JPH0948521A - 移載装置及びその制御方法 - Google Patents
移載装置及びその制御方法Info
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- JPH0948521A JPH0948521A JP20246595A JP20246595A JPH0948521A JP H0948521 A JPH0948521 A JP H0948521A JP 20246595 A JP20246595 A JP 20246595A JP 20246595 A JP20246595 A JP 20246595A JP H0948521 A JPH0948521 A JP H0948521A
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- Japan
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- glass substrate
- transfer device
- hand
- transfer
- conveyor
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
Landscapes
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送装置上を移動している破損し易く汚染を
嫌うワークを所定の場所へ高精度で移載することが可能
な移載装置及びその制御方法の提供。 【解決手段】 ガラス基板を直線状に搬送するコンベア
と、そのガラス基板を把持し所定の位置へ移載する把持
装置と、その先端にガラス基板を把持する際、吸着して
押し上げるハンドを有するロボットを備えた移載装置に
より、Ｓ１でコンベア駆動モータを起動してガラス基板
をコンベア上で移動し、センサー１５でガラス基板を検
知したら（Ｓ２）、コンベア駆動モータを停止し、コン
ベアの動作方向と逆の方向にロボットを移動させ（Ｓ３
〜Ｓ４）、センサー１８を検知したらロボットの動作を
停止させる（Ｓ５〜Ｓ６）。ここまでの動作でガラス基
板とロボットのハンドとの位置決めが完了する。制御装
置は次工程であるステージへの移載処理を開始する。
嫌うワークを所定の場所へ高精度で移載することが可能
な移載装置及びその制御方法の提供。 【解決手段】 ガラス基板を直線状に搬送するコンベア
と、そのガラス基板を把持し所定の位置へ移載する把持
装置と、その先端にガラス基板を把持する際、吸着して
押し上げるハンドを有するロボットを備えた移載装置に
より、Ｓ１でコンベア駆動モータを起動してガラス基板
をコンベア上で移動し、センサー１５でガラス基板を検
知したら（Ｓ２）、コンベア駆動モータを停止し、コン
ベアの動作方向と逆の方向にロボットを移動させ（Ｓ３
〜Ｓ４）、センサー１８を検知したらロボットの動作を
停止させる（Ｓ５〜Ｓ６）。ここまでの動作でガラス基
板とロボットのハンドとの位置決めが完了する。制御装
置は次工程であるステージへの移載処理を開始する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークを移載する
移載装置及びその制御方法に関するものである。
移載装置及びその制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント基板や液晶表示体基板を
加工、若しくは検査を行なう装置には、移載装置、すな
わち搬送部より上記の基板を１枚ずつ取出し、処理を行
ない、再び搬送部に戻した後に次の加工若しくは検査装
置へと移載する装置を備えているものが広く使用されて
いる。
加工、若しくは検査を行なう装置には、移載装置、すな
わち搬送部より上記の基板を１枚ずつ取出し、処理を行
ない、再び搬送部に戻した後に次の加工若しくは検査装
置へと移載する装置を備えているものが広く使用されて
いる。
【０００３】図６は、従来例としての移載装置部の側面
図である。
図である。
【０００４】図中、１４はワークであるガラス基板、２
はコンベアのフレーム部、９は搬送ローラ、２１は基板
位置決め部材である。これらの装置では、次工程の処理
を行なうため、搬送部上を移動している基板１４を所定
の位置で捉えて移載する。このため搬送部に取り付けら
れた基板位置決め部材２１により搬送中の基板を停止さ
せると同時に搬送部を停止させる。そして、基板１４下
方に待機している不図示のハンドを上昇させ、基板１４
をハンドに吸着保持して、搬送部より次工程の処理を行
なう位置へと基板１４を移載する。
はコンベアのフレーム部、９は搬送ローラ、２１は基板
位置決め部材である。これらの装置では、次工程の処理
を行なうため、搬送部上を移動している基板１４を所定
の位置で捉えて移載する。このため搬送部に取り付けら
れた基板位置決め部材２１により搬送中の基板を停止さ
せると同時に搬送部を停止させる。そして、基板１４下
方に待機している不図示のハンドを上昇させ、基板１４
をハンドに吸着保持して、搬送部より次工程の処理を行
なう位置へと基板１４を移載する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、ハンドに吸着保持した基板１４を次工程の処
理を行なう所定の位置へ正確に移載し、位置決めする必
要が有るために、搬送部を移動中の基板１４を基板位置
決め部材２１に衝突させることにより停止させる。この
ため基板１４が破損し易い材質の場合、基板１４と位置
決め部材２１との接触部分を破損させることが多いとい
う問題があった。また、位置決め部材２１に基板を確実
に接触させる課程において、基板１４と搬送部の搬送手
段部材との間にスリップが生じ、発塵がおこり、基板を
汚染するという問題もあった。
来例では、ハンドに吸着保持した基板１４を次工程の処
理を行なう所定の位置へ正確に移載し、位置決めする必
要が有るために、搬送部を移動中の基板１４を基板位置
決め部材２１に衝突させることにより停止させる。この
ため基板１４が破損し易い材質の場合、基板１４と位置
決め部材２１との接触部分を破損させることが多いとい
う問題があった。また、位置決め部材２１に基板を確実
に接触させる課程において、基板１４と搬送部の搬送手
段部材との間にスリップが生じ、発塵がおこり、基板を
汚染するという問題もあった。
【０００６】そこで本発明は、搬送装置上を移動してい
る破損し易く汚染を嫌うワークを所定の場所へ高精度で
移載することが可能な移載装置及びその制御方法を提供
することを目的とする。
る破損し易く汚染を嫌うワークを所定の場所へ高精度で
移載することが可能な移載装置及びその制御方法を提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めの本発明の構成として、請求項１は、底部が平板状の
部材を直線状に搬送する搬送手段と、前記部材を把持し
所定の位置へ移載する把持手段を備えた移載装置におい
て、前記部材を検出可能で、前記搬送手段に取り付けら
れた第一の検出手段と、前記搬送手段の前記部材の搬送
方向と逆方向から進入し、前記部材の底面を下方から支
持可能な前記把持手段の先端に位置するハンド手段と、
前記部材を検出可能で、前記ハンド手段に取り付けられ
た第二の検出手段を備えることを特徴とする移載装置で
ある。
めの本発明の構成として、請求項１は、底部が平板状の
部材を直線状に搬送する搬送手段と、前記部材を把持し
所定の位置へ移載する把持手段を備えた移載装置におい
て、前記部材を検出可能で、前記搬送手段に取り付けら
れた第一の検出手段と、前記搬送手段の前記部材の搬送
方向と逆方向から進入し、前記部材の底面を下方から支
持可能な前記把持手段の先端に位置するハンド手段と、
前記部材を検出可能で、前記ハンド手段に取り付けられ
た第二の検出手段を備えることを特徴とする移載装置で
ある。
【０００８】第一及び第二の検出手段により非接触で部
材を検出し、ハンド手段により部材の底面を下方から面
で支持した。
材を検出し、ハンド手段により部材の底面を下方から面
で支持した。
【０００９】請求項２の前記部材は、ガラス基板である
ことを特徴とする請求項１記載の移載装置である。
ことを特徴とする請求項１記載の移載装置である。
【００１０】これにより壊れ易いガラス製の基板の搬送
中の破損を防止する。
中の破損を防止する。
【００１１】請求項３の前記ハンド手段は、前記ガラス
基板を支持する際、前記ガラス基板を吸引し固定するた
めの吸引手段を備えることを特徴とする請求項２記載の
移載装置である。
基板を支持する際、前記ガラス基板を吸引し固定するた
めの吸引手段を備えることを特徴とする請求項２記載の
移載装置である。
【００１２】これにより汚れ易いガラス製の基板を簡単
な構造で的確に把持する。
な構造で的確に把持する。
【００１３】同目的を達成するための本発明の他の構成
として、請求項４は、底部が平板状の部材を直線状に搬
送する搬送工程と、前記部材を把持し所定の位置へ移載
する移載工程を備える移載装置の制御方法において、前
記搬送工程で前記部材を検出する第一の検出工程と、前
記搬送工程の前記部材の搬送方向と逆方向から進入し、
前記部材の底面を下方から支持し、前記把持工程と連動
して制御するハンド工程と、前記ハンド工程で前記部材
を検出可能な第二の検出工程を備えたことを特徴とする
移載装置の制御方法である。
として、請求項４は、底部が平板状の部材を直線状に搬
送する搬送工程と、前記部材を把持し所定の位置へ移載
する移載工程を備える移載装置の制御方法において、前
記搬送工程で前記部材を検出する第一の検出工程と、前
記搬送工程の前記部材の搬送方向と逆方向から進入し、
前記部材の底面を下方から支持し、前記把持工程と連動
して制御するハンド工程と、前記ハンド工程で前記部材
を検出可能な第二の検出工程を備えたことを特徴とする
移載装置の制御方法である。
【００１４】第一及び第二の検出工程により非接触で部
材を検出し、ハンド工程により部材の底面を下方から面
で支持した。
材を検出し、ハンド工程により部材の底面を下方から面
で支持した。
【００１５】請求項５の前記部材は、ガラス基板である
ことを特徴とする請求項４記載の移載装置の制御方法で
ある。
ことを特徴とする請求項４記載の移載装置の制御方法で
ある。
【００１６】これにより壊れ易いガラス製の基板の搬送
中の破損を防止する。
中の破損を防止する。
【００１７】請求項６の前記ハンド工程は、前記ガラス
基板を支持する際、前記ガラス基板を吸引し固定するた
めの吸引工程を備えることを特徴とする請求項５記載の
移載装置の制御方法である。
基板を支持する際、前記ガラス基板を吸引し固定するた
めの吸引工程を備えることを特徴とする請求項５記載の
移載装置の制御方法である。
【００１８】これにより汚れ易いガラス製の基板を簡単
な構造で的確に把持する。
な構造で的確に把持する。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、液晶表示体の製造装置にお
ける液晶表示体ガラス基板の移載装置に本発明を適用し
た一実施形態について図面を参照して説明する。
ける液晶表示体ガラス基板の移載装置に本発明を適用し
た一実施形態について図面を参照して説明する。
【００２０】まず、移載装置の構成について図１〜図４
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００２１】図１は、本発明の位置実施形態としての移
載装置の外観図である。
載装置の外観図である。
【００２２】図中、架台１にはワークであるガラス基板
１４が搬送されてくるコンベア２とガラス基板１４を次
工程である処理ステージ２０に移載するロボット３が備
えられている。コンベア２は、アルミニウム製コンベア
フレーム４を、ワークの進行方向に対して両側に配し、
一方のコンベアフレーム４にコンベア駆動モータ５を固
定し、その回転力をカップリング６を介して、両側の駆
動プーリ７ヘ伝える連結棒８が回転自在に設けられてい
る。また、コンベアフレーム４には、搬送ローラ９と従
動プーリ１０を連結するシャフト１１を回転自在に保持
する複数のブラケット１２が固定されている。従動プー
リは、タイミングベルト１３により駆動プーリと回転自
在に連結されている。コンベアフレーム４の内側には、
ガラス基板１４を検出するためのセンサー１５が設けら
れている。そして、コンベア２及びロボット３を制御
し、かつ各センサーからの検知信号を受信可能な如く配
線された制御装置１９が架台１に設けられている。そし
て、ガラス基板１４を１枚ずつ処理作業する処理ステー
ジ２０が架台１に連結されて設けられている。
１４が搬送されてくるコンベア２とガラス基板１４を次
工程である処理ステージ２０に移載するロボット３が備
えられている。コンベア２は、アルミニウム製コンベア
フレーム４を、ワークの進行方向に対して両側に配し、
一方のコンベアフレーム４にコンベア駆動モータ５を固
定し、その回転力をカップリング６を介して、両側の駆
動プーリ７ヘ伝える連結棒８が回転自在に設けられてい
る。また、コンベアフレーム４には、搬送ローラ９と従
動プーリ１０を連結するシャフト１１を回転自在に保持
する複数のブラケット１２が固定されている。従動プー
リは、タイミングベルト１３により駆動プーリと回転自
在に連結されている。コンベアフレーム４の内側には、
ガラス基板１４を検出するためのセンサー１５が設けら
れている。そして、コンベア２及びロボット３を制御
し、かつ各センサーからの検知信号を受信可能な如く配
線された制御装置１９が架台１に設けられている。そし
て、ガラス基板１４を１枚ずつ処理作業する処理ステー
ジ２０が架台１に連結されて設けられている。
【００２３】次に、図２を参照してロボット３の構造を
説明する。
説明する。
【００２４】図２は、本発明の一実施形態としてのロボ
