JP2001158499A - 精密基板収納容器の構成部品及び精密基板収納容器の構成部品のリユース回数確認方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 新たに設備投資することなく、容易に使用回
数が確認でき、精密基板の品質への影響もない精密基板
収納容器の構成部品並びに精密基板収納容器の構成部品
のリユース回数確認方法を提供する。 【解決手段】 精密基板を内部に収納する精密基板収納
容器のリユース可能な構成部品に、リユース回数を確認
するための識別リブ１１を設ける。前記識別リブ１１
は、前記リユース可能な各構成部品の外表面または内表
面に形成された凹所１０に設けられ、かつ凹所１０の高
さよりも突出しない高さに形成される。前記構成部品を
再使用（リユース）する毎に前記識別リブ１１を１ヵ所
ずつ除去して、使用回数を表示することによって、精密
基板収納容器を構成する構成部品のリユース回数を確認
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハ、
マスクガラス、各種記録媒体等の精密基板の保管、輸送
等に使用される精密基板収納容器に関し、特にはリユー
スされた回数を識別、確認することが可能な精密基板収
納容器の構成部品、及び精密基板収納容器の構成部品の
リユース回数確認方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】精密基板の生産メーカーにて生産された
半導体ウェーハ等の精密基板は、精密基板にさらに各種
処理加工等を施すために、精密基板の加工工場へと出荷
・移送される。この時、精密基板は、精密基板収納容器
に収納されて輸送・保管されるが、１度使用された精密
基板収納容器の各構成部品、すなわち、カセット、精密
基板抑え部材、蓋体、容器本体、ガスケット等は、使用
後に加工工場等で廃棄処理されていた。しかし近年、産
業廃棄物の処理等に関する問題が、地球規模の環境問題
として大きく取り上げられてきており、産業廃棄物の削
減対策として、各種プラスチック容器のリサイクル・リ
ユースが図られてきており、リサイクル・リユースは、
プラスチック容器の生産メーカーの必須事項となってき
ている。さらに、価格競争が激化する精密基板の製造コ
ストを削減するためにも、数回の使用では、外傷を受け
ることがほとんどなく、性能もほとんど低下しない精密
基板収納容器の構成部品、特にカセット、蓋体、容器本
体を再度洗浄し、リユースを実施するようになってき
た。

【０００３】精密基板収納容器の構成部品がまだリユー
スすることができるか、廃棄するかは、構成部品の外観
不具合等で判断され得るが、人手がかかり、何らかの基
準を設定することが望まれる。各構成部品の金型に刻印
用の入子部品を設けて、製造年月を刻印する方法が考え
られるが、製造年月が同一で、同一期間が経過した構成
部品でも、リユースを多数回実施したものもあれば、保
管等されることが多く、少数回しか使用されていないも
のもある、等、精密基板収納容器の構成部品の製造時期
によるリユース・廃棄の判断は必ずしも好ましいもので
はなく、また、精密基板の加工メーカーによって、各種
の諸事情から、製造年月を記入してほしくないとの要望
もなかにはある。

【０００４】精密基板収納容器の構成部品のリユース回
数を知ることができれば、使用履歴が把握できて、品質
問題の発生原因の特定、解決方法の決定等にも役立ち、
リユース・廃棄の判断基準とすることもできる。精密基
板収納容器の構成部品をリユースする時の使用回数の確
認方法として、レーザーマーキングやバーコードでの表
示が考えられる。しかし、レーザーマーキングやバーコ
ードを使った方法では、これらを実施するための高価な
設備投資が新たに必要となる。また、バーコードを使用
する場合、バーコードラベルが洗浄の間に剥がれて劣化
したり、粘着剤が精密基板への汚染源となる恐れもあ
る。

