JPH1187460A - 基板収納容器供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大きさの異なる基板収納容器を取り扱うこと
が可能な基板収納容器供給装置を提供する。 【解決手段】 一体型カセット９０を支持する移動機構
部の移動経路中に一体型カセット９０の大きさを検出す
るサイズ検出用センサを設ける。移動機構部から受け取
った一体型カセット９０を回転機構部に保持し、扉開閉
機構部７０に扉９２を正対させる。サイズ検出用センサ
２２からの出力に応じて昇降機構部が回転機構部を昇降
移動させ、一体型カセット９０の扉９２のキー孔９３に
扉開閉機構部７０のラッチキー１２１が挿入しうるよう
に鉛直方向の位置調整を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板収納容器を基
板の処理を行う基板処理部へ基板を供給するための所定
の位置に供給する基板収納容器供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶表示用ガラス基板、
フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等
の基板に種々の処理を行うために基板処理装置が用いら
れている。基板処理装置は、工場のクリーンルーム内に
配置され、複数の基板を収納する基板収納容器が搬送ロ
ボットによって供給される。この基板収納容器の一つ
に、取り外し自在な扉を有し、内部に多数の基板を収納
するいわゆる一体型カセットと呼ばれる型式のものがあ
る。

【０００３】図２６は、従来の基板収納容器供給装置を
備えた基板処理装置における基板搬入動作を示す模式図
である。基板収納容器供給部２６０は、基板処理装置の
基板処理部２５０の一端に配置され、カセット載置部２
６１および扉開閉機構部２６２を有している。カセット
載置部２６１の下方には電装系ユニット２８０が設けら
れている。

【０００４】搬送ロボットにより移送された一体型カセ
ット２７０は、カセット載置部２６１上の所定位置に供
給される。そして、扉開閉機構部２６２が一体型カセッ
ト２７０の扉を取り外して一体型カセット２７０の前面
の開口部を開放する。

【０００５】図２７は扉開閉機構部の斜視図である。図
２７において、扉開閉機構部２６２は、一体型カセット
２７０の本体から扉を取り外して保持する扉開閉保持部
２６３と、扉開閉保持部２６３を上下に移動させる昇降
部２６４とを備える。

【０００６】一体型カセット２７０がカセット載置部２
６１に載置されると、扉開閉保持部２６３が一体型カセ
ット２７０の扉に対向する位置まで上昇し、さらに水平
方向に移動して一体型カセット２７０の本体から扉を取
り外して保持する。そして、昇降部２６４が、扉を保持
した扉開閉保持部２６３を下降させる。これにより、一
体型カセット２７０の前面が開放され、基板処理部２５
０に配設された基板搬送ロボットにより一体型カセット
２７０内から基板が取り出される。

【０００７】一体型カセット２７０には、基板の収納枚
数が例えば１３枚と２５枚の２通りの形式のものがあ
る。基板の収納枚数が異なると、一体型カセット２７０
の鉛直方向の大きさが異なり、さらに扉に設けられた扉
取り外しのための複数のキー孔や位置決め孔等の間隔も
異なる。例えば半導体装置の処理工程では、このような
基板の収納枚数の異なる一体型カセット２７０が混在し
て基板収納容器供給部２６０に供給される場合がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の基板収納容器供給装置は、一定の大きさの一体型カ
セット２７０のみを取り扱うように構成されている。こ
のため、大きさの異なる一体型カセット２７０が供給さ
れた場合には、一体型カセット２７０の扉を開放して基
板処理部２５０に供給することができない。

【０００９】本発明の目的は、大きさの異なる基板収納
容器を取り扱うことが可能な基板収納容器供給装置を提
供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る基板収納容器供給装置は、開口部を有する容
器本体と開口部に対して取り外し自在であって取り外し
操作のための被操作部を有する扉とを備えた基板収納容
器を基板の処理を行う基板処理部へ基板を供給するため
の所定の位置へ供給する基板収納容器供給装置であっ
て、基板収納容器を支持する支持部と、被操作部を操作
する操作部材を有し、支持部に支持された基板収納容器
の扉を容器本体から取り外す取り外し手段と、取り外し
手段の操作部材が支持部に支持された基板収納容器の扉
の被操作部に対応する位置になるように、支持部と取り
外し手段とを相対的に移動させる移動手段とを備えたも
のである。

【００１１】第１の発明に係る基板収納容器供給装置に
おいては、移動手段によって取り外し手段と支持部とが
相対的に移動可能に構成されている。したがって、支持
部に支持された基板収納容器の扉の被操作部の位置が取
り外し手段の操作部材の位置と異なる場合には、取り外
し手段と支持部とを相対的に移動させて扉の被操作部と
取り外し手段の操作部材の位置を一致させ、操作部材に
より扉を取り外すことができる。これにより、扉の被操
作部が異なる位置に形成された種々の基板収納容器が支
持部に支持された場合でも、取り外し手段によって扉を
取り外すことが可能となる。

【００１２】第２の発明に係る基板収納容器供給装置
は、第１の発明に係る基板収納容器供給装置の構成にお
いて、被操作部は、操作部材と係合可能な取り外し用の
孔部であるものである。

【００１３】この場合、取り外し手段が有する操作部材
と扉が有する取り外し用の孔部が係合可能であるので、
取り外し手段は確実に扉を外すことができる。

【００１４】第３の発明に係る基板収納容器供給装置
は、第１または第２の発明に係る基板収納容器供給装置
の構成において、支持部に支持される基板収納容器の種
類を検出する検出手段をさらに備え、移動手段は検出手
段により検出された基板収納容器の種類に応じて取り外
し手段と支持部とを相対的に移動させるものである。