ットの構造図である。
ットの構造図である。
【００２５】図中、ロボット３の先端にはハンド１６が
設けられている。このハンド１６には、ガラス基板１４
を吸着して保持する数ヶ所の吸着孔１７とガラス基板１
４を検出するセンサー１８が設けられている。ロボット
３は、基板搬送面に対し平行なＲ軸方向の移動と、架台
１に対し垂直なＺ軸方向の移動と、Ｚ軸廻りの回転の合
計３自由度を有する。尚、ロボット単体の動作について
は公知であるので詳細の説明は省略する。
設けられている。このハンド１６には、ガラス基板１４
を吸着して保持する数ヶ所の吸着孔１７とガラス基板１
４を検出するセンサー１８が設けられている。ロボット
３は、基板搬送面に対し平行なＲ軸方向の移動と、架台
１に対し垂直なＺ軸方向の移動と、Ｚ軸廻りの回転の合
計３自由度を有する。尚、ロボット単体の動作について
は公知であるので詳細の説明は省略する。
【００２６】更に、移載装置の側面の構造を図４に示
す。
す。
【００２７】図４は、本発明の一実施形態としての移載
装置の側面構造図である（一部を断面で示す）。
装置の側面構造図である（一部を断面で示す）。
【００２８】図中、ハンド１６の内部にはガラス基板１
４を把持するための空気配管を有している。
４を把持するための空気配管を有している。
【００２９】次に、制御装置１９の構成について図３を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００３０】図３は、本発明の一実施形態としての制御
装置のブロック構成図である。
装置のブロック構成図である。
【００３１】図中、１０１は教示装置であり通常は制御
装置の内部に収納されている。教示装置１０１は、各種
パラメータや動作の教示位置等の入力を行なう入力部１
０２、入力値や結果の表示などを行なう表示部１０３を
備える。制御装置１９は、教示装置１０１とのデータの
受け渡しを行う通信インターフェース１０５、教示装置
１０１からの入力コマンド等の解読、サーボ制御、コン
ベア制御等を行うＣＰＵ１０６、ＣＰＵを動作させるた
めの制御プログラム、固定パラメータ等を記憶している
ＲＯＭ１０７、サーボゲイン、電動モータの最高回転
数、回転方向などのサーボパラメータ、ロボット３の軌
道データ等の可変パラメータが記憶されているＲＡＭ１
０８、制御装置１９の内部の各要素のデータ通信のため
のバス１０９、サーボドライバを備えたサーボ系インタ
ーフェース１１０、コンベア駆動モータ５を制御するた
めのコンベア駆動モータインターフェース１１１、そし
て装置側センサーの入力を検知、及びガラス基板１４を
吸着把持する空気圧制御機構の不図示のソレノイドバル
ブ等のアクチュエータを動作させるためのＩ／Ｏインタ
ーフェース１１２を備える。
装置の内部に収納されている。教示装置１０１は、各種
パラメータや動作の教示位置等の入力を行なう入力部１
０２、入力値や結果の表示などを行なう表示部１０３を
備える。制御装置１９は、教示装置１０１とのデータの
受け渡しを行う通信インターフェース１０５、教示装置
１０１からの入力コマンド等の解読、サーボ制御、コン
ベア制御等を行うＣＰＵ１０６、ＣＰＵを動作させるた
めの制御プログラム、固定パラメータ等を記憶している
ＲＯＭ１０７、サーボゲイン、電動モータの最高回転
数、回転方向などのサーボパラメータ、ロボット３の軌
道データ等の可変パラメータが記憶されているＲＡＭ１
０８、制御装置１９の内部の各要素のデータ通信のため
のバス１０９、サーボドライバを備えたサーボ系インタ
ーフェース１１０、コンベア駆動モータ５を制御するた
めのコンベア駆動モータインターフェース１１１、そし
て装置側センサーの入力を検知、及びガラス基板１４を
吸着把持する空気圧制御機構の不図示のソレノイドバル
ブ等のアクチュエータを動作させるためのＩ／Ｏインタ
ーフェース１１２を備える。
【００３２】次に、上述した移載装置によるガラス基板
１４の移載動作を説明する。
１４の移載動作を説明する。
【００３３】ガラス基板１４のコンベア２による搬送
は、コンベア駆動モータ５の回転をカップリング６、連
結棒８を介して、コンベア２の両側の駆動プーリー７を
等しく回転させ、駆動プーリー７の回転力をタイミング
ベルト１３により、従動プーリ１０を回転させ、従動プ
ーリ１０にシャフト１１により連結された搬送ローラ９
を回転させることにより搬送する。次に搬送されるガラ
ス基板１４は、センサ１５上に搬送されてきた時、セン
サー１５によりガラス基板１４の縁が検出され、そのセ
ンサー１５の信号を受け、制御装置１９はコンベア駆動
モータ５を減速停止させ、ガラス基板１４をコンベア上
