JP5518513B2 - フープオープナ及びその動作方法 - Google Patents

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Description

本発明は、半導体製造装置などで用いられる半導体ウェハ搬送用の容器（FOUP）の蓋（フープドア）の開閉に用いられるフープオープナ及びその動作方法に関する。
半導体製造装置では、通常、搬送対象の半導体ウェハ（以下、単にウェハ）をフープあるいはカセットなどと称される搬送用の容器に収納した状態で自動搬送している。このような装置では、搬送中の容器内から半導体ウェハが落下することを防止するための機構や機能を付すことが検討されている。
例えば、半導体ウェハの落下を防止しようとする装置として次のような天井走行車がある（特許文献１参照）。
当該天井走行車は、走行レールに沿って走行するものであって、搬送物品である容器を保持して昇降させる昇降ユニットと、保持された容器の蓋の落下を防止する落下防止部材とを備え、当該落下防止部材として上部フレーム及び下部フレームを備えるものを用い、当該下部フレームが上部フレームに対して上向きに移動可能に設置されており、さらに下部フレームに光電センサの発光端もしくは受光端を設けている。そして、このような構成にすることによって、容器を上昇させる際に蓋の異常を検出し、蓋の落下を防止しようとしている。
特開２００８−１００６３５号公報
ところで、上記の従来の天井走行装置では、搬送物品である容器の搬送を開始させなければ、蓋の異常を検出することができない。
ところが、半導体ウェハの落下をできるだけ確実に防止するためには、蓋が正常に閉じられた状態であるか否かをできるだけ早期に検知することが好ましい。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、容器の蓋の閉状態の異常を迅速且つ確実に検知することができるようにすることを課題としている。
本願発明は、半導体処理装置内のウェハ転送空間と外部空間とを仕切るポートプレートと、当該ポートプレートに形成されたウェハ搬入出用の開口窓に着脱可能に装着されるポートドアと、当該ポートドアを、前記開口窓が閉状態になる窓閉位置と半導体ウェハの搬入出が可能な開状態になる窓開位置との間で移動させるポートドア移動機構と、前記外部空間における半導体ウェハの搬送に用いられるフープを、当該フープのフープ本体の開口部に着脱可能に装着されたフープドアの外面とポートプレートの開口窓に装着された前記ポートドアの外面とが当接する状態になるフープドア着脱位置に位置決めするドックユニットとを備えていると共に、前記ポートドアには、当該ポートドアに当接している前記フープドアを保持することができるフープドア保持部材と、前記フープ本体の開口部に装着された状態の前記フープドアを前記フープ本体に固定すると共に固定を解除するためのフープドア固定機構とが設置されているフープオープナであって、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体に固定された前記フープドアが前記フープ本体の開口部に装着されているか否かを検知するフープドア検知センサを備え、前記フープドア検知センサは、前記ポートプレートに設置されると共に、投光手段及び受光手段を備えるものであり、当該投光手段から投射された光線の前記受光手段へと到る光路が、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体のポートプレート側端面と、前記ポートプレートの外部空間側の面との間を通過するよう、前記ポートプレートの前記外部空間側の面に前記投光手段及び前記受光手段を設けたことを特徴とするフープオープナである。
別の本願発明は、半導体処理装置内のウェハ転送空間と外部空間とを仕切るポートプレートと、当該ポートプレートに形成されたウェハ搬入出用の開口窓に着脱可能に装着されるポートドアと、当該ポートドアを、前記開口窓が閉状態になる窓閉位置と半導体ウェハの搬入出が可能な開状態になる窓開位置との間で移動させるポートドア移動機構と、前記外部空間における半導体ウェハの搬送に用いられるフープを、当該フープのフープ本体の開口部に着脱可能に装着されたフープドアの外面とポートプレートの開口窓に装着された前記ポートドアの外面とが当接する状態になるフープドア着脱位置に位置決めするドックユニットとを備えていると共に、前記ポートドアには、当該ポートドアに当接している前記フープドアを保持することができるフープドア保持部材と、前記フープ本体の開口部