KR20180077556A - 도어 고정 유닛 및 이를 갖는 도어 이송 장치 - Google Patents

도어 고정 유닛 및 이를 갖는 도어 이송 장치 Download PDF

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KR20180077556A
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Abstract

도어 고정 유닛은 몸체부와, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부 및 상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함한다. 따라서, 상기 도어 고정 유닛은 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 신속하고 정확하게 확인할 수 있다.

Description

도어 고정 유닛 및 이를 갖는 도어 이송 장치{Unit for fixing a door and apparatus for transferring a door having the unit}
본 발명은 도어 고정 유닛 및 이를 갖는 도어 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어를 고정하는 도어 고정 유닛 및 이를 갖는 도어 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자 제조 공정은 웨이퍼를 대상으로 사진, 식각, 확산, 증착 및 금속 공정 등의 다양하게 이루어지는 단위 공정을 반복적으로 수행하여 이루어진다. 각 단위 공정에서는 웨이퍼를 다수 적재된 웨이퍼 이송 용기를 이용하여 웨이퍼를 이동하거나 상기 웨이퍼 이송 용기에 수납된 상태로 각 공정에 투입한다.
상기 웨이퍼 이송 용기의 예로는 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)와 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod)를 들 수 있다. 상기 웨이퍼 이송 용기는 EFEM(Equipment Front End Module)이나 스토커(Stocker)의 로드 포트에 안착된다.
상기 웨이퍼 이송 용기는 일측이 개방되어 있고, 상기 개방된 일측을 도어로 개폐한다. 상기 웨이퍼 이송 용기의 도어를 자동으로 개폐하기 위해 작업자가 상기 도어를 수작업으로 공급한다. 또한, 작업자가 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 육안으로 확인한다.
상기 도어를 작업자가 수작업으로 공급하므로, 상기 도어를 공급하는데 많은 시간이 소요되며, 작업자의 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 실수로 확인하지 못하거나 잘못 확인할 가능성이 존재한다.
본 발명은 일측이 개방된 웨이퍼 이송 용기를 개폐하기 위한 도어를 자동으로 공급하기 위해 상기 도어를 고정하면서 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지할 수 있는 도어 고정 유닛을 제공한다.
본 발명은 상기 도어 고정 유닛을 갖는 도어 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 도어 고정 유닛은 몸체부, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부 및 상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 감지부는, 상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제1 로드를 가지며, 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면 상방 일측에 형성된 제1 홈 또는 돌기를 감지하는지 여부에 따라 상기 도어의 배치 방향을 확인하는 제1 스케일 실린더 및 상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제2 로드를 가지며, 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면에서 상기 래치홀의 일측에 형성된 제2 홈을 감지하는지 여부에 따라 상기 래치의 개폐 상태를 확인하는 제2 스케일 실린더를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 스케일 실린더는 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 로드가 상기 제1 홈의 저면 또는 상기 돌기와 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제1 홈 또는 돌기를 감지하고, 상기 제2 스케일 실린더는 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 로드가 상기 제2 홈의 저면과 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제2 홈을 감지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 감지부의 감지 결과, 상기 도어 배치 방향이 불량이고 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 도어의 배치 방향을 변경하기 위해 상기 몸체부는 회전 가능하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 고정 유닛은 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 진공 흡착부와 상기 도어가 접촉할 때 상기 도어에 가해지는 충격을 완충하기 위한 탄성부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 도어 이송 장치는 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어들이 상하로 적재되는 도어 적재부와, 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어가 로딩되는 정상 도어 로딩부와, 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어가 로딩되는 불량 도어 로딩부와, 몸체부와, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부 및 상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함하고, 상기 도어 적재부의 도어들을 상기 정상 도어 로딩부 또는 상기 불량도어 로딩부로 이송하는 도어 고정 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 고정 유닛은 상기 도어 감지부의 감지 결과 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우 상기 도어 적재부의 도어들을 상기 정상 도어 로딩부로 이송하고, 상기 도어 감지부의 감지 결과 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태 중 어느 하나가 불량인 경우 상기 도어 적재부의 도어들을 상기 불량 도어 로딩부로 이송할 수 있다.
본 발명의 도어 고정 유닛은 도어 감지부를 이용하여 진공 흡착부에 흡착된 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지할 수 있다. 따라서, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 정확도도 높일 수 있다.
본 발명의 도어 이송 장치는 상기 도어 적재부의 도어들을 이송하는 도중에 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하여 정상 도어 로딩부 또는 불량 도어 로딩부로 구분하여 이송한다. 따라서, 상기 도어 이송 장치는 신속하고 정확하게 상기 도어들을 이송할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 고정 유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 도어 고정 유닛 및 이를 갖는 도어 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 고정 유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 1을 참조하면, 도어 고정 유닛(100)은 웨이퍼 이송 용기(미도시)의 개방된 일측을 개폐하기 위해 도어(10)를 투입할 때 도어(10)를 고정한다.
도어(10)는 외측면에 래치홀(12)을 갖는다. 래치홀(12)은 도어(10)의 외측면 중앙 부위에 좌우로 배치된다. 래치홀(120)은 도어(10) 내부의 래치(미도시)를 회전시키기 위해 래치핀(미도시)이 삽입되는 통로이다.
도어(10)가 세워진 상태에서 도어(10)의 외측면 상방에 제1 홈(14)이 구비된다. 이하에서 도어(10)의 상방은 도어(10)가 정상 방향으로 세워졌을 때 도어(10)의 상방을 의미한다. 한편, 도시되지는 않았지만, 제1 홈(14) 대시네 돌기가 구비될 수 있다.
또한, 래치홀(12)의 외측면에서 래치홀(12)의 일측에 제2 홈(16)이 구비된다. 제2 홈(16)은 상기 래치핀에 의해 회전하는 상기 래치를 노출한다. 상기 래치의 개폐가 정상적인 경우, 상기 래치는 제2 홈(16)에 의해 노출되지 않는다. 상기 래치의 개폐가 불량인 경우, 상기 래치는 제2 홈(16)에 의해 노출된다.
도어 고정 유닛(100)은 몸체부(110), 진공 흡착부(120), 도어 감지부(130) 및 탄성부(140)를 포함한다.
몸체부(110)는 대략 일정한 두께를 갖는 평판 형태이다.
진공 흡착부(120)는 몸체부(110)의 하부면에 구비되며, 도어(10)의 외측면을 진공력을 흡착한다.
진공 흡착부(120)는 적어도 두 개가 구비되며, 바람직하게는 네 개가 구비될 수 있다. 진공 흡착부(120)가 복수로 구비되므로, 진공 흡착부(120)로 도어(10)를 안정적으로 흡착할 수 있다.
도어 감지부(130)는 몸체부(110)에 구비되어 도어(10)의 배치 방향과 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지한다.
도어 감지부(130)는 제1 스케일 실린더(132) 및 제2 스케일 실린더(134)를 포함한다.
제1 스케일 실린더(132)는 몸체부(110)를 상하로 관통하여 구비되며, 제1 로드(미도시)를 갖는다. 상기 제1 로드는 진공 흡착부(120)에 흡착된 도어(10)의 외측면을 향해 몸체부(110)의 하방으로 돌출된다. 상기 제1 로드를 이용하여 도어(10)의 제1 홈(14) 또는 상기 돌기를 감지한다.
도어(10)의 배치 방향이 정상적인 경우, 상기 제1 로드는 몸체부(110)의 하방으로 돌출되어 제1 홈(14)의 저면과 접촉한다. 도어(10)가 진공 흡착부(120)에 흡착된 상태에서 상기 제1 로드가 제1 홈(14)의 저면과 접촉할 때 상기 제1 로드의 돌출 길이를 제1 기준 돌출 길이로 설정한다.
그러므로, 도어(10)가 진공 흡착부(120)에 흡착된 상태에서 상기 제1 로드가 도어(10)의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 기준 돌출 길이와 비교함으로써 제1 스케일 실린더(132)로 제1 홈(14) 또는 상기 돌기를 감지할 수 있다.
예를 들면, 상기 제1 로드의 돌출 길이가 상기 제1 기준 돌출 길이와 실질적으로 동일한 경우, 제1 스케일 실린더(132)가 제1 홈(14) 또는 상기 돌기를 감지한 것으로 판단한다. 따라서, 도어(10)에서 제1 홈(14) 또는 상기 돌기가 상기 상방에 위치하고, 도어(10)의 배치 방향을 정상으로 판단한다.
상기 제1 로드의 돌출 길이가 상기 제1 기준 돌출 길이와 다른 경우, 제1 스케일 실린더(132)가 제1 홈(14) 또는 상기 돌기를 감지하지 못한 것으로 판단한다. 따라서, 도어(10)에서 제1 홈(14) 또는 상기 돌기가 상기 상방과 반대되는 하방에 위치하고, 도어(10)의 배치 방향을 불량으로 판단한다.
제2 스케일 실린더(134)는 한 쌍으로 이루어지며, 몸체부(110)를 상하로 관통하여 구비된다. 제2 스케일 실린더(134)는 각각 제2 로드(미도시)를 갖는다. 상기 제2 로드는 진공 흡착부(120)에 흡착된 도어(10)의 외측면을 향해 몸체부(110)의 하방으로 돌출된다. 상기 제2 로드를 이용하여 도어(10)의 외측면에서 래치홀(12)의 일측에 형성된 제2 홈(16)을 감지한다.
상기 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 제2 로드는 몸체부(110)의 하방으로 돌출되어 제2 홈(16)의 저면과 접촉한다. 도어(10)가 진공 흡착부(120)에 흡착된 상태에서 상기 제2 로드가 제2 홈(16)의 저면과 접촉할 때 상기 제2 로드의 돌출 길이를 제2 기준 돌출 길이로 설정한다.
그러므로, 도어(10)가 진공 흡착부(120)에 흡착된 상태에서 상기 제2 로드가 도어(10)의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 기준 돌출 길이와 비교함으로써 제2 스케일 실린더(134)로 상기 래치의 개폐 상태를 감지할 수 있다.
예를 들면, 상기 제2 로드의 돌출 길이가 상기 제2 기준 돌출 길이와 실질적으로 동일한 경우, 제2 스케일 실린더(134)가 제2 홈(16)을 감지한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 래치의 개폐 상태가 정상인 것으로 판단한다.
상기 제2 로드의 돌출 길이가 상기 제2 기준 돌출 길이와 다른 경우, 제2 스케일 실린더(134)가 제2 홈(16)을 감지하지 못한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 래치의 개폐 상태가 불량인 것으로 판단한다.
그러므로, 도어 감지부(130)를 이용하여 진공 흡착부(120)에 흡착된 도어(10)의 배치 방향과 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인할 수 있으므로, 도어(10)의 배치 방향과 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 정확도도 높일 수 있다.
한편, 몸체부(110)는 회전 가능하도록 구비될 수 있다. 도어 감지부(130)의 감지 결과, 도어(10)의 배치 방향이 불량이고 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 몸체부(110)를 180도 만큼 회전시켜 도어(10)의 배치 방향을 변경할 수 있다. 몸체부(110)의 회전을 통해 도어(10)의 배치 방향 불량을 해소할 수 있다.
탄성부(140)는 몸체부(110)의 하부면에 돌출되어 구비된다. 예를 들면, 탄성부(140)는 몸체부(110)를 관통하여 구비되거나, 몸체부(110)의 하부면에 구비될 수 있다. 이때, 탄성부(140)는 진공 흡착부(120)보다 약간 더 돌출될 수 있다. 탄성부(140)의 예로는 코일 스프링을 들 수 있다.
탄성부(140)는 진공 흡착부(120)보다 약간 더 돌출되므로, 진공 흡착부(120)가 도어(10)를 흡착할 때 탄성부(140)가 도어(10)와 먼저 접촉한다. 따라서, 진공 흡착부(120)와 도어(10)가 접촉할 때 도어(10)에 가해지는 충격을 탄성부(140)가 완충할 수 있다. 그러므로, 진공 흡착부(120)에 의해 도어(10)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
탄성부(140)는 적어도 두 개가 구비되며, 바람직하게는 네 개가 구비될 수 있다. 탄성부(140)가 복수로 구비되므로, 상기 충격을 탄성부(140)가 보다 안정적으로 완충할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2를 참조하면, 도어 이송 장치(200)는 도어 적재부(210), 정상 도어 로딩부(220), 불량 도어 로딩부(230) 및 도어 고정 유닛(100)을 포함한다.
도어 적재부(210)는 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어(10)들을 지지한다. 도어(10)들은 도어 적재부(210) 상에 외측면이 위를 향하도록 상하로 적재된다.
정상 도어 로딩부(220)는 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어(10)가 로딩된다. 정상 도어 로딩부(220)에 로딩된 도어(10)는 상기 일측이 개방된 웨이퍼 이송 용기와 결합될 수 있다.
불량 도어 적재부(230)는 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어가 로딩된다.
불량 도어 적재부(230)에 로딩된 도어(10)는 작업자에 의해 불량이 해소된 후 다시 도어 적재부(210)로 공급될 수 있다.
한편, 불량 도어 적재부(230)는 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 모두 불량이거나, 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 불량인 도어(10)만 로딩되고, 도어(10)의 배치 방향만 불량인 도어(10)는 로딩되지 않을 수 있다.
도어 고정 유닛(100)은 도어 적재부(210)의 도어(10)들을 정상 도어 로딩부(220) 또는 불량도어 로딩부(230)로 이송한다. 도시되지는 않았지만, 도어 고정 유닛(100)은 별도의 구동부의 의해 수평 방향 및 수직 방향으로 이동이 가능하며, 회전도 가능하다.
도어 고정 유닛(100)은 몸체부, 진공 흡착부, 도어 감지부 및 탄성부를 포함하며, 상기 몸체부, 진공 흡착부, 도어 감지부 및 탄성부에 대한 구체적인 설명은 도 1을 참조한 몸체부(110), 진공 흡착부(120), 도어 감지부(130) 및 탄성부(140)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 도어 감지부의 감지 결과 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 도어 고정 유닛(100)은 도어 적재부(210)의 도어(10)들을 정상 도어 로딩부(220)로 이송한다.
상기 도어 감지부의 감지 결과 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태 중 어느 하나가 불량인 경우, 도어 고정 유닛(100)은 도어 적재부(210)의 도어(10)들을 불량 도어 로딩부(230)로 이송한다.
한편, 상기 도어 감지부의 감지 결과 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태는 정상이고 도어(10)의 배치 방향만 불량인 경우, 도어 고정 유닛(100)은 도어(10)를 180도 만큼 회전시켜 도어(10)의 배치 방향을 변경하여 도어(10)의 배치 방향 불량을 해소한 후 정상 도어 로딩부(220)로 이송할 수도 있다.
도어 이송 장치(200)는 도어 적재부(210)의 도어(10)들을 이송하는 도중에 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어(10)를 확인하여 정상 도어 로딩부(220) 또는 불량 도어 로딩부(230)로 이송한다. 따라서, 도어 이송 장치(200)는 신속하고 정확하게 도어(10)들을 이송할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 도어 고정 유닛 110 : 몸체부
120 : 진공 흡착부 130 : 도어 감지부
132 : 제1 스케일 실린더 134 : 제2 스케일 실린더
140 : 탄성부 10 : 도어
12 : 래치홀 14 : 제1 홈
16 : 제2 홈

Claims (7)

  1. 몸체부;
    상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부; 및
    상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 고정 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 도어 감지부는,
    상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제1 로드를 가지며, 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면 상방 일측에 형성된 제1 홈 또는 돌기를 감지하는지 여부에 따라 상기 도어의 배치 방향을 확인하는 제1 스케일 실린더; 및
    상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제2 로드를 가지며, 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면에서 상기 래치홀의 일측에 형성된 제2 홈을 감지하는지 여부에 따라 상기 래치의 개폐 상태를 확인하는 제2 스케일 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 고정 유닛.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 스케일 실린더는 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 로드가 상기 제1 홈의 저면 또는 상기 돌기와 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제1 홈 또는 돌기를 감지하고,
    상기 제2 스케일 실린더는 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 로드가 상기 제2 홈의 저면과 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제2 홈을 감지하는 것을 특징으로 하는 도어 고정 유닛.
  4. 제1항에 있어서, 상기 도어 감지부의 감지 결과, 상기 도어 배치 방향이 불량이고 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 도어의 배치 방향을 변경하기 위해 상기 몸체부는 회전 가능한 것을 특징으로 하는 도어 고정 유닛.
  5. 제1항에 있어서, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 진공 흡착부와 상기 도어가 접촉할 때 상기 도어에 가해지는 충격을 완충하기 위한 탄성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 고정 유닛.
  6. 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어들이 상하로 적재되는 도어 적재부;
    상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어가 로딩되는 정상 도어 로딩부;
    상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어가 로딩되는 불량 도어 로딩부;
    몸체부와, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부 및 상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함하고, 상기 도어 적재부의 도어들을 상기 정상 도어 로딩부 또는 상기 불량도어 로딩부로 이송하는 도어 고정 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 도어 고정 유닛은 상기 도어 감지부의 감지 결과 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우 상기 도어 적재부의 도어들을 상기 정상 도어 로딩부로 이송하고, 상기 도어 감지부의 감지 결과 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태 중 어느 하나가 불량인 경우 상기 도어 적재부의 도어들을 상기 불량 도어 로딩부로 이송하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
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