KR20150140889A - 트레이 이송장치 및 전자부품 테스트 핸들러 - Google Patents

트레이 이송장치 및 전자부품 테스트 핸들러 Download PDF

Info

Publication number
KR20150140889A
KR20150140889A KR1020140068810A KR20140068810A KR20150140889A KR 20150140889 A KR20150140889 A KR 20150140889A KR 1020140068810 A KR1020140068810 A KR 1020140068810A KR 20140068810 A KR20140068810 A KR 20140068810A KR 20150140889 A KR20150140889 A KR 20150140889A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tray
moving
test
loading
electronic component
Prior art date
Application number
KR1020140068810A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102156154B1 (ko
Inventor
박해준
장태훈
Original Assignee
미래산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미래산업 주식회사 filed Critical 미래산업 주식회사
Priority to KR1020140068810A priority Critical patent/KR102156154B1/ko
Publication of KR20150140889A publication Critical patent/KR20150140889A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102156154B1 publication Critical patent/KR102156154B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 전자부품을 수납하기 위한 제1트레이가 결합되는 제1결합기구, 전자부품이 로딩되는 로딩공정과 전자부품이 언로딩되는 언로딩공정이 이루어지는 교환위치 및 전자부품이 테스트장비에 접속되어 테스트되는 테스트공정이 이루어지는 테스트위치 간에 상기 제1트레이가 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구를 이동시키는 제1이동부, 전자부품을 수납하기 위한 제2트레이가 결합되는 제2결합기구 및 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 상기 제2트레이가 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구를 이동시키는 제2이동부를 포함하되, 상기 제1이동부는 상기 제1결합기구가 상기 제2결합기구를 회피하여 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구를 승강시키는 제1승강기구를 포함하고, 상기 제2이동부는 상기 제2결합기구가 상기 제1결합기구를 회피하여 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구를 승강시키는 제2승강기구를 포함하는 트레이 이송장치 및 전자부품 테스트 핸들러에 관한 것이다.

