JPH0724560U - ワーク吸着具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワークの吸着時に、吸着パッドのスカート部
が撓むのに伴ってうねり変形することによるワークの吸
着位置ズレを簡単な機構で防ぐ。 【構成】 吸着パッド１のスカート部１ａを撓み変形さ
せてワークを吸着する治具で、スカート部１ａの円周と
平行位置する縁端面２ａを有し、その縁端面２ａを吸着
パッド１によるワーク吸着面に位置決め当接させる枠部
２を備え、スカート部１ａの先端側を少なくともワーク
吸着に要する撓み許容間隔分だけ枠部２の縁端面２ａよ
り離間位置させて、吸着パッド１を枠部２の内側に支軸
３で一体に軸受け固定した。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、薄膜ウェハーやフロッピーデスクの如きワークを吸持する治具とし て用いられるワーク吸着具の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、薄膜ウェハーやフロッピーデスクの如きワークを吸持する治具の大表 例として、スカート部を撓み変形させてワークを吸着するゴム系の吸着パッドが 用いられている。

【０００３】 然し、この吸着パッドではスカート部をワークの吸着面に位置決め当接させて スカート部を支軸側から押圧すると、そのスカート部が撓むのに伴ってうねり変 形することによりワークの吸着位置ズレが生じ易い。このため、その吸着パッド で吸持したワークを次の所定位置に持運び載置する等の際に位置ズレが生じ、当 該ワークに対する的確な処理が施せない等の事態が生ずる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、ワークの吸着時に吸着パッドのスカート部が撓むのに伴ってうねり 変形することによるワークの吸着位置ズレを簡単な機構で防げるよう改良したワ ーク吸着具を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案に係るワーク吸着具は吸着パッドのスカート部を撓み変形させてワーク を吸着する治具で、スカート部の円周と平行位置する縁端面を有し、その縁端面 を吸着パッドによるワーク吸着面に位置決め当接させる枠部を備え、スカート部 の先端側を少なくともワーク吸着に要する撓み許容間隔分だけ枠部の縁端面より 離間位置させて、吸着パッドを枠部の内側に支軸で一体に軸受け固定することに より構成されている。

【０００６】

【作用】

このワーク吸着具ではワークを吸着するべく、吸着パッドのスカート部をワー クの吸着面に位置決め当接させてスカート部を支軸側から押圧すると、そのスカ ート部が撓み変形し、ワークを吸持するのに伴って、枠部の縁端面がワークの吸 着面に直ちに当接するから、この枠部がワークの吸着面に対する全体の位置決め 作用を発揮することにより、スカート部がうねり変形することによるワークの吸 着位置ズレを確実に防止することができる。

【０００７】

【実施例】

以下、添付図面を参照して説明すれば、図中、符号１はスカート部１ａを有す る吸着パッド、２は枠部、３は支軸を示す。

【０００８】 吸着パッド１はゴム系の軟質弾性材料で形成され、スカート部１ａと共に支軸 ３を軸止めするボス部１ａが一体に形成されている。枠部２は、ポリテトラフル エチレン（商品名：ジュラコン、デュポン社製）等の樹脂を用いて形成するとよ い。図１で示す枠部２は、有底の円筒形のものに形成されている。この他に、ド ーム型やフォーク状の周回りを有する枠状に形成することもできる。その枠部２ は縁端面２ａがワークの吸着面に当接するよう吸着パッド１の円周と平行に位置 され、基部２ｂには支軸３の軸部を挿通する軸受け孔２ｃが設けられている。支 軸３は、枠部２の基部２ｂより内側略中央に挿通されている。この枠部２の内側 に挿通された軸端側にはボス部１ｂをはめ込み固定することにより吸着パッド１ が取り付けられ、外方に突出位置する軸端側は吸着具の装備機器に取り付けるよ うねじ４で枠部２に固定されている。

【０００９】 吸着パッド１は、スカート部１ａの先端側を少なくともワーク吸着に要する撓 み許容間隔分だけ枠部２の縁端面２ａより離間位置させて、枠部２の内側に支軸 ３で一体に軸受け固定されている。その撓み許容分はスカート部１ａの先端側を 枠部２の縁端面２ａよりワーク吸着に要する撓み寸法分ａ1 だけ外方に突出位置 させ、また、図２でも示す如くスカート部１ａがワーク吸着で撓み変形すること による広がり寸法分ａ2 だけ枠部２の縁内面から離間位置することにより取り付 けられている。具体的には、吸着パッド１のスカート外周で直径２８mm，枠部２ の内周縁で直径３２mmの大きさのものであると、突出寸法ａ1 を１〜２mm，広が り寸法ａ2 を２mm程度取ればよい。唯、これは一例を示すものであり、吸着パッ ド１の大きさに応じて適宜設定すればよい。

【００１０】 このように構成するワーク吸着具では薄膜ウェハーやプロッピーデスク等のワ ークを吸着するべく、吸着パッド１のスカート部１ａをワークの吸着面に位置決 め当接させてスカート部１ａを支軸３側より押圧するよう操作する。それに伴っ て、スカート１ａが撓み変形することによりワークを吸持すると、枠部２の縁端 面２ａがワークの吸着面に直ちに当接することから、この枠部２がワークの吸着 面に対する全体の位置決め作用を発揮する。従って、吸着パッド１はスカート部 １ａをうねらすよう変形することがなく、ワークに対する吸着位置ズレを確実に 防止することができる。また、その吸着パッド１並びに枠部２の材質から、１５ ０℃程度の高温に帯熱されたワークであっても適用でき、金属チャック等で挟持 するのと違ってワークを傷付けることもない。なお、上述した実施例ではワーク として薄膜ウェハーやプロッピーデスク等を例示したが、これ以外に各種の物品 に適用することができる。

【００１１】

【考案の効果】

以上の如く、本考案に係るワーク吸着具に依れば、ワークを吸着パッドで正確 に位置決めさせて吸持でき、また、ワークを傷付けるのも防ぐようにできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るワーク吸着具を側断面で示す説明
図である。

【図２】同吸着具を吸着パッドのスカート部側から平面
で示す説明図である。

【符号の説明】

１ 吸着パッド １ａ 吸着パッドのスカート部 ２ 枠部 ２ａ 枠部の縁端面 ３ 支軸 ａ1 ，ａ2 スカート部の撓み許容間隔

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】吸着パッドのスカート部を撓み変形させて
   ワークを吸着する治具であって、スカート部の円周と平
   行位置する縁端面を有し、その縁端面を吸着パッドによ
   るワーク吸着面に位置決め当接させる枠部を備え、スカ
   ート部の先端側を少なくともワーク吸着に要する撓み許
   容間隔分だけ枠部の縁端面より離間位置させて、吸着パ
   ッドを枠部の内側に支軸で一体に軸受け固定したことを
   特徴とするワーク吸着具。