【００１５】これにより、基板収納容器供給装置に供給
される基板収納容器の種類が検出手段により検出され、
移動手段によって取り外し手段と支持部との位置関係が
調整される。したがって、異なる種類の基板収納容器が
供給された場合でも、その種類に応じて取り外し手段の
相対位置を調整して容器本体から扉を取り外すことが可
能となる。

【００１６】第４の発明に係る基板収納容器供給装置
は、第３の発明に係る基板収納容器供給装置の構成にお
いて、基板収納容器の扉は位置決め用の孔部を有し、取
り外し手段は、基板収納容器の位置決め用の孔部に挿入
される複数の位置決め用部材と、複数の位置決め用部材
から検出手段により検出された基板収納容器の種類に応
じた位置決め用部材を選択する選択手段を備えたもので
ある。

【００１７】この場合、選択手段は、取り外し手段に設
けられた複数の位置決め用部材の中から、基板収納容器
の種類に応じた位置決め部材を選択手段によって選択
し、選択された位置決め部材が扉の位置決め用の孔部に
挿入される。これにより、扉と取り外し手段との位置決
めが行われ、操作部材による扉の取り外し動作を正確に
行わせることができる。

【００１８】第５の発明に係る基板収納容器供給装置
は、第１〜第４のいずれかの発明に係る基板収納容器供
給装置の構成において、取り外し手段は、操作部材を支
持部に支持された基板収納容器に対して前進および後退
させる進退機構を備えたものである。

【００１９】進退機構は、操作部材を前進させて扉の被
操作部を操作して扉の係止状態を解除し、さらに操作部
材を後退させることにより扉を容器本体から取り外して
保持する。これにより、基板収納容器の扉の取り外し作
業を容易に行うことができる。

【００２０】第６の発明に係る基板収納容器供給装置
は、第４の発明に係る基板収納容器供給装置の構成にお
いて、取り外し手段は、位置決め用部材を支持部に支持
された基板収納容器に対して前進および後退させる進退
機構を備えたものである。

【００２１】進退機構は、位置決め用部材を基板収納容
器の扉に対して前進させて扉の位置決め用の孔部に位置
決め用部材を挿入させて扉と取り外し手段との位置決め
を行わせる。さらに、位置決め用部材を後退させて扉と
取り外し手段との位置決め状態を解除する。これによ
り、扉と取り外し手段との位置決め作業を容易に行うこ
とができる。

【００２２】第７の発明に係る基板収納容器供給装置
は、第２〜第６のいずれかの発明に係る基板収納容器供
給装置の構成において、取り外し手段は、操作部材を回
動させる回動機構を有するものである。

【００２３】回動機構が操作部材を回動させることによ
り扉の被操作部材が操作され、扉が容器本体から取り外
し可能な状態になる。このような構成により容器本体か
ら扉を容易に取り外すことができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施例による基
板収納容器供給装置を備えた基板処理装置の模式的平面
図であり、図２は図１の基板処理装置の模式的側面図で
ある。以下の説明において、水平面内の互いに直交する
２方向をＸ方向およびＹ方向とし、鉛直方向をＺ方向と
する。また、Ｘ方向は、基板収納容器供給部１と基板処
理部２とが整列された方向を示し、Ｙ方向はＸ方向に直
交する方向を示すものとする。

【００２５】図１および図２において、基板処理装置
は、基板収納容器供給部１と基板処理部２とを備える。
基板処理部２は、回転式塗布ユニット、現像ユニット、
基板加熱ユニットあるいは基板冷却ユニット等の種々の
処理ユニット３が基板搬送ロボット４を中心とした円周
状に配置されてなる。基板搬送ロボット４は基板を保持
するアーム４ａを備える。このアーム４ａは、水平面内
で各処理ユニット３および基板収納容器供給部１側に進
退移動可能であり、さらにＺ方向に昇降移動可能かつ鉛
直軸周りに回動可能に構成されている。これにより、基
板搬送ロボット４はアーム４ａに基板を保持して処理ユ
ニット３と基板収納容器供給部１との間で基板を受け渡
すことができる。

【００２６】また、基板収納容器供給部１は基板処理部
２のＸ方向の一方端部に配置され、移動機構部１０、回
転機構部３０、昇降機構部５０および扉開閉機構部７０
から構成されている。なお、図２においては、扉開閉機
構部７０の図示を省略している。

【００２７】移動機構部１０、回転機構部３０および扉
開閉機構部７０は昇降機構部５０の両側の領域Ｓ，Ｄに
対称に配置されている。一方の領域Ｓには、一体型カセ
ット内の基板を基板処理部２へ供給するための移動機構
部１０、回転機構部３０、扉開閉機構部７０および昇降
機構部５０が配置され、他方の領域Ｄには、処理済みの
基板を収納した一体型カセットを基板処理装置の外部に
排出するための移動機構部１０、回転機構部３０、扉開
閉機構部７０および昇降機構部５０が配置されている。
以下、領域Ｓを基板供給領域と称し、領域Ｄを基板排出
領域と称する。

【００２８】図２に示すように、昇降機構部５０は基板
供給領域Ｓ側および基板排出領域Ｄ側にそれぞれ昇降台
５５を有する。各昇降台５５の上段部５５ａおよび下段
部５５ｂにはそれぞれ回転機構部３０が配設されてい
る。

【００２９】図３は一体型カセットの斜視図であり、図
４は図３の一体型カセットの正面図であり、図５は図３
の一体型カセットの底面図である。図３〜図５におい
て、一体型カセット９０は、内部に複数枚の基板を収納
する棚（図示せず）が設けられた中空の容器本体９１
と、容器本体９１の前面の開口部を閉塞する取外し自在
な扉９２とから構成される。扉９２の表面には、一対の
キー孔９３が設けられている。このキー孔９３に後述す
るラッチキーが差し込まれ、回転されると、図４に示す
ように扉９２の上端部および下端部に設けられたロック
プレート９５が矢印に示すように上下に突出し、あるい
は後退する。これにより、扉９２が容器本体９１にロッ
クされ、あるいはロックが解除される。

【００３０】一体型カセット９０の載置基準位置Ｆから
キー孔９３までの高さＨは一体型カセット９０の基板の
収納枚数に応じて異なる。

【００３１】また、扉９２の表面には、一対の位置決め
孔９４が形成されている。この位置決め孔９４には、扉
９２の開閉時に、後述する扉開閉機構部７０の位置決め
ピンが挿入される。一対の位置決め孔９４間の距離Ｌは
一体型カセット９０の基板の収納枚数によって異なる。

【００３２】さらに、図５に示すように、一体型カセッ
ト９０の底面には、三角形状の３つのピン孔を一組とす
る２組のピン孔９６，９７と開口部９８とが形成されて
いる。このピン孔９６，９７および開口部９８の作用に
ついては後述する。

【００３３】図６は、基板供給領域の移動機構部および
回転機構部の平面図であり、図７は、図６中のＡ−Ａ線
断面図であり、図８は、図６中のＢ−Ｂ線断面図であ
る。なお、図６および図７において回転機構部３０およ
び扉開閉機構部７０は模式的に示されている。

【００３４】移動機構部１０は、ベース１１の上方に、
Ｘ方向に移動自在なＸスライドプレート１２と、Ｙ方向
に移動自在なＹスライドプレート１６とを備えている。
ベース１１の上面には、Ｘ方向に平行に延びる一対のＸ
レール１３が取り付けられている。Ｘスライドプレート
１２の下面にはＸレール１３に係合するガイド１４が取
り付けられている。そして、ベース１１の上面に取り付
けられたエアシリンダ１５により、Ｘスライドプレート
１２がＸ方向に往復移動する。

【００３５】また、Ｘスライドプレート１２の上面には
Ｙ方向に平行に延びる一対のＹレール１８が取り付けら
れている。Ｙスライドプレート１６の下面には、Ｙレー
ル１８に係合するガイド１７が取り付けられている。そ
して、Ｘスライドプレート１２の上面に取り付けられた
エアシリンダ１９により、Ｙスライドプレート１６がＸ
スライドプレート１２に対してＹ方向に往復移動する。

【００３６】また、Ｙスライドプレート１６の上面に
は、三角形状に配置された３本の支持ピン２０が形成さ
れている。これらの支持ピン２０は、図５に示す一体型
カセット９０の裏面に形成された１組（３個）のピン孔
９７に嵌合される。これにより、Ｙスライドプレート１
６上に一体型カセット９０を支持することができる。

【００３７】移動機構部１０と回転機構部３０との間に
は一体型カセット９０の大きさ（大型、小型の種類）を
検出するためのサイズ検出用センサ２２が設けられてい
る。サイズ検出用センサ２２には透過型の光センサが用
いられる。図７においては、基板の収納枚数の多い大型
の一体型カセット９０を９０ａで示し、基板の収納枚数
の少ない小型の一体型カセット９０を９０ｂで示す。

【００３８】図７において、サイズ検出用センサ２２
は、主に小型の一体型カセット９０ｂを検出するための
下センサ２２ｂと、主に大型の一体型カセット９０ａを
検出するための上センサ２２ａとからなる。そして、一
体型カセット９０を支持した移動機構部１０のＹスライ
ドプレート１６がサイズ検出用センサ２２を通過する際
の上センサ２２ａおよび下センサ２２ｂからの出力によ
って一体型カセット９０の大きさが検出される。

【００３９】図９は昇降機構部の正面図である。図９に
おいて、昇降機構部５０は、フレーム５１によって鉛直
方向に支持されたボールねじ５２を有する。ボールねじ
５２の下端にはモータ５４が連結されている。さらに、
ボールねじ５２には昇降台５５がブラケット５５ｃを介
して係合されている。昇降台５５はコの字形のフレーム
材からなり、その下段部５５ｂおよび上段部５５ａにそ
れぞれ回転機構部３０が取り付けられている。また、昇
降台５５の一部は、ボールねじ５２に平行に配置された
一対のリニアガイド５３に係合している。

【００４０】モータ５４が回転すると、ボールねじ５２
が回転し、これによって昇降台５５がリニアガイド５３
に案内されて鉛直方向に昇降移動する。それによって、
昇降台５５の回転機構部３０に支持された一体型カセッ
ト９０が昇降移動される。なお、図９においては、一方
の昇降台５５のみを詳細に図示したが、これと反対側に
配置される昇降台５５およびその昇降機構部分も同様の
構造を有する。

【００４１】図１０は回転機構部の断面図である。図１
０において、回転機構部３０は、昇降台５５の上段部５
５ａまたは下段部５５ｂに固定される固定ベース３１上
に、回転自在な回動プレート３４と、回動プレート３４
の中央に配置された中央固定部４０と、回動プレート３
４の周囲を覆うカバー４８とを備える。

【００４２】回動プレート３４は、固定ベース３１の上
面に形成された環状固定部３２との間に環状のベアリン
グ３３を介して回動自在に取り付けられている。回動プ
レート３４の上面には一体型カセット９０の底面の１組
のピン孔９６（図５参照）に嵌合される３本の支持ピン
３９が形成されている。３本の支持ピン３９は、移動機
構部１０のＹスライドプレート１６上に形成された３本
の支持ピン２０よりも径の大きい円周上に配置されてい
る。これにより、Ｙスライドプレート１６上の支持ピン
２０と回動プレート３４上の支持ピン３９とが干渉する
ことなくＹスライドプレート１６と回動プレート３４と
の間で一体型カセット９０を受け渡すことができる。な
お、一体型カセット９０の受け渡し動作については後述
する。