Description

트레이 이송장치 및 전자부품 테스트 핸들러{Apparatus for Transferring Tray and Test Handler for Electronic Component}
본 발명은 전자부품을 테스트하여 등급별로 분류하기 위한 전자부품 테스트 핸들러에 관한 것이다.
메모리 반도체 소자, 비메모리 반도체 소자, CPU(Central Processing Unit) 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 예컨대, 전자부품은 번인 소팅 핸들러, 테스트 핸들러 등과 같은 핸들러장비를 통해 테스트 공정을 거쳐 등급별로 분류되는 등 여러 가지 공정을 거치게 된다.
상기 테스트 핸들러는 전자부품에 대한 로딩공정, 테스트공정, 및 언로딩공정을 수행한다. 상기 로딩공정은 테스트 핸들러가 고객트레이(User Tray)에서 테스트 트레이(Test Tray)로 전자부품을 로딩하는 공정이다. 상기 테스트공정은 테스트 핸들러가 테스트 트레이에 수납된 전자부품을 테스트장비에 접속시키는 공정이다. 상기 테스트장비는 전자부품에 대해 소정의 테스트를 수행한다. 상기 언로딩공정은 테스트 핸들러가 테스트 트레이에서 고객트레이로 전자부품을 언로딩하는 공정이다. 이 경우, 테스트 핸들러는 전자부품을 테스트 결과에 따라 등급별로 분류한다.
상기 핸들러장비가 번인 소팅 핸들러인 경우, 상기 번인 소팅 핸들러는 테스트 트레이를 대신하여 번인보드(Burn-in Board)를 이용함으로써, 상기 로딩공정, 상기 테스트공정 및 상기 언로딩공정을 수행한다.
최근 핸들러장비는 짧은 시간에 더 많은 개수의 전자부품에 대해 로딩공정, 테스트공정 및 언로딩공정을 수행할 수 있도록 개발되고 있다. 이를 위해, 테스트 트레이 및 번인보드는 더 많은 개수의 전자부품을 수납할 수 있도록 개발되고 있다. 이에 따라, 테스트 트레이 및 번인보드는 점차적으로 크기가 증대되고 있다.
그러나, 테스트 트레이 및 번인보드의 크기가 증대됨에 따라, 상기 핸들러장비의 전체적인 크기가 증가되고, 상기 핸들러장비가 테스트 트레이 또는 번인보드를 이송하는데 걸리는 시간이 증가하게 되는 문제가 있다. 따라서, 종래 기술에 따른 핸들러장비는 짧은 시간에 더 많은 개수의 전자부품에 대해 로딩공정, 테스트공정 및 언로딩공정을 수행하고자 하는 소기의 목적을 달성하지 못하게 되는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 짧은 시간에 더 많은 개수의 전자부품에 대해 로딩공정, 테스트공정 및 언로딩공정을 수행할 수 있는 트레이 이송장치 및 전자부품 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 트레이 이송장치는 전자부품을 수납하기 위한 제1트레이가 결합되는 제1결합기구; 전자부품이 로딩되는 로딩공정과 전자부품이 언로딩되는 언로딩공정이 이루어지는 교환위치 및 전자부품이 테스트장비에 접속되어 테스트되는 테스트공정이 이루어지는 테스트위치 간에 상기 제1트레이가 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구를 이동시키는 제1이동부; 전자부품을 수납하기 위한 제2트레이가 결합되는 제2결합기구; 및 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 상기 제2트레이가 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구를 이동시키는 제2이동부를 포함할 수 있다. 상기 제1이동부는 상기 제1결합기구가 상기 제2결합기구를 회피하여 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구를 승강시키는 제1승강기구를 포함할 수 있다. 상기 제2이동부는 상기 제2결합기구가 상기 제1결합기구를 회피하여 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구를 승강시키는 제2승강기구를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러는 테스트될 전자부품을 트레이로 로딩하는 로딩공정을 수행하는 로딩부; 테스트된 전자부품을 트레이로부터 언로딩하는 언로딩공정을 수행하는 언로딩부; 전자부품이 테스트장비에 의해 테스트되도록 전자부품을 상기 테스트장비에 접속시키는 테스트공정을 수행하는 테스트부; 및 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정이 이루어지는 교환위치 및 상기 테스트공정이 이루어지는 테스트위치 간에 트레이를 순환하여 이동시키는 트레이 이송장치를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 복수개의 트레이가 서로를 회피하여 이동하면서 전자부품에 대한 로딩공정, 테스트공정, 및 언로딩공정이 수행되도록 구현됨으로써, 전자부품에 대해 로딩공정, 언로딩공정, 및 테스트공정이 이루어지는 걸리는 시간을 단축하여 전자부품에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 트레이 이송장치의 개략적인 평면도
도 2은 제1결합기구에 제1트레이가 분리 가능하게 결합되는 구조를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 3은 제2결합기구에 제2트레이가 분리 가능하게 결합되는 구조를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 제1이동부의 개략적인 사시도
도 5는 본 발명에 따른 트레이 이송장치가 제1트레이를 이동시키는 경로를 설명하기 위한 개념도
도 6은 본 발명에 따른 제2이동부의 개략적인 사시도
도 7는 본 발명에 따른 트레이 이송장치가 제2트레이를 이동시키는 경로를 설명하기 위한 개념도
도 8 내지 도 11은 본 발명에 따른 트레이 이송장치가 제1트레이와 제2트레이를 이동시키는 과정을 설명하기 위한 개념도
도 12는 본 발명에 따른 트레이 이송장치의 개략적인 정면도
도 13은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러의 개략적인 평면도
도 14 및 도 15는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 로딩부가 로딩공정을 수행하는 과정을 나타낸 개략적인 측면도
도 16은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러가 트레이를 이동시키는 과정을 설명하기 위한 개념도
이하에서는 본 발명에 따른 트레이 이송장치의 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 전자부품에 대한 로딩공정, 테스트공정, 및 언로딩공정이 수행되도록 전자부품을 수납하기 위한 트레이를 이송한다. 상기 로딩공정은 상기 트레이에 전자부품을 로딩하는 공정이다. 상기 테스트공정은 상기 트레이에 수납된 전자부품을 테스트장비에 접속시키는 공정이다. 상기 언로딩공정은 상기 트레이로부터 전자부품을 언로딩하는 공정이다. 전자부품은 메모리 반도체 소자, 비메모리 반도체 소자, CPU 등일 수 있다.
본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 제1트레이(210)가 결합되는 제1결합기구(110), 제2트레이(220)가 결합되는 제2결합기구(120), 상기 제1결합기구(110)를 이동시키는 제1이동부(130), 및 상기 제2결합기구(120)를 이동시키는 제2이동부(140)를 포함한다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 상기 제1결합기구(110)는 상기 제1트레이(210)를 지지한다. 상기 제1트레이(210)는 전자부품을 수납하기 위한 것으로, 상기 트레이와 동일한 것이다. 상기 제1트레이(210)는 테스트 트레이 또는 번인보드일 수 있다. 상기 제1트레이(210)는 상기 제1결합기구(110)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제1트레이(210)는 상기 제1이동부(130)가 상기 제1결합기구(110)를 이동시킴에 따라 함께 이동한다.
본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제1트레이(210)가 교체 가능하도록 구현된다. 예컨대, 상기 제1결합기구(110)에 테스트 트레이가 결합되는 경우, 테스트 트레이가 상기 제1트레이(210)로 기능할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 테스트 트레이에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정이 수행되도록 상기 제1결합기구(110)를 이동시킨다. 예컨대, 상기 제1결합기구(110)에 번인보드가 결합되는 경우, 번인보드가 상기 제1트레이(210)로 기능할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 번인보드에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정이 수행되도록 상기 제1결합기구(110)를 이동시킨다.
따라서, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제1결합기구(110)를 이용함으로써, 테스트 트레이 및 번인보드가 공통적으로 적용 가능하도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 전자부품의 종류, 전자부품에 대해 수행된 테스트의 종류 등이 변경되는 경우, 상기 제1이동부(130)에 대한 교체 없이도 변경된 전자부품에 대응할 수 있다.
상기 제1결합기구(110)는 제1삽입홈(111), 및 제1홀딩기구(112)를 포함할 수 있다.
상기 제1삽입홈(111)에는 상기 제1트레이(210)가 삽입된다. 상기 제1삽입홈(111)은 상기 제1트레이(210)와 대략 일치하는 형태 및 대략 일치하는 크기로 형성될 수 있다.
상기 제1홀딩기구(112)는 상기 제1삽입홈(111)에 삽입된 제1트레이(210)를 홀딩한다. 상기 제1홀딩기구(112)는 상기 제1트레이(210)가 테스트 트레이와 번인보드 간에 교체되도록 상기 제1트레이(210)를 분리 가능하게 홀딩한다. 상기 제1홀딩기구(112)는 제1홀딩부재(1121), 및 제1탄성부재(1122)를 포함할 수 있다..
상기 제1홀딩부재(1121)는 상기 제1결합기구(110)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1홀딩부재(1121)는 상기 제1트레이(210)에 삽입됨으로써, 상기 제1트레이(210)를 홀딩한다.
상기 제1탄성부재(1122)는 상기 제1결합기구(111) 및 상기 제1홀딩부재(1121)의 사이에 위치한다. 상기 제1탄성부재(1122)는 상기 제1결합기구(111)에 지지된 상태로 상기 제1홀딩부재(1121)를 탄성적으로 가압한다. 상기 제1홀딩부재(1121)는 상기 제1탄성부재(1122)가 제공하는 탄성력을 이용하여 상기 제1삽입홈(111)에 삽입된 제1트레이(210)를 홀딩한다. 상기 제1삽입홈(111)에 삽입된 제1트레이(210)가 외력에 의해 이동하면, 상기 제1탄성부재(1122)는 상기 제1홀딩부재(1121)에 밀려서 압축된다. 이에 따라, 상기 제1트레이(210)는 상기 제1삽입홈(111)으로 이탈됨으로써, 상기 제1결합기구(111)로부터 분리된다.
상기 제1결합기구(111)는 상기 제1홀딩기구(112)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제1홀딩기구(112)들 중의 일부는 상기 제1트레이(210)의 일측에 삽입되고, 상기 제1홀딩기구(112)들 중의 일부는 상기 제1트레이(210)의 타측에 삽입될 수 있다.
