JPH11288991A - ロードポート - Google Patents
ロードポートInfo
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- JPH11288991A JPH11288991A JP10091972A JP9197298A JPH11288991A JP H11288991 A JPH11288991 A JP H11288991A JP 10091972 A JP10091972 A JP 10091972A JP 9197298 A JP9197298 A JP 9197298A JP H11288991 A JPH11288991 A JP H11288991A
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- lid
- moving
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/139—Associated with semiconductor wafer handling including wafer charging or discharging means for vacuum chamber
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/14—Wafer cassette transporting
Abstract
(57)【要約】
【課題】 怪我などを防いで安全性の高い構造にした半
導体製造装置におけるロードポートを提供する。 【解決手段】 キャリア１１を装置開口１６に向かって
移動するキャリア置台１４を移動させるキャリア置台移
動手段１８を、キャリア１１が装置開口１６に当接する
直前に到達するまで、キャリア置台１４を小さい弱い力
で移動させ、その後、装置開口１６に向かってキャリア
置台１４を大きい力で移動させる圧力調整手段２６を設
けた。
導体製造装置におけるロードポートを提供する。 【解決手段】 キャリア１１を装置開口１６に向かって
移動するキャリア置台１４を移動させるキャリア置台移
動手段１８を、キャリア１１が装置開口１６に当接する
直前に到達するまで、キャリア置台１４を小さい弱い力
で移動させ、その後、装置開口１６に向かってキャリア
置台１４を大きい力で移動させる圧力調整手段２６を設
けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体及び半導体
デバイス等を製造するための半導体製造装置におけるロ
ードポートに関するものである。
デバイス等を製造するための半導体製造装置におけるロ
ードポートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】今日、高性能な半導体デバイスを安価に
作るため、大口径ウエハへの移行が進められている。そ
して、例えば３００mmウエハを扱う半導体製造装置で
は、ウエハ用キャリアとして図５に示すようなＦＯＵＰ
（Front Opening Unified Pod）タイプのキャリア１１
（なお図示例はＦＯＵＰの蓋を除いた状態を示す）や図
６に示すようなＯＣ（Open Cassette）タイプのキャリ
ア１１等が使用されている。
作るため、大口径ウエハへの移行が進められている。そ
して、例えば３００mmウエハを扱う半導体製造装置で
は、ウエハ用キャリアとして図５に示すようなＦＯＵＰ
（Front Opening Unified Pod）タイプのキャリア１１
（なお図示例はＦＯＵＰの蓋を除いた状態を示す）や図
６に示すようなＯＣ（Open Cassette）タイプのキャリ
ア１１等が使用されている。
【０００３】図９は一般的な半導体製造装置におけるロ
ードポートの周辺構造を模式的に示す図である。図９に
おいて、例えば図５に示すＦＯＵＰ等のウエハ用キャリ
ア１１（以下、「キャリア１１」という）に収納された
ウエハ１２は、無人搬送車や人により装置１３内に入れ
るためのロードポートに搬送されて、その後、ロードポ
ートに配置された移動可能なキャリア置台１４上に載せ
られる。このロードポートでは、装置１３に、普段は蓋
１５により閉じられている開口１６（以下、「装置開口
１６」という）が設けられている。そして、蓋１５を開
けると、その装置開口１６からキャリア１１内にウエハ
１２の出し入れをしたり、あるいはキャリア１１ごと受
け入れることができる構造が採られている。
ードポートの周辺構造を模式的に示す図である。図９に
おいて、例えば図５に示すＦＯＵＰ等のウエハ用キャリ
ア１１（以下、「キャリア１１」という）に収納された
ウエハ１２は、無人搬送車や人により装置１３内に入れ
るためのロードポートに搬送されて、その後、ロードポ
ートに配置された移動可能なキャリア置台１４上に載せ
られる。このロードポートでは、装置１３に、普段は蓋
１５により閉じられている開口１６（以下、「装置開口
１６」という）が設けられている。そして、蓋１５を開
けると、その装置開口１６からキャリア１１内にウエハ
１２の出し入れをしたり、あるいはキャリア１１ごと受
け入れることができる構造が採られている。
【０００４】ロードポートに運ばれて来るキャリア１１
は、そのまま装置開口１６に配置されるのではなく、装
置開口１６の前に配置されたキャリア置台１４上に固定
して載せられる。このキャリア置台１４は、装置開口１
６から離れた位置と近づいた位置とに移動できるように
なっている。そして、キャリア１１を載せる場合は、装
置開口１６から大きく離れた位置でキャリア置台１４の
上に載せられ、その後、装置開口１６に向かってキャリ
ア１１と共に移動される。また、ＦＯＵＰの場合、一般
には、最終の移動位置でキャリア１１が装置１３の前面
に押し付けられた状態になり、この状態で装置開口１６
の蓋１５が開けられ、キャリア１１内のウエハ１２が取
り出される構造になっている。
は、そのまま装置開口１６に配置されるのではなく、装
置開口１６の前に配置されたキャリア置台１４上に固定
して載せられる。このキャリア置台１４は、装置開口１
６から離れた位置と近づいた位置とに移動できるように
なっている。そして、キャリア１１を載せる場合は、装
置開口１６から大きく離れた位置でキャリア置台１４の
上に載せられ、その後、装置開口１６に向かってキャリ
ア１１と共に移動される。また、ＦＯＵＰの場合、一般
には、最終の移動位置でキャリア１１が装置１３の前面
に押し付けられた状態になり、この状態で装置開口１６
の蓋１５が開けられ、キャリア１１内のウエハ１２が取
り出される構造になっている。
【０００５】そのキャリア１１を装置１３の前面に押し
付ける力としては、できるだけ小さくするように設定し
ているが、装置１３の内部にゴミが入らないよう正圧力
にするため、キャリア１１がそれに耐える力は最低必要
となる。例えば、装置１３の内部を５０mm水柱、ウエハ
１２を２５枚入れたＦＯＵＰ（キャリア１１）の装置１
３に対する投影面積を300mm×350mmとすると、押し付け
る力は5.25kgは必要となる。さらに、装置１３の内部を
窒素やアルゴン等の不活性ガス、乾燥空気等の、ウエハ
１２の酸化を抑える不活性なガスを充填した装置等で
は、そのガスが漏れないようにするのに、装置１３とＦ
ＯＵＰ（キャリア１１）との間にシール材を必要とする
場合もある。この場合にはシール材を介して押し付ける
ことになるので、さらに大きな力が必要になる。従来、
この力を得るため、移動用アクチュエータは、この力を
出す能力を持つものを使用し、停止したときはその能力
を出せるもしくは出した状態となっている。
付ける力としては、できるだけ小さくするように設定し
ているが、装置１３の内部にゴミが入らないよう正圧力
にするため、キャリア１１がそれに耐える力は最低必要
となる。例えば、装置１３の内部を５０mm水柱、ウエハ
１２を２５枚入れたＦＯＵＰ（キャリア１１）の装置１
３に対する投影面積を300mm×350mmとすると、押し付け
る力は5.25kgは必要となる。さらに、装置１３の内部を
窒素やアルゴン等の不活性ガス、乾燥空気等の、ウエハ
１２の酸化を抑える不活性なガスを充填した装置等で
は、そのガスが漏れないようにするのに、装置１３とＦ
ＯＵＰ（キャリア１１）との間にシール材を必要とする
場合もある。この場合にはシール材を介して押し付ける
ことになるので、さらに大きな力が必要になる。従来、
この力を得るため、移動用アクチュエータは、この力を
出す能力を持つものを使用し、停止したときはその能力
を出せるもしくは出した状態となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のロードポートの構造では、キャリア１１を装置開口１
６に向かって移動させる場合、キャリア１１が最終位置
で必要とする力を初めから持たせている。しかし、その
力は最終位置において必要なのであって、その途中の行
程では必ずしも必要としない。そればかりか、余り大き
い力でキャリア置台１４と共にキャリア１１を移動させ
ていると、移動時に手をキャリア１１と装置１３の間に
挟んでしまったような場合、形状にもよるが突起等があ
ると怪我をする虞があった。また、これはキャリア１１
を装置開口１６の部分に配置する場合だけでなく、大き
な力を加えて装置開口１６を閉じる蓋１５の部分につい
ても同じことが言える。
のロードポートの構造では、キャリア１１を装置開口１
６に向かって移動させる場合、キャリア１１が最終位置
で必要とする力を初めから持たせている。しかし、その
力は最終位置において必要なのであって、その途中の行
程では必ずしも必要としない。そればかりか、余り大き
い力でキャリア置台１４と共にキャリア１１を移動させ
ていると、移動時に手をキャリア１１と装置１３の間に
挟んでしまったような場合、形状にもよるが突起等があ
ると怪我をする虞があった。また、これはキャリア１１
を装置開口１６の部分に配置する場合だけでなく、大き
な力を加えて装置開口１６を閉じる蓋１５の部分につい
ても同じことが言える。
【０００７】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的は怪我などを防いで安全性の高い構
造にした半導体製造装置におけるロードポートを提供す
ることにある。さらに、他の目的は、以下に説明する内
容の中で順次明らかにして行く。
のであり、その目的は怪我などを防いで安全性の高い構
造にした半導体製造装置におけるロードポートを提供す
ることにある。さらに、他の目的は、以下に説明する内
容の中で順次明らかにして行く。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、次の技術手段を講じたことを特徴とする。
すなわち、キャリアを装置開口に向かって移動するキャ
リア置台を移動させる手段または蓋を前記装置開口を閉
じる方向に移動させる手段を、前記キャリアが前記装置
開口に当接する直前の指などが入らない程度の所定の隙
間が生じる位置または前記蓋が前記装置開口を閉じる直
前の同じく指などが入らない程度の所定の隙間が生じる
位置に到達するまで、前記キャリア置台または前記蓋を
小さい力で移動させ、その後、前記装置開口に向かって
前記キャリア置台または前記蓋を大きい力で移動させる
手段を設けた。
するために、次の技術手段を講じたことを特徴とする。
すなわち、キャリアを装置開口に向かって移動するキャ
リア置台を移動させる手段または蓋を前記装置開口を閉
じる方向に移動させる手段を、前記キャリアが前記装置
開口に当接する直前の指などが入らない程度の所定の隙
間が生じる位置または前記蓋が前記装置開口を閉じる直
前の同じく指などが入らない程度の所定の隙間が生じる
位置に到達するまで、前記キャリア置台または前記蓋を
小さい力で移動させ、その後、前記装置開口に向かって
前記キャリア置台または前記蓋を大きい力で移動させる
手段を設けた。
【０００９】
【作用】この構造によれば、キャリアまたは蓋は、キャ
リアが装置開口にぶつかる直前または蓋が装置開口を閉
じる直前まで、小さい力で移動するので、万一、キャリ
ア及びキャリア置台または蓋に触っても、キャリア及び
キャリア置台または蓋は止まり安全である。また、キャ
リアが装置開口部に接触または蓋が装置開口部を閉じる
位置、すなわち「位置決め点」ではキャリア及び蓋を装
置開口部に強い力で押し付けることができ、確実にキャ
リア及び蓋を装置開口部に接触せることができる。
リアが装置開口にぶつかる直前または蓋が装置開口を閉
じる直前まで、小さい力で移動するので、万一、キャリ
ア及びキャリア置台または蓋に触っても、キャリア及び
キャリア置台または蓋は止まり安全である。また、キャ
リアが装置開口部に接触または蓋が装置開口部を閉じる
位置、すなわち「位置決め点」ではキャリア及び蓋を装
置開口部に強い力で押し付けることができ、確実にキャ
リア及び蓋を装置開口部に接触せることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な形態を添付
図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる形
態は、本発明の好適な具体例であるから技術的に好まし
い種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下
の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限
り、これらの形態に限られるものではないものである。
図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる形
態は、本発明の好適な具体例であるから技術的に好まし
い種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下
の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限
り、これらの形態に限られるものではないものである。
【００１１】図１は本発明の第１の実施形態例、すなわ
ち半導体製造装置におけるロードポート周辺のシステム
構成を示す図である。図１に示す本発明の形態におい
て、図７に示した装置と同一構成要素には、同一符号を
付して説明する。そして、図１において、装置１３は、
前面に蓋１５で開閉される装置開口１６が設けられてい
る。この装置開口１６の前側固定台１７上には、ウエハ
１２が収納されたキャリア１１が載せられるキャリア置
台１４が配設されている。このキャリア置台１４は、固
定台１７の下側に配設されているキャリア置台移動手段
１８から延ばされているロッド１９と一体移動可能に連
結されている。また、キャリア置台１４の上には、この
上に載せられたキャリア１１を解除可能に固定するため
の手段（不図示）が設けられている。したがってキャリ
ア１１はキャリア置台１４と一体に移動することができ
る。
ち半導体製造装置におけるロードポート周辺のシステム
構成を示す図である。図１に示す本発明の形態におい
て、図７に示した装置と同一構成要素には、同一符号を
付して説明する。そして、図１において、装置１３は、
前面に蓋１５で開閉される装置開口１６が設けられてい
る。この装置開口１６の前側固定台１７上には、ウエハ
１２が収納されたキャリア１１が載せられるキャリア置
台１４が配設されている。このキャリア置台１４は、固
定台１７の下側に配設されているキャリア置台移動手段
１８から延ばされているロッド１９と一体移動可能に連
結されている。また、キャリア置台１４の上には、この
上に載せられたキャリア１１を解除可能に固定するため
の手段（不図示）が設けられている。したがってキャリ
ア１１はキャリア置台１４と一体に移動することができ
る。
【００１２】キャリア置台移動手段１８は、ロッド１９
を往復移動させるアクチュエータとしてのエアシリンダ
２０を備えている。このエアシリンダ２０はキャリア置
台駆動コントローラ２４内の方向切換弁２１で制御さ
れ、ロッド１９をエアシリンダ２０から突出された位置
とエアシリンダ２０内に引き込まれた位置とに移動切り
換えできる構造になっている。そして、キャリア置台１
４上にキャリア１１を載せるとき、ロッド１９はエアシ
リンダ２０内に最も引き込まれて、キャリア置台１４が
装置開口１６と大きく離れた位置（以下、この位置を
「キャリアセット位置」という）に配置される状態とな
る。図１中に実線で示している位置は、そのキャリア位
置に配置されている状態を示している。これに対して、
エアシリンダ２０が操作されてロッド１９がエアシリン
ダ２０内より突き出されると、このロッド１９の突き出
しに連動してキャリア置台１４が装置開口１６側に移動
する。なお、キャリア置台１４が最も装置開口１６側に
移動された状態では、キャリア置台１４上にセットされ
ているキャリア１１は、このキャリア１１の開口を装置
開口１６に押し付けることができる。このキャリア１１
の開口が装置開口１６に押し付けられた状態となる位置
を、以下「ウエハ受け渡し位置」という。また、「ウエ
ハ受け渡し位置」と「キャリアセット位置」には、その
位置を越えてキャリア置台１４が移動しないようにする
のに、ロッド１９の一部と衝突して、それ以上の移動を
規制するためのストッパー２２ａ，２２ｂが各々設けら
れている。加えて、ロッド１９が往復動する通路の近く
には、キャリア１１が装置開口１６に極めて近い位置ま
で移動されると、これを検出して、その信号を出力する
センサ２３が設けられいる。
を往復移動させるアクチュエータとしてのエアシリンダ
２０を備えている。このエアシリンダ２０はキャリア置
台駆動コントローラ２４内の方向切換弁２１で制御さ
れ、ロッド１９をエアシリンダ２０から突出された位置
とエアシリンダ２０内に引き込まれた位置とに移動切り
換えできる構造になっている。そして、キャリア置台１
４上にキャリア１１を載せるとき、ロッド１９はエアシ
リンダ２０内に最も引き込まれて、キャリア置台１４が
装置開口１６と大きく離れた位置（以下、この位置を
「キャリアセット位置」という）に配置される状態とな
る。図１中に実線で示している位置は、そのキャリア位
置に配置されている状態を示している。これに対して、
エアシリンダ２０が操作されてロッド１９がエアシリン
ダ２０内より突き出されると、このロッド１９の突き出
しに連動してキャリア置台１４が装置開口１６側に移動
する。なお、キャリア置台１４が最も装置開口１６側に
移動された状態では、キャリア置台１４上にセットされ
ているキャリア１１は、このキャリア１１の開口を装置
開口１６に押し付けることができる。このキャリア１１
の開口が装置開口１６に押し付けられた状態となる位置
を、以下「ウエハ受け渡し位置」という。また、「ウエ
ハ受け渡し位置」と「キャリアセット位置」には、その
位置を越えてキャリア置台１４が移動しないようにする
のに、ロッド１９の一部と衝突して、それ以上の移動を
規制するためのストッパー２２ａ，２２ｂが各々設けら
れている。加えて、ロッド１９が往復動する通路の近く
には、キャリア１１が装置開口１６に極めて近い位置ま
で移動されると、これを検出して、その信号を出力する
センサ２３が設けられいる。
【００１３】キャリア置台駆動コントローラ２４は、上
記方向切換弁２１の他に、エア源２５と、このエア源２
５のエア圧を調整してエアシリンダ２０に供給する圧力
調整手段２６を構成している高圧力用レギュレータ２７
Ｈ，低圧力用レギュレータ２７Ｌ，圧力切換器２８、高
圧用電磁バルブ２９Ｈ，低圧用電磁バルブ２９Ｌで構成
されている。このうち、圧力切換器２８は、高圧用電磁
バルブ２９Ｈと低圧用電磁バルブ２９Ｌの何れか一方が
有効（オン）、他方が無効（オフ）になるように切り換
えるものである。そして、高圧用電磁バルブ２９Ｈをオ
ンにした場合は、エアシリンダ２０に高圧が付与され、
キャリア置台１４が大きな力を受けて移動する状態にな
る。これに対して、低圧用電磁バルブ２９Ｌをオンにし
た場合は、エアシリンダ２０に低圧が付与され、高圧用
電磁バルブ２９Ｈをオンしたときよりも小さい力をキャ
リア置台１４が受けて移動される状態になる。なお、キ
ャリア置台１４が受ける大きな力とは、例えば装置開口
１６の部分でＦＯＵＰ（キャリア１１）の開口が密着さ
れたときに、装置１３内のガスが漏れない大きさ以上の
もので、キャリア置台１４が受ける小さな力とは、例え
ばキャリア置台１４の移動中に装置１３とキャリア置台
１４との間に手が挟まれたようなときに、その位置で停
止できる程度の大きさであり、この大きさは自由に設定
される。
記方向切換弁２１の他に、エア源２５と、このエア源２
５のエア圧を調整してエアシリンダ２０に供給する圧力
調整手段２６を構成している高圧力用レギュレータ２７
Ｈ，低圧力用レギュレータ２７Ｌ，圧力切換器２８、高
圧用電磁バルブ２９Ｈ，低圧用電磁バルブ２９Ｌで構成
されている。このうち、圧力切換器２８は、高圧用電磁
バルブ２９Ｈと低圧用電磁バルブ２９Ｌの何れか一方が
有効（オン）、他方が無効（オフ）になるように切り換
えるものである。そして、高圧用電磁バルブ２９Ｈをオ
ンにした場合は、エアシリンダ２０に高圧が付与され、
キャリア置台１４が大きな力を受けて移動する状態にな
る。これに対して、低圧用電磁バルブ２９Ｌをオンにし
た場合は、エアシリンダ２０に低圧が付与され、高圧用
電磁バルブ２９Ｈをオンしたときよりも小さい力をキャ
リア置台１４が受けて移動される状態になる。なお、キ
ャリア置台１４が受ける大きな力とは、例えば装置開口
１６の部分でＦＯＵＰ（キャリア１１）の開口が密着さ
れたときに、装置１３内のガスが漏れない大きさ以上の
もので、キャリア置台１４が受ける小さな力とは、例え
ばキャリア置台１４の移動中に装置１３とキャリア置台
１４との間に手が挟まれたようなときに、その位置で停
止できる程度の大きさであり、この大きさは自由に設定
される。
【００１４】次に、蓋１５側について説明すると、蓋１
５は、装置１３内に配設されている蓋移動手段３０から
延ばされているロッド３４と一体移動可能に連結されて
いる。その蓋移動手段３０は、蓋１５を上下方向に移動
させるためのエアシリンダ３１と、蓋１５を前後方向に
移動させるためのエアシリンダ３２とを備えている。こ
のうち、エアシリンダ３１は、進退出する上記ロッド３
４を有しているとともに、下側基端が枢軸３３で回転可
能に支持されている。また、蓋１５と一体に前後方向
（開閉方向）に回動するとともに、ロッド３４を進退出
することにより、蓋１５を上下方向に移動させることが
できる。一方、エアシリンダ３２は、進退出するロッド
３５を有しているとともに、基端が枢軸３６で回転可能
に支持されている。そのロッド３５の先端側は軸３７を
介してエアシリンダ３２とリンク結合されている。そし
て、このエアシリンダ３２が駆動されて、ロッド３５が
進退出されると、このロッド３５の進退出に連動してエ
アシリンダ３１が枢軸３３を支点として前後方向に回動
され、この回動動作で蓋１５の開閉を行う。なお、蓋１
５が装置開口１６を閉じる直前の位置（この位置は、装
置１３と蓋１５との間に例えば手等を入れることができ
る最小限の所定の隙間が確保されている）には、この蓋
１５の位置を検出するセンサ３８が設けられている。ま
た、エアシリンダ３１は第１の蓋コントローラ３９及び
方向切換弁４８を介して制御され、エアシリンダ３２は
第２の蓋コントローラ４０を介して制御される。
５は、装置１３内に配設されている蓋移動手段３０から
延ばされているロッド３４と一体移動可能に連結されて
いる。その蓋移動手段３０は、蓋１５を上下方向に移動
させるためのエアシリンダ３１と、蓋１５を前後方向に
移動させるためのエアシリンダ３２とを備えている。こ
のうち、エアシリンダ３１は、進退出する上記ロッド３
４を有しているとともに、下側基端が枢軸３３で回転可
能に支持されている。また、蓋１５と一体に前後方向
（開閉方向）に回動するとともに、ロッド３４を進退出
することにより、蓋１５を上下方向に移動させることが
できる。一方、エアシリンダ３２は、進退出するロッド
３５を有しているとともに、基端が枢軸３６で回転可能
に支持されている。そのロッド３５の先端側は軸３７を
介してエアシリンダ３２とリンク結合されている。そし
て、このエアシリンダ３２が駆動されて、ロッド３５が
進退出されると、このロッド３５の進退出に連動してエ
アシリンダ３１が枢軸３３を支点として前後方向に回動
され、この回動動作で蓋１５の開閉を行う。なお、蓋１
５が装置開口１６を閉じる直前の位置（この位置は、装
置１３と蓋１５との間に例えば手等を入れることができ
る最小限の所定の隙間が確保されている）には、この蓋
１５の位置を検出するセンサ３８が設けられている。ま
た、エアシリンダ３１は第１の蓋コントローラ３９及び
方向切換弁４８を介して制御され、エアシリンダ３２は
第２の蓋コントローラ４０を介して制御される。
【００１５】第２の蓋コントローラ４０は、方向切換弁
４１の他に、エア源４２と、このエア源４２のエア圧を
調整してエアシリンダ３２に供給する圧力調整手段４３
を構成している高圧力用レギュレータ４４Ｈ，低圧力用
レギュレータ４４Ｌ，圧力切換器４５、高圧用電磁バル
ブ４６Ｈ，低圧用電磁バルブ４６Ｌ等で構成されてい
る。このうち、圧力切換器４５は、高圧用電磁バルブ４
６Ｈと低圧用電磁バルブ４６Ｌの何れか一方が有効（オ
ン）、他方が無効（オフ）になるように択一的に切り換
えるものである。そして、高圧用電磁バルブ４６Ｈをオ
ンにした場合は、エアシリンダ３２に高圧が付与され、
蓋１５が大きな力を受けて移動する状態になる。これに
対して、低圧用電磁バルブ４６Ｌをオンにした場合は、
エアシリンダ３２に低圧が付与され、高圧用電磁バルブ
４６Ｈをオンしたときよりも小さい力を蓋１５が受けて
移動される状態になる。なお、蓋１５が受ける大きな力
とは、例えば装置開口１６の部分に蓋１５が密着された
ときに、装置１３内のガスが漏れない大きさ以上のもの
で、蓋１５が受ける小さな力とは、例えば蓋１５の移動
中に装置１３と蓋１５との間に手が挟まれたようなとき
に、その位置で停止できる程度の大きさであり、この大
きさは自由に設定される。
４１の他に、エア源４２と、このエア源４２のエア圧を
調整してエアシリンダ３２に供給する圧力調整手段４３
を構成している高圧力用レギュレータ４４Ｈ，低圧力用
レギュレータ４４Ｌ，圧力切換器４５、高圧用電磁バル
ブ４６Ｈ，低圧用電磁バルブ４６Ｌ等で構成されてい
る。このうち、圧力切換器４５は、高圧用電磁バルブ４
６Ｈと低圧用電磁バルブ４６Ｌの何れか一方が有効（オ
ン）、他方が無効（オフ）になるように択一的に切り換
えるものである。そして、高圧用電磁バルブ４６Ｈをオ
ンにした場合は、エアシリンダ３２に高圧が付与され、
蓋１５が大きな力を受けて移動する状態になる。これに
対して、低圧用電磁バルブ４６Ｌをオンにした場合は、
エアシリンダ３２に低圧が付与され、高圧用電磁バルブ
４６Ｈをオンしたときよりも小さい力を蓋１５が受けて
移動される状態になる。なお、蓋１５が受ける大きな力
とは、例えば装置開口１６の部分に蓋１５が密着された
ときに、装置１３内のガスが漏れない大きさ以上のもの
で、蓋１５が受ける小さな力とは、例えば蓋１５の移動
中に装置１３と蓋１５との間に手が挟まれたようなとき
に、その位置で停止できる程度の大きさであり、この大
きさは自由に設定される。
【００１６】そして、上記圧力調整手段２６、第１の蓋
コントローラ３９、第２の蓋コントローラ４０、圧力調
整手段４３等は、制御部（ＣＰＵ）４７に予め組み込ま
れているプログラムに従って制御される。
コントローラ３９、第２の蓋コントローラ４０、圧力調
整手段４３等は、制御部（ＣＰＵ）４７に予め組み込ま
れているプログラムに従って制御される。
【００１７】図２は、そのプログラムの一例を示す流れ
図である。そこで、上記第１の形態のシステム構成にお
ける動作を図２の流れ図に従って説明する。まず、図２
（Ａ）の開動作について説明する。キャリア置台１４は
図１の実線で示す「キャリアセット位置」に配置されて
いる。この位置で無人搬送機または人によって運ばれて
来たキャリア１１がキャリア置台１４上にセットされ
る。そして、「ウエハ受け渡し位置」への移動が指示さ
れると（Ｓ１）、圧力切換器２８が電磁バルブ２９Ｌを
オンに切り換え（Ｓ２）、エアシリンダ２０が低圧用レ
ギュレータ２７Ｌを介してエア源２５と接続される。す
ると、エアシリンダ２０が低圧状態で動作し（Ｓ３）、
キャリア置台１４は小さな力で駆動しているエアシリン
ダ２０の力で、キャリア１１と共に装置開口１６に向か
って移動される。したがって、この低圧で駆動されてい
る状態では、キャリア置台１４と装置１３との間に手が
挟まれたような場合に、キャリア置台１４の移動を強制
的に停止させることができる。
図である。そこで、上記第１の形態のシステム構成にお
ける動作を図２の流れ図に従って説明する。まず、図２
（Ａ）の開動作について説明する。キャリア置台１４は
図１の実線で示す「キャリアセット位置」に配置されて
いる。この位置で無人搬送機または人によって運ばれて
来たキャリア１１がキャリア置台１４上にセットされ
る。そして、「ウエハ受け渡し位置」への移動が指示さ
れると（Ｓ１）、圧力切換器２８が電磁バルブ２９Ｌを
オンに切り換え（Ｓ２）、エアシリンダ２０が低圧用レ
ギュレータ２７Ｌを介してエア源２５と接続される。す
ると、エアシリンダ２０が低圧状態で動作し（Ｓ３）、
キャリア置台１４は小さな力で駆動しているエアシリン
ダ２０の力で、キャリア１１と共に装置開口１６に向か
って移動される。したがって、この低圧で駆動されてい
る状態では、キャリア置台１４と装置１３との間に手が
挟まれたような場合に、キャリア置台１４の移動を強制
的に停止させることができる。
【００１８】キャリア置台１４の移動がさらに進行し、
センサ２３がキャリア置台１４の移動を検出（オン）す
ると（Ｓ４）、圧力切換器２８が高圧用電磁バルブ２９
Ｈをオンする（Ｓ５）。すると、エアシリンダ２０が高
圧用レギュレータ２７Ｈを介してエア源２５と接続され
る。これにより、エアシリンダ２０が高圧状態で動作
し、キャリア置台１４は大きな力で駆動しているエアシ
リンダの力で、「ウエハ受け渡し位置」に移動され、ス
トッパー２２ｂに当接すると停止する（Ｓ６）。また、
キャリア１１は、その開口が装置開口１６の周囲に押し
付けられて密着された状態になる。
センサ２３がキャリア置台１４の移動を検出（オン）す
ると（Ｓ４）、圧力切換器２８が高圧用電磁バルブ２９
Ｈをオンする（Ｓ５）。すると、エアシリンダ２０が高
圧用レギュレータ２７Ｈを介してエア源２５と接続され
る。これにより、エアシリンダ２０が高圧状態で動作
し、キャリア置台１４は大きな力で駆動しているエアシ
リンダの力で、「ウエハ受け渡し位置」に移動され、ス
トッパー２２ｂに当接すると停止する（Ｓ６）。また、
キャリア１１は、その開口が装置開口１６の周囲に押し
付けられて密着された状態になる。
【００１９】続いて、キャリア１１の蓋が図示せぬ手段
により開けられるとともに、装置１３の蓋１５の開動作
が開始される（Ｓ７）。また、圧力切換器４５が電磁バ
ルブ４６Ｈをオンする（Ｓ８）。すると、エアシリンダ
３２が高圧用レギュレータ４４Ｈを介してエア源４２と
接続される。すると、エアシリンダ３２が高圧状態で動
作し（Ｓ９）、所定の位置まで開く。次いで、エアシリ
ンダ３１が動作され、蓋１５が装置開口１６より外れて
ウエハ１２の取り出しの邪魔にならない位置まで下降し
（Ｓ１０）、所定の位置まで下降したら蓋１５の開動作
が完了する（Ｓ１１）。
により開けられるとともに、装置１３の蓋１５の開動作
が開始される（Ｓ７）。また、圧力切換器４５が電磁バ
ルブ４６Ｈをオンする（Ｓ８）。すると、エアシリンダ
３２が高圧用レギュレータ４４Ｈを介してエア源４２と
接続される。すると、エアシリンダ３２が高圧状態で動
作し（Ｓ９）、所定の位置まで開く。次いで、エアシリ
ンダ３１が動作され、蓋１５が装置開口１６より外れて
ウエハ１２の取り出しの邪魔にならない位置まで下降し
（Ｓ１０）、所定の位置まで下降したら蓋１５の開動作
が完了する（Ｓ１１）。
【００２０】次に、蓋１５を再び閉じる動作、すなわち
図２（Ｂ）について説明する。蓋１５を閉じる指令が出
されると、シリンダ３１が動作され、蓋１５が所定の位
置まで上昇される（Ｓ１２）。次いで、圧力切換器４５
が電磁バルブ４６Ｌをオンする（Ｓ１３）。すると、エ
アシリンダ３２が低圧用レギュレータ４４Ｌを介してエ
ア源４２と接続される。これによりエアシリンダ３２が
低圧状態で動作し（Ｓ１４）、蓋１５が装置開口１６を
閉じる方向に、蓋１５とエアシリンダ３１とを回転させ
る。また、蓋１５がセンサ３８で検出される位置まで閉
じられると（Ｓ１５）、圧力切換器４５が電磁バルブ４
６Ｈをオンする（Ｓ１６）。これにより、エアシリンダ
３２が高圧状態で動作し、装置開口１６を完全に閉じる
位置まで移動される（Ｓ１７）。
図２（Ｂ）について説明する。蓋１５を閉じる指令が出
されると、シリンダ３１が動作され、蓋１５が所定の位
置まで上昇される（Ｓ１２）。次いで、圧力切換器４５
が電磁バルブ４６Ｌをオンする（Ｓ１３）。すると、エ
アシリンダ３２が低圧用レギュレータ４４Ｌを介してエ
ア源４２と接続される。これによりエアシリンダ３２が
低圧状態で動作し（Ｓ１４）、蓋１５が装置開口１６を
閉じる方向に、蓋１５とエアシリンダ３１とを回転させ
る。また、蓋１５がセンサ３８で検出される位置まで閉
じられると（Ｓ１５）、圧力切換器４５が電磁バルブ４
６Ｈをオンする（Ｓ１６）。これにより、エアシリンダ
３２が高圧状態で動作し、装置開口１６を完全に閉じる
位置まで移動される（Ｓ１７）。
【００２１】蓋１５が装置開口１６を完全に閉じると、
次に圧力切換バルブ２８が電磁バルブ２９Ｈをオンする
（Ｓ１８）。すると、エアシリンダ２０が高圧状態で動
作し（Ｓ１９）、キャリア置台１４が「キャリアセット
位置」の方向へ移動を開始する。また、センサ２３がオ
フになると（Ｓ２０）、圧力切換器２８が電磁バルブ２
９Ｌをオンする（Ｓ２１）。これにより、エアシリンダ
２０が低圧状態で動作し 、キャリア置台１４が小さな
力で「キャリアセット位置」まで戻される（Ｓ２２，２
３）。そして、この「キャリアセット位置」で新しいキ
ャリア１１と交換されて再び同じ動作が繰り替えされ
る。
次に圧力切換バルブ２８が電磁バルブ２９Ｈをオンする
（Ｓ１８）。すると、エアシリンダ２０が高圧状態で動
作し（Ｓ１９）、キャリア置台１４が「キャリアセット
位置」の方向へ移動を開始する。また、センサ２３がオ
フになると（Ｓ２０）、圧力切換器２８が電磁バルブ２
９Ｌをオンする（Ｓ２１）。これにより、エアシリンダ
２０が低圧状態で動作し 、キャリア置台１４が小さな
力で「キャリアセット位置」まで戻される（Ｓ２２，２
３）。そして、この「キャリアセット位置」で新しいキ
ャリア１１と交換されて再び同じ動作が繰り替えされ
る。
【００２２】したがって、この形態例の構造では、キャ
リア１１を「キャリアセット位置」から「キャリア受け
渡し位置」に移動させる場合に、キャリア置台１４と装
置１３との間に手等が入って挟まれる危険性がある間は
簡単に停止させることができる小さな力でキャリア１１
とキャリア置台１４を移動させ、挟まれる危険性が無く
なったら最終位置まで大きな力で移動させて、キャリア
１１を所定の位置に所望の圧力で位置決めしておくこと
ができる。また、蓋１５で装置開口１６を閉じる場合
も、蓋１５と装置１３との間に手が入って挟まれる危険
性がある間は簡単に停止させることができる小さな力で
蓋１５を移動させ、挟まれる危険性が無くなったら最終
位置まで大きな力で移動させて、蓋１５を所定の圧力で
装置開口１６を閉じた状態にすることができる。これに
より、所定の性能を維持したまま、安全性を向上させる
ことができる。
リア１１を「キャリアセット位置」から「キャリア受け
渡し位置」に移動させる場合に、キャリア置台１４と装
置１３との間に手等が入って挟まれる危険性がある間は
簡単に停止させることができる小さな力でキャリア１１
とキャリア置台１４を移動させ、挟まれる危険性が無く
なったら最終位置まで大きな力で移動させて、キャリア
１１を所定の位置に所望の圧力で位置決めしておくこと
ができる。また、蓋１５で装置開口１６を閉じる場合
も、蓋１５と装置１３との間に手が入って挟まれる危険
性がある間は簡単に停止させることができる小さな力で
蓋１５を移動させ、挟まれる危険性が無くなったら最終
位置まで大きな力で移動させて、蓋１５を所定の圧力で
装置開口１６を閉じた状態にすることができる。これに
より、所定の性能を維持したまま、安全性を向上させる
ことができる。
【００２３】図３は本発明の第２の実施形態例としての
半導体製造装置におけるロードポート周辺のシステム構
成を示す図である。図３に示す本発明の第２の形態にお
いて、図１及び図２に示した本発明の第１の形態と同一
構成要素には同一符号を付して説明する。図３におい
て、装置１３は前面に蓋１５で開閉される装置開口１６
が設けられている。この装置開口１６の前側固定台１７
上には、ウエハ１２が収納されたキャリア１１が載せら
れるキャリア置台１４が配設されている。このキャリア
置台１４には、固定台１７の下側に配設されているキャ
リア置台移動手段５１から延ばされているロッド５２と
一体移動可能に連結されている。
半導体製造装置におけるロードポート周辺のシステム構
成を示す図である。図３に示す本発明の第２の形態にお
いて、図１及び図２に示した本発明の第１の形態と同一
構成要素には同一符号を付して説明する。図３におい
て、装置１３は前面に蓋１５で開閉される装置開口１６
が設けられている。この装置開口１６の前側固定台１７
上には、ウエハ１２が収納されたキャリア１１が載せら
れるキャリア置台１４が配設されている。このキャリア
置台１４には、固定台１７の下側に配設されているキャ
リア置台移動手段５１から延ばされているロッド５２と
一体移動可能に連結されている。
【００２４】キャリア置台移動手段５１は、ロッド５２
をネジ送りするため回転ネジ５３と、この回転ネジ５３
を回転させる駆動源としての減速ギア付モータ５４と、
この減速ギア付モータ５４と回転ネジ５３との間の動力
伝達を行うためのギア５５，５６を有している。減速ギ
ア付モータ５４はドライバー５７を介してキャリア置台
駆動コントローラ５８により制御される。また、キャリ
ア置台駆動コントローラ５８には、センサ５９，６０，
６１からの信号が入力される。センサ５９，６０，６１
のうち、センサ５９はキャリア置台１４が「キャリアセ
ット位置」に配置されるとオンされ、センサ６０はキャ
リア置台１４が「キャリア受け渡し位置」の直前まで、
すなわちキャリア１１と処理装置１３との間に手等が入
らなくなる位置まで接近した状態になるとオンする。セ
ンサ６１は、キャリア置台１４が「キャリア受け渡し位
置」に到達するとオンされる。
をネジ送りするため回転ネジ５３と、この回転ネジ５３
を回転させる駆動源としての減速ギア付モータ５４と、
この減速ギア付モータ５４と回転ネジ５３との間の動力
伝達を行うためのギア５５，５６を有している。減速ギ
ア付モータ５４はドライバー５７を介してキャリア置台
駆動コントローラ５８により制御される。また、キャリ
ア置台駆動コントローラ５８には、センサ５９，６０，
６１からの信号が入力される。センサ５９，６０，６１
のうち、センサ５９はキャリア置台１４が「キャリアセ
ット位置」に配置されるとオンされ、センサ６０はキャ
リア置台１４が「キャリア受け渡し位置」の直前まで、
すなわちキャリア１１と処理装置１３との間に手等が入
らなくなる位置まで接近した状態になるとオンする。セ
ンサ６１は、キャリア置台１４が「キャリア受け渡し位
置」に到達するとオンされる。
【００２５】ドライバー５７は、減速ギア付モータ５４
が大きな出力トルクで回転することができる状態と小さ
な出力トルクで回転することができる状態とに、択一的
に切り換えることができ、キャリア置台駆動コントロー
ラ５８からのトルク指令を受けて切り換える。なお、キ
ャリア置台駆動コントローラ５８は、主制御部（ＣＰ
Ｕ）７２により制御される。そして、減速ギア付きモー
タ５４が小さな出力トルク（低トルク）で回転されてい
るときには、キャリア置台１４またはキャリア１１等に
手が当ると安全のために移動を停止させることができる
程度の力でキャリア置台１４を動かすことができる。一
方、大きな出力トルク（高トルク）で回転されていると
きには、キャリア１１の開口が装置開口１６の部分に密
着されたとき、装置１３内のガスが漏れない程度に押し
付けておくことができる大きな力が付与されるもので、
その大きさは自由に設定される。
が大きな出力トルクで回転することができる状態と小さ
な出力トルクで回転することができる状態とに、択一的
に切り換えることができ、キャリア置台駆動コントロー
ラ５８からのトルク指令を受けて切り換える。なお、キ
ャリア置台駆動コントローラ５８は、主制御部（ＣＰ
Ｕ）７２により制御される。そして、減速ギア付きモー
タ５４が小さな出力トルク（低トルク）で回転されてい
るときには、キャリア置台１４またはキャリア１１等に
手が当ると安全のために移動を停止させることができる
程度の力でキャリア置台１４を動かすことができる。一
方、大きな出力トルク（高トルク）で回転されていると
きには、キャリア１１の開口が装置開口１６の部分に密
着されたとき、装置１３内のガスが漏れない程度に押し
付けておくことができる大きな力が付与されるもので、
その大きさは自由に設定される。
【００２６】次に、蓋１５側について説明すると、蓋１
５は装置１３内に配設されている蓋移動手段６２から延
ばされているロッド３４と一体移動可能に連結されてい
る。その蓋移動手段６２は蓋１５を上下方向に移動させ
るための上下方向駆動手段６３と、この上下方向駆動手
段６３を蓋１５と共に前後方向に移動させるための前後
方向駆動手段６４とを有している。
５は装置１３内に配設されている蓋移動手段６２から延
ばされているロッド３４と一体移動可能に連結されてい
る。その蓋移動手段６２は蓋１５を上下方向に移動させ
るための上下方向駆動手段６３と、この上下方向駆動手
段６３を蓋１５と共に前後方向に移動させるための前後
方向駆動手段６４とを有している。
【００２７】さらに詳述すると、上下方向駆動手段６３
は、枢軸６５を支点として前後方向に回動するベース６
６と、このベース６６上に配設された減速ギア付モータ
６７と、回転ネジ６８と、減速ギア付モータ６７の回転
を回転ネジ６８に伝達するためのギア６９，７０とを備
えている。そして、減速ギア付モータ６７が駆動され
て、回転ネジ６８が回転されるとロッド３４がネジ送り
され、このネジ送りで蓋１５の上下方向の移動を行わせ
ることができる。なお、減速ギア付きモータ６７は、ド
ライバー７１を介して主制御部（ＣＰＵ）７２により制
御される。
は、枢軸６５を支点として前後方向に回動するベース６
６と、このベース６６上に配設された減速ギア付モータ
６７と、回転ネジ６８と、減速ギア付モータ６７の回転
を回転ネジ６８に伝達するためのギア６９，７０とを備
えている。そして、減速ギア付モータ６７が駆動され
て、回転ネジ６８が回転されるとロッド３４がネジ送り
され、このネジ送りで蓋１５の上下方向の移動を行わせ
ることができる。なお、減速ギア付きモータ６７は、ド
ライバー７１を介して主制御部（ＣＰＵ）７２により制
御される。
【００２８】前後方向駆動手段６４は、減速ギア付モー
タ７３と、回転ネジ７４と、この回転ネジ７４でネジ送
りされるロッド７５と、減速ギア付きモータ７３の回転
を回転ネジ７４に伝達するためのギア７６，７７とを備
えている。減速ギア付モータ７３はドライバー７８を介
して蓋駆動コントローラ７９により制御される。また、
蓋駆動コントローラ７９には、センサ８０，８１，８２
からの信号が入力される。センサ８０，８１，８２のう
ち、センサ８０は蓋１５が「閉位置」に配置されるとオ
ンされ、センサ８１は蓋１５が「閉位置」の直前まで、
すなわち蓋１５と装置１３との間に手が入らなくなる位
置まで接近した状態になるとオンする。センサ８２は、
蓋１５が「開位置」に到達するとオンされる。
タ７３と、回転ネジ７４と、この回転ネジ７４でネジ送
りされるロッド７５と、減速ギア付きモータ７３の回転
を回転ネジ７４に伝達するためのギア７６，７７とを備
えている。減速ギア付モータ７３はドライバー７８を介
して蓋駆動コントローラ７９により制御される。また、
蓋駆動コントローラ７９には、センサ８０，８１，８２
からの信号が入力される。センサ８０，８１，８２のう
ち、センサ８０は蓋１５が「閉位置」に配置されるとオ
ンされ、センサ８１は蓋１５が「閉位置」の直前まで、
すなわち蓋１５と装置１３との間に手が入らなくなる位
置まで接近した状態になるとオンする。センサ８２は、
蓋１５が「開位置」に到達するとオンされる。
【００２９】ドライバー７８は、減速ギア付モータ７３
が大きな出力トルク（高トルク）で回転することができ
る状態と小さな出力トルクで回転することができる状態
とに切り換えることができ、蓋駆動コントローラ７９か
らのトルク指令により切り換える。なお、蓋駆動コント
ローラ７９は、主制御部（ＣＰＵ）７２により制御され
る。そして、減速ギア付モータ７３が小さな出力トルク
（低トルク）で回転されているときには、蓋１５等に手
が当たると安全のために移動を停止させることができる
程度の力で蓋１５を動かすことができ、大きな出力トル
ク（高トルク）で回転されているときには、蓋１５が装
置開口１６の部分に密着されたとき、装置１３内のガス
が漏れない程度に押し付けておくことができる力が付与
されるもので、その大きさは自由に設定される。
が大きな出力トルク（高トルク）で回転することができ
る状態と小さな出力トルクで回転することができる状態
とに切り換えることができ、蓋駆動コントローラ７９か
らのトルク指令により切り換える。なお、蓋駆動コント
ローラ７９は、主制御部（ＣＰＵ）７２により制御され
る。そして、減速ギア付モータ７３が小さな出力トルク
（低トルク）で回転されているときには、蓋１５等に手
が当たると安全のために移動を停止させることができる
程度の力で蓋１５を動かすことができ、大きな出力トル
ク（高トルク）で回転されているときには、蓋１５が装
置開口１６の部分に密着されたとき、装置１３内のガス
が漏れない程度に押し付けておくことができる力が付与
されるもので、その大きさは自由に設定される。
【００３０】そして、上記キャリア置台駆動コントロー
ラ５８、上下方向駆動手段６３、前後方向駆動手段６
４、ドライバー７１，７８、コントローラ７９等は、主
制御部７２に予め組み込まれているプログラムに従って
制御される。
ラ５８、上下方向駆動手段６３、前後方向駆動手段６
４、ドライバー７１，７８、コントローラ７９等は、主
制御部７２に予め組み込まれているプログラムに従って
制御される。
【００３１】図４は、その第２の形態としてのロードポ
ートを制御するプログラムの一例を示す流れ図である。
そこで上記第２の形態例のシステム構成における動作を
図４の流れ図に従って説明する。まず、図４（Ａ）の開
動作について説明する。キャリア置台１４は、図３の実
線で示す「キャリアセット位置」に配置されていて、こ
の位置で無人搬送機または人によって運ばれて来たキャ
リア１１がセットされる。この状態では、センサ５９が
ロッド５２を検出している。「ウエハ受け渡し位置」に
移動させる指示を受けると（Ｓ３１）、コントローラ５
８はドライバー５７に減速ギア付モータ５４の回転を低
トルクで回転させる指示を出す。これにより減速ギア付
モータ５４は低トルクで回転し（Ｓ３２）、キャリア置
台１４の「ウエハ受け渡し位置」への移動が開始される
（Ｓ３３）。したがって、この小さな力でキャリア置台
１４が移動されている状態では、キャリア置台１４と装
置１３との間に手が挟まれたような場合に、キャリア置
台１４の移動を強制的に停止させることができ、安全性
が確保される。
ートを制御するプログラムの一例を示す流れ図である。
そこで上記第２の形態例のシステム構成における動作を
図４の流れ図に従って説明する。まず、図４（Ａ）の開
動作について説明する。キャリア置台１４は、図３の実
線で示す「キャリアセット位置」に配置されていて、こ
の位置で無人搬送機または人によって運ばれて来たキャ
リア１１がセットされる。この状態では、センサ５９が
ロッド５２を検出している。「ウエハ受け渡し位置」に
移動させる指示を受けると（Ｓ３１）、コントローラ５
８はドライバー５７に減速ギア付モータ５４の回転を低
トルクで回転させる指示を出す。これにより減速ギア付
モータ５４は低トルクで回転し（Ｓ３２）、キャリア置
台１４の「ウエハ受け渡し位置」への移動が開始される
（Ｓ３３）。したがって、この小さな力でキャリア置台
１４が移動されている状態では、キャリア置台１４と装
置１３との間に手が挟まれたような場合に、キャリア置
台１４の移動を強制的に停止させることができ、安全性
が確保される。
【００３２】キャリア置台１４の移動がさらに進行し、
センサ６０がキャリア置台１４の移動を検出（オン）す
ると（Ｓ３４）、コントローラ５８はドライバー５７に
減速ギア付モータ５４の回転を高トルクで回転させる指
示を出す。これにより、減速ギア付モータ５４は高トル
クで回転し（Ｓ３５）、キャリア置台１４を「ウエハ受
け渡し位置」に向かって移動させる。「受け渡し位置」
に到達すると、センサ６１がオンし、減速ギア付モータ
５４が停止する（Ｓ３６）。また、キャリア１１は、そ
の開口が装置開口１６の周囲に押し付けられて密着され
た状態になる。
センサ６０がキャリア置台１４の移動を検出（オン）す
ると（Ｓ３４）、コントローラ５８はドライバー５７に
減速ギア付モータ５４の回転を高トルクで回転させる指
示を出す。これにより、減速ギア付モータ５４は高トル
クで回転し（Ｓ３５）、キャリア置台１４を「ウエハ受
け渡し位置」に向かって移動させる。「受け渡し位置」
に到達すると、センサ６１がオンし、減速ギア付モータ
５４が停止する（Ｓ３６）。また、キャリア１１は、そ
の開口が装置開口１６の周囲に押し付けられて密着され
た状態になる。
【００３３】続いて、キャリア１１の蓋が図示せぬ手段
により開けられるとともに、装置１３の蓋１５の開動作
が開始される（Ｓ３７）。ここでは、減速ギア付モータ
７３が高トルクで回転され（Ｓ３８）、蓋１５が大きな
力で開けられて行く。そして、センサ８１がオンされる
と（Ｓ３９）、コントローラ７９が減速ギア付モータ７
３を低トルクで回転させるようにドライバー７８にトル
ク指令を出す。これにより減速ギア付モータ７３は低ト
ルクで回転しながら蓋１５を所定の位置まで開く（Ｓ４
０）。また、センサ８２がオンになると（Ｓ４１）、減
速ギア付モータ７３が停止する（Ｓ４２）。続いて、減
速ギア付モータ６７が回転され（Ｓ４３）、蓋１５の下
降が開始し（Ｓ４４）、蓋１５が装置開口１６より外れ
てウエハ１２の取り出しの邪魔にならない位置まで下降
したら、減速ギア付モータ６７が停止し、蓋１５の開動
作が完了する（Ｓ４５）。
により開けられるとともに、装置１３の蓋１５の開動作
が開始される（Ｓ３７）。ここでは、減速ギア付モータ
７３が高トルクで回転され（Ｓ３８）、蓋１５が大きな
力で開けられて行く。そして、センサ８１がオンされる
と（Ｓ３９）、コントローラ７９が減速ギア付モータ７
３を低トルクで回転させるようにドライバー７８にトル
ク指令を出す。これにより減速ギア付モータ７３は低ト
ルクで回転しながら蓋１５を所定の位置まで開く（Ｓ４
０）。また、センサ８２がオンになると（Ｓ４１）、減
速ギア付モータ７３が停止する（Ｓ４２）。続いて、減
速ギア付モータ６７が回転され（Ｓ４３）、蓋１５の下
降が開始し（Ｓ４４）、蓋１５が装置開口１６より外れ
てウエハ１２の取り出しの邪魔にならない位置まで下降
したら、減速ギア付モータ６７が停止し、蓋１５の開動
作が完了する（Ｓ４５）。
【００３４】次に、蓋１５を再び閉じる動作、すなわち
図４（Ｂ）について説明する。蓋１５を閉じる指令が出
されると、減速ギア付モータ６７が回転され（Ｓ５
１）、蓋１５が所定の位置まで上昇されたら停止する
（Ｓ５２）。次いで、減速ギア付モータ７３が低トルク
で回転し、蓋１５を閉位置側へ移動させる（Ｓ５３）。
また、センサ８１がオンすると（Ｓ５４）、減速ギア付
モータ７３が高トルクで回転し（Ｓ５５）、蓋１５が装
置開口１６に向かってさらに移動する。そして、蓋１５
が装置開口１６を完全に閉じる位置まで移動されて、セ
ンサ８０がオンすると（Ｓ５６）、減速ギア付モータ７
３が停止する（Ｓ５７）。
図４（Ｂ）について説明する。蓋１５を閉じる指令が出
されると、減速ギア付モータ６７が回転され（Ｓ５
１）、蓋１５が所定の位置まで上昇されたら停止する
（Ｓ５２）。次いで、減速ギア付モータ７３が低トルク
で回転し、蓋１５を閉位置側へ移動させる（Ｓ５３）。
また、センサ８１がオンすると（Ｓ５４）、減速ギア付
モータ７３が高トルクで回転し（Ｓ５５）、蓋１５が装
置開口１６に向かってさらに移動する。そして、蓋１５
が装置開口１６を完全に閉じる位置まで移動されて、セ
ンサ８０がオンすると（Ｓ５６）、減速ギア付モータ７
３が停止する（Ｓ５７）。
【００３５】蓋１５が装置開口１６を完全に閉じると、
次に減速ギア付モータ５４が高トルクで回転され（Ｓ５
８）、キャリア置台１４が「キャリアセット位置」方向
へ移動する（Ｓ５９）。また、センサ６０が一時的にオ
ンすると（Ｓ６０）、減速ギア付モータ５４が低トルク
での回転に切り換えられ（Ｓ６１）、キャリア置台１４
がさらに「キャリアセット位置」に向かって移動され
る。キャリア置台１４が「キャリアセット位置」に移動
を完了すると、センサ５９がオンになり（Ｓ６３）、減
速ギア付モータ５４を停止し（Ｓ６４）、キャリア置台
１４の移動が完了する（Ｓ６５）。そして、この「キャ
リアセット位置」で新しいキャリア１１と交換されて再
び同じ動作が繰り替えされる。
次に減速ギア付モータ５４が高トルクで回転され（Ｓ５
８）、キャリア置台１４が「キャリアセット位置」方向
へ移動する（Ｓ５９）。また、センサ６０が一時的にオ
ンすると（Ｓ６０）、減速ギア付モータ５４が低トルク
での回転に切り換えられ（Ｓ６１）、キャリア置台１４
がさらに「キャリアセット位置」に向かって移動され
る。キャリア置台１４が「キャリアセット位置」に移動
を完了すると、センサ５９がオンになり（Ｓ６３）、減
速ギア付モータ５４を停止し（Ｓ６４）、キャリア置台
１４の移動が完了する（Ｓ６５）。そして、この「キャ
リアセット位置」で新しいキャリア１１と交換されて再
び同じ動作が繰り替えされる。
【００３６】したがって、この第２の形態例の構造で
も、キャリア１１を「キャリアセット位置」から「キャ
リア受け渡し位置」に移動させる場合に、キャリア置台
１４と装置１３との間に手等が入って挟まれる危険性が
ある間は簡単に停止させることができる小さな力でキャ
リア１１とキャリア置台１４を移動させ、挟まれる危険
性が無くなったら最終位置まで大きな力で移動させて、
キャリア１１を所定の位置に所望の圧力で位置決めして
おくことができる。また、蓋１５で装置開口１６を閉じ
る場合も、蓋１５と装置１３との間に手が入って挟まれ
る危険性がある間は簡単に停止させることができる小さ
な力で蓋１５を移動させ、挟まれる危険性が無くなった
ら最終位置まで大きな力で移動させて、蓋１５を所定の
圧力で装置開口１６を確実に閉じた状態にすることがで
きる。これにより、所定の性能を維持したまま、安全性
を向上させることができる。
も、キャリア１１を「キャリアセット位置」から「キャ
リア受け渡し位置」に移動させる場合に、キャリア置台
１４と装置１３との間に手等が入って挟まれる危険性が
ある間は簡単に停止させることができる小さな力でキャ
リア１１とキャリア置台１４を移動させ、挟まれる危険
性が無くなったら最終位置まで大きな力で移動させて、
キャリア１１を所定の位置に所望の圧力で位置決めして
おくことができる。また、蓋１５で装置開口１６を閉じ
る場合も、蓋１５と装置１３との間に手が入って挟まれ
る危険性がある間は簡単に停止させることができる小さ
な力で蓋１５を移動させ、挟まれる危険性が無くなった
ら最終位置まで大きな力で移動させて、蓋１５を所定の
圧力で装置開口１６を確実に閉じた状態にすることがで
きる。これにより、所定の性能を維持したまま、安全性
を向上させることができる。
【００３７】図７は本発明の第２の実施形態を示すもの
である。この実施形態のロードポートは、蓋を取り付け
た状態のＦＯＵＰタイプのキャリア１１を取り扱うもの
で、図示の場合、ロードポート内部に複数の棚を設け
て、扉により開閉される装置開口１６を介して持ち込ま
れたキャリア１１を上下に並べて収容することができる
ようになっている。このように、ロードポート内部に複
数のキャリア１１を収容することにより、半導体製造工
程間でキャリアを貯蔵するバッファとしてロードポート
を機能させるようにしてもよい。
である。この実施形態のロードポートは、蓋を取り付け
た状態のＦＯＵＰタイプのキャリア１１を取り扱うもの
で、図示の場合、ロードポート内部に複数の棚を設け
て、扉により開閉される装置開口１６を介して持ち込ま
れたキャリア１１を上下に並べて収容することができる
ようになっている。このように、ロードポート内部に複
数のキャリア１１を収容することにより、半導体製造工
程間でキャリアを貯蔵するバッファとしてロードポート
を機能させるようにしてもよい。
【００３８】図８は本発明の第３の実施形態を示すもの
である。この実施形態のロードポートは、ＯＣタイプの
キャリア１１を取り扱うもので、前記第２の実施形態の
場合と同様に、ロードポート内部に上下に並べて収容す
ることができるようになっている。
である。この実施形態のロードポートは、ＯＣタイプの
キャリア１１を取り扱うもので、前記第２の実施形態の
場合と同様に、ロードポート内部に上下に並べて収容す
ることができるようになっている。
【００３９】なお、上記各形態例では、キャリア置台１
４の移動を行うときの力の大きさ及び蓋１５の開閉を行
うときの力の大きさを変える場合、エアシリンダまたは
モータを直接制御して行う方式を開示したが、これに限
ることなく、機械的な切り換え等によって変えるように
しても差し支えないものである。また、キャリア置台１
４の移動と蓋１５の移動の両方に適用した場合について
説明したが、どちらか何れか一方に適用してもよいもの
である。
４の移動を行うときの力の大きさ及び蓋１５の開閉を行
うときの力の大きさを変える場合、エアシリンダまたは
モータを直接制御して行う方式を開示したが、これに限
ることなく、機械的な切り換え等によって変えるように
しても差し支えないものである。また、キャリア置台１
４の移動と蓋１５の移動の両方に適用した場合について
説明したが、どちらか何れか一方に適用してもよいもの
である。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
所定の性能を維持したまま、怪我等を防いで安全性の高
い半導体製造装置におけるロードポートを得ることがで
きる等の効果が期待できる。
所定の性能を維持したまま、怪我等を防いで安全性の高
い半導体製造装置におけるロードポートを得ることがで
きる等の効果が期待できる。
【図１】本発明装置の第１の形態例を示すシステム構成
図である。
図である。
【図２】図１に示す装置の動作の一例を示す流れ図であ
る。
る。
【図３】本発明装置の第１の形態例を示すシステム構成
図である。
図である。
【図４】図３に示す装置の動作の一例を示す流れ図であ
る。
る。
【図５】キャリアの一例を示す斜視図である。
【図６】キャリアの他の例を示す斜視図である。
【図７】ロードポートの第２の実施の形態を示す斜視図
である。
である。
【図８】ロードポートの第３の実施の形態を示す斜視図
である。
である。
【図９】ロードポート周辺の概略構造斜視図である。
１１ キャリア １３ 装置 １４ キャリア置台 １５ 蓋 １６ 装置開口 １８ キャリア置台移動手段 ２４ キャリア置台移動コントローラ ２６ 圧力調整手段 ２８ 圧力切換器 ３０ 蓋移動手段 ４３ 圧力調整手段 ４５ 圧力切換器 ４７ 制御部 ５１ キャリア置台移動手段 ５８ キャリア置台移動コントローラ ６２ 蓋移動手段
フロントページの続き (72)発明者 及部 博之 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内 (72)発明者 田中 幹 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内 (72)発明者 南平 善太 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内 (72)発明者 高岡 俊志 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内 (72)発明者 佐伯 弘明 山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１ 東京エレクトロン山梨株式会社内 (72)発明者 松島 圭一 山梨県韮崎市藤井町北下条2381番地の１ 東京エレクトロン山梨株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】 半導体製造装置におけるウエハを収納し
たキャリアを装置開口に向かって移動するキャリア置台
を備えた半導体製造装置におけるロードポートにおい
て、 前記キャリアが前記装置開口との間に所定の微少な間隔
をおいた位置に到達するまで前記キャリア置台を小さい
力で移動させ、その後、前記装置開口に向かって前記キ
ャリア置台を前記開口の直前に到達するまでよりも大き
い力で移動させる手段、 を備えたことを特徴とするロードポート。 - 【請求項２】 前記キャリア置台を移動させる手段は、
前記キャリア置台を移動させるシリンダと、前記シリン
ダを駆動させる力を付与する駆動源と、前記駆動源から
前記シリンダに付与される圧力を切り替え調整可能な圧
力調整手段とを備えてなる請求項１に記載のロードポー
ト。 - 【請求項３】 前記圧力調整手段は、前記シリンダの出
力を前記キャリア置台に小さい力を付与して移動させる
ことができる低出力用と、前記キャリア置台に大きい力
を付与して移動させることができる高出力用とに切り替
え可能にしてなる請求項２に記載のロードポート。 - 【請求項４】 前記キャリア置台を移動させる手段は、
モータと、前記モータを駆動源として回転する回転ネジ
と、前記回転ネジが回転することにより前記キャリア置
台と共にネジ送りされる移動部材と、前記モータの出力
の大きさを切り替え可能なコントローラとを備えてなる
請求項１に記載のロードポート。 - 【請求項５】 半導体装置キャリアにより運ばれて来た
ウエハを取り入れる開口を開閉自在に閉じる蓋を備えた
半導体製造装置におけるロードポートにおいて、 前記蓋が前記装置開口を全閉した状態から所定の微少な
間隔おいた位置に到達するまで前記蓋を小さい力で移動
させ、その後、前記装置開口の閉じ方向に前記蓋を大き
い力で移動させる手段、 を備えたことを特徴とするロードポート。 - 【請求項６】 前記蓋を移動させる手段は、前記蓋を移
動させるシリンダと、前記シリンダを駆動させる力を付
与する駆動源と、前記駆動源から前記シリンダに付与さ
れる圧力を切り替え調整可能な圧力調整手段とを備えて
なる請求項５に記載のロードポート。 - 【請求項７】 前記圧力調整手段は、前記シリンダの出
力を前記蓋に小さい力を付与して移動させることができ
る低出力用と、前記蓋に大きい力を付与して移動させる
ことができる高出力用とに切り替え可能にしてなる請求
項６に記載のロードポート。 - 【請求項８】 前記蓋を移動させる手段は、モータと、
前記モータを駆動源として回転する回転ネジと、前記回
転ネジが回転することにより前記蓋と共にネジ送りされ
る移動部材と、前記モータの出力トルクを切り替え可能
なコントローラとを備えてなる請求項５に記載のロード
ポート。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10091972A JPH11288991A (ja) | 1998-04-03 | 1998-04-03 | ロードポート |
| US09/282,703 US6186723B1 (en) | 1998-04-03 | 1999-03-31 | Load port |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10091972A JPH11288991A (ja) | 1998-04-03 | 1998-04-03 | ロードポート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11288991A true JPH11288991A (ja) | 1999-10-19 |
Family
ID=14041454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10091972A Pending JPH11288991A (ja) | 1998-04-03 | 1998-04-03 | ロードポート |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6186723B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11288991A (ja) |
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| JP2010153843A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-07-08 | Tdk Corp | 密閉容器の蓋閉鎖方法及び密閉容器の蓋開閉システム |
| US8322759B2 (en) | 2008-11-11 | 2012-12-04 | Tdk Corporation | Closed container and lid opening/closing system therefor |
| CN110217741A (zh) * | 2019-05-07 | 2019-09-10 | 芯导精密(北京)设备有限公司 | 一种开盒机 |
| JP2019204821A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| JP2021061326A (ja) * | 2019-10-07 | 2021-04-15 | Tdk株式会社 | ロードポート装置、ロードポート装置の駆動方法 |
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| US6364593B1 (en) * | 2000-06-06 | 2002-04-02 | Brooks Automation | Material transport system |
| JP2002184831A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-28 | Hirata Corp | Ｆｏｕｐオープナ |
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| US11024527B2 (en) | 2005-06-18 | 2021-06-01 | Frederick A. Flitsch | Methods and apparatus for novel fabricators with Cleanspace |
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1998
- 1998-04-03 JP JP10091972A patent/JPH11288991A/ja active Pending
-
1999
- 1999-03-31 US US09/282,703 patent/US6186723B1/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
| US6186723B1 (en) | 2001-02-13 |
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| A02 | Decision of refusal |
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