 °보다 크고 180 °보다 작다.
또한, 본 실시예에 따른 기판 반송 핸드(72)에서는 기판 수선 방향으로 볼 때 관절 축선(A3)이 제2 기준선(5B)으로부터 오프셋되고, 기판(3)의 중심점(3a)이 제1 기준선(4B)으로부터 오프셋되어 있다.
본 실시에에 따른 기판 반송 로봇(7)은 베이스(73)와, 기단부가 베이스(73)에 회전 가능하게 연결된 로봇 암(71)과, 로봇 암(71)의 선단부에 연결된 상기 기판 반송 핸드(72)를 구비하고 있다.
그리고, 본 실시예에 따른 기판 이송 장치(1)는 기판(3)을 수용한 기판 캐리어(25)와 반도체의 프로세스 처리 장치(2)의 사이, 또는 기판 캐리어(25)들의 사이에서 기판(3)을 이송하는 것으로서, 내부에 반송 챔버(80)가 형성된 케이스(8)와, 케이스(8)의 벽에 설치된 복수의 로드 포트(91)와, 반송 챔버(80)에 설치되어 기판(3)의 이송 작업을 실시하는 상기 기판 반송 로봇(7)을 구비하고 있다.
상기 기판 반송 핸드(72), 기판 반송 로봇(7) 및 기판 이송 장치(1)에서는 기판 수선 방향에서 본 기판 반송 핸드(72)가 V자 형상을 이루고 있다. 따라서, 기판 유지부(5)의 일부 또는 전부가 로드 포트(91)의 개구부(86)을 통해 기판 캐리어(25)에 삽입되어 있는 상태에서 베이스부(4)가 기판 유지부(5) 보다 로봇 암(71)의 기단부에 가깝게 되어 있다. 이에 따라서, 종래의 기판 반송 핸드에서 기판 유지부의 일부 또는 전부가 로드 포트의 개구부를 통해 기판 캐리어에 삽입된 상태에서 베이스부가 존재하고 있었던 곳(즉, 로드 포트(91)의 개구부(86)의 반송 챔버(80) 측의 연장 선상)에 물체(88)를 배치하는 것이 가능해진다. 즉, 기판 반송 핸드(72)가 V자 형상으로 구부러져 있는 것으로, 종래의 기판 반송 핸드를 이용하는 경우와 비교하여 반송 챔버(80) 내에서의 기판 반송 핸드(72)와 암(71)의 통과 범위, 특히 암(71)의 기단부에서 가장 먼 곳에 위치하는 기판 캐리어(25)에서 기판(3)을 수수할 때, 기판 반송 핸드(72)와 암(71)의 통과 범위를 좁힐 수 있으므로, 그 통과 범위 외에 물체(88)를 배치하는 것이 가능해진다.
또한, 본 실시예에 따른 기판 반송 핸드(72)에서는 베이스부(4)의 기단부 및 선단부를 통과하는 제1 중심선(4A)이 규정되고, 기판 유지부(5)의 기단부 및 기판 유지부(5)에 유지되는 기판(3)의 중심점(3a)을 통과하는 제2 중심선(5A)이 규정되어 있다. 그리고, 제1 중심선(4A) 및 제2 중심선(5A)을 기판 수선 방향에서 볼 때 이들은 교차하고 있다. 여기서, 기판 수선 방향에서 본 제1 중심선(4A)과 제2 중심선(5A)이 이루는 각도는 90 °보다 크고 180 °보다 작은 범위인 것이 바람직하다.
이상으로 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위에서 상기 실시예의 구체적인 구조 및/또는 기능의 세부 사항을 변경한 것도 본 발명에 포함될 수 있다. 상기 기판 반송 핸드(72), 기판 반송 로봇(7) 및 기판 이송 장치(1)의 구성은 예를 들어, 다음과 같이 변경할 수 있다.
도 7은 변형예에 따른 기판 반송 핸드를 기판 수선 방향에서 바라본 도면이다. 상기 실시예에 따른 핸드(72)에서는 제1 중심선(4A)에서 본 제2 중심선(5A)이 반 시계 방향으로 90 °에서 180 ° 사이에서 회전하여 있다. 다만, 도 7에 도시된 바와 같이, 핸드(72)는 제1 중심선(4A)에서 본 제2 중심선(5A)이 시계 방향으로 90 °에서 180 ° 사이에서 회전하는 형태라도 좋다.
1: 기판 이송 장치 2: 프로세스 처리 장치
3: 기판 3a: 중심점
4: 베이스부 4A: 제1 중심선
4B: 제1 기준선 5: 기판 유지부
5A: 제2 중심선 5B: 제2 기준선
7: 기판 반송 로봇 8: 케이스
20: 처리 장치 본체 21: 케이스
22: 처리 챔버 25: 기판 캐리어
41: 케이싱 42: 결합부
51: 프론트 가이드 52: 리어 가이드
53: 푸셔 54: 구동 기구
60: 용기 본체 61: 용기측 도어
69: 승강 구동 유닛 70: 승강축
71: 암 72: 기판 반송 핸드
73: 베이스 74: 컨트롤러
75: 링크 76: 링크
77: 수평 구동 유닛 78: 수평 구동 유닛
79: 수평 구동 유닛 80: 반송 챔버
86: 개구부 88: 물체
91, 91E: 로드 포트 92: 얼라이너
93: 조절 장치 95: 개구 프레임
96: 오프너측 도어 97: 지지대
98: 오프너 100: 기판 처리 설비

Claims (9)

  1. 로봇 암에 연결되는 기판 반송 핸드로서,
    상기 로봇 암과 연결되는 베이스부와,
    상기 베이스부에 결합되어 기판을 유지하는 기판 유지부를 구비하고,
    상기 기판 유지부에 유지되는 상기 기판을 수직으로 관통하는 방향인 기판 수선 방향에서 볼 때, 상기 베이스부와 상기 기판 유지부의 결합부 또는 그 근방에서 구부러져서, 상기 베이스부 및 상기 기판 유지부가 전체적으로 V자 형상을 이루고 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 핸드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스의 기단부 및 선단부를 통과하는 직선이 제1 중심선으로 규정되고, 상기 기판 유지부의 기단부 및 상기 기판 유지부에 유지되는 상기 기판의 중심점을 통과하는 직선이 제2 중심선으로 규정된 경우, 상기 기판 수선 방향에서 볼 때, 상기 제1 중심선과 상기 제2 중심선이 교차하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 핸드.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기판 수선 방향에서 볼 때, 상기 제1 중심선과 상기 제2 중심선이 이루는 각도가 90 °보다 크고 180 °보다 작은 것을 특징으로 하는 기판 반송 핸드.
  4. 로봇 암에 연결되는 기판 반송 핸드로서,
    상기 로봇 암의 손끝부에 규정된 관절 축선을 중심으로 회전 가능하게 상기 로봇 암에 연결되는 베이스부와,
    상기 베이스부와 결합되어 기판을 유지하는 기판 유지부를 구비하고,
    상기 기판 유지부에 유지되는 상기 기판을 수직으로 관통하는 방향인 기판 수선 방향에서 볼 때, 상기 기판의 중심점보다 상기 베이스부 측에서 상기 기판의 가장자리와 상기 기판 유지부의 가장자리가 겹치는 점의 중점이 중간점으로 규정되고, 상기 관절 축선 상의 점과 상기 중간점을 통과하는 직선이 제1 기준선으로 규정되며, 상기 기판의 중심점과 상기 중간점을 통과하는 직선이 제2 기준선으로 규정된 경우, 상기 제1 기준선과 상기 제2 기준선이 이루는 각도가 0 °보다 크고 180 °보다 작은 것을 특징으로 하는 기판 반송 핸드.
  5. 로봇 암에 연결되는 기판 반송 핸드로서,
    상기 로봇 암의 손끝부에 규정된 관절 축선을 중심으로 회전 가능하게 상기 로봇 암에 연결되는 베이스부와,
    상기 베이스부와 결합되어 기판을 유지하는 기판 유지부를 구비하고,
    상기 기판 유지부에 유지되는 상기 기판을 수직으로 관통하는 방향인 기판 수선 방향에서 볼 때, 상기 기판의 중심점보다 상기 베이스부 측에서 상기 기판의 가장자리와 상기 기판 유지부의 가장자리가 겹치는 점의 중점이 중간점으로 규정되고, 상기 기판의 중심점과 상기 중간점을 통과하는 직선이 기준선으로 규정된 경우, 상기 관절 축선이 상기 기준선으로부터 오프셋된 것을 특징으로 하는 기판 반송 핸드.
  6. 로봇 암에 연결되는 기판 반송 핸드로서,
    상기 로봇 암의 손끝부에 규정된 관절 축선을 중심으로 회전 가능하게 상기 로봇 암에 연결되는 베이스부와,
    상기 베이스부와 결합되어 기판을 유지하는 기판 유지부를 구비하고,
    상기 기판 유지부에 유지되는 상기 기판을 수직으로 관통하는 방향인 기판 수선 방향에서 볼 때, 상기 기판의 중심점보다 상기 베이스부 측에서 상기 기판의 가장자리와 상기 기판 유지부의 가장자리가 겹치는 점의 중점이 중간점으로 규정되고, 상기 관절 축선 상의 점과 상기 중간점을 통과하는 직선이 기준선으로 규정된 경우, 상기 기판의 중심이 상기 기준선으로부터 오프셋된 것을 특징으로 하는 기판 반송 핸드.
  7. 베이스와,
    기단부가 상기 베이스에 회전 가능하게 연결된 로봇 암과,
    상기 로봇 암의 선단부에 연결된 청구항 제1항 내지 제6항 중 어느 항에 기재된 기판 반송 핸드를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  8. 기판을 수용한 기판 캐리어와 반도체의 프로세스 처리 장치 사이 또는 상기 기판 캐리어들의 사이에서 상기 기판을 이송하는 기판 이송 장치로서,
    내부에 반송 챔버가 형성된 케이스와,
    상기 케이스의 벽에 설치된 복수의 로드 포트와,
    상기 반송 챔버에 설치되어 상기 기판의 이송 작업을 수행하는 청구항 제7항에 따른 기판 반송 로봇을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 복수의 로드 포트는 상기 케이스의 벽을 따라 소정 방향으로 나란하게 로드 포트 열을 형성하고, 상기 로봇 암의 기단부가 상기 로드 포트 열의 상기 소정 방향의 중앙으로부터 상기 소정 방향의 한쪽으로 치우친 곳에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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