도 1 및 도 3을 참고하면, 상기 제2결합기구(120)는 상기 제2트레이(220)를 지지한다. 상기 제2트레이(220)는 전자부품을 수납하기 위한 것으로, 상기 트레이와 동일한 것이다. 상기 제2트레이(220)는 테스트 트레이 또는 번인보드일 수 있다. 상기 제2트레이(220)는 상기 제2결합기구(120)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제2트레이(220)는 상기 제2이동부(140)가 상기 제2결합기구(120)를 이동시킴에 따라 함께 이동한다.
본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제2트레이(220)가 교체 가능하도록 구현된다. 예컨대, 상기 제2결합기구(120)에 테스트 트레이가 결합되는 경우, 테스트 트레이가 상기 제2트레이(220)로 기능할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 테스트 트레이에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정이 수행되도록 상기 제2결합기구(120)를 이동시킨다. 예컨대, 상기 제2결합기구(120)에 번인보드가 결합되는 경우, 번인보드가 상기 제2트레이(220)로 기능할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 번인보드에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정이 수행되도록 상기 제2결합기구(120)를 이동시킨다.
따라서, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제2결합기구(120)를 이용함으로써, 테스트 트레이 및 번인보드가 공통적으로 적용 가능하도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 전자부품의 종류, 전자부품에 대해 수행된 테스트의 종류 등이 변경되는 경우, 상기 제2이동부(140)에 대한 교체 없이도 변경된 전자부품에 대응할 수 있다.
상기 제2결합기구(120)는 제2삽입홈(121), 및 제2홀딩기구(122)를 포함할 수 있다.
상기 제2삽입홈(121)에는 상기 제2트레이(220)가 삽입된다. 상기 제2삽입홈(121)은 상기 제2트레이(220)와 대략 일치하는 형태 및 대략 일치하는 크기로 형성될 수 있다.
상기 제2홀딩기구(122)는 상기 제2삽입홈(121)에 삽입된 제2트레이(220)를 홀딩한다. 상기 제2홀딩기구(122)는 상기 제2트레이(220)가 테스트 트레이와 번인보드 간에 교체되도록 상기 제2트레이(220)를 분리 가능하게 홀딩한다. 상기 제2홀딩기구(122)는 제2홀딩부재(1221), 및 제2탄성부재(1222)를 포함할 수 있다..
상기 제2홀딩부재(1221)는 상기 제2결합기구(120)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2홀딩부재(1221)는 상기 제2트레이(220)에 삽입됨으로써, 상기 제2트레이(220)를 홀딩한다.
상기 제2탄성부재(1222)는 상기 제1결합기구(111) 및 상기 제2홀딩부재(1221)의 사이에 위치한다. 상기 제2탄성부재(1222)는 상기 제1결합기구(111)에 지지된 상태로 상기 제2홀딩부재(1221)를 탄성적으로 가압한다. 상기 제2홀딩부재(1221)는 상기 제2탄성부재(1222)가 제공하는 탄성력을 이용하여 상기 제2삽입홈(121)에 삽입된 제2트레이(220)를 홀딩한다. 상기 제2삽입홈(121)에 삽입된 제2트레이(220)가 외력에 의해 이동하면, 상기 제2탄성부재(1222)는 상기 제2홀딩부재(1221)에 밀려서 압축된다. 이에 따라, 상기 제2트레이(220)는 상기 제2삽입홈(121)으로 이탈됨으로써, 상기 제1결합기구(111)로부터 분리된다.
상기 제1결합기구(111)는 상기 제2홀딩기구(122)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제2홀딩기구(122)들 중의 일부는 상기 제2트레이(220)의 일측에 삽입되고, 상기 제2홀딩기구(122)들 중의 일부는 상기 제2트레이(220)의 타측에 삽입될 수 있다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 제1이동부(130)는 교환위치(EP, 도 5에 도시됨) 및 테스트위치(TP, 도 5에 도시됨) 간에 상기 제1결합기구(110)를 이동시킨다. 상기 교환위치(EP)는 전자부품에 대해 상기 로딩공정 및 상기 언로딩공정이 수행되는 위치이다. 상기 테스트위치(TP)는 전자부품에 대해 상기 테스트공정이 수행되는 위치이다.
상기 제1이동부(130)는 상기 제1트레이(210)가 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110)를 이동시킨다. 상기 제1이동부(130)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제1트레이(210)에 테스트될 전자부품이 로딩되면, 상기 제1결합기구(110)를 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제1트레이(210)에 수납된 전자부품에 대한 테스트가 완료되면, 상기 제1이동부(130)는 상기 제1결합기구(110)를 상기 교환위치(EP)로 이동시킨다. 상기 교환위치(EP)에서 테스트된 전자부품이 언로딩되고 테스트될 전자부품이 로딩되면, 상기 제1이동부(130)는 다시 상기 제1결합기구(110)를 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 이와 같이 상기 제1이동부(130)는 상기 제1결합기구(110)를 이동시킴으로써, 상기 제1트레이(210)를 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동시킬 수 있다. 도 5에서 실선으로 표시된 화살표는 상기 제1트레이(210)가 상기 교환위치(EP)에서 상기 테스트위치(TP)로 이동하는 동선을 표시한 것이다. 도 5에서 점선으로 표시된 화살표는 상기 제1트레이(210)가 상기 테스트위치(TP)에서 상기 교환위치(EP)로 이동하는 동선을 표시한 것이다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 제1이동부(130)는 제1승강기구(131, 도 4에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제1승강기구(131)는 상기 제1결합기구(110)를 승강시킨다. 이에 따라, 상기 제1이동부(130)는 상기 제1결합기구(110)가 상기 제2결합기구(120)를 회피하여 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110)를 이동시킬 수 있다. 상기 제1결합기구(110)는 상기 제1승강기구(131)에 승강 가능하게 결합된다.
상기 제1승강기구(131)는 상기 제1트레이(210)의 이동경로가 제1이동경로(MP1, 도 5에 도시됨) 및 제2이동경로(MP2, 도 5에 도시됨) 간에 전환되도록 상기 제1결합기구(110)를 승강시킨다. 상기 제2이동경로(MP2)는 상기 제1이동경로(MP1)의 하측에 위치한다. 상기 제2결합기구(120)가 상기 제2이동경로(MP2)에 위치하는 경우, 상기 제1승강기구(131)는 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1결합기구(110)는 상기 제2결합기구(120)를 회피하여 이동할 수 있다. 상기 제2결합기구(120)가 상기 제1이동경로(MP1)에 위치하는 경우, 상기 제1승강기구(131)는 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1결합기구(110)는 상기 제2결합기구(120)를 회피하여 이동할 수 있다.
상기 제1승강기구(131)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw)와 볼너트(Ball Nut) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제1결합기구(110)를 승강시킬 수 있다.
상기 제1이동부(130)는 제1이동기구(132, 도 4에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제1이동기구(132)는 상기 제1트레이(210)가 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110)를 이동시킨다. 상기 제1이동기구(132)는 상기 제1승강기구(131)가 상기 제1결합기구(110)의 이동경로를 전환하면, 상기 제1결합기구(110)를 전환된 이동경로를 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제1승강기구(131)가 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시키면, 상기 제1이동기구(132)는 상기 제1결합기구(110)가 상기 제2이동경로(MP2) 상에 위치한 제2결합기구(120)를 회피하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 이동시킨다. 상기 제1승강기구(131)가 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시키면, 상기 제1이동기구(132)는 상기 제1결합기구(110)가 상기 제1이동경로(MP1) 상에 위치한 제2결합기구(120)를 회피하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP1)를 따라 이동시킨다.
상기 제1이동기구(132)는 상기 제1승강기구(131)를 이동시킴으로써, 상기 제1결합기구(110)를 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1승강기구(131)는 상기 제1이동기구(132)에 결합된다. 상기 제1이동기구(132)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제1결합기구(110)를 이동시킬 수 있다.
상기 제1이동부(130)는 제1보조승강기구(133, 도 4에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제1보조승강기구(133)는 상기 제1결합기구(110)를 승강시킨다. 상기 제1승강기구(131)가 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킨 상태에서, 상기 제1보조승강기구(133)는 상기 제1결합기구(110)를 추가로 승강시킬 수 있다. 상기 제1보조승강기구(133)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제1트레이(210)에 수납된 전자부품이 상기 테스트장비에 접속되도록 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)의 하측으로 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제1결합기구(110)가 상기 테스트장비에 방해됨이 없이 상기 제2이동경로(MP2)를 따라 이동할 수 있도록 구현된다.
상기 제1보조승강기구(133)는 일측이 상기 제1승강기구(131)에 결합되고, 타측이 상기 제1결합기구(110)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제1승강기구(131)는 상기 제1보조승강기구(133)를 승강시킴으로써, 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1) 및 상기 제2이동경로(MP2) 간에 승강시킬 수 있다. 상기 제1승강기구(131)가 일측이 상기 제1보조승강기구(133)에 결합되고, 타측이 상기 제1결합기구(110)에 결합될 수도 있다. 이 경우, 상기 제1보조승강기구(133)는 상기 제1승강기구(131)를 승강시킴으로써, 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)에서 추가로 승강시킬 수 있다.
상기 제1보조승강기구(133)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제1결합기구(110)를 승강시킬 수 있다.
도 1 내지 도 7을 참고하면, 상기 제2이동부(140)는 상기 교환위치(EP, 도 7에 도시됨) 및 상기 테스트위치(TP, 도 7에 도시됨) 간에 상기 제2결합기구(120)를 이동시킨다.
상기 제2이동부(140)는 상기 제2트레이(220)가 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구(120)를 이동시킨다. 상기 제2이동부(140)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제2트레이(220)에 테스트될 전자부품이 로딩되면, 상기 제2결합기구(120)를 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제2트레이(220)에 수납된 전자부품에 대한 테스트가 완료되면, 상기 제2이동부(140)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 교환위치(EP)로 이동시킨다. 상기 교환위치(EP)에서 테스트된 전자부품이 언로딩되고 테스트될 전자부품이 로딩되면, 상기 제2이동부(140)는 다시 상기 제2결합기구(120)를 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 이와 같이 상기 제2이동부(140)는 상기 제2결합기구(120)를 이동시킴으로써, 상기 제2트레이(220)를 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동시킬 수 있다. 도 7에서 실선으로 표시된 화살표는 상기 제2트레이(220)가 상기 교환위치(EP)에서 상기 테스트위치(TP)로 이동하는 동선을 표시한 것이다. 도 7에서 점선으로 표시된 화살표는 상기 제2트레이(220)가 상기 테스트위치(TP)에서 상기 교환위치(EP)로 이동하는 동선을 표시한 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제1이동부(130) 및 상기 제2이동부(140)를 통해 상기 제1결합기구(110) 및 상기 제2결합기구(120)를 개별적으로 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제1트레이(210) 및 상기 제2트레이(220)를 개별적으로 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 이동시킬 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제1트레이(210)에 대해 상기 로딩공정 및 상기 언로딩공정이 수행되는 동안, 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제2트레이(220)에 대해 상기 테스트공정이 수행되도록 구현된다. 또한, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제2트레이(220)에 대해 상기 로딩공정 및 상기 언로딩공정이 수행되는 동안, 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제1트레이(220)에 대해 상기 테스트공정이 수행되도록 구현된다.
이에 따라, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 전자부품에 대해 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정, 및 상기 테스트공정이 이루어지는 걸리는 시간을 단축할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 전자부품에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다.
상기 제2이동부(140)는 제2승강기구(141, 도 6에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제2승강기구(141)는 상기 제2결합기구(120)를 승강시킨다. 이에 따라, 상기 제2이동부(140)는 상기 제2결합기구(120)가 상기 제1결합기구(110)를 회피하여 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구(120)를 이동시킬 수 있다. 상기 제2결합기구(120)는 상기 제2승강기구(141)에 승강 가능하게 결합된다.
상기 제2승강기구(141)는 상기 제2트레이(220)의 이동경로가 상기 제1이동경로(MP1, 도 7에 도시됨) 및 상기 제2이동경로(MP2, 도 7에 도시됨) 간에 전환되도록 상기 제2결합기구(120)를 승강시킨다. 상기 제1결합기구(110)가 상기 제2이동경로(MP2)에 위치하는 경우, 상기 제2승강기구(141)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2결합기구(120)는 상기 제1결합기구(110)를 회피하여 이동할 수 있다. 상기 제1결합기구(110)가 상기 제1이동경로(MP1)에 위치하는 경우, 상기 제2승강기구(141)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2결합기구(120)는 상기 제1결합기구(110)를 회피하여 이동할 수 있다.
상기 제2승강기구(141)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제2결합기구(120)를 승강시킬 수 있다.
상기 제2이동부(140)는 제2이동기구(142, 도 6에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제2이동기구(142)는 상기 제2트레이(220)가 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구(120)를 이동시킨다. 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2승강기구(141)가 상기 제2결합기구(120)의 이동경로를 전환하면, 상기 제2결합기구(120)를 전환된 이동경로를 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제2승강기구(141)가 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시키면, 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2결합기구(120)가 상기 제2이동경로(MP2) 상에 위치한 제1결합기구(110)를 회피하여 이동하도록 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 이동시킨다. 상기 제2승강기구(141)가 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시키면, 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2결합기구(120)가 상기 제1이동경로(MP1) 상에 위치한 제1결합기구(110)를 회피하여 이동하도록 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP1)를 따라 이동시킨다.
상기 제2이동기구(142)는 상기 제2승강기구(141)를 이동시킴으로써, 상기 제2결합기구(120)를 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제2승강기구(141)는 상기 제2이동기구(142)에 결합된다. 상기 제2이동기구(142)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제2결합기구(120)를 이동시킬 수 있다.
상기 제2이동부(140)는 제2보조승강기구(143, 도 6에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제2보조승강기구(143)는 상기 제2결합기구(120)를 승강시킨다. 상기 제2승강기구(141)가 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킨 상태에서, 상기 제2보조승강기구(143)는 상기 제2결합기구(120)를 추가로 승강시킬 수 있다. 상기 제2보조승강기구(143)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제2트레이(220)에 수납된 전자부품이 상기 테스트장비에 접속되도록 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)의 하측으로 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제2결합기구(120)가 상기 테스트장비에 방해됨이 없이 상기 제2이동경로(MP2)를 따라 이동할 수 있도록 구현된다.
상기 제2보조승강기구(143)는 일측이 상기 제2승강기구(141)에 결합되고, 타측이 상기 제2결합기구(120)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제2승강기구(141)는 상기 제2보조승강기구(143)를 승강시킴으로써, 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1) 및 상기 제2이동경로(MP2) 간에 승강시킬 수 있다. 상기 제2승강기구(141)가 일측이 상기 제2보조승강기구(143)에 결합되고, 타측이 상기 제2결합기구(120)에 결합될 수도 있다. 이 경우, 상기 제2보조승강기구(143)는 상기 제2승강기구(141)를 승강시킴으로써, 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)에서 추가로 승강시킬 수 있다.
상기 제2보조승강기구(143)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제2결합기구(120)를 승강시킬 수 있다.
도 1 내지 도 11을 참고하면, 상술한 바와 같은 제1이동부(130) 및 제2이동부(140)는 상기 제1결합기구(110) 및 상기 제2결합기구(120)가 서로 회피하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110) 및 상기 제2결합기구(120)를 다음과 같이 이동시킬 수 있다. 도 8 내지 도 11에는 제1트레이(210)와 제2트레이(220)를 명확하게 구분하기 위해 제1트레이(210)에 복수개의 점이 표시되어 있고, 제2트레이(220)에 빗금이 표시되어 있다.
우선, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제1결합기구(110)는 상기 교환위치(EP)에 위치한 상태이고, 상기 제2결합기구(120)는 상기 테스트위치(TP)에 위치한 상태이다. 상기 교환위치(EP)에 위치한 제1결합기구(110)에 대해서는 상기 제1결합기구(110)에 결합된 제1트레이(210)에 대해 로딩공정이 수행된다. 상기 테스트위치(TP)에 위치한 제2결합기구(120)에 대해서는 상기 제2결합기구(120)에 결합된 제2트레이(220)에 대해 테스트공정이 수행된다. 이 경우, 상기 제2결합기구(120)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제2승강기구(141)에 의해 상기 제2이동경로(MP2)로 하강된 후에, 상기 제2보조승강기구(143)에 의해 상기 제2이동경로(MP2)의 하측으로 하강된 상태이다. 상기 제1결합기구(110)는 상기 로딩공정이 수행되는 동안 상기 교환위치(EP)에서 상기 제1승강기구(131)에 의해 상기 제2이동경로(MP1)로 하강된 상태이다. 상기 제1결합기구(110)는 상기 로딩공정이 수행되는 동안 상기 교환위치(EP)에서 상기 제1승강기구(131)에 의해 상기 제2이동경로(MP1)로 하강된 후에, 상기 제1보조승강기구(133)에 의해 상기 제2이동경로(MP1)의 하측으로 하강된 상태일 수도 있다.
다음, 상기 제2결합기구(120)가 상기 테스트위치(TP)에 위치한 상태에서, 상기 제1이동기구(132)는 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 상기 교환위치(EP)에서 대기위치(WP)로 이동시킨다. 상기 대기위치(WP)는 상기 교환위치(EP)와 상기 테스트위치(TP) 사이에 위치한다. 이에 따라, 상기 제1트레이(210)는 상기 로딩공정이 완료된 후에 상기 대기위치(WP)에서 대기하게 된다. 따라서, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제2트레이(220)에 대해 테스트공정이 수행되는 동안, 상기 로딩공정이 완료된 제1트레이(210)를 상기 테스트위치(TP)에 가까운 위치로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제2트레이(220)에 대해 테스트공정이 완료된 후에, 상기 제1트레이(210)를 상기 테스트위치(TP)로 이동시키는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다. 이 경우, 상기 제1결합기구(110)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제1승강기구(131)에 의해 상기 제1이동경로(MP1)로 상승된 후에, 상기 제1이동기구(132)에 의해 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 상기 교환위치(EP)에서 상기 대기위치(WP)로 이동할 수 있다.
다음, 상기 제2트레이(220)에 대한 테스트공정이 완료되면, 도 9에 도시된 바와 같이 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)를 따라 상기 테스트위치(TP)에서 상기 대기위치(WP)로 이동시킨다. 이에 따라, 상기 제2결합기구(120)는 상기 제1이동경로(MP1) 상에 위치한 제1결합기구(110)를 회피하여 상기 테스트위치(TP)에서 상기 대기위치(WP)로 이동할 수 있다. 상기 제1이동기구(131)는 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 상기 대기위치(WP)에서 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 이에 따라, 상기 제1결합기구(110)는 상기 제2이동경로(MP2) 상에 위치한 제2결합기구(120)를 회피하여 상기 대기위치(WP)에서 상기 테스트위치(TP)로 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)는 동시에 이동할 수도 있고, 순차적으로 이동할 수도 있다.
다음, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제1승강기구(131)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)에서 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킨다. 이에 따라, 상기 제1결합기구(110)는 상기 제2결합기구(120)를 회피하여 상기 테스트장비 쪽으로 하강할 수 있다. 상기 제1결합기구(110)는 상기 제2이동경로(MP2)로 하강된 후에, 상기 제1보조승강기구(133)에 의해 상기 테스트장비에 접속되도록 상기 제2이동경로(MP2)의 하측으로 하강할 수 있다. 상기 제2승강기구(132)는 상기 대기위치(WP)에서 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)에서 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시킨다. 이에 따라, 상기 제2결합기구(120)는 상기 제1결합기구(110)를 회피하여 상기 교환위치(EP) 쪽으로 상승할 수 있다. 이 경우, 상기 제2결합기구(120)와 상기 제1결합기구(110)는 동시에 승강할 수도 있고, 순차적으로 승강할 수도 있다.
다음, 도 11에 도시된 바와 같이 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 상기 대기위치(WP)에서 상기 교환위치(EP)로 이동시킨다. 상기 제2결합기구(120)가 상기 교환위치(EP)에 위치되면, 상기 제2결합기구(120)에 결합된 제2트레이(220)에 대해 언로딩공정이 수행된다. 이 경우, 상기 제2결합기구(120)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제2승강기구(141)에 의해 상기 제2이동경로(MP2)로 하강될 수 있다. 상기 제2결합기구(120)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제2승강기구(141)에 의해 상기 제2이동경로(MP2)로 하강된 후에, 상기 제2보조승강기구(143)에 의해 상기 제2이동경로(MP2)의 하측으로 하강될 수도 있다. 상기 교환위치(EP)에서는 상기 제2트레이(220)에 대해 상기 언로딩공정과 상기 로딩공정이 병행하여 수행될 수도 있다. 상기 제2트레이(220)에 대해 상기 언로딩공정과 상기 로딩공정이 수행되는 동안, 상기 제1트레이(210)에 대해서는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 테스트공정이 수행된다.
다음, 상기 제2트레이(220)에 대한 로딩공정이 완료되면, 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 상기 교환위치(EP)에서 상기 대기위치(WP)로 이동시킨 후에 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 상기 제2결합기구(120)가 상기 테스트위치(TP)에 위치되면, 상기 제2승강기구(141)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)에서 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킨다. 상기 제1이동기구(132)는 상기 제1트레이(210)에 대한 테스트공정이 완료되면, 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)를 따라 상기 테스트위치(TP)에서 상기 대기위치(WP)로 이동시킨 후에 상기 교환위치(EP)로 이동시킨다. 이 과정에서, 상기 제1승강기구(131)는 상기 대기위치(WP)에서 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)에서 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시킨다. 이 경우, 상기 제1이동부(130) 및 상기 제2이동부(140)는 상기 제1결합기구(110) 및 상기 제2결합기구(120)가 서로 회피하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110) 및 상기 제2결합기구(120)를 도 8 내지 도 11에 도시된 바와 같은 순서로 이동시킬 수 있다.
도 12를 참고하면, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 본체(150)를 포함할 수 있다.
상기 본체(150)는 상기 제1이동부(130) 및 상기 제2이동부(140)를 지지한다. 상기 본체(150)는 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)가 이동하기 위한 이동홈(151)을 포함한다. 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)는 상기 이동홈(151)에서 상기 교환위치(EP, 도 11에 도시됨) 및 상기 테스트위치(TP, 도 11에 도시됨) 간에 이동한다.
상기 제1이동부(130)는 상기 본체(150)의 일측에 결합된다. 상기 제2이동부(140)는 상기 본체(150)의 타측에 결합된다. 이에 따라, 상기 제1이동부(130)와 상기 제2이동부(140)는 상기 이동홈(151)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 본체(150)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제1이동부(130) 및 상기 제2이동부(140)는 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)를 이동시키는 과정에서 서로 간섭되지 않는다. 따라서, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제1이동부(130) 및 상기 제2이동부(140)가 서로 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1결합기구(110)는 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 상기 제1이동부(130)에 결합된다. 상기 제1방향(A 화살표 방향)은 상기 본체(150)의 일측에서 타측을 향하는 방향이다. 상기 제2결합기구(120)는 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 상기 제2이동부(140)에 결합된다. 상기 제2방향(B 화살표 방향)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)에 대해 반대되는 방향으로, 상기 본체(150)의 타측에서 일측을 향하는 방향이다. 따라서, 본 발명에 따른 트레이 이송장치(100)는 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)가 간섭되는 정도를 줄임으로써, 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)가 서로 충돌할 위험을 줄일 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 13을 참고하면, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 로딩공정을 수행하는 로딩부(2), 상기 언로딩공정을 수행하는 언로딩부(3), 상기 테스트공정을 수행하는 테스트부(4), 및 상기 트레이 이송장치(100)를 포함한다. 상기 트레이 이송장치(100)는 트레이(200)를 이동시킨다. 상기 트레이(200)는 전자부품을 수납하기 위한 것이다. 상기 제1트레이(210) 및 상기 제2트레이(220)가 상기 트레이(200)에 해당한다. 상기 트레이 이송장치(100)는 상술한 바와 같으므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
도 13 및 도 14를 참고하면, 상기 로딩부(2)는 테스트될 전자부품을 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)에 수납시키는 로딩공정을 수행한다. 상기 로딩부(2)는 로딩스택커(21) 및 로딩픽커(22)를 포함할 수 있다.
상기 로딩스택커(21)는 테스트될 전자부품이 담겨진 고객트레이를 복수개 저장한다. 상기 로딩스택커(21)는 고객트레이들을 상기 로딩픽커(22)가 전자부품을 픽업할 수 있는 픽업위치로 순차적으로 이동시킨다.
상기 로딩픽커(22)는 상기 로딩스택커(21)에 위치한 고객트레이에서 전자부품을 픽업한 후에, 픽업한 전자부품을 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)에 수납시킨다. 상기 로딩픽커(22)는 고객트레이로부터 한번에 복수개의 전자부품을 픽업한 후에, 한번에 복수개의 전자부품을 상기 트레이(200)에 수납시킬 수 있다.
상기 로딩픽커(22)는 갠트리(10)에 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 이 경우, 상기 트레이 이송장치(100)는 상기 로딩공정이 수행되는 과정에서 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)를 제2축방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 제2축방향(Y축 방향)은 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 수직한 방향이다. 상기 로딩스택커(21)는 상기 로딩공정이 수행되는 과정에서 상기 픽업위치에 위치한 고객트레이를 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있다.
상기 로딩부(2)는 로딩버퍼(23, 도 14에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 로딩버퍼(23)는 테스트될 전자부품을 수납한다. 상기 로딩픽커(22)는 테스트될 전자부품을 상기 고객트레이에서 상기 로딩버퍼(23)로 이송한 후에 상기 로딩버퍼(23)에서 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)로 이송한다. 상기 로딩버퍼(23)는 제1로딩수납홈(231), 및 제2로딩수납홈(232)을 포함할 수 있다.
상기 제1로딩수납홈(231)은 상기 제2로딩수납홈(232)에 비해 큰 크기로 형성된다. 이에 따라, 상기 제1로딩수납홈(231)은 상기 제2로딩수납홈(232)에 수납되는 전자부품에 비해 큰 크기를 갖는 전자부품을 수납할 수 있다.
상기 제2로딩수납홈(232)은 상기 제1로딩수납홈(231)에 비해 작은 크기로 형성된다. 이에 따라, 상기 제2로딩수납홈(232)은 상기 제1로딩수납홈(231)에 수납되는 전자부품에 비해 작은 크기를 갖는 전자부품을 수납할 수 있다. 상기 제2로딩수납홈(232) 및 상기 제1로딩수납홈(231)은 서로 연결되게 형성된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 전자부품이 다른 크기를 갖는 것으로 변경되는 경우, 상기 제1로딩버퍼(23)를 교체하지 않고도 변경된 전자부품에 대해 로딩공정을 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 전자부품의 변경에 용이하게 대응할 수 있다.
도 15 및 도 16을 참고하면, 상기 로딩부(2)는 제1개폐기구(24)를 포함할 수 있다.
상기 제1개폐기구(24)는 상기 트레이(200)에서 전자부품을 고정하기 위한 고정기구(201)를 이동시킨다. 상기 트레이(200)가 캐리어모듈을 이용하여 전자부품을 수납하는 테스트 트레이인 경우, 상기 제1개폐기구(24)는 가압핀을 이용하여 상기 캐리어모듈이 갖는 고정기구(201)를 가압하여 이동시킬 수 있다. 상기 트레이(200)가 번인소켓을 이용하여 전자부품을 수납하는 번인보드인 경우, 상기 제1개폐기구(24)는 상기 번인소켓을 가압하여 상기 번인소켓이 갖는 고정기구(201)를 이동시킬 수 있다. 상기 제1개폐기구(24)가 상기 고정기구(201)를 이동시켜서 상기 트레이(200)를 개방시킨 상태에서, 상기 로딩픽커(22)는 상기 트레이(200)에 전자부품을 수납시킬 수 있다. 상기 제1개폐기구(24)가 상기 트레이(200)로부터 이격되면, 상기 고정기구(201)는 복원력에 의해 이동되어서 상기 트레이(200)를 폐쇄시킬 수 있다.
상기 제1개폐기구(24)는 상기 교환위치(EP)의 상측에 위치되게 설치된다. 상기 제1개폐기구(24)는 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)의 상측에서 승강함으로써, 상기 고정기구(201)를 이동시킬 수 있다. 상기 제1개폐기구(24)는 상기 로딩픽커(22)를 통과시키기 위한 통과공(241)을 포함한다. 상기 로딩픽커(22)는 상기 제1개폐기구(24)에 의해 고정기구(201)가 이동된 상태에서, 상기 통과공(241)을 통해 상기 제1개폐기구(24)를 통과하여 상기 트레이(200)에 전자부품을 수납시킬 수 있다. 상기 제1개폐기구(24)는 상기 통과공(241)을 복수개 포함할 수 있다.
도 15 및 도 16을 참고하면, 상기 로딩부(2)는 감지기구(25)를 포함할 수 있다.
상기 감지기구(25)는 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)에 전자부품이 존재하는지 여부를 감지한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 트레이(200)에 전자부품이 부족하게 수납된 상태로 상기 테스트위치(TP)로 이동하게 되는 것을 방지할 수 있다.
상기 감지기구(25)는 상기 교환위치(EP)의 하측에 위치되게 설치된다. 상기 감지기구(25)는 상기 교환위치(EP)의 하측에서 상측으로 감지광을 방출한 후에 감지광이 수신되는 광량에 따라 트레이(200)에 전자부품이 존재하는지 여부를 감지할 수 있다. 상기 감지기구(25)는 감지광을 방출한 후에 감지광이 전자부품에 반사되어 수광되면, 트레이(200)에 전자부품이 존재하는 것으로 판단한다. 상기 감지기구(25)는 감지광을 방출한 후에 감지광이 수광되지 않으면, 트레이(200)에 전자부품이 존재하지 않는 것으로 판단한다. 이 경우, 상기 트레이(200)는 감지광을 통과시키기 위한 감지공(202)을 포함한다. 상기 감지공(202)은 상기 트레이(200)의 밑면을 관통하여 형성된다. 상기 로딩부(2)는 상기 감지기구(25)를 복수개 포함할 수 있다.
도 13 내지 도 16을 참고하면, 상기 언로딩부(3)는 테스트된 전자부품을 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)로부터 분리하는 언로딩공정을 수행한다. 상기 언로딩부(3)는 언로딩스택커(31) 및 언로딩픽커(32)를 포함할 수 있다.
상기 언로딩스택커(31)는 테스트된 전자부품이 담겨지는 고객트레이를 복수개 저장한다. 상기 언로딩스택커(31)는 고객트레이들을 상기 언로딩픽커(32)가 전자부품을 수납시킬 수 있는 수납위치로 순차적으로 이동시킨다.
상기 언로딩픽커(32)는 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)에서 전자부품을 픽업한 후에, 상기 언로딩스택커(31)에 위치한 고객트레이에 수납시킨다. 이 경우, 상기 언로딩픽커(32)는 전자부품을 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 고객트레이에 수납시킬 수 있다. 이를 위해, 상기 언로딩부(3)는 상기 언로딩스택커(31)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 언로딩부(3)는 제1등급에 해당하는 전자부품이 담겨지는 고객트레이를 저장하는 제1언로딩스택커(311), 불량에 해당하는 전자부품이 담겨지는 고객트레이를 저장하는 제2언로딩스택커(312), 및 양풍이면서 제2등급 이하의 등급에 해당하는 전자부품이 담겨지는 고객트레이를 저장하는 제3언로딩스택커(313)를 포함할 수 있다. 상기 언로딩픽커(32)는 트레이(200)로부터 한번에 복수개의 전자부품을 픽업한 후에, 한번에 복수개의 전자부품을 고객트레이에 수납시킬 수도 있다.
상기 언로딩픽커(32)는 상기 갠트리(10)에 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 이 경우, 상기 트레이 이송장치(100)는 상기 언로딩공정이 수행되는 과정에서 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)를 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 언로딩스택커(31)는 상기 언로딩공정이 수행되는 과정에서 상기 수납위치에 위치한 고객트레이를 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 트레이 이송장치(100)는 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 상기 트레이(200)를 상기 교환위치(EP)와 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 언로딩픽커(32) 및 상기 로딩픽커(31)가 상기 언로딩공정 및 상기 로딩공정을 수행하는 과정에서 이동하는 거리를 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 언로딩공정 및 상기 로딩공정에 걸리는 시간을 단축할 수 있다.
상기 언로딩픽커(32)는 상기 제1개폐기구(24)가 상기 고정기구(201)를 이동시켜서 트레이(200)를 개방시킨 상태에서, 상기 트레이(200)로부터 전자부품을 픽업할 수 있다. 상기 언로딩픽커(32)는 상기 제1개폐기구(24)에 의해 고정기구(201)가 이동된 상태에서, 상기 통과공(241)을 통해 상기 제1개폐기구(24)를 통과하여 상기 트레이(200)로부터 전자부품을 픽업할 수 있다. 상기 감지기구(25)는 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)에 전자부품이 존재하는지 여부를 감지함으로써, 상기 언로딩공정이 완료된 후에 상기 트레이(200)에 전자부품이 남아있는지 여부를 확인할 수 있다.
도 1 내지 도 16을 참고하면, 상기 테스트부(4, 도 16에 도시됨)는 전자부품을 테스트장비(T, 도 16에 도시됨)에 접속시키는 테스트공정을 수행한다. 전자부품이 상기 테스트장비(T)에 접속되면, 상기 테스트장비(T)는 전자부품이 정상적으로 작동하는지 여부를 테스트한다. 상기 테스트장비(T)는 전자부품에 전압을 인가함으로써, 전자부품이 정상적으로 작동하는지 여부를 테스트할 수 있다. 상기 테스트장비(T)는 한번에 복수개의 전자부품을 테스트할 수 있도록 복수개의 테스트소켓을 포함할 수 있다.
상기 테스트장비(T)는 전자부품에 전압을 인가하는 제1테스트기구, 및 전자부품에 접촉되어 전자부품에 전압이 인가됨에 따른 정전용량을 측정하는 제2테스트기구를 포함할 수 있다. 상기 제1테스트기구는 상기 테스트위치(TP)의 하측에 위치되게 설치된다. 상기 제2테스트기구는 상기 테스트위치(TP)의 상측에 위치되게 설치된다. 상기 제1개폐기구(24, 도 15에 도시됨)가 상기 고정기구(201, 도 15에 도시됨)를 이동시켜서 상기 트레이(200)를 개방시킨 상태에서, 상기 제1테스트기구 및 상기 제2테스트기구는 전자부품을 테스트할 수 있다.
상기 테스트부(4)는 상기 테스트위치(TP)에 위치된 트레이(200)를 상기 테스트장비(T)에 접속시킨다. 이 경우, 상기 트레이 이송장치(100)가 상기 테스트위치(TP)에서 상기 트레이(200)를 상기 테스트장비(T) 쪽으로 하강시키면, 상기 테스트부(4)가 상기 테스트위치(TP)에서 상기 트레이(200)에 수납된 전자부품을 상기 테스트장비(T)에 접속시킬 수 있다. 상기 트레이 이송장치(100)는 도 16에 도시된 바와 같이 트레이(200)를 상기 교환위치(EP), 상기 대기위치(WP), 및 상기 테스트위치(TP) 간에 이송한다. 도 16에서 실선으로 표시된 화살표는 상기 트레이(200)가 상기 교환위치(EP)에서 상기 테스트위치(TP)로 이동하는 동선을 표시한 것이다. 도 16에서 점선으로 표시된 화살표는 상기 트레이(200)가 상기 테스트위치(TP)에서 상기 교환위치(EP)로 이동하는 동선을 표시한 것이다. 도 8 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 트레이 이송장치(100)는 제1트레이(210) 및 상기 제2트레이(220)가 서로를 회피하면서 상기 교환위치(EP), 상기 대기위치(WP), 및 상기 테스트위치(TP) 간에 이송되도록 상기 제1트레이(210) 및 상기 제2트레이(220)를 이동시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
100 : 트레이 이송장치 110 : 제1결합기구
120 : 제2결합기구 130 : 제1이동부
140 : 제2이동부 150 : 본체

Claims (13)

  1. 전자부품을 수납하기 위한 제1트레이가 결합되는 제1결합기구;
    전자부품이 로딩되는 로딩공정과 전자부품이 언로딩되는 언로딩공정이 이루어지는 교환위치 및 전자부품이 테스트장비에 접속되어 테스트되는 테스트공정이 이루어지는 테스트위치 간에 상기 제1트레이가 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구를 이동시키는 제1이동부;
    전자부품을 수납하기 위한 제2트레이가 결합되는 제2결합기구; 및
    상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 상기 제2트레이가 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구를 이동시키는 제2이동부를 포함하고,
    상기 제1이동부는 상기 제1결합기구가 상기 제2결합기구를 회피하여 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구를 승강시키는 제1승강기구를 포함하고,
    상기 제2이동부는 상기 제2결합기구가 상기 제1결합기구를 회피하여 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구를 승강시키는 제2승강기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1이동부 및 상기 제2이동부가 결합되는 본체를 포함하고,
    상기 제1이동부는 상기 본체의 일측에 결합되고,
    상기 제2이동부를 상기 본체의 타측에 결합되며,
    상기 제1결합기구는 상기 본체의 일측에서 상기 본체의 타측을 향하는 제1방향으로 돌출되게 상기 제1이동부에 결합되고,
    상기 제2결합기구는 상기 제1방향에 대해 반대되는 제2방향으로 돌출되게 상기 제2이동부에 결합되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1승강기구는 상기 제1트레이의 이동경로가 제1이동경로 및 상기 제1이동경로의 하측에 위치한 제2이동경로 간에 전환되도록 상기 제1결합기구를 승강시키며,
    상기 제2승강기구는 상기 제2트레이의 이동경로가 상기 제1이동경로 및 상기 제2이동경로 간에 전환되도록 상기 제2결합기구를 승강시키는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1승강기구는 상기 테스트위치에서 상기 제1트레이의 이동경로가 상기 제1이동경로에서 상기 제2이동경로로 전환되도록 상기 제1결합기구를 하강시키고, 상기 교환위치와 상기 테스트위치의 사이에 위치한 대기위치에서 상기 제1트레이의 이동경로가 상기 제2이동경로에서 상기 제1이동경로로 전환되도록 상기 제1결합기구를 상승시키며,
    상기 제2승강기구는 상기 테스트위치에서 상기 제2트레이의 이동경로가 상기 제1이동경로에서 상기 제2이동경로로 전환되도록 상기 제2결합기구를 하강시키고, 상기 대기위치에서 상기 제2트레이의 이동경로가 상기 제2이동경로에서 상기 제1이동경로로 전환되도록 상기 제2결합기구를 상승시키는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1이동부는 상기 제1트레이가 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구를 이동시키는 제1이동기구를 포함하고,
    상기 제1이동기구는 상기 제2결합기구가 상기 테스트위치에 위치하는 경우, 상기 로딩공정이 완료된 제1트레이가 상기 교환위치와 상기 테스트위치의 사이에 위치한 대기위치에서 대기하도록 상기 제1결합기구를 상기 제1이동경로를 따라 상기 교환위치에서 상기 대기위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2이동부는 상기 제2트레이가 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구를 이동시키는 제2이동기구를 포함하고,
    상기 제2이동기구는 상기 제1결합기구가 상기 제1이동경로 상에서 상기 대기위치에 위치하는 경우, 상기 테스트공정이 완료된 제2트레이가 상기 제1결합기구를 회피하여 상기 교환위치로 이동하도록 상기 제2결합기구를 상기 제2이동경로를 따라 상기 테스트위치에서 상기 대기위치로 이동시키며,
    상기 제2승강기구는 상기 제1결합기구가 상기 제1이동경로를 따라 상기 대기위치에서 상기 테스트위치로 이동하면, 상기 대기위치에 위치한 제2결합기구를 상기 제2이동경로에서 상기 제1이동경로로 상승시키는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1결합기구는 상기 제1트레이가 삽입되는 제1삽입홈, 및 상기 제1삽입홈에 삽입된 제1트레이를 홀딩하는 제1홀딩기구를 포함하고,
    상기 제1홀딩기구는 상기 제1트레이가 테스트 트레이와 번인보드 간에 교체되도록 상기 제1트레이를 분리 가능하게 홀딩하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 제1이동부는 상기 제1결합기구를 승강시키기 위한 제1보조승강기구를 포함하고,
    상기 제1보조승강기구는 상기 테스트위치에서 상기 제1트레이에 수납된 전자부품이 상기 테스트장비에 접속되도록 상기 제1결합기구를 상기 제2이동경로의 하측으로 하강시키며,
    상기 제2이동부는 상기 제2결합기구를 승강시키기 위한 제2보조승강기구를 포함하고,
    상기 제2보조승강기구는 상기 테스트위치에서 상기 제2트레이에 수납된 전자부품이 상기 테스트장비에 접속되도록 상기 제1결합기구를 상기 제2이동경로의 하측으로 하강시키는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  9. 테스트될 전자부품을 트레이로 로딩하는 로딩공정을 수행하는 로딩부;
    테스트된 전자부품을 트레이로부터 언로딩하는 언로딩공정을 수행하는 언로딩부;
    전자부품이 테스트장비에 의해 테스트되도록 전자부품을 상기 테스트장비에 접속시키는 테스트공정을 수행하는 테스트부; 및
    상기 로딩공정과 상기 언로딩공정이 이루어지는 교환위치 및 상기 테스트공정이 이루어지는 테스트위치 간에 트레이를 순환하여 이동시키는 제1항 내지 제8항 중에서 어느 하나의 트레이 이송장치를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러.
  10. 제9항에 있어서, 상기 로딩부는
    상기 교환위치에 위치한 트레이에 대해 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정이 수행되도록 상기 트레이에서 전자부품을 고정하기 위한 고정기구를 이동시키는 제1개폐기구; 및
    상기 교환위치에 위치한 트레이에 전자부품이 존재하는지 여부를 감지하기 위한 감지기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 로딩부는 전자부품을 이송하기 위한 로딩픽커를 포함하고,
    상기 언로딩부는 전자부품을 이송하기 위한 언로딩픽커를 포함하며,
    상기 로딩픽커 및 상기 언로딩픽커는 각각 제1축방향으로 이동 가능하게 갠트리에 결합되고,
    상기 트레이 이송장치는 상기 제1축방향에 대해 수직한 제2축방향으로 상기 트레이를 상기 교환위치와 상기 테스트위치 간에 순환하여 이동시키는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 로딩부는 테스트될 전자부품이 담겨진 고객트레이를 저장하는 로딩스택커를 포함하고,
    상기 언로딩부는 테스트된 전자부품이 담겨지는 고객트레이를 저장하는 언로딩스택커를 포함하며,
    상기 트레이 이송장치는 상기 로딩스택커와 상기 언로딩스택커 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 로딩부는 테스트될 전자부품이 담겨진 고객트레이를 저장하는 로딩스택커, 테스트될 전자부품이 수납되는 로딩버퍼, 및 테스트될 전자부품을 고객트레이에서 상기 로딩버퍼로 이송한 후에 상기 로딩버퍼에서 상기 교환위치에 위치한 트레이로 이송하는 로딩픽커를 포함하고;
    상기 로딩버퍼는 테스트될 전자부품이 수납되는 제1로딩수납홈, 및 상기 제1로딩수납홈에 연결되게 형성되는 제2로딩수납홈을 포함하며;
    상기 제2로딩수납홈은 상기 제1로딩수납홈에 수납되는 전자부품에 비해 작은 크기를 갖는 전자부품이 수납되도록 상기 제1로딩수납홈에 비해 작은 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
KR1020140068810A 2014-06-07 2014-06-07 트레이 이송장치 및 전자부품 테스트 핸들러 KR102156154B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140068810A KR102156154B1 (ko) 2014-06-07 2014-06-07 트레이 이송장치 및 전자부품 테스트 핸들러

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140068810A KR102156154B1 (ko) 2014-06-07 2014-06-07 트레이 이송장치 및 전자부품 테스트 핸들러

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150140889A true KR20150140889A (ko) 2015-12-17
KR102156154B1 KR102156154B1 (ko) 2020-09-16

Family

ID=55080846

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140068810A KR102156154B1 (ko) 2014-06-07 2014-06-07 트레이 이송장치 및 전자부품 테스트 핸들러

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102156154B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210034476A (ko) * 2019-09-20 2021-03-30 주식회사 이레텍 메모리카드 이송핸들러
KR20230019757A (ko) * 2021-08-02 2023-02-09 미래산업 주식회사 전자부품 테스트 핸들러

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100866364B1 (ko) * 2007-07-31 2008-11-03 미래산업 주식회사 테스트 핸들러, 상기 테스트 핸들러를 이용한 테스트트레이이송방법 및 반도체 소자 제조방법
KR20090020350A (ko) * 2007-08-23 2009-02-26 에버테크노 주식회사 에스에스디(ssd) 테스트 핸들러
KR100973189B1 (ko) * 2008-01-08 2010-07-30 주식회사 에스에프에이 테스트 핸들러
KR20120122545A (ko) * 2011-04-29 2012-11-07 미래산업 주식회사 메모리카드용 테스트 핸들러

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100866364B1 (ko) * 2007-07-31 2008-11-03 미래산업 주식회사 테스트 핸들러, 상기 테스트 핸들러를 이용한 테스트트레이이송방법 및 반도체 소자 제조방법
KR20090020350A (ko) * 2007-08-23 2009-02-26 에버테크노 주식회사 에스에스디(ssd) 테스트 핸들러
KR100973189B1 (ko) * 2008-01-08 2010-07-30 주식회사 에스에프에이 테스트 핸들러
KR20120122545A (ko) * 2011-04-29 2012-11-07 미래산업 주식회사 메모리카드용 테스트 핸들러

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210034476A (ko) * 2019-09-20 2021-03-30 주식회사 이레텍 메모리카드 이송핸들러
KR20230019757A (ko) * 2021-08-02 2023-02-09 미래산업 주식회사 전자부품 테스트 핸들러

Also Published As

Publication number Publication date
KR102156154B1 (ko) 2020-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2921937B2 (ja) Ic検査装置
KR101205950B1 (ko) 메모리카드용 테스트 핸들러
KR102401058B1 (ko) 소자핸들러
KR101158064B1 (ko) 전자부품 시험장치 및 전자부품의 시험방법
KR20080072131A (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러용 소팅장치 및 소팅방법
KR101810082B1 (ko) 소자소팅장치
US20110199113A1 (en) Insert containing apparatus for semiconductor package
KR20150140889A (ko) 트레이 이송장치 및 전자부품 테스트 핸들러
KR101187306B1 (ko) 반송장치 및 전자부품 핸들링 장치
CN116359699A (zh) 元件处理器
KR20020083742A (ko) 반도체 소자 검사장치
KR20190095777A (ko) 반도체 소자 핸들러
KR20090078256A (ko) 에스에스디(ssd) 테스트 핸들러
KR20100006989A (ko) 비전검사장비의 픽커 유니트
KR20150010041A (ko) 인라인 테스트 핸들러 및 인라인 테스트 핸들러에서 테스트 트레이 이송 제어방법
KR20000066858A (ko) 번인 테스터 소팅 핸들러의 트레이 운반장치
KR100929780B1 (ko) 에스에스디(ssd) 테스트 핸들러
KR102156155B1 (ko) 전자부품 테스트장치 및 전자부품 테스트 핸들러
KR102316946B1 (ko) 스토커 및 이의 레티클 처리 방법
KR102652903B1 (ko) 전자부품 테스트 핸들러
KR102296044B1 (ko) 제품 언로딩 장치
TWI828521B (zh) 用於測試電子元件的分類裝置
KR102104051B1 (ko) 소자핸들러
TWI840092B (zh) 電子元件載運機構及作業機
KR100835999B1 (ko) Ic 소팅 핸들러 및 그 제어방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant