JP2010129924A

JP2010129924A - カセットステージ

Info

Publication number: JP2010129924A
Application number: JP2008305637A
Authority: JP
Inventors: Noriyasu Shinozuka; 則保篠塚
Original assignee: Renesas Electronics Corp
Current assignee: Renesas Electronics Corp
Priority date: 2008-11-28
Filing date: 2008-11-28
Publication date: 2010-06-10

Abstract

【課題】簡単な構造でウェハカセットを適正に配置することができるカセットステージを提供する。
【解決手段】カセットステージ１００は、ウェハカセット２００が装填されていないとき、ガイド軸支機構１３１，１３２で回動自在に各々軸支されている左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とがガイド開放機構１４０により開放状態とされている。ウェハカセット２００が上方から装填されると、その自重により左下支持部材１１１と右下支持部材１２１とが下方に回動され、左側カセットガイド１１０の左側圧接部材１１２がウェハカセット２００の左側面に圧接されるとともに、右側カセットガイド１２０の右側圧接部材１２２がウェハカセット２００の右側面に圧接される。このため、左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とでウェハカセット２００を左右対称に保持することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、上方から装填されるウェハカセットを所定位置に保持するカセットステージに関する。

半導体集積回路の製造工程では、省力化や無塵化の目的でＡＧＶ(Automatic Guided Vehicle)やＳＭＩＦ（Standard Mechanical Interface）ローダーといった自動機械によるウェハカセット自動移載が良く行われている（例えば、特許文献１参照）。
特開平１１−３４０３００号公報

このようなウェハカセット自動移載装置では、搬送エラーが発生すると生産ラインが停止するため、搬送エラーは極力発生しないようにする必要がある。

しかしながら、特許文献１のウェハカセット自動移載装置では、ウェハカセットを載せるアーム側の停止精度の劣化や搬送アームの経時変化による変形などが発生すると、カセットステージにセットするウエハカセットのセット位置がずれてしまうという問題がある。

本発明のカセットステージは、上方から装填されるウェハカセットを所定位置に保持するカセットステージであって、上方から装填されるウェハカセットの下部左側を支持する左側カセットガイドと、上方から装填されるウェハカセットの下部右側を支持する右側カセットガイドと、左側カセットガイドと右側カセットガイドとをウェハカセットの保持位置に左右対称な位置で回動自在に各々軸支するガイド軸支機構と、ウェハカセットが装填されていない状態で左側カセットガイドと右側カセットガイドとを開放状態とするガイド開放機構と、を有し、左側カセットガイドは、ガイド軸支機構の軸支位置から右方に突出してウェハカセットの下部と当接する形状に形成されていて上方から装填されるウェハカセットの自重により下方に回動する左下支持部材と、左下支持部材と一体でガイド軸支機構の軸支位置から上方に突出した形状に形成されていて上方から装填されるウェハカセットの左側面を回動により圧接する左側圧接部材と、を有し、右側カセットガイドは、ガイド軸支機構の軸支位置から左方に突出してウェハカセットの下部と当接する形状に形成されていて上方から装填されるウェハカセットの自重により下方に回動する右下支持部材と、右下支持部材と一体でガイド軸支機構の軸支位置から上方に突出した形状に形成されていて上方から装填されるウェハカセットの右側面を回動により圧接する右側圧接部材と、を有する。

本発明によれば、本発明のカセットステージでは、ウェハカセットが装填されていないとき、ガイド軸支機構で回動自在に各々軸支されている左側カセットガイドと右側カセットガイドとがガイド開放機構により開放状態とされている。そして、ウェハカセットが上方から装填されると、その下部左側が左側カセットガイドの左下支持部材に上方から当接するとともに、その下部右側が右側カセットガイドの右下支持部材に上方から当接する。さらに、ウェハカセットの自重により左下支持部材と右下支持部材とが下方に回動されることにより、左側カセットガイドの左側圧接部材がウェハカセットの左側面に圧接されるとともに、右側カセットガイドの右側圧接部材がウェハカセットの右側面に圧接される。このため、左側カセットガイドと右側カセットガイドとでウェハカセットを左右対称に保持することができるので、ウェハカセットを自重により自動的に適正に配置することができる。

本発明によれば、ウェハカセットを自重により自動的に適正に配置することができるカセットステージが提供される。

本発明の実施の一形態を図１および図２を参照して以下に説明する。なお、本実施の形態では図示するように上下左右の方向を規定して説明する。ただし、その左右とは構成要素の相対関係を簡単に説明するために便宜的に規定するものである。従って、本発明を実施する装置の製造時や使用時の方向を限定するものではない。

