JPH0982776A - ワーク搬送装置 - Google Patents
ワーク搬送装置Info
- Publication number
- JPH0982776A JPH0982776A JP23661795A JP23661795A JPH0982776A JP H0982776 A JPH0982776 A JP H0982776A JP 23661795 A JP23661795 A JP 23661795A JP 23661795 A JP23661795 A JP 23661795A JP H0982776 A JPH0982776 A JP H0982776A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- finger
- work
- wafer
- cassette
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワークをフィンガの載置面に安定した状態に載
置して搬送できるワーク搬送装置を提供することにあ
る。 【解決手段】カセット１に収納されているウエハ５をフ
ィンガ１２によってカセット１から取り出して搬送する
ワーク搬送装置であって、ウエハ５を載置するフィンガ
１２と、このフィンガ１２に設けられカセット１内のウ
エハ５の水平方向の位置を検出する光反射式センサ１５
と、前記フィンガ１２を水平方向に移動するとともに前
記光反射式センサ１５からの検出信号によって制御され
る搬送ロボット６とから構成したことにある。
置して搬送できるワーク搬送装置を提供することにあ
る。 【解決手段】カセット１に収納されているウエハ５をフ
ィンガ１２によってカセット１から取り出して搬送する
ワーク搬送装置であって、ウエハ５を載置するフィンガ
１２と、このフィンガ１２に設けられカセット１内のウ
エハ５の水平方向の位置を検出する光反射式センサ１５
と、前記フィンガ１２を水平方向に移動するとともに前
記光反射式センサ１５からの検出信号によって制御され
る搬送ロボット６とから構成したことにある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、カセットに収納
されているシリコンウエハ、液晶ガラス板等のワークを
搬送するワーク搬送装置に関する。
されているシリコンウエハ、液晶ガラス板等のワークを
搬送するワーク搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体製造ラインにおいて、シ
リコンウエハ（以下、ウエハという）を処理装置あるい
は検査装置に搬入したり、処理や検査が終了したウエハ
を搬出する作業はクリーンルーム内において搬送ロボッ
トによって行われている。
リコンウエハ（以下、ウエハという）を処理装置あるい
は検査装置に搬入したり、処理や検査が終了したウエハ
を搬出する作業はクリーンルーム内において搬送ロボッ
トによって行われている。
【０００３】ウエハは、カセット内に水平状態に、しか
も上下方向に所定間隔を存して複数枚収納されており、
ウエハをカセットから取り出し、処理装置や検査装置に
搬送するには、まず搬送ロボットのアームに設けられた
ハンドをカセット内に挿入し、ハンドによってウエハを
把持する。次に、アームを後退させてハンドによって把
持したウエハをカセットから取り出し、そのアームの回
動によってウエハを処理装置や検査装置に搬送してい
る。
も上下方向に所定間隔を存して複数枚収納されており、
ウエハをカセットから取り出し、処理装置や検査装置に
搬送するには、まず搬送ロボットのアームに設けられた
ハンドをカセット内に挿入し、ハンドによってウエハを
把持する。次に、アームを後退させてハンドによって把
持したウエハをカセットから取り出し、そのアームの回
動によってウエハを処理装置や検査装置に搬送してい
る。
【０００４】前記ハンドは、静電チャック、バキューム
チャックあるいはメカニカルチャック等であり、カセッ
ト内のウエハを把持して取り出しているが、カセット内
のウエハが水平方向に位置ずれしていると、ウエハの把
持ミスが発生するとともに、確実に把持することができ
ない。また、把持力が強すぎると、ウエハに損傷を与え
るという問題がある。
チャックあるいはメカニカルチャック等であり、カセッ
ト内のウエハを把持して取り出しているが、カセット内
のウエハが水平方向に位置ずれしていると、ウエハの把
持ミスが発生するとともに、確実に把持することができ
ない。また、把持力が強すぎると、ウエハに損傷を与え
るという問題がある。
【０００５】そこで、前述のような問題を解消するため
に、特開平２−７２６５０号公報に示すように、ウエハ
を水平状態に、しかも上下方向に所定間隔を存して複数
枚収納するキャリアステージにウエハの有無センサと測
距センサを設置する一方、搬送ロボットのアームにフィ
ンガを設ける。
に、特開平２−７２６５０号公報に示すように、ウエハ
を水平状態に、しかも上下方向に所定間隔を存して複数
枚収納するキャリアステージにウエハの有無センサと測
距センサを設置する一方、搬送ロボットのアームにフィ
ンガを設ける。
【０００６】そして、アームによってフィンガをキャリ
アステージ内のウエハの下側に挿入した後、キャリアス
テージを僅かに下降させてフィンガの上面にウエハを載
置し、さらに、アームによってフィンガを後退させてキ
ャリアステージからウエハを取り出して搬送している。
アステージ内のウエハの下側に挿入した後、キャリアス
テージを僅かに下降させてフィンガの上面にウエハを載
置し、さらに、アームによってフィンガを後退させてキ
ャリアステージからウエハを取り出して搬送している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
２−７２６５０号公報に示すものは、ウエハの有無セン
サによってウエハの有無を検出し、測距センサによって
ウエハの姿勢を検出するようになっているため、ウエハ
を搬送する際、ウエハ検出が終了するまで搬送動作を行
うことができない。このため、ロスタイムがあり、搬送
時間が長くなるという問題がある。
２−７２６５０号公報に示すものは、ウエハの有無セン
サによってウエハの有無を検出し、測距センサによって
ウエハの姿勢を検出するようになっているため、ウエハ
を搬送する際、ウエハ検出が終了するまで搬送動作を行
うことができない。このため、ロスタイムがあり、搬送
時間が長くなるという問題がある。
【０００８】また、ウエハの位置を検出するセンサがキ
ャリアステージに設置されているため、ウエハの取り出
し時にフィンガとセンサとの干渉を避ける工夫が必要で
あり、また、複数個のキャリアステージを並設し、これ
にキャリアステージから順次ウエハを取り出し搬送する
場合、各キャリアステージにセンサを設ける必要があ
り、コストアップの原因となる。
ャリアステージに設置されているため、ウエハの取り出
し時にフィンガとセンサとの干渉を避ける工夫が必要で
あり、また、複数個のキャリアステージを並設し、これ
にキャリアステージから順次ウエハを取り出し搬送する
場合、各キャリアステージにセンサを設ける必要があ
り、コストアップの原因となる。
【０００９】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、カセット内のワーク
を取り出して搬送する際に、その搬送時にワークの位置
を検出することができ、ワークの搬送が迅速に、しかも
確実に行うことができるワーク搬送装置を提供すること
にある。
もので、その目的とするところは、カセット内のワーク
を取り出して搬送する際に、その搬送時にワークの位置
を検出することができ、ワークの搬送が迅速に、しかも
確実に行うことができるワーク搬送装置を提供すること
にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、ワークを搬送するワーク搬送装置にお
いて、ワークを載置するフィンガと、このフィンガに設
けられカセット内のワークの水平方向の位置を検出する
位置検出センサと、前記フィンガを水平方向に移動する
とともに前記位置検出センサからの検出信号によって制
御される搬送機構とを具備したことを特徴とする。
達成するために、ワークを搬送するワーク搬送装置にお
いて、ワークを載置するフィンガと、このフィンガに設
けられカセット内のワークの水平方向の位置を検出する
位置検出センサと、前記フィンガを水平方向に移動する
とともに前記位置検出センサからの検出信号によって制
御される搬送機構とを具備したことを特徴とする。
【００１１】前記ワークは、カセットに収納されている
シリコンウエハまたは液晶ガラス板であり、前記フィン
ガは、ワークを載置する載置面を有しており、その載置
面にテフロンシートが装着されていることを特徴とす
る。
シリコンウエハまたは液晶ガラス板であり、前記フィン
ガは、ワークを載置する載置面を有しており、その載置
