KR20080114679A

KR20080114679A - Ｆｏｕｐ오프너의 ｆｏｕｐ도어 위치결정장치

Info

Publication number: KR20080114679A
Application number: KR1020087016739A
Authority: KR
Inventors: 신지 요코야마; 요우이치 마츠시타
Original assignee: 히라따기꼬오 가부시키가이샤
Priority date: 2006-04-11
Filing date: 2006-04-11
Publication date: 2008-12-31
Also published as: JP4756071B2; KR100981804B1; US20090067955A1; WO2007116527A1; JPWO2007116527A1; US8057151B2

Abstract

[과제]

어떤 ＦＯＵＰ용기에도 적용 가능하며, 저렴하고, 심플한 위치결정핀 조정기구를 구비한 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치를 제공한다.

[해결수단]

위치결정핀(10)의 기단부의 플랜지형상부(테이퍼(13)가 형성되어 있는 부분)를 포드도어(30)의 오목부(31)에 밀착시켜, 위치결정핀(10)의 공기흡인구멍(14)과 포드도어(30)의 공기흡인구멍(33)을 합치시킨 상태에서, 위치결정핀(10)의 직선부(11)에 흡착패드(20)의 핀 삽입구멍(23)을 삽입관통시켜, 흡착패드(20)를 포드도어(30)에 나사체결한다. 이에 의해, 흡착패드(20)를 포드도어(30)의 외표면에 설치함과 아울러, 흡착패드(20)의 오목부(31)에 몰입된 부분이 위치결정핀(10)의 기단부의 플랜지형상부를 누르도록 한다. 흡착패드(20)의 기체부(21)에는, 보강용 금속판(25)이 매립되어 있다.

Description

ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치{FOUP DOOR POSITIONING DEVICE FOR FOUP OPENER}

본원 발명은, ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치에 관한 것으로서, 특히 범용성이 높고, 구조가 간단하며, 저렴한 ＦＯＵＰ도어 위치결정 조정기구를 구비한, ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치에 관한 것이다.

ＦＯＵＰ오프너는, ＦＯＵＰ내(內) 워크(반도체 기판이나 유리 기판 등)의 전송(轉送)을 위해, 외부오염공간의 분위기에 워크를 노출함이 없이 ＦＯＵＰ도어를 개방하여, ＦＯＵＰ 내(內) 제 1 제어공간과 처리장치 내(內) 제 2 제어공간을 연통시키는 역할을 담당한다. 그 때문에, ＦＯＵＰ오프너에 속하는 포드도어에는, SEMI 규격에 따라, ＦＯＵＰ도어와의 합치(合致)위치를 정확히 할 목적에서, 위치결정핀(얼라인먼트핀이라고도 한다)을 설치하게 되어 있다. 이 위치결정핀은, 포드도어 외표면으로부터 돌출해서 설치되어 있고, ＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)가 ＦＯＵＰ오프너의 재치대(載置臺)에 실려, 재치대가 전진했을 경우에, ＦＯＵＰ도어에 설치된 핀 구멍에 삽입된다. 이와 같이 하여, 포드도어의 위치결정핀이 ＦＯＵＰ도어의 핀 구멍에 삽입됨으로써, ＦＯＵＰ도어와 포드도어와의 쌍방이, 설정된 위치에서 합치하게 된다.

그러나 ＦＯＵＰ는, 사용을 거듭하는 동안, 그 용기에 변형을 일으켜 버리거나, 또한, 제조사에 따라, 핀 구멍의 위치에 제작 오차가 있는 경우도 있어, 핀 구멍의 위치가 조금 다른 경우가 있다. 종래의 위치결정핀은, 포드도어에 대해 수직으로, 고정적으로 설치되어 있었기 때문에, 포드도어의 위치결정핀 위치와 ＦＯＵＰ도어의 핀 구멍 위치가 어긋나면, 양자가 충돌해 버려, 도어끼리 잘 합치되지 않아, 용기의 개폐(開閉)를 행할 수 없다는 불편이 생기고 있었다.

상기와 같은 불편을 회피할 목적에서, 일본 특허공개 2002－68362호 공보에 기재된 발명이 창안되어 있다. 이 발명은, 위치결정핀과 핀 구멍에 위치 어긋남이 생겼을 경우, 핀 선단(先端)에 설치된 테이퍼에 의해, 위치결정핀을 핀 구멍으로 유도해서, 플로팅구조의 포드도어 전체를 ＦＯＵＰ도어의 위치에 트래킹하도록 하여, 위치보정을 행하도록 하고 있다. 이처럼, 포드도어를 플로팅구조로 하기 위해서는, 당연히 래치 키나 ＦＯＵＰ도어를 흡착하기 위한 흡인배관(吸引配管) 등, 전부를 플로팅구조로 할 필요가 있어, 매우 복잡한 구조가 된다. 또한, 그 때문에 부품도 많이 필요하게 되며, 유지보수성이 나빠지게 되고, 비싼 제작비용을 필요로 한다. 또한, 이 발명에서는, 그 위치결정핀은, 래디얼방향으로 힘이 걸리면서 진퇴하므로, 부품끼리 비벼져, 티끌이 발생한다는 문제점도 있다.

특허문헌 1：일본 특허공개 2002－68362호 공보

발명이 해결하고자 하는 과제

본원 발명은, 종래의 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치가 가지는 상기와 같은 문제점을 해결하여, 어떤 ＦＯＵＰ용기에도 적용 가능하고, 저렴하며, 심플한 위치결정핀 조정기구를 구비한 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

구체적으로는, ＦＯＵＰ오프너의 포드도어가 구비하는 위치결정핀 자체가 360°방향으로 경사질 수 있는 설치모양을 함으로써, 위치결정핀이 ＦＯＵＰ도어 위치에 대해 트래킹동작을 행하여, 위치결정핀의 중심축으로부터 360°방향에 대해 2㎜의 오차를 흡수 가능한 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치를 제공하는 것을 과제로 하는 것이다.

과제를 해결하기 위한 수단

본원 발명에 의하면, 이러한 과제는, 다음과 같은 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치에 의해 해결된다.

즉, 그 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치는, ＦＯＵＰ오프너의 포드도어 외표면(外表面)의 복수지점(個所)에 설치된 복수의 위치결정핀이, ＦＯＵＰ도어 외표면의 복수지점에 형성된 복수의 핀 구멍에 각각 결합함으로써, ＦＯＵＰ도어와 포드도어 쌍방이 설정된 위치에서 합치하여, ＦＯＵＰ도어가 포드도어에 의해 지지되고, 이 상태에서, 마찬가지로 포드도어 외표면의 복수지점에 설치된 복수의 흡착패드가, ＦＯＵＰ도어를 흡착하도록 되어 이루어지는 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치에 있어서, 상기 위치결정핀은, 위치결정 조정용 설치부재에 의해서 상기 포드도어 외표면에 설치되어 있어, 상기 포드도어 외표면 내(內)의 360°전방위에 걸쳐 기울기동작(傾動)이 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치이다.

이 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치에 의하면, 포드도어 외표면에 설치된 위치결정핀 위치와 ＦＯＵＰ도어 외표면에 형성된 핀 구멍 위치가 어긋나 있다고 해도, 위치결정핀은, 그 어긋난 방향으로 소요량(所要量) 기울기동작을 할 수 있으므로, 위치결정핀은, 그 기울기동작 자세 그대로, 핀 구멍에 진입하여, 포드도어는, ＦＯＵＰ도어를 지지하고, 흡착패드는, ＦＯＵＰ도어를 흡착할 수 있다.

이에 의해, ＦＯＵＰ오프너는, ＦＯＵＰ도어를 소정 위치에 위치결정하여 흡착·지지할 수 있으므로, 포드도어의 위치결정핀을 ＦＯＵＰ도어의 핀 구멍 위치에 트래킹하기 위한 복잡한 트래킹기구를 필요로 하지 않으며, 어떤 ＦＯＵＰ용기에도 적용 가능하고, 저렴하며, 심플한 위치결정핀 조정기구(調整機構)를 구비한 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치를 제공할 수 있다.

바람직한 실시형태에 의하면, 그 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치는, 그 위치결정 조정용 설치부재가, 흡착패드이며, 상기 흡착패드는, 탄성재료로 이루어지며, 기체부(基體部)와, 상기 기체부의 전면(前面) 외주연(外周緣)으로부터 전방(前方)으로 나팔형상으로 벌어져 돌출하는 흡착용 빨판부를 구비하며, 상기 기체부의 중앙부에 위치결정핀의 직선부를 삽입할 수 있는 핀 삽입구멍이 관통형성되며, 그 위치결정핀은, 그 기단부(基端部)에 플랜지형상부가 형성되고, 또한, 그 축심부(軸芯部)에 축방향으로 뻗는 공기흡인구멍이 관통형성되며, 그 포드도어는, 그 외표면의 위치결정핀 부착지점에 오목부가 형성되고, 상기 오목부의 중심부에 공기흡인구멍이 관통형성되며, 위치결정핀의 플랜지형상부를 포드도어의 오목부에 밀착시켜, 위치결정핀의 공기흡인구멍과 포드도어의 공기흡인구멍을 합치시킨 상태에서, 위치결정핀의 직선부에 흡착패드의 핀 삽입구멍을 삽입관통시켜, 흡착패드를 포드도어에 고정함으로써, 흡착패드를 포드도어 외표면에 설치함과 아울러, 흡착패드의 오목부에 몰입된 부분이 위치결정핀의 플랜지형상부를 누르도록 되어 있다.

이 구성에 의해, 포드도어 외표면에 설치된 위치결정핀 위치와 ＦＯＵＰ도어 외표면에 형성된 핀 구멍 위치가 어긋나 있다고 해도, 위치결정핀이 핀 구멍에 유도될 때, 위치결정핀의 기단부의 플랜지형상부가 흡착패드의 포드도어의 오목부에 몰입된 부분의 한쪽을 들어올려 탄성변형시키면서, 위치결정핀이, 그 어긋난 방향으로 소요량 기울기동작하므로, 위치결정핀은, 그 기울기동작 자세 그대로, 핀 구멍에 진입하여, 포드도어는, ＦＯＵＰ도어를 지지하고, 흡착패드는, 포드도어의 공기흡인구멍과 위치결정핀의 공기흡인구멍을 통해서 공급되는 부압(負壓)에 의해, ＦＯＵＰ도어를 흡착할 수 있다.

이에 의해, 또한, 다음과 같은 효과를 나타낼 수 있다. 즉, 위치결정핀과 흡착패드의 쌍을 포드도어 외표면 상의 동일지점에 설치하는 것이 가능하게 되고, 게다가, 위치결정핀의 고정에 흡착패드를 이용할 수 있으므로, 포드도어의 구조가 간단해진다.

다른 바람직한 실시형태에 의하면, 그 플랜지형상부는, 위치결정핀의 기단부에, 기단을 향해 확경(擴徑)하는 테이퍼가 형성됨으로써 생성되는 원추대(圓錐臺)형상부인 것으로 되어 있다. 이 구성에 의해, 위치결정핀의 ＦＯＵＰ도어의 핀 구멍으로의 트래킹동작이 더 원활히 행해져, ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정이 더 용이해진다.

또한, 다른 바람직한 실시형태에 의하면, 그 위치결정핀은, 그 선단부에 선단을 향해 끝이 가늘어지는 테이퍼가 형성되어 있다. 이 구성에 의해, 위치결정핀의 ＦＯＵＰ도어의 핀 구멍으로의 트래킹동작이 더 원활히 행해져, ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정이 더 용이해진다.

또한, 다른 바람직한 실시형태에 의하면, 그 흡착패드의 기체부에는, 보강용 금속판이 매립되어 있다. 이 구성에 의해, 흡착패드의 기계적 강도를 확보하면서, 위치결정핀의 기울기동작을 가능하게 하는 탄성을 유지할 수 있다.

발명의 효과

상기와 같이, 본원 발명의 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치에 의하면, 포드도어 외표면에 설치된 위치결정핀 위치와 ＦＯＵＰ도어 외표면에 형성된 핀 구멍 위치가 어긋나 있다고 해도, 위치결정핀은, 그 어긋난 방향으로 소요량 기울기동작할 수 있으므로, 위치결정핀은, 그 기울기동작 자세 그대로, 핀 구멍에 진입하여, 포드도어는, ＦＯＵＰ도어를 지지하고, 흡착패드는, ＦＯＵＰ도어를 흡착할 수 있다.

이에 의해, ＦＯＵＰ오프너는, ＦＯＵＰ도어를 소정 위치에 위치결정하여 흡착·지지할 수 있으므로, 포드도어의 위치결정핀을 ＦＯＵＰ도어의 핀 구멍 위치에 트래킹하기 위한 복잡한 트래킹기구를 필요로 하지 않으며, 어떤 ＦＯＵＰ용기에도 적용 가능하고, 저렴하며, 심플한 위치결정핀 조정기구를 구비한 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치를 제공할 수 있다.

또한, 위치결정 조정용 설치부재가 흡착패드인 것으로 되는 경우에는, 위치결정핀과 흡착패드의 쌍을 포드도어의 외표면 상의 동일지점에 설치할 수 있고, 게다가, 위치결정핀의 고정에 흡착패드를 이용할 수 있으므로, 포드도어의 구조가 간단해진다.

또한, 위치결정핀의 플랜지형상부가, 위치결정핀의 기단부에, 기단(基端)을 향해 확경하는 테이퍼가 형성됨으로써 생성되는 원추대형상부인 것으로 되든지, 위치결정핀의 선단부에, 선단(先端)을 향해 끝이 가늘어지는 테이퍼가 형성되는 경우에는, 위치결정핀의 ＦＯＵＰ도어의 핀 구멍에의 트래킹동작이 더 원활히 행해져, ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정이 더 용이해진다.

또한, 흡착패드의 기체부에 보강용 금속판이 매립되어 있는 경우에는, 흡착패드의 기계적 강도를 확보하면서, 위치결정핀의 기울기동작을 가능하게 하는 탄성을 유지할 수 있다.

도 1은 본원 발명의 일 실시예의 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치에서 사용되는 위치결정핀의 단면도이다.

도 2는 마찬가지로 흡착패드의 단면도이다.

도 3은 상기 위치결정핀 및 상기 흡착패드가 ＦＯＵＰ오프너의 포드도어의 외표면에 설치되어, ＦＯＵＰ도어를 위치결정하기 직전의 상태를 나타내는 단면도이다.

도 4는 마찬가지로 위치결정하여 있는 상태를 나타내는 단면도이다.

도 5는 상기 위치결정된 ＦＯＵＰ도어가 포드도어로부터 멀어진 상태를 나타내는 단면도이다.

《부호의 설명》

10…위치결정핀, 11…직선부,

12…테이퍼, 13…테이퍼(원추대형상부, 플랜지형상부),

14…공기흡인구멍, 20…흡착패드(위치결정 조정용 설치부재),

21…기체부, 22…흡착용 빨판부,

23…핀 삽입구멍, 24…나사구멍(볼트용 탭 구멍),

25…환상(環狀)금속판, 30…포드도어,

31…오목부, 32…공기흡인구멍,

33…나사구멍(볼트용 탭 구멍),

40…볼트 탭 나사, 50…ＦＯＵＰ도어,

51…핀 구멍, 52…테이퍼.

발명을 실시하기 위한 최량의 형태

ＦＯＵＰ오프너의 포드도어 외표면의 복수지점에 설치된 복수의 위치결정핀 이, ＦＯＵＰ도어 외표면의 복수지점에 형성된 복수의 핀 구멍에 각각 결합함으로써, ＦＯＵＰ도어와 포드도어 쌍방이 설정된 위치에서 합치하여, ＦＯＵＰ도어가 포드도어에 의해 지지되며, 이 상태에서, 마찬가지로 포드도어 외표면의 복수지점에 설치된 복수의 흡착패드가, ＦＯＵＰ도어를 흡착하도록 되어서 이루어지는 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치에 있어서, 위치결정핀은, 위치결정 조정용 설치부재에 의해 포드도어 외표면에 설치되는 것으로 하고, 이에 의해, 포드도어 외표면 내의 360°전방위에 걸쳐 기울기동작이 가능하게 되도록 되는 것으로 한다.

구체적으로는, 위치결정 조정용 설치부재는, 흡착패드인 것으로 하고, 상기 흡착패드는, 탄성재료로 이루어지며, 기체부와, 상기 기체부의 전면 외주연으로부터 전방으로 나팔모양으로 벌어져서 돌출하는 흡착용 빨판부를 구비하는 것으로 하며, 기체부의 중앙부에 위치결정핀의 직선부를 삽입할 수 있는 핀 삽입구멍을 관통 형성한다. 또한, 위치결정핀에는, 그 선단부에 선단을 향해 끝이 가늘어지는 테이퍼를 형성하고, 그 기단부에 기단을 향해 확경하는 테이퍼를 형성하여 플랜지형상부를 형성하며, 그 축심부에 축방향으로 뻗는 공기흡인구멍을 관통형성한다.

그리고, 위치결정핀의 플랜지형상부를 포드도어의 오목부에 밀착시켜, 위치결정핀의 공기흡인구멍과 포드도어의 공기흡인구멍을 합치시킨 상태에서, 위치결정핀의 직선부에 흡착패드의 핀 삽입구멍을 삽입관통시켜, 흡착패드를 포드도어에 나사체결 등의 수단에 의해 고정함으로써, 흡착패드를 포드도어 외표면에 설치함과 아울러, 흡착패드의 상기 오목부에 몰입된 부분이 위치결정핀의 플랜지형상부를 누 르도록 한다. 흡착패드의 기체부에는, 보강용 금속판을 매립한다.

실시예

다음으로, 본원 발명의 일 실시예에 대해 설명한다.

도 1은, 본 실시예의 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치에서 사용되는 위치결정핀의 단면도, 도 2는, 마찬가지로 흡착패드의 단면도, 도 3은, 상기 위치결정핀 및 상기 흡착패드가 ＦＯＵＰ오프너의 포드도어의 외표면에 설치되어, ＦＯＵＰ도어를 위치결정하기 직전의 상태를 나타내는 단면도, 도 4는, 마찬가지로 위치결정하여 있는 상태를 나타내는 단면도, 도 5는, 상기 위치결정된 ＦＯＵＰ도어가 포드도어로부터 멀어진 상태를 나타내는 단면도이다.

본 실시예의 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치에서 사용되는 위치결정핀(10)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 그 선단부에, 선단을 향해 끝이 가늘어지는 테이퍼(12)가 형성되고, 그 기단부에, 기단을 향해 확경하는 테이퍼(13)가 형성되며, 이들 선단부와 기단부에 끼인 직선부(11)는, 동일 지름의 봉상체(棒狀體)로 되어 있다. 그리고, 그 축심부에, 축방향으로 뻗은 공기흡인구멍(14)이 관통형성되어 있다. 테이퍼(13)가 형성된 기단부는, 원추대 형상을 이루고 있다.

또한, 이 기단부의 테이퍼(13)에 의한 원추대 형상은, 단순히 확경된 플랜지형상 등으로 치환하는 것도 가능하고, 이들 형상을 포함하는 플랜지형상부로 되면 좋지만, 발명자의 실험에 의하면, 원추대 형상은, 위치결정핀(10)의 ＦＯＵＰ도어(50)의 핀 구멍(51)(후술)으로의 트래킹동작이 더 원활히 행해져, 바람직하다. 선단부의 테이퍼(12)는, 핀 구멍(51)의 개구부(開口部)에, 규격에 따라, 테이퍼가 부여되므로, 반드시 필요하지는 않다.

또한, 본 실시예의 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치를 위해서 사용되는 흡착패드(위치결정 조정용 설치부재)(20)는, 실리콘 등의 탄성재료로 제작되며, 도 2에 도시되는 바와 같이, 비교적 두꺼운 원판 모양의 기체부(21)와, 상기 기체부(21)의 전면 외주연으로부터 전방으로 나팔모양으로 벌어져 돌출하는 흡착용 빨판부(22)를 구비해 있다. 기체부(21)의 중앙부에는, 위치결정핀(10)의 직선부(11)를 삽입할 수 있는 핀 삽입구멍(23)이 관통형성되며, 상기 핀 삽입구멍(23)을 사이에 둔 적어도 2지점의 위치에는, 나사구멍(볼트용 탭 구멍)(24)이 관통형성되어 있다. 기체부(21)의 내부에는, 상기 기체부(21)의 중심부에 기계적 강도를 부여하기 위해, 보강용 환상금속판(25)이 매립되어 있다.

또한, 본 실시예의 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치를 위해 사용되는 포드도어(30)는, 도 3에 도시되는 바와 같이, 그 외표면(후술하는 ＦＯＵＰ도어(50)를 향한 쪽의 면)의 위치결정핀(10)의 설치지점에, 오목부(31)가 형성되고, 상기 오목부(31)의 중심부에, 공기흡인구멍(32)이 관통형성되며, 상기 오목부(31)를 사이에 둔 적어도 2지점의 위치에, 나사구멍(볼트용 탭 구멍)(33)이 형성되어 있다. 오목부(31)는, 대략, 위치결정핀(10)의 기단부를 밀착시켜 수용할 수 있는 크기로 형성된다.

위치결정핀(10)과 흡착패드(20)는, 다음과 같이 하여, 포드도어(30)의 외표 면에 설치되어 있다.

도 3에 도시되는 바와 같이, 먼저, 위치결정핀(10)의 기단부(테이퍼(13)가 형성되어 있는 원추대 부분)를 포드도어(30)의 오목부(31)에 밀착시켜, 그곳에 수용한다. 다음으로, 위치결정핀(10)의 공기흡인구멍(14)과 포드도어(30)의 공기흡인구멍(32)을 합치시킨 상태에서, 위치결정핀(10)의 직선부(11)에 흡착패드(20)의 핀 삽입구멍(23)을 삽입관통시켜, 위치결정핀(10)에 흡착패드(20)를 씌운다. 다음으로, 흡착패드(20)의 나사구멍(24)과 포드도어(30)의 나사구멍(33)을 맞추어, 이들에 볼트 탭 나사(40)를 통해 강하게 비틀어 넣어, 흡착패드(20)를 포드도어(30)에 체결한다. 이에 의해, 흡착패드(20)는, 포드도어(30)의 외표면과의 당접부(當接部)가 탄성변형하여 두께를 수축시키면서, 포드도어(30)의 외표면에 부착됨과 아울러, 그 당접부보다 내측의 중앙부(핀 삽입구멍(23)의 개구 주변부)는, 포드도어(30)의 오목부(31) 내에 몰입하면서, 위치결정핀(10)의 기단부를 상방으로 누른다. 이렇게 하여, 위치결정핀(10)과 흡착패드(20)는, 포드도어(30)의 외표면에 확고하게 설치된다. 흡착패드(20)는, 위치결정핀(10)을 포드도어(30)의 외표면에 설치하기 위한 설치부재를 겸하고 있고, 게다가, 그 탄성에 의해, 위치결정핀(10)은, 포드도어(30)의 외표면 내의 360°전방위에 걸쳐 소요량 기울기동작이 가능하게 되므로, 흡착패드(20)는, 위치결정 조정용 설치부재를 겸하고 있다고 할 수 있다.

다음으로, 위치결정핀(10)의 ＦＯＵＰ도어(50)에 대한 위치결정 동작에 대해, 도 3∼도 5를 참조하면서, 설명한다.

도 3은, ＦＯＵＰ도어(50)의 핀 구멍(51)에 위치결정핀(10)이 삽입되기 직전 의 상태를 나타내고 있다. 핀 구멍(51)의 입구에는, SEMI 규격에 따라, 테이퍼(52)가 형성되어 있다. 여기서, 핀 구멍(51)의 위치와 위치결정핀(10)의 위치가 다소 어긋나 있다고 하면, ＦＯＵＰ도어(50)와 포드도어(30)가 상대적으로 가까워질 때, 핀 구멍(51)의 테이퍼(52)와 위치결정핀(10)의 선단의 테이퍼(12)는 충돌하여, ＦＯＵＰ도어(50) 및 포드도어(30)의 미소한 거터의 범위 내에서 서로 미끄러져, 포드도어(30)는, 위치결정핀(10)을 핀 구멍(51)에 유도하려고 한다.

그러나, 포드도어(30)는, 트래킹기구를 구비하고 있지 않으므로, ＦＯＵＰ도어(50)와 포드도어(30)가 상대적으로 더 가까워지면, 위치결정핀(10)이 ＦＯＵＰ도어(50)의 핀 구멍(51) 방향으로 기울기동작하면서, 테이퍼(12)와 테이퍼(52)의 미끄럼동작이 진행된다. 그리고, 결국에는, 도 4에 도시되는 바와 같이, 테이퍼(12)와 테이퍼(52)의 미끄럼동작이 종료하여, 테이퍼(12)가 테이퍼(52)로부터 멀어지고, 위치결정핀(10)의 선단부는, 핀 구멍(51)의 내부에 깊게 진입한다. 동시에, ＦＯＵＰ도어(50)의 전면(포드도어(30)를 향한 쪽의 면)과 흡착패드(20)의 흡착용 빨판부(22)의 외주단연(外周端緣)이 당접한다. 이 상태가 되면, 포드도어(30)가 ＦＯＵＰ도어(50)를 지지하는 것이 가능해진다. 그래서, 포드도어(30)의 공기흡인구멍(32)과 위치결정핀(10)의 공기흡인구멍(14)을 통해서, 부압(負壓)이 ＦＯＵＰ도어(50)의 전면과 흡착패드(20)로 둘러싸인 공간 내에 유도되어, ＦＯＵＰ도어(50)는, 흡착패드(20)에 의해 흡착된다. 이렇게 하여, ＦＯＵＰ도어(50)는, 포드도어(30)에 의해 흡착·지지된다.

이 경우에 있어서, ＦＯＵＰ도어(50)와 포드도어(30)가 상대적으로 더 가까 워질 때, 위치결정핀(10)이 ＦＯＵＰ도어(50)의 핀 구멍(51) 방향으로 기울기동작 하는 것은, 위치결정핀(10)의 기단부(테이퍼(13)가 형성되어 있는 원추대형상부)가, 탄성재료로 이루어지는 흡착패드(20)의 기체부(21)의 오목부(31) 내에 몰입된 부분을 한쪽으로부터 밀어 올려, 이 부분 및 핀 삽입구멍(23) 근방을 탄성변형시킴으로써 가능해진다(도 4 참조). 위치결정핀(10)은, 이 기울기동작에 의해, 그 기단부의 단면(端面)이 오목부(31)의 저면(底面)으로부터 조금 부상한다.

본 실시예에 있어서, ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치가 구비되는 ＦＯＵＰ도어 위치결정 조정기구는, 위치결정핀(10), 흡착패드(20) 및 포드도어(30)가 상기와 같이 하여 조립되며, 그 위치결정핀(10)이 상기와 같은 ＦＯＵＰ도어(50)에 대한 위치결정 동작을 행하는 조립체로 이루어지는 것이다.

ＦＯＵＰ도어(50)를 흡착·지지한 포드도어(30)는, 도시되지 않는 수평·수직 이동기구에 의해, 처리장치 내(內) 제 2 제어공간 내의 소정영역으로 이동된다. 이에 의해, ＦＯＵＰ도어(50)는, ＦＯＵＰ(도시하지 않음) 내(內) 워크의 ＦＯＵＰ 내 제 1 제어공간과 처리장치 내 제 2 제어공간 사이에서의 전송을 가능하게 하는 위치로까지 퇴피한다. 이때, 전송되는 워크는, 외부오염공간의 분위기에 노출되는 일이 없다.

처리장치에서의 소정의 처리를 끝낸 워크는, ＦＯＵＰ 내에 되돌려진다. 그리하여, ＦＯＵＰ는, 그 개구부가 ＦＯＵＰ도어(50)에 의해 다시 폐색된다. 도 5는, ＦＯＵＰ의 개구부를 ＦＯＵＰ도어(50)에 의해 다시 폐색하기 위해, 포드도어(30)가 ＦＯＵＰ도어(50)의 흡착·지지를 해제한 상태를 나타내고 있다. 이 상태 에서, 위치결정핀(10)은, ＦＯＵＰ도어(50)의 핀 구멍(51)으로부터 멀어져 있다.

상기와 같이, 흡착패드(20)는, 포드도어(30)에 체결될 때, 강고하게 나사 잠금되기 때문에, 그 포드도어(30)의 외표면과의 당접부보다 내측의 중앙부(핀 삽입구멍(23)의 개구 주변부)는, 포드도어(30)의 오목부(31) 내로 깊이 들어가도록 진입해 버리고 있다(도 3 참조). 오목부(31) 내에 진입한 흡착패드(20)의 이 중앙부는, 위치결정핀(10)의 밑(기단부)을 누르고 있기 때문에, 위치결정핀(10)이, 도 5에 도시되는 바와 같이, ＦＯＵＰ도어(50)의 핀 구멍(51)으로부터 멀어지면, 탄성 복원하여, 위치결정핀(10)의 밑을 다시 원래 상태로 되돌린다. 따라서, 위치결정핀(10)은, 포드도어(30)가 ＦＯＵＰ도어(50)를 지지하고 있지 않은 상태에서는, 항상 센터링 되게 된다.

본 실시예의 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치는, 상기와 같이 구성되어 있으므로, 다음과 같은 효과를 나타낼 수 있다.

포드도어(30)에 설치된 위치결정핀(10)의 위치와 ＦＯＵＰ도어(50)에 형성된 핀 구멍(51)의 위치가 어긋나 있다고 해도, 위치결정핀(10)의 선단에 형성된 테이퍼(12)에 의해 위치결정핀(10)이 핀 구멍(51)에 유도될 때, 위치결정핀(10)의 기단부의 테이퍼(13)(원추대형상부)가 흡착패드(20)의 포드도어(30)의 오목부(31)에 몰입된 부분의 한쪽을 들어올려 탄성변형시키면서, 위치결정핀(10)이, 그 어긋난 방향으로 소요량 기울기동작하므로, 위치결정핀(10)은, 그 기울기동작 자세 그대로, 핀 구멍(51)에 진입하여, 포드도어(30)는, ＦＯＵＰ도어(50)를 지지하고, 흡착패드(20)는, 포드도어(30)의 공기흡인구멍(32)과 위치결정핀(10)의 공기흡인구멍(14) 을 통해서 공급되는 부압에 의해, ＦＯＵＰ도어(50)를 흡착할 수 있다.

이에 의해, ＦＯＵＰ오프너는, ＦＯＵＰ도어(50)를 소정 위치에 위치결정하여 흡착·지지할 수 있으므로, 포드도어(30)의 위치결정핀(10)을 ＦＯＵＰ도어(50)의 핀 구멍(51) 위치에 트래킹하기 위한 복잡한 트래킹기구를 필요로 하지 않고, 어떤 ＦＯＵＰ용기에도 적용 가능하며, 저렴하고, 심플한 위치결정핀 조정기구를 구비한 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치를 제공할 수 있다.

특히, 위치결정핀(10)의 플랜지형상부가, 위치결정핀(10)의 기단부에, 기단을 향해 확경하는 테이퍼(13)가 형성됨으로써 생성되는 원추대형상부인 것으로 되어 있고, 또한, 위치결정핀(10)의 선단부에, 선단을 향해 끝이 가늘어지는 테이퍼(12)가 형성되어 있으므로, 위치결정핀(10)의 핀 구멍(51)으로의 트래킹동작이 더 원활히 행해져, ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정이 더 용이해진다.

또한, 위치결정핀(10)과 흡착패드(20)의 쌍을 포드도어(30)의 외표면 상의 동일지점에 설치할 수 있고, 게다가, 위치결정핀(10)의 고정에 흡착패드(20)를 이용할 수 있으므로, 포드도어(30)의 구조가 간단해진다.

또한, 흡착패드(20)의 기체부에 보강용 금속판(25)이 매립되어 있으므로, 흡착패드(20)의 기계적 강도를 확보하면서, 위치결정핀(10)의 기울기동작을 가능하게 하는 탄성을 유지할 수 있다.

더구나, 본원 발명은, 이상의 실시예에 한정되지 않고, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 여러 가지 변형이 가능하다.

Claims

ＦＯＵＰ오프너의 포드도어 외표면의 복수지점에 설치된 복수의 위치결정핀이, ＦＯＵＰ도어 외표면의 복수지점에 형성된 복수의 핀 구멍에 각각 결합함으로써, ＦＯＵＰ도어와 포드도어 쌍방이 설정된 위치에서 합치하여, ＦＯＵＰ도어가 포드도어에 의해 지지되며, 이 상태에서, 마찬가지로 포드도어 외표면의 복수지점에 설치된 복수의 흡착패드가, ＦＯＵＰ도어를 흡착하도록 되어 이루어지는 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치에 있어서,

상기 위치결정핀은, 위치결정 조정용 설치부재에 의해 상기 포드도어 외표면에 설치되어 있어, 상기 포드도어 외표면 내의 360°전방위에 걸쳐 기울기동작이 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치.
제1항에 있어서,

상기 위치결정 조정용 설치부재는, 상기 흡착패드이며,

상기 흡착패드는, 탄성재료로 이루어지며, 기체부와, 상기 기체부의 전면 외주연으로부터 전방으로 나팔모양으로 벌어져서 돌출하는 흡착용 빨판부를 구비하고, 상기 기체부의 중앙부에 상기 위치결정핀의 직선부를 삽입할 수 있는 핀 삽입구멍이 관통형성되며,

상기 위치결정핀은, 그 기단부에 플랜지형상부가 형성되며, 또한, 그 축심부 에 축방향으로 뻗은 공기흡인구멍이 관통형성되고,

상기 포드도어는, 그 외표면의 상기 위치결정핀 설치지점에 오목부가 형성되며, 상기 오목부의 중심부에 공기흡인구멍이 관통형성되고,

상기 위치결정핀의 상기 플랜지형상부를 상기 포드도어의 상기 오목부에 밀착시켜, 상기 위치결정핀의 상기 공기흡인구멍과 상기 포드도어의 상기 공기흡인구멍을 합치시킨 상태에서, 상기 위치결정핀의 상기 직선부에 상기 흡착패드의 상기 핀 삽입구멍을 삽입관통시켜, 상기 흡착패드를 상기 포드도어에 고정함으로써, 상기 흡착패드를 상기 포드도어 외표면에 설치함과 아울러, 상기 흡착패드의 상기 오목부에 몰입된 부분이 상기 위치결정핀의 상기 플랜지형상부를 누르도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 플랜지형상부는, 상기 위치결정핀의 기단부에, 기단을 향해 확경(擴徑)하는 테이퍼가 형성됨으로써 생성되는 원추대(圓錐臺)형상부인 것을 특징으로 하는 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 위치결정핀은, 그 선단부에 선단(先端)을 향해 끝이 가늘어지는 테이퍼가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 흡착패드의 상기 기체부에는, 보강용 금속판이 매립되어 있는 것을 특징으로 하는 ＦＯＵＰ오프너의 ＦＯＵＰ도어 위치결정장치.