KR102148565B1

KR102148565B1 - 기판 수납 용기의 로크 해제 기구

Info

Publication number: KR102148565B1
Application number: KR1020180081621A
Authority: KR
Inventors: 야스시 모리타; 고조 하마다
Original assignee: 가부시키가이샤 제이이엘
Priority date: 2018-03-09
Filing date: 2018-07-13
Publication date: 2020-08-26
Also published as: CN110239832B; TW201939645A; JP2019160894A; JP6952627B2; CN110239832A; TWI662642B; KR20190106627A

Abstract

기판 수납 용기의 덮개의 로크를 효율적으로 해제 가능한 기구를 제공한다.
대판(臺板)에 형성된 개구(7a)를 통해 기판 수납 용기(1)의 걸림편(5) 근방으로 연장되는, 회동하여 걸림편(5)을 외측으로 압박해서 덮개(2)의 로크를 해제하는 해제 레버 동작 기구(100)와, 직동(直動)하여 해제 레버 동작 기구(100)를 미리 정해진 각도 회동시키는 슬라이드부(120)에 미리 정해진 동작을 입력하는 실린더(112)를 구비한 구동 기구(110)와, 슬라이드부(120)에 일단이 연접(連接)된 링크 아암(101)의 타단이 연접된 동기 링(11)과, 동기 링(11)에 연접된 링크 아암(151)을 통해 슬라이드부(120)와 동량의 슬라이드량이 입력되는 슬라이드부(160)와, 슬라이드부(160)의 슬라이드 동작으로 회동하여, 기판 수납 용기(1)의 걸림편(5)의 로크를 해제하는 종동 기구(150)를 구비한다.

Description

기판 수납 용기의 로크 해제 기구{UNLOCK MECHANISM FOR SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}

본 발명은 기판 수납 용기의 로크 해제 기구에 관한 것으로, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 복수 매 적층하여 운반 가능한 기판 수납 용기의 로크 기구 해제 기구에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼 등의 기판을 복수 매 적층하여 용기 본체 내에 수용하고, 덮개를 덮어 로크한 상태로 운반하기 위한 기판 수납 용기로서, 특허문헌 1에 개시된 반도체 웨이퍼 수납 용기(이하, 기판 수납 용기라고 적음)가 알려져 있다. 이 기판 수납 용기에 있어서, 특허문헌 1의 첨부도에 도시된 바와 같이, 용기 본체에 씌운 덮개(3)를 로크 상태로 하기 위해서는, 평면에서 보아 대략 사각형 형상으로 이루어지는 저면판(底面板)의 모퉁이부에 세워져 설치된 걸림편(9)의 상단에 형성된 걸림 클로(claw; 8)를, 덮개(3)에 형성된 걸림 구멍(15) 주위의 덮개 상면판(13) 상면부에 걸리게 한다.

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2004-43001호 공보

특허문헌 1에 개시된 기판 수납 용기는, 종래의 기판 수납 용기에서 채용되고 있었던 것과 같은, 덮개를 회전시켜 개폐시키는 구조에 비해, 우수한 로크 기구를 갖고 있다. 그러나, 전술한 걸림 클로를 떼어내어 덮개의 로크 상태를 해제하는 수단은 나타나 있지 않다. 이러한 종류의 기판 수납 용기는, 처리 전의 기판을 기판 수납 용기로부터 연속적으로 취출하여 카세트 등에 바꿔 옮기고, 또한 반도체 제조 장치에서 미리 정해진 처리가 실시된 기판을 카세트 등으로부터 기판 수납 용기에 바꿔 옮기는 기판 이송 장치에 이용하는 것도 상정되고 있다. 기판 반송 로봇을 제어하여 이송 장치 내에서 연속해서 이송 작업을 하는 경우에는, 전술한 기판 수납 용기의 로크 기구의 해제 동작 및 덮개의 개폐 동작을 자동적으로 행할 필요가 있다.

