JP4526535B2 - 容器開閉装置 - Google Patents
容器開閉装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4526535B2 JP4526535B2 JP2006514400A JP2006514400A JP4526535B2 JP 4526535 B2 JP4526535 B2 JP 4526535B2 JP 2006514400 A JP2006514400 A JP 2006514400A JP 2006514400 A JP2006514400 A JP 2006514400A JP 4526535 B2 JP4526535 B2 JP 4526535B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- dock
- dock plate
- door
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67775—Docking arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
本願の発明は、半導体ウエハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納して搬送する密閉可
能な容器を開閉するための容器開閉装置に関し、特に容器を受け渡す載置部において、容器の載置位置を所望の位置に変更可能とするその機構に関する。
能な容器を開閉するための容器開閉装置に関し、特に容器を受け渡す載置部において、容器の載置位置を所望の位置に変更可能とするその機構に関する。
近年、大規模なクリーンルームに対する投資の削減と工程の自動化を目的として、ミニ
エンバイロンメントと呼ばれる局所的なクリーンルームを使用した設備が増加してきている。ミニエンバイロンメント方式のプロセスでは、高い清浄状態に保たれた設備を部分的に設け、その設備内でのウエハのハンドリングを行なう。そして、ウエハ搬送時には、密閉型のウエハキャリア（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod ）を利用し、ウエハをパーティクルから保護する。
エンバイロンメントと呼ばれる局所的なクリーンルームを使用した設備が増加してきている。ミニエンバイロンメント方式のプロセスでは、高い清浄状態に保たれた設備を部分的に設け、その設備内でのウエハのハンドリングを行なう。そして、ウエハ搬送時には、密閉型のウエハキャリア（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod ）を利用し、ウエハをパーティクルから保護する。
ミニエンバイロンメント環境で利用されるウエハキャリアは、ロック機構によって搬送中に簡単に開かないようになっており、その開閉を自動で行なうには、ＦＯＵＰオープナと呼ばれる専用の容器開閉装置を必要とする。そして、ウエハキャリアは、天井搬送装置や移載装置などの搬送装置で他の工程から搬送され、ＦＯＵＰオープナの載置部上部に搬送され、載置部との間で移載される。
ＦＯＵＰオープナは通常、プロセス装置へのウエハ入出口に設置されており、その寸法は、ＳＥＭＩ(Semiconductor
Equipment Materials International) によって規格化されている。同様に、ウエハキャリアの寸法もＳＥＭＩ規格で規定されており、ＦＯＵＰオープナの載置部位置の位置決めピンとウエハキャリアの位置決め溝とが一致して確実にＦＯＵＰオープナの載置位置にウエハキャリアが載置されるようになっている。そのため、ウエハキャリアの位置決め溝は、必要最小限の溝穴となっており、容易に位置決めできるように円錐状に加工している。そうすることで、天井搬送装置や移載装置によって搬送されてきたウエハキャリアがＦＯＵＰオープナの載置部と搬送装置との間で正確に移載される。
Equipment Materials International) によって規格化されている。同様に、ウエハキャリアの寸法もＳＥＭＩ規格で規定されており、ＦＯＵＰオープナの載置部位置の位置決めピンとウエハキャリアの位置決め溝とが一致して確実にＦＯＵＰオープナの載置位置にウエハキャリアが載置されるようになっている。そのため、ウエハキャリアの位置決め溝は、必要最小限の溝穴となっており、容易に位置決めできるように円錐状に加工している。そうすることで、天井搬送装置や移載装置によって搬送されてきたウエハキャリアがＦＯＵＰオープナの載置部と搬送装置との間で正確に移載される。
一方、天井搬送装置や移載装置などの搬送装置は、停止位置に多少のばらつきがあり、
ＦＯＵＰオープナの載置部と移載装置との間でウエハキャリアを移載するために、Ｘ・Ｙ
方向の位置合わせを行なわなくてはならない。このとき、天井搬送装置や移載装置のＸ方
向（走行方向）は、停止位置の修正により比較的調整し易いが、Ｙ方向については、走行
軌道の調整や、ＦＯＵＰオープナの設置位置調整又はＦＯＵＰオープナが設置されている
プロセス装置全体の位置調整をしなくてはならない。
ＦＯＵＰオープナの載置部と移載装置との間でウエハキャリアを移載するために、Ｘ・Ｙ
方向の位置合わせを行なわなくてはならない。このとき、天井搬送装置や移載装置のＸ方
向（走行方向）は、停止位置の修正により比較的調整し易いが、Ｙ方向については、走行
軌道の調整や、ＦＯＵＰオープナの設置位置調整又はＦＯＵＰオープナが設置されている
プロセス装置全体の位置調整をしなくてはならない。
その解決策として、移載装置のウエハキャリア保持部にアーム型の機構を構成して、ウ
エハキャリアを任意の方向に移動し、載置部に載置するようにしている（特開２００３−０５１５２７号公報参照）。
エハキャリアを任意の方向に移動し、載置部に載置するようにしている（特開２００３−０５１５２７号公報参照）。
しかしながら、キャリア保持部へアーム型機構を構成して、ＦＯＵＰオープナの載置部
と移載装置との間でウエハキャリアを移載するようになると、アームの旋回範囲の確保が
必要になる。また、移載装置支持部からウエハキャリア保持部までの距離が長くなり、移
載機構の水平動作の位置決め時にウエハキャリアの振動が発生し、発生した振動が停止す
るまで、その場で待機しなくてはならなくなり、ウエハキャリアの移載時間に影響が出る。また、移載装置にアーム型機構などの追加機構を備えると、大掛かりな装置となり、コ
ストアップとなる。
と移載装置との間でウエハキャリアを移載するようになると、アームの旋回範囲の確保が
必要になる。また、移載装置支持部からウエハキャリア保持部までの距離が長くなり、移
載機構の水平動作の位置決め時にウエハキャリアの振動が発生し、発生した振動が停止す
るまで、その場で待機しなくてはならなくなり、ウエハキャリアの移載時間に影響が出る。また、移載装置にアーム型機構などの追加機構を備えると、大掛かりな装置となり、コ
ストアップとなる。
本願の発明は、従来の容器開閉装置（ＦＯＵＰオープナ）及びその容器載置位置調整方
法が有する前記のような問題点を解決して、容器開閉装置に備わるドックプレートの位置
と、容器に備わるドックプレートへの位置決め溝とのずれを調節し、スムースにドックプ
レートの容器載置位置と容器の位置決め溝との位置合わせをすることが可能な容器開閉装
置を提供することを課題とする。
法が有する前記のような問題点を解決して、容器開閉装置に備わるドックプレートの位置
と、容器に備わるドックプレートへの位置決め溝とのずれを調節し、スムースにドックプ
レートの容器載置位置と容器の位置決め溝との位置合わせをすることが可能な容器開閉装
置を提供することを課題とする。
本願の発明によれば、このような課題は、次のような容器開閉装置により解決される。
すなわち、その容器開閉装置は、少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能で、搬送装置にて搬送される容器を載置して位置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドアを保持する保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとを備えてなる容器開閉装置において、前記ドック移動機構は、前記搬送装置と前記容器開閉装置との間で前記容器を受け渡す際、前記容器開閉装置に予め記憶されている前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータに基づき、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えていることを特徴としている。
すなわち、その容器開閉装置は、少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能で、搬送装置にて搬送される容器を載置して位置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドアを保持する保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとを備えてなる容器開閉装置において、前記ドック移動機構は、前記搬送装置と前記容器開閉装置との間で前記容器を受け渡す際、前記容器開閉装置に予め記憶されている前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータに基づき、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えていることを特徴としている。
好ましい実施形態では、前記容器開閉装置は、制御手段を更に備え、前記制御手段は、前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータが記憶される記憶部を有し、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を、前記容器受渡位置のデータに基づき、前記容器受渡位置に数値制御する。
別の好ましい実施形態では、前記制御手段は、前記搬送装置が前記容器開閉装置に前記容器を受け渡す位置に到達したとき、前記搬送装置と前記容器開閉装置との間で信号の確認を行い、確認した信号に基づいて、前記記憶部に予め記憶させておいた搬送装置毎の前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータを読み出し、読み出した前記容器受渡位置のデータを基に、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を数値制御して、前記ドックプレートを前記容器受渡位置に移動させる。
さらに別の好ましい実施形態では、前記停止位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向をＸ方向とし、前記Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置をＸ方向及びＹ方向の所望の位置に変更可能とする。
前記のように、ドッグ移動機構が容器開閉装置のドックプレートの停止位置を所望の位
置に変更可能とする停止位置可変手段を備えることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の
容器載置部（ドックプレートに備えられる）との間で受渡をするときの容器載置位置を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動で正確に容器の受渡移載をすることができるとともに、停止位置確認をする特別な機構を設けなくてもよい。
置に変更可能とする停止位置可変手段を備えることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の
容器載置部（ドックプレートに備えられる）との間で受渡をするときの容器載置位置を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動で正確に容器の受渡移載をすることができるとともに、停止位置確認をする特別な機構を設けなくてもよい。
また、その容器開閉装置は、少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能で、搬送装置にて搬送される容器を載置して位置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドア保持する保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとを備えてなる容器開閉装置において、前記ドック移動機構は、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を確認する停止位置確認手段と、前記搬送装置と前記容器開閉装置との間で前記容器を受け渡す際、前記容器開閉装置に予め記憶されている前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータに基づき、前記停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段と、を備えていることを特徴としている。
好ましい実施形態では、前記容器開閉装置は、制御手段を更に備え、前記制御手段は、前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータが記憶される記憶部を有し、前記停止位置確認手段の設置位置を、前記容器受渡位置のデータに基づき、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置に対応する所定の位置に数値制御する。
別の好ましい実施形態では、前記制御手段は、前記搬送装置が前記容器開閉装置に前記容器を受け渡す位置に到達したとき、前記搬送装置と前記容器開閉装置との間で信号の確認を行い、確認した信号に基づいて、前記記憶部に予め記憶させておいた搬送装置毎の前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータを読み出し、読み出した前記容器受渡位置のデータを基に、前記停止位置確認手段の設置位置を数値制御して、前記停止位置確認手段を、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置に対応する所定の位置に移動させ、前記停止位置確認手段の前記所定の位置への移動が完了した後、前記ドック移動機構により前記ドックプレートを前記容器受渡のための停止位置に移動させ、前記停止位置確認手段により前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を確認し、移動を停止させる。
さらに別の好ましい実施形態では、前記設置位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向をＸ方向とし、前記Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、前記停止位置確認手段の設置位置をＸ方向及びＹ方向の所望の位置に変更可能とする。
前記のように、ドッグ移動機構が容器開閉装置のドックプレートの停止位置を確認する
停止位置確認手段を備え、この停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段をさらに備えることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部
（ドックプレートに備えられる）との間で受渡をするとき、ドックプレートの停止位置を
正確に確実に確認した上で、これに基づいてドックプレート上の容器載置位置を所望の位
置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器
載置部とのずれに個別に、正確かつ確実に、容易に対応することが可能になり、さらに、
これを数値制御により行なうことで、自動でさらに正確に容器の受渡移載をすることがで
きる。
停止位置確認手段を備え、この停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段をさらに備えることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部
（ドックプレートに備えられる）との間で受渡をするとき、ドックプレートの停止位置を
正確に確実に確認した上で、これに基づいてドックプレート上の容器載置位置を所望の位
置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器
載置部とのずれに個別に、正確かつ確実に、容易に対応することが可能になり、さらに、
これを数値制御により行なうことで、自動でさらに正確に容器の受渡移載をすることがで
きる。
以上のような本願の発明の容器開閉装置によれば、大掛かりな装置を必要とせずに、多種の容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部との誤差に対応することが可能になり、搬送装置と容器開閉装置との間で正確に容器の受渡移載をすることができる。
少なくとも、半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能で、搬送装置にて搬送される容器を載置して位置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドアを保持する保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとを備えてなる容器開閉装置において、前記ドック移動機構は、前記搬送装置と前記容器開閉装置との間で前記容器を受け渡す際、前記容器開閉装置に予め記憶されている前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータに基づき、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えるものとする。
この容器開閉装置の停止位置可変手段は、ドックプレートの停止位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えるものとし、さらに、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向をＸ方向とし、Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、ドックプレートの容器受渡のための停止位置をＸ方向及びＹ方向の所望の位置に変更可能とする。なお、ドックプレートの停止位置を検出・確認するために、停止位置確認手段を具備せしめるのがよい。
次に、本願の発明の第１の実施例（実施例１）を、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
図１は、本実施例１の容器開閉装置に相当するＦＯＵＰオープナの概観図、図２は、同
ＦＯＵＰオープナの概略図であって、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は部分正面図、（ｃ）は
平面図、図４は、本実施例１とその変形例におけるドック位置調整機構（ドック移動機構
）の概略図、図６は、本実施例１において、ＦＯＵＰが作業位置まで前進して、ＦＯＵＰ
ドアがポートドアの係合面に接触した状態を示す動作図、図７は、本実施例１において、
ドックプレートとＦＯＵＰとの位置合わせする状態を示す動作図、図９は、本実施例１に
おけるＦＯＵＰオープナの概略制御構成図、図１１は、従来例において、ドックプレート
と搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図、図１２は、本実施例１
において、ドックプレートと搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート
図である。
図１は、本実施例１の容器開閉装置に相当するＦＯＵＰオープナの概観図、図２は、同
ＦＯＵＰオープナの概略図であって、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は部分正面図、（ｃ）は
平面図、図４は、本実施例１とその変形例におけるドック位置調整機構（ドック移動機構
）の概略図、図６は、本実施例１において、ＦＯＵＰが作業位置まで前進して、ＦＯＵＰ
ドアがポートドアの係合面に接触した状態を示す動作図、図７は、本実施例１において、
ドックプレートとＦＯＵＰとの位置合わせする状態を示す動作図、図９は、本実施例１に
おけるＦＯＵＰオープナの概略制御構成図、図１１は、従来例において、ドックプレート
と搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図、図１２は、本実施例１
において、ドックプレートと搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート
図である。
図１及び図２において、ＦＯＵＰオープナ１は、ＦＯＵＰ10内のウェハ14の転送のため
に、外部汚染空間300 の雰囲気にウェハ14を曝すことなくＦＯＵＰドア13を開放して、Ｆ
ＯＵＰ内第１制御空間100 と第２制御空間200 とを連通させる役割を担う。そのため、Ｆ
ＯＵＰ10は、ＦＯＵＰオープナ１の定められた位置に確実に載置される必要がある。そこ
で、本実施例１においては、このような課題がどのようにして解決されているかを、以下
に説明する。
に、外部汚染空間300 の雰囲気にウェハ14を曝すことなくＦＯＵＰドア13を開放して、Ｆ
ＯＵＰ内第１制御空間100 と第２制御空間200 とを連通させる役割を担う。そのため、Ｆ
ＯＵＰ10は、ＦＯＵＰオープナ１の定められた位置に確実に載置される必要がある。そこ
で、本実施例１においては、このような課題がどのようにして解決されているかを、以下
に説明する。
本実施例１におけるＦＯＵＰオープナ１の構成要素は、図２および図４（ａ）に図示さ
れるように、少なくとも、半導体ウェハ14を所定の間隔で、水平に、複数枚収納したＦＯ
ＵＰ10と、ＦＯＵＰ10を載置して位置決めするドックプレート31と、ドックプレート31を
ＦＯＵＰ受渡位置とＦＯＵＰドア13が着脱される作業位置との間で移動させるドック移動
機構30と、ＦＯＵＰドア13を着脱する着脱機構とＦＯＵＰドア13を保持する保持機構とを
内蔵して有するポートドア23と、ポートドア23を水平に移動させるポートドア進退機構40
と、ＦＯＵＰドア13を格納するために、ポートドア23がＦＯＵＰドア13を保持した状態で
、ポートドア23を垂直に移動させるポートドア昇降機構50と、ポートドア23により閉塞さ
れる開口部を有するポートプレート21とからなっている。
れるように、少なくとも、半導体ウェハ14を所定の間隔で、水平に、複数枚収納したＦＯ
ＵＰ10と、ＦＯＵＰ10を載置して位置決めするドックプレート31と、ドックプレート31を
ＦＯＵＰ受渡位置とＦＯＵＰドア13が着脱される作業位置との間で移動させるドック移動
機構30と、ＦＯＵＰドア13を着脱する着脱機構とＦＯＵＰドア13を保持する保持機構とを
内蔵して有するポートドア23と、ポートドア23を水平に移動させるポートドア進退機構40
と、ＦＯＵＰドア13を格納するために、ポートドア23がＦＯＵＰドア13を保持した状態で
、ポートドア23を垂直に移動させるポートドア昇降機構50と、ポートドア23により閉塞さ
れる開口部を有するポートプレート21とからなっている。
ＦＯＵＰ10は、ＦＯＵＰフレーム11とＦＯＵＰドア13とからなり、ＦＯＵＰドア13は、
ＦＯＵＰフレーム11の前方開口12を開閉する蓋体をなす。
ＦＯＵＰフレーム11の前方開口12を開閉する蓋体をなす。
ドック移動機構30は、ＦＯＵＰ10に形成されている位置決め溝15と容易に一致するよう
に位置決め溝15より若干小さい位置決めピン32が、位置決め溝15と略同じ間隔で取り付け
固定されるドックプレート31と、ドックプレート31の下方に配置されるベース321 と、ベ
ース321 の上面に固定して取り付けられ、嵌合溝が形成されたレール322 と、一定間隔を
空けてレール322 の嵌合溝に摺動可能に嵌合する二つの摺動部材323 と、ドックプレート
31の下方に配置されるベース311 と、ベース311 上に配置されるドックプレート31を移動
させるための駆動源となるドック移動モータ312 と、ドック移動モータ312 の出力軸の回
転とともに回転可能にベース311 上に取り付けられて支持され、ネジ溝が形成されたボー
ルネジ313 と、ボールネジ313 の回転時にボールネジ313 のネジ溝に螺合して水平移動す
る伝達部材314 と、ドックプレート31の下面に設けられ、ドックプレート31が移動すると
きドックプレート31とともに移動して、ドックプレート31上に載置されたＦＯＵＰ10がド
ックプレート31上から落下しないようにドックプレート31上にＦＯＵＰ10を一時的に固定
するロック機能を備えたロック機構330 とから構成される。
に位置決め溝15より若干小さい位置決めピン32が、位置決め溝15と略同じ間隔で取り付け
固定されるドックプレート31と、ドックプレート31の下方に配置されるベース321 と、ベ
ース321 の上面に固定して取り付けられ、嵌合溝が形成されたレール322 と、一定間隔を
