KR100567507B1 - 박판 지지 용기용 덮개, 박판 지지 용기 및 간이 착탈 기구 - Google Patents

박판 지지 용기용 덮개, 박판 지지 용기 및 간이 착탈 기구 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 박판을 수납하여 반송하는 용기 본체(2)를 폐쇄하는 덮개이다. 대향하는 각변의 중앙부에 제조 라인용 간이 착탈 기구(32)를 구비한다. 제조 라인용 간이 착탈 기구(32)는 제 2 피결합부(21)에 연결하는 연결판(34)과, 이 연결판(34)에 연결하여 승강 운동시키는 구동부재(35)를 구비한다. 구동부재(35)의 회전운동 방향 단부에는 구동부재(35)를 고정하는 연결걸이부(57)를 구비한다. 구동부재(35)에는 연결판(34)의 출입을 제어하는 지지 레일부(56)를 구비한다. 연결판(34)은 요동 가능함과 아울러 슬라이드 가능하게 지지되며, 그 선단에는 제 2 피결합부(21)와 연결하는 누름편(51)를 구비한다. 수송용 덮개(4)를 용기 본체(2)에 부착하여 수송용 박판 지지 용기(1)로 하고, 제조 라인용 덮개(5)를 부착하여 제조 라인용 박판 지지 용기(1)로서 사용한다.
박판 지지 용기, 덮개, 착탈 기구, 구동부재, 누름편.

Description

박판 지지 용기용 덮개, 박판 지지 용기 및 간이 착탈 기구{THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER AND LID THEREOF, AND EASY ATTACHABLE MECHANISM}
본 발명은 반도체 웨이퍼, 메모리 디스크, 액정 유리 기판 등의 박판을 수납하여 보관 또는 수송에 사용되는 용기 본체를 수송 후의 제조 공정에서도 사용할 수 있도록 한 박판 지지 용기용 덮개 및 박판 지지 용기에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 박판을 수납하여 보관, 수송하기 위한 박판 지지 용기는 일반적으로 알려져 있다.
이 박판 지지 용기는 주로, 용기 본체와, 이 용기 본체의 상부개구를 폐쇄하는 덮개로 구성되어 있다. 용기 본체의 내부에는 반도체 웨이퍼 등의 박판을 지지하기 위한 부재가 설치되어 있다. 이러한 박판 지지 용기에서는 내부에 수납된 반도체 웨이퍼 등의 박판의 표면 오염 등을 방지하기 위해, 용기 내부를 청정하게 유지하여 수송할 필요가 있다. 이 때문에, 용기 내부는 밀봉되고 있다. 즉, 덮개를 용기 본체에 고정하여 용기 내부를 밀봉하고 있다. 이 덮개를 용기 본체에 고정하는 구조로서는 여러 가지의 것이 있다.
그리고, 반도체 웨이퍼 등의 박판을 제조하는 공장에서, 용기 본체에 박판이 수납되고, 덮개가 용기 본체에 고정되어 내부가 밀봉된다. 이 상태로 반도체 제조 공장 등으로 수송된다. 반도체 제조 공장 등에서는 반도체 웨이퍼 등이 제조 라인 전용 용기로 이체되어 제조 라인에 장착되는 것이 일반적이다.
그러나, 전술한 바와 같이 반도체 웨이퍼 등을 라인 전용 용기로 대체하는 경우, 상기 박판 지지 용기는 수송에만 사용되게 되며, 그 후는 불필요해진다. 이 때문에, 박판 지지 용기는 반도체 웨이퍼의 수송 후, 빈 상태로 원래의 공장으로 반환되거나 폐기 처분된다. 그러나, 이는 사용 효율이 좋지 않고, 자원이 남용되며, 폐기물의 증가를 야기하게 된다.
이 때문에, 본 출원인은 용기 본체의 덮개 수용부를 여러 가지 덮개에 대응할 수 있도록 개량하여, 용기 본체를 제조 라인에서도 사용할 수 있도록 한 발명(특개 2000－289795호)을 먼저 제안했지만, 이 용기 본체와 상이한 구조의 용기 본체의 경우에는 여전히 제조 라인에서 사용할 수 없다고 하는 문제점이 있다.　
본 발명은 전술한 문제점을 감안한 것으로, 용기 본체를 수송 후의 제조 라인 등에서 그대로 사용할 수 있도록 한 박판 지지 용기용 덮개 및 박판 지지 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
제 1 발명과 관련된 박판 지지 용기용 덮개는, 내부에 박판을 복수매 수납하여 반송하는 용기 본체를 폐쇄하는 덮개에 있어서, 사각형 모양으로 형성되어 대향하는 각변의 중앙부에 제조 라인용 간이 착탈 기구를 구비한 것을 특징으로 한다.
전술한 구성에 의해, 덮개에 제조 라인용 간이 착탈 기구를 구비하였으므로, 수송용 용기 본체에 제조 라인용 간이 착탈 기구를 개입시켜 제조 라인용 덮개를 부착할 수 있다. 이에 따라, 수송용 용기 본체를 제조 라인용으로 그대로 사용할 수 있다.
상기 제조 라인용 간이 착탈 기구는 연장하여 용기 본체에 연결하는 연결판과, 이 연결판에 연결하여 승강 운동시키는 구동부재를 구비하여 구성된 것이 바람직하다.
이에 따라, 구동부재로 연결판을 승강 운동 시킴으로써, 제조 라인용 덮개를 용기 본체에 착탈할 수 있다.
또한, 상기 구동부재의 회전운동 방향 단부에 연결걸이부를 구비한 것이 바람직하다.
이에 따라, 구동부재를 회동시킨 후, 설정 위치에서 고정할 수 있다.
또한, 상기 구동부재가 연결판의 출입을 제어하는 지지 레일부를 구비한 것이 바람직하다.
이에 따라, 지지 레일부에서 연결판의 출입이 제어됨으로써, 덮개를 용기 본체에 대해 확실히 고정하고, 확실히 고정 해제한다.
또한, 상기 연결판이 요동(pivotal movement) 가능하게 지지됨과 동시에 슬라이드 가능하게 지지된 것이 바람직하다.
이에 따라, 연결판이 슬라이딩 되어 용기 본체로 연장하고, 요동하여 용기 본체에 접촉되어 덮개를 용기 본체에 고정한다.
또한, 상기 연결판이 그 선단에 용기 본체측과 연결하는 누름편을 구비한 것이 바람직하다.
이에 따라, 누름편이 용기 본체측과 연결하고, 덮개를 삽입하여 용기 본체에 고정한다.
제 2 발명과 관련된 박판 지지 용기는, 내부에 박판을 복수매 수납하여 수송하는 용기 본체와, 이 용기 본체 내부를 폐쇄하는 덮개를 구비한 박판 지지 용기에 있어서, 상기 덮개로서 제 1 항 내지 제 6 항중 어느 한 항에 기재된 박판 지지 용기용 덮개를 이용한 것을 특징으로 한다.
전술한 구성에 의해, 박판 지지 용기를 수송용으로 사용한 후, 공장 등에 두고 제조 라인용으로 사용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예와 관련된 제조 라인용 덮개를 도시한 평면도이다.
도 2는 수송용의 박판 지지 용기를 도시한 사시도이다.
도 3은 박판 지지 용기의 용기 본체를 도시한 사시도이다.
도 4는 박판 지지 용기의 용기 본체를 도시한 저면도이다.
도 5는 박판 지지 용기의 용기 본체를 도시한 단면도이다.
도 6은 박판 지지 용기의 용기 본체를 도시한 요부 사시도이다.
도 7은 수송용 덮개와 용기 본체의 접촉 부분을 도시한 요부 단면도이다.
도 8은 수송용 덮개의 수송용 간이 착탈 기구를 도시한 사시도이다.
도 9는 제조 라인용 덮개를 도시한 이면도이다.
도 10은 제조 라인용 덮개를 도시한 정면도이다.
도 11은 제조 라인용 덮개를 도시한 측면도이다.
도 12는 제조 라인용 간이 착탈 기구를 도시한 평면도이다.
도 13은 연결판을 도시한 평면도이다.
도 14는 연결판을 도시한 정면도이다.
도 15는 연결판을 도시한 단면도이다.
도 16은 연결판을 도시한 측면도이다.
도 17은 구동부재를 도시한 평면도이다.
도 18은 구동부재를 도시한 측면도이다.
도 19는 구동부재를 도시한 정면도이다.
도 20은 구동부재를 도시한 측면 단면도이다.
도 21은 구동부재를 도시한 정면 단면도이다.
도 22는 커버를 도시한 평면도이다.
도 23은 커버를 도시한 단면도이다.
도 24는 제조 라인용 간이 착탈 기구의 동작 상태를 도시한 요부 단면도이다.
도 25는 제조 라인용 간이 착탈 기구의 동작 상태를 도시한 요부 단면도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 본 발명의 박판 지지용기는 반도체 웨이퍼, 메모리 디스크, 액정 유리 기판 등의 박판을 수납하여, 보관, 수송함과 동시에, 수송 후 용기 본체를 제조 라인 등에서 그대로 사용할 수 있도록 한 것이다. 아울러, 여기에서는 반도체 웨이퍼를 수납하는 박판 지지용기를 예로서 설명한다.
본 실시예에 따른 박판 지지용기(1)는, 도 1, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 내부에 반도체 웨이퍼(미도시)를 복수매 수납하는 용기 본체(2)와, 이 용기 본체(2)내의 대향하는 측벽에 각각 설치되어 내부에 수납된 반도체 웨이퍼를 양측으로부터 지지하는 2개의 박판 지지부(3)와, 용기 본체(2)를 폐쇄하는 수송용 덮개(4) 및 제조 라인용 덮개(5)와, 공장 내의 반송 장치(미도시)의 걸이부(腕部)로 파지되는 탑 플랜지(6)와, 작업자가 손으로 박판 지지 용기(1)를 운반할 때 잡는 운반용 핸들(7)로 구성되어 있다.
용기 본체(2)는, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 전체가 거의 입방체 형상으로 형성되어 있다. 이 용기 본체(2)는 세로로 위치된 상태(도 3의 상태)에서 주위의 벽이 되는 4개의 측벽부(2A)(2B)(2C)(2D)와 저판부(2E)로 구성되고, 그 상부에 개구(2F)가 설치되어 있다. 각 측벽부(2A)(2B)(2C)(2D)에는 보강용 수직홈(종구; 縱溝)(9)이 다수개 설치되어 있다. 이 용기 본체(2)는 반도체 웨이퍼의 제조 라인 등에서 웨이퍼 반송용 로보트(미도시)에 대향하여 고정시킬 수 있을 때는 횡으로 위치된다. 횡으로 위치된 상태에서 저부가 되는 측벽부(2A)의 외측에는 박판 지지 용기(1)의 위치 결정 수단(11)이 설치되어 있다. 횡으로 위치된 상태에서 천정부가 되는 측벽부(2B)의 외측에는 탑 플랜지(6)가 착탈 자재로 장착되어 있다. 횡으로 위치된 상태에서 횡벽부가 되는 측벽부(2C)(2D)의 외측에는 운반용 핸들(7)이 착탈 자재로 장착되어 있다. 또한, 운반용 핸들(7)은 봉 형상에 한정되지 않고, 환형 손잡이 등의 다른 형상이라도 좋다.
상기 위치 결정 수단(11)은 주로 3개의 결합홈(결합구; 嵌合溝)(12)에 의해 구성되어 있다. 각 결합홈(12)은 용기 본체(2)의 세로 방향에 정합하는 제 1 결합홈(12A)과, 용기 본체(2)의 세로 방향에 대해서 동일한 각도(약 60도)로 경사진 제 2 및 제 3 결합홈(12B)(12C)으로 구성되어 있다. 이들 3개의 결합홈(12)은 규격에 맞게 정밀한 치수 정밀도로 완성되어 있다. 이 위치 결정 수단(11)의 각 결합홈(12A)(12B)(12C)이 장착대 측의 결합돌기(미도시)에 결합됨으로써, 박판 지지 용기(1)가 정확한 위치에 설치되며, 웨이퍼 반송용 로보트에 의해 반도체 웨이퍼가 출납되게 되어 있다.
저판부(2E)에는 다리(13)가 설치되어 있다. 이 다리(13)는 저판부(2E)의 네모서리 근방의 4개소를 하방으로 4각형상으로 돌출하여 형성되어 있다. 용기 본체(2)를 세로로 위치시켰을 때, 이 4개소의 다리(13)에 의해 용기 본체(2)가 안정적으로 지지된다.
용기 본체(2)의 측벽부(2C)(2D)의 내측에는 착탈 자재로 장착되는 박판 지지부(3)를 지지하는 지지대(15)가 설치되어 있다. 이 지지대(15)는 하부지지대(15A)와 상부지지대(15B)로 구성되어 있다. 각 지지대(15)에는 지지용 돌기(16)가 설치되어 있다. 지지용 돌기(16)는 박판 지지부(3)에 결합하여 박판 지지부(3)를 지지한다.
용기 본체(2)의 상단부에는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 덮개(4)가 결합하기 위한 덮개 수용부(17)가 설치되어 있다. 이 덮개 수용부(17)는 용기 본체(2)의 상단부를 덮개(4)의 치수까지 넓혀 형성된다. 이에 따라, 덮개(4)는 덮개 수용부(17)의 수직판부(17A)의 내측에 결합하고, 수평판부(17B)에 접촉함으로써, 덮개 수용부(17)에 장착된다. 아울러, 수평판부(17B)에는 그 사방에 밀봉홈(17C)이 설치되고, 덮개(4)의 하측면에 장착된 가스킷(18)이 결합하여 박판 지지 용기(1)의 내부를 밀봉하도록 되어 있다. 수직판부(17A)의 내측면에는 후술하는 수송용 간이 착탈 기구(23)의 덮개 연결편(24)이 결합하고 덮개(4)를 용기 본체(2)측에 고정하기 위한 제 1 피결합부(19)가 설치되어 있다. 이 제 1 피결합부(19)는 수직판부(17A)를 사각형상으로 오목하게 형성하고, 그 내측 상면에 후술하는 덮개 연결편(24)이 결합하도록 되어 있다.
아울러, 각 측벽부(2C)(2D)측의 수직판부(17A)의 중앙에는 도 3에 도시된 바와 같이 제 2 피결합부(21)가 설치되어 있다. 이 제 2 피결합부(21)는 제조 라인에서 사용하기 위한 것이다. 제 2 피결합부(21)는 제조 라인용 덮개(5)의 제조 라인용 간이 착탈 기구(32)의 연결판(34)이 결합하여 제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)측에 고정하도록 되어 있다. 이 제 2 피결합부(21)는 규격에 맞는 위치, 형상 및 크기로 설치되어 있다.
수송용 덮개(4)는 공지의 덮개로서 도 2, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 구성되어 있다. 이 수송용 덮개(4)는 접시 형상으로 형성되며, 그 중앙부가 내부에 수납되는 반도체 웨이퍼의 상부에 접촉하지 않도록 원통형으로 볼록하게 형성되어 있다. 또한, 덮개(4)의 상측면에는 용기 본체(2)의 저부에 설치된 다리(13)가 결합하는 다리수용부(22)가 각각 4개소에 설치되어 있다.
아울러, 덮개(4)의 네모서리에는 수송용 덮개(4)를 용기 본체(2)에 대해 착탈 자재로 고정하는 수송용 간이 착탈 기구(23)가 설치되어 있다. 이 수송용 간이 착탈 기구(23)는 주로 수송용 덮개(4)의 주연부로부터 돌출된 상태로 설치된 덮개 연결편(24)과, 이 덮개 연결편(24)이 장착된 유연성의 지지판(25)과, 이 지지판(25)으로부터 수평 방향으로 연장 형성되어 작업자가 손가락으로 눌러 덮개 연결편(24)을 해제하는 해제판(26)으로 구성되어 있다.
제조 라인용 덮개(5)는 수송되어 온 박판 지지 용기(1)의 용기 본체(2)를 그대로 공장 내의 제조 라인에서 사용할 수 있도록 하기 위한 덮개이다. 이 제조 라인용 덮개(5)는 상기 박판 지지 용기(1)와는 독립된 단체의 제품으로서 반도체 제조 공장 등에 위치된다. 제조 라인용 덮개(5)는 도 1, 도 9 내지 도 11에 도시된 바와 같이 구성되어 있다.
제조 라인용 덮개(5)는 전체를 거의 사각형의 얕은 접시 형상으로 형성하여, 용기 본체(2)의 덮개 수용부(17)에 장착된 상태에서 외부로는 보이지 않게 되어 있다. 제조 라인용 덮개(5)의 하부의 주위에는 가스킷 수용부(31)가 장착되어 있다. 이 가스킷 수용부(31)에는 가스킷(미도시)이 설치되며, 제조 라인용 덮개(5)가 덮개 수용부(17)에 장착된 상태에서, 밀봉홈(17C)에 결합하여 용기 본체(2) 내부를 밀폐하도록 되어 있다. 아울러, 가스킷은 밀봉홈(17C)의 형상에 맞춰 적당하게 형성된다. 밀봉홈(17C)은 단순한 홈 형상이 아닌 경우도 있기 때문에, 각각의 형상에 대응하는 형상으로 형성된다.
제조 라인용 덮개(5)의 길이방향 양단 테두리부의 중앙 위치의 상측면에는 제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)에 대해 착탈 자재로 고정하는 제조 라인용 간이 착탈 기구(32)가 설치되어 있다. 이 제조 라인용 간이 착탈 기구(32)의 위치는 규격에 맞도록 설정되어 있다. 제조 라인용 간이 착탈 기구(32)는 본체 요부(33)와, 연결판(34)과, 구동부재(또는 조출부재; 操出部材)(35)와, 커버(36)로 구성되어 있다.
제조 라인용 덮개(5)측의 본체 요부(33)는 도 1, 도 9 및 도 12에 도시된 바와 같이 제조 라인용 덮개(5)의 길이방향 양단부의 중앙에 바깥쪽에 향하여 반원 형상으로 오목하게 형성되어 있다. 이 본체 요부(33)는 구체적으로는 작동홈(作動溝部)(38)와, 지지통부(39)와, 연결핀(40)과, 지지판부(41)와, 출입홈(42)과, 출입홀(43)과, 연결축 수용부(44)와, 지지판부(45)로 구성되어 있다.
작동홈(38)은 구동부재(35)를 수납하여 그 작동에 수반하는 회전을 허용하기 위한 홈이다. 이 작동홈(38)은 긴 홈을 반원 형상으로 굽힌 상태로 형성되어 있다.
지지통부(39)는 구동부재(35)의 작동에 수반하는 회전을 지지함과 동시에 연결판(34)의 승강운동을 지지하기 위한 부재로서, 원통 형상으로 형성되어 있다. 이 지지통부(39)는 반원 형상의 작동홈(38)의 중앙에 설치되어 있다.
연결핀(40)은 구동부재(35)를 설정 각도로 고정하기 위한 핀이다. 이 연결핀(40)은 후술하는 구동부재(35)의 연결걸이부(57)가 연결되는 것으로서, 구동부재(35)를 설정 각도로 고정한다.
지지판부(41)는 연결판(34)의 승강운동을 지지하기 위한 판재이다. 이 지지판부(41)는 연결판(34)의 폭으로 그 연결판(34)을 사이에 두도록 대향하여 2매가 설치되어 있다. 지지판부(41)의 상단부에는 연결판(34)의 요동 지지 핀(50)을 지지하는 핀 지지 요부(41A)가 설치되어 있다. 핀 지지 요부(41A)는 연결판(34)의 승강운동에 수반하여 전후로 이동하는 요동 지지 핀(50)의 움직임을 허용할 수 있는 길이로 형성되어 있다. 이 2개의 지지판부(41)에 의해 출입홈(42)이 형성되어 있다. 연결판(34)은 이 출입홈(42)에 장착되어 승강 동작이 안내 지지된다. 출입홈(42)의 선단에는 출입홀(43)이 설치되어 있다. 연결판(34)은 이 출입홀(43)로부터 돌출하여 용기 본체(2)의 제 2 피결합부(21)에 연결되어 제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)에 고정하도록 되어 있다.
아울러, 상기 작동홈(38)은 1매의 제조 라인용 덮개(5)에 요철을 마련하여 형성되며, 제조 라인용 덮개(5)의 표면과 이면이 관통되지는 않는다. 더욱이, 각부는 전체를 완만한 곡선으로 형성하여 배수가 잘 되는 형상으로 되어 있다.
연결축 수용부(44)는 커버(36)의 일단을 지지하기 위한 부재이다. 연결축 수용부(44)는 커버(36)가 장착된 상태의 외측(도 12에서 하측)의 단부의 양측(후술하는 커버(36)의 연결축(65)에 대향하는 위치)에 2개 설치되어 있다. 연결축 수용부(44)는 외측으로 개방된 노치에 의해 구성되며, 커버(36)의 연결축(65)이 외측으로부터 결합하여 커버(36)의 일단이 지지되도록 되어 있다.
지지판부(45)는 커버(36)의 타단을 지지하기 위한 부재이다. 지지판부(45)는 커버(36)가 장착된 상태의 내측(도 12에서 상측)의 단부에 2개 설치되어 있다. 지지판부(45)는 후술하는 커버(36)의 연결봉(67)이 결합하는 연결공(45A)과, 후술하는 보유봉(발지봉; 拔止棒)(68)의 연결편(68A)이 연결되는 피연결부(45B)를 구비하여 구성된다.
연결판(34)은 제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)측에 고정하기 위한 부재이다. 이 연결판(34)은 도 12 내지 도 16에 도시된 바와 같이 맞물림 후크부(48)와, 승강운동 지지홀(49)과, 요동 지지 핀(50)과, 누름편(51)으로 구성되어 있다.
맞물림 후크부(48)는 C자형으로 형성되어 후술하는 구동부재(35)의 지지 레일부(56)에 결합하여 서로 연결되어 있다. 맞물림 후크부(48)의 개구(48A)의 치수는 그 내경보다 약간 작게 설정되며, 단면 형상이 거의 원형인 지지 레일부(56)에 결합함으로써, 서로 빠지지 않고 슬라이드 가능하게 연결된다.
승강운동 지지홀(49)은 연결판(34)의 승강동작을 지지하기 위한 구멍으로서, 연결판(34)의 중앙부에 거의 타원형으로 형성되어 있다. 이 승강운동 지지홀(49)은 상기 본체 요부(33)의 지지통부(39)에 결합하여 지지된다.
요동 지지 핀(50)은 연결판(34)의 좌우에 돌출하여 설치되며, 상기 지지판부(41)의 핀 지지 요부(41A)에 장착하여 지지된다. 이 상태에서, 요동 지지 핀(50)은 연결판(34)의 요동(pivotal movement)과 승강운동을 지지한다.
누름편(51)은, 연결판(34)이 구동부재(35)에 의해 구동된 상태에서, 용기 본체(2)의 제 2 피결합부(21)에 결합하여 제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)측으로 눌러 고정하기 위한 부재이다. 이 누름편(51)은 그 선단부를 상방으로 절곡하여 형성되며, 그 상단부가 상기 제 2 피결합부(21)의 표면에 가압 접촉되어(도 25의 상태) 제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)측으로 압압 지지하도록 되어 있다.
구동부재(35)는 연결판(34)을 구동함과 동시에 상하로 요동시켜 제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)에 고정하기 위한 부재이다. 이 구동부재(35)는 도 12, 도 17 내지 도 21에 도시된 바와 같이 지지부재(supporting column; 55)와, 지지 레일부(56)와, 연결걸이부(57)로 구성되어 있다.
지지부재(55)는 구동부재(35)의 회전을 지지하기 위한 부재이다. 이 지지부재(55)는 상기 본체 요부(33)의 지지통부(39)에 결합하여 회전가능하게 지지된다. 지지부재(55)의 상측면에는 키 홈(59)이 설치되어 있다. 이 키 홈(59)은 대략 직사각형 구멍 형태로 형성되어 공장 내의 반송 장치의 T자형 분리용 키(미도시)가 결합하도록 되어 있다. 아울러, 이 분리용 키는 규격이 통일되어 있으며, 키 홈(59)은 이에 맞게 설정되어 있다.
지지 레일부(56)는 연결판(34)의 맞물림 후크부(48)에 결합하여 연결판(34)을 직접적으로 승강시키기 위한 부재이다. 이 지지 레일부(56)는 상기 지지부재(55)를 중심으로 하여 약 90도의 범위에 형성되며 맞물림 후크부(48)에 결합하는 원형봉(61)과, 이 원형봉(61)에 일체로 설치된 지지판(62)으로 구성되어 있다. 원형봉(61)은 지지부재(55)로부터의 반경 치수 및 높이를 변환하여 형성된다. 구체적으로, 원형봉(61)은 그 중앙부(D)를 경계로 하여, 구동부(61A)와, 가압상승부(61B)로 구성되어 있다. 구동부(61A)는 지지부재(55)로부터의 반경을 단부(도 7에서 C위치)로부터 중앙부(D)를 향하여 서서히 작아지도록 설정하여, 맞물림 후크부(48)가 중앙부(D)에 위치될 경우, 연결판(34)을 바깥쪽으로 구동하고, 단부(C)에 위치될 경우, 연결판(34)을 내측으로 되돌리도록 구성되어 있다. 가압상승부(61B)는 지지부재(55)로부터의 반경을 거의 일정하게 유지한 상태에서, 원형봉(61)을 단부(E)로 향하여 하방으로 만곡시켜 높이를 변화시키고 있다. 구체적으로, 맞물림 후크부(48)가 원형봉(61)의 중앙부(D)에 위치될 경우, 연결판(34)의 선단의 누름편(51)은 하강한 상태로 유지되고, 맞물림 후크부(48)가 원형봉(61)의 단부(E)에 위치될 경우, 맞물림 후크부(48)가 아래로 누를 수 있어서 누름편(51)을 압승할 수 있도록(도 25의 상태) 구성되어 있다. 이에 따라, 맞물림 후크부(48)가 원형봉(61)의 단부(C)로부터 중앙부(D)로 이동하면, 연결판(34)이 출입홀(43)로부터 구동하고, 중앙부(D)로부터 단부(E)로 이동하면, 출입홀(43)로부터 구동된 상태의 연결판(34)의 누름편(51)을 상방으로 압승할 수 있어서 용기 본체(2)의 제 2 피결합부(21)의 상면에 접촉하고, 제조 라인용 덮개(5)가 용기 본체(2)에 가압 고정되게 되어 있다.
연결걸이부(57)는 구동부재(35)를 우측단 또는 좌측단에 회전된 상태로 고정하기 위한 부재이다. 이 연결걸이부(57)는 지지 레일부(56)의 좌우 양단부로부터 바깥쪽으로 연장 형성된 탄성을 가진 걸이부(57A)와, 이 걸이부(57A)의 선단에 형성되어 상기 연결핀(40)에 연결하는 원호상의 연결편(57B)으로 구성되어 있다.
커버(36)는 연결판(34)과 구동부재(35)를 덮는 부재이다. 즉, 이 커버(36)는, 연결판(34)과 구동부재(35)가 본체 요부(33)에 장착된 상태에서, 이들을 덮도록 설치된다. 커버(36)는 대략 반원형 접시 모양으로 형성되어 있다. 이 커버(36)의 기단(도 22의 우측단부)의 상하 양측 단부에는 연결축(65)이 설치되어 있다. 이 연결축(65)은 지지판(66)으로부터 내측으로 향하여 형성되며, 본체 요부(33)의 연결축 수용부(44)에 결합하여 커버(36)의 기단을 본체 요부(33)에 고정한다. 커버(36)의 선단부에는 2개의 연결봉(67)이 설치되며, 본체 요부(33)의 지지판부(45)의 연결공(45A)에 결합하여 커버(36)의 선단을 본체 요부(33)에 고정한다. 연결축(65) 및 연결봉(67)은 커버(36)를 내측방향(지지판부(45)측 방향)으로 이동시키는 것으로서 연결축 수용부(44) 및 지지판부(45)에 결합하여 고정되게 되어 있다. 2개의 연결봉(67)의 내측에는 2개의 보유봉(68)이 설치되어 있다. 이 2개의 보유봉(68)은 유연성을 가지고 있다. 보유봉(68)은 구체적으로는 서로 외측을 향하여 형성되어 지지판부(45)의 피연결부(45B)에 연결되는 연결편(68A)과, 손으로 집어 연결편(68A)을 지지판부(45)의 피연결부(45B)로부터 분리하는 판(68B)을 구비하고 있다. 이 보유봉(68)의 연결편(68A)이 피연결부(45B)에 연결됨으로써, 커버(36)를 본체 요부(33)에 확실하게 고정하고, 연결편(68A)이 피연결부(45B)로부터 분리됨으로써, 커버(36)를 본체 요부(33)로부터 용이하게 분리할 수 있게 되어 있다.
제조 라인용 덮개(5)의 이면에는 도 1에 도시된 바와 같이 용기 본체(2)내에 수납된 반도체 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 누름부(71)가 설치되어 있다. 이 웨이퍼 누름부(71)는 반도체 웨이퍼의 주연에 직접 접촉하여 지지하는 V자 누름편(72)과, 이 V자 누름편(72)을 탄성적으로 지지하는 지지 암부(73)를 구비하여 구성된다.
이상과 같이 구성된 박판 지지 용기(1)는 다음과 같이 사용된다.
박판 지지 용기(1)는 반도체 웨이퍼 등이 내부에 수납되어 해당 공장 등으로 반송된다. 이 경우, 용기 본체(2)에 반도체 웨이퍼 등이 수납된 상태에서 수송용 덮개(4)가 장착된다. 수송용 덮개(4)의 수송용 간이 착탈 기구(23)의 덮개 연결편(24)이 덮개 수용부(17)의 제 1 피결합부(19)에 결합하고, 수송용 덮개(4)가 용기 본체(2)에 장착된다. 이에 따라, 용기 본체(2) 내부가 완전하게 밀봉되어 해당 공장 등으로 반송된다.
공장 등에 도착한 후, 수송용 덮개(4)의 수송용 간이 착탈 기구(23)의 해제판(26)을 손가락으로 아래로 눌러 덮개 연결편(24)을 제 1 피결합부(19)로부터 분리하고, 수송용 덮개(4)를 용기 본체(2)로부터 분리하여, 내부의 반도체 웨이퍼 등을 공장 내의 라인 등에 공급한다.
사용 후의 박판 지지 용기(1)는 재사용된다. 용기 본체(2)는 수송처의 공장 등에서, 세정 후, 미리 준비된 제조 라인용 덮개(5)에 새로 부착될 수 있다. 즉, 제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)의 덮개 수용부(17)에 부착하고, 분리용 키를 키 홈(59)에 삽입하여 회전시킨다. 이에 따라, 구동부재(35)가 회전하여 맞물림 후크부(48)로 지지 레일부(56)에 맞물림된 연결판(34)이 구동부(61A)로 구동되며, 도 24의 상태로부터, 출입홀(43)을 통해 연장되어 제 2 피결합부(21)에 삽입된다. 그 다음, 가압상승부(61B)로 맞물림 후크부(48)를 아래로 누를 수 있으며, 요동 지지 핀(50)을 중심으로 하여, 도 25에 도시된 바와 같이, 누름편(51)이 상방으로 밀어 올릴 수 있으며, 제 2 피결합부(21)의 상측면에 접촉하여 눌려진다. 이에 따라, 요동 지지 핀(50)으로 지지판부(41)를 아래로 누를 수 있으며, 제조 라인용 덮개(5)가 용기 본체(2)에 고정된다.
제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)로부터 분리하는 경우, 분리용 키를 키 홈(59)에 삽입하고, 전술한 경우와 반대로 회전시킨다. 이에 따라, 구동부재(35)가 반대로 회전하며, 맞물림 후크부(48)는 지지 레일부(56)를 전술한 경우와 반대로 따라 움직인다. 즉, 맞물림 후크부(48)가 들어올려질 수 있어서 누름편(51)이 하강하여 커버(36) 내부로 복귀된다. 이에 따라, 제조 라인용 덮개(5)의 고정이 해제되고, 용기 본체(2)로부터 분리된다. 이와 같이 하여, 용기 본체(2)는 수송용 용기로부터 공장 등의 제조 라인용으로서 재사용된다.
수송용 덮개(4)는 그다지 커지지 않기 때문에 반송되어 반도체 웨이퍼 등의 수송에 재차 사용된다.
상기 실시예에서는 반도체 웨이퍼를 예로 설명했으나, 메모리 디스크, 액정 유리 기판 등의 다른 박판을 이용했을 경우에도 상기 실시예와 동일한 작용, 효과를 얻을 수 있다.
이상, 전술한 바와 같이, 본 발명의 박판 지지 용기에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
(1)　수송용 덮개(4)와 함께 제조 라인용 덮개(5)를 이용했으므로, 용기 본체(2)를 수송용의 박판 지지 용기(1)로 사용할 수가 있음과 동시에, 제조 라인용의 박판 지지 용기(1)로도 사용할 수 있다.
이 결과, 사용 효율이 향상되고, 자원의 남용을 방지하며, 폐기물의 발생을 방지할 수 있다.
(2)　제조 라인용 덮개(5)에 제조 라인용 간이 착탈 기구(32)를 구비하였으므로, 수송용으로 제공된 용기 본체(2)에 제조 라인용 간이 착탈 기구(32)를 개입시켜 제조 라인용 덮개(5)를 부착할 수 있어서, 수송에 이용된 용기 본체(2)를 제조 라인에 그대로 사용할 수 있다.
(3)　제조 라인용 간이 착탈 기구(32)를 용기 본체(2)의 제 2 피결합부(21)에 연결하는 연결판(34)과, 이 연결판(34)에 연결하여 승강 운동시키는 구동부재(35)를 갖추어 구성했으므로, 구동부재(35)로 연결판(34)을 제 2 피결합부(21)에 대해 승강 운동시켜 제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)에 용이하게 착탈할 수 있다.
(4)　구동부재(35)의 회전운동 방향 단부에 연결걸이부(57)를 갖추었으므로, 구동부재(35)를 회동시킨 후, 설정 위치에서 확실히 고정할 수 있다.
(5)　구동부재(35)가 연결판(34)의 출입을 제어하는 지지 레일부(56)을 갖추었으므로, 이 지지 레일부(56)로 연결판(34)의 출입이 제어되어서, 제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)에 대해 확실히 고정하고, 확실히 고정을 해제할 수 있다.
(6)　연결판(34)이 요동 가능하게 지지됨과 동시에 슬라이드 가능하게 지지되기 때문에, 연결판(34)을 슬라이드시켜 용기 본체(2)에 연장하고, 요동(pivotal movement)시켜 용기 본체(2)에 접촉시킴으로써, 제조 라인용 덮개(5)를 용기 본체(2)에 확실히 고정시킬 수 있다.
(7)　연결판(34)이 그 선단에 용기 본체(2)측과 연결하는 누름편(51)을 갖추었으므로, 이 누름편(51)이 용기 본체(2)측의 제 2 피결합부(21)와 연결하여, 제조 라인용 덮개(5)를 눌러 내림으로써 용기 본체(2)에 확실히 고정시킬 수 있다.
(8)　박판 지지 용기(1)의 덮개로서 제조 라인용 덮개(5)를 이용했으므로, 박판 지지 용기(1)를 수송용으로 사용한 후, 공장 등에 두고 제조 라인용으로 사용할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 박판 지지 용기(1)는 먼지 등의 발생을 절대적으로 억제할 필요가 있는 반도체 웨이퍼, 하드 메모리 디스크(자기 디스크), 컴팩트 디스크(CD)의 기체(基體) 등을 반송하는 캐리어로서 유용하다. 또한, 이들의 제조 과정에서 이송용의 캐리어로서 유용하다.

Claims (16)

  1. 내부에 박판을 복수매 수납하여 반송하는 용기 본체를 폐쇄하는 덮개에 있어서,
    사각형 모양으로 형성되어 대향하는 각변의 중앙부에 제조 라인용 간이 착탈 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 박판 지지 용기용 덮개.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제조 라인용 간이 착탈 기구는 연장하여 용기 본체에 연결하는 연결판과, 이 연결판에 연결하여 승강 운동시키는 구동부재를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 박판 지지 용기용 덮개.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 구동부재의 회전운동 방향 단부에 연결걸이부를 구비한 것을 특징으로 하는 박판 지지 용기용 덮개.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 구동부재가 연결판의 출입을 제어하는 지지 레일부를 구비한 것을 특징으로 하는 박판 지지 용기용 덮개.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 구동부재가 연결판의 출입을 제어하는 지지 레일부를 구비한 것을 특징으로 하는 박판 지지 용기용 덮개.
  6. 제 2 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 연결판이 요동가능하게 지지됨과 동시에 슬라이드 가능하게 지지된 것을 특징으로 하는 박판 지지 용기용 덮개.
  7. 제 2 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 연결판이 요동가능하게 지지됨과 동시에 슬라이드 가능하게 지지되고, 그 선단에 용기 본체측과 연결하는 누름편을 구비한 것을 특징으로 하는 박판 지지 용기용 덮개.
  8. 내부에 박판을 복수매 수납하여 수송하는 용기 본체와, 이 용기 본체 내부를 폐쇄하는 덮개를 구비한 박판 지지 용기에 있어서,
    상기 덮개로서 제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 기재된 박판 지지 용기용 덮개를 이용한 것을 특징으로 하는 박판 지지 용기.
  9. 내부에 박판을 복수매 수납하여 수송하는 용기 본체와, 이 용기 본체 내부를 폐쇄하는 덮개를 구비한 박판 지지 용기에 있어서,
    상기 덮개로서 제 6 항에 기재된 박판 지지 용기용 덮개를 이용한 것을 특징으로 하는 박판 지지 용기.
  10. 내부에 박판을 복수매 수납하여 수송하는 용기 본체와, 이 용기 본체 내부를 폐쇄하는 덮개를 구비한 박판 지지 용기에 있어서,
    상기 덮개로서 제 7 항에 기재된 박판 지지 용기용 덮개를 이용한 것을 특징으로 하는 박판 지지 용기.
  11. 덮개를 용기 본체에 대하여 착탈 자재로 고정하는 간이 착탈 기구에 있어서,
    연장하여 상기 용기 본체에 연결하는 연결판과, 이 연결판에 연결하여 승강 운동시키는 구동부재를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 간이 착탈 기구.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 구동부재의 회전운동 방향 단부에 연결걸이부를 구비한 것을 특징으로 하는 간이 착탈 기구.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 구동부재가 연결판의 출입을 제어하는 지지 레일부를 구비한 것을 특징으로 하는 간이 착탈 기구.
  14. 제 12 항에 있어서, 상기 구동부재가 연결판의 출입을 제어하는 지지 레일부를 구비한 것을 특징으로 하는 간이 착탈 기구.
  15. 제 11 항 내지 제 14 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 연결판이 요동가능하게 지지됨과 동시에 슬라이드 가능하게 지지된 것을 특징으로 하는 간이 착탈 기구.
  16. 제 11 항 내지 제 14 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 연결판이 요동가능하게 지지됨과 동시에 슬라이드 가능하게 지지되고, 그 선단에 용기 본체측과 연결하는 누름편을 구비한 것을 특징으로 하는 간이 착탈 기구.
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