【０００５】加えて、各加工メーカーでの工場の設計思
想が異なり、精密基板収納容器の取り扱い方法も異なる
ため、リユース品の表示の仕様も統一が難しく、各工場
で別仕様となってしまう可能性が高く、種々の加工メー
カーから回収するリユース品を同じ基準でまとめて回収
し、処理して再使用することは、現実的には困難とな
る。そして、リユース品をバーコードの仕様毎に選別
し、回収したメーカーに再納入するのでは、回収及び作
業効率の悪化を招くし、手間の増大等からコスト的にリ
ユースをする効果が減少すると考えられる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、こうした従
来の問題点を解決するために考え出されたものであり、
新たに設備投資することなく、容易に使用回数が確認で
き、精密基板の品質への影響もない精密基板収納容器の
構成部品並びに精密基板収納容器の構成部品のリユース
回数確認方法を提供することを課題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、精密基板を内
部に収納する精密基板収納容器のリユース可能な構成部
品に、リユース回数を確認するための識別リブを設け
る。前記識別リブは、前記リユース可能な各構成部品の
外表面または内表面に形成された凹所に設けられ、かつ
凹所の高さよりも突出しない高さに形成される。精密基
板を内部に収納する精密基板収納容器を構成するリユー
ス可能な部品に識別リブを複数箇所に設けた精密基板収
納容器の構成部品において、前記構成部品を再使用（リ
ユース）する毎に前記識別リブを１ヵ所ずつ除去して、
使用回数を表示することによってリユース回数を確認す
る。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の精密基板を内部に収納す
る精密基板収納容器の構成部品は、加工工場で使われた
後に回収され、洗浄して、品質異常のないことを確認し
た後に、再度使用されるものであり、こうしたサイクル
を複数回繰り返して使用されるものである。本発明の、
精密基板を内部に収納する精密基板収納容器を構成する
部品のうち、使用により塑性変形してしまう熱可塑性エ
ラストマーやゴム等の弾性材料から形成される精密基板
抑えやシールガスケットは除き、ＰＰやＰＣ等の硬質な
合成樹脂から形成されるリユース可能な構成部品、例え
ば、精密基板収納容器本体、蓋体、カセットなど毎に、
リユース回数を確認するための識別リブを設ける。前記
識別リブは、前記リユース可能な各構成部品の外表面、
または内表面に設けられ、好ましくは外表面に形成され
た凹所に、凹所の深さを越えない高さで形成するのが望
ましい。

【０００９】また、使用の際に邪魔にならなければ、例
えば内表面の隅部とか、凹所に識別リブを設けても良
い。ただし、この場合、識別リブは、切断後に先端にエ
ッジ状の凸部が残ることがないように根元から切断した
りＲ状に切断するのが良い。本発明では、リユースする
度に識別リブを１本ずつ順番に切断除去することで使用
回数を表示し、確認可能とするものであり、これによ
り、特別な設備は何も設ける必要が無く、容易にリユー
スされた精密基板収納容器の構成部品のリユース回数を
判別可能とすることができる。なお、精密基板収納容器
の構成部品の初回の使用においては、識別リブは切除さ
れることがなく、リユースされて、２回目以降の使用の
度に識別リブが１本づつ切除される。

【００１０】また、好ましくは、識別リブを切除する順
番を、図７、図９に示すように、予め識別リブの根本に
数字やアルファベット等の記号を設けておくと便利であ
り、識別リブを切除する順番やリユース回数の確認の間
違いをなくすことができる。以下、図面に基づいて、本
発明を詳細に説明する。図１は、精密基板収納容器を構
成する各部品の組立概要図である。本発明の精密基板収
納容器は、図１に示すとおり、従来のものと基本的には
同様であって、精密基板１５（図５）を収納するカセッ
ト１、カセット１に収納された精密基板を押さえる精密
基板抑え部材２、カセット１を収納する容器本体３、容
器本体３と蓋体５との間に介在する、シール機能を有す
るガスケット４および容器本体３の開口部を覆う蓋体５
から構成される。

【００１１】カセット１には、精密基板を一定間隔に配
列担時し得る収納溝６が複数、並列に刻設されており、
蓋体５には係止フック７が、容器本体３の側面上部に設
けられた係止フック収容凹部８に係止可能に設けられて
いる。そして、各部品の所要箇所に設けられた凹所１０
（蓋体５における蓋体外表面凹所２７、カセット１にお
けるカセット凹所２０、容器本体３における係止フック
収納凹部８等）に識別リブ１１が形成されている。本発
明は、以上の、精密基板収納容器を構成する、リユース
可能な各部品、すなわち、カセット１、容器本体３およ
び蓋体５のそれぞれに、リユース回数を確認するための
識別リブを設けることを特徴とする。

【００１２】図２〜図４は、識別リブ１１およびその識
別リブ１１の使用態様を示す説明図であって、図２は、
標準的な識別リブ１１の設置態様を示すと同時に、識別
リブ１１を切断する説明図であり、図３は、一部の識別
リブ１１が切断された状態を示す説明図、そして図４
は、異なる実施の形態の識別リブ１１を示す説明図であ
る。識別リブ１１は、図２に示すように、各構成部品毎
に、例えば、外表部の、機能的に邪魔にならない位置に
設ける。また、場合によっては内表面に設けても良い。
図２において、いずれかの部品９の外表部または内表部
にもともと存在する、あるいはこのために特に設ける、
１ないし複数の凹所１０に、複数本のリユース回数を識
別するための識別リブ１１を設ける。

【００１３】識別リブ１１の設置位置や形状は、使用中
にその部品の機能に邪魔にならなければ、特に問うもの
ではないが、精密基板収納容器を使用している間に、識
別リブ１１が破損する可能性がなく、精密基板収納容器
の最大寸法を変えないような、位置と寸法並びに形状が
選択されることが好ましい。識別リブ１１の寸法及び形
状は、例えば、１ｍｍφ〜５ｍｍφの範囲から選択さ
れ、側部は１°〜１０°のテーパーが取られた円錐形
で、高さが１〜２０ｍｍの範囲から選択され、頂部はＲ
加工または球面Ｒ形状に加工することが好ましく、さら
に、ニッパー等で切断可能な間隔を空けて配置される。
このような寸法や形状にすることで、成形性に支障を来
したり、精密基板収納容器を洗浄する時に障害になった
り、洗浄後の水切れが悪くなるのを防止できるし、切断
が容易になる。なお、識別リブ１１の形状は、円錐形に
限らず、角錐形や他の形状であっても良い。また、識別
リブ１１の高さは、好ましくは、凹所１０の深さを越え
ない範囲で選択される。

【００１４】識別リブ１１の本数は、特に制限されるも
のではなく、想定できるリユースの回数以上であれば、
いくつでも良い。識別リブ１１を収納設置するための凹
所１０の数も、格別限定されない。識別リブ１１は、各
構成部品が再使用される度毎に、図２の右側に示したよ
うに、工具１３を用いて切断される。ただし、工具の使
用は必ずしも必須ではない。図３に示すように、切断さ
れ、短くなった識別リブの基部１２の数によって、その
部品の使用回数を知ることができる。なお、切断に当た
っては、識別リブ１１の根元から切断しても良いし、識
別リブ１１の高さの中間部で切断しても良いし、中間部
と根元で２回切断しても良い。この場合、１本の識別リ
ブでリユース回数を２度記録することができるので、設
ける識別リブの数を半減することができる。

【００１５】識別リブ１１の切断は、ニッパやエアニッ
パ等の適宜の工具１３を使用し、通常は手動で切断す
る。ただし、切断方法は特に制限が無く、手で折った
り、自動で切除したりしても差し支えない。手で折る場
合は、図４に示したように、識別リブ１１の根元にノッ
チ１４を入れておくと良い。リユース可能なそれぞれの
構成部品について、識別リブ１１を設ける位置を以下に
例示する。ただし、以下に説明する位置は、あくまでも
例示であって、これらに限られるものではない。

【００１６】図５、６には、カセット１に識別リブ１１
を設ける位置を例示する。図５は、カセット１の側面図
であり、図６は、図５中のＡ−Ａ線に沿う断面を示す一
部拡大図である。カセット１には、複数の精密基板１５
を収納するための、断面Ｕ字状又はＶ字状をした、精密
基板１５を収納する収納溝６が形成された相対する側壁
１６と、前記側壁１６の両端を連結する端壁１７とから
なる。前記側壁１６は、上方部は略垂直に形成され、側
壁１６の下方部分は、精密基板の形状に沿うように円弧
状に形成される。

【００１７】前記端壁１７のうちの一方は、容器本体３
中でカセット１を位置決めするためにＨ字状端壁１８に
形成され、もう一方は、全域を閉鎖する壁部として形成
されている。前記Ｈ字状端壁１８の表面には、壁面に垂
直に設けられた補強用リブ１９が、Ｈ字状端壁１８の要
部に沿って形成されている。このようなカセット１にお
いては、図５、図６に示すように、例えば、精密基板１
５の収納溝６が形成された相対する側壁１６を連結する
端壁１７のうち、Ｈ字状端壁１８の補強用リブ１９によ
って囲まれた部分、すなわち、カセット凹所２０、に識
別リブ１１を形成することができる。図５では、識別リ
ブ１１は、左右のカセット凹所２０に各５本、合計１０
本設けた例として描かれている。

【００１８】図７、８には、容器本体３に識別リブ１１
を設ける位置を例示する。図７は、容器本体３の側面図
であり、図８は、図７のＢ−Ｂ線に沿う断面を含む一部
拡大図である。本発明の精密基板収納容器に使われる容
器本体は、図７に示したように、底面と、これを取り囲
む４個の側壁とによって構成され、上方に開口を有して
いる。容器本体３の対向する１対の側壁上部には、蓋体
５に設けられた係止フック７に対応する係止突起２１を
収容した係止フック収容凹部８が存在する。この係止フ
ック収容凹部８を識別リブ１１を設けるための凹所とし
て利用することができる。他の、係止フック収容凹部を
設けない側壁や、先に言及した位置以外の位置に識別リ
ブを設けるための凹所を別途設けても良い。

【００１９】図７では、識別リブ１１は、前後の係止フ
ック収容凹部８に各５本、合計１０本設けた例として描
かれている。図９、１０には、蓋体５に識別リブ１１を
設ける位置を例示する。図９は、蓋体５の平面図であ
り、図１０は、図９中のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
蓋体５は、図９、１０に示したように、略平坦な矩形を
した平面と前記平面を取り囲むように下方に延在する４
つの側壁とからなり、側壁の末端部にはそれぞれ外側に
張り出た外周リム２５が形成されていて、容器本体３の
開口部周縁に形成された係合部２４と係合するように容
器本体３に蓋される。さらに、少なくとも１対の相対す
る側壁には、容器本体３と蓋体５とを係止する為の貫通
窓２８を有する係止フック７が垂直方向に延在するよう
に設けられていて、容器本体３の係止突起２１と前記貫
通窓２８が嵌合することで係止される。

【００２０】蓋体の外表面には、変形防止用に段部２６
が設けられている。この段部２６及びそれ以外の蓋体と
の４ヵ所に、識別リブ１１を設けるための凹所として、
蓋体外表面凹所２７（図１）が形成されている。図９で
は、蓋体外表面凹所に識別リブ１１を２本を２カ所、３
本を２カ所に設ける例が描かれている。なお、精密基板
収納容器の形態は、以上に説明した形態に限定されるも
のではなく、精密基板の収納溝が容器本体の側壁に一体
に形成されたものや、容器本体の開口部並びに蓋体が前
面に位置するフロントオープンタイプのものであっても
良い。

【００２１】リユース回数の確認方法は、図２、３に示
すように、識別リブをリユースする度に識別リブを端か
ら１本ずつ切断して、使用回数を表示することによって
行う。例えば、カセットの例で説明すれば、図５を参照
して、先ず正面右側の凹所に形成した識別リブを、リユ
ースする度に識別リブを端から１本ずつ切断し、次に正
面左側の凹所に設けた識別リブを切断していく。その際
に、各識別リブに数字・符号・記号等が付されていれ
ば、便利である。精密基板収納容器を使用する各工場で
は、このようにして切断された識別リブの本数を確認す
ることでリユース回数を把握することができる。

【００２２】

【作用】このように構成した本発明の精密基板収納容器
の構成部品によれば、識別リブを設けるだけで済むの
で、各加工工場で読みとり等に特別な設備を必要とせ
ず、加工工場での精密基板収納容器の取り扱いの妨げに
もならない。単純であるだけに、共通仕様とすることが
容易に可能であるし、共通仕様であるが故に、回収した
基板収納容器の構成部品を使用先別に選別することな
く、各加工工場を共通して使用することができるので、
効率よくリユースできる。本発明による精密基板収納容
器の構成部品及び、精密基板収納容器の構成部品のリユ
ース回数確認方法は、各構成部品に識別リブを形成し、
切除した識別リブの数を数えるだけで、各構成部品のリ
ユース回数が容易に確認でき、リユース回数確認のため
に新たな設備を必要としない。また、各構成部品のリユ
ース回数をカウントし、外観及び性能上品質不具合とな
ってしまうリユース回数を確認し、これを基準に、リユ
ース回数を管理できるので、リユースする場合の品質問
題の低減が可能となる。

【００２３】

【発明の効果】本発明の精密基板収納容器の構成部品
は、リユース回数の識別を、既存の基板収納容器のリユ
ース可能な各構成部品へ識別リブを設けるための金型修
正だけですむので、低価格で実施できる。本発明の精密
基板収納容器の構成部品では、各構成部品の外表面また
は内表面に形成されている凹所から飛び出さないよう
に、識別リブを設けているので、既存の精密基板収納容
器の構成部品と同様に取り扱うことが可能である。ま
た、リユースの識別に特別な処理装置並びに工程を必要
とせず、現在使われている精密基板収納容器における品
質に支障を来さない上に、共通仕様化も可能であるの
で、どの工場からの回収品であっても、リユース回数を
容易に確認でき、再使用にあたっての回収効率が良く、
再使用の効率化が図れる。

【００２４】本発明の使用回数確認方法では、認識リブ
を、ニッパー等の簡易汎用用具で切断可能であるため、
回収のために新たに行う設備投資金額が大幅に低減で
き、どこの工場でも共通してリユース回数を確認できる
方法なので、精密基板収納容器のリユースを推進でき
る。識別リブが凹所から突出しない場合は、精密基板収
納容器の取り扱い時に誤って識別リブを折ったり破損し
たりすることがないし、識別リブの先端をＲ状に形成し
ているので、作業着や作業手袋等の繊維屑が識別リブの
先端に引っかかったり、付着して精密基板の汚染源にな
るのを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 精密基板収納容器を構成する各部品の組立概
要図である。

【図２】 標準的な識別リブの設置態様を示すと同時
に、識別リブを切断する説明図である。

【図３】 一部の識別リブが切断された状態を示す説明
図である。

【図４】 異なる実施の形態の識別リブを示す説明図で
ある。

【図５】 カセット１の側面図である。

【図６】 図５中のＡ−Ａ線に沿う断面を示す一部拡大
図である。

【図７】 容器本体３の側面図である。

【図８】 図７のＢ−Ｂ線に沿う断面図の一部拡大図で
ある。

【図９】 蓋体５の平面図である。

【図１０】 図９中のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。

【符号の説明】

１：カセット ２：精密基板抑え部材 ３：容器本体 ４：ガスケット ５：蓋体 ６：収納溝 ７：係止フック ８：係止フック収容凹部 ９：（いずれかの）部品 １０：凹所 １１：識別リブ １２：識別リブの基部 １３：工具 １４：ノッチ １５：精密基板 １６：側壁 １７：端壁 １８：Ｈ字状端壁 １９：補強用リブ ２０：カセット凹所 ２１：係止突起 ２４：係合部 ２５：外周リム ２６：段部 ２７：蓋体外表面凹所 ２８：貫通窓

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 精密基板を内部に収納する精密基板収納
   容器のリユース可能な構成部品において、リユース回数
   を確認するための識別リブを設けたことを特徴とする精
   密基板収納容器の構成部品。
2. 【請求項２】 前記識別リブが、前記リユース可能な各
   構成部品の外表面または内表面に形成された凹所に設け
   られ、かつ凹所の高さよりも突出しない高さに形成され
   ていることを特徴とする請求項１記載の精密基板収納容
   器の構成部品。
3. 【請求項３】 精密基板を内部に収納する精密基板収納
   容器を構成するリユース可能な部品に識別リブを複数箇
   所に設けた精密基板収納容器の構成部品において、前記
   構成部品を再使用（リユース）する毎に前記識別リブを
   １ヵ所ずつ除去して、使用回数を表示することを特徴と
   する精密基板収納容器の構成部品のリユース回数確認方
   法。