KR100829359B1 - 로드락 챔버에 설치된 카세트 낙하 방지구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 피봇에 안착된 카세트가 피봇에서 낙하하더라도 그 충격을 최소화하여 카세트가 손상되는 것을 방지할 수 있도록 한 로드락 챔버에 설치된 카세트 낙하 방지구조를 제공하는 것으로, 카세트가 안착되는 지지대의 하면에 안전판이 고정되는 구조이다.

로드락 챔버, 카세트, SMIF, 포드, 안전판

Description

로드락 챔버에 설치된 카세트 낙하 방지구조{STRUCTURE PREVENTING FALLING OF CASSETTE PROVIDED LOAD ROCK CHAMBER}

도 1은 종래 포드에서 로드락 챔버로 카세트가 로딩되는 과정을 도시한 사시도이고,

도 2는 본 발명에 따른 로드락 챔버 내부의 낙하 방지구조를 도시한 사시도이고,

도 3은 본 발명에 따른 낙하 방지구조의 동작을 설명하기 위해 도시한 측면도이다.

본 발명은 로드락 챔버에 설치된 안전구조에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 포드에서 로드락 챔버로 로딩된 카세트의 자세 변화에 따른 웨이퍼 손상을 방지하기위한 로드락 챔버에 설치된 카세트 낙하 방지구조에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정 상에서의 웨이퍼는 공정 이동이나 일시적으로 보관해야 할 필요가 있을 때 이물질이나 파티클에 의한 웨이퍼의 손상을 방지하기 위해서 웨이퍼를 카세트에 수납하고, 그 카세트를 보관용기에 넣어서 보호하고 있 다.

그리고 웨이퍼를 공정챔버로 로딩하여 작업을 진행하기 위해서 보관용기에 수납된 카세트를 로드락 챔버로 로딩한 후, 로봇암으로 카세트 내부의 웨이퍼를 흡착하여 공정챔버의 작업대로 이송하게 된다.

도 1은 종래 포드에서 로드락 챔버로 카세트가 로딩되는 과정을 사시도로 나타내고 있다.

카세트의 로딩은 포드에 수납된 카세트(1)를 그립퍼(3)를 이용하여 파지한 후, 피봇(5)의 지지대(7)에 카세트(1)를 올려놓고, 지지대(7)에 안착된 카세트(1)를 검출하기 위한 검출센서(9)가 온(on) 됨으로써 완료된다.

로딩 후에 피봇(5)이 로드락 챔버의 내부로 90°회전하고, 도시 생략된 로봇암이 수평상태로 된 카세트 내부의 웨이퍼(W)를 공정챔버의 내부로 로딩하게 된다.

그러나 포드에서 로드락 챔버로 로딩이 이루어지는 과정에서 카세트가 피봇 위에 정확하게 안착되지 못하고 낙하하거나, 카세트가 피봇에 올려진 상태에서 외부에서 가해지는 충격이나 기계적인 용인으로 인해 피봇에서 종종 낙하하게 된다.

이렇게 카세트가 피봇에서 낙하하게 되면 피봇이 90°회전하는 과정에서 카세트에 세팅된 웨이퍼가 카세트에서 이탈하여 파손된다.

또한, 카세트가 정위치에 있지 않기 때문에 카세트 내부에 수납된 웨이퍼의 로딩 위치도 정확하지 않아 로봇암이 웨이퍼를 정확하게 흡착하지 못하고 웨이퍼에 손상을 입힐 수 있는 문제점이 있다.

본 발명은 이와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 피봇에 안착된 카세트가 피봇에서 낙하하더라도 그 충격을 최소화하여 카세트가 손상되는 것을 방지할 수 있도록 한 로드락 챔버에 설치된 카세트 낙하 방지구조를 제공하는 데 있다.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 카세트 낙하 방지구조는, 로드락 챔버의 측면에 지지판을 고정하고, 상기 지지판의 하측에 지지판에 대해 수직되는 방향으로 지지대가 고정되며, 상기 지지대의 하면에 안전판이 고정된다.

그리고 상기 안전판은 투명하게 제조되는 것이 바람직하다.

이때 카세트에 수납된 웨이퍼를 스캔하기 위해서, 안전판에 관통홀이 형성되고, 로드락 챔버의 내부에 램프가 설치되어 카세트의 내부를 향해 빛을 조사하며, 로드락 챔버에 수광부가 설치된 도어가 회전 가능하게 설치되는 것이 바람직하다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 일 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 로드락 챔버 내부의 낙하 방지구조를 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 낙하 방지구조의 동작을 설명하기 위해 도시한 측면도이다.

낙하 방지구조는 로드락 챔버(11)에 구성되는 것으로, 로드락 챔버(11)의 측면에 피봇(13)이 위치하게 되는 데, 피봇(13)은 로드락 챔버의 측면에 지지판(15)을 고정하고, 그 지지판(15)의 하측에 지지판(15)에 대해 수직되는 방향으로 지지 대(17)가 고정되며, 이 지지대(17)의 하면에 안전판(19)이 고정된다.

이러한 피봇(13)은 하측 가장자리를 기준으로 로드락 챔버(11)의 내부로 90°회전하여 인입됨으로써 지지대(17)에 안착된 카세트(21)는 수직 상태에서 수평 상태로 전환되며, 그 결과 카세트(21)에 수납된 웨이퍼(W)도 따라서 수직 상태에서 수평 상태로 전환된다.

상기한 안전판(19)은 투명재질로 제작됨으로써 피봇(13)이 90° 회전되어 안전판(19)도 따라 수직으로 놓이더라도 지지대(17)에 안착된 카세트(21)의 수평 자세를 확인할 수 있도록 한다.

그리고 지지대(17)의 상면에는 카세트(21)가 안착되었는지를 검출하는 검출센서(25)가 설치되어, 카세트(21)가 지지대(17)에 안착되면 검출신호를 후술하는 콘트롤러에 송출한다.

한편, 피봇(13)의 회전으로 수평이 된 웨이퍼(W)의 수량과 위치를 파악하기 위해서 안전판(19)의 중심에는 관통홀(23)이 형성되고, 안전판(19)을 기준으로 좌측, 즉 로드락 챔버(11)의 내부에는 램프(27)가 설치되며, 우측에는 로드락 챔버(11)에 수평으로 회전 가능하도록 도어(29)가 설치되고, 그 도어(29)에는 상기한 램프(27)에서 발생된 빛을 감지하는 수광부(31)가 설치된다.

따라서 램프(27)에서 빛이 발광하면, 발광된 빛이 카세트(21)를 통과하여 수광부(31)에 도달하게 된다.

이때 카세트(21)에 웨이퍼(W)가 수납되어 있으므로 램프(27)와 수광부(31)가 카세트(21)를 스캔하면 웨이퍼(W)가 있는 위치에서는 수광부(31)로 빛이 도달하지 못하게 되고, 이러한 빛의 차단 유무에 따라 웨이퍼(W)의 수량을 파악하게 되는 것이다.

콘트롤러(33)는 검출센서(25), 램프(27) 및 수광부(31)와 연결되고, 그밖에 로드락 챔버(11) 및 공정챔버(35)와도 연결되어 전반적인 공정의 진행을 제어하게 된다.

이상과 같이 구성되는 본 발명에 따른 낙하 방지구조는 다음과 같은 작용을 나타낸다.

먼저 로딩을 위해 그립퍼를 이용하여 포드에 수납된 카세트(21)를 파지한 후 들어올리고, 그립퍼를 이동하여 카세트(21)를 도 3에 도시한 바와 같이 도어(29)가 열린 상태에서 지지대(17) 위에 안착시킨다.

이 상태에서 외부로부터 카세트(21)에 충격이 가해지거나, 카세트(21)를 지지대(17) 위에 안착시키는 과정에서 자세가 흩트러지더라도 지지대(17)의 하부에 안전판(19)이 있기 때문에 카세트(21)가 넘어지거나 낙하되지 않게 된다.

카세트(21)가 지지대(17)에 제대로 안착되는 순간 검출센서(25)가 카세트의 안착을 감지하여 콘트롤러(33)에 검출신호가 입력된다.

그러면 피봇(13)이 90°회전하여 로드락 챔버(11)의 내부로 인입되고, 도어(29)가 닫히게 된다.

그리고 콘트롤러(33)의 제어신호에 따라 램프(27)와 수광부(31)가 동작하여 카세트(21) 내부의 웨이퍼(W) 수량을 파악하게 된다.

즉, 램프(29)와 수광부(31)가 동시에 스캔 동작하여 카세트(21) 내부의 웨이 퍼(W) 수량을 파악함과 동시에 웨이퍼(W)의 자세도 파악하게 되고, 그 신호는 콘트롤러(33)에 입력되어 후속 공정에 대비하게 된다.

그리고 나서, 도시 생략된 로봇암이 수평으로 위치한 웨이퍼(W)를 흡착하여 공정챔버(35)로 웨이퍼(W)를 로딩하게 된다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의하면, 피봇의 하부에 안전판을 설치함으로써 카세트 낙하로 인한 웨이퍼의 손상 및 파손을 방지할 수 있게 된다.

그리고 램프와 수광부를 이용한 스캔을 실시함으로써 웨이퍼의 수량 뿐만 아니라 자세도 파악하여 후속공정에 대비할 수 있게 되어 공정 실수를 최소화할 수 있게 된다.

Claims (3)

1. 로드락 챔버의 측면에 고정된 지지판;

   상기 지지판의 하측에 지지판에 대해 수직되는 방향으로 고정된 지지대;

   상기 지지대의 하면에 고정된 안전판;

   카세트에 수납된 웨이퍼를 스캔하기 위해서, 상기 안전판에 형성된 관통홀;

   상기 카세트의 내부를 향해 빛을 조사할 수 있도록, 상기 로드락 챔버의 내부에 설치된 램프;

   상기 로드락 챔버의 일단에 설치되고, 상기 램프에서 발생된 빛을 감지하는 수광부가 설치된 도어를 포함하는 로드락 챔버에 설치된 카세트 낙하 방지구조.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 안전판은 투명하게 제조되는 로드락 챔버에 설치된 카세트 낙하 방지구조.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 지지대의 상면에 상기 카세트가 안착되었는지 검출하는 검출센서를 포함하는 로드락 챔버에 설치된 카세트 낙하 방지구조.

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