WO2007116527A1

WO2007116527A1 - Ｆｏｕｐオープナのｆｏｕｐドア位置決め装置

Info

Publication number: WO2007116527A1
Application number: PCT/JP2006/307638
Authority: WO
Inventors: Sinji Yokoyama; Youichi Matsushita
Original assignee: Hirata Corporation
Priority date: 2006-04-11
Filing date: 2006-04-11
Publication date: 2007-10-18
Also published as: US20090067955A1; KR100981804B1; JPWO2007116527A1; US8057151B2; KR20080114679A; JP4756071B2

Abstract

【課題】　どのようなＦＯＵＰ容器にも適用可能で、安価で、シンプルな位置決めピン調整機構を備えたＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア位置決め装置を提供する。【解決手段】　位置決めピン１０の基端部のフランジ状部（テーパ１３が形成されている部分）をポートドア３０の凹部３１に着座させて、位置決めピン１０のエア吸引孔１４とポートドア３０のエア吸引孔３３とを合致させた状態で、位置決めピン１０のストレート部１１に吸着パッド２０のピン挿入孔２３を挿通させて、吸着パッド２０をポートドア３０にねじ締結する。これにより、吸着パッド２０をポートドア３０の外表面に取り付けるとともに、吸着パッド２０の凹部３１に没入した部分が位置決めピン１０の基端部のフランジ状部を押圧するようにする。吸着パッド２０の基体部２１には、補強用の金属プレート２５が埋め込まれている。

Description

明細書

FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置

技術分野

[0001] 本願の発明は、 FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置に関し、特に汎用性が高ぐ構造が簡単で、安価な FOUPドア位置決め調整機構を備えた、 FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置に関する。

背景技術

[0002] FOUPオーブナは、 FOUP内ワーク (半導体基板やガラス基板等)の転送のために、外部汚染空間の雰囲気にワークをさらすことなく FOUPドアを開放して、 FOUP内第 1制御空間と処理装置内第 2制御空間とを連通させる役割を担う。そのために、 F OUPオーブナに属するポートドアには、 SEMI規格により、 FOUPドアとの合致位置を正確に行わせる目的で、位置決めピン (アラインメントピンともいう)を設けることになつている。この位置決めピンは、ポートドア外表面力も突出して取り付けられており、 F OUP (Front Opening Unified Pod)が FOUPオーブナの載置台に載せられ、載置台が前進した場合に、 FOUPドアに設けられたピン孔に揷入される。このようにして、ポートドアの位置決めピンが FOUPドアのピン孔に揷入されることにより、 FOUPドアとポートドアとの双方が、設定された位置で合致することになる。

[0003] しかし、 FOUPは、使用を重ねるうちに、その容器に変形を生じてしまったり、また、メーカーにより、ピン孔の位置に製作誤差がある場合もあり、ピン孔の位置が僅かに異なる場合がある。従来の位置決めピンは、ポートドアに対して垂直に、固定的に取り付けられて、たため、ポートドアの位置決めピン位置と FOUPドアのピン孔位置とがずれると、両者が衝突してしまい、ドア同志が上手く合致せず、容器の開閉を行えな、と、う不都合が生じて、た。

[0004] 前記のような不都合を回避する目的で、特開 2002— 68362号公報に記載された発明が創案されている。この発明は、位置決めピンとピン孔とに位置ずれが生じた場合、ピン先端に設けられたテーパにより、位置決めピンをピン孔に誘導し、フローティング構造のポートドア全体を FOUPドアの位置に倣わせるようにして、位置補正を行うようにしている。このように、ポートドアをフローティング構造にするためには、当然、ラッチキーや FOUPドアを吸着するための吸引配管等、全てをフローティング構造にする必要があり、非常に複雑な構造となる。また、そのための部品も多く必要となり、メンテナンス性が悪くなり、高価な製作費用を必要とする。また、この発明では、その位置決めピンは、ラジアル方向に力が力かりつつ、進退するので、部品同志が擦れて、塵が発生するといつた問題点もある。

特許文献 1 :特開 2002— 68362号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] 本願の発明は、従来の FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置が有する前記のような問題点を解決して、どのような FOUP容器にも適用可能で、安価で、シンプルな位置決めピン調整機構を備えた FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置を提供することを課題とする。

[0006] 具体的には、 FOUPオーブナのポートドアが備える位置決めピン自体が 360度方向に傾斜できるような取付け方をすることにより、位置決めピン力 SFOUPドア位置に対して倣、動作を行、、位置決めピンの中心軸から 360度方向に対して 2mmの誤差を吸収可能な FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置を提供することを課題とするものである。

課題を解決するための手段

[0007] 本願の発明によれば、このような課題は、次のような FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置により解決される。

すなわち、その FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置は、 FOUPオーブナのポートドア外表面の複数個所に取り付けられた複数の位置決めピン力 FOUPドア外表面の複数個所に形成された複数のピン孔にそれぞれ係合することにより、 FOU Pドアとポートドアとの双方が設定された位置で合致して、 FOUPドアがポートドアにより保持され、この状態で、同じくポートドア外表面の複数個所に取り付けられた複数の吸着パッド力 FOUPドアを吸着するようにされて成る FOUPオーブナの FOUPドァ位置決め装置において、前記位置決めピンは、位置決め調整用取付け部材によつて前記ポートドア外表面に取り付けられていて、前記ポートドア外表面内の 360° 全方位にわたって傾動自在にされて、ることを特徴とする FOUPオーブナの FOUP ドア位置決め装置である。

[0008] この FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置によれば、ポートドア外表面に取り付けられた位置決めピン位置と FOUPドア外表面に形成されたピン孔位置とがずれていたとしても、位置決めピンは、そのずれた方向に所要量傾動することができるので、位置決めピンは、その傾動姿勢のまま、ピン孔に進入して、ポートドアは、 FOUP ドアを保持し、吸着パッドは、 FOUPドアを吸着することができる。

これにより、 FOUPオーブナは、 FOUPドアを所与の位置に位置決めして吸着'保持することができるので、ポートドアの位置決めピンを FOUPドアのピン孔位置に倣わせるための複雑な倣い機構を必要とせず、どのような FOUP容器にも適用可能で、安価で、シンプルな位置決めピン調整機構を備えた FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置を提供することができる。

[0009] 好ましい実施形態によれば、その FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置は、その位置決め調整用取付け部材が、吸着パッドであり、該吸着パッドは、弾性材料から成り、基体部と、該基体部の前面外周縁から前方にラッパ状に開いて突出する吸着用鍔部とを備え、該基体部の中央部に位置決めピンのストレート部を挿入することができるピン挿入孔が貫通形成され、その位置決めピンは、その基端部にフランジ状部が形成され、また、その軸芯部に軸方向に伸びるエア吸引孔が貫通形成され、そのポートドアは、その外表面の位置決めピン取付け個所に凹部が形成され、該凹部の中心部にエア吸引孔が貫通形成され、位置決めピンのフランジ状部をポートドアの凹部に着座させて、位置決めピンのエア吸引孔とポートドアのエア吸引孔とを合致させた状態で、位置決めピンのストレート部に吸着パッドのピン挿入孔を揷通させて、吸着パッドをポートドアに固定することにより、吸着パッドをポートドア外表面に取り付けるとともに、吸着パッドの凹部に没入した部分が位置決めピンのフランジ状部を押圧するようにされている。

[0010] この構成により、ポートドア外表面に取り付けられた位置決めピン位置と FOUPドア外表面に形成されたピン孔位置とがずれて！/、たとしても、位置決めピンがピン孔に誘導される時、位置決めピンの基端部のフランジ状部が吸着パッドのポートドアの凹部に没入した部分の片側を持ち上げて弾性変形させつつ、位置決めピンが、そのずれた方向に所要量傾動するので、位置決めピンは、その傾動姿勢のまま、ピン孔に進入して、ポートドアは、 FOUPドアを保持し、吸着パッドは、ポートドアのエア吸引孔と位置決めピンのエア吸引孔とを介して供給される負圧により、 FOUPドアを吸着することができる。

これにより、さらに、次のような効果を奏することができる。すなわち、位置決めピンと吸着パッドとの対をポートドア外表面上の同一個所に取り付けることが可能になり、し力も、位置決めピンの固定に吸着パッドを利用することができるので、ポートドアの構造が簡単になる。

[0011] 別の好ましい実施形態によれば、そのフランジ状部は、位置決めピンの基端部に、基端に向力つて拡径するテーパが形成されることにより生成される円錐台形状部であるものとされている。この構成により、位置決めピンの FOUPドアのピン孔への倣い動作がより円滑に行なわれて、 FOUPオーブナの FOUPドア位置決めがより容易になる。

[0012] さらに別の好ましい実施形態によれば、その位置決めピンは、その先端部に先端に向かって先細となるテーパが形成されている。この構成により、位置決めピンの FOU Pドアのピン孔への倣い動作がより円滑に行なわれて、 FOUPオーブナの FOUPドァ位置決めがより容易になる。

[0013] さらに別の好ましい実施形態によれば、その吸着パッドの基体部には、補強用の金属プレートが埋め込まれている。この構成により、吸着パッドの機械的強度を確保しつつ、位置決めピンの傾動を可能にする弾性を維持することができる。

発明の効果

[0014] 前記のとおり、本願の発明の FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置によれば、ポートドア外表面に取り付けられた位置決めピン位置と FOUPドア外表面に形成されたピン孔位置とがずれていたとしても、位置決めピンは、そのずれた方向に所要量傾動することができるので、位置決めピンは、その傾動姿勢のまま、ピン孔に進入して、ポートドアは、 FOUPドアを保持し、吸着パッドは、 FOUPドアを吸着することができる。

[0015] また、位置決め調整用取付け部材が吸着パッドであるものとされる場合には、位置決めピンと吸着パッドとの対をポートドアの外表面上の同一個所に取り付けることができ、しかも、位置決めピンの固定に吸着パッドを利用することができるので、ポートドアの構造が簡単になる。

[0016] また、位置決めピンのフランジ状部が、位置決めピンの基端部に、基端に向力つて拡径するテーパが形成されることにより生成される円錐台形状部であるものとされる力位置決めピンの先端部に、先端に向力つて先細となるテーパが形成される場合には、位置決めピンの FOUPドアのピン孔への倣い動作がより円滑に行なわれて、 F OUPオーブナの FOUPドア位置決めがより容易になる。

[0017] さらに、吸着パッドの基体部に補強用の金属プレートが埋め込まれている場合には、吸着パッドの機械的強度を確保しつつ、位置決めピンの傾動を可能にする弾性を維持することができる。

図面の簡単な説明

[0018] [図 1]本願の発明の一実施例の FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置において使用される位置決めピンの断面図である。

[図 2]同じく吸着パッドの断面図である。

[図 3]同位置決めピン及び同吸着パッド力FOUPオーブナのポートドアの外表面に取り付けられて、 FOUPドアを位置決めする直前の状態を示す断面図である。

[図 4]同じく位置決めしている状態を示す断面図である。

[図 5]同位置決めされた FOUPドアがポートドア力も離れた状態を示す断面図である符号の説明 [0019] 10…位置決めピン、 11· ··ストレート部、 12· ··テーパ、 13· ··テーパ（円錐台形状部、フランジ状部）、 14…エア吸引孔、 20· ··吸着パッド (位置決め調整用取付け部材）、 21· ··基体部、 22· ··吸着用鍔部、 23· ··ピン挿入孔、 24…ねじ孔 (ボルト用タップ孔）、 25· ··環状金属プレート、 30…ポートドア、 31· ··凹部、 32· ··エア吸引孔、 33· ··ねじ孔 (ボル卜用タップ孔)、 40· ··ボル卜タップねじ、 50- FOUPドア、 51· ··ピン孔、 52· ·· y ~~ノヽ _n

発明を実施するための最良の形態

[0020] FOUPオーブナのポートドア外表面の複数個所に取り付けられた複数の位置決めピンが、 FOUPドア外表面の複数個所に形成された複数のピン孔にそれぞれ係合することにより、 FOUPドアとポートドアとの双方が設定された位置で合致して、 FOU Pドアがポートドアにより保持され、この状態で、同じくポートドア外表面の複数個所に取り付けられた複数の吸着パッド力 FOUPドアを吸着するようにされて成る FOUP オーブナの FOUPドア位置決め装置において、位置決めピンは、位置決め調整用取付け部材によってポートドア外表面に取り付けるものとし、これにより、ポートドア外表面内の 360° 全方位にわたって傾動自在になるようにされるものとする。

[0021] 具体的には、位置決め調整用取付け部材は、吸着パッドであるものとし、該吸着パッドは、弾性材料から成り、基体部と、該基体部の前面外周縁から前方にラッパ状に開いて突出する吸着用鍔部とを備えるものとし、基体部の中央部に位置決めピンのストレート部を挿入することができるピン挿入孔を貫通形成する。また、位置決めピンには、その先端部に先端に向力つて先細となるテーパを形成し、その基端部に基端に向力つて拡径するテーパを形成してフランジ状部を形成し、その軸芯部に軸方向に伸びるエア吸引孔を貫通形成する。

[0022] そして、位置決めピンのフランジ状部をポートドアの凹部に着座させて、位置決めピンのエア吸引孔とポートドアのエア吸引孔とを合致させた状態で、位置決めピンのストレート部に吸着パッドのピン挿入孔を揷通させて、吸着パッドをポートドアにねじ締結等の手段により固定することにより、吸着パッドをポートドア外表面に取り付けるとともに、吸着パッドの前記凹部に没入した部分が位置決めピンのフランジ状部を押圧するようにする。吸着パッドの基体部には、補強用の金属プレートを埋め込む。実施例

[0023] 次に、本願の発明の一実施例について説明する。

図 1は、本実施例の FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置において使用される位置決めピンの断面図、図 2は、同じく吸着パッドの断面図、図 3は、同位置決めピン及び同吸着パッドが FOUPオーブナのポートドアの外表面に取り付けられて、 FO UPドアを位置決めする直前の状態を示す断面図、図 4は、同じく位置決めしている状態を示す断面図、図 5は、同位置決めされた FOUPドアがポートドア力離れた状態を示す断面図である。

[0024] 本実施例の FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置にお!、て使用される位置決めピン 10は、図 1に図示されるように、その先端部に、先端に向力つて先細となるテーパ 12が形成され、その基端部に、基端に向カゝつて拡径するテーパ 13が形成され、これら先端部と基端部とに挟まれたストレート部 11は、同一径の棒状体とされている。そして、その軸芯部に、軸方向に伸びるエア吸引孔 14が貫通形成されている。テーパ 13が形成された基端部は、円錐台形状をなしている。

なお、この基端部のテーパ 13による円錐台形状は、単純に拡径されたフランジ形状等に置き換えることも可能であり、これらの形状を含むフランジ状部とされれば良いが、発明者の実験によると、円錐台形状は、位置決めピン 10の FOUPドア 50のピン孔 51(後述)への倣い動作がより円滑に行なわれて、好ましい。先端部のテーパ 12は、ピン孔 51の開口部に、規格により、テーパが付されるので、必ずしも必要ではない。

[0025] また、本実施例の FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置のために使用される吸着パッド (位置決め調整用取付け部材) 20は、シリコン等の弾性材料力も製作され、図 2に図示されるように、比較的厚い円板状の基体部 21と、該基体部 21の前面外周縁から前方にラッパ状に開いて突出する吸着用鍔部 22とを備えている。基体部 2 1の中央部には、位置決めピン 10のストレート部 11を挿入することができるピン挿入孔 23が貫通形成され、該ピン挿入孔 23を挟んだ少なくとも 2個所の位置には、ねじ孔 (ボルト用タップ孔) 24が貫通形成されている。基体部 21の内部には、該基体部 21 の芯部に機械的強度を付与するために、補強用の環状金属プレート 25が埋め込まれている。 [0026] さらに、本実施例の FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置のために使用されるポートドア 30は、図 3に図示されるように、その外表面（後述する FOUPドア 50に向いた側の面）の位置決めピン 10の取付け個所に、凹部 31が形成され、該凹部 31の中心部に、エア吸引孔 32が貫通形成され、該凹部 31を挟んだ少なくとも 2個所の位置に、ねじ孔 (ボルト用タップ孔) 33が形成されている。凹部 31は、略、位置決めピン 10の基端部を着座させて収容することができる大きさに形成される。

[0027] 位置決めピン 10と吸着パッド 20とは、次のようにして、ポートドア 30の外表面に取り付けられている。

図 3に図示されるように、先ず、位置決めピン 10の基端部 (テーパ 13が形成されている円錐台部)をポートドア 30の凹部 31に着座させて、そこに収容する。次いで、位置決めピン 10のエア吸引孔 14とポートドア 30のエア吸引孔 32とを合致させた状態で、位置決めピン 10のストレート部 11に吸着パッド 20のピン揷入孔 23を揷通させて、位置決めピン 10に吸着パッド 20を被せる。次いで、吸着パッド 20のねじ孔 24とポートドァ 30のねじ孔 33とを揃え、これらにボルトタップねじ 40を通して強くねじ込み、吸着パッド 20をポートドア 30に締結する。これにより、吸着パッド 20は、ポートドア 30の外表面との当接部が弾性変形して厚さを収縮させながら、ポートドア 30の外表面に取り付けられるとともに、その当接部より内側の中央部（ピン挿入孔 23の開口周辺部）は、ポートドア 30の凹部 31内に没入しながら、位置決めピン 10の基端部を上方力も押圧する。このようにして、位置決めピン 10と吸着パッド 20とは、ポートドア 30の外表面に確固と取り付けられる。吸着パッド 20は、位置決めピン 10をポートドア 30の外表面に取り付けるための取付け部材を兼ねており、しかも、その弾性により、位置決めピン 10は、ポートドア 30の外表面内の 360° 全方位にわたって所要量傾動自在となるので、吸着パッド 20は、位置決め調整用取付け部材を兼ねているということができる。

[0028] 次に、位置決めピン 10の FOUPドア 50に対する位置決め動作について、図 3〜図 5を参照しつつ、説明する。

図 3は、 FOUPドア 50のピン孔 51に位置決めピン 10が挿入される直前の状態を示している。ピン孔 51の入口には、 SEMI規格により、テーパ 52が形成されている。ここで、ピン孔 51の位置と位置決めピン 10の位置とが多少ずれていたとすると、 FOU Pドア 50とポートドア 30とが相対的に近づく時、ピン孔 51のテーパ 52と位置決めピン 10の先端のテーパ 12とは衝突して、 FOUPドア 50及びポートドア 30の微小なガタの範囲内で互いに滑動し、ポートドア 30は、位置決めピン 10をピン孔 51に誘導しようとする。

[0029] し力し、ポートドア 30は、倣!、機構を備えてヽな、ので、 FOUPドア 50とポートドア 30とが相対的にさらに近づくと、位置決めピン 10が FOUPドア 50のピン孔 51方向に傾動しながら、テーパ 12とテーパ 52との滑動が進む。そして、ついには、図 4に図示されるように、テーパ 12とテーパ 52との滑動が終了し、テーパ 12がテーパ 52から離れて、位置決めピン 10の先端部は、ピン孔 51の内部に深く進入する。同時に、 FO UPドア 50の前面（ポートドア 30に向いた側の面）と吸着パッド 20の吸着用鍔部 22の外周端縁とが当接する。この状態になると、ポートドア 30が FOUPドア 50を保持することが可能になる。そこで、ポートドア 30のエア吸引孔 32と位置決めピン 10のエア吸引孔 14とを介して、負圧が FOUPドア 50の前面と吸着パッド 20とで囲まれた空間内に導かれて、 FOUPドア 50は、吸着パッド 20により吸着される。このようにして、 FO UPドア 50は、ポートドア 30により吸着 *保持される。

[0030] この場合において、 FOUPドア 50とポートドア 30とが相対的にさらに近づく時、位置決めピン 10力FOUPドア 50のピン孔 51方向に傾動するのは、位置決めピン 10の基端部 (テーパ 13が形成されている円錐台形状部)が、弾性材料力も成る吸着パッド 20の基体部 21の凹部 31内に没入した部分を片側力も押し上げて、この部分及びピン挿入孔 23近傍を弾性変形させることにより可能になる（図 4参照)。位置決めピン 1 0は、この傾動により、その基端部の端面が凹部 31の底面力も少し浮上する。

[0031] 本実施例において、 FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置が備える FOUPドァ位置決め調整機構は、位置決めピン 10、吸着パッド 20及びポートドア 30が前記のようにして組み立てられ、その位置決めピン 10が前記のような FOUPドア 50に対する位置決め動作を行う組立体力成るものである。

[0032] FOUPドア 50を吸着 '保持したポートドア 30は、図示されない水平 ·垂直移動機構により、処理装置内第 2制御空間内の所定領域に移動させられる。これにより、 FOU Pドア 50は、 FOUP (不図示）内ワークの FOUP内第 1制御空間と処理装置内第 2制御空間との間での転送を可能にする位置にまで退避する。この間、転送されるワークは、外部汚染空間の雰囲気に曝されることがない。

[0033] 処理装置での所定の処理を終えたワークは、 FOUP内に戻される。そして、 FOUP は、その開口部が FOUPドア 50により再び閉塞される。図 5は、 FOUPの開口部を F OUPドア 50により再び閉塞するために、ポートドア 30が FOUPドア 50の吸着 '保持を解いた状態を示している。この状態において、位置決めピン 10は、 FOUPドア 50 のピン孔 51から離れている。

[0034] 前記のとおり、吸着パッド 20は、ポートドア 30に締結される際、強固にねじ留めされるため、そのポートドア 30の外表面との当接部より内側の中央部（ピン挿入孔 23の開口周辺部）は、ポートドア 30の凹部 31内に沈み込むように進入してしまって、る（図 3 参照)。凹部 31内に進入した吸着パッド 20のこの中央部は、位置決めピン 10の根元 (基端部)を押えているため、位置決めピン 10が、図 5に図示されるように、 FOUPドァ 50のピン孔 51から離れると、弾性復元して、位置決めピン 10の根元を再び元の状態に戻す。したがって、位置決めピン 10は、ポートドア 30が FOUPドア 50を保持していない状態では、常にセンタリングされることになる。

[0035] 本実施例の FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。

ポートドア 30に取り付けられた位置決めピン 10の位置と FOUPドア 50に形成されたピン孔 51の位置とがずれていたとしても、位置決めピン 10の先端に形成されたテーノ 12により位置決めピン 10がピン孔 51に誘導される時、位置決めピン 10の基端部のテーパ 13 (円錐台形状部）が吸着パッド 20のポートドア 30の凹部 31に没入した部分の片側を持ち上げて弾性変形させつつ、位置決めピン 10が、そのずれた方向に所要量傾動するので、位置決めピン 10は、その傾動姿勢のまま、ピン孔 51に進入して、ポートドア 30は、 FOUPドア 50を保持し、吸着パッド 20は、ポートドア 30のエア吸引孔 32と位置決めピン 10のエア吸引孔 14とを介して供給される負圧により、 FO UPドア 50を吸着することができる。

これにより、 FOUPオーブナは、 FOUPドア 50を所与の位置に位置決めして吸着' 保持することができるので、ポートドア 30の位置決めピン 10を FOUPドア 50のピン孔 51の位置に倣わせるための複雑な倣い機構を必要とせず、どのような FOUP容器にも適用可能で、安価で、シンプルな位置決めピン調整機構を備えた FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置を提供することができる。

[0036] 特に、位置決めピン 10のフランジ状部力位置決めピン 10の基端部に、基端に向力つて拡径するテーパ 13が形成されることにより生成される円錐台形状部であるものとされており、また、位置決めピン 10の先端部に、先端に向力つて先細となるテーパ 12が形成されているので、位置決めピン 10のピン孔 51への倣い動作がより円滑に行なわれて、 FOUPオーブナの FOUPドア位置決めがより容易になる。

[0037] また、位置決めピン 10と吸着パッド 20との対をポートドア 30の外表面上の同一個所に取り付けることができ、しかも、位置決めピン 10の固定に吸着パッド 20を利用することができるので、ポートドア 30の構造が簡単になる。

[0038] また、吸着パッド 20の基体部に補強用の金属プレート 25が埋め込まれているので、吸着パッド 20の機械的強度を確保しつつ、位置決めピン 10の傾動を可能にする弾性を維持することができる。

[0039] なお、本願の発明は、以上の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。

Claims

請求の範囲

[1] FOUPオーブナのポートドア外表面の複数個所に取り付けられた複数の位置決めピンが、 FOUPドア外表面の複数個所に形成された複数のピン孔にそれぞれ係合することにより、 FOUPドアとポートドアとの双方が設定された位置で合致して、 FOU Pドアがポートドアにより保持され、この状態で、同じくポートドア外表面の複数個所に取り付けられた複数の吸着パッド力 FOUPドアを吸着するようにされて成る FOUP オーブナの FOUPドア位置決め装置において、

前記位置決めピンは、位置決め調整用取付け部材によって前記ポートドア外表面に取り付けられていて、前記ポートドア外表面内の 360° 全方位にわたって傾動自在にされている

ことを特徴とする FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置。

[2] 前記位置決め調整用取付け部材は、前記吸着パッドであり、

前記吸着パッドは、弾性材料から成り、基体部と、前記基体部の前面外周縁から前方にラッパ状に開いて突出する吸着用鍔部とを備え、前記基体部の中央部に前記位置決めピンのストレート部を挿入することができるピン挿入孔が貫通形成され、前記位置決めピンは、その基端部にフランジ状部が形成され、また、その軸芯部に軸方向に伸びるエア吸引孔が貫通形成され、

前記ポートドアは、その外表面の前記位置決めピン取付け個所に凹部が形成され、前記凹部の中心部にエア吸引孔が貫通形成され、

前記位置決めピンの前記フランジ状部を前記ポートドアの前記凹部に着座させて、前記位置決めピンの前記エア吸引孔と前記ポートドアの前記エア吸引孔とを合致させた状態で、前記位置決めピンの前記ストレート部に前記吸着パッドの前記ピン挿入孔を揷通させて、前記吸着パッドを前記ポートドアに固定することにより、前記吸着パッドを前記ポートドア外表面に取り付けるとともに、前記吸着パッドの前記凹部に没入した部分が前記位置決めピンの前記フランジ状部を押圧するようにされて!、ることを特徴とする請求項 1に記載の FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置。

[3] 前記フランジ状部は、前記位置決めピンの基端部に、基端に向力つて拡径するテーパが形成されることにより生成される円錐台形状部であることを特徴とする請求項 1 又は 2に記載の FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置。

[4] 前記位置決めピンは、その先端部に先端に向力つて先細となるテーパが形成されて、ることを特徴とする請求項 1な、し 3の!、ずれかに記載の FOUPオーブナの FO UPドア位置決め装置。

[5] 前記吸着パッドの前記基体部には、補強用の金属プレートが埋め込まれていることを特徴とする請求項 1な!、し 4の!、ずれかに記載の FOUPオーブナの FOUPドア位置決め装置。