に装着された状態の前記フープドアを前記フープ本体に固定すると共に固定を解除するためのフープドア固定機構とが設置されているフープオープナであって、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体に固定された前記フープドアが前記フープ本体の開口部に装着されているか否かを検知するフープドア検知センサを備え、前記ポートプレートは、ポートプレート外面と前記開口窓との境界部に少なくとも２つの窪み部を備え、前記フープドア検知センサは、前記ポートプレートに設置されると共に、投光手段及び受光手段を備えるものであり、当該投光手段から投射された光線の前記受光手段へと到る光路が、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体のポートプレート側端面と、前記ポートプレートの外部空間側の面との間を通過するよう、前記窪み部に前記投光手段及び前記受光手段を設けたことを特徴とするフープオープナである。
これらの発明の前記投光部及び受光部は、前記光路が前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体の前記ポートプレート側端面と平行になるように設置されている。
また、別の本願発明は、半導体処理装置内のウェハ転送空間と外部空間とを仕切るポートプレートに形成されたウェハ搬入出用の開口窓にポートドアが着脱可能に装着されるようになっており、前記外部空間での半導体ウェハ搬送に用いられるフープが載置されるドックユニットを備えており、当該ドックユニットは、前記フープのフープ本体の開口部に着脱可能に装着されたフープドアの外面と前記ポートプレートの開口窓に装着されたポートドアの外面とが当接するフープドア着脱位置に前記フープを位置決めするものであり、前記ポートドアに、前記フープドアを着脱するためのフープドア固定部材と、取り外されたフープドアを保持するフープドア保持部材とが設置されているフープオープナの動作方法であって、前記半導体処理装置で処理された処理済みの半導体ウェハを前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体内に搬入し、前記開口窓を前記ポートドアで閉塞すると共に前記フープ本体の開口部に前記フープドアを装着し、装着された当該フープドアを前記フープ本体に固定し、当該フープドアの前記ポートドアによる保持を解除した後、前記ドックユニットから前記フープを搬出するようになっている動作方法において、フープドア保持解除後、フープ搬出前に、前記ポートプレートの開口窓を閉塞した状態の前記ポートドアを、前記フープドアから離れる方向に後退移動させて、前記フープドアの保持解除位置から、所定の距離だけ離れた退避位置まで移動させるポートドア退避工程と、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープの前記フープドアが、前記フープ本体のポートドア側端面の外側に突出しているか否かをセンサで検知するフープドア検知工程と、退避移動された前記ポートドアを、再び前記フープドアと接触する位置まで移動させて、当該ポートドアで前記開口窓を再度閉塞するポートドア復帰工程と、を有し、前記センサは、前記ポートプレートに設置されると共に、投光手段及び受光手段を備えるものであり、当該投光手段から投射された光線の前記受光手段へと到る光路が、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体のポートプレート側端面と、前記ポートプレートの外部空間側の面との間を通過するよう、前記ポートプレートの前記外部空間側の面に前記投光手段及び前記受光手段を設けたことを特徴とするフープオープナ動作方法である。
さらに別の本願発明は、半導体処理装置内のウェハ転送空間と外部空間とを仕切るポートプレートに形成されたウェハ搬入出用の開口窓にポートドアが着脱可能に装着されるようになっており、前記外部空間での半導体ウェハ搬送に用いられるフープが載置されるドックユニットを備えており、当該ドックユニットは、前記フープのフープ本体の開口部に着脱可能に装着されたフープドアの外面と前記ポートプレートの開口窓に装着されたポートドアの外面とが当接するフープドア着脱位置に前記フープを位置決めするものであり、前記ポートドアに、前記フープドアを着脱するためのフープドア固定部材と、取り外されたフープドアを保持するフープドア保持部材とが設置されているフープオープナの動作方法であって、前記半導体処理装置で処理された処理済みの半導体ウェハを前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体内に搬入し、前記開口窓を前記ポートドアで閉塞すると共に前記フープ本体の開口部に前記フープドアを装着し、装着された当該フープドアを前記フープ本体に固定し、当該フープドアの前記ポートドアによる保持を解除した後、前記ドックユニットから前記フープを搬出するようになっている動作方法において、フープドア保持解除後、フープ搬出前に、前記ポートプレートの開口窓を閉塞した状態の前記ポートドアを、前記フープドアから離れる方向に後退移動させて、前記フープドアの保持解除位置から、所定の距離だけ離れた退避位置まで移動させるポートドア退避工程と、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープの前記フープドアが、前記フープ本体のポートドア側端面の外側に突出しているか否かをセンサで検知するフープドア検知工程と、退避移動された前記ポートドアを、再び前記フープドアと接触する位置まで移動させて、当該ポートドアで前記開口窓を再度閉塞するポートドア復帰工程と、を有し、前記ポートプレートは、ポートプレート外面と前記開口窓との境界部に少なくとも２つの窪み部を備え、前記センサは、前記ポートプレートに設置されると共に、投光手段及び受光手段を備えるものであり、当該投光手段から投射された光線の前記受光手段へと到る光路が、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体のポートプレート側端面と、前記ポートプレートの外部空間側の面との間を通過するよう、前記窪み部に前記投光手段及び前記受光手段を設けたことを特徴とするフープオープナ動作方法である。
これらの発明の前記フープドア検知工程は、前記センサの投光手段から投射された光線を受光手段で受光することができるか否かに基づいて、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体に固定された前記フープドアが前記ポートプレート外面と面一の面から前記ウェハ転送空間側に突出しているか否かを検知する工程である。
また、前記ポートドア退避工程は、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体の開口部に前記フープドアが固定された状態で前記フープドア保持部材を作動させることで前記ポートドアによる前記フープドアの保持を解除した後、前記投光手段から投射される光線の光路を遮らない位置に前記ポートドアを退避移動させるものである。
また、前記フープドア検知工程において、前記フープドアが前記フープ本体に対して不正常に固定されていると検知されたとき、前記ポートドア復帰工程の後にフープオープナの動作を停止させ、その後、前記フープ本体の所定位置に前記フープドアを正常に取り付ける正常取り付け工程を、さらに備えてもよい。
本願発明によれば、フープドア検知センサによって、フープドア着脱位置に位置するフープ本体に装着されたフープドアの飛び出しや傾きを検知し、フープ本体にフープドアが正しく固定されているか否かを検出することができる。つまり、フープ本体をフープドア着脱位置から搬出する動作を開始する前に、フープドアがフープ本体に正しい状態、姿勢で固定されているか否かを迅速かつ確実に検知することができる。
また、フープドア検知センサの投光手段及び受光手段を、投光手段からの光線の光路が開口窓の内周面に囲まれる窓空間のみを通過して受光手段に達するように配置したので、光線が他の部材から遮られることはなく、上記検知をより確実に行うことができる。
また、投光手段及び受光手段を、ポートプレートの開口窓の空間内であって、外部空間に面するポートプレート外壁面の位置からウェハ転送空間側に向かって所定距離の位置までの範囲の空間内に光路が形成される位置に設置したので、フープドアがフープ本体の所定の固定位置に正常に固定されていれば投光手段から投射された光線を受光手段で確実に受光することができ、しかも正常な固定位置でなければ投光手段から投射された光線がフープドアによって確実に遮られるので、より確実にフープドアが所定の固定位置に正常に固定されているか否かを検知することができる。
また、フープドア検知センサの投光手段から投射された光線の受光手段へと到る光路が、フープドア着脱位置に位置するフープ本体のポートプレート側端面と、ポートプレートの外部空間側の面との間を通過するよう、ポートプレートの外部空間側の面に投光手段及び受光手段を設けることによっても、確実にフープドアが所定の固定位置に正常に固定されているか否かを検知することができる。
