KR20080015621A - 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 - Google Patents

반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 Download PDF

Info

Publication number
KR20080015621A
KR20080015621A KR1020060077201A KR20060077201A KR20080015621A KR 20080015621 A KR20080015621 A KR 20080015621A KR 1020060077201 A KR1020060077201 A KR 1020060077201A KR 20060077201 A KR20060077201 A KR 20060077201A KR 20080015621 A KR20080015621 A KR 20080015621A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
latch
test tray
guide hole
handler
latches
Prior art date
Application number
KR1020060077201A
Other languages
English (en)
Inventor
박성문
Original Assignee
미래산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미래산업 주식회사 filed Critical 미래산업 주식회사
Priority to KR1020060077201A priority Critical patent/KR20080015621A/ko
Publication of KR20080015621A publication Critical patent/KR20080015621A/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433Sockets for IC's or transistors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601Apparatus or methods therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67333Trays for chips

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이에 관한 것으로, 테스트 트레이에 충격이 가해질 때 반도체 소자를 고정하는 랫치가 쉽게 회전하여 반도체 소자가 이탈되는 것을 방지하도록 된 것이다.
이를 위한 본 발명은, 반도체 소자가 안착되는 복수개의 포켓부와; 일단부가 상기 각 포켓부에 안착된 반도체 소자를 고정하는 제 1위치와, 반도체 소자의 고정 상태를 해제하는 제 2위치로 이동가능하도록 상기 각 포켓부의 양측에 설치되는 복수개의 랫치와; 상기 각 랫치의 외측부에 상하로 이동 가능하게 설치되며, 상기 랫치의 외측부에 힌지 결합되어, 외력에 의해 상하로 이동하면서 상기 랫치를 회동시키는 작동버튼과; 상기 작동버튼을 탄성적으로 지지하는 탄성부재와; 상기 각 랫치에 외측으로 상향 경사지게 형성된 장공 형태의 가이드홀과; 상기 가이드홀 내측에 고정되게 삽입되어, 랫치의 회전 운동을 안내하는 고정핀을 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이를 제공한다.
테스트 트레이, 캐리어, 포켓부, 랫치

Description

반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이{Test Tray for Handler for Testing Semiconductors}
도 1은 종래의 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이의 일례를 나타낸 요부 단면도
도 2는 도 1의 테스트 트레이의 랫치가 개방 작동된 상태를 나타낸 요부 단면도
도 3은 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이의 일실시예의 구성을 나타낸 정면도
도 4는 본 발명에 따른 테스트 트레이의 구조를 나타낸 요부 단면도
도 5는 도 4와 유사한 도면으로, 본 발명에 따른 테스트 트레이의 랫치가 개방 작동된 상태를 나타낸 요부 단면도
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 테스트 트레이 110 : 프레임
120 : 포켓부 130 : 랫치
131 : 힌지핀 132 : 가이드홀
140 : 고정블록 142 : 체결홀
145 : 고정핀 150 : 작동버튼
152 : 압축스프링
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자를 반송하는 테스트 트레이에 설치되어 반도체 소자를 홀딩하는 캐리어 모듈에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하된다.
핸들러는 상기와 같은 반도체 소자 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치이다. 이러한 핸들러에서는 작업자가 테스트할 반도체 소자를 수납한 트레이들을 핸들러의 로딩스택커에 적재하고, 로딩스택커의 반도체 소자들을 내열성을 가진 별도의 테스트 트레이로 옮겨 재장착한 후, 이 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이를 테스트 사이트(test site)로 보내어 테스트를 수행한다. 상기 테스트 사이트에서는 반도체 소자들의 리드 또는 볼 부분을 테스트 소켓의 컨넥터에 전기적으로 접속시켜 소정의 전기적 테스트를 하게 된다. 그런 다음, 핸들러는 테스트가 완료된 테스트 트레이의 반도체 소자들을 분리하여 언로딩스택커의 고객 트레이에 테스트 결과에 따라 분류 장착하는 과정으로 테스트를 수행한다.
상기와 같은 핸들러에서 반도체 소자를 반송하는 테스트 트레이는 반도체 소 자를 테스트 소켓의 피치와 동일한 피치로 정렬하여 고정하기 위한 복수개의 캐리어 모듈을 구비한다.
대한민국 특허 출원번호 2005-0015870호(2005년 2월 25일 출원)에는 테스트 트레이의 프레임에 캐리어 모듈의 포켓부 내의 반도체 소자를 고정 및 해제하는 랫치가 구성된 '반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이가 개시되어 있다.
도 1과 도 2는 상기 종래의 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이의 구조를 나타낸다.
상기 테스트 트레이(10)는 반도체 소자가 안착되는 복수개의 포켓부(12)와, 이들 각각의 포켓부(12)의 양측에 상하로 선회하면서 포켓부(12)에 안착된 반도체 소자를 고정 및 해제하는 한 쌍의 랫치(13)를 구비한다.
상기 랫치(13)는 랫치 작동버튼(15)과 힌지 결합되어, 외부에서 상기 랫치 작동버튼을 가압하는 힘에 의해 강제로 회동하면서 포켓부(12)를 개방된 상태, 즉 반도체 소자(D)를 해제하는 상태로 된다.
또한, 상기 랫치(13)에는 장공형의 가이드홀(17)이 외측방향으로 하향 경사지게 형성되고, 이 가이드홀(17) 내측에 랫치(13)의 회동을 안내하는 고정핀(18)이 고정된다.
따라서, 도 2에 도시된 것과 같이 외부에서 상기 랫치 작동버튼(15)을 누르면 상기 랫치(13)의 가이드홀(17)이 고정핀(18)에 의해 안내되면서 랫치(13)가 상측으로 회동하게 되고, 포켓부(12)가 개방된 상태로 된다.
반대로, 상기 랫치 작동버튼(15)을 누르던 힘을 제거하면, 도 1에 도시된 것 과 같이 상기 랫치 작동버튼(15)이 스프링(16)과 같은 탄성부재에 의해 원래 상태로 복원된다. 이 때, 상기 랫치(13) 역시 그의 가이드홀(17)이 고정핀(18)의 안내를 받으면서 하측으로 회동하여 포켓부(12) 상의 반도체 소자(D)를 고정할 수 있는 상태로 된다.
그런데, 상기와 같은 종래의 테스트 트레이는 다음과 같은 문제점을 가지고 있다.
주지하는 바와 같이, 테스트 트레이는 포켓부에 반도체 소자를 고정한 상태에서 핸들러의 여러 공정 위치로 반송되고 각 공정 위치에서 소정의 작업이 수행된다. 예를 들어, 테스트 트레이는 핸들러의 테스트 사이트(test site)로 반송되고, 이 위치에서 콘택트 프레스유닛(contact press unit)에 의해 테스트 트레이의 반도체 소자가 테스트 헤드의 소켓에 소정의 압력으로 접속되어 테스트가 이루어진다.
이 때, 상기 테스트 트레이의 반도체 소자가 테스트 헤드에 접속되어 있다가 다시 분리되는 과정에서 테스트 트레이에 외부적인 충격이 가해질 수 있다. 이 경우 외부 충격에 의해 포켓부(12) 내의 반도체 소자(D)가 도 1의 화살표로 도시된 것처럼 포켓부(12)의 외측 방향으로 힘을 받게 되고, 이에 따라 랫치(13)를 외측으로 밀어내는 힘을 발생시킨다.
이 때, 상기 랫치(13)의 가이드홀(17)은 고정핀(18)에 대해 외측으로 하향 경사지게 되어 있으므로 랫치(13)는 적은 힘으로도 상측으로 회전하게 되고, 이에 따라 반도체 소자(D)가 포켓부(12) 외측으로 이탈하게 되는 문제가 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 테스트 트레이에 외부로부터 충격이 가해지더라도 랫치가 쉽게 회전하지 않고 포켓부 내의 반도체 소자를 고정시킨 상태를 안정적으로 유지하고, 이로써 외부 충격에 의해 반도체 소자가 테스트 트레이로부터 이탈하는 방지할 수 있는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 반도체 소자가 안착되는 복수개의 포켓부와; 일단부가 상기 각 포켓부에 안착된 반도체 소자를 고정하는 제 1위치와, 반도체 소자의 고정 상태를 해제하는 제 2위치로 이동가능하도록 상기 각 포켓부의 양측에 설치되는 복수개의 랫치와; 상기 각 랫치의 외측부에 상하로 이동 가능하게 설치되며, 상기 랫치의 외측부에 힌지 결합되어, 외력에 의해 상하로 이동하면서 상기 랫치를 회동시키는 작동버튼과; 상기 작동버튼을 탄성적으로 지지하는 탄성부재와; 상기 각 랫치에 외측으로 상향 경사지게 형성된 장공 형태의 가이드홀과; 상기 가이드홀 내측에 고정되게 삽입되어, 랫치의 회전 운동을 안내하는 고정핀을 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이를 제공한다.
이하, 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이의 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 도 3에 도시된 것과 같이, 본 발명의 테스트 트레이(100)는, 금속 재 질의 프레임(110)과, 상기 프레임(110)에 4열로 일정 간격 배치된 복수개의 포켓부(120)와, 상기 각 포켓부(120)의 양측부 외측에 상호 대향되게 설치되어 포켓부(120)에 안착되는 반도체 소자를 고정 및 해제하는 한 쌍의 랫치(130)와, 상기 프레임(110)에 고정되게 설치되어 상기 각 랫치(130)를 작동시키는 랫치 작동부재로 구성된다.
여기서, 상기 랫치(130)는 상기 포켓부(120)와 개별체로 된 랫치 작동부재에 선회 가능하게 설치되어, 상기 랫치 작동부재의 작동버튼(150)과 연동하여 회동하면서 포켓부(120)의 반도체 소자를 고정 및 해제하도록 되어 있다.
상기 랫치 작동부재는 상기 테스트 트레이의 프레임(110)에 고정되게 결합되는 고정블록(140)과, 상기 고정블록(140)에 상하로 직선 운동 가능하게 설치된 작동버튼(150)과, 상기 랫치(130)를 작동버튼(150)의 하측에 회동가능하게 연결하는 힌지핀(131)으로 구성된다.
여기서, 상기 작동버튼(150)은 상기 고정블록(140)에 상측으로 개방되게 형성된 수용홈(143) 내측에 상하로 이동 가능하게 설치되며, 양측부가 압축스프링(152)에 의해 상측으로 탄발 지지되도록 되어 있다.
또한, 상기 랫치(130)에는 장공형의 가이드홀(132)이 외측으로 갈수록 상향 경사지게 형성되고, 상기 고정블록(140)에는 상기 가이드홀(132) 내에 삽입되어 랫치(130)의 회동을 안내하는 고정핀(145)이 고정되게 결합된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 테스트 트레이의 작동에 대해 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 4에 도시된 것과 같이, 작동버튼(150)에 외력이 가해지지 않은 상태에서는 압축스프링(152)의 탄성력에 의해 작동버튼(150)이 상측으로 편향력을 받는다. 따라서, 랫치(130)의 끝단부는 포켓부(120)의 내측으로 회동되어 안착홈(122) 내에 안착된 반도체 소자(D)를 가압하는 상태로 되므로, 반도체 소자(D)는 포켓부(120) 내측에 고정된다.
이 때, 상기 고정핀(145)은 상기 랫치(130)의 가이드홀(132)의 내측단에 위치하게 된다.
이 상태에서 도 5에 도시된 것과 같이, 테스트 트레이(100)의 외측에서 작동버튼(50)을 가압하는 외력이 작용하면, 작동버튼(150)이 하강하게 되고, 랫치(130)가 힌지핀(131)을 중심으로 회동하게 된다.
이 때, 상기 랫치(130)의 가이드홀(132)에 고정핀(145)이 삽입되어 있으므로, 랫치(130)는 가이드홀(132)이 고정핀(145)의 안내를 받아 자연스럽게 선회하면서 벌어지게 된다.
상기 랫치(130)가 완전히 회전하면, 반도체 소자(D)의 고정 상태가 해제되고, 포켓부(120)의 안착홈(122) 내,외측으로 반도체 소자가 자유롭게 출입할 수 있게 된다.
이후, 상기 작동버튼(150)을 누르던 외력이 제거되면, 작동버튼(150)은 압축스프링(152)의 탄성력에 의해 상승하게 되고, 랫치(130)는 전술한 것과는 반대로 회동하여 도 4에 도시된 것과 같이 그 끝단부가 포켓부(120)의 반도체 소자(D)를 가압할 수 있는 상태로 된다.
한편, 상기 테스트 트레이(100)에 외부적인 충격이 가해지거나 다른 요인으로 인하여 상기 랫치(130)가 반도체 소자(D)를 고정한 상태에서 반도체 소자(D)에 포켓부(120)의 상측 방향으로 힘이 가해져 도 4에 화살표로 도시된 것과 같이 랫치(130)의 내측단부를 들어 올리는 힘이 발생할 경우, 랫치(130)의 가이드홀(132)의 내주면 하측이 고정핀(145)에 접촉하여 저항을 받게 된다. 이에 따라 랫치(130)는 그 회전이 저지되어 고정 상태를 그대로 유지하게 된다.
물론, 랫치(130)의 내측 단부에 가해지는 힘이 어느 정도 이상이 되면 랫치(130)의 가이드홀(132)이 고정핀(145)을 타고 미끄러지면서 랫치(130)가 회동하게 되나, 통상적인 충격 등에 의해서는 랫치(130)의 회전 운동은 일어나지 않는다.
또한, 상기와 같이 반도체 소자(D)를 통해 랫치(130)의 내측단부에 힘이 가해질 경우에는 랫치(130)의 회전은 제한되지만, 상기 작동버튼(150)을 통해 랫치(130)의 외측부에 아래쪽으로 힘이 가해질 경우에는 가이드홀(132)의 내주면 상측이 고정핀(145)에 의해 저지되지 않고 자연스럽게 타고 넘어가게 되므로 랫치(130)가 부드럽게 회전하게 된다.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 랫치의 가이드홀이 외측으로 상향 경사지게 형성되고, 랫치가 반도체 소자를 고정한 상태에서 랫치의 가이드홀의 내측단부에 고정핀이 위치하게 되므로, 외부 충격 등에 의해 반도체 소자를 통해 랫치의 내측단부를 들어 올리려는 힘이 발생하여도 랫치가 회전하지 않게 된다.
따라서, 반도체 소자가 테스트 트레이로부터 의도하지 않게 이탈되는 것이 방지되는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 반도체 소자가 안착되는 복수개의 포켓부와;
    일단부가 상기 각 포켓부에 안착된 반도체 소자를 고정하는 제 1위치와, 반도체 소자의 고정 상태를 해제하는 제 2위치로 이동가능하도록 상기 각 포켓부의 양측에 설치되는 복수개의 랫치와;
    상기 각 랫치의 외측부에 상하로 이동 가능하게 설치되며, 상기 랫치의 외측부에 힌지 결합되어, 외력에 의해 상하로 이동하면서 상기 랫치를 회동시키는 작동버튼과;
    상기 작동버튼을 탄성적으로 지지하는 탄성부재와;
    상기 각 랫치에 외측으로 상향 경사지게 형성된 장공 형태의 가이드홀과;
    상기 가이드홀 내측에 고정되게 삽입되어, 랫치의 회전 운동을 안내하는 고정핀을 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 랫치가 반도체 소자를 고정한 상태에서 상기 고정핀은 상기 가이드홀의 내측 단부에 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이.
KR1020060077201A 2006-08-16 2006-08-16 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이 KR20080015621A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060077201A KR20080015621A (ko) 2006-08-16 2006-08-16 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060077201A KR20080015621A (ko) 2006-08-16 2006-08-16 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080015621A true KR20080015621A (ko) 2008-02-20

Family

ID=39384036

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060077201A KR20080015621A (ko) 2006-08-16 2006-08-16 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080015621A (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100984425B1 (ko) * 2008-12-03 2010-09-30 윤점채 반도체 장비의 네스팅 테이블
KR101357396B1 (ko) * 2013-10-10 2014-02-05 이우교 반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 캐리어 모듈
KR20170033131A (ko) * 2015-09-16 2017-03-24 (주)테크윙 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 반도체소자 테스트용 핸들러
KR20220063137A (ko) * 2015-11-06 2022-05-17 (주)테크윙 전자부품 이동장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100984425B1 (ko) * 2008-12-03 2010-09-30 윤점채 반도체 장비의 네스팅 테이블
KR101357396B1 (ko) * 2013-10-10 2014-02-05 이우교 반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 캐리어 모듈
KR20170033131A (ko) * 2015-09-16 2017-03-24 (주)테크윙 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 반도체소자 테스트용 핸들러
KR20220063137A (ko) * 2015-11-06 2022-05-17 (주)테크윙 전자부품 이동장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1907868B1 (en) Integrated circuit test socket
KR100682543B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
US7393232B2 (en) Socket for electrical parts
JP2006294308A (ja) 電気部品用ソケット
US7235991B2 (en) Insert having independently movable latch mechanism for semiconductor package
US7253653B2 (en) Test tray for handler for testing semiconductor devices
JP4813567B2 (ja) 高温両端開放型ゼロ挿入力(zif)試験ソケット
KR100792729B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
KR100792730B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
KR100707241B1 (ko) 반도체 패키지 수납용 인서트
US6873169B1 (en) Carrier module for semiconductor device test handler
JP2020017455A (ja) 半導体用icソケット
KR20080015621A (ko) 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이
KR100610779B1 (ko) 반도체 소자 테스트용 핸들러의 테스트 트레이
KR100795490B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
KR100610778B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
KR100739475B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
KR100577756B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
KR100570201B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
US6767236B2 (en) Socket for electrical parts
JP4044063B2 (ja) 半導体素子テストハンドラ用キャリアモジュール
KR20070080893A (ko) 가이드 레치를 갖는 반도체 패키지용 인서트
KR101028774B1 (ko) 테스트 트레이 랫치 해제 유닛
KR100551993B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
KR100502052B1 (ko) 캐리어 모듈

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination