JP4278699B1 - 密閉容器及び該密閉容器の蓋開閉システム、ウエハ搬送システム、及び密閉容器の蓋閉鎖方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポッドの蓋に対して外部から検出可能な検複数の出マークを配し、当該マークが所定位置に存在することにより、蓋がポッド本体に対して適切に固定されていることを知る。
【選択図】図4
Description
即ち、上記実施形態においては、吸着パッド115kによる蓋3の保持力が駆動シリンダ127bによるドッキングプレート123等を駆動させる駆動力よりも小さく設定される例を示しているが、これを大きく設定しても良い。その場合、ラッチ爪13aが爪受容孔2bに適切に挿入されておらず蓋3とポッド本体2とが再分離可能である時に、何れかの検出マーク13cがその位置を変えることが検知される。適正な状態にてラッチ爪13aが挿入されている場合には、蓋3がドア115aの保持により動けないことから、全ての検出マーク13cもその位置を変えないこととなる。
Claims (6)
- 平板形状を有する蓋と前記蓋により閉鎖される開口を一側面に有すると共に内部に被収容物を収容可能な本体とからなる密閉容器であって、
前記蓋は、外部からの操作によって前記平板形状から突出するラッチ爪を含むラッチ機構と、センサ光の投光及び受光により物体の有無を検知する所定のセンサの前記センサ光を反射可能であって前記ラッチ爪の先端部分に配置される検出マークと、を有し、
前記本体は前記蓋の前記平板形状から突出するラッチ爪を収容可能であって前記ラッチ爪が付勢された状態で係合することで前記蓋と前記本体との固定を為す爪受容孔と、前記ラッチ爪が前記爪受容孔に付勢されて係合した状態にある時に前記検出マークに対する前記センサ光の投光及び前記所定のセンサによる前記検出マークからの前記検出光からの受光を可能とする位置に配置された検知窓とを有することを特徴とする密閉容器。 - 前記検知窓は透明な遮蔽部材により開口部分が閉鎖されることを特徴とする請求項1に記載の密閉容器。
- 前記検知窓は、前記ラッチ爪の延在方向に対して垂直な方向に沿って前記本体に対して設けられることを特徴とする請求項1乃至2何れかに記載の密閉容器。
- 請求項1乃至3何れかに記載の密閉容器に対して前記蓋を開閉して前記密閉容器内部への前記被収容物の挿脱を可能とする蓋開閉システムであって、
開口部を有する微小空間と、
前記開口部を閉鎖する位置と開放する位置との間で移動可能であって、前記蓋を保持する蓋保持手段及び前記蓋の前記ラッチ機構を操作可能なラッチキーを有するドアと、
前記開口部に対して前記開口が正対するように前記密閉容器を載置可能であると共に、前記密閉容器と共に前記開口部に対して接近及び離間可能であって、接近時において前記蓋を取り外して前記被収容物を挿脱する位置に前記密閉容器を配置し、離間時において前記密閉容器のロード及びアンロードを行う位置に前記密閉容器を配置するドッキングプレートと、
前記ドッキングプレートの前記接近及び離間の動作を為すドッキングプレート駆動手段と、
前記検知窓を介して前記爪受容孔内へ前記センサ光を投光し且つ前記爪受容孔内からの前記センサ光を受光することにより、前記検出マークが前記爪受容孔内にあることを検知可能な前記所定のセンサと、を有することを特徴とする蓋開閉システム。 - 請求項1乃至3何れかに記載の密閉容器と、前記密閉容器に対して前記蓋を開閉して前記密閉容器内部への前記被収容物の挿脱を可能とする請求項4記載の蓋開閉システムと、を有し、前記被収容物はウエハであることを特徴とするウエハ搬送システム。
- 平板形状を有する蓋と前記蓋により閉鎖される開口を一側面に有すると共に内部に被収容物を収容可能な本体とからなる密閉容器に対して前記蓋を開閉して前記密閉容器内部への前記被収容物の挿脱を可能とする蓋開閉システムにおいて、前記蓋により前記開口を閉鎖する蓋閉鎖方法であって、
前記蓋は、外部からの操作によって前記平板形状から突出するラッチ爪を含むラッチ機構と、センサ光の投光及び受光により物体の有無を検知する所定のセンサの前記センサ光を反射可能であって前記ラッチ爪の先端部分に配置される検出マークと、を有し、
前記本体は、前記蓋の前記平板形状から突出した前記ラッチ爪を収容可能であって前記ラッチ爪が付勢状態で係合することで前記蓋と前記本体との固定を為す爪受容孔と、前記ラッチ爪が前記爪受容孔に付勢されて係合した状態にある時に前記検出マークに対する前記センサ光の投光及び前記所定のセンサによる前記検出マークからの前記検知光の受光を可能とする位置に配置された検知窓と、を有し、
前記蓋開閉システムは、
開口部を有する微小空間と、
前記開口部を閉鎖する位置と開放する位置との間で移動可能であって、前記蓋を保持する蓋保持手段及び前記ラッチ機構を操作可能なラッチキーを有するドアと、
前記開口部に対して前記開口が正対するように前記密閉容器を載置可能であると共に、前記密閉容器と共に前記開口部に対して接近及び離間可能であって、接近時において前記蓋を取り外して前記被収容物を挿脱する位置に前記密閉容器を配置し、離間時において前記密閉容器のロード及びアンロードを行う位置に前記密閉容器を配置するドッキングプレートと、
前記ドッキングプレートの前記接近及び離間の動作を為すドッキングプレート駆動手段と、
前記検知窓を介して前記爪受容孔内へ前記センサ光を投光し且つ前記爪受容孔内からの前記センサ光を受光することにより、前記検出マークが前記爪受容孔内にあることを検知可能な前記所定のセンサと、を有し、
前記ドアにより前記開口を閉鎖する位置に前記蓋を取り付け、
前記ラッチキーにより前記ラッチ機構を操作して前記ラッチ爪を前記爪受容孔に挿入して前記蓋と前記密閉容器との固定を図り、
前記所定のセンサにより前記検出マークが所定位置に存在することを確認し、
前記ドアによる前記蓋の保持を維持したまま前記ドッキングプレートを前記接近時の位置から移動するように前記ドッキングプレート駆動手段を動作させ、
前記ドッキングプレート駆動手段の動作に伴う前記ドッキングプレートの変位及び前記検出マークの前記爪受容孔内の所定位置からの移動を検知し、
前記変位の検知結果及び前記検出マークの移動の有無についての検知結果に基づいて前記蓋と前記密閉容器との固定状態の適否を判定する工程を有することを特徴とする密閉容器の蓋閉鎖方法。
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