JPWO2007116527A1 - Foupオープナのfoupドア位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、そのFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置は、FOUPオープナのポートドア外表面の複数個所に取り付けられた複数の位置決めピンが、FOUPドア外表面の複数個所に形成された複数のピン孔にそれぞれ係合することにより、FOUPドアとポートドアとの双方が設定された位置で合致して、FOUPドアがポートドアにより保持され、この状態で、同じくポートドア外表面の複数個所に取り付けられた複数の吸着パッドが、FOUPドアを吸着するようにされて成るFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置において、前記位置決めピンは、位置決め調整用取付け部材によって前記ポートドア外表面に取り付けられていて、前記ポートドア外表面内の360°全方位にわたって傾動自在にされていることを特徴とするFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置である。
これにより、FOUPオープナは、FOUPドアを所与の位置に位置決めして吸着・保持することができるので、ポートドアの位置決めピンをFOUPドアのピン孔位置に倣わせるための複雑な倣い機構を必要とせず、どのようなFOUP容器にも適用可能で、安価で、シンプルな位置決めピン調整機構を備えたFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置を提供することができる。
これにより、さらに、次のような効果を奏することができる。すなわち、位置決めピンと吸着パッドとの対をポートドア外表面上の同一個所に取り付けることが可能になり、しかも、位置決めピンの固定に吸着パッドを利用することができるので、ポートドアの構造が簡単になる。
これにより、FOUPオープナは、FOUPドアを所与の位置に位置決めして吸着・保持することができるので、ポートドアの位置決めピンをFOUPドアのピン孔位置に倣わせるための複雑な倣い機構を必要とせず、どのようなFOUP容器にも適用可能で、安価で、シンプルな位置決めピン調整機構を備えたFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置を提供することができる。
図1は、本実施例のFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置において使用される位置決めピンの断面図、図2は、同じく吸着パッドの断面図、図3は、同位置決めピン及び同吸着パッドがFOUPオープナのポートドアの外表面に取り付けられて、FOUPドアを位置決めする直前の状態を示す断面図、図4は、同じく位置決めしている状態を示す断面図、図5は、同位置決めされたFOUPドアがポートドアから離れた状態を示す断面図である。
なお、この基端部のテーパ13による円錐台形状は、単純に拡径されたフランジ形状等に置き換えることも可能であり、これらの形状を含むフランジ状部とされれば良いが、発明者の実験によると、円錐台形状は、位置決めピン10のFOUPドア50のピン孔51(後述)への倣い動作がより円滑に行なわれて、好ましい。先端部のテーパ12は、ピン孔51の開口部に、規格により、テーパが付されるので、必ずしも必要ではない。
図3に図示されるように、先ず、位置決めピン10の基端部(テーパ13が形成されている円錐台部)をポートドア30の凹部31に着座させて、そこに収容する。次いで、位置決めピン10のエア吸引孔14とポートドア30のエア吸引孔32とを合致させた状態で、位置決めピン10のストレート部11に吸着パッド20のピン挿入孔23を挿通させて、位置決めピン10に吸着パッド20を被せる。次いで、吸着パッド20のねじ孔24とポートドア30のねじ孔33とを揃え、これらにボルトタップねじ40を通して強くねじ込み、吸着パッド20をポートドア30に締結する。これにより、吸着パッド20は、ポートドア30の外表面との当接部が弾性変形して厚さを収縮させながら、ポートドア30の外表面に取り付けられるとともに、その当接部より内側の中央部(ピン挿入孔23の開口周辺部)は、ポートドア30の凹部31内に没入しながら、位置決めピン10の基端部を上方から押圧する。このようにして、位置決めピン10と吸着パッド20とは、ポートドア30の外表面に確固と取り付けられる。吸着パッド20は、位置決めピン10をポートドア30の外表面に取り付けるための取付け部材を兼ねており、しかも、その弾性により、位置決めピン10は、ポートドア30の外表面内の360°全方位にわたって所要量傾動自在となるので、吸着パッド20は、位置決め調整用取付け部材を兼ねているということができる。
図3は、FOUPドア50のピン孔51に位置決めピン10が挿入される直前の状態を示している。ピン孔51の入口には、SEMI規格により、テーパ52が形成されている。ここで、ピン孔51の位置と位置決めピン10の位置とが多少ずれていたとすると、FOUPドア50とポートドア30とが相対的に近づく時、ピン孔51のテーパ52と位置決めピン10の先端のテーパ12とは衝突して、FOUPドア50及びポートドア30の微小なガタの範囲内で互いに滑動し、ポートドア30は、位置決めピン10をピン孔51に誘導しようとする。
ポートドア30に取り付けられた位置決めピン10の位置とFOUPドア50に形成されたピン孔51の位置とがずれていたとしても、位置決めピン10の先端に形成されたテーパ12により位置決めピン10がピン孔51に誘導される時、位置決めピン10の基端部のテーパ13(円錐台形状部)が吸着パッド20のポートドア30の凹部31に没入した部分の片側を持ち上げて弾性変形させつつ、位置決めピン10が、そのずれた方向に所要量傾動するので、位置決めピン10は、その傾動姿勢のまま、ピン孔51に進入して、ポートドア30は、FOUPドア50を保持し、吸着パッド20は、ポートドア30のエア吸引孔32と位置決めピン10のエア吸引孔14とを介して供給される負圧により、FOUPドア50を吸着することができる。
これにより、FOUPオープナは、FOUPドア50を所与の位置に位置決めして吸着・保持することができるので、ポートドア30の位置決めピン10をFOUPドア50のピン孔51の位置に倣わせるための複雑な倣い機構を必要とせず、どのようなFOUP容器にも適用可能で、安価で、シンプルな位置決めピン調整機構を備えたFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置を提供することができる。
Claims (5)
- FOUPオープナのポートドア外表面の複数個所に取り付けられた複数の位置決めピンが、FOUPドア外表面の複数個所に形成された複数のピン孔にそれぞれ係合することにより、FOUPドアとポートドアとの双方が設定された位置で合致して、FOUPドアがポートドアにより保持され、この状態で、同じくポートドア外表面の複数個所に取り付けられた複数の吸着パッドが、FOUPドアを吸着するようにされて成るFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置において、
前記位置決めピンは、位置決め調整用取付け部材によって前記ポートドア外表面に取り付けられていて、前記ポートドア外表面内の360°全方位にわたって傾動自在にされている
ことを特徴とするFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置。 - 前記位置決め調整用取付け部材は、前記吸着パッドであり、
前記吸着パッドは、弾性材料から成り、基体部と、前記基体部の前面外周縁から前方にラッパ状に開いて突出する吸着用鍔部とを備え、前記基体部の中央部に前記位置決めピンのストレート部を挿入することができるピン挿入孔が貫通形成され、
前記位置決めピンは、その基端部にフランジ状部が形成され、また、その軸芯部に軸方向に伸びるエア吸引孔が貫通形成され、
前記ポートドアは、その外表面の前記位置決めピン取付け個所に凹部が形成され、前記凹部の中心部にエア吸引孔が貫通形成され、
前記位置決めピンの前記フランジ状部を前記ポートドアの前記凹部に着座させて、前記位置決めピンの前記エア吸引孔と前記ポートドアの前記エア吸引孔とを合致させた状態で、前記位置決めピンの前記ストレート部に前記吸着パッドの前記ピン挿入孔を挿通させて、前記吸着パッドを前記ポートドアに固定することにより、前記吸着パッドを前記ポートドア外表面に取り付けるとともに、前記吸着パッドの前記凹部に没入した部分が前記位置決めピンの前記フランジ状部を押圧するようにされている
ことを特徴とする請求項1に記載のFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置。 - 前記フランジ状部は、前記位置決めピンの基端部に、基端に向かって拡径するテーパが形成されることにより生成される円錐台形状部であることを特徴とする請求項1又は2に記載のFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置。
- 前記位置決めピンは、その先端部に先端に向かって先細となるテーパが形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置。
- 前記吸着パッドの前記基体部には、補強用の金属プレートが埋め込まれていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のFOUPオープナのFOUPドア位置決め装置。
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