KR20210093831A

KR20210093831A - 도어 이송 장치

Info

Publication number: KR20210093831A
Application number: KR1020210095662A
Authority: KR
Inventors: 황보승
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2018-11-28
Filing date: 2021-07-21
Publication date: 2021-07-28
Also published as: KR20200063655A; KR102326021B1

Abstract

본 발명에 따른 도어 이송 장치는, 대차를 수용하기 위한 대차 수용부와, 상기 대차 수용부에 수용되며, 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어들을 상하로 적재하며 상기 도어들을 공급 및 배출하는 대차와, 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어들을 적재하는 제1 포트와, 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어들을 적재하는 제2 포트와, 상기 대차에 적재된 상기 도어들을 픽업하여 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하고, 상기 감지 결과에 따라 상기 제1 포트 또는 상기 제2 포트로 이송하는 도어 이송 유닛과, 상기 웨이퍼 이송 용기에 장착될 도어들을 적재하는 제3 포트 및 상기 제1 포트에 적재된 정상인 도어들을 상기 제3 포트로 이송하는 이송 로봇을 포함할 수 있다.

Description

도어 이송 장치{Apparatus for transferring doors}

본 발명은 도어 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어를 이송하는 도어 이송 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자 제조 공정은 웨이퍼를 대상으로 사진, 식각, 확산, 증착 및 금속 공정 등의 다양하게 이루어지는 단위 공정을 반복적으로 수행하여 이루어진다. 각 단위 공정에서는 웨이퍼를 다수 적재된 웨이퍼 이송 용기를 이용하여 웨이퍼를 이동하거나 상기 웨이퍼 이송 용기에 수납된 상태로 각 공정에 투입한다.

상기 웨이퍼 이송 용기의 예로는 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)와 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod)를 들 수 있다. 상기 웨이퍼 이송 용기는 EFEM(Equipment Front End Module)이나 스토커(Stocker)의 로드 포트에 안착된다.

상기 웨이퍼 이송 용기는 일측이 개방되어 있고, 상기 개방된 일측을 도어로 개폐한다. 상기 웨이퍼 이송 용기의 도어를 자동으로 개폐하기 위해 작업자가 상기 도어를 수작업으로 공급한다. 또한, 작업자가 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 육안으로 확인한다.

상기 도어를 작업자가 수작업으로 공급하므로, 상기 도어를 공급하는데 많은 시간이 소요되며, 작업자의 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 실수로 확인하지 못하거나 잘못 확인할 가능성이 존재한다.

본 발명은 일측이 개방된 웨이퍼 이송 용기를 개폐하기 위한 도어를 자동으로 공급하기 위한 도어 이송 장치를 제공한다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 이송 장치는, 상기 제1 포트의 상방에 배치되며, 상기 도어 이송 유닛으로부터 상기 정상 도어를 전달받아 정렬하는 도어 정렬 유닛을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 정렬 유닛은, 상기 도어를 상하로 통과시키기 위한 개구를 갖는 사각 프레임과, 상기 프레임의 하부 양측에 돌출 가능하도록 각각 구비되며, 상기 도어의 하부면을 지지하는 지지부들과, 상기 프레임의 하부면 네 모서리 중 마주보는 두 모서리에 각각 구비되며, 상기 지지부에 의해 지지된 도어의 두 모서리를 밀어 정렬하는 정렬부들 및 상기 프레임의 하부면 네 모서리 중 나머지 두 모서리에 각각 구비되며, 정렬된 도어의 기울어짐을 감지하는 감지부들을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 정렬 유닛에서 정렬된 도어를 전달받아 적재하기 위해 상기 제1 포트는 승강 가능하도록 구비될 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 이송 장치는, 상기 제1 포트에 적재된 상기 정상 도어들을 상기 제3 포트로 이송하기 전에 임시로 적재하기 위한 제4 포트를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제3 포트는 상기 웨이퍼 이송 용기로부터 분리된 도어들을 추가로 적재하며, 상기 도어 이송 장치는, 상기 대차 수용부에 수용된 상기 대차와 인접하도록 배치되며, 상기 이송 로봇에 의해 이송되는 상기 제3 포트에 적재된 도어들을 적재하기 위한 제5 포트 및 상기 제5 포트에 적재된 도어들을 상기 대차로 이송하기 위해 상기 도어들을 상기 대차를 향해 푸시하는 푸셔를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 이송 장치는, 상기 웨이퍼 이송 용기를 지지하는 로드 포트 및 상기 로드 포트의 일측에 구비되며, 상기 제3 포트에 적재된 도어들을 순차적으로 상기 웨이퍼 이송 용기에 장착하거나, 상기 웨이퍼 이송 용기로부터 상기 도어를 분리하여 상기 제3 포트에 적재하는 도어 탈부착 로봇을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 이송 유닛은, 몸체부와, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부 및 상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 감지부는, 상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제1 로드를 가지며, 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면 상방 일측에 형성된 제1 홈 또는 돌기를 감지하는지 여부에 따라 상기 도어의 배치 방향을 확인하는 제1 스케일 실린더 및 상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제2 로드를 가지며, 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면에서 상기 래치홀의 일측에 형성된 제2 홈을 감지하는지 여부에 따라 상기 래치의 개폐 상태를 확인하는 제2 스케일 실린더를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 스케일 실린더는 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 로드가 상기 제1 홈의 저면 또는 상기 돌기와 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제1 홈 또는 돌기를 감지하고, 상기 제2 스케일 실린더는 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 로드가 상기 제2 홈의 저면과 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제2 홈을 감지할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 감지부의 감지 결과, 상기 도어 배치 방향이 불량이고 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 도어의 배치 방향을 변경하기 위해 상기 몸체부는 회전 가능할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 이송 유닛은, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 진공 흡착부와 상기 도어가 접촉할 때 상기 도어에 가해지는 충격을 완충하기 위한 탄성부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대차 수용부는, 상기 대차가 수용되기 위해 이동하는 방향 단부에 구비되며, 상기 대차와 도킹하는 도킹 플레이트와, 상기 대차의 이동 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 대차의 이동을 가이드하기 위한 가이드 플레이트들 및 상기 대차의 이동 방향을 따라 바닥면을 따라 연장하며, 상기 대차가 상기 대차 수용부에 도킹되도록 상기 대차를 안내하는 도킹 레일을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대차는, 상기 도어들을 적재하는 몸체와, 상기 몸체의 이동을 위해 상기 몸체의 하부면에 구비되는 이동 바퀴와, 상기 몸체의 측면에 구비되며, 상기 대차의 이동을 가이드하기 위해 상기 가이드 플레이트들과 접촉하는 가이드 롤러들 및 상기 몸체의 하부면에 구비되며 상기 도킹 레일을 따라 이동하는 도킹 바퀴를 포함할 수 있다.