그래서, 전술한 종래의 기술이 갖는 문제점을 해소하기 위해서, 본 발명의 목적은, 걸림 부재에 의해 덮개를 로크하는 기판 수납 용기에 있어서, 덮개의 로크 해제를 신속히 행할 수 있는, 기판 수납 용기의 로크 해제 기구를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 기판 수납 용기의 덮개를 로크하는 걸림 부재의 걸림을 해제하기 위해서 상기 기판 수납 용기를 배치하는 대판(臺板)의 하부에 구비된 기판 수납 용기의 로크 해제 기구로서, 상기 대판에 회동 가능하게 지지되고, 상기 대판에 형성된 개구를 통해 상기 기판 수납 용기의 하나의 걸림 부재 근방으로 연장되도록 설치되며, 회동하여 상기 걸림 부재를 외측으로 압박해서 상기 덮개의 로크를 해제하는 로크 해제 부재와, 직동(直動)하여 상기 로크 해제 부재를 미리 정해진 각도 회동시키는 슬라이드 부재와, 상기 슬라이드 부재에 미리 정해진 직동 동작을 입력하는 실린더를 포함한 구동 기구와, 상기 슬라이드 부재에 일단이 연접(連接)된 제1 링크 아암과, 상기 제1 링크 아암의 타단이 연접된 동기 링과, 상기 동기 링에 연접된 제2 링크 아암을 통해 상기 구동 기구의 슬라이드 부재와 동량의 슬라이드량이 입력되는 슬라이드 부재와, 상기 슬라이드 부재의 슬라이드 동작에 의해 회동하여, 상기 기판 수납 용기의 다른 걸림 부재를 외측으로 압박해서 상기 덮개의 로크를 해제하는 로크 해제 부재를 포함한 종동 기구로 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 슬라이드 부재는, 상기 대판 하면에 설치된 가이드 부재를 따라 미끄럼 접촉하는 가이드 미끄럼 접촉체와, 상기 실린더의 피스톤 로드로부터의 입력 동작을 받는 슬라이드 본체를 포함하고, 상기 슬라이드 본체의 슬라이드 방향 선단에 쐐기형 사면부(斜面部)가 형성되며, 슬라이드해서 상기 로크 해제 부재의 대향하는 쐐기형 사면부에 접촉하여, 상기 로크 해제 부재를 미리 정해진 각도만큼 회동시키는 것이 바람직하다.

상기 로크 해제 부재는, 상기 대판에 회동 지지되고, 상기 슬라이드 부재의 접촉에 의해 회동하는 레버 유지체와, 상기 레버 유지체와 일체적으로 회동하여 상기 걸림 부재를 압박하는 레버 부재를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 동기 링은, 상기 구동 기구의 슬라이드 부재의 슬라이드량에 따라 발생하는 상기 제1 링크 아암의 변위에 따라 미리 정해진 각도 회동하여, 상기 동기 링에 연접된 제2 링크 아암을 통해 상기 종동 기구에 상기 구동 기구의 슬라이드 부재와 동량의 슬라이드량을 입력하는 것이 바람직하다.

상기 로크 해제 부재의 레버 부재는, 상기 덮개가 제거된 동안, 상기 걸림 부재를 압박한 상태를 유지하여 상기 기판 수납 용기를 상기 대판 상에 고정 유지하는 것이 바람직하다.

2대의 상기 구동 기구와 2대의 상기 종동 기구가, 상기 동기 링, 상기 제1 링크 아암, 및 상기 제2 링크 아암을 통해 동기하여 동작하는 것이 바람직하다.

상기 종동 기구는, 상기 슬라이드 부재의 위치 검출부가 설치되는 것이 바람직하다.

도 1은 본 발명의 기판 수납 용기의 로크 해제 기구의 일 실시형태를 도시한 개략 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 로크 해제 기구의 구성 및 동작 상태를 도시한 부분 확대 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 로크 해제 기구의 구성 및 동작 상태를 도시한 부분 확대 측면도이다.
도 4는 본 발명의 기판 수납 용기의 덮개를 분리하고, 기판의 바꿔 옮김을 행하는 상태를 도시한 동작 상태 설명도이다.
도 5는 본 발명의 로크 해제 기구를 적용하는 기판 수납 용기 일례의 구성을 도시한 평면도, 측면도, 일부 단면도이다.

이하, 본 발명의 기판 수납 용기(1)의 로크 해제 기구(10)[이하, 간단히 로크 해제 기구(10)라고 적음]의 일 실시형태에 대해 첨부 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 도 5의 (a) 내지 도 5의 (c)에 일례로서 도시된 기판 수납 용기(1)의 로크 기구, 즉 기판 수납 용기(1)의 본체의 바닥판(6)에 설치된 걸림 부재인 걸림편(5)의 걸림 동작에 의해 덮개(2)가 로크된 로크 기구의 로크 상태를, 해제하기 위한 로크 해제 기구(10)의 개략 구성을 도시한 평면도이다.

여기서, 본 발명의 로크 해제 기구(10)를 적용하는 기판 수납 용기(1)의 구성에 대해, 도 5의 (a) 내지 도 5의 (c)를 참조하여 설명한다. 도 5의 (a)는 기판 수납 용기(1)의 상면을 덮는 덮개(2)의 평면 형상, 도 5의 (b)는 기판 수납 용기(1)의 측면 형상을 도시한다. 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 덮개(2)의 4모퉁이에는 로크용 걸림 구멍(3)이 형성되어 있다. 이 로크용 걸림 구멍(3)의 일부는 걸림 덮개판(4)으로 막혀진다. 이 걸림 덮개판(4)에는, 기립 자세를 초기 상태로 하는 탄성 휘어짐 가능한 판형의 걸림편(5)[도 5의 (c)]의 상단에 형성된 걸림 클로(5a)가 걸린다. 4개소의 걸림 클로(5a)의 걸림 동작에 의해, 기판 수납 용기(1)의 덮개(2)는, 기판 수납 용기(1)의 본체에 확실하게 로크된 상태로 유지되어 있다. 한편, 기판 수납 용기(1)의 로크 기구가 덮개(2)의 대각 위치의 2개소에 설치되어 있는 경우도 있다. 그 경우에는, 각 로크 기구의 배치 위치에 대응하여 로크 해제 기구가 설치되는 것은 물론이다.

다음으로, 본 발명의 실시형태의 로크 해제 기구(10)의 구성에 대해, 기판 수납 용기(1)의 4모퉁이에 로크 기구가 있는 경우를 예로 설명한다. 로크 해제 기구(10)는, 도 1, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 기판 수납 용기(1)(도 1에서는 이점 쇄선 표시)의 4모퉁이에 배치된 로크 기구로서의 4개소의 걸림편(5)(도 1에서는 파선 표시) 근방에 4대의 해제 레버 동작 기구(100)(후술함)가 배치되어 있다. 로크 해제 기구(10)는, 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 기판 수납 용기(1)가 미리 정해진 위치에 배치된 베이스 플레이트(7)의 하면에, 도시하지 않은 고정 볼트 등의 부착 수단에 의해 고정되어 있다. 이와 같이 로크 해제 기구(10)를 베이스 플레이트(7)의 하측에 배치함으로써, 기판 수납 용기(1) 안에 파티클이 침입하는 리스크를 저감할 수 있다. 한편, 베이스 플레이트(7)의 상면에는 가이드 블록(8)이 세워져 설치되고, 베이스 플레이트(7) 상에 배치되는 기판 수납 용기(1)의 각 측면의 위치가, 가이드 블록(8)에 의해 정확히 규정된다. 또한, 기판 수납 용기(1)의 4개소의 로크 기구 위치에 대응하는 베이스 플레이트(7)의 위치에는, 대략 직사각형 형상의 개구가 형성되어 있다. 이 개구에 후술하는 로크 해제 기구(10)의 걸림 해제 레버(135)가 삽입 관통된다.

본 발명의 일 실시형태의 로크 해제 기구(10)는, 도 1, 도 2의 (a), 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 그 중심 위치와 기판 수납 용기(1)의 중심 위치가 일치하도록 배치된 동기 링(11)과, 일단이 베어링 축받이(13)를 통해 동기 링(11)에 연결된 4개의 링크 아암(101, 151)과, 각 링크 아암(101, 151)의 타단에 베어링 축받이(12)를 통해 연결된 4대의 해제 레버 동작 기구(100)로 구성되어 있다. 이상의 구성 중, 동기 링(11)은 회동 중심이 유지되도록, 도시하지 않은 축받이를 통해 링 유지 부재(14)에 의해 베이스 플레이트(7)의 하면에 매달려 유지되어 있다. 또한, 해제 레버 동작 기구(100)의 슬라이드부(120)의 직동 동작을 안내하는 가이드 바(115)도 베이스 플레이트(7)의 하면에 고착 유지되어 있다.

한편, 본 실시형태에서는, 해제 레버 동작 기구(100)의 직동 동작을 실현하기 위해서, 블록 형상의 슬라이드부(120)와, 그것을 안내하는 가이드 바(115)를 사용하고 있다. 또한 4개의 링크 아암(101, 151)의 변위의 동기를 실현하기 위해서, 회동 가능한 링형의 부재[동기 링(11)]를 사용하고 있다. 각각 동등한 기능을 갖는 변위 기구, 링크 기구 혹은 동작 부재이면, 그 형상, 구조 등은 여러 가지로 설계할 수 있는 것은 물론이다.

4대의 해제 레버 동작 기구(100)는, 2대의 구동 기구(110)와, 2대의 종동 기구(150)로 구성된다. 구동 기구(110)에 의해 발생하는 슬라이드부(120)의 직동 동작은, 링크 아암(101), 동기 링(11), 링크 아암(151)을 통해 종동 기구(150)에 전달된다. 이에 의해, 각 해제 레버 동작 기구(100)의 구동 기구(110), 종동 기구(150)에 있어서의 걸림 해제 레버(135)의 동기 동작이 실현된다.

해제 레버 동작 기구(100)의 구동 기구(110)[이하, 간단히 구동 기구(110)라고 적음]의 구성에 대해, 도 2의 (a), 도 3의 (a)를 참조하여 설명한다. 구동 기구(110)는, 도 2의 (a), 도 3의 (a)에 각각 도시된 바와 같이, 전술한 가이드 바(115)를 따라 직동 가능한 슬라이드부(120)와, 슬라이드부(120)의 직동 동작에 따라 슬라이드부(120)의 일부와 접촉하여 미리 정해진 각도만큼 회동하는 로크 해제부(130)로 구성되어 있다. 슬라이드부(120)는, 베이스 플레이트(7)[도 3의 (a)]에 지지 플랜지(111)를 통해 지지된 에어 실린더(112)의 피스톤 로드(113)의 신축에 의해 가이드 바(115)를 따라 직동할 수 있다. 한편, 도 1, 도 2의 (a) 및 도 2의 (b)에서는, 걸림 해제 레버(135)의 구성을 나타내기 위해서, 베이스 플레이트(7)의 개구(7a)와 그 근방을 부분적으로 도시하고 있다.

슬라이드부(120)는, 가이드 미끄럼 접촉체(121)와 슬라이더 본체(122)가 상하로 일체 연결된 블록 형상으로 이루어진다. 가이드 미끄럼 접촉체(121)는, 베이스 플레이트(7)의 하면에 고정된 가늘고 긴 직육면체 형상의 가이드 바(115)의 측면과 바닥면을 둘러싸도록 미끄럼 접촉하여, 구동 기구(110)를 미리 정해진 스트로크분 직동시킨다. 가이드 미끄럼 접촉체(121)를 유지하는 슬라이더 본체(122)의 후단 하면에는 연결 샤프트(126)가 연접되고, 이 연결 샤프트(126)에 베어링 축받이(12)를 통해 링크 아암(101)의 일단이 연결되어 있다[도 3의 (a)]. 한편, 슬라이더 본체(122) 선단에는 하방을 향해 미리 정해진 각도로 경사진 쐐기형 사면부(122a)가 형성되어 있다. 브래킷(127)을 통해 에어 실린더(112)의 피스톤 로드(113)의 신축 동작이 슬라이더 본체(122)에 전달된다. 한편, 에어 실린더(112)를 대신하여 전동 모터 등, 미리 정해진 변위 스트로크를 생성 가능한 각종의 구동원을 사용할 수 있다.

로크 해제부(130)는, 슬라이더 본체(122)의 사면부의 쐐기형 사면부(122a)와 대향하는, 경사진 쐐기형 사면부(132a)가 형성된 레버 유지체(132)와, 기판 수납 용기(1)의 걸림편(5)을 따라 연장되는 걸림 해제 레버(135)가 일체 연결된 구성으로 이루어진다. 레버 유지체(132)는 회동 지지축(133)을 통해 베이스 플레이트(7)의 하면에 회동 가능하게 유지되어 있다. 따라서, 후술하는 바와 같이, 레버 유지체(132)가 미리 정해진 각도만큼 회동하면 걸림 해제 레버(135)는 근원부를 중심으로 미리 정해진 각도만큼 회동한다[도 3의 (b)].

해제 레버 동작 기구(100)의 종동 기구(150)[이하, 간단히 종동 기구(150)라고 적음]의 구성에 대해, 도 1을 참조하여 설명한다. 본 실시형태에 있어서, 2대의 종동 기구(150)가, 도 1에 도시된 바와 같이, 2대의 대향 위치에 있는 구동 기구(110)를 연결한 선과 대략 직교하는 선 상에, 대향하여 배치되어 있다. 각 종동 기구(150)는, 도 2의 (a), 도 3의 (a)에 각각 도시된 구동 기구(110)와 상이하며, 에어 실린더(112)와 그 신축 동작을 슬라이드부(120)에 전달하는 브래킷(127)을 구비하지 않는다. 종동 기구(150)는, 다른 구성으로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 슬라이드부(160)의 직동 동작 상태를 검출하는 검출부(180)를 구비한다. 그 이외의 구성은 구동 기구(110)와 동일하다. 구동 기구(110)의 구동력은, 전술한 바와 같이, 구동 기구(110)의 슬라이더 본체(122)의 후단 하면에 연접된 링크 아암(101), 동기 링(11), 링크 아암(151)을 통해 종동 기구(150)에 전달된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 구동 기구(110)의 슬라이더 본체(122)의 외측으로 향하는 직동 동작에 연동해서 구동 기구(110)의 링크 아암(101)이 슬라이더 본체(122)의 이동에 추종하여, 동기 링(11)을 반시계 방향으로 회동시킨다. 이 동기 링(11)의 회동에 따라, 종동 기구(150)에 연결된 링크 아암(151)에 외측으로 향하는 동량의 변위가 전해지고, 링크 아암(151)은, 연결된 종동 기구(150)의 슬라이드부(160)를 가이드 바(155)를 따라 구동 기구(110)의 슬라이드량과 동량분만큼 외측으로 슬라이드시킨다.

이때, 2대의 종동 기구(150)의 슬라이드부(160)의 측부에는, 종동 기구(150)의 슬라이드 상태를 검지하는 검출부(180)가 구비되어 있다. 본 실시형태에서는, 위치 검출 센서(181)로서 마이크로 포토 센서가 탑재되어 있다. 종동 기구(150)의 슬라이드부(160)에 부착된 도그(dog; 182)의 위치를 검지하여, 슬라이드부(120, 160)의 위치, 걸림 해제 레버(135, 175)의 회동 상황, 즉 덮개(2)의 로크 상태, 언로크 상태를 검지할 수 있다.

여기서, 본 발명의 기판 수납 용기(1)의 로크 해제 기구(10)의 동작을, 기판 이송 장치의 베이스 플레이트(7) 상의 미리 정해진 위치에 세트된 기판 수납 용기(1)로부터 기판을 취출하는 동작을 예로, 도 2 내지 도 5를 참조하여 설명한다.

도 4의 (a)는 기판 수납 용기(1)가 기판 이송 장치 내의 베이스 플레이트(7) 상의 미리 정해진 위치에 배치된 상태를 도시하고 있다. 기판 수납 용기(1)의 4변은, 베이스 플레이트(7) 상에 세워져 설치된 가이드 블록(8)에 의해 규정되고, 기판 수납 용기(1)는 베이스 플레이트(7) 상의 미리 정해진 위치에 정확히 배치되어 있다. 이때, 기판 수납 용기(1)의 덮개(2)는 폐쇄된 상태에 있고, 도 3의 (a), 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이, 본체측의 걸림편(5)의 상단에 형성된 걸림 클로(5a)가, 덮개(2)의 개구의 걸림 덮개판(4)에 걸려 로크 상태가 유지되어 있다. 이 로크 상태를 해제하기 위해서, 에어 실린더(112)를 구동하여, 피스톤 로드(113)를 설정된 스트로크만큼 축퇴시킨다. 이에 따라, 슬라이드부(120)는, 도 2의 (b), 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 구동 기구(110)의 외측을 향해 슬라이드하고, 슬라이더 본체(122) 선단에 형성된 쐐기형 사면부(122a)가 로크 해제부(130)의 레버 유지체(132)의 쐐기형 사면부(132a)에 접촉하여, 레버 유지체(132)를 압박한다. 이에 의해 레버 유지체(132)는, 선단의 쐐기형 사면부(132a)가 들어 올려지도록 회동 지지축(133) 주위로 회동한다. 이 회동에 의해 걸림 해제 레버(135)도 일체가 되어 회동하여, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 걸림 해제 레버(135)는, 기판 수납 용기(1)의 걸림편(5)에 접촉하여, 걸림편(5)을 압박한다. 수지제의 가늘고 긴 판형 부재인 걸림편(5)은, 걸림 해제 레버(135)에 압박되어, 휘어짐 변형함으로써, 걸림 클로(5a)가 덮개(2)의 걸림 덮개판(4)으로부터 빠진다. 이 로크 해제 동작은, 동기 링(11)의 작용에 의해, 2대의 구동 기구(110)와 2대의 종동 기구(150)에 있어서 동시에 행해진다. 4개의 걸림 해제 레버(135, 175)가 각각 동량만큼 회동하여, 기판 수납 용기(1)의 덮개(2)의 4개의 걸림 클로(5a)의 로크는, 동시에 해제된다.

이 로크 해제 상태가 유지되는 동안, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 기판 이송 장치의 덮개 흡착 유지 기구(51)가 기판 수납 용기(1)의 상방으로부터 강하하여, 로크 해제 상태의 덮개(2)를 흡착하고, 상승하여 덮개(2)를 들어올린다. 그 후, 덮개 흡착 유지 기구(51)는, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 덮개(2)를 유지한 상태로 측방으로 퇴피한다. 이 상태에서 도시하지 않은 기판 반송 로봇에 의해, 기판 수납 용기(1) 내의 기판(9)이 미리 정해진 순서로 순차, 도시하지 않은 카세트로 이송된다. 이때, 기판 수납 용기(1)의 본체는, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 걸림편(5)이 걸림 해제 레버(135)에 의해 압박되어, 베이스 플레이트(7) 상에 고정 유지된 상태에 있다.

이상에서는, 기판 수납 용기(1)의 덮개(2)의 로크를 해제하여 덮개를 개방하고, 수용된 기판(9)을 연속해서 취출하는 동작을 설명하였으나, 취출 작업의 완료 후, 덮개 흡착 유지 기구(51)를 동작시켜, 덮개(2)가 다시 기판 수납 용기(1)의 본체를 덮도록 해도 좋다. 덮개(2)가 기판 수납 용기(1)의 본체를 덮은 것이 확인되면, 로크 해제 기구(10)의 에어 실린더(112)의 피스톤 로드(113)가 신장한다. 이에 의해 로크 해제 기구(10)의 걸림 해제 레버(135, 175)에 의한 기판 수납 용기(1)의 걸림편(5)의 로크 해제 상태가 해제되고, 걸림편(5)은 다시 초기 상태로 되돌아가서, 덮개(2)는 로크 상태가 된다.

본 발명의 로크 해제 기구(10)는, 구동 기구(110) 및 종동 기구(150)의 배치 위치, 링크 아암의 사이즈를 적절히 변경함으로써, 각종의 반도체 웨이퍼 등의 기판의 직경, 즉 각종의 기판 수납 용기(1)의 규격에 대응할 수 있다. 또한, 구동 기구(110), 종동 기구(150)를 조합하는 구동 형식으로서, 4개소의 로크 해제 기구(10)를 갖고, 1개의 구동 기구(110)로 3개소의 종동 기구(150)를 구동시키는 구동 형식, 2개소의 로크 해제 기구(10)를 갖고, 1개의 구동 기구(110)로 1개소의 종동 기구(150)를 구동시키는 구동 형식, 종동 기구(150)를 이용하지 않고 모든 로크 해제 기구(10)를 구동 기구(110)로 구동시키는 구동 형식 등을 적절히 설정할 수 있다. 또한, 구동 기구(110)와 종동 기구(150) 사이의 링크 기구로서는, 전술한 링크 아암(101, 151), 동기 링(11) 이외에도 동등한 변위의 전달이 가능한 링크 기구, 전달 기구를 이용할 수 있다.

한편, 본 발명은 전술한 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 각 청구항에 나타낸 범위 내에서의 여러 가지 변경이 가능하다. 즉, 청구항에 나타낸 범위 내에서 적절히 변경한 기술적 수단을 조합하여 얻어지는 실시형태도, 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

본 출원은, 2018년 3월 9일에 출원된, 일본국 특허 출원 특원 2018-042615호에 기초한다. 본 명세서 중에 일본국 특허 출원 특원 2018-042615호의 명세서, 특허청구의 범위, 도면 전체를 참조로서 받아들이는 것으로 한다.

1: 기판 수납 용기 2: 덮개
3: 로크용 걸림 구멍 5: 걸림편
7: 베이스 플레이트(대판) 10: 로크 해제 기구
11: 동기 링 100: 해제 레버 동작 기구
101, 151: 링크 아암 110: 구동 기구
112: 에어 실린더 115, 155: 가이드 바
120, 160: 슬라이드부 121: 가이드 미끄럼 접촉체
122: 슬라이더 본체 122a, 132a: 쐐기형 사면부
130: 로크 해제부 132: 레버 유지체
135, 175: 걸림 해제 레버 150: 종동 기구
180: 검출부

Claims

기판 수납 용기의 덮개를 로크하는 걸림 부재의 걸림을 해제하기 위해서 상기 기판 수납 용기를 배치하는 대판(臺板)의 하부에 구비된 기판 수납 용기의 로크 해제 기구로서,
상기 대판에 회동 가능하게 지지되고, 상기 대판에 형성된 개구를 통해 상기 기판 수납 용기의 하나의 걸림 부재 근방으로 연장되도록 설치되며, 회동하여 상기 걸림 부재를 외측으로 압박해서 상기 덮개의 로크를 해제하는 로크 해제 부재와, 직동(直動)하여 상기 로크 해제 부재를 미리 정해진 각도 회동시키는 슬라이드 부재와, 상기 슬라이드 부재에 미리 정해진 직동 동작을 입력하는 실린더를 포함한 구동 기구와,
상기 슬라이드 부재에 일단이 연접(連接)된 제1 링크 아암과,
상기 제1 링크 아암의 타단이 연접된 동기 링과,
상기 동기 링에 연접된 제2 링크 아암을 통해 상기 구동 기구의 슬라이드 부재와 동량의 슬라이드량이 입력되는 슬라이드 부재와, 상기 슬라이드 부재의 슬라이드 동작에 의해 회동하여, 상기 기판 수납 용기의 다른 걸림 부재를 외측으로 압박해서 상기 덮개의 로크를 해제하는 로크 해제 부재를 포함한 종동 기구
를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기의 로크 해제 기구.
제1항에 있어서, 상기 구동 기구의 슬라이드 부재는, 상기 대판 하면에 설치된 가이드 부재를 따라 미끄럼 접촉하는 가이드 미끄럼 접촉체와, 상기 실린더의 피스톤 로드로부터의 입력 동작을 받는 슬라이드 본체를 포함하고,
상기 구동 기구의 슬라이드 본체의 슬라이드 방향 선단에 쐐기형 사면부(斜面部)가 형성되며, 슬라이드해서 상기 구동 기구의 로크 해제 부재의 대향하는 쐐기형 사면부에 접촉하여, 상기 구동 기구의 로크 해제 부재를 미리 정해진 각도만큼 회동시키는 것인 기판 수납 용기의 로크 해제 기구.
제1항에 있어서, 상기 구동 기구와 상기 종동 기구의 로크 해제 부재는, 상기 대판에 회동 지지되고, 상기 구동 기구 또는 상기 종동 기구의 슬라이드 부재의 접촉에 의해 회동하는 레버 유지체와, 상기 레버 유지체와 일체적으로 회동하여 상기 걸림 부재를 압박하는 레버 부재를 포함하는 것인 기판 수납 용기의 로크 해제 기구.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 동기 링은, 상기 구동 기구의 슬라이드 부재의 슬라이드량에 따라 발생하는 상기 제1 링크 아암의 변위에 따라 미리 정해진 각도 회동하여, 상기 동기 링에 연접된 제2 링크 아암을 통해 상기 종동 기구에 상기 구동 기구의 슬라이드 부재와 동량의 슬라이드량을 입력하는 것인 기판 수납 용기의 로크 해제 기구.
제3항에 있어서, 상기 구동 기구와 상기 종동 기구의 로크 해제 부재의 레버 부재는, 상기 덮개가 제거된 동안, 상기 걸림 부재를 압박한 상태를 유지하여 상기 기판 수납 용기를 상기 대판 상에 고정 유지하는 것인 기판 수납 용기의 로크 해제 기구.
제1항에 있어서,
상기 구동 기구와 상기 종동 기구는 각각 2대 구비되고,
2대의 상기 구동 기구는 각각 상기 제1 링크 아암을 구비하고, 2대의 상기 종동 기구는 각각 상기 제2 링크 아암을 구비하며,
각각의 상기 제1 링크 아암과 각각의 상기 제2 링크 아암은 상기 동기 링에 교대로 연접되고,
상기 동기 링은 각각의 상기 제1 링크 아암의 변위에 따라 미리 정해진 각도로 회동하며, 미리 정해진 각도로 회동하는 것에 의해 각각의 상기 제2 링크 아암을 통해 각각의 상기 종동 기구를 동기하여 동작하는 것인 기판 수납 용기의 로크 해제 기구.
제1항에 있어서, 상기 종동 기구는, 상기 종동 기구의 슬라이드 부재의 위치 검출부가 설치되는 것인 기판 수납 용기의 로크 해제 기구.