に停止させる。次に予めガラス基板１４の搬送面の高さ
より低く、待機しているハンド１６が、ガラス基板１４
のコンベア搬送方向に対し反対方向へロボットのＲ軸方
向の移動により進入する。このとき、コンベア２のコン
ベア駆動モータ５によるガラス基板１４の停止精度を考
慮し、ハンド１６の後端にあるセンサー１８がガラス基
板１４を検出しない位置にてハンド１６は待機する。Ｒ
軸の移動中にセンサー１８によりガラス基板１４の縁が
検出され、センサー１８の信号を受けて制御装置１９
は、ロボットのＲ軸方向の動作を停止させる。この一連
の動作により、ハンド１６とガラス基板１４の位置決め
が完了する。その後、ロボットのＺ軸方向の移動によ
り、ガラス基板１４をハンド１６にて吸着して保持し、
さらに上昇した後、処理ステージ２０へガラス基板１４
の移載を行なう。
は、コンベア駆動モータ５の回転をカップリング６、連
結棒８を介して、コンベア２の両側の駆動プーリー７を
等しく回転させ、駆動プーリー７の回転力をタイミング
ベルト１３により、従動プーリ１０を回転させ、従動プ
ーリ１０にシャフト１１により連結された搬送ローラ９
を回転させることにより搬送する。次に搬送されるガラ
ス基板１４は、センサ１５上に搬送されてきた時、セン
サー１５によりガラス基板１４の縁が検出され、そのセ
ンサー１５の信号を受け、制御装置１９はコンベア駆動
モータ５を減速停止させ、ガラス基板１４をコンベア上
に停止させる。次に予めガラス基板１４の搬送面の高さ
より低く、待機しているハンド１６が、ガラス基板１４
のコンベア搬送方向に対し反対方向へロボットのＲ軸方
向の移動により進入する。このとき、コンベア２のコン
ベア駆動モータ５によるガラス基板１４の停止精度を考
慮し、ハンド１６の後端にあるセンサー１８がガラス基
板１４を検出しない位置にてハンド１６は待機する。Ｒ
軸の移動中にセンサー１８によりガラス基板１４の縁が
検出され、センサー１８の信号を受けて制御装置１９
は、ロボットのＲ軸方向の動作を停止させる。この一連
の動作により、ハンド１６とガラス基板１４の位置決め
が完了する。その後、ロボットのＺ軸方向の移動によ
り、ガラス基板１４をハンド１６にて吸着して保持し、
さらに上昇した後、処理ステージ２０へガラス基板１４
の移載を行なう。
【００３４】前述の動作におけるロボット３のガラス基
板１４の検知と位置決め動作処理のフローチャートを図
５に示す。
板１４の検知と位置決め動作処理のフローチャートを図
５に示す。
【００３５】図５は、本発明の一実施形態としてのガラ
ス基板１４の検知と位置決め動作処理のフローチャート
である。
ス基板１４の検知と位置決め動作処理のフローチャート
である。
【００３６】図中、ステップＳ１において、コンベア駆
動モータ５を起動してガラス基板１４をコンベア２上で
移動させる。センサー１５でガラス基板１４を検知した
ら（ステップＳ２）、コンベア駆動モータ５を停止する
（ステップＳ３）。そしてステップＳ４でコンベア２の
動作方向と逆の方向にロボット３を移動させ、センサー
１８を検知したら（ステップＳ５）、ロボット３の動作
を停止させる（ステップＳ６）。ここまでの動作でガラ
ス基板１４とロボット３のハンド１６との位置決めが完
了するので、制御装置１９は次工程であるステージ２０
への移載処理を開始する。
動モータ５を起動してガラス基板１４をコンベア２上で
移動させる。センサー１５でガラス基板１４を検知した
ら（ステップＳ２）、コンベア駆動モータ５を停止する
（ステップＳ３）。そしてステップＳ４でコンベア２の
動作方向と逆の方向にロボット３を移動させ、センサー
１８を検知したら（ステップＳ５）、ロボット３の動作
を停止させる（ステップＳ６）。ここまでの動作でガラ
ス基板１４とロボット３のハンド１６との位置決めが完
了するので、制御装置１９は次工程であるステージ２０
への移載処理を開始する。
【００３７】尚、本実施形態では、被搬送体をガラス基
板を用いて説明したが、円形状基盤である半導体ウエハ
ーや不透明部材にも適用可能であり、上記実施形態には
限定されない。
板を用いて説明したが、円形状基盤である半導体ウエハ
ーや不透明部材にも適用可能であり、上記実施形態には
限定されない。
【００３８】また、本発明は、ホストコンピュータ、イ
ンタフェース等の複数の機器から構成されるシステムに
適用しても、１つの機器からなる装置に適用しても良
い。また、本発明はシステム或は装置にプログラムを供
給することによって実施される場合にも適用できること
は言うまでもない。この場合、本発明に係るプログラム
を格納した記憶媒体が本発明を構成することになる。そ
して、該記憶媒体からそのプログラムをシステム或は装
置に読み出すことによって、そのシステム或は装置が、
予め定められた仕方で動作する。
ンタフェース等の複数の機器から構成されるシステムに
適用しても、１つの機器からなる装置に適用しても良
い。また、本発明はシステム或は装置にプログラムを供
給することによって実施される場合にも適用できること
は言うまでもない。この場合、本発明に係るプログラム
を格納した記憶媒体が本発明を構成することになる。そ
して、該記憶媒体からそのプログラムをシステム或は装
置に読み出すことによって、そのシステム或は装置が、
予め定められた仕方で動作する。
【００３９】＜実施形態の効果＞ （１）コンベア２と先端にハンド１６を備えたロボット
３を組み合わせて移載装置を構成し、センサー１５及び
センサー１８によりガラス基板１４に非接触で検出する
ことにより、コンベア２上のガラス基板１４とハンドの
相対位置を補正した。これにより部材の性質上壊れ易い
ガラス基板１４の破損を防止できる。また、搬送ローラ
とのスリップも防止できるため発塵の防止、及びそれに
よるガラス基板１４の汚染を防止することができる。 （２）ハンド１６をコンベア２の搬送面より低い位置に
設置し、ガラス基板１４を把持する際、下方からハンド
１６全体で押し上げる構成にしたため、壊れ易いガラス
基板１４を確実に把持し移載することができた。 （３）ガラス基板１４を把持する際、ハンド１６に備え
た複数の吸着孔１７により下方からガラス基板１４を吸
着したことにより、ガラス基板１４をハンド１６上に簡
単な構造で固定することができた。
３を組み合わせて移載装置を構成し、センサー１５及び
センサー１８によりガラス基板１４に非接触で検出する
ことにより、コンベア２上のガラス基板１４とハンドの
相対位置を補正した。これにより部材の性質上壊れ易い
ガラス基板１４の破損を防止できる。また、搬送ローラ
とのスリップも防止できるため発塵の防止、及びそれに
よるガラス基板１４の汚染を防止することができる。 （２）ハンド１６をコンベア２の搬送面より低い位置に
設置し、ガラス基板１４を把持する際、下方からハンド
１６全体で押し上げる構成にしたため、壊れ易いガラス
基板１４を確実に把持し移載することができた。 （３）ガラス基板１４を把持する際、ハンド１６に備え
た複数の吸着孔１７により下方からガラス基板１４を吸
着したことにより、ガラス基板１４をハンド１６上に簡
単な構造で固定することができた。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
搬送装置上を移動している破損し易く汚染を嫌うワーク
を所定の場所へ高精度で移載することが可能な移載装置
及びその制御方法の提供が実現する。
搬送装置上を移動している破損し易く汚染を嫌うワーク
を所定の場所へ高精度で移載することが可能な移載装置
及びその制御方法の提供が実現する。
【００４１】
【図１】本発明の位置実施形態としての移載装置の外観
図である。
図である。
【図２】本発明の一実施形態としてのロボットの構造図
である。
である。
【図３】本発明の一実施形態としての制御装置のブロッ
ク構成図である。
ク構成図である。
【図４】本発明の一実施形態としての移載装置の側面構
造図である（一部を断面で示す）。
造図である（一部を断面で示す）。
【図５】本発明の一実施形態としてのガラス基板１４の
検知と位置決め動作処理のフローチャートである。
検知と位置決め動作処理のフローチャートである。
【図６】従来例としての移載装置部の側面図である。
１ 架台 ２ コンベア ３ ロボット ４ コンベアフレーム ５ コンベア駆動モータ ６ カップリング ７ 駆動プーリ ８ 連結棒 ９ 搬送ローラ １０ 従動プーリ １１ シャフト １２ ブラケット １３ タイミングベルト １４ ガラス基板 １５ センサー １６ ハンド １７ 吸着孔 １８ センサー １９ 制御装置 ２０ 処理ステージ １０１ 教示装置 １０２ 入力部 １０３ 表示部 １０５ 通信インターフェース １０６ ＣＰＵ １０７ ＲＯＭ １０８ ＲＡＭ １０９ データ通信バス １１０ サーボ系インターフェース １１１ コンベア駆動モータインターフェース １１２ Ｉ／Ｏインターフェース
Claims (6)
- 【請求項１】 底部が平板状の部材を直線状に搬送する
搬送手段と、前記部材を把持し所定の位置へ移載する把
持手段を備えた移載装置において、 前記部材を検出可能で、前記搬送手段に取り付けられた
第一の検出手段と、 前記搬送手段の前記部材の搬送方向と逆方向から進入
し、前記部材の底面を下方から支持可能な前記把持手段
の先端に位置するハンド手段と、 前記部材を検出可能で、前記ハンド手段に取り付けられ
た第二の検出手段を備えることを特徴とする移載装置。 - 【請求項２】 前記部材は、ガラス基板であることを特
徴とする請求項１記載の移載装置。 - 【請求項３】 前記ハンド手段は、前記ガラス基板を支
持する際、前記ガラス基板を吸引し固定するための吸引
手段を備えることを特徴とする請求項２記載の移載装
置。 - 【請求項４】 底部が平板状の部材を直線状に搬送する
搬送工程と、前記部材を把持し所定の位置へ移載する移
載工程を備える移載装置の制御方法において、 前記搬送工程で前記部材を検出する第一の検出工程と、 前記搬送工程の前記部材の搬送方向と逆方向から進入
し、前記部材の底面を下方から支持し、前記把持工程と
連動して制御するハンド工程と、 前記ハンド工程で前記部材を検出可能な第二の検出工程
を備えたことを特徴とする移載装置の制御方法。 - 【請求項５】 前記部材は、ガラス基板であることを特
徴とする請求項４記載の移載装置の制御方法。 - 【請求項６】 前記ハンド工程は、前記ガラス基板を支
持する際、前記ガラス基板を吸引し固定するための吸引
工程を備えることを特徴とする請求項５記載の移載装置
の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20246595A JPH0948521A (ja) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | 移載装置及びその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20246595A JPH0948521A (ja) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | 移載装置及びその制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0948521A true JPH0948521A (ja) | 1997-02-18 |
Family
ID=16457984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20246595A Withdrawn JPH0948521A (ja) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | 移載装置及びその制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0948521A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100493766B1 (ko) * | 1998-04-30 | 2005-08-01 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치 제조용 식각설비의 기판 이송 툴 및 이의 기판이송방법 |
| CN102807094A (zh) * | 2012-08-30 | 2012-12-05 | 青岛友结意电子有限公司 | 一种微型元件自动取放机 |
| CN104553247A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-04-29 | 东莞市智澳通用机械设备有限公司 | 一种背光源模块贴膜机的成品移出机构 |
-
1995
- 1995-08-08 JP JP20246595A patent/JPH0948521A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100493766B1 (ko) * | 1998-04-30 | 2005-08-01 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치 제조용 식각설비의 기판 이송 툴 및 이의 기판이송방법 |
| CN102807094A (zh) * | 2012-08-30 | 2012-12-05 | 青岛友结意电子有限公司 | 一种微型元件自动取放机 |
| CN104553247A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-04-29 | 东莞市智澳通用机械设备有限公司 | 一种背光源模块贴膜机的成品移出机构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021105 |