본 발명의 도어 이송 장치는 대차를 이용하여 다수의 도어들을 동시에 공급하거나 배출할 수 있다. 따라서, 상기 도어들의 공급 및 배출에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.

상기 도어 이송 장치의 도어 이송 유닛은 도어 감지부를 이용하여 진공 흡착부에 흡착된 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지할 수 있다. 따라서, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 정확도도 높일 수 있다.

상기 도어 이송 유닛은 상기 대차의 도어들을 이송하는 도중에 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하여 제1 포트 또는 제2 포트로 이송한다. 따라서, 상기 도어 이송 유닛은 신속하고 정확하게 상기 도어들을 이송할 수 있다.

상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어들은 상기 도어 정렬 유닛에서 정렬된 후 상기 제1 포트에 적재된다. 따라서, 상기 정상 상태의 도어들을 정확하게 상기 웨이퍼 이송 용기에 장착할 수 있다.

상기 도어 이송 장치는 상기 푸셔를 이용하여 상기 웨이퍼 이송 용기로부터 분리된 도어들을 상기 대차로 동시에 이송할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 대차 수용부, 대차, 제1 포트, 제2 포트, 도어 이송 유닛 및 도어 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 도어 이송 유닛을 설명하기 위한 대략적인 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 도어 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 저면도이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 대차 수용부, 대차, 제1 포트, 제2 포트, 도어 이송 유닛 및 도어 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 도어 이송 유닛을 설명하기 위한 대략적인 사시도이고, 도 4는 도 1에 도시된 도어 정렬 유닛을 설명하기 위한 개략적인 저면도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 도어 이송 장치(100)는 웨이퍼 이송 용기(10)의 개방된 일측을 개폐하기 위한 도어(20)를 이송하기 위한 것으로, 대차 수용부(110), 대차(120), 제1 포트(130), 제2 포트(140), 도어 이송 유닛(150), 도어 정렬 유닛(160), 제3 포트(170), 제4 포트(180), 이송 로봇(190), 제5 포트(200), 푸셔(210), 로드 포트(220), 도어 탈부착 로봇(230)을 포함할 수 있다.

상기 대차 수용부(110)는 상기 도어 이송 장치(100)의 일측에 구비되며, 상기 대차(120)의 출입을 위해 일측이 개방될 수 있다.

상기 대차 수용부(110)는 상기 대차(120)와 도킹하여 고정하기 위한 도킹 플레이트(112)를 구비한다. 상기 도킹 플레이트(112)는 상기 대차(120)가 대차 수용부(110)에 수용되기 위해 이동하는 방향, 예를 들면, Y축 방향의 단부에 구비된다. 상기 도킹 플레이트(112)는 상기 대차(120)와의 도킹을 위해 상기 대차(120)를 수용하는 홈을 갖거나, 상기 대차(120)를 고정하기 위한 실린더를 구비할 수 있다.

또한, 상기 대차 수용부(110)는 가이드 플레이트(114)들 및 도킹 레일(116)을 더 포함할 수 있다.

상기 가이드 플레이트(114)들은 상기 대차(120)의 이동 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 Y축 방향을 따라 연장할 수 있다. 상기 가이드 플레이트(114)들은 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)에 도킹되도록 상기 대차(120)를 안내한다.

상기 도킹 레일(116)들은 상기 대차 수용부(110)의 바닥면에 상기 대차(120)의 이동 방향인 상기 Y축 방향을 따라 연장한다. 상기 도킹 레일(116)들은 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)에 도킹되도록 상기 대차(120)를 안내한다.

따라서, 상기 대차(120)가 정확하고 안정적으로 상기 도킹 플레이트(112)와 도킹될 수 있다.

그리고, 도시되지는 않았지만, 상기 대차 수용부(110)는 대차 감지 센서와 도킹 감지 센서를 더 포함할 수 있다.