面にテフロンシートが装着されていることを特徴とす
る。
【００１２】また、前記位置検出センサは、光反射式セ
ンサであり、また前記フィンガの先端部にフィンガの進
行方向に対して垂直にかつ水平方向に複数個設けられて
いる。前記搬送機構は、少なくとも水平方向に可動する
アームを有した搬送ロボットであり、位置検出センサか
らの検出信号によって制御される。
ンサであり、また前記フィンガの先端部にフィンガの進
行方向に対して垂直にかつ水平方向に複数個設けられて
いる。前記搬送機構は、少なくとも水平方向に可動する
アームを有した搬送ロボットであり、位置検出センサか
らの検出信号によって制御される。
【００１３】搬送機構に設けられたフィンガを水平方向
に移動してフィンガをカセット内のウエハの下側に挿入
する時、フィンガに設けられた位置検出センサによって
ウエハの水平方向の位置を検出することができ、この検
出信号によって搬送機構が制御され、フィンガの挿入量
および挿入方向が調整される。
に移動してフィンガをカセット内のウエハの下側に挿入
する時、フィンガに設けられた位置検出センサによって
ウエハの水平方向の位置を検出することができ、この検
出信号によって搬送機構が制御され、フィンガの挿入量
および挿入方向が調整される。
【００１４】次に、例えばフィンガを上昇させると、ウ
エハはフィンガに載置され、搬送機構によってフィンガ
を後退すると、フィンガに載置されたウエハがカセット
から取り出され、所定の位置に搬送される。
エハはフィンガに載置され、搬送機構によってフィンガ
を後退すると、フィンガに載置されたウエハがカセット
から取り出され、所定の位置に搬送される。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、この発明の各実施の形態を
図面に基づいて説明する。図１〜図３は第１の実施形態
を示し、図１はワーク搬送装置の全体構成図である。１
はカセットであり、カセット支持台２に載設されてい
る。カセット１は前面に開口部３を有しており、内部の
左右両側壁には上下方向に所定間隔を存して凹溝４が設
けられている。この凹溝４はカセット１の奥行き方向に
延長しており、開口部３からプレート状のワークとして
のウエハ５を水平状態で挿入することにより、ウエハ５
の左右両側縁が凹溝４に挿入支持されるようになってい
る。
図面に基づいて説明する。図１〜図３は第１の実施形態
を示し、図１はワーク搬送装置の全体構成図である。１
はカセットであり、カセット支持台２に載設されてい
る。カセット１は前面に開口部３を有しており、内部の
左右両側壁には上下方向に所定間隔を存して凹溝４が設
けられている。この凹溝４はカセット１の奥行き方向に
延長しており、開口部３からプレート状のワークとして
のウエハ５を水平状態で挿入することにより、ウエハ５
の左右両側縁が凹溝４に挿入支持されるようになってい
る。
【００１６】したがって、カセット１の内部には複数枚
のウエハ５が上下方向に所定間隔を存して多段式に収納
されており、各ウエハ５が凹溝４の内部である程度上下
動できるようにウエハ５の肉厚よりも凹溝４の溝幅は大
きく形成されている。
のウエハ５が上下方向に所定間隔を存して多段式に収納
されており、各ウエハ５が凹溝４の内部である程度上下
動できるようにウエハ５の肉厚よりも凹溝４の溝幅は大
きく形成されている。
【００１７】カセット１の前方には搬送機構としての搬
送ロボット６が設けられている。この搬送ロボット６の
ロボット本体７には昇降および回動可能な第１のアーム
８が設けられ、この第１のアーム８の自由端部には第１
の関節部９を介して第２のアーム１０が設けられてい
る。
送ロボット６が設けられている。この搬送ロボット６の
ロボット本体７には昇降および回動可能な第１のアーム
８が設けられ、この第１のアーム８の自由端部には第１
の関節部９を介して第２のアーム１０が設けられてい
る。
【００１８】第２のアーム１０の自由端部には第２の関
節部１１を介してフィンガ１２の基端部が設けられてい
る。前記第１および第２の関節部９，１１にはモータ
（図示しない）が内蔵されており、第２のアーム１０お
よびフィンガ１２は水平面内において第１および第２の
関節部９，１１を中心に回動自在に構成されている。
節部１１を介してフィンガ１２の基端部が設けられてい
る。前記第１および第２の関節部９，１１にはモータ
（図示しない）が内蔵されており、第２のアーム１０お
よびフィンガ１２は水平面内において第１および第２の
関節部９，１１を中心に回動自在に構成されている。
【００１９】前記フィンガ１２は長方形状の金属やセラ
ミックなどの板状体で、ウエハ５の直径よりも狭幅であ
るが、ウエハ５を安定した状態で載置するに十分な面積
の載置面１３を有しており、この載置面１３にはウエハ
５に損傷を与えないように合成樹脂、ゴム等のシート、
例えばチップ状の複数のテフロンシート１４が装着され
ている。
ミックなどの板状体で、ウエハ５の直径よりも狭幅であ
るが、ウエハ５を安定した状態で載置するに十分な面積
の載置面１３を有しており、この載置面１３にはウエハ
５に損傷を与えないように合成樹脂、ゴム等のシート、
例えばチップ状の複数のテフロンシート１４が装着され
ている。
【００２０】さらに、フィンガ１２の先端部の幅方向の
中間部にはセンサとしての光反射式センサ１５が先端方
向に突出して設けられている。この光反射式センサ１５
は真上に向かってセンサ光を照射する発光素子とその反
射光を受光する受光素子（いずれも図示しない）とから
なり、ウエハ５のエッジによって反射した反射光を受光
素子が受光してウエハ５の位置を検出し、その検出信号
は搬送ロボット６のコントローラに入力されるようにな
っている。
中間部にはセンサとしての光反射式センサ１５が先端方
向に突出して設けられている。この光反射式センサ１５
は真上に向かってセンサ光を照射する発光素子とその反
射光を受光する受光素子（いずれも図示しない）とから
なり、ウエハ５のエッジによって反射した反射光を受光
素子が受光してウエハ５の位置を検出し、その検出信号
は搬送ロボット６のコントローラに入力されるようにな
っている。
【００２１】なお、１６はウエハ５の処理装置（または
検査装置）であり、カセット１に収納されたウエハ５は
搬送ロボット６によって１枚ずつ取り出され、この処理
装置１６に搬入される。
検査装置）であり、カセット１に収納されたウエハ５は
搬送ロボット６によって１枚ずつ取り出され、この処理
装置１６に搬入される。
【００２２】次に、前述のように構成されたワーク搬送
装置の作用について説明する。カセット１には複数枚の
ウエハ５が多段式に収納されており、このカセット１か
らウエハ５を１枚ずつ取り出して処理装置１６に搬送す
る場合、搬送ロボット６の第１のアーム８が昇降してフ
ィンガ１２の高さ方向の位置調整を行う。
装置の作用について説明する。カセット１には複数枚の
ウエハ５が多段式に収納されており、このカセット１か
らウエハ５を１枚ずつ取り出して処理装置１６に搬送す
る場合、搬送ロボット６の第１のアーム８が昇降してフ
ィンガ１２の高さ方向の位置調整を行う。
【００２３】さらに、第１のアーム８、第２のアーム１
０およびフィンガ１２が第１および第２の関節部９，１
１を中心に回動し、カセット１に対してフィンガ１２の
位置決めを行うとともに、フィンガ１２をカセット１に
対して前進する。
０およびフィンガ１２が第１および第２の関節部９，１
１を中心に回動し、カセット１に対してフィンガ１２の
位置決めを行うとともに、フィンガ１２をカセット１に
対して前進する。
【００２４】そして、カセット１の内部の取り出そうと
するウエハ５の下側に向かってフィンガ１２が前進する
と、フィンガ１２の先端方向に突出している光反射式セ
ンサ１５は真上に向かってセンサ光を照射しているた
め、センサ光がウエハ５の先端側のエッジによって反射
され、その反射光を受光素子が受光すると、ウエハ５の
位置（カセット１の開口部３から突出している突出量）
を検出し、その検出信号は搬送ロボット６のコントロー
ラに入力される。
するウエハ５の下側に向かってフィンガ１２が前進する
と、フィンガ１２の先端方向に突出している光反射式セ
ンサ１５は真上に向かってセンサ光を照射しているた
め、センサ光がウエハ５の先端側のエッジによって反射
され、その反射光を受光素子が受光すると、ウエハ５の
位置（カセット１の開口部３から突出している突出量）
を検出し、その検出信号は搬送ロボット６のコントロー
ラに入力される。
【００２５】搬送ロボット６は光反射式センサ１５から
入力された情報に基づいてフィンガ１２の前進量を設定
し、フィンガ１２が前進してウエハ５の下側にフィンガ
１２が挿入される。
入力された情報に基づいてフィンガ１２の前進量を設定
し、フィンガ１２が前進してウエハ５の下側にフィンガ
１２が挿入される。
【００２６】フィンガ１２が所定の位置まで前進した
後、搬送ロボット６が第１のアーム８を僅かに上昇させ
ると、ウエハ５は凹溝４の内部で持ち上げられ、ウエハ
５はフィンガ１２の載置面１３に載置される。この場
合、フィンガ１２はウエハ５の直径よりも狭幅である
が、ウエハ５を安定した状態で載置するに十分な面積の
載置面１３を有しており、この載置面１３にはチップ状
の複数のテフロンシート１４が装着されているため、ウ
エハ５は複数のテフロンシート１４に支持された状態に
載置される。このとき、ウエハ５には把持力が加わらな
いため、ウエハ５に損傷を与える恐れはない。
後、搬送ロボット６が第１のアーム８を僅かに上昇させ
ると、ウエハ５は凹溝４の内部で持ち上げられ、ウエハ
５はフィンガ１２の載置面１３に載置される。この場
合、フィンガ１２はウエハ５の直径よりも狭幅である
が、ウエハ５を安定した状態で載置するに十分な面積の
載置面１３を有しており、この載置面１３にはチップ状
の複数のテフロンシート１４が装着されているため、ウ
エハ５は複数のテフロンシート１４に支持された状態に
載置される。このとき、ウエハ５には把持力が加わらな
いため、ウエハ５に損傷を与える恐れはない。
【００２７】次に、搬送ロボット６の第１のアーム８、
第２のアーム１０およびフィンガ１２が第１および第２
の関節部９，１１を中心に回動してフィンガ１２がカセ
ット１から後退すると、ウエハ５はカセット１の凹溝４
から抜き取られ、カセット１の開口部３から取り出され
る。さらに、搬送ロボット６の第１のアーム８、第２の
アーム１０およびフィンガ１２が第１および第２の関節
部９，１１を中心に回動してフィンガ１２に載置したウ
エハ５が処理装置１６に搬入される。
第２のアーム１０およびフィンガ１２が第１および第２
の関節部９，１１を中心に回動してフィンガ１２がカセ
ット１から後退すると、ウエハ５はカセット１の凹溝４
から抜き取られ、カセット１の開口部３から取り出され
る。さらに、搬送ロボット６の第１のアーム８、第２の
アーム１０およびフィンガ１２が第１および第２の関節
部９，１１を中心に回動してフィンガ１２に載置したウ
エハ５が処理装置１６に搬入される。
【００２８】このような動作を繰り返すことにより、カ
セット１に収納されたウエハ５をフィンガ１２によって
載置して取り出し、所定の位置に搬送することができ
る。このとき、カセット１内に収納されたウエハ５のカ
セット１からの突出量にバラツキがあっても、ウエハ５
の搬送動作中にフィンガ１２の先端部に設けられた光反
射式センサ１５がウエハ５の先端側の位置を検出し、そ
の検出信号を搬送ロボット６のコントローラに入力する
ため、フィンガ１２のカセット１に対する前進量をウエ
ハ５毎に設定することができ、ウエハ５をフィンガ１２
の載置面１３に安定した状態に載置することができる。
セット１に収納されたウエハ５をフィンガ１２によって
載置して取り出し、所定の位置に搬送することができ
る。このとき、カセット１内に収納されたウエハ５のカ
セット１からの突出量にバラツキがあっても、ウエハ５
の搬送動作中にフィンガ１２の先端部に設けられた光反
射式センサ１５がウエハ５の先端側の位置を検出し、そ
の検出信号を搬送ロボット６のコントローラに入力する
ため、フィンガ１２のカセット１に対する前進量をウエ
ハ５毎に設定することができ、ウエハ５をフィンガ１２
の載置面１３に安定した状態に載置することができる。
【００２９】図４は第２の実施形態を示すもので、第１
の実施形態と同一構成部分は同一番号を付して説明を省
略する。フィンガ１２の先端部には複数個、例えば中央
光反射式センサ１７ａ、左側光反射式センサ１７ｂおよ
び右側光反射式センサ１７ｃの３個のセンサが平行に、
しかも先端方向に突出して設けられている。
の実施形態と同一構成部分は同一番号を付して説明を省
略する。フィンガ１２の先端部には複数個、例えば中央
光反射式センサ１７ａ、左側光反射式センサ１７ｂおよ
び右側光反射式センサ１７ｃの３個のセンサが平行に、
しかも先端方向に突出して設けられている。
【００３０】中央光反射式センサ１７ａ、左側光反射式
センサ１７ｂおよび右側光反射式センサ１７ｃの突出長
は同一であり、カセット１に収納されたウエハ５の左右
方向に位置が正規の位置であれば、フィンガ１２がカセ
ット１に対して前進すると、まず最初に中央光反射式セ
ンサ１７ａがウエハ５のエッジを検出し、次に左側光反
射式センサ１７ｂと右側光反射式センサ１７ｃが同時に
ウエハ５のエッジを検出する。
センサ１７ｂおよび右側光反射式センサ１７ｃの突出長
は同一であり、カセット１に収納されたウエハ５の左右
方向に位置が正規の位置であれば、フィンガ１２がカセ
ット１に対して前進すると、まず最初に中央光反射式セ
ンサ１７ａがウエハ５のエッジを検出し、次に左側光反
射式センサ１７ｂと右側光反射式センサ１７ｃが同時に
ウエハ５のエッジを検出する。
【００３１】しかし、カセット１のウエハ５が矢印で示
すように左右方向に位置ずれしていた場合、中央光反射
式センサ１７ａまたは左側光反射式センサ１７ｂまたは
右側光反射式センサ１７ｃのいずれかがまず最初にウエ
ハ５のエッジを検出し、次に残りの２つが順次にエッジ
を検出するすることになり、３個のセンサの検出順序に
よってカセット１に収納されたウエハ５の左右方向の位
置を検出することができ、この検出信号を搬送ロボット
６のコントローラに入力することにより、フィンガ１２
の前進時にフィンガ１２を左側または右側に位置修正す
ることができる。したがって、第１の実施形態における
効果に加え、ウエハ５が左右方向に位置ずれしていて
も、ウエハ５をフィンガ１２の載置面１３に安定した状
態に載置することができるという効果がある。
すように左右方向に位置ずれしていた場合、中央光反射
式センサ１７ａまたは左側光反射式センサ１７ｂまたは
右側光反射式センサ１７ｃのいずれかがまず最初にウエ
ハ５のエッジを検出し、次に残りの２つが順次にエッジ
を検出するすることになり、３個のセンサの検出順序に
よってカセット１に収納されたウエハ５の左右方向の位
置を検出することができ、この検出信号を搬送ロボット
６のコントローラに入力することにより、フィンガ１２
の前進時にフィンガ１２を左側または右側に位置修正す
ることができる。したがって、第１の実施形態における
効果に加え、ウエハ５が左右方向に位置ずれしていて
も、ウエハ５をフィンガ１２の載置面１３に安定した状
態に載置することができるという効果がある。
【００３２】なお、前記実施形態においては、ウエハの
搬送について説明したが、液晶ガラス板であっても同様
の効果が得られるとともに、またプレート状のワークを
搬送する搬送装置に適用できる。
搬送について説明したが、液晶ガラス板であっても同様
の効果が得られるとともに、またプレート状のワークを
搬送する搬送装置に適用できる。
【００３３】また、センサとして光反射式センサを用い
たが、非接触式センサであれば、他のセンサを用いても
よい。また、搬送ロボットによってフィンガを上昇さ
せ、ウエハをフィンガの載置面に載置するようにした
が、フィンガをウエハの下側に挿入した後、カセットが
下降してもウエハをフィンガの載置面に載置することが
できる。
たが、非接触式センサであれば、他のセンサを用いても
よい。また、搬送ロボットによってフィンガを上昇さ
せ、ウエハをフィンガの載置面に載置するようにした
が、フィンガをウエハの下側に挿入した後、カセットが
下降してもウエハをフィンガの載置面に載置することが
できる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、カセット内に収納されたワークのカセットからの突
出量にバラツキがあっても、ワークの搬送動作中にフィ
ンガの先端部に設けられた位置検出センサがワークの位
置を検出し、その検出信号を搬送機構に入力するため、
フィンガのカセットに対する前進量をワーク毎に設定す
ることができ、ワークをフィンガの載置面に安定した状
態に載置して迅速かつ確実に搬送することができる。
ば、カセット内に収納されたワークのカセットからの突
出量にバラツキがあっても、ワークの搬送動作中にフィ
ンガの先端部に設けられた位置検出センサがワークの位
置を検出し、その検出信号を搬送機構に入力するため、
フィンガのカセットに対する前進量をワーク毎に設定す
ることができ、ワークをフィンガの載置面に安定した状
態に載置して迅速かつ確実に搬送することができる。
【００３５】また、フィンガに位置検出センサを設ける
ことにより、カセットの構成が簡素化し、フィンガと位
置検出センサとの干渉を避ける工夫が不要となり、搬送
機構の制御も容易となるという効果を奏する。
ことにより、カセットの構成が簡素化し、フィンガと位
置検出センサとの干渉を避ける工夫が不要となり、搬送
機構の制御も容易となるという効果を奏する。
【図１】この発明の第１の実施形態を示すワーク搬送装
置の斜視図。
置の斜視図。
【図２】同実施形態のフィンガの平面図。
【図３】同実施形態の作用説明図。
【図４】この発明の第２の実施形態を示すフィンガの平
面図。
面図。
１…カセット ３…開口部 ５…ウエハ（ワーク） ６…搬送ロボット（搬送機構） １２…フィンガ １５…光反射式センサ（位置検出センサ）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｂ 11/00 Ｇ０１Ｂ 11/00 Ｂ
Claims (7)
- 【請求項１】 ワークを搬送するワーク搬送装置におい
て、 前記ワークを載置するフィンガと、このフィンガに設け
られカセット内のワークの水平方向の位置を検出する位
置検出センサと、前記フィンガを水平方向に移動すると
ともに前記位置検出センサからの検出信号によって制御
する搬送機構とを具備したことを特徴とするワーク搬送
装置。 - 【請求項２】 前記ワークは、カセットに収納されてい
るシリコンウエハであることを特徴とする請求項１記載
のワーク搬送装置。 - 【請求項３】 前記ワークは、カセットに収納されてい
る液晶ガラス板であることを特徴とする請求項１記載の
ワーク搬送装置。 - 【請求項４】前記フィンガは、ワークを載置する載置面
を有しており、その載置面にテフロンシートが装着され
ていることを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装
置。 - 【請求項５】 前記位置検出センサは、光反射式センサ
であることを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装
置。 - 【請求項６】 前記位置検出センサは、前記フィンガの
先端部にフィンガの進行方向に対して垂直にかつ水平方
向に複数個設けられていることを特徴とする請求項１ま
たは５記載のワーク搬送装置。 - 【請求項７】 前記搬送機構は、少なくとも水平方向に
可動するアームを有した搬送ロボットであることを特徴
とする請求項１記載のワーク搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23661795A JPH0982776A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | ワーク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23661795A JPH0982776A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | ワーク搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0982776A true JPH0982776A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=17003300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23661795A Pending JPH0982776A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | ワーク搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0982776A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0996963A1 (en) * | 1997-07-11 | 2000-05-03 | Genmark Automation, Inc. | Multiple point position scanning system |
| KR100486706B1 (ko) * | 1998-02-04 | 2005-09-07 | 삼성전자주식회사 | 반도체설비의자동조절식블레이드이동장치 |
| CN113503860A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-10-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种水平度检测治具及检测方法 |
-
1995
- 1995-09-14 JP JP23661795A patent/JPH0982776A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0996963A1 (en) * | 1997-07-11 | 2000-05-03 | Genmark Automation, Inc. | Multiple point position scanning system |
| EP0996963A4 (en) * | 1997-07-11 | 2006-01-18 | Genmark Automation Inc | MULTI-POSITION SCANNER |
| KR100486706B1 (ko) * | 1998-02-04 | 2005-09-07 | 삼성전자주식회사 | 반도체설비의자동조절식블레이드이동장치 |
| CN113503860A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-10-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种水平度检测治具及检测方法 |
| CN113503860B (zh) * | 2021-08-30 | 2023-08-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种水平度检测治具及检测方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6323616B1 (en) | Self teaching robotic wafer handling system | |
| US6085125A (en) | Prealigner and planarity teaching station | |
| TW386929B (en) | Substrate transport apparutus | |
| JP5544414B2 (ja) | センサキャリアにより基板処理システム内の物体の位置を自動的に測定して教示する方法および関連するセンサキャリア | |
| US20050186063A1 (en) | Calibration of high speed loader to substrate transport system | |
| JPS62175365A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JPH08335622A (ja) | 基板搬送装置 | |
| US20050004701A1 (en) | Alignment of semiconductor wafers and other articles | |
| US7596425B2 (en) | Substrate detecting apparatus and method, substrate transporting apparatus and method, and substrate processing apparatus and method | |
| JPH106262A (ja) | ロボットの教示方法及びその装置 | |
| US20020051700A1 (en) | Robot for handling workpieces in an automated processing system | |
| JP2002270674A (ja) | 搬出装置 | |
| JPH0982776A (ja) | ワーク搬送装置 | |
| JP2626582B2 (ja) | ウエハ位置の計測ユニットならびにウエハアライメントユニットおよび方法 | |
| JP2575717B2 (ja) | 半導体基板または液晶基板の搬送装置 | |
| JP2002319559A (ja) | 研削装置 | |
| JPH11150172A (ja) | 搬送装置 | |
| JP2000040735A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP4596144B2 (ja) | ウェーハ搬送方法及びウェーハ搬送装置 | |
| JPH06236910A (ja) | 検査装置 | |
| JP2581085B2 (ja) | ウエ−ハアライメント装置 | |
| JPH04154144A (ja) | 基板入出機構 | |
| JPH0272650A (ja) | 基板収納装置 | |
| JPH0456338A (ja) | ウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置 | |
| JPH0948521A (ja) | 移載装置及びその制御方法 |