【００４３】また、回動プレート３４の外周面にはギア
部３５が形成されている。この回動プレート３４のギア
部３５には、ピニオン３６を介してモータ３８の回転軸
に取り付けられたギア３７が係合している。モータ３８
が回転すると、モータの回転力がピニオン３６を介して
回動プレート３４に伝えられ、回動プレート３４が回転
する。これにより、回動プレート３４上の支持ピン３９
に支持された一体型カセット９０が回転する。

【００４４】また、固定ベース３１上の中央固定部４０
には、一体型カセット９０を強固に保持するための固定
部材４１が配設されている。固定部材４１の基部は回動
ピン４３に回動自在に取り付けられ、先端部には固定ば
ね４２が形成されている。回動ピン４３は、連結部材４
４を介してエアシリンダ４６のロッド４５に連結されて
いる。エアシリンダ４６の本体端部は固定ピン４７によ
り固定されている。

【００４５】エアシリンダ４６のロッド４５が伸長する
と、固定部材４１が回動ピン４３の周りに回動し、固定
ばね４２が一体型カセット９０の底面の開口部９８に設
けられた突出部９８ａに係合し、固定ばね４２の弾性力
により一体型カセット９０を回動プレート３４に対して
固定保持する。

【００４６】次に、扉開閉機構部７０について説明す
る。扉開閉機構部７０は、機能上、水平移動機構部と、
ピン切換部と、ラッチキー回動機構部とに大別される。
そこで、ここでは説明の便宜上、各機構部毎に分けて図
示して説明する。

【００４７】まず、図１１は扉開閉機構部の水平移動機
構部の側面図であり、図１１（ａ）は待機時の状態を示
し、図１１（ｂ）は扉開閉動作時の状態を示している。
図１１において、扉開閉機構部７０の水平移動機構部７
０ａは、基板収納容器供給部１の本体に固定される固定
プレート７１と、一体型カセット９０の扉９２に対して
進退移動される扉保持プレート８４とを備える。固定プ
レート７１と扉保持プレート８４との間には一対のリン
ク７２，７３が２組平行に配設されている。一対のリン
ク７２，７３は連結ピン８０により連結されている。リ
ンク７２の一端は固定プレート７１の固定ブラケット７
４に回転自在に取り付けられ、他端はスライド部材７５
に取り付けられている。スライド部材７５は、扉保持プ
レート８４の裏面８４ｂに取り付けられたレール７９に
摺動自在に取り付けられている。

【００４８】また、リンク７３の一端は扉保持プレート
８４の固定ブラケット７６に回転自在に取り付けられ、
他端はスライド部材７７に取り付けられている。スライ
ド部材７７は、固定プレート７１の表面７１ａに取り付
けられたレール７８に摺動自在に取り付けられている。
さらに、一対のスライド部材７７は連結部材８３に連結
されている。連結部材８３には、固定プレート７１の表
面７１ａに配設されたエアシリンダ８１のロッド８２が
連結されている。

【００４９】さらに、扉保持プレート８４には、２組の
位置決めピン８６，８７と、ラッチキー１２１とが形成
されている。位置決めピン８６，８７はそれぞれ２個形
成されており、後述するピン切換部８５により選択され
た一方の位置決めピンが一体型カセット９０の扉９２の
位置決め孔９４に挿入される。これにより扉９２と扉保
持プレート８４との位置決めが行われる。

【００５０】また、ラッチキー１２１は所定位置に２個
設けられており、一体型カセット９０の扉９２に設けら
れたキー孔９３に挿入して係合され、一体型カセット９
０の容器本体９１と扉９２とのロックを解除するととも
に扉９２を扉保持プレート８４に保持させる。

【００５１】図１１（ａ）に示すように、エアシリンダ
８１のロッド８２が伸長された状態では、リンク７２，
７３が折り畳まれ、扉保持プレート８４が一体型カセッ
ト９０の扉９２から離間している。図１１（ｂ）に示す
ように、エアシリンダ８１のロッド８２が縮退される
と、リンク７２，７３が延ばされ、扉保持プレート８４
が一体型カセット９０の扉９２に密着する。さらに、エ
アシリンダ８１のロッド８２が再び伸長されると、扉保
持プレート８４が扉９２を一体型カセット９０の容器本
体９１から取り外して後退する。

【００５２】次に、ピン切換部について説明する。図１
２は、扉開閉機構部のピン切換部の側面図であり、図１
３は扉保持プレートの正面図である。なお、ピン切換部
８５は扉保持プレート８４に２組設けられているが、図
１２では１組のみ図示している。このピン切換部８５は
一体型カセット９０の大きさに対応した位置決めピンを
選択するための機構を有している。

【００５３】すなわち、図４で示した一体型カセット９
０の扉９２に形成された一対の位置決め孔９４間の距離
Ｌは、一体型カセット９０の大きさによって異なる。例
えば、１３枚の基板を収納する一体型カセット９０に比
べると、２５枚の基板を収納する一体型カセット９０の
位置決め孔９４間の距離Ｌは大きくなる。それゆえ、一
体型カセット９０の扉９２の位置決め孔間の距離Ｌに応
じて扉保持プレート８４の位置決めピン８６，８７を切
り換える必要がある。

【００５４】そこで、ピン切換部８５は、扉保持プレー
ト８４を貫通して移動可能な位置決めピン８６，８７
と、位置決めピン８６，８７のいずれか一方側を突出さ
せる揺動プレート１１１と、揺動プレート１１１を揺動
させるエアシリンダ１１３とを備えている。揺動プレー
ト１１１は扉保持プレート８４の裏面８４ｂに固定され
た支持ブラケット１１０に揺動自在に取り付けられ、３
つの腕部のうちの１つの腕部１１１ａに位置決めピン８
６が連結され、他の１つの腕部１１１ｂに位置決めピン
８７が連結され、残りの腕部１１１ｃにエアシリンダ１
１３のロッド１１２の先端が連結されている。

【００５５】このような構造により、エアシリンダ１１
３のロッド１１２が伸長すると、一方の位置決めピン８
６のみが扉保持プレート８４の表面８４ａから突出し、
一体型カセット９０の扉９２の位置決め孔９４に挿入さ
れ、扉保持プレート８４と扉９２とが位置決めされる。
また、エアシリンダ１１３のロッド１１２が縮退する
と、他方の位置決めピン８７のみが扉保持プレート８４
の表面８４ａから突出し、一体型カセット９０の扉９２
の位置決め孔９４に挿入され、扉保持プレート８４と扉
９２とが位置決めされる。

【００５６】次に、ラッチキー回動機構部について説明
する。図１４は回転機構部と反対側から見たラッチキー
回動機構部の正面図である。ラッチキー回動機構部１１
５は、ラッチキー１２１およびラッチキー１２１を回動
させる機構部から構成され、ラッチキー１２１を図４に
示す一体型カセット９０の扉９２のキー孔９３に挿入し
て回動することによって扉９２のロックを解除し、かつ
扉９２を保持する。

【００５７】ラッチキー１２１の先端は扉保持プレート
８４の表面８４ａから突出しており、基部は扉保持プレ
ート８４の裏面８４ｂ側において揺動プレート１１６の
回転ピン１１６ａおよび揺動プレート１１８の回転ピン
１１８ａに一体的に接続されている。また、揺動プレー
ト１１６の先端部１１６ｂと揺動プレート１１８の先端
部１１８ｂとが連結棒１１７によって連結されている。
さらに、揺動プレート１１８の他の先端部１１８ｃには
エアシリンダ１１９のロッド１２０の先端部が連結され
ている。

【００５８】このような構造により、図１４においてエ
アシリンダ１１９のロッド１２０が伸長すると、揺動プ
レート１１８，１１６が時計方向に回動し、ラッチキー
１２１が時計方向に回動する。また、ロッド１２０が縮
退すると、揺動プレート１１８，１１６が反時計方向に
回動し、ラッチキー１２１も同じ方向に回動する。ラッ
チキー１２１が一体型カセット９０の扉９２のキー孔９
３に挿入された状態でラッチキー１２１を回動させるこ
とにより、扉９２と容器本体９１とのロックを解除し、
かつ扉９２を保持することができる。

【００５９】図１５は、基板処理装置の制御系のブロッ
ク図である。基板処理装置は、移動機構部１０のＸスラ
イドプレート１２およびＹスライドプレート１６を駆動
するエアシリンダ１５，１９を制御する移動機構コント
ローラ２１０、昇降機構部５０の昇降台５５を昇降移動
させるモータ５４を駆動する昇降機構コントローラ２５
０、回転機構部３０の回動プレート３４を回転させるモ
ータ３８の動作を制御する回転機構コントローラ２３
０、扉開閉機構部７０の各エアシリンダ８１，１１３，
１１９の動作を制御する扉開閉機構コントローラ２１
５、および基板処理部２の基板搬送ロボット４を駆動す
る基板搬送コントローラ２０４を備えている。移動機構
コントローラ２１０、昇降機構コントローラ２５０、扉
開閉機構コントローラ２１５、回転機構コントローラ２
３０および基板搬送コントローラ２０４は制御部１３０
に接続され、制御部１３０によって各コントローラの動
作が制御される。さらに、制御部１３０には一体型カセ
ット９０の大きさを検出するサイズ検出用センサ２２が
接続されている。

【００６０】上記構成において、回転機構部３０が本発
明の支持部に相当し、扉開閉機構部７０が取り外し手段
に相当し、昇降機構部５０が移動手段に相当する。さら
に、サイズ検出用センサ２２が本発明の検出手段に相当
し、ピン切換部８５が選択手段に相当する。さらに、ラ
ッチキー１２１、位置決めピン８６，８７がそれぞれ本
発明の操作部材、位置決め用部材に相当し、水平移動機
構部７０ａが本発明の進退機構に相当する。さらに、一
体型カセット９０の扉９２のキー孔９３およびロックプ
レート９５が本発明の被操作部に相当し、特にキー孔９
３が取り外し用の孔部に相当し、位置決め孔９４が位置
決め用の孔部に相当する。

【００６１】以下、基板収納容器供給装置の動作につい
て説明する。図１６〜図１８は基板収納容器供給部の一
体型カセットの搬入搬出動作の説明図である。なお、以
下の動作は図１５に示す制御部１３０によって制御され
る。

【００６２】まず、図１６（ａ）に示すように、外部の
搬送ロボットにより搬送された一体型カセット９０が移
動機構部１０のＹスライドプレート１６（図６参照）上
に載置される。搬送ロボットは一体型カセット９０の扉
９２が基板処理部２側に向くように移動機構部１０に一
体型カセット９０を供給する。

【００６３】次に、図１６（ｂ）に示すように、移動機
構部１０は、Ｘスライドプレート１２およびＹスライド
プレート１６により一体型カセット９０を矢印Ｃに沿っ
て移動させて回転機構部３０側に搬送する。搬送経路中
に一体型カセット９０がサイズ検出用センサ２２を通過
すると、サイズ検出用センサ２２により一体型カセット
９０の大きさを示す出力信号が制御部１３０に出力され
る。制御部１３０は、その出力信号に基づいて一体型カ
セット９０の大きさを判定する。一体型カセット９０が
回転機構部３０側に到達すると、移動機構部１０のＹス
ライドプレート１６と回転機構部３０との間で一体型カ
セット９０の受け渡しを行う。

【００６４】図１９は一体型カセットの受け渡し動作の
説明図である。図１９（ａ）に示すように、昇降台５５
は、回転機構部３０の支持ピン３９が移動機構部１０の
Ｙスライドプレート１６上の一体型カセット９０に衝突
しない下方の位置に待機している。そして、Ｙスライド
プレート１６が回転機構部３０の上方に一体型カセット
９０を保持して移動する。

【００６５】次に、図１９（ｂ）に示すように、回転機
構部３０はモータ５４（図９参照）を駆動し、昇降台５
５を上昇させる。これにより、回転機構部３０の支持ピ
ン３９が一体型カセット９０の底面のピン孔９７に嵌合
され、一体型カセット９０をＹスライドプレート１６の
上方に持ち上げる。これにより、Ｙスライドプレート１
６の支持ピン２０が一体型カセット９０のピン孔９６か
ら離脱する。

【００６６】その後、図１９（ｃ）に示すように、Ｙス
ライドプレート１６が元の位置に水平移動する。以上の
動作により、一体型カセット９０がＹスライドプレート
１６から回転機構部３０の回動プレート３４に受け渡さ
れる。

【００６７】さらに、図１６（ｃ）に示すように、回転
機構部３０に受け渡された一体型カセット９０は、回動
プレート３４の回転により１８０°回転され、扉９２が
扉開閉機構部７０に正対する位置に停止される。この位
置を扉取り外し位置と称する。そして、扉開閉機構部７
０により扉９２が容器本体９１から取り外される。

【００６８】図２０は回転機構部と扉開閉機構部との位
置合わせ動作の説明図である。制御部１３０は、サイズ
検出用センサ２２からの出力に基づき一体型カセット９
０の大きさを検出し、載置基準位置Ｆからキー孔９３ま
での高さＨを求める。そして、回転機構部３０のモータ
５４を駆動して昇降台５５を昇降移動させ、回転機構部
３０上の一体型カセット９０の扉９２のキー孔９３の鉛
直方向の位置と、扉開閉機構部７０のラッチキー１２１
の鉛直方向の位置とを一致させる。

【００６９】図２１は扉の取外し動作の説明図である。
図２１（ａ）に示すように、制御部１３０は扉開閉機構
コントローラ１５を駆動し、サイズ検出用センサ２２に
より検出された一体型カセット９０の大きさに応じた位
置決めピン８６，８７を選択する。ここでは、大型の一
体型カセット９０に対応した位置決めピン８６が選択さ
れるものとする。この場合、扉保持プレート８４からは
一対の位置決めピン８６が突出する。

【００７０】次に、図２１（ｂ）に示すように、エアシ
リンダ８１のロッド８２が縮退され、リンク７２，７３
が前方に延ばされる。これにより、扉保持プレート８４
が扉９２に密着し、位置決めピン８６が扉９２の位置決
め孔９４内に挿入され、扉保持プレート８４と扉９２と
の位置が定められる。また同時にラッチキー１２１が扉
９２のキー孔９３に挿入される。そして、ラッチキー回
動機構部１１５によりラッチキー１２１が回動され、扉
９２のロックが解除される。

【００７１】その後、図２１（ｃ）の示すように、エア
シリンダ８１のロッド８２が再び伸長され、扉保持プレ
ート８４は扉９２を保持した状態で後退する。これによ
り、一体型カセット９０の前面が開放される。

【００７２】さらに、図１７に示すように、扉９２が取
り外されると、回転機構部３０は回動プレート３４を回
転し、一体型カセット９０の開口部が基板処理部２の基
板搬送ロボット４に正対する位置に一体型カセット９０
を停止させる。この位置を基板供給位置と称する。ま
た、基板排出領域Ｄの回転機構部３０には処理済み基板
を収納するための空の一体型カセット９０が所定のタイ
ミングで図示の状態に設定されている。

【００７３】この状態で基板処理部２による基板の処理
が開始される。基板搬送ロボット４は基板が収納された
基板供給領域Ｓの一体型カセット９０から基板を取り出
し、所定の処理ユニット３に搬送する。また、処理ユニ
ット３によって処理された基板を基板排出領域Ｄの一体
型カセット９０の内部に収納する。この動作を繰り返し
行う。これにより、基板供給領域Ｓの一体型カセット９
０が空になり、基板排出領域Ｄの一体型カセット９０に
処理済みの基板が収納される。

【００７４】次に、基板排出領域Ｄの一体型カセット９
０の排出工程に移る。図１８（ａ）に示すように、回転
機構部３０が回動プレート３４を回転し、一体型カセッ
ト９０の開口部が扉開閉機構部７０に正対する位置に停
止させる。そして、図２２に示す扉の取り外し動作と逆
の動作を行い、扉開閉機構部７０に保持された扉９２を
一体型カセット９０の開口部に取り付ける。これによ
り、一体型カセット９０が密閉される。

【００７５】さらに、図１８（ｂ）に示すように、回転
機構部３０が一体型カセット９０を１８０°回転させ
る。そして、移動機構部１０が駆動され、Ｙスライドプ
レート１６が回転機構部３０に移動する。そして、図１
９に示す一体型カセット９０の受け渡し動作と逆の動作
により、一体型カセット９０を回転機構部３０からＹス
ライドプレート１６へ引き渡す。

【００７６】さらに、図１８（ｃ）に示すように、移動
機構部１０が矢印Ｅに沿ってＹ方向に移動し、さらにＸ
方向と反対方向に移動して基板収納容器供給部１の排出
位置に一体型カセット９０を待機させる。

【００７７】処理済みの基板が収納された一体型カセッ
ト９０はさらに搬送ロボットに受け渡され、次の工程へ
移送される。

【００７８】以上の動作により、一体型カセット９０に
収納された基板は、基板収納容器供給部１から基板処理
部２に供給され、処理済みの基板が基板処理部２から空
の一体型カセット９０に収納され、基板収納容器供給部
１から排出される。

【００７９】上記実施例による基板収納容器供給部１に
おいては、サイズ検出用センサ２２により一体型カセッ
ト９０の大きさを検出し、これに応じて扉開閉機構部７
０と一体型カセット９０との鉛直方向の位置調整を行う
ように構成されている。これにより、大きさの異なる一
体型カセット９０が投入された場合でも、扉開閉機構部
７０のラッチキー１２１および位置決めピン８６，８７
と、一体型カセット９０の扉９２のキー孔９３および位
置決め孔９４との位置がそれぞれ整合され、扉９２の開
閉動作を行うことができる。

【００８０】また、本実施例による基板収納容器供給部
１においては、扉開閉機構部７０が一体型カセット９０
の基板処理部２側への基板の供給位置にある回転機構部
３０を挟んで基板処理部２と反対側に配置されている。
このため、扉開閉機構部７０をクリーンルーム内の通路
側に配置することが可能となり、作業者が容易に接近す
ることができる。これにより、扉開閉機構部７０の保守
容易性が向上する。

【００８１】さらに、扉開閉機構部７０は一体型カセッ
ト９０の前面から扉９２を取り外し、水平方向に短い距
離だけ移動させた状態で保持する。このため、扉開閉機
構部７０は扉９２の水平方向の移動機構のみから構成さ
れることになり、鉛直方向への移動機構も必要とする従
来の扉開閉機構部に比べて構成が簡素化される。

【００８２】さらに、本実施例による基板収納容器供給
部１においては、回転機構部３０により一体型カセット
９０を扉開閉機構部７０に正対する扉取り外し位置と、
基板搬送ロボット４に正対する基板供給位置とに回転移
動させることができる。このため、扉開閉機構部７０を
基板処理部２と反対側に配置することが可能となるとと
もに、基板収納容器供給部１を小型化することができ
る。

【００８３】ここで、上記実施例の基板収納容器供給部
１については、以下のような他の実施例の適用が可能で
ある。

【００８４】まず、上記実施例においては、扉開閉機構
部７０はリンク機構を用いて扉保持プレート８４を移動
させる構成について説明したが、他の機構を用いて構成
してもよい。例えば、図２２は扉開閉機構部の他の実施
例を示す平面図である。この実施例による扉開閉機構部
７０は、リンク機構を使用せず直接エアシリンダ１４０
によって扉保持プレート８４を水平移動させるものであ
る。エアシリンダ１４０の先端は扉保持プレート８４の
裏面８４ｂに固定されている。また、エアシリンダ１４
０の両側には一対のリニアガイド１４１が設けられてい
る。これにより、扉保持プレート８４が固定プレート７
１に対して平行に移動される。なお、この扉開閉機構部
７０において、ピン切換部８５およびラッチキー回動機
構部１１５の構成は図１２〜図１４に示す実施例の構成
と同様の構成を用いることができる。

【００８５】また、扉開閉機構部７０は、図１に示す位
置のみならず、例えば図２３に示すように、移動機構部
１０の側面側に配置してもよい。この場合にも、作業者
が扉開閉機構部７０に接近することが容易となり、保守
容易性を向上することができる。なお、この場合には、
一体型カセット９０は扉９２が扉開閉機構部７０に正対
する向きで基板収納容器供給部１に供給される。

【００８６】さらに、扉開閉機構部７０は、図２４に示
すように、基板収納容器供給部１の一体型カセット９０
が搬送ロボットから供給される位置と基板処理部２との
間および一体型カセット９０が搬送ロボットへ排出され
る位置と基板処理部２との間に設けられてもよい。この
場合、供給された一体型カセット９０は、水平移動自在
な支持部に支持され、扉開閉機構部７０により扉９２が
取り外された後、直線駆動手段（図示せず）によって、
基板搬送ロボット４への基板供給位置に直線移動され
る。また、基板排出用の一体型カセット９０（図示せ
ず）は、水平移動自在な支持部に支持され、扉開閉機構
部７０により扉９２が取り外された後、直線駆動手段
（図示せず）によって基板搬送ロボット４に正対する位
置に直線移動される。このような構成によっても、扉開
閉機構部７０への保守作業を容易にすることができる。

【００８７】さらに、上記の実施例においては、一体型
カセット９０の種類の検出手段としてサイズ検出用セン
サ２２を用いているが、一体型カセット９０の表面にバ
ーコードを設け、基板収納容器供給部１に設けたバーコ
ード読み取り装置によって読み取るように構成してもよ
い。この場合、バーコードには一体型カセット９０の大
きさを示す情報を含める。

【００８８】また、上記実施例において、扉開閉機構部
７０は鉛直方向に移動しないように構成されているが、
扉開閉機構部７０を昇降機構を用いて鉛直方向に移動可
能に構成してもよい。図２５は、本発明の他の実施例に
よる昇降自在な扉開閉機構部を有する基板収納容器供給
部の模式的平面図（ａ）および模式的側面図（ｂ）であ
る。

【００８９】図２５において、基板収納容器供給部１６
０は、カセット載置部１６１、扉開閉機構部１６２およ
びサイズ検出用センサ１６３を備える。サイズ検出用セ
ンサ１６３は一体型カセット９０の鉛直方向の大きさを
光学的に検出し、検出信号を制御部１６４に出力する。
制御部１６４は、検出信号に基づいて一体型カセット９
０の大きさを判定し、判定結果に従って扉開閉機構部１
６２を昇降移動する。そして、扉開閉機構部１６２に設
けられた扉を開閉するためのラッチキーや位置決めピン
と、一体型カセット９０の扉に設けられたキー孔や位置
決め孔との鉛直方向の位置を一致させる。さらに、扉開
閉機構部１６２によって扉を取り外し、鉛直下方に降下
して扉を保持する。これにより、一体型カセット９０の
開口部の前面が開放され、基板の供給が可能となる。

【００９０】ここで、扉開閉機構部１６２が本発明の取
り外し手段、移動手段および進退機構に相当し、サイズ
検出用センサ１６３が検出手段に相当する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による基板収納容器供給部を備
えた基板処理装置の模式的平面図である。

【図２】図１の基板処理装置の模式的側面図である。

【図３】一体型カセットの斜視図である。

【図４】図３の一体型カセットの正面図である。

【図５】図３の一体型カセットの底面図である。

【図６】移動機構部近傍の平面図である。

【図７】図６中のＡ−Ａ線断面図である。

【図８】図６中のＢ−Ｂ線断面図である。

【図９】昇降機構部の正面図である。

【図１０】回転機構部の断面図である。

【図１１】扉開閉機構部の水平移動機構部の側面図であ
る。

【図１２】扉開閉機構部のピン切換部の側面図である。

【図１３】扉保持プレートの正面図である。

【図１４】回転機構部と反対側から見たラッチキー回動
機構部の正面図である。

【図１５】基板処理装置の制御系のブロック図である。

【図１６】基板収納容器供給部における一体型カセット
の搬入搬出動作の説明図である。

【図１７】基板収納容器供給部における一体型カセット
の搬入搬出動作の説明図である。

【図１８】基板収納容器供給部における一体型カセット
の搬入搬出動作の説明図である。

【図１９】移動機構部と回転機構部との一体型カセット
の受渡し動作の説明図である。

【図２０】回転機構部と扉開閉機構部との位置合わせ動
作の説明図である。

【図２１】扉開閉機構部の扉開閉動作の説明図である。

【図２２】本発明の他の実施例による扉開閉機構部の平
面図である。

【図２３】本発明のさらに他の実施例による基板処理装
置の模式的平面図である。

【図２４】本発明のさらに他の実施例による基板処理装
置の模式的平面図である。

【図２５】本発明のさらに他の実施例による基板収納容
器供給装置の模式図である。

【図２６】従来の基板処理装置への基板搬入動作を示す
模式図である。

【図２７】従来の扉開閉機構部の斜視図である。

【符号の説明】

１，１６０ 基板収納容器供給部 ２ 基板処理部 ３ 処理ユニット ４ 基板搬送ロボット １０ 移動機構部 １２ Ｘスライドプレート １６ Ｙスライドプレート ２０ 支持ピン ２２ サイズ検出用センサ ３０ 回転機構部 ３４ 回動プレート ３９ 支持ピン ５０ 昇降機構部 ５２ ボールねじ ５４ モータ ５５ 昇降台 ７０，１６２ 扉開閉機構部 ７１ 固定プレート ８４ 扉保持プレート ８５ ピン切換部 ８６，８７ 位置決めピン ９０ 一体型カセット ９１ 本体 ９２ 扉 ９３ キー孔 ９４ 位置決め孔 ９６，９７ ピン孔 １１５ ラッチキー回動機構部 １２１ ラッチキー

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 開口部を有する容器本体と前記開口部に
   対して取り外し自在であって取り外し操作のための被操
   作部を有する扉とを備えた基板収納容器を基板の処理を
   行う基板処理部へ基板を供給するための所定の位置へ供
   給する基板収納容器供給装置であって、 前記基板収納容器を支持する支持部と、 前記被操作部を操作する操作部材を有し、前記支持部に
   支持された前記基板収納容器の前記扉を前記容器本体か
   ら取り外す取り外し手段と、 前記取り外し手段の操作部材が前記支持部に支持された
   前記基板収納容器の前記扉の被操作部に対応する位置に
   なるように、前記支持部と前記取り外し手段とを相対的
   に移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする基板
   収納容器供給装置。
2. 【請求項２】 前記被操作部は、前記操作部材と係合可
   能な取り外し用の孔部であることを特徴とする請求項１
   記載の基板収納容器供給装置。
3. 【請求項３】 前記支持部に支持される前記基板収納容
   器の種類を検出する検出手段をさらに備え、 前記移動手段は、前記検出手段により検出された基板収
   納容器の種類に応じて前記取り外し手段と前記支持部と
   を相対的に移動させることを特徴とする請求項１または
   ２記載の基板収納容器供給装置。
4. 【請求項４】 前記基板収納容器の扉は、位置決め用の
   孔部を有し、 前記取り外し手段は、前記基板収納容器の扉の前記位置
   決め用の孔部に挿入される複数の位置決め用部材と、前
   記複数の位置決め用部材から前記検出手段により検出さ
   れた基板収納容器の種類に応じた位置決め用部材を選択
   する選択手段とを備えたことを特徴とする請求項３記載
   の基板収納容器供給装置。
5. 【請求項５】 前記取り外し手段は、前記操作部材を前
   記支持部に支持された基板収納容器に対して前進および
   後退させる進退機構を備えたことを特徴とする請求項１
   〜４のいずれかに記載の基板収納容器供給装置。
6. 【請求項６】 前記取り外し手段は、前記位置決め部材
   を前記支持部に支持された基板収納容器に対して前進お
   よび後退させる進退機構を備えたことを特徴とする請求
   項４記載の基板収納容器供給装置。
7. 【請求項７】 前記取り外し手段は、前記操作部材を回
   動させる回動機構を有することを特徴とする請求項２〜
   ６のいずれかに記載の基板収納容器供給装置。