상기 대차 감지 센서는 상기 도킹 플레이트(112)와 인접하도록 구비된다. 예를 들면, 상기 대차 감지 센서는 상기 도킹 플레이트(112)와 인접한 바닥면이나 측면에 구비될 수 있다. 상기 대차 감지 센서(128)는 상기 대차 수용부(110)의 내부에 상기 대차(120)의 존재 여부를 감지한다. 예를 들면, 상기 대차 감지 센서는 근접 센서일 수 있다.

상기 도킹 감지 센서는 상기 도킹 플레이트(112)에 구비되며, 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)에 고정되었는지 여부를 감지한다. 예를 들면, 상기 도킹 감지 센서는 상기 도킹 플레이트(112)의 홈에 구비되어 상기 대차(120)가 상기 홈에 삽입되는지를 감지하거나, 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)의 실린더와 결합되는지를 감지할 수 있다.

따라서, 상기 대차 감지 센서 및 상기 도킹 감지 센서를 이용하여 상기 대차(120)의 도킹 불량을 신속하게 확인할 수 있다. 그러므로, 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)에 정확하고 안정적으로 도킹될 수 있다.

상기 대차(120)는 상기 대차 수용부(110)의 개방된 일측을 통해 상기 대차 수용부(110)에 수용되며, 상기 대차 수용부(110)의 상기 도킹 플레이트(112)와 도킹되어 고정된다. 상기 대차(120)는 다수의 도어(20)들을 수납한다. 예를 들면, 상기 대차(120)는 두 세트의 도어(20)들을 각각 적재할 수 있다. 이때, 한 세트는 20개의 도어들로 이루어질 수 있다.

구체적으로 상기 대차(120)는 몸체(121), 가이드 바(122)들, 이동 바퀴(123)들, 도킹 바퀴(124)들, 가이드 롤러(125)들 및 반사판(126)을 포함한다.

상기 몸체(121)는 상면이 평판 형태를 갖는 프레임일 수 있다. 상기 몸체(121)의 상면에는 도어(20)들이 상하로 적재될 수 있다. 또한, 상기 두 세트의 도어(20)들은 상기 몸체(121)의 상면에서 X축 방향을 따라 배열될 수 있다. 상기에서는 상기 몸체(121)에 두 세트의 도어(20)들이 적재되는 것으로 설명되었으나, 한 세트의 도어(20)들이 적재되거나 세 세트 이상의 도어(20)들이 적재될 수도 있다.

상기 가이드 바(122)들은 상기 몸체(121)의 상면에 수직 방향, 즉 Z축 방향을 따라 연장하도록 구비된다. 상기 가이드 바(122)들은 상기 몸체(121)에 적재된 도어(20)들의 측면에 구비되며 상기 도어(20)들을 지지한다. 따라서, 상기 도어(20)들을 상기 몸체(121)의 상부면에 정확하고 안정적으로 적재할 수 있으며, 상기 대차(120)의 이동시 상기 도어(20)들이 수평 방향으로 이동하는 것을 차단할 수 있다.

한편, 상기 푸셔(210) 에 의해 이동하는 도어(20)의 이동 경로를 제한하지 않도록 상기 푸셔(210) 와 인접하는 도어(20)들의 측면에는 상기 가이드 바(122)가 구비되지 않는다.

상기 이동 바퀴(123)는 상기 몸체(121)의 이동을 위해 상기 몸체(121)의 하부면에 구비된다. 상기 이동 바퀴(123)의 예로는 회전이 가능한 캐스터를 들 수 있다. 상기 이동 바퀴(123)가 구비되므로 작업자가 상기 대차(120)를 쉽게 이동시킬 수 있다.

상기 도킹 바퀴(124)는 상기 몸체(121)의 하부면에 구비된다. 상기 도킹 바퀴(124)는 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)와 도킹될 때만 사용되며, 상기 대차(120)의 이동시 사용되지 않는다.

상기 도킹 바퀴(124)는 상기 도킹 레일(116)을 따라 이동할 수 있다. 상기 대차(120)가 상기 도킹 레일(116)에 의해 안내되므로, 상기 대차(120)가 상기 도킹 플레이트(112)에 안정적으로 도킹될 수 있다.

상기 도킹 바퀴(124)는 상기 이동 바퀴(123)와 동일선 상이 아닌 다른 위치에 위치할 수 있다. 따라서, 상기 도킹 바퀴(124)가 상기 도킹 레일(116)을 따라 이동할 때 상기 이동 바퀴(123)의 간섭을 받지 않을 수 있다.

또한, 상기 도킹 바퀴(124)의 높이가 상기 이동 바퀴(123)의 높이보다 높게 위치할 수 있다. 따라서, 상기 도킹 바퀴(124)가 대차 수용부(110)의 내부의 바닥면에 구비된 상기 도킹 레일(116)에 쉽게 진입할 수 있다.

한편, 상기 도킹 바퀴(124)의 높이가 상기 이동 바퀴(123)의 높이와 동일할 수도 있다.

상기 가이드 롤러(125)들은 상기 몸체(121)의 측면에 구비되며, 상기 가이드 플레이트(114)들과 접촉한다. 따라서, 상기 대차(120)의 이동을 보다 안정적으로 가이드할 수 있다.

상기 반사판(126)은 상기 몸체(121)의 상면에서 상기 도어(20)들이 적재되는 부위에 각각 구비될 수 있다. 상기 반사판(126)은 상기 몸체(121)의 상부면에 상기 도어(20)들이 존재하는지 여부를 확인하는데 사용될 수 있다.