空けてレール322 の嵌合溝に摺動可能に嵌合する二つの摺動部材323 と、ドックプレート
31の下方に配置されるベース311 と、ベース311 上に配置されるドックプレート31を移動
させるための駆動源となるドック移動モータ312 と、ドック移動モータ312 の出力軸の回
転とともに回転可能にベース311 上に取り付けられて支持され、ネジ溝が形成されたボー
ルネジ313 と、ボールネジ313 の回転時にボールネジ313 のネジ溝に螺合して水平移動す
る伝達部材314 と、ドックプレート31の下面に設けられ、ドックプレート31が移動すると
きドックプレート31とともに移動して、ドックプレート31上に載置されたＦＯＵＰ10がド
ックプレート31上から落下しないようにドックプレート31上にＦＯＵＰ10を一時的に固定
するロック機能を備えたロック機構330 とから構成される。
ロック機構330 は、回転動力を出力するロックモータ332 と、ロックモータ332 の出力
軸に接続されて回転出力を伝達することを可能とするドックプレート31の下面に取り付け
固定された伝達機構333 と、ドックプレート31の下面に取り付け固定されて軸受を備えた
支持部材335 と、支持部材335 の軸受に回転可能に支持されて一方の端部を伝達機構333
に接続した伝達部材334 と、伝達部材334 の一部に取り付け固定され、伝達部材334 が動
作するとともに動作するロックヘッド336 とから構成されている。
軸に接続されて回転出力を伝達することを可能とするドックプレート31の下面に取り付け
固定された伝達機構333 と、ドックプレート31の下面に取り付け固定されて軸受を備えた
支持部材335 と、支持部材335 の軸受に回転可能に支持されて一方の端部を伝達機構333
に接続した伝達部材334 と、伝達部材334 の一部に取り付け固定され、伝達部材334 が動
作するとともに動作するロックヘッド336 とから構成されている。
さらに、ドック移動機構30は、ドックプレート31を検出する検出確認機構340 をドック
プレート31の下方に備える。検出確認機構340 は、検出センサ343a、343bを備え、これら
の検出センサ343a、343bは、取付部材342a、342bへそれぞれ取り付け固定される。取付部
材342a、342bは、ドックプレート31の下方に配置されるベース331 の上部に取り付け固定
された固定部材341a、341bにそれぞれ取り付け固定される。
プレート31の下方に備える。検出確認機構340 は、検出センサ343a、343bを備え、これら
の検出センサ343a、343bは、取付部材342a、342bへそれぞれ取り付け固定される。取付部
材342a、342bは、ドックプレート31の下方に配置されるベース331 の上部に取り付け固定
された固定部材341a、341bにそれぞれ取り付け固定される。
実施例１の変形例
次に、本実施例１の変形例について、図４（ａ）、（ｂ）を参照しつつ、詳細に説明する。
なお、図４（ａ）と図４（ｂ) との違いは、ドック移動機構部分の構造に関し、図４（
ｂ) に図示されるドック移動機構30は、Ｘ・Ｙ方向の２方向にドックプレート31を移動する構成となっている点で異なる。その他の点については変わりがないので、これらについ
ては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
次に、本実施例１の変形例について、図４（ａ）、（ｂ）を参照しつつ、詳細に説明する。
なお、図４（ａ）と図４（ｂ) との違いは、ドック移動機構部分の構造に関し、図４（
ｂ) に図示されるドック移動機構30は、Ｘ・Ｙ方向の２方向にドックプレート31を移動する構成となっている点で異なる。その他の点については変わりがないので、これらについ
ては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
図４（ａ）のドック移動機構30では、摺動部材323 の取付面にドックプレート31が取り
付けられているが、図４（ｂ) のドック移動機構30では、摺動部材323 の取付面に、ドッ
クプレート31の移動方向をＸ・Ｙ方向の２方向にするために、ドックプレート31に代えて
補助プレート31a が取り付けられている。補助プレート31a の上面には、ポートドア23の
面と略平行になるようにして、２本のレール372 が一定間隔をおいて略平行に取り付け固
定されている。そして、それぞれのレール372 に沿って摺動可能に摺動部材373 がそれぞ
れのレール372 に２本ずつ取り付けられている。摺動部材373 の上面には、ドックプレー
ト31が取り付け固定されている。
付けられているが、図４（ｂ) のドック移動機構30では、摺動部材323 の取付面に、ドッ
クプレート31の移動方向をＸ・Ｙ方向の２方向にするために、ドックプレート31に代えて
補助プレート31a が取り付けられている。補助プレート31a の上面には、ポートドア23の
面と略平行になるようにして、２本のレール372 が一定間隔をおいて略平行に取り付け固
定されている。そして、それぞれのレール372 に沿って摺動可能に摺動部材373 がそれぞ
れのレール372 に２本ずつ取り付けられている。摺動部材373 の上面には、ドックプレー
ト31が取り付け固定されている。
また、２本のレール372 の間には、ドックプレート31をＹ方向に移動するためのドック
プレート移動機構360 が備えられている。ドックプレート移動機構360 は、駆動源として
ドック移動モータ362 と、ドック移動モータ362 の出力軸から出力される回転力を伝達す
るボールネジ363 と、ボールネジ363 のネジ溝に螺合するとともに、ボールネジ363 の回
転に伴って水平摺動する伝達部材364 とにより構成されている。そして、伝達部材364 が
ドックプレート31の下面の一部に取り付け固定されることにより、ドックプレート31をＹ
方向へ移動可能にしている。
プレート移動機構360 が備えられている。ドックプレート移動機構360 は、駆動源として
ドック移動モータ362 と、ドック移動モータ362 の出力軸から出力される回転力を伝達す
るボールネジ363 と、ボールネジ363 のネジ溝に螺合するとともに、ボールネジ363 の回
転に伴って水平摺動する伝達部材364 とにより構成されている。そして、伝達部材364 が
ドックプレート31の下面の一部に取り付け固定されることにより、ドックプレート31をＹ
方向へ移動可能にしている。
また、ドックプレート31のＹ方向への移動を検知して制限する検出センサ383a、383bが取付部材382a、382bへそれぞれ取り付けられている。取付部材382a、382bは、補助プレート31ａの上面端部の一部に取り付けられた固定部材381a、381bへそれぞれ取り付けられ、Ｙ方向へ移動するドックプレート31を検出センサ383a、383bが検出できるように、ドックプレート31の２個所の移動端にそれぞれ対応させて取り付け固定されている。これらは、Ｙ方向へ移動するドックプレート31を検出する検出確認機構をなしている。
実施例１のＦＯＵＰ受取動作
次に、本実施例１におけるＦＯＵＰ10の受け取りからＦＯＵＰ10の作業位置への移動までの動作について、図６（ａ）〜（ｄ）をもとに説明する。
次に、本実施例１におけるＦＯＵＰ10の受け取りからＦＯＵＰ10の作業位置への移動までの動作について、図６（ａ）〜（ｄ）をもとに説明する。
ドックプレート31は、ＦＯＵＰ10がドックプレート31上に載置されていない場合は、Ｆ
ＯＵＰ受渡位置（ポートプレート21から離れた位置）に待機している。このときの検出セ
ンサ343a、343bは、ドックプレート31の動作範囲限界を定めるとともに、その停止位置を確認するためのドックプレート31の確認手段として使用されている（図６（ａ））。
ＯＵＰ受渡位置（ポートプレート21から離れた位置）に待機している。このときの検出セ
ンサ343a、343bは、ドックプレート31の動作範囲限界を定めるとともに、その停止位置を確認するためのドックプレート31の確認手段として使用されている（図６（ａ））。
次に、図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ10がＦＯＵＰオープナ１上に搬送され、搬
送装置がドックプレート31の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１
との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、ＦＯＵＰ10の位置決め溝15とドックプレー
ト31上に設けられている位置決めピン32とが合うように、ＦＯＵＰ10がドックプレート31
上に移載される（図６（ｂ））。
送装置がドックプレート31の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１
との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、ＦＯＵＰ10の位置決め溝15とドックプレー
ト31上に設けられている位置決めピン32とが合うように、ＦＯＵＰ10がドックプレート31
上に移載される（図６（ｂ））。
ドックプレート31上に載置されたＦＯＵＰ10は、ロック機構330 のロック動作により、
ドックプレート31上に一時的に受け取られ固定される（図６（ｃ））。
ドックプレート31上に一時的に受け取られ固定される（図６（ｃ））。
ＦＯＵＰ10がドックプレート31上にロックされると、ＦＯＵＰ10は、ドック移動機構30
の作動により作業位置（ポートプレート21に接近した位置）に移動させられる（図６（ｄ
））。
の作動により作業位置（ポートプレート21に接近した位置）に移動させられる（図６（ｄ
））。
作業位置に移動したＦＯＵＰ10は、ポートドア23に内蔵されたＦＯＵＰドア開閉機構に
よりＦＯＵＰドア13のロックが解除され、ＦＯＵＰフレーム11からＦＯＵＰドア13が取り
外される。その後、ＦＯＵＰドア13は、ポートドア23に保持され、ポートドア進退機構40
により所定の位置まで水平移動が行なわれ、ポートドア昇降機構50により所定の位置まで
下降する。
よりＦＯＵＰドア13のロックが解除され、ＦＯＵＰフレーム11からＦＯＵＰドア13が取り
外される。その後、ＦＯＵＰドア13は、ポートドア23に保持され、ポートドア進退機構40
により所定の位置まで水平移動が行なわれ、ポートドア昇降機構50により所定の位置まで
下降する。
以上が、ＦＯＵＰ10が図示されていない搬送装置により搬送され、ＦＯＵＰオープナ１
で受け取られ、ＦＯＵＰドア13が外されるまでの概略動作である。なお、ＦＯＵＰドア13
の取付けから搬送装置への移載までは、受け取り動作の逆の順序で行なわれる。
で受け取られ、ＦＯＵＰドア13が外されるまでの概略動作である。なお、ＦＯＵＰドア13
の取付けから搬送装置への移載までは、受け取り動作の逆の順序で行なわれる。
実施例１の位置合わせ動作
次に、本実施例１において、ＦＯＵＰ10とドックプレート31との間で、ＦＯＵＰ10の位
置決め溝15とドックプレート31の位置きめピン32とを位置合わせする動作を図７、図９に
より説明する。
次に、本実施例１において、ＦＯＵＰ10とドックプレート31との間で、ＦＯＵＰ10の位
置決め溝15とドックプレート31の位置きめピン32とを位置合わせする動作を図７、図９に
より説明する。
図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ10がＦＯＵＰオープナ１の上方に到達すると、搬
送装置とＦＯＵＰオープナ１との間で信号の確認が行なわれる。
送装置とＦＯＵＰオープナ１との間で信号の確認が行なわれる。
確認した信号に基づいて、記憶部61に記憶されているドックプレート31の受渡位置のデ
ータ（後に説明されるＦＯＵＰオープナ１の設置時に記憶される搬送装置毎のドックプレ
ート31の受渡位置データ）を読み出す。
ータ（後に説明されるＦＯＵＰオープナ１の設置時に記憶される搬送装置毎のドックプレ
ート31の受渡位置データ）を読み出す。
読み出したデータをもとに制御手段60がドック移動機構30のドック移動モータ312 を回
転制御して、ドックプレート31を受渡位置に移動させる。
これらドック移動モータ312 、ドック移動モータ312 の回転によりボールネジ機構を介
してドックプレート31を受渡位置へ移動させる機構及び制御手段60は、ドックプレート31
の停止位置可変手段をなしている。この停止位置可変手段は、ドックプレート31の停止位
置をＸ方向の所望の位置に変更可能である。
転制御して、ドックプレート31を受渡位置に移動させる。
これらドック移動モータ312 、ドック移動モータ312 の回転によりボールネジ機構を介
