JP4275183B1 - 密閉容器の蓋閉鎖方法及び密閉容器の蓋開閉システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポッドに対して蓋を固定するステップの後、FIMSシステムにおけるドアが蓋を保持した状態を維持したまま一旦ポッドをアンロード位置に向けて移動させる。ポッドが変位した場合には蓋の固定は不適切であると判定し、ポッドが変位しない場合には蓋の固定が適切であると判定する。
【選択図】図5
Description
Claims (6)
- 蓋と前記蓋により閉鎖される開口を一側面に有すると共に内部に被収容物を収容可能な密閉容器に対して前記蓋を開閉して前記密閉容器内部への前記被収容物の挿脱を可能とする蓋開閉システムにおいて、前記蓋により前記開口を閉鎖する蓋閉鎖方法であって、
前記蓋及び前記密閉容器は前記蓋或いは前記密閉容器の外部からの操作によって前記蓋を前記密閉容器に対して固定する係合手段を有し、
前記蓋開閉システムは、
第一の開口部を有する微小空間と、
前記第一の開口部を閉鎖する位置と開放する位置との間で移動可能であって、前記蓋を保持する蓋保持手段を有するドアと、
前記第一の開口部に対して前記開口が正対するように前記密閉容器を載置可能であると共に、前記密閉容器と共に前記第一の開口部に対して接近及び離間可能であって、接近時において前記蓋を取り外して前記被収容物を挿脱する位置に前記密閉容器を配置し、離間時において前記密閉容器のロード及びアンロードを行う位置に前記密閉容器を配置するドッキングプレートと、
前記ドッキングプレートの前記接近及び離間の動作を為すドッキングプレート駆動手段と、を有し、
前記ドアにより前記開口を閉鎖する位置に前記蓋を取り付け、
前記係合手段を動作させて前記蓋と前記密閉容器との固定を図り、
前記ドアによる前記蓋の保持を維持したまま前記ドッキングプレートを前記接近時の位置から移動するように前記ドッキングプレート駆動手段を動作させ、
前記ドッキングプレート駆動手段の動作に伴う前記ドッキングプレートの変位を検知し、
前記変位の検知結果に基づいて前記蓋と前記密閉容器との固定状態の適否を判定する工程を有することを特徴とする密閉容器の蓋閉鎖方法。 - 前記検知結果によって前記蓋と前記密閉容器との固定状態が適当であると判断された場合には、前記ドッキングプレート駆動手段の動作により前記ドッキングプレートに対して加えられている負荷を解除し、その後前記ドアによる前記蓋の保持を解除することを特徴とする請求項1に記載の密閉容器の蓋閉鎖方法。
- 前記ドッキングプレートの変位は、前記ドッキングプレートが前記接近時の位置にあることを判定するセンサ、或いは前記挿脱位置から所定距離変位したことを判定するセンサのいずれかから得られる信号に基づいて検知されることを特徴とする請求項1に記載の密閉容器の蓋閉鎖方法。
- 前記ドッキングプレート駆動手段はサーボ方式の駆動手段を有し、前記ドッキングプレートの変位は前記サーボ方式の駆動手段が有するエンコーダを用いて検知することを特徴とする請求項1に記載の蓋閉鎖方法。
- 蓋と前記蓋により閉鎖される開口を一側面に有すると共に内部に被収容物を収容可能な密閉容器に対して前記蓋を開閉して前記密閉容器内部への前記被収容物の挿脱を可能とする蓋開閉システムであって、
前記蓋及び前記密閉容器は前記蓋或いは前記密閉容器の外部からの操作によって前記蓋を前記密閉容器に対して固定する係合手段を有し、
前記蓋開閉システムは、
第一の開口部を有する微小空間と、
前記第一の開口部を閉鎖する位置と開放する位置との間で移動可能であって、前記蓋を保持する蓋保持手段を有するドアと、
前記第一の開口部に対して前記開口が正対するように前記密閉容器を載置可能であると共に、前記密閉容器と共に前記第一の開口部に対して接近及び離間可能であって、接近時において前記蓋を取り外して前記被収容物を挿脱する位置に前記密閉容器を配置し、離間時において前記密閉容器のロード及びアンロードを行う位置に前記密閉容器を配置するドッキングプレートと、
前記ドッキングプレートの前記接近及び離間の動作を為すドッキングプレート駆動手段と、
前記ドッキングプレートが前記接近時の位置から変位したことを検知する変位検知手段と、
前記係合手段によって前記密閉容器に固定された前記蓋に対する前記ドアの保持を維持したまま、前記ドッキングプレート駆動手段による前記ドッキングプレートの離間動作を実施させ、その際に前記変位検知手段から得られる前記ドッキングプレートの変位の有無に関する信号に基づいて前記蓋と前記密閉容器との固定状態の適否を判断する制御装置と、を有することを特徴とする密閉容器の蓋開閉システム。 - 前記ドッキングプレート駆動手段が前記ドッキングプレートを変位させるために前記ドッキングプレートに加える負荷は、前記ドアが前記蓋を保持する際の保持力よりも小さいことを特徴とする請求項5に記載の密閉容器の蓋開閉システム。
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JP2008039624A JP4275183B1 (ja) | 2008-02-21 | 2008-02-21 | 密閉容器の蓋閉鎖方法及び密閉容器の蓋開閉システム |
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JP2008039624A JP4275183B1 (ja) | 2008-02-21 | 2008-02-21 | 密閉容器の蓋閉鎖方法及び密閉容器の蓋開閉システム |
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