한편, 상기 대차 수용부(110)의 상방에는 도어 센서(116)가 구비될 수 있다. 상기 도어 센서(115)는 상기 대차 수용부(110)에 수용된 상기 대차(120)에서 상기 반사판(126)과 대응하는 위치에 배치될 수 있다.

상기 도어 센서(116)에서 상기 반사판(126)을 향해 광을 조사하고, 상기 반사판(126)으로부터 반사된 반사광이 상기 도어 센서(116)에 수신되는지 여부에 따라 상기 대차(120)에 상기 도어(20)들이 존재하는지 여부를 확인할 수 있다.

상기 제1 포트(130)는 상기 도어(20)의 배치 방향 및 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어(20)들을 상하로 적재한다. 예를 들면, 상기 제1 포트(130)는 상기 대차 수용부(110)의 상기 X축 방향 일측에 배치될 수 있다.

상기 제1 포트(130)는 승강 가능하도록 구비될 수 있다. 따라서, 상기 도어 정렬 유닛(160)에서 정렬된 도어(20)를 전달받아 적재할 수 있다.

또한, 상기 제1 포트(130)는 상기 도어(20)의 하부면 전체가 아닌 일부를 지지하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 포트(130)는 대략 U자 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(190)이 상기 도어(20)의 하부면에서 상기 제1 포트(130)에 의해 지지되지 않는 부위를 지지하여 한 번에 이송할 수 있다.

상기 제2 포트(140)는 상기 도어(20)의 배치 방향 및 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어(20)들을 상하로 적재한다. 예를 들면, 상기 제2 포트(140)는 상기 대차 수용부(110)의 상기 X축 방향 일측에 배치될 수 있다.

상기 도어 이송 유닛(150)은 상기 대차(120)에 적재된 상기 도어(20)들을 픽업하여 상기 도어(20)의 배치 방향과 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하고, 상기 감지 결과에 따라 상기 제1 포트(130) 또는 상기 제2 포트(140)로 이송한다. 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 도어 이송 유닛(150)은 별도의 구동부에 의해 수평 방향 및 수직 방향으로 이동이 가능하며, 회전도 가능하다. 예를 들면, 상기 도어 이송 유닛(150)은 상기 X축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 가능하며 상기 Z축을 중심으로 회전할 수 있다.

상기 도어 이송 유닛(150)은 몸체부(152), 진공 흡착부(154), 도어 감지부(156) 및 탄성부(158)를 포함할 수 있다.

상기 도어(20)는 외측면에 래치홀(22)을 갖는다. 상기 래치홀(22)은 상기 도어(20)의 외측면 중앙 부위에 좌우로 배치된다. 상기 래치홀(22)은 상기 도어(20) 내부의 래치(미도시)를 회전시키기 위해 래치핀(미도시)이 삽입되는 통로이다.

상기 도어(20)가 세워진 상태에서 상기 도어(20)의 외측면 상방에 제1 홈(24)이 구비된다. 이하에서 상기 도어(20)의 상방은 상기 도어(20)가 정상 방향으로 세워졌을 때 상기 도어(20)의 상방을 의미한다. 한편, 도시되지는 않았지만, 제1 홈(24) 대신에 돌기가 구비될 수 있다.

또한, 상기 래치홀(22)의 외측면에서 상기 래치홀(22)의 일측에 제2 홈(26)이 구비된다. 상기 제2 홈(26)은 상기 래치핀에 의해 회전하는 상기 래치를 노출한다. 상기 래치의 개폐가 정상적인 경우, 상기 래치는 상기 제2 홈(26)에 의해 노출되지 않는다. 상기 래치의 개폐가 불량인 경우, 상기 래치는 상기 제2 홈(26)에 의해 노출된다.

구체적으로, 상기 몸체부(152)는 대략 일정한 두께를 갖는 평판 형태이다.

상기 진공 흡착부(154)는 상기 몸체부(152)의 하부면에 구비되며, 상기 도어(20)의 외측면을 진공력으로 흡착한다.

상기 진공 흡착부(154)는 적어도 두 개가 구비되며, 바람직하게는 네 개가 구비될 수 있다. 상기 진공 흡착부(154)가 복수로 구비되므로, 상기 진공 흡착부(154)로 도어(20)를 안정적으로 흡착할 수 있다.

상기 도어 감지부(156)는 상기 몸체부(152)에 구비되어 상기 도어(20)의 배치 방향과 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지한다.

상기 도어 감지부(156)는 제1 스케일 실린더(156a) 및 제2 스케일 실린더(156b)를 포함한다.

상기 제1 스케일 실린더(156a)는 상기 몸체부(152)를 상하로 관통하여 구비되며, 제1 로드(미도시)를 갖는다. 상기 제1 로드는 상기 진공 흡착부(154)에 흡착된 도어(20)의 외측면을 향해 상기 몸체부(152)의 하방으로 돌출된다. 상기 제1 로드를 이용하여 상기 도어(20)의 제1 홈(24) 또는 상기 돌기를 감지한다.

상기 도어(20)의 배치 방향이 정상적인 경우, 상기 제1 로드는 상기 몸체부(152)의 하방으로 돌출되어 상기 제1 홈(24)의 저면과 접촉한다. 상기 도어(20)가 진공 흡착부(154)에 흡착된 상태에서 상기 제1 로드가 상기 제1 홈(24)의 저면과 접촉할 때 상기 제1 로드의 돌출 길이를 제1 기준 돌출 길이로 설정한다.

그러므로, 상기 도어(20)가 상기 진공 흡착부(154)에 흡착된 상태에서 상기 제1 로드가 상기 도어(20)의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 기준 돌출 길이와 비교함으로써 상기 제1 스케일 실린더(156a)로 상기 제1 홈(24) 또는 상기 돌기를 감지할 수 있다.

예를 들면, 상기 제1 로드의 돌출 길이가 상기 제1 기준 돌출 길이와 실질적으로 동일한 경우, 상기 제1 스케일 실린더(156a)가 상기 제1 홈(24) 또는 상기 돌기를 감지한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 도어(20)에서 상기 제1 홈(24) 또는 상기 돌기가 상기 상방에 위치하고, 상기 도어(20)의 배치 방향을 정상으로 판단한다.

상기 제1 로드의 돌출 길이가 상기 제1 기준 돌출 길이와 다른 경우, 상기 제1 스케일 실린더(156a)가 상기 제1 홈(24) 또는 상기 돌기를 감지하지 못한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 도어(20)에서 상기 제1 홈(24) 또는 상기 돌기가 상기 상방과 반대되는 하방에 위치하고, 상기 도어(20)의 배치 방향을 불량으로 판단한다.

상기 제2 스케일 실린더(156b)는 한 쌍으로 이루어지며, 상기 몸체부(152)를 상하로 관통하여 구비된다. 상기 제2 스케일 실린더(156b)는 각각 제2 로드(미도시)를 갖는다. 상기 제2 로드는 상기 진공 흡착부(154)에 흡착된 상기 도어(20)의 외측면을 향해 상기 몸체부(152)의 하방으로 돌출된다. 상기 제2 로드를 이용하여 상기 도어(20)의 외측면에서 상기 래치홀(22)의 일측에 형성된 상기 제2 홈(26)을 감지한다.

상기 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 제2 로드는 상기 몸체부(152)의 하방으로 돌출되어 상기 제2 홈(26)의 저면과 접촉한다. 상기 도어(20)가 진공 흡착부(154)에 흡착된 상태에서 상기 제2 로드가 상기 제2 홈(26)의 저면과 접촉할 때 상기 제2 로드의 돌출 길이를 제2 기준 돌출 길이로 설정한다.

그러므로, 상기 도어(20)가 상기 진공 흡착부(154)에 흡착된 상태에서 상기 제2 로드가 도어(20)의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 기준 돌출 길이와 비교함으로써 제2 스케일 실린더(156b)로 상기 래치의 개폐 상태를 감지할 수 있다.

예를 들면, 상기 제2 로드의 돌출 길이가 상기 제2 기준 돌출 길이와 실질적으로 동일한 경우, 상기 제2 스케일 실린더(156b)가 상기 제2 홈(26)을 감지한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 래치의 개폐 상태가 정상인 것으로 판단한다.

상기 제2 로드의 돌출 길이가 상기 제2 기준 돌출 길이와 다른 경우, 상기 제2 스케일 실린더(156b)가 상기 제2 홈(26)을 감지하지 못한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 래치의 개폐 상태가 불량인 것으로 판단한다.

그러므로, 상기 도어 감지부(156)를 이용하여 상기 진공 흡착부(154)에 흡착된 도어(20)의 배치 방향과 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인할 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)의 배치 방향과 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 정확도도 높일 수 있다.

한편, 상기 몸체부(152)는 회전 가능하도록 구비될 수 있다. 상기 도어 감지부(156)의 감지 결과, 상기 도어(20)의 배치 방향이 불량이고 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 몸체부(152)를 180도 만큼 회전시켜 도어(20)의 배치 방향을 변경할 수 있다. 상기 몸체부(152)의 회전을 통해 도어(20)의 배치 방향 불량을 해소할 수 있다.

상기 탄성부(158)는 상기 몸체부(152)의 하부면에 돌출되어 구비된다. 예를 들면, 상기 탄성부(158)는 상기 몸체부(152)를 관통하여 구비되거나, 상기 몸체부(152)의 하부면에 구비될 수 있다. 이때, 상기 탄성부(158)는 상기 진공 흡착부(154)보다 약간 더 돌출될 수 있다. 상기 탄성부(158)의 예로는 코일 스프링을 들 수 있다.

상기 탄성부(158)는 상기 진공 흡착부(154)보다 약간 더 돌출되므로, 상기 진공 흡착부(154)가 상기 도어(20)를 흡착할 때 상기 탄성부(158)가 상기 도어(20)와 먼저 접촉한다. 따라서, 상기 진공 흡착부(154)와 상기 도어(20)가 접촉할 때 상기 도어(20)에 가해지는 충격을 상기 탄성부(158)가 완충할 수 있다. 그러므로, 상기 진공 흡착부(154)에 의해 상기 도어(20)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

상기 탄성부(158)는 적어도 두 개가 구비되며, 바람직하게는 네 개가 구비될 수 있다. 상기 탄성부(158)가 복수로 구비되므로, 상기 충격을 탄성부(158)가 보다 안정적으로 완충할 수 있다.

상기 도어 감지부(156)의 감지 결과 상기 도어(20)의 배치 방향 및 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 도어 이송 유닛(150)은 상기 대차(120)의 도어(20)들을 상기 제1 포트(130)로 이송한다.

상기 도어 감지부(156)의 감지 결과 상기 도어(20)의 배치 방향 및 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태 중 어느 하나가 불량인 경우, 상기 도어 이송 유닛(150)은 상기 대차(120)의 도어(20)들을 상기 제2 포트(140)로 이송한다.

한편, 상기 도어 감지부(156)의 감지 결과 상기 도어(20)에 구비된 래치의 개폐 상태는 정상이고 상기 도어(20)의 배치 방향만 불량인 경우, 상기 도어 이송 유닛(150)은 상기 도어(20)의 배치 방향을 변경하기 위해 상기 도어(20)를 180도 만큼 회전시켜 상기 도어(20)의 배치 방향 불량을 해소한 후, 상기 제1 포트(130)로 이송할 수도 있다.

상기 도어 정렬 유닛(160)은 상기 제1 포트(130)의 상방에 배치된다. 상기 도어 정렬 유닛(160)은 상기 도어 이송 유닛(150)으로부터 상기 정상 상태의 도어(20)를 전달받아 정렬한다.

상기 도어 정렬 유닛(160)은 프레임(162), 지지부들(164), 정렬부들(166) 및 감지부들(168)을 포함할 수 있다.

상기 프레임(162)은 상기 도어(20)를 상하로 통과시키기 위한 개구(163)를 갖는다. 상기 프레임(162)은 대략 사각 모양을 가질 수 있다.

상기 지지부들(164)은 상기 프레임(162)의 하부면 양측에 각각 구비된다. 상기 지지부들(162)은 상기 개구(163)를 향해 돌출할 수 있다. 상기 지지부들(162)이 돌출된 상태에서 상기 도어 정렬 유닛(160)은 상기 도어 이송 유닛(150)으로부터 상기 도어(20)를 전달받을 수 있다. 상기 지지부들(162)은 상기 도어(20)의 하부면을 지지할 수 있다.

상기 정렬부들(166)은 상기 프레임(162)의 하부면 네 모서리 중 마주보는 두 모서리에 각각 구비될 수 있다. 상기 도어(20)가 상기 지지부들(164)에 의해 지지된 상태에서 상기 정렬부들(166)은 상기 도어(20)의 두 모서리를 밀어 상기 도어(20)의 위치를 정렬할 수 있다.

상기 감지부들(168)은 상기 프레임(162)의 하부면 네 모서리 중 나머지 두 모서리에 각각 구비될 수 있다. 상기 감지부들(168)은 수광부와 발광부로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 발광부에서 조사된 광이 상기 수광부에 수광되면, 상기 정렬된 도어(20)가 기울어지지 않고 수평 상태인 것으로 판단한다. 상기 발광부에서 조사된 광이 상기 수광부에 수광되지 않으면, 상기 정렬된 도어(20)가 기울어지진 것으로 판단한다. 상기 도어(20)가 기울어진 것으로 판단되면, 상기 정렬부들(166)을 이용하여 상기 도어(20)를 다시 정렬하거나, 알람을 발생할 수 있다.

상기 도어 정렬 유닛(160)이 상기 도어(20)를 정렬할 수 있으므로, 상기 제1 포트(130)는 상기 정상 상태의 도어(20)들을 정렬된 상태로 적재할 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)를 상기 웨이퍼 이송 용기(10)에 장착할 때 사익 도어(20)의 정렬 오류에 인해 발생하는 장착 불량을 방지할 수 있다.

상기 제3 포트(170)는 상기 웨이퍼 이송 용기(20)에 장착될 도어(20)들을 상하로 적재할 수 있다. 또한, 상기 제3 포트(170)는 상기 웨이퍼 이송 용기(20)로부터 분리된 도어(20)들을 상하로 적재할 수도 있다.

또한, 상기 제3 포트(170)는 승강 가능하도록 구비될 수 있다. 따라서, 상기 웨이퍼 이송 용기(20)로부터 분리된 도어(20)들을 순차적으로 적재할 수 있다.

그리고, 상기 제3 포트(170)는 상기 제1 포트(130)와 마찬가지로 상기 도어(20)의 하부면 전체가 아닌 일부를 지지하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 제3 포트(170)는 대략 U자 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(190)이 상기 도어(20)들은 한 번에 상기 제3 포트(170)로 이송하거나, 상기 제3 포트(170)로부터 상기 도어(20)들을 한번에 이송할 수 있다.

상기 제4 포트(180)는 상기 제1 포트(130)에 적재된 상기 정상 상태의 도어(20)들을 상기 제3 포트(170)로 이송하기 전에 임시로 적재한다. 예를 들면, 상기 제4 포트(180)는 상기 제3 포트(170)와 상기 X축 방향을 따라 배열되며, 상기 제4 포트(180)는 상기 제1 포트(130)와 상기 Y축 방향을 따라 배열될 수 있다.

상기 제1 포트(130)에 적재된 상기 정상 상태의 도어(20)들을 상기 제3 포트(170)로 바로 이송하기 어려운 경우, 상기 제4 포트(180)에 상기 도어(20)들을 임시로 적재할 수 있다. 상기 제1 포트(130)가 빈 상태가 되므로, 상기 제1 포트(130)에 상기 정상 상태의 도어(20)들을 다시 적재할 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)들의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.