してドックプレート31を受渡位置へ移動させる機構及び制御手段60は、ドックプレート31
の停止位置可変手段をなしている。この停止位置可変手段は、ドックプレート31の停止位
置をＸ方向の所望の位置に変更可能である。
ドックプレート31が受渡位置に移動を完了後、搬送装置がＦＯＵＰ10を下降させて、ＦＯＵＰ10をＦＯＵＰオープナ１へ渡す。
以上が本実施例１の搬送装置とドックプレート31とのＦＯＵＰ10の受渡動作である。
以上が本実施例１の搬送装置とドックプレート31とのＦＯＵＰ10の受渡動作である。
次に、本願の発明の第２の実施例（実施例２）を図３、図５（ａ）を参照しつつ説明する。なお、ここでは、検出センサ移動機構350 の構成のみ説明する。その他の構成、すなわち、ＦＯＵＰオープナ１の基本構成、ＦＯＵＰ10の構成、ロック機構330 の構成、ドッ
ク移動機構30の構成等については、実施例１と同様であるので、説明を省略する。
ク移動機構30の構成等については、実施例１と同様であるので、説明を省略する。
本実施例２において、ドックプレート31の位置を検出する検出センサ343aを所望の位置
に移動させるための検出センサ移動機構350 は、次のようにして構成されている。
図３及び図５（ａ）に図示されるように、ベース331 の上面端部付近に検出センサ移動
機構350 のベース351 を取り付け固定し、ベース351 の上面にレール356 を取り付け固定
する。そして、レール356 に嵌合し、これに沿って摺動可能な摺動部材355 を設ける。摺
動部材355 には、固定部材341aが取り付け固定され、この固定部材341aの一部に伝達部材
354 が連結されている。
に移動させるための検出センサ移動機構350 は、次のようにして構成されている。
図３及び図５（ａ）に図示されるように、ベース331 の上面端部付近に検出センサ移動
機構350 のベース351 を取り付け固定し、ベース351 の上面にレール356 を取り付け固定
する。そして、レール356 に嵌合し、これに沿って摺動可能な摺動部材355 を設ける。摺
動部材355 には、固定部材341aが取り付け固定され、この固定部材341aの一部に伝達部材
354 が連結されている。
また、固定部材341aの上面には、検出センサ343aの取付部材342aが取り付け固定されて
おり、この取付部材342aに検出センサ343aが、摺動部材355 がレール356 上を摺動するこ
とにより、わずかに位置調整可能に取り付けられている。
おり、この取付部材342aに検出センサ343aが、摺動部材355 がレール356 上を摺動するこ
とにより、わずかに位置調整可能に取り付けられている。
伝達部材354 は、検出センサ駆動モータ352 の作動により検出センサ駆動モータ352 の
出力軸が回転するに伴ってボールネジ353 が回転動作すると、ボールネジ353 に螺合して
ネジ方向に水平移動することが可能に、固定部材341aに取り付けられている。
出力軸が回転するに伴ってボールネジ353 が回転動作すると、ボールネジ353 に螺合して
ネジ方向に水平移動することが可能に、固定部材341aに取り付けられている。
他方、ＦＯＵＰドア外し位置（作業位置）側には、ドックプレート31が作業位置に到達
したことを確認する検出センサ343bが取付部材342bへ取り付け固定され、この取付部材34
2bは、ベース331 の端部の上部に取り付け固定された固定部材341bへ取り付け固定されて
いる。検出センター343bは、Ｘ方向におけるドックプレート31の基準位置として使用され
ている。
したことを確認する検出センサ343bが取付部材342bへ取り付け固定され、この取付部材34
2bは、ベース331 の端部の上部に取り付け固定された固定部材341bへ取り付け固定されて
いる。検出センター343bは、Ｘ方向におけるドックプレート31の基準位置として使用され
ている。
実施例２の変形例
次に、本実施例２の変形例について、図５（ａ）、（ｂ）をもとに説明する。なお、図
５（ａ）と図５（ｂ）との違いは、ドック移動機構部分の構造に関し、図５（ｂ）のドッ
ク移動機構30は、Ｘ・Ｙ方向の２方向にドックプレート31を移動する構成を備えている点
で異なる。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号
とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
次に、本実施例２の変形例について、図５（ａ）、（ｂ）をもとに説明する。なお、図
５（ａ）と図５（ｂ）との違いは、ドック移動機構部分の構造に関し、図５（ｂ）のドッ
ク移動機構30は、Ｘ・Ｙ方向の２方向にドックプレート31を移動する構成を備えている点
で異なる。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号
とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
図５（ａ）のドック移動機構30では、摺動部材323 の取付面にドックプレート31が取り
付けられているが、図５（ｂ) のドック移動機構30では、摺動部材323 の取付面に、ドッ
クプレート31の移動方向をＸ・Ｙ方向の２方向にするために、ドックプレート31に代えて
補助プレート31a が取り付けられている。補助プレート31a の上面には、ポートドア23の
面と略平行になるようにして、２本のレール372 が一定間隔をおいて略平行に取り付け固
定されている。そして、それぞれのレール372 に沿って摺動可能に摺動部材373 がそれぞれのレール372 に２本ずつ取り付けられている。摺動部材373 の上面には、ドックプレー
ト31が取り付け固定されている。
付けられているが、図５（ｂ) のドック移動機構30では、摺動部材323 の取付面に、ドッ
クプレート31の移動方向をＸ・Ｙ方向の２方向にするために、ドックプレート31に代えて
補助プレート31a が取り付けられている。補助プレート31a の上面には、ポートドア23の
面と略平行になるようにして、２本のレール372 が一定間隔をおいて略平行に取り付け固
定されている。そして、それぞれのレール372 に沿って摺動可能に摺動部材373 がそれぞれのレール372 に２本ずつ取り付けられている。摺動部材373 の上面には、ドックプレー
ト31が取り付け固定されている。
また、２本のレール372 の間には、ドックプレート31をＹ方向に移動するためのドック
プレート移動機構360 が備えられている。ドックプレート移動機構360 は、駆動源として
ドック移動モータ362 と、ドック移動モータ362 の出力軸から出力される回転力を伝達す
るボールネジ363 と、ボールネジ363 のネジ溝に螺合するとともに、ボールネジ363 の回
転に伴って水平摺動する伝達部材364 とにより構成されている。そして、伝達部材364 が
ドックプレート31の下面の一部に取り付け固定されることにより、ドックプレート31をＹ
方向へ移動可能にしている。
プレート移動機構360 が備えられている。ドックプレート移動機構360 は、駆動源として
ドック移動モータ362 と、ドック移動モータ362 の出力軸から出力される回転力を伝達す
るボールネジ363 と、ボールネジ363 のネジ溝に螺合するとともに、ボールネジ363 の回
転に伴って水平摺動する伝達部材364 とにより構成されている。そして、伝達部材364 が
ドックプレート31の下面の一部に取り付け固定されることにより、ドックプレート31をＹ
方向へ移動可能にしている。
また、ドックプレート31のＹ方向への移動を制限し、Ｙ方向への位置決め位置を検知する検出センサ393aを所望の位置に移動させるための検出センサ移動機構400 が備えられて
いる。この検出センサ移動機構400 は、次のようにして構成されている。
いる。この検出センサ移動機構400 は、次のようにして構成されている。
図５（ｂ）に図示されるように、補助プレート31a の上面端部の一部に検出センサ移動
機構400 のベース401 を取り付け固定し、ベース401 の上面にレール406 を取り付け固定
する。そして、レール406 に嵌合し、これに沿って摺動可能な摺動部材405 を設ける。摺
動部材405 には、固定部材391aが取り付け固定され、この固定部材391aの一部に伝達部材
404 が連結されている。
機構400 のベース401 を取り付け固定し、ベース401 の上面にレール406 を取り付け固定
する。そして、レール406 に嵌合し、これに沿って摺動可能な摺動部材405 を設ける。摺
動部材405 には、固定部材391aが取り付け固定され、この固定部材391aの一部に伝達部材
404 が連結されている。
また、固定部材391aの上面には、検出センサ393aの取付部材392aが取り付け固定されて
おり、この取付部材392aに検出センサ393aが、摺動部材405 がレール406 上を摺動するこ
とにより、わずかに位置調整可能に取り付けられている。この検出センサ393aは、ドック
プレート31のＹ方向移動時のＦＯＵＰ受取位置を検出する。
おり、この取付部材392aに検出センサ393aが、摺動部材405 がレール406 上を摺動するこ
とにより、わずかに位置調整可能に取り付けられている。この検出センサ393aは、ドック
プレート31のＹ方向移動時のＦＯＵＰ受取位置を検出する。
伝達部材404 は、検出センサ駆動モータ402 の作動により検出センサ駆動モータ402 の
出力軸が回転するに伴ってボールネジ403 が回転動作すると、ボールネジ403 に螺合して
ネジ方向に水平移動することが可能に、固定部材391aに取り付けられている。
出力軸が回転するに伴ってボールネジ403 が回転動作すると、ボールネジ403 に螺合して
ネジ方向に水平移動することが可能に、固定部材391aに取り付けられている。
他方、ドックプレート31のＹ方向への基準位置を検知する検出センサ393bが取付部材39
2bへ取り付けられている。この取付部材392bは、補助プレート31a の上面端部の一部に取
り付けられた固定部材391bへ取り付けられ、Ｙ軸方向移動時のドックプレート31の基準位
置を検出できるように、補助プレート31a の端部に取り付け固定されている。
2bへ取り付けられている。この取付部材392bは、補助プレート31a の上面端部の一部に取
り付けられた固定部材391bへ取り付けられ、Ｙ軸方向移動時のドックプレート31の基準位
置を検出できるように、補助プレート31a の端部に取り付け固定されている。
実施例２のＦＯＵＰ受取動作
次に、本実施例２におけるＦＯＵＰ10の受け取りからＦＯＵＰ10の作業位置への移動までの動作について、実施例１で説明した図６（ａ）〜（ｄ）をもとに説明する。
次に、本実施例２におけるＦＯＵＰ10の受け取りからＦＯＵＰ10の作業位置への移動までの動作について、実施例１で説明した図６（ａ）〜（ｄ）をもとに説明する。
ドックプレート31は、ＦＯＵＰ10がドックプレート31上に載置されていない場合には、
ＦＯＵＰ受渡位置（ポートプレート21から離れた位置）に待機している。このときの検出
センサ343a、343bは、ドックプレート31のＦＯＵＰ受渡位置を定めるためのドックプレー
ト31の停止位置確認手段として使用されている（図６（ａ））。
ＦＯＵＰ受渡位置（ポートプレート21から離れた位置）に待機している。このときの検出
センサ343a、343bは、ドックプレート31のＦＯＵＰ受渡位置を定めるためのドックプレー
ト31の停止位置確認手段として使用されている（図６（ａ））。
次に、図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ10がＦＯＵＰオープナ１上に搬送され、搬
送装置がドックプレート31の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１
との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、ＦＯＵＰ10の位置決め溝15とドックプレー
ト31上に設けられている位置ぎめピン32とが合うように、ＦＯＵＰ10がドックプレート31
上に移載される（図６（ｂ））。ここで、実施例１では、ドックプレート31が記憶部61（
図９参照）に記憶されているデータをもとに受取位置へ移動したが、本実施例２では、記
憶部61（図１０参照）に記憶されているデータをもとに検出センサ移動機構350 が検出確
認機構340 を受渡位置に移動させてから、ドックプレート31が受渡位置に移動する。
送装置がドックプレート31の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１
との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、ＦＯＵＰ10の位置決め溝15とドックプレー
ト31上に設けられている位置ぎめピン32とが合うように、ＦＯＵＰ10がドックプレート31
上に移載される（図６（ｂ））。ここで、実施例１では、ドックプレート31が記憶部61（
図９参照）に記憶されているデータをもとに受取位置へ移動したが、本実施例２では、記
憶部61（図１０参照）に記憶されているデータをもとに検出センサ移動機構350 が検出確
認機構340 を受渡位置に移動させてから、ドックプレート31が受渡位置に移動する。
ドックプレート31上に載置されたＦＯＵＰ10は、ロック機構330 のロック動作により、
ドックプレート31上に一時的に受け取られ固定される（図６（ｃ））。
ドックプレート31上に一時的に受け取られ固定される（図６（ｃ））。
ＦＯＵＰ10がドックプレート31上にロックされると、ＦＯＵＰ10は、ドック移動機構30
の作動により作業位置（ポートプレート21に接近した位置）に移動させられる（図６（ｄ））。
の作動により作業位置（ポートプレート21に接近した位置）に移動させられる（図６（ｄ））。
作業位置に移動したＦＯＵＰ10は、ポートドア23に構成されたＦＯＵＰドア開閉機構に
よりＦＯＵＰドア13のロックが解除され、ＦＯＵＰフレーム11からＦＯＵＰドア13が取り
外される。その後、ＦＯＵＰドア13は、ポートドア23に保持され、ポートドア進退機構40
により所定の位置まで水平移動が行なわれ、ポートドア昇降機構50により所定の位置まで
下降する。
よりＦＯＵＰドア13のロックが解除され、ＦＯＵＰフレーム11からＦＯＵＰドア13が取り
外される。その後、ＦＯＵＰドア13は、ポートドア23に保持され、ポートドア進退機構40
により所定の位置まで水平移動が行なわれ、ポートドア昇降機構50により所定の位置まで
下降する。
以上が、ＦＯＵＰ10が図示されていない搬送装置により搬送され、ＦＯＵＰオープナ１
で受け取られ、ＦＯＵＰドア13が外されるまでの概略動作である。なお、ＦＯＵＰドア13
の取付けから搬送装置への移載までは、受け取り動作の逆の順序で行なわれる。
で受け取られ、ＦＯＵＰドア13が外されるまでの概略動作である。なお、ＦＯＵＰドア13
の取付けから搬送装置への移載までは、受け取り動作の逆の順序で行なわれる。
実施例２の位置合わせ動作
次に、本実施例２において、ＦＯＵＰ10とドックプレート31との間で、ＦＯＵＰ10の位置ぎめ溝15とドックプレート31の位置ぎめピン32とを位置合わせする動作を図８（ａ）〜
（ｃ）、図１０により説明する。
次に、本実施例２において、ＦＯＵＰ10とドックプレート31との間で、ＦＯＵＰ10の位置ぎめ溝15とドックプレート31の位置ぎめピン32とを位置合わせする動作を図８（ａ）〜
（ｃ）、図１０により説明する。
ドックプレート31は、ＦＯＵＰ10がドックプレート31上に載置されていない場合には、
ＦＯＵＰ受渡位置（ポートプレート21から離れた位置）に待機している。このときの検出
センサ343a、343bは、ドックプレート31のＦＯＵＰ受渡位置と作業位置との位置確認を行
なう検出センサとして使用されている。
ＦＯＵＰ受渡位置（ポートプレート21から離れた位置）に待機している。このときの検出
センサ343a、343bは、ドックプレート31のＦＯＵＰ受渡位置と作業位置との位置確認を行
なう検出センサとして使用されている。
次に、図示されない搬送装置によりＦＯＵＰ10がＦＯＵＰオープナ１に搬送され、搬送
装置がドックプレート31の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１と
の間で信号通信による遣り取りが行なわれ、受渡しを行なう搬送装置に一致したドックプ
レート31の位置データ（後に説明するＦＯＵＰオープナ１設置時に記憶される搬送装置毎
のドックプレート31の受渡位置データ）を記憶部61から読み出す（図８（ａ））。
装置がドックプレート31の略上方に停止する。停止後、搬送装置とＦＯＵＰオープナ１と
の間で信号通信による遣り取りが行なわれ、受渡しを行なう搬送装置に一致したドックプ
レート31の位置データ（後に説明するＦＯＵＰオープナ１設置時に記憶される搬送装置毎
のドックプレート31の受渡位置データ）を記憶部61から読み出す（図８（ａ））。
次に、読み出したデータをもとに制御手段60が検出センサ移動機構350 の検出センサ駆
動モータ352 を回転制御して、検出センサ343aをドックプレート31の受渡位置に対応する
所定の位置に移動させる（図８（ｂ））。
これら検出センサ駆動モータ352 、検出センサ駆動モータ352 の回転によりボールネジ
機構を介して検出センサ343aを所定の位置に移動させる機構及び制御手段60は、検出セン
サ343aの設置位置可変手段をなしている。この設置位置可変手段は、検出センサ343aの設
置位置をＸ方向の所望の位置に変更可能である。
動モータ352 を回転制御して、検出センサ343aをドックプレート31の受渡位置に対応する
所定の位置に移動させる（図８（ｂ））。
これら検出センサ駆動モータ352 、検出センサ駆動モータ352 の回転によりボールネジ
機構を介して検出センサ343aを所定の位置に移動させる機構及び制御手段60は、検出セン
サ343aの設置位置可変手段をなしている。この設置位置可変手段は、検出センサ343aの設
置位置をＸ方向の所望の位置に変更可能である。
検出センサ343aが所定の位置に移動を完了後、ドックプレート31が、ドックプレート移
動機構30によりＦＯＵＰ10の受渡位置へ移動し、検出センサ343aにより検出されて、停止
する。その後、ＦＯＵＰ10がドックプレート31上に載置される。
動機構30によりＦＯＵＰ10の受渡位置へ移動し、検出センサ343aにより検出されて、停止
する。その後、ＦＯＵＰ10がドックプレート31上に載置される。
以上が、ＦＯＵＰ10が図示されていない搬送装置によりＦＯＵＰオープナ１上方に搬送
され、検出センサ移動機構350 、ドックプレート移動機構30の作動により、ドックプレート31がＦＯＵＰ10の受渡位置へ移動するまでの概略動作である。
され、検出センサ移動機構350 、ドックプレート移動機構30の作動により、ドックプレート31がＦＯＵＰ10の受渡位置へ移動するまでの概略動作である。
ＦＯＵＰオープナの設置
次に、ＦＯＵＰオープナ１の設置に関して、従来の設置方法と本願の発明の設置方法と
を図１１、図１２により説明する。
次に、ＦＯＵＰオープナ１の設置に関して、従来の設置方法と本願の発明の設置方法と
を図１１、図１２により説明する。
従来の設置方法（図１１）
図示されないプロセス装置のインターフェース部に従来のＦＯＵＰオープナ（ドックプ
レートの停止位置が固定されているもの）を設置するとき、規格で決められた位置にＦＯ
ＵＰオープナを仮に取り付け、次に、ＦＯＵＰを搬送する搬送装置をＦＯＵＰオープナの
上方に仮に待機させる（ステップ５００）。
図示されないプロセス装置のインターフェース部に従来のＦＯＵＰオープナ（ドックプ
レートの停止位置が固定されているもの）を設置するとき、規格で決められた位置にＦＯ
ＵＰオープナを仮に取り付け、次に、ＦＯＵＰを搬送する搬送装置をＦＯＵＰオープナの
上方に仮に待機させる（ステップ５００）。
次に、ステップ５００で設置したＦＯＵＰオープナ又は搬送装置の位置調整を行なう（
ステップ５０１）。
ステップ５０１）。
次に、手動によりＦＯＵＰを保持した搬送装置の保持部を、ＦＯＵＰの位置決め溝とド
ックプレートの位置決めピンとの位置が確認できる位置まで徐々に近づける。また、搬送
装置の保持部で保持しているＦＯＵＰの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとの
位置が確認できる位置まで、ドックプレートを移動する（ステップ５０２）。
ックプレートの位置決めピンとの位置が確認できる位置まで徐々に近づける。また、搬送
装置の保持部で保持しているＦＯＵＰの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとの
位置が確認できる位置まで、ドックプレートを移動する（ステップ５０２）。
次に、移動したＦＯＵＰの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとが略一致する
範囲内である（ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にある）か確認を行なう（ステップ５０
３）。
範囲内である（ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にある）か確認を行なう（ステップ５０
３）。
ステップ５０３でＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲外のときは、ＦＯＵＰオープナの設置
位置の再設置又は、搬送装置の停止位置の再設定を行なう（ステップ５０６）。
位置の再設置又は、搬送装置の停止位置の再設定を行なう（ステップ５０６）。
その後、再びＦＯＵＰオープナと搬送装置とを手動で動作させ、ＦＯＵＰの位置決め溝
とドックプレートの位置決めピンとの位置確認を手動により行なう（ステップ５０７）。
以後、これらの両位置のずれが所定の範囲内になるまで、すなわち、ＦＯＵＰ受渡位置が
所定の範囲内にあるようになるまで、ステップ５０３、ステップ５０６、ステップ５０７
を繰り返し行なう。
とドックプレートの位置決めピンとの位置確認を手動により行なう（ステップ５０７）。
以後、これらの両位置のずれが所定の範囲内になるまで、すなわち、ＦＯＵＰ受渡位置が
所定の範囲内にあるようになるまで、ステップ５０３、ステップ５０６、ステップ５０７
を繰り返し行なう。
次に、ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にあるようになったら、その他の搬送装置とＦ
ＯＵＰオープナとの間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認を行なう（ステップ５０４）。そして
、ステップ５０１、５０２、５０３、５０４、５０６、５０７の作業を繰り返す。このようにして、複数の搬送装置とＦＯＵＰオープナとの間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認ができたら、ＦＯＵＰオープナの設置が完了となる（５０５）。
ＯＵＰオープナとの間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認を行なう（ステップ５０４）。そして
、ステップ５０１、５０２、５０３、５０４、５０６、５０７の作業を繰り返す。このようにして、複数の搬送装置とＦＯＵＰオープナとの間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認ができたら、ＦＯＵＰオープナの設置が完了となる（５０５）。
本願の発明の設置方法（図１２）
次に、本願の発明のＦＯＵＰオープナ１の設置方法を図１２により説明する。
次に、本願の発明のＦＯＵＰオープナ１の設置方法を図１２により説明する。
図示されないプロセス装置のインターフェース部に本願の発明のＦＯＵＰオープナ１（
ドックプレート31の停止位置が可変にされているもの）を設置するとき、規格で決められ
た位置にＦＯＵＰオープナ１を仮に取り付け、次に、ＦＯＵＰ10を搬送する搬送装置をＦ
ＯＵＰオープナ１の上方に仮に待機させる（ステップ６００）。
ドックプレート31の停止位置が可変にされているもの）を設置するとき、規格で決められ
た位置にＦＯＵＰオープナ１を仮に取り付け、次に、ＦＯＵＰ10を搬送する搬送装置をＦ
ＯＵＰオープナ１の上方に仮に待機させる（ステップ６００）。
次に、ステップ６００で設置したＦＯＵＰオープナ１又は搬送装置の位置調整を行なう
（ステップ６０１）。
（ステップ６０１）。
次に、手動によりＦＯＵＰ10を保持した搬送装置の保持部を、ＦＯＵＰ10の位置決め溝
15とドックプレート31の位置決めピン32との位置が確認できる位置まで徐々に近づける。
また、位置決め溝15と位置決めピン32との位置が確認できる位置まで、ドックプレート31
を移動する（ステップ６０２）。
15とドックプレート31の位置決めピン32との位置が確認できる位置まで徐々に近づける。
また、位置決め溝15と位置決めピン32との位置が確認できる位置まで、ドックプレート31
を移動する（ステップ６０２）。
次に、移動したＦＯＵＰ10の位置決め溝15とドックプレート31の位置決めピン32とが略
一致する範囲内にある（ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にある）か確認を行なう（６０
３）。
一致する範囲内にある（ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にある）か確認を行なう（６０
３）。
ステップ６０３でＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲外の（位置決め溝15と位置決めピン32
とが略一致しない）ときは、手動によりドックプレート31を再度動作させ、ＦＯＵＰ10の
位置決め溝15とのドックプレート31の位置決めピン32とが略一致するように調整を行なう
（ステップ６０６）。
とが略一致しない）ときは、手動によりドックプレート31を再度動作させ、ＦＯＵＰ10の
位置決め溝15とのドックプレート31の位置決めピン32とが略一致するように調整を行なう
（ステップ６０６）。
次に、ＦＯＵＰ受渡位置が所定の範囲内にあるようになったら（位置決め溝15と位置決
めピン32とが略一致したら）、図１０に図示されるように、入力手段70によりドックプレ
ート31の位置データを制御手段60に入力し、その後、位置データを記憶部61に記憶する（
ステップ６１０、６１１）。このとき、搬送装置を識別可能な識別番号などで管理できる
ように行なうことにより、搬送装置毎に対応したドックプレート31の位置データを記憶することができる。
めピン32とが略一致したら）、図１０に図示されるように、入力手段70によりドックプレ
ート31の位置データを制御手段60に入力し、その後、位置データを記憶部61に記憶する（
ステップ６１０、６１１）。このとき、搬送装置を識別可能な識別番号などで管理できる
ように行なうことにより、搬送装置毎に対応したドックプレート31の位置データを記憶することができる。
次に、その他の搬送装置とＦＯＵＰオープナとの間でのＦＯＵＰ受渡位置の確認を行な
う（ステップ６０４）。そして、ステップ６０２、６０３、６０６、６１０、６１１の作
業を繰り返す。このようにして、複数の搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間でのＦＯＵ
Ｐ受渡位置の確認ができたら、ＦＯＵＰオープナ１の設置が完了となる（６０５）。
う（ステップ６０４）。そして、ステップ６０２、６０３、６０６、６１０、６１１の作
業を繰り返す。このようにして、複数の搬送装置とＦＯＵＰオープナ１との間でのＦＯＵ
Ｐ受渡位置の確認ができたら、ＦＯＵＰオープナ１の設置が完了となる（６０５）。
実施例２の検出センサ移動機構の変形例
次に、実施例２の検出センサ移動機構350 、400 の変形例について説明する。実施例２
の検出センサ移動機構350 、400 においては、いずれも検出センサ343a、393aを移動させ
るためにボールネジ353 、403 が使用されたが、これらのボールネジに代えて、カム機構
が使用されてもよい。図１３には、図５（ｂ）に図示される検出センサ移動機構400 が、
そこで使用されていたボールネジ403 がカム機構によって置換されることによって変形さ
れた検出センサ移動機構の例（検出センサ移動機構420 ）が図示されている。
次に、実施例２の検出センサ移動機構350 、400 の変形例について説明する。実施例２
の検出センサ移動機構350 、400 においては、いずれも検出センサ343a、393aを移動させ
るためにボールネジ353 、403 が使用されたが、これらのボールネジに代えて、カム機構
が使用されてもよい。図１３には、図５（ｂ）に図示される検出センサ移動機構400 が、
そこで使用されていたボールネジ403 がカム機構によって置換されることによって変形さ
れた検出センサ移動機構の例（検出センサ移動機構420 ）が図示されている。
図１３に図示される検出センサ移動機構420 は、次のようにして構成されている。
図１３（ａ）において、検出センサ駆動モータ402 の出力軸には、アーム状の伝達部材
423 の一端部が固着されており、この伝達部材423 の他端部には、カムフォロア424 が転
動自在に取り付けられている。このカムフォロア424 は、伝達部材423 が検出センサ駆動
モータ402 の出力軸の回転により回動されるとき、固定部材391aの一半側に形成されたカ
ム溝427 内を転動しながら摺動する。それと同時に、固定部材391aは、カムフォロア424
によりレール406 に沿った方向の押圧作用を受けて、摺動部材405 とともにレール406 に
沿って移動する。これにより、検出センサ393aのレール406 に沿った方向（Ｙ方向）にお
ける位置調整が可能になる。図１３（ｂ）は、伝達部材423 の長手方向がレール406 に直
交する位置にまで伝達部材423 が回動された時点において、検出センサ393aが占める調整
位置を示している。
図１３（ａ）において、検出センサ駆動モータ402 の出力軸には、アーム状の伝達部材
423 の一端部が固着されており、この伝達部材423 の他端部には、カムフォロア424 が転
動自在に取り付けられている。このカムフォロア424 は、伝達部材423 が検出センサ駆動
モータ402 の出力軸の回転により回動されるとき、固定部材391aの一半側に形成されたカ
ム溝427 内を転動しながら摺動する。それと同時に、固定部材391aは、カムフォロア424
によりレール406 に沿った方向の押圧作用を受けて、摺動部材405 とともにレール406 に
沿って移動する。これにより、検出センサ393aのレール406 に沿った方向（Ｙ方向）にお
ける位置調整が可能になる。図１３（ｂ）は、伝達部材423 の長手方向がレール406 に直
交する位置にまで伝達部材423 が回動された時点において、検出センサ393aが占める調整
位置を示している。
固定部材391aは、図５（ｂ）に図示される検出センサ移動機構400 における固定部材39
1aと伝達部材404 とが一体化されたものに相当している。カムフォロア424 の伝達部材42
3 に対する取付位置は、伝達部材423 に形成された調整溝428 内でカムフォロア424 を適
切に動かして固定することにより、種々に調整が可能であり、これにより、検出センサ39
3aの最大位置調整量を可変にすることができる。
その他の点は、図５（ｂ）に図示される検出センサ移動機構400 と同様であるので、同
じ名称と符号とを用いることとして、その詳細な説明を省略する。
1aと伝達部材404 とが一体化されたものに相当している。カムフォロア424 の伝達部材42
3 に対する取付位置は、伝達部材423 に形成された調整溝428 内でカムフォロア424 を適
切に動かして固定することにより、種々に調整が可能であり、これにより、検出センサ39
3aの最大位置調整量を可変にすることができる。
その他の点は、図５（ｂ）に図示される検出センサ移動機構400 と同様であるので、同
じ名称と符号とを用いることとして、その詳細な説明を省略する。
次に、図１３に示されるカム機構がドックプレートの移動機構として使用された実施例を、実施例３として、図１４を参照しつつ、詳細に説明する。
この実施例３の実施例１（図２参照）との違いは、ドック移動機構30に使用されている移動機構部分がボールネジを使用した構成からカム機構を使用した構成となっている点にある。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
この実施例３の実施例１（図２参照）との違いは、ドック移動機構30に使用されている移動機構部分がボールネジを使用した構成からカム機構を使用した構成となっている点にある。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。
図１４のドック移動機構30においては、ベース311 の下面にドック移動モーター512 が取り付け固定され、ベース311 の一部には、該ドック移動モーター512 の出力軸513 が上下方向に貫通するようにして、図示されない切り欠き孔が形成されている。出力軸513
には、アーム状の伝達部材514 の一端部が固着されており、この伝達部材514 の他端部には、カムフォロア516 が転動自在に取り付けられている。このカムフォロア516 は、伝達部材514 がドック移動モータ512 の出力軸513 の回転により回動されるとき、固定部材515 の一部に形成されたカム溝517 内を転動しながら摺動する。それと同時に、固定部材515 は、カムフォロア516 によりレール322 に沿った方向の押圧作用を受けて、摺動部材323 とともにレール322 に沿って移動する。これにより、ドックプレート31のレール322 に沿った方向における動作が可能になる。
には、アーム状の伝達部材514 の一端部が固着されており、この伝達部材514 の他端部には、カムフォロア516 が転動自在に取り付けられている。このカムフォロア516 は、伝達部材514 がドック移動モータ512 の出力軸513 の回転により回動されるとき、固定部材515 の一部に形成されたカム溝517 内を転動しながら摺動する。それと同時に、固定部材515 は、カムフォロア516 によりレール322 に沿った方向の押圧作用を受けて、摺動部材323 とともにレール322 に沿って移動する。これにより、ドックプレート31のレール322 に沿った方向における動作が可能になる。
カムフォロア516 の伝達部材514 に対する取付位置は、伝達部材514 に形成された調整溝518 内でカムフォロア516 を適切に動かして固定することにより、種々に調整が可能であり、これにより、ドックプレート31の最大位置調整量を可変にすることができる。
その他の点は、図２に図示されるドック移動機構30 と同様であるので、同じ名称と符号とを用いることとして、その詳細な説明を省略する。
その他の点は、図２に図示されるドック移動機構30 と同様であるので、同じ名称と符号とを用いることとして、その詳細な説明を省略する。
制御手段、モータの変形例
制御手段60によるドック移動モータ312 、512 、検出センサ駆動モータ352 等の制御は、これらのモータとしてサーボモータを使用し、これらのモータの制御を数値制御により行なうように構成することもできる。これにより、自動でより正確な制御が可能になる。
制御手段60によるドック移動モータ312 、512 、検出センサ駆動モータ352 等の制御は、これらのモータとしてサーボモータを使用し、これらのモータの制御を数値制御により行なうように構成することもできる。これにより、自動でより正確な制御が可能になる。
以上述べたように、本願の発明の容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法は、ＦＯ
ＵＰオープナを設置するにあたり、搬送装置との位置合わせを容易にすばやく確実にする
ことが可能である。また、ＦＯＵＰを確実にＦＯＵＰオープナの載置部に載置することが
でき、産業上の利用可能性がきわめて大である。
ＵＰオープナを設置するにあたり、搬送装置との位置合わせを容易にすばやく確実にする
ことが可能である。また、ＦＯＵＰを確実にＦＯＵＰオープナの載置部に載置することが
でき、産業上の利用可能性がきわめて大である。
１…ＦＯＵＰオープナ、10…ＦＯＵＰ、11…ＦＯＵＰフレーム、12…開口、13…ＦＯＵ
Ｐドア、14…半導体ウェハ、15…位置決め溝、21…ポートプレート、23…ポートドア、30
…ドック移動機構、31…ドックプレート、31a …補助プレート、32…位置決めピン、40…
ポートドア進退機構、41…支持台、42…支持腕、43…レール、50…ポートドア昇降機構、
60…制御手段、61…記憶部、70…入力（表示）手段、80…他制御手段、100 …第１制御空
間、200 …第２制御空間、300 …外部環境、311 …ベース、312 …ドック移動モータ（駆
動源）、313 …ボールネジ、314 …伝達部材、321 …ベース、322 …レール、323 …摺動
部材、330 …ロック機構、331 …ベース、332 …ロックモータ、333 …伝達機構、334 …
伝達部材、335 …支持部材、336 …ロックヘッド、340 …検出確認機構、341 （341a、34
1b）…固定部材、342 （342a、342b）…取付部材、343 （343a、343b）…検出センサ、35
0 …検出センサ移動機構、351 …ベース、352 …検出センサ駆動モータ（駆動源）、353
…ボールネジ、354 …伝達部材、355 …摺動部材、356 …レール、360 …ドックプレート
移動機構、362 …ドック移動モータ、363 …ボールネジ、364 …伝達部材、372 …レール
、373 …摺動部材、381 （381a、381b）…固定部材、382 （382a、382b）…取付部材、38
3 （383a、383b）…検出センサ、390 …検出確認機構、391 （391a、391b）…固定部材、
392 （392a、392b）…取付部材、393 （393a、393b）…検出センサ、400 …検出センサ移
動機構、401 …ベース、402 …検出センサ駆動モータ（駆動源）、403 …ボールネジ、40
4 …伝達部材、405 …摺動部材、406 …レール、420 …検出センサ移動機構、423 …伝達
部材、424 …カムフォロア（転動部材）、427 …カム溝、428 …調整溝。
Ｐドア、14…半導体ウェハ、15…位置決め溝、21…ポートプレート、23…ポートドア、30
…ドック移動機構、31…ドックプレート、31a …補助プレート、32…位置決めピン、40…
ポートドア進退機構、41…支持台、42…支持腕、43…レール、50…ポートドア昇降機構、
60…制御手段、61…記憶部、70…入力（表示）手段、80…他制御手段、100 …第１制御空
間、200 …第２制御空間、300 …外部環境、311 …ベース、312 …ドック移動モータ（駆
動源）、313 …ボールネジ、314 …伝達部材、321 …ベース、322 …レール、323 …摺動
部材、330 …ロック機構、331 …ベース、332 …ロックモータ、333 …伝達機構、334 …
伝達部材、335 …支持部材、336 …ロックヘッド、340 …検出確認機構、341 （341a、34
1b）…固定部材、342 （342a、342b）…取付部材、343 （343a、343b）…検出センサ、35
0 …検出センサ移動機構、351 …ベース、352 …検出センサ駆動モータ（駆動源）、353
…ボールネジ、354 …伝達部材、355 …摺動部材、356 …レール、360 …ドックプレート
移動機構、362 …ドック移動モータ、363 …ボールネジ、364 …伝達部材、372 …レール
、373 …摺動部材、381 （381a、381b）…固定部材、382 （382a、382b）…取付部材、38
3 （383a、383b）…検出センサ、390 …検出確認機構、391 （391a、391b）…固定部材、
392 （392a、392b）…取付部材、393 （393a、393b）…検出センサ、400 …検出センサ移
動機構、401 …ベース、402 …検出センサ駆動モータ（駆動源）、403 …ボールネジ、40
4 …伝達部材、405 …摺動部材、406 …レール、420 …検出センサ移動機構、423 …伝達
部材、424 …カムフォロア（転動部材）、427 …カム溝、428 …調整溝。
Claims (8)
- 少なくとも、
半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能で、搬送装置にて搬送される容器を載置して位置決めするドックプレートと、
前記ドックプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、
前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドアを保持する保持機構とを有するポートドアと、
前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、
前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、
前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと
を備えてなる容器開閉装置において、
前記ドック移動機構は、前記搬送装置と前記容器開閉装置との間で前記容器を受け渡す際、前記容器開閉装置に予め記憶されている前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータに基づき、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えている
ことを特徴とする容器開閉装置。 - 制御手段を更に備え、
前記制御手段は、前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータが記憶される記憶部を有し、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を、前記容器受渡位置のデータに基づき、前記容器受渡位置に数値制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の容器開閉装置。 - 前記制御手段は、
前記搬送装置が前記容器開閉装置に前記容器を受け渡す位置に到達したとき、前記搬送装置と前記容器開閉装置との間で信号の確認を行い、
確認した信号に基づいて、前記記憶部に予め記憶させておいた搬送装置毎の前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータを読み出し、
読み出した前記容器受渡位置のデータを基に、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を数値制御して、前記ドックプレートを前記容器受渡位置に移動させる
ことを特徴とする請求項２に記載の容器開閉装置。 - 前記停止位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向をＸ方向とし、前記Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置をＸ方向及びＹ方向の所望の位置に変更可能とすることを特徴とする請求項１に記載の容器開閉装置。
- 少なくとも、
半導体ウエハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能で、搬送装置にて搬送される容器を載置して位置決めするドックプレートと、
定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、
前記ドックプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、
前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドア保持する保持機構とを有するポートドアと、
前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、
前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、
前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと
を備えてなる容器開閉装置において、
前記ドック移動機構は、
前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を確認する停止位置確認手段と、
前記搬送装置と前記容器開閉装置との間で前記容器を受け渡す際、前記容器開閉装置に予め記憶されている前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータに基づき、前記停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段と、
を備えている
ことを特徴とする容器開閉装置。 - 制御手段を更に備え、
前記制御手段は、前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータが記憶される記憶部を有し、前記停止位置確認手段の設置位置を、前記容器受渡位置のデータに基づき、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置に対応する所定の位置に数値制御する
ことを特徴とする請求項５に記載の容器開閉装置。 - 前記制御手段は、
前記搬送装置が前記容器開閉装置に前記容器を受け渡す位置に到達したとき、前記搬送装置と前記容器開閉装置との間で信号の確認を行い、
確認した信号に基づいて、前記記憶部に予め記憶させておいた搬送装置毎の前記ドックプレートの前記容器受渡位置のデータを読み出し、
読み出した前記容器受渡位置のデータを基に、前記停止位置確認手段の設置位置を数値制御して、前記停止位置確認手段を、前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置に対応する所定の位置に移動させ、
前記停止位置確認手段の前記所定の位置への移動が完了した後、前記ドック移動機構により前記ドックプレートを前記容器受渡のための停止位置に移動させ、前記停止位置確認手段により前記ドックプレートの前記容器受渡のための停止位置を確認し、移動を停止させる
ことを特徴とする請求項６に記載の容器開閉装置。 - 前記設置位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向をＸ方向とし、前記Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とするとき、前記停止位置確認手段の設置位置をＸ方向及びＹ方向の所望の位置に変更可能とすることを特徴とする請求項５に記載の容器開閉装置。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2004/008670 WO2005122241A1 (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | 容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2005122241A1 JPWO2005122241A1 (ja) | 2008-04-10 |
| JP4526535B2 true JP4526535B2 (ja) | 2010-08-18 |
Family
ID=35503372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006514400A Expired - Fee Related JP4526535B2 (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | 容器開閉装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20080019804A1 (ja) |
| JP (1) | JP4526535B2 (ja) |
| WO (1) | WO2005122241A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200115149A (ko) | 2019-03-28 | 2020-10-07 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 로드 포트 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10683099B2 (en) | 2017-02-08 | 2020-06-16 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Methods and systems for controlling operation of aircraft engines |
| US10059432B1 (en) | 2017-02-22 | 2018-08-28 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Single lever control in twin turbopropeller aircraft |
| US10604268B2 (en) * | 2017-02-22 | 2020-03-31 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Autothrottle control for turboprop engines |
| JP2019204821A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| CN113451191B (zh) * | 2020-06-17 | 2022-11-11 | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 | 定位装置及蚀刻装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63193028A (ja) * | 1987-02-02 | 1988-08-10 | ワ−ナ−−ランバ−ト・コンパニ− | 密閉パツケ−ジおよび密閉容器のハ−メチツクシ−ルの完全性を試験する方法および装置 |
| JPH1187460A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板収納容器供給装置 |
| JPH11277494A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-12 | Sakamoto Zoki Kk | 型抜き装置 |
| JPH11288991A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Shinko Electric Co Ltd | ロードポート |
| JP2001250853A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-09-14 | Canon Inc | 基板搬送装置、基板搬送方法、容器供給装置、半導体製造装置及び半導体デバイス生産方法 |
| JP2003068825A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-07 | Shinko Electric Co Ltd | ロードポート |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4530456A (en) * | 1983-05-04 | 1985-07-23 | Ppg Industries, Inc. | Method and apparatus for soldering by means of an industrial robot |
| FR2664577A1 (fr) * | 1990-07-11 | 1992-01-17 | Lys Ondulys Cartonneries | Dispositif a orienter des charges sur convoyeur lineaire et palettiseur presentant un tel convoyeur. |
| EP0735573B1 (de) * | 1995-03-28 | 2004-09-08 | BROOKS Automation GmbH | Be- und Entladestation für Halbleiterbearbeitungsanlagen |
| US6481558B1 (en) * | 1998-12-18 | 2002-11-19 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated load port-conveyor transfer system |
| TW460035U (en) * | 2000-09-08 | 2001-10-11 | Ind Tech Res Inst | Automatic front-opening load-in device for wafer box |
| US6676356B2 (en) * | 2000-09-18 | 2004-01-13 | Tokyo Electron Limited | Device for attaching target substrate transfer container to semiconductor processing apparatus |
| US6572321B1 (en) * | 2000-10-05 | 2003-06-03 | Applied Materials, Inc. | Loader conveyor for substrate processing system |
| US6541787B2 (en) * | 2001-04-18 | 2003-04-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Optically aligning a loadport on a process machine by transmitting light through a system of apertures |
| JP3697478B2 (ja) * | 2001-08-20 | 2005-09-21 | ソニー株式会社 | 基板の移送方法及びロードポート装置並びに基板移送システム |
| JP3832292B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2006-10-11 | 株式会社ダイフク | 荷保管設備 |
| US7243003B2 (en) * | 2002-08-31 | 2007-07-10 | Applied Materials, Inc. | Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyor |
| US7360985B2 (en) * | 2002-12-30 | 2008-04-22 | Tdk Corporation | Wafer processing apparatus including clean box stopping mechanism |
| US7101138B2 (en) * | 2003-12-03 | 2006-09-05 | Brooks Automation, Inc. | Extractor/buffer |
-
2004
- 2004-06-14 WO PCT/JP2004/008670 patent/WO2005122241A1/ja active Application Filing
- 2004-06-14 JP JP2006514400A patent/JP4526535B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-06-14 US US11/629,388 patent/US20080019804A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63193028A (ja) * | 1987-02-02 | 1988-08-10 | ワ−ナ−−ランバ−ト・コンパニ− | 密閉パツケ−ジおよび密閉容器のハ−メチツクシ−ルの完全性を試験する方法および装置 |
| JPH1187460A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板収納容器供給装置 |
| JPH11277494A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-12 | Sakamoto Zoki Kk | 型抜き装置 |
| JPH11288991A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Shinko Electric Co Ltd | ロードポート |
| JP2001250853A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-09-14 | Canon Inc | 基板搬送装置、基板搬送方法、容器供給装置、半導体製造装置及び半導体デバイス生産方法 |
| JP2003068825A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-07 | Shinko Electric Co Ltd | ロードポート |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200115149A (ko) | 2019-03-28 | 2020-10-07 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 로드 포트 |
| US11069550B2 (en) | 2019-03-28 | 2021-07-20 | Hirata Corporation | Load port |
| KR102295675B1 (ko) | 2019-03-28 | 2021-08-30 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 로드 포트 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2005122241A1 (ja) | 2005-12-22 |
| JPWO2005122241A1 (ja) | 2008-04-10 |
| US20080019804A1 (en) | 2008-01-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW408357B (en) | Automated wafer buffer for use with wafer processing equipment | |
| US6672820B1 (en) | Semiconductor processing apparatus having linear conveyer system | |
| KR101387585B1 (ko) | 통합식 웨이퍼 운반 기구 | |
| KR100693836B1 (ko) | 마스크 반송 장치, 마스크 반송 시스템 및 마스크 반송방법 | |
| JP6025274B2 (ja) | 基板用容器貯蔵システムと相互作用する一体システム | |
| US5885045A (en) | Integrated wafer pod-load/unload and mass-transfer system | |
| JP2008162778A (ja) | 被搬送物の保管装置 | |
| JP4526535B2 (ja) | 容器開閉装置 | |
| US6553850B2 (en) | Method and arrangement for transporting and inspecting semiconductor substrates | |
| JP2019527853A (ja) | レベリング可能なレチクルライブラリシステム | |
| WO2002039499A1 (fr) | Procede de transfert de corps traite et systeme de traitement pour corps traite | |
| KR100337277B1 (ko) | 로드 포트 장착 기구 | |
| KR101463135B1 (ko) | 방향 조정 장치 및 방향 조정 방법 | |
| CN112262466B (zh) | 搬运装置及控制方法 | |
| KR20180130388A (ko) | Ｓｍｉｆ 장치 | |
| JP2006069687A (ja) | 懸垂式昇降搬送装置における搬送台車の教示装置 | |
| CN109979845B (zh) | 一种foup盒用夹持装置、foup装置及固定方法 | |
| WO2004024401A1 (ja) | ティーチング方法及び処理システム | |
| JP3974992B2 (ja) | 基板収納容器の蓋開閉装置および基板搬入搬出装置 | |
| JP5493314B2 (ja) | 被収容物移替システム | |
| US20090255892A1 (en) | Method and apparatus to remove and replace factory interface track | |
| KR20230136508A (ko) | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램 | |
| JP2013165177A (ja) | ストッカー装置 | |
| US11848222B2 (en) | System for a semiconductor fabrication facility and method for operating the same | |
| CN109969594B (zh) | 一种foup盒用锁紧机构、foup装置及其锁紧方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090929 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091127 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100525 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100601 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |