JP4848916B2 - クランプ機構 - Google Patents
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Description
本実施形態に係るFOUPオープナ50は、図1に示すようなものであり、FOUP(Front Open Unified Pod)2の内部と、半導体製造装置(基板処理装置)の内部とを連通させるために、FOUP2が固定されるインターフェース機構である。また、FOUPオープナ50はクリーンルームに設置されている。
次に、図1及び図2を用いてFOUP2の構成について説明する。FOUP2は、電子デバイス用のウエハ9を収容して搬送したり、保管したりするためのものであり、筐体2bと、筐体2bに対して開閉可能な蓋部2dとを含んで構成される。ここで、FOUP2は種々の基板の搬送・保管に適用できる。そして、筐体2bに蓋部2dが装着された状態では、FOUP2内部への異物微粒子の侵入、化学的な汚染が防止されるようになっている。また、筐体2bの頂上部には、搬送用ロボット等がFOUP2を搬送するときに把持するための把持部2zが設けられている。さらに、図2に示すように、FOUP2の底部には、後述する位置決め用凹部2aが三箇所に形成されている。なお、図2は上面図であり、本来位置決め用凹部2aは、FOUP2の底部にあるため、隠れて見えない位置にあるが、図2では説明のために図示している。さらに、FOUP2の底部には、図1に破線で示しているように、クランプ用凹部2hが設けられている。また、図2のB−B’位置における断面概略図(断面を示す斜線は省略)である図5に示すように、クランプ用凹部2hの、アンドック方向側(図の矢印参照)の内壁面2wからドック方向へ向かって、被クランプ部2cが突出形成されている。
次に、図3を参照しながら、クランプ機構1について説明する。図3は、図2のB−B’位置における拡大断面概略図(断面を示す斜線は省略)を示している。また、図3ではFOUP2を省略して示している。ここで、クランプ機構1は、載置台51を含み、載置台51は、キャリアベース(第1載置台)3、及び、クランプベース(第2載置台)4を含んで構成されている。以下、それぞれの詳細な構成について説明する。
キャリアベース3は板状に形成された部材であり、底部にはリニアモーションガイド3gが設けられている。また、FOUPオープナ本体部50bの上部には、ドック方向及びアンドック方向に沿ってレール50rが設置されている。そして、リニアモーションガイド3gとレール50rとは係合しており、リニアモーションガイド3gがレール50rに沿って移動する。以上により、キャリアベース3は、FOUPオープナ本体部50bの上部に対して、ドック方向及びアンドック方向へ移動可能に設置されていることになる。
次に、図3を参照しながら、クランプベース4について説明する。クランプベース4もまた、板状に形成された部材であり、底部にリニアモーションガイド4gが設けられている。そして、リニアモーションガイド4gとレール3rとが係合しており、リニアモーションガイド4gがレール3rに沿って移動する。以上により、クランプベース4は、キャリアベース3の上部に対して、ドック方向及びアンドック方向へ移動可能に設置されていることになる。また、このようにリニアモーションガイド4g及びレール3rを用いることで、簡易な構成により、クランプベース4を、キャリアベース3の上部に対してドック方向及びアンドック方向へ移動可能に設置することができる。
次に、図4〜7を参照しながら、以上のように構成されたクランプ機構1のクランプ動作について説明する。図4〜7は、図2のB−B’位置における断面概略図であり、動作過程を示している。また、図4〜7においては、断面を示す斜線を省略して示している。
次に、本発明に係るクランプ機構の変形例について、図8、9を参照しながら、上記の実施形態と異なる部分を中心に説明する。図8は第1変形例を、図9は第2変形例を示す拡大断面概略図である。なお、上記の実施形態と同様の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。まず、第1変形例に係るクランプ機構200については、図8に示すように、上記の実施形態とはクランプレバー及びその付近における構造が異なっている。本変形例に係るクランプレバー205a、クランプ用爪部205b及び付勢用凸部205dは、上記の実施形態とは異なり、これらが直線状に構成されている。そして、支持部204cにおいて、回転軸205cを介して回動可能に支持されている。このような形態のクランプ機構200によっても、上記の実施形態と同様の効果が得られる。
2 FOUP
2a 位置決め用凹部
2c 被クランプ部
2w アンドック方向側の内壁面
3 キャリアベース(第1載置台)
3a 位置決め用凸部
3b 第1当接部
3r レール
4 クランプベース(第2載置台)
4a 規制部
4b 第2当接部
4g リニアモーションガイド
4s コイルスプリング(第1付勢手段)
5a クランプレバー
5b クランプ用爪部
5c 回転軸(クランプレバー用)
5d 付勢用凸部
5e ローラー
5j 回転軸(ローラー用)
5s コイルスプリング(第2付勢手段)
9 ウエハ
50 FOUPオープナ
50b FOUPオープナ本体部
50d ポートドア
50h 連通口
50s ストッパ
51 載置台
Claims (8)
- 複数のウエハを収容可能なFOUPを載置台に固定し、基板処理装置の内部への連通口を開閉するポートドアに対して当該固定されたFOUPをドッキングさせて、前記FOUPの内部と、前記基板処理装置の内部と、を密閉連通させるFOUPオープナにおける、前記FOUPを前記載置台に固定するためのクランプ機構であって、
FOUPオープナ本体部の上部に対して、前記ドッキングの方向であるドック方向及び当該ドック方向とは逆のアンドック方向へ移動可能に設置されている板状の第1載置台と、
前記第1載置台の上部に対して前記ドック方向及び前記アンドック方向へ移動可能に設置されている板状の第2載置台と、
水平方向に延在し且つ前記ドック方向及び前記アンドック方向に直交する回転軸を介して、前記第2載置台の上部において回動可能に支持されたクランプレバーと、
前記クランプレバーから前記アンドック方向へ突出形成されたクランプ用爪部と、
前記第2載置台を前記第1載置台に対して前記アンドック方向へ付勢する第1付勢手段と、
前記クランプ用爪部が下方向へ変位するように前記クランプレバーを付勢する第2付勢手段と、を有し、
前記FOUPの底部には位置決め用凹部が形成され、前記第1載置台には当該位置決め用凹部と係合する位置決め用凸部が形成されており、前記位置決め用凹部及び前記位置決め用凸部が係合することで前記第1載置台及び前記FOUPが一体となって移動し、
前記クランプ用爪部が、前記FOUPの底部に形成されたクランプ用凹部に収容され、前記第2載置台が前記第1載置台に対して前記アンドック方向に移動し、前記クランプ用爪部が、前記クランプ用凹部の前記アンドック方向側の内壁面から前記ドック方向へ向かって突出形成された被クランプ部を上方から下方へ向けて押圧することにより、前記FOUPが前記載置台に固定されることを特徴とするクランプ機構。 - 前記第1付勢手段は、前記第2載置台と前記第1載置台とを接続する弾性部材であることを特徴とする請求項1に記載のクランプ機構。
- 前記FOUPオープナ本体部に固定された状態で設けられ、且つ、前記第2載置台の前記アンドック方向への移動を制限するストッパをさらに有していることを特徴とする請求項1又は2に記載のクランプ機構。
- 前記第1載置台に設けられた第1当接部と、
前記第2載置台に設けられ且つ前記第1当接部よりも前記アンドック方向側に配置された第2当接部と、をさらに有し、
前記第1載置台及び前記FOUPが前記ドック方向へ移動するときに、前記第1当接部が前記第2当接部を押圧することで、前記第1載置台、前記FOUP及び前記第2載置台が一体となって移動することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のクランプ機構。 - 前記第2付勢手段は、前記第2載置台の上部に設置された弾性部材であり、
前記クランプレバーからは、前記ドック方向へ付勢用凸部が突出形成されており、
前記付勢用凸部と前記第2載置台との間に挟まれた当該弾性部材が、下方から上方へ向けて前記付勢用凸部を押圧することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のクランプ機構。 - 前記第2載置台には、前記付勢用凸部の上方向への変位量を規制する規制部がさらに設けられていることを特徴とする請求項5に記載のクランプ機構。
- 水平方向に延在し且つ前記ドック方向及び前記アンドック方向に直交する回転軸を介して、前記クランプ用爪部の先端において回動可能に支持されたローラーをさらに有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のクランプ機構。
- 前記第2載置台と前記第1載置台とは、前記ドック方向及び前記アンドック方向に沿って設置されたリニアモーションガイドを介して接続されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のクランプ機構。
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