한편, 상기 제4 포트(180)는 상기 도어(20)의 하부면 전체가 아닌 일부를 지지하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 제4 포트(180)는 상기 도어(30)를 3점 지지하거나 4점 지지하는 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(190)이 상기 도어(20)들은 한 번에 상기 제4 포트(180)로 이송하거나, 상기 제4 포트(180)로부터 상기 도어(20)들을 한번에 이송할 수 있다.

상기 이송 로봇(190)은 상기 제1 포트(130)에 적재된 정상 상태의 도어(20)들을 상기 제3 포트(170)로 이송한다. 이때, 상기 이송 로봇(190)은 상기 제1 포트(130)에 적재된 정상 상태의 도어(20)들을 상기 제3 포트(170)로 바로 이송하거나, 상기 제1 포트(130)에 적재된 정상 상태의 도어(20)들을 상기 제4 포트(180)를 거쳐 상기 제3 포트(170)로 이송할 수 있다.

상기 이송 로봇(190)은 상기 적재된 도어(20)들의 하부면을 지지하여 한번에 이송할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 로봇(190)은 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 Z축 방향을 따라 승강 가능하도록 구비된다.

상기 제5 포트(200)는 상기 웨이퍼 이송 용기(10)로부터 분리된 도어(20)들을 상하로 적재한다. 예를 들면, 상기 제5 포트(200)는 상기 제3 포트(170)와 상기 제4 포트(180) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제3 포트(170), 상기 제5 포트(200) 및 상기 제4 포트(180)는 상기 X축 방향을 따라 일렬로 배열될 수 있다. 또한, 상기 제5 포트(200)는 상기 대차 수용부(110)와 상기 Y축 방향을 따라 일렬로 배열될 수 있다. 따라서 상기 제5 포트(200)는 상기 대차 수용부(110)에 수용된 대차(120)와 인접할 수 있다.

상기 대차(120)가 두 세트의 도어(20)들을 적재하는 경우, 상기 제5 포트(200)는 두 개가 구비될 수 있다.

한편, 상기 제5 포트(200)는 상기 도어(20)의 하부면 전체가 아닌 일부를 지지하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 제5 포트(200)는 상기 도어(20)를 3점 지지하거나 4점 지지하는 형태를 가질 수 있다. 따라서, 상기 이송 로봇(190)이 상기 도어(20)들은 한 번에 상기 제5 포트(200)로 이송할 수 있다.

상기 이송 로봇(190)은 상기 제3 포트(170)에 적재된 상기 웨이퍼 이송 용기(10)로부터 분리된 도어(20)들을 상기 제5 포트(200)로 이송할 수 있다.

상기 제1 포트(130), 상기 제3 포트(170), 상기 제4 포트(180) 및 상기 제5 포트(200)가 각각 상기 도어(20)의 하부면 전체가 아닌 일부를 지지하는 형상을 가지므로, 상기 이송 로봇(190)이 상기 제1 포트(130), 상기 제3 포트(170), 상기 제4 포트(180) 및 상기 제5 포트(200)와 간섭되지 않으면서 상기 X축, 상기 Y축 및 상기 Z축 방향을 따라 이동할 수 있다.

상기 푸셔(210)는 상기 제5 포트(200)의 일측에 배치되며, 상기 제5 포트(200)에 적재된 도어(20)들을 상기 대차 수용부(110)에 수용된 대차(120)를 향해 푸시한다. 따라서, 상기 제5 포트(200)에 적재된 도어(20)들을 상기 대차(120)로 신속하게 이송할 수 있다.

상기 로드 포트(220)는 상기 제3 포트(170)의 일측에 배치되며, 상기 웨이퍼 이송 용기(10)를 지지한다. 이때, 상기 웨이퍼 이송 용기(10)는 상기 도어(20)가 장착된 상태일 수도 있고, 상기 도어(20)가 분리된 상태일 수 도 있다.

상기 도어 탈부착 로봇(230)은 상기 로드 포트(220)의 일측에 구비된다. 상기 도어 탈부착 로봇(230)은 상기 제3 포트(170)에 적재된 정상 상태의 도어(20)들을 순차적으로 상기 웨이퍼 이송 용기(10)에 장착할 수 있다. 또한, 상기 도어 탈부착 로봇(230)은 상기 웨이퍼 이송 용기(10)로부터 상기 도어(20)를 분리하여 상기 제3 포트(170)에 적재할 수 있다.

상기 도어(20)는 상기 제3 포트(170)에 수평 상태로 적재되고, 상기 웨이퍼 이송 용기(10)에 수직 상태로 장착된다. 상기 제3 포트(170)에 적재된 도어(20)들을 상기 웨이퍼 이송 용기(10)에 장착하거나, 상기 웨이퍼 이송 용기(10)로부터 상기 도어(20)를 분리하여 상기 제3 포트(170)에 적재하기 위해 상기 도어 탈부착 로봇(230)은 상기 도어(20)를 90도 회전시킬 수 있다.

상기 도어 이송 장치(100)는 대차를 이용하여 다수의 도어(20)들을 동시에 공급하거나 배출할 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)들의 공급 및 배출에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 도어 이송 유닛 110 : 대차 수용부
120 : 대차 130 : 제1 포트
140 : 제2 포트 150 : 도어 이송 유닛
160 : 도어 정렬 유닛 170 : 제3 포트
180 : 제4 포트 190 : 이송 로봇
200 : 제5 포트 210 : 푸셔
220 : 로드 포트 230 : 도어 탈부착 로봇
10 : 웨이퍼 이송 용기 20 : 도어

Claims

대차를 수용하기 위한 대차 수용부;
상기 대차 수용부에 수용되며, 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어들을 상하로 적재하며 상기 도어들을 공급 및 배출하는 대차;
상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어들을 적재하는 제1 포트;
상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어들을 적재하는 제2 포트;
상기 대차에 적재된 상기 도어들을 픽업하여 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하고, 상기 감지 결과에 따라 상기 제1 포트 또는 상기 제2 포트로 이송하는 도어 이송 유닛;
상기 웨이퍼 이송 용기에 장착될 도어들을 적재하는 제3 포트;
상기 제1 포트에 적재된 정상인 도어들을 상기 제3 포트로 이송하는 이송 로봇;
상기 웨이퍼 이송 용기를 지지하는 로드 포트; 및
상기 로드 포트의 일측에 구비되며, 상기 제3 포트에 적재된 도어들을 순차적으로 상기 웨이퍼 이송 용기에 장착하거나, 상기 웨이퍼 이송 용기로부터 상기 도어를 분리하여 상기 제3 포트에 적재하는 도어 탈부착 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 포트의 상방에 배치되며, 상기 도어 이송 유닛으로부터 상기 정상 도어를 전달받아 정렬하는 도어 정렬 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제2항에 있어서, 상기 도어 정렬 유닛은,
상기 도어를 상하로 통과시키기 위한 개구를 갖는 사각 프레임;
상기 프레임의 하부 양측에 돌출 가능하도록 각각 구비되며, 상기 도어의 하부면을 지지하는 지지부들;
상기 프레임의 하부면 네 모서리 중 마주보는 두 모서리에 각각 구비되며, 상기 지지부에 의해 지지된 도어의 두 모서리를 밀어 정렬하는 정렬부들; 및
상기 프레임의 하부면 네 모서리 중 나머지 두 모서리에 각각 구비되며, 정렬된 도어의 기울어짐을 감지하는 감지부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제2항에 있어서, 상기 도어 정렬 유닛에서 정렬된 도어를 전달받아 적재하기 위해 상기 제1 포트는 승강 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 포트에 적재된 상기 정상 도어들을 상기 제3 포트로 이송하기 전에 임시로 적재하기 위한 제4 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제1항에 있어서, 상기 제3 포트는 상기 웨이퍼 이송 용기로부터 분리된 도어들을 추가로 적재하며,
상기 대차 수용부에 수용된 상기 대차와 인접하도록 배치되며, 상기 이송 로봇에 의해 이송되는 상기 제3 포트에 적재된 도어들을 적재하기 위한 제5 포트; 및
상기 제5 포트에 적재된 도어들을 상기 대차로 이송하기 위해 상기 도어들을 상기 대차를 향해 푸시하는 푸셔를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제1항에 있어서, 상기 도어 이송 유닛은,
몸체부;
상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부; 및
상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제7항에 있어서, 상기 도어 감지부는,
상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제1 로드를 가지며, 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면 상방 일측에 형성된 제1 홈 또는 돌기를 감지하는지 여부에 따라 상기 도어의 배치 방향을 확인하는 제1 스케일 실린더; 및
상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제2 로드를 가지며, 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면에서 래치홀의 일측에 형성된 제2 홈을 감지하는지 여부에 따라 상기 래치의 개폐 상태를 확인하는 제2 스케일 실린더를 포함하고,
상기 래치홀은 상기 도어 내부의 래치를 회전시키기 위해 래치핀이 삽입되는 통로인 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제8항에 있어서, 상기 제1 스케일 실린더는 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 로드가 상기 제1 홈의 저면 또는 상기 돌기와 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제1 홈 또는 돌기를 감지하고,
상기 제2 스케일 실린더는 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 로드가 상기 제2 홈의 저면과 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제2 홈을 감지하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제7항에 있어서, 상기 도어 감지부의 감지 결과, 상기 도어 배치 방향이 불량이고 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 도어의 배치 방향을 변경하기 위해 상기 몸체부는 회전 가능한 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제7항에 있어서, 상기 도어 이송 유닛은, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 진공 흡착부와 상기 도어가 접촉할 때 상기 도어에 가해지는 충격을 완충하기 위한 탄성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제1항에 있어서, 상기 대차 수용부는,
상기 대차가 수용되기 위해 이동하는 방향 단부에 구비되며, 상기 대차와 도킹하는 도킹 플레이트;
상기 대차의 이동 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 대차의 이동을 가이드하기 위한 가이드 플레이트들; 및
상기 대차의 이동 방향을 따라 바닥면을 따라 연장하며, 상기 대차가 상기 대차 수용부에 도킹되도록 상기 대차를 안내하는 도킹 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.
제12항에 있어서, 상기 대차는,
상기 도어들을 적재하는 몸체;
상기 몸체의 이동을 위해 상기 몸체의 하부면에 구비되는 이동 바퀴;
상기 몸체의 측면에 구비되며, 상기 대차의 이동을 가이드하기 위해 상기 가이드 플레이트들과 접촉하는 가이드 롤러들; 및
상기 몸체의 하부면에 구비되며 상기 도킹 레일을 따라 이동하는 도킹 바퀴를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.