本実施の形態のカセットステージ１００は、図１および図２に示すように、上方から装填されるウェハカセット２００を所定位置に保持する。このため、カセットステージ１００は、上方から装填されるウェハカセット２００の下部左側を支持する左側カセットガイド１１０と、上方から装填されるウェハカセット２００の下部右側を支持する右側カセットガイド１２０と、左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とをウェハカセット２００の保持位置に左右対称な位置で回動自在に各々軸支するガイド軸支機構１３１，１３２と、ウェハカセット２００が装填されていない状態で左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とを開放状態とするガイド開放機構１４０と、を有する。

左側カセットガイド１１０は、ガイド軸支機構１３１の軸支位置から右方に突出してウェハカセット２００の下部と当接する形状に形成されていて上方から装填されるウェハカセット２００の自重により下方に回動する左下支持部材１１１と、左下支持部材１１１と一体でガイド軸支機構１３１の軸支位置から上方に突出した形状に形成されていて上方から装填されるウェハカセット２００の左側面を回動により圧接する左側圧接部材１１２と、を有する。

右側カセットガイド１２０は、ガイド軸支機構１３２の軸支位置から左方に突出してウェハカセット２００の下部と当接する形状に形成されていて上方から装填されるウェハカセット２００の自重により下方に回動する右下支持部材１２１と、右下支持部材１２１と一体でガイド軸支機構１３２の軸支位置から上方に突出した形状に形成されていて上方から装填されるウェハカセット２００の右側面を回動により圧接する右側圧接部材１２２と、を有する。

ガイド開放機構１４０は、左側カセットガイド１１０の軸支位置から下方に突出している左側ウエイト部材１４１と、右側カセットガイド１２０の軸支位置から下方に突出している右側ウエイト部材１４２と、を有する。

本実施の形態のカセットステージ１００では、図１(ａ)に示すように、ウェハカセット２００が装填されていないとき、ガイド軸支機構１３１，１３２で回動自在に各々軸支されている左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とが、ガイド開放機構１４０の左側ウエイト部材１４１と右側ウエイト部材１４２との重量のため、開放状態とされている。

そして、ウェハカセット２００が上方から装填されると、その下部左側が左側カセットガイド１１０の左下支持部材１１１に上方から当接するとともに、その下部右側が右側カセットガイド１２０の右下支持部材１２１に上方から当接する。

さらに、図１(ｂ)に示すように、ウェハカセット２００の自重により左下支持部材１１１と右下支持部材１２１とが下方に回動されることにより、左側カセットガイド１１０の左側圧接部材１１２がウェハカセット２００の左側面に圧接されるとともに、右側カセットガイド１２０の右側圧接部材１２２がウェハカセット２００の右側面に圧接される。

このため、左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とでウェハカセット２００を左右対称に保持することができるので、図２に示すように、ウェハカセット２００を自重により自動的に適正に配置することができる。

従って、カセットステージ１００で保持されたウェハカセット２００から半導体ウェハを正確に搬出および搬入することができるので(図示せず)、半導体回路の製造の歩留りを向上させるようなことができる。

しかも、ウェハカセット２００が装填されていない状態で左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とを開放状態とするガイド開放機構１４０が、左側カセットガイド１１０の軸支位置から下方に突出している左側ウエイト部材１４１と、右側カセットガイド１２０の軸支位置から下方に突出している右側ウエイト部材１４２と、で形成されている。

このため、上述のようにウェハカセット２００が装填されたときには自動的に閉止状態となる左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とが、ウェハカセット２００が脱着されたときには左側ウエイト部材１４１と右側ウエイト部材１４２との重量により自動的に開放状態となる。

従って、電力を使用した駆動などを必要とすることなく、ウェハカセット２００と左側ウエイト部材１４１と右側ウエイト部材１４２との重量により、左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とを自動的に開放状態および閉止状態とすることができる。

なお、本発明は本実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、上記形態ではウェハカセット２００が装填されていない状態で左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とを開放状態とするガイド開放機構１４０が、左側カセットガイド１１０の左側ウエイト部材１４１と右側カセットガイド１２０の右側ウエイト部材１４２からなることを例示した。

しかし、図３に示すように、ウェハカセット２００が装填されていない状態で左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とを開放状態とするガイド開放機構１５０が、左側カセットガイド１１０の軸支位置から下方に突出している左側アーム部材１５１と、右側カセットガイド１２０の軸支位置から下方に突出している右側アーム部材１５２と、左側アーム部材１５１と右側アーム部材１５２との下端に張架されて張力を発生している伸縮自在な張力発生部材１５３と、を有してもよい。

この場合、左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０との軸支位置から下方に必要なスペースを削減することが可能となる。なお、上述のような張力発生部材１５３は、例えば、引張スプリングなどで形成することができる。

さらに、上記形態では左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０とが独立して回動することを例示した。しかし、図４に示すように、左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０との回動角度を回動規制機構１６０で左右対称に規制してもよい。

この回動規制機構１６０は、左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０との中央に位置し、スライドピン１６１を上下方向にスライド自在に支持しているスライドガイド１６２を有する。

そして、左側カセットガイド１１０は、ガイド軸支機構１３１の軸支位置から右方に左側リンク部材１６３が一体に突設されており、この左側リンク部材１６３の右端に形成されている長穴にスライドピン１６１がスライド自在に係合している。

同様に、右側カセットガイド１２０は、ガイド軸支機構１３２の軸支位置から左方に右側リンク部材１６４が一体に突設されており、この右側リンク部材１６４の左端に形成されている長穴にスライドピン１６１がスライド自在に係合している。

この場合、回動規制機構１６０により左側カセットガイド１１０と右側カセットガイド１２０との回動角度が左右対称に規制される。このため、ウェハカセット２００の装填位置が左右に変位したような場合でも、そのウェハカセット２００を確実に適正な位置に保持することができる。

なお、当然ながら、上述した実施の形態および複数の変形例は、その内容が相反しない範囲で組み合わせることができる。また、上述した実施の形態および変形例では、各部の構造などを具体的に説明したが、その構造などは本願発明を満足する範囲で各種に変更することができる。

本発明の実施の形態のカセットステージの要部の動作を示す模式的な正面図である。カセットステージでウェハカセットが保持された状態を示す斜視図である。一の変形例のカセットステージの要部の動作を示す模式的な正面図である。他の変形例のカセットステージの要部の動作を示す模式的な正面図である。

符号の説明

１００カセットステージ
１１０左側カセットガイド
１１１左下支持部材
１１２左側圧接部材
１２０右側カセットガイド
１２１右下支持部材
１２２右側圧接部材
１３１ガイド軸支機構
１３２ガイド軸支機構
１４０ガイド開放機構
１４１左側ウエイト部材
１４２右側ウエイト部材
１５１左側アーム部材
１５２右側アーム部材
１５３張力発生部材
１６０回動規制機構
１６１スライドピン
１６２スライドガイド
１６３左側リンク部材
１６４右側リンク部材
２００ウェハカセット

Claims

上方から装填されるウェハカセットを所定位置に保持するカセットステージであって、
上方から装填される前記ウェハカセットの下部左側を支持する左側カセットガイドと、
上方から装填される前記ウェハカセットの下部右側を支持する右側カセットガイドと、
前記左側カセットガイドと前記右側カセットガイドとを前記ウェハカセットの保持位置に左右対称な位置で回動自在に各々軸支するガイド軸支機構と、
前記ウェハカセットが装填されていない状態で前記左側カセットガイドと前記右側カセットガイドとを開放状態とするガイド開放機構と、
を有し、
前記左側カセットガイドは、前記ガイド軸支機構の軸支位置から右方に突出して前記ウェハカセットの下部と当接する形状に形成されていて上方から装填される前記ウェハカセットの自重により下方に回動する左下支持部材と、
前記左下支持部材と一体で前記ガイド軸支機構の軸支位置から上方に突出した形状に形成されていて上方から装填される前記ウェハカセットの左側面を前記回動により圧接する左側圧接部材と、を有し、
前記右側カセットガイドは、前記ガイド軸支機構の軸支位置から左方に突出して前記ウェハカセットの下部と当接する形状に形成されていて上方から装填される前記ウェハカセットの自重により下方に回動する右下支持部材と、
前記右下支持部材と一体で前記ガイド軸支機構の軸支位置から上方に突出した形状に形成されていて上方から装填される前記ウェハカセットの右側面を前記回動により圧接する右側圧接部材と、
を有するカセットステージ。
前記ガイド開放機構は、前記左側カセットガイドの前記軸支位置から下方に突出している左側ウエイト部材と、前記右側カセットガイドの前記軸支位置から下方に突出している右側ウエイト部材と、を有する請求項１に記載のカセットステージ。
前記ガイド開放機構は、前記左側カセットガイドの前記軸支位置から下方に突出している左側アーム部材と、前記右側カセットガイドの前記軸支位置から下方に突出している右側アーム部材と、前記左側アーム部材と前記右側アーム部材との下端に張架されて張力を発生している伸縮自在な張力発生部材と、を有する請求項１に記載のカセットステージ。
前記左側カセットガイドと前記右側カセットガイドとの回動角度を左右対称に規制する回動規制機構を、さらに有する請求項１ないし３の何れか一項に記載のカセットステージ。