また、ポートプレートの外部空間側の面と開口窓との境界部に窪み部をそれぞれ設け、一方の窪み部に投光手段を配置して投光部とし、他方の窪み部に受光手段を配置して受光部とすれば、フープドアの開閉が妨げられることがない。
また、投光手段からの投射された光線の光路と、フープドア着脱位置に位置するフープ本体のポートプレート側端面とが平行になるようにフープドア検知センサの投光手段及び受光手段を設置したので、フープドアがフープ本体の所定の固定位置に正常に固定されなかった場合、当該センサによって、フープドアがフープ本体のポートプレート側端面からフープ本体の外側に突出しているか否かをより容易且つ確実に検出することができる。
別の本願発明によれば、フープドア保持解除後、フープ搬出前に、ポートプレートの開口窓を閉塞した状態のポートドアを、フープドアから離れる方向に後退移動させて、フープドアの保持解除位置から、所定の距離だけ離れた退避位置まで移動させるポートドア退避工程と、フープドア着脱位置に位置するフープのフープドアが、フープ本体のポートドア側端面の外側に突出しているか否かをセンサで検知するフープドア検知工程と、退避移動されたポートドアを、再びフープドアと接触する位置まで移動させて、当該ポートドアで開口窓を再度閉塞するポートドア復帰工程と、を有するので、フープドアがフープ本体の所定の固定位置に正常に固定されているか否かを迅速かつ正確に検知することができる。
また、フープドア検知工程は、センサの投光手段から投射された光線を受光手段で受光することができるか否かに基づいて、フープドア着脱位置に位置するフープ本体に固定されたフープドアがポートプレート外面と面一の面からウェハ転送空間側に突出しているか否かを検知する工程であるので、上記検知をより正確に検知することができる。
また、ポートドア退避工程は、フープドア着脱位置に位置するフープ本体の開口部にフープドアが固定された状態でフープドア保持部材を作動させることでポートドアによるフープドアの保持を解除した後、投光手段から投射される光線の光路を遮らない位置にポートドアを退避移動させるものであるので、フープをフープドア着脱位置に位置させた状態で、フープドアの固定位置が正常であるか否かを検知することができる。このように、フープの移動を開始させる前に、フープドアの固定状態を検知することができれば、フープドアの脱落、延いてはウェハの飛び出しなどの不具合を確実に防止することができる。
本願発明の実施例のフープオープナであって、ポートドアが開放位置に位置している状態を示す側面断面図である。 図２（Ａ）は図１のフープオープナの、ポートドアにおける開口窓周辺の正面図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＡ−Ａ線断面矢視図である。 図１のフープオープナのコントローラを示すブロック図である。 図１のフープオープナの動作を説明するための説明図であり、（Ａ）は、フープがアンドック位置に位置する状態を示し、（Ｂ）は、フープがフープドア着脱位置に位置する状態を示し、（Ｃ）はフープドアを保持しているポートドアが後退位置に後退した状態を示し、（Ｄ）は、フープドアを保持しているポートドアが下降位置に位置する状態を示すもののである。 フープドアを保持していない状態のポートドアが退避位置に位置している状態を示す説明図である。 （Ａ）は、フープドアがフープ本体に対して固定位置に正常に装着された状態を示す図６のＢ−Ｂ断面の断面図であり、（Ｂ）は、フープドアがフープ本体に対して不正常に装着された状態の一例を示す図６のＢ−Ｂ断面の断面図である。 図１のフープオープナのドックユニットに搬入出されるフープのフープドアを示す正面図である。 （Ａ）は、フープ本体及びフープに形成したフープドア固定部材を示す図１０のＣ−Ｃ断面の断面図であり、（Ｂ）は、フープドアがフープ本体に対して不正常に装着された状態の一例を示す図１０のＣ−Ｃ断面の断面図である。
10…フープ、20…フープ本体、21…開口部、22〜25…凹部、
30…フープドア、30a…フープドア外面、
31…外周面、32〜35…ラッチバー（フープドア固定部材）、
32a〜35a…ラック部、32b〜35b…ラッチバーの先端凸部、
36a,36b…ギア、36c…係合穴、40…ポートプレート、40a…ポートプレート外面、
41…開口窓、41a…窪み部、42…ポートドア、42a…ポートドア外面、
43…吸盤機構（フープドア保持部材）、44…ロック機構（フープドア固定機構）、
45…ウェハ検知センサ、45a…ウェハ検知投光部、45b…ウェハ検知受光部、
50…ポートドア移動機構、51…ポートドア昇降機構部、
52…ポートドア進退機構部、53…ポートドア保持部、
60…ドックユニット、61…ドック本体、62…シリンダ（ドックプレート移動機構）、
63…ドックプレート、70…コントローラ、
80…第１フープドア検知センサ、81…第１フープドア検知投光部（投光手段）、
82…第１フープドア検知受光部（受光手段）、
90…第２フープドア検知センサ、91…第１フープドア検知投光部（投光手段）、
92…第１フープドア検知受光部（受光手段）、
Ｄ…フープドア着脱方向、Ｌ…光路、
Ｍ…フープオープナ、S1…ウェハ転送空間、S2…外部空間、Ｗ…ウェハ
以下、本発明に係るフープオープナの実施形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。
フープオープナＭ（図１参照）は、半導体製造装置等のウェハＷを扱う装置においてウェハ搬送に用いられるフープ10のフープ本体20に対してフープドア30を開閉し、フープ内のウェハＷの搬入出を可能にする装置である。
図１に示すように、フープオープナＭは、半導体製造装置（基板処理装置）内のウェハ転送空間（図１のポートプレート40の右側空間）S1と外部空間（図１のポートプレート40の左側空間）S2とを仕切るポートプレート40と、ポートプレート40に隣接してウェハ転送空間S1に設置されたポートドア移動機構50と、ポートプレート40に隣接して外部空間S2に設置されたドックユニット60と、これらの動作を制御するコントローラ70（図３参照）とを備えている。
フープ10は、外部空間S2でのウェハ搬送に用いられる容器であり、複数のウェハＷが水平に載置された状態で収納されるフープ本体20と、当該フープ本体20の一側に形成された開口部21に着脱可能に装着される蓋体としてのフープドア30とで構成されている。
図７に示すように、フープ本体20は、装着されるフープドア30の固定に用いられる凹部22〜25を開口部21の内周面に備えている。より詳細には、凹部22〜25は、開口部21の内周面のうちの上面部に２箇所、そして下面部に２箇所、形成されている。なお、内周面とは、フープ本体20にフープドア30が装着されたときに、当該フープドア30の外周面31と対面するフープ本体内側面のことである。
フープドア30は、フープ本体20の凹部22〜25に係脱可能であるラッチバー32〜35（フープドア固定部材）を備えている。ラッチバー32〜35は、各凹部22〜25に対応して４つ設置されている。各ラッチバー32〜35は、垂直方向に延在し、凹部22〜25と係合するフープドア固定ポジションと、凹部22〜25との係合が解除されたフープドア固定解除ポジションとの間で、上下動可能な状態で設置されている。なお、ラッチバー32〜35の移動方向は、上下方向すなわちフープドア着脱方向Ｄ（図１参照）に直交する方向であり、ポートプレート40（ポートプレート外面40a、図４（ａ）参照）の延在方向と平行な方向である。
各ラッチバー32〜35は、フープドア中央寄りに位置する根元部の一側面にラック部32a〜35aを備えている。そして、ラック部32a〜35aは、フープドア30に設置されたギア36a,36bと噛み合い状態で配置される。従って、このギア36a,36bを回転させると、ラッチバー32〜35がフープドア30の周縁から出没するように上下動し、上記各ポジションに移動させることができる。つまり、ラック部32a〜35a及びギア36a,36bで構成される機構によってラッチバー32〜35を動作させるフープドア固定機構が構成されている。
また、各ラッチバー32〜35は、その先端に、フープ本体の凹部22〜25と係合する凸部32b〜35bを備えている。この凸部32b〜35bは、面取り加工を施してもよい。
ポートプレート40は、図２（Ａ）に示すように、貫通した略四角形の開口窓41を備えている。従って、開口窓41が開状態になるとウェハ転送空間S1と外部空間S2とが連通状態になる。そして、開口窓41には、平面視略四角形のポートドア42が着脱可能に装着できるようになっている。そして、このポートドア42が開口窓41に装着されると、開口窓41は閉塞状態になり、ウェハ転送空間S1と外部空間S2とに分離される。
なお、ポートプレート40の開口窓41の位置に設置されているウェハ検知センサ45a,45b（図２参照）やフープドア検知センサ80,90（図２参照）については、後述する。
ポートドア42は、ポートドア移動機構50によって支持されている。これにより、ポートドア42は、開口窓41が開放状態になる窓開位置（＝下降位置、図４（Ｄ）参照）と、当該窓開位置から上昇した中間位置（＝上昇位置又は後退位置）（図４（Ｃ）参照）との間で昇降可能になっており、当該中間位置と、開口窓が閉状態になる窓閉位置（＝前進位置、図４（Ｂ）参照）との間で進退可能になっている。つまり、ポートドア42は、窓開位置と窓閉位置との間で移動可能である。なお、本実施形態の装置では、ポートドア42が窓閉位置に位置しているとき、ポートドア42の外側空間S2側に位置するポートドア外面42a（図４（Ａ）参照）は、ポートプレート外面40aよりも若干（1mm程度）外側空間S2に突き出た位置に位置している。
ポートドア42が窓開位置のとき、ポートドア42は、その全体が開口窓41の下方に位置する状態になるので、外部空間側に位置するフープ10（フープ本体20）の内部空間がウェハ転送空間S1に臨む状態となり、ウェハＷの搬入出が可能である。他方、ポートドア42が窓閉位置のとき、開口窓41は閉状態であり、フープ10の内部空間とウェハ転送空間S1とは遮断された状態である。
ポートドア42には、フープドア30を吸着、保持するための吸着機構43（フープドア保持部材）と、フープ本体20に装着されたフープドア30をフープ本体20に固定し、あるいは固定を解除するロック機構44（ラッチキー、フープドア固定機構）とが設置されている。
吸着機構43は、図示しない吸着部材（吸盤）及びその吸着部材に接続される吸引手段を備える。吸着部材は、フープドア30がポートドア42に当接されたとき、その吸着面がフープドア30に当接される位置に設置される。そして、この当接状態のときに吸引手段を作動させることで、フープドア30が吸着部材に吸着、保持される。
ロック機構44は、ポートドア42に当接状態のフープドア30のギア36a,36bに形成された係合穴36cに係合するラッチキー（図示せず）を備えている。ラッチキーは、ポートドア42にフープドア30が当接した状態とのきに、係合穴36cに挿入され、係合される。このラッチキーがギアの係合穴36cに係合された状態で回動されるとギア36a,36bが回転し、ラッチバー32〜35が、上下動されてフープドア固定ポジションやフープドア固定解除ポジションに位置付けられる。
ポートドア移動機構50は、ポートドア昇降機構部51と、当該ポートドア昇降機構部51に設置されたポートドア進退機構部52と、当該ポートドア進退機構部52に設置されたポートドア保持部53とを備えている。
ポートドア昇降機構部51は、ポートドア進退機構部52を昇降移動させるものであり、図１や図４（Ｄ）に示す下降位置と、図４（Ｃ）に示す上昇位置との間で昇降可能である。また、ポートドア進退機構部52は、ポートドア保持部53に保持されたポートドア42を進退移動させるものであり、図４（Ｃ）に示す後退位置と、図４(Ｂ)に示す前進位置(=窓閉位置）との間で進退移動可能である。従って、ポートドア42は、上述したような移動が可能である。
ドックユニット60は、ウェハ搬送容器としてのフープ10の載置先である。このドックユニット60は、ポートプレート40に対して固定されたドック本体61と、ドック本体61に設置されたシリンダ（ドックプレート移動機構）62と、当該シリンダ62によって移動されるドックプレート63とを備えている。
ドックプレート63は、載置されたフープ10を当該ドックプレート63に対して位置決めされた状態で保持するものである。このドックプレート63は、これに連結されたシリンダ62によって、ポートプレート40に対して近接離間移動可能になっている。そして、ドックプレート63上にフープ10が載置された状態で、当該ドックプレート63をポートプレート40側に前進移動させると、フープ10がフープドア着脱位置（図１や図４（Ｂ）参照）に位置決めされる。このフープドア着脱位置とは、フープ10からウェハＷが搬出入される位置のことである。より具体的には、フープドア着脱位置とは、前進移動されたフープ10に固定された状態のフープドア30が窓閉位置のポートドア42に当接する位置のことである。他方、ドックプレート63をポートプレート40から離れた後退限度位置に移動させると、フープ10がドックユニット60に対してロード（又はアンロード（図４(Ａ)参照））されるフープ搬入出位置となる。フープ10は、図示しない搬送装置などで、フープ搬入出位置のドックプレート63上に載置され、また、フープ搬入出位置のドックプレート63上から搬出される。なお、ドックプレート63を上記の各位置に移動させるために用いられるシリンダ62は、周知の機構であるので、ここではその詳細な説明を省略する。
そして、図２に示すように、ポートプレート40の開口窓41には、ウェハ検知センサ45とフープドア検知センサ80が設置されている。
ウェハ検知センサ45は、フープ本体20内に収納されたウェハＷの開口部21からの飛び出しを検知するものである。ウェハ検知センサ45は、開口窓41の内周面のうちの上面（若しくは下面）と外部空間S2に面するポートプレート外面40aとの境界部又はその近傍に設置されたウェハ検知投光体を有するウェハ検知投光部45a及びウェハ検知受光体を有するウェハ検知受光部45bとを備えている。ウェハ検知投光部45a及びウェハ検知受光部45bは対向して配置され、ウェハ検知投光部45aの投光体から投射された検知用の光線は、垂直下方に進んで受光部45bの受光体によって受光される。ウェハ検知投光部45aからウェハ検知受光部45bへの検知用光線の光路は、垂直方向、水平方向、斜め方向のいずれであってもよい。
ウェハ検知投光部45aは、より正確には、開口窓41の内周部における上面の中央位置と、ポートプレート40の外部空間側の面との境界部に設置されている。当該位置のウェハ検知投光部45aから投射された光線の光路は、フープドア着脱位置のフープ本体20に収納されたウェハＷが開口部から飛び出すとき、その飛び出し量が最も大きくなる位置を通過する。従って、ウェハ検知投光部45a及びウェハ検知受光部45bを上記位置に設置すると、より正確かつ迅速にウェハＷの飛び出しを検知することができる。
フープドア検知センサ80,90は、フープドア着脱位置に位置するフープ本体20の開口部21に固定されたフープドア30が、フープ本体20の所定の固定位置に正常に固定されているか否かを検知するものである。フープドア検知センサ80,90は、本実施形態では、２つ設置されている。
第１フープドア検知センサ80は、開口窓41の内周面のうちの上面（若しくは下面）と外部空間S2に面するポートプレート外面40aとの境界部又はその近傍に設置された第１フープドア検知投光体を有する第１フープドア検知投光部81（投光手段）と、第１フープドア検知受光体を有する第１フープドア検知受光部82（受光手段）とを備えている。第１フープドア検知投光部81と第１フープドア検知受光部82とは対向した状態で配置される。第１フープドア検知投光部81の投光体から投射された検知用の光線は、垂直下方に進んで第１フープドア検知受光部82の受光体によって受光されるものであり、光線の光路Ｌ（図８参照）は、フープドア着脱方向Ｄ（図１参照）に直交する方向であり、ポートプレート外面40aと平行の方向である。つまり、第１フープドア検知投光体81から投射された光線は、途中に障害物がなければ、ポートプレート40の開口窓内の空間（窓空間）を通過して、第１フープドア検知受光部82に受光される。このような状態になるように設置された第１フープドア検知センサ80は、フープドア着脱位置に位置するフープ本体20に固定されたフープドア30の少なくとも一部が、ポートプレート外面40aと面一の面からウェハ転送空間側に突出しているか否かを検知することができる。なお、上記開口窓内の空間（以下、窓空間）は、より正確には、ウェハ転送空間S1に面するポートプレート40の内壁面と面一の面と、外部空間S2に面するポートプレート外面40aと面一の面と、開口窓41の内周面とに囲まれた空間のことである。
第１フープドア検知投光部81は、図２（Ａ）に示すように、開口窓41の内周部における上面の、前述したウェハ検知投光部45aよりも左方の位置に設けられる。第１フープドア検知投光部81としては、発光素子、例えば発光ダイオード、レーザダイオードなどが挙げられる。
さらに、第１フープドア検知センサ80の設置位置は、開口窓41の内周面のうちの上面（若しくは下面）と、外部空間S2に面したポートプレート外面40aとの各境界部又はその近傍に限定されるものではない。本実施形態では、第１フープドア検知センサ80の第１フープドア検知投光部81（及び受光部82）は、その光路Ｌが次に説明する範囲内に形成されるように設置されている。その範囲とは、ポートプレート40の開口窓41の空間内であって、外部空間S2に面するポートプレート外壁面の位置からウェハ転送空間S1側に向かって所定距離の位置までの範囲の空間のことである。ここでいう所定距離とは、種々の距離が考えられるが、例えば、ラッチバー32〜35で係合されないドアずれ量（フープドアずれ量）に対応する距離のことであり、別言すれば、フープドア固定動作時に凸部32b〜35bが凹部22〜25に係合されない時のフープドア30のフープ移動方向へのフープ本体20の開口端面からの突出距離W2（図８（Ｂ）参照）のうち最小距離（以下、最小突出量）のことである。上記フープドアの最小突出量は、例えば３００ｍｍウェハ対応フープのフープドアでは、平均３〜５ｍｍ程度の距離である。その他サイズのフープについては適宜設定される。
なお、第１フープドア検知センサ80の設置位置は、開口窓41の内周部に限定するものではなく、投光部から出射された光線が受光部へと到る光路Ｌが、フープドア着脱位置に位置するフープ本体20のポートプレート側端面と、ポートプレート40の外部空間側の面との間を通過するよう、ポートプレート40の外部空間S2側の面に設けてもよい。
また、第１フープドア検知投光部81から発光、出射された光線の光路Ｌは、フープドア30がフープ本体20に対して所定の正常固定位置に固定されていない場合に、フープ本体開口端からのフープドア30の飛び出しが明確に現れる位置を通過している。別言すれば、第１フープドア検知センサ80の第１フープドア検知投光部81は、フープドア着脱位置に位置しているフープ本体20に対してフープドア30が正常固定位置に固定されていないときには当該フープドア30によって光路Ｌが遮られる位置に設置されている。従って、上記位置に設置された第１フープドア検知投光部81及び第１フープドア検知受光部82で構成される第１フープドア検知センサ80を用いれば、不正常に固定されたフープドア30の傾きや飛び出しを、より迅速かつ確実に検知することができる。
さらに、第１フープドア検知投光部81から発光、出射された光線の光路Ｌは、フープドア着脱位置に位置するフープ本体20のポートプレート側端面と平行になっている。このような設置状態にすると、フープドア30が不正常な状態で固定されたときに、フープドア検知センサ80によって、フープ本体20の開口部端面からのフープドア30の飛び出しが大きい位置をより確実に検知対象位置とすることができ、フープドア30の不正常な固定状態を迅速且つ確実に検知することができる。
このような第１フープドア検知センサ80があれば、フープドア30が図８（Ａ）に示す所定の固定位置（上側凹部22及び下側凹部24内）に正常に固定されず、図８（Ｂ）に示す不正常な位置（上側凹部22よりも手前側（ポートプレート40側）の位置）に固定された場合に、迅速かつ確実に、不正常なフープドア固定状態を検知することができる。
なお、フープドア30について、正常固定位置とは、フープドア30をフープ本体20に装着して固定したときに、ラッチバー32〜35の先端の凸部32d〜35dがフープ本体20の凹部22〜25に係合する状態になっているときのフープドア30の固定位置であり、これ以外の状態で固定されているフープドア30の固定位置は、正常固定位置ではなく、いわば不正常固定位置である。そして、フープドア30は、正常固定位置に固定されているときには、フープ本体20の開口部21の端面の外側に飛び出した部分がない状態になっており、不正常固定位置に固定されているときには、一部がフープ本体20の開口部21の端面の外側に飛び出した状態になっている。
また、第２フープドア検知センサ90は、第１フープドア検知センサと左右対称の位置に設置されているものであるので、ここではその詳細な説明を省略する。つまり、本実施形態の第２フープドア検知投光部91は、図２（Ａ）に示すように、開口窓41の内周部における上面の、前述したウェハ検知投光部45aよりも右方の位置に設けられる。そして、第２フープドア検知投光部91の垂直下方の位置に第２フープドア検知受光部92が設置されている。
なお、本実施形態では、フープドア検知センサとして、第１フープドア検知センサ80及び第２フープドア検知センサ90の２つを用いる例を挙げて、説明を行ったが、第１フープドア検知センサ80及び第２フープドア検知センサ90のいずれか1つであってもよく、また、３組以上のフープドア検知センサを用いてもよい。また、ウエハ検知センサ45をフープドア検知センサとして用いてもよい。
上述したセンサの各投光部及び受光部は、いずれも、開口窓41の内面で囲まれる窓空間内に突出しないように設けられ、例えば、ポートプレート40に切り込みを形成するなどして設けられた凹部41a内に設置されている。従って、ポートドア42やフープドア30を移動させるときに、これらのドアの移動経路と投光部81,91や受光部82,92とが干渉するようなことはなく、各ドア30,42を開口窓40のウェハ転送空間S1側にスムーズに移動させることができる。また、投光部及び受光部は、直接、窪み部41a内に設けなくてもよく、窪み部41aから離れた位置に投光素子及び受光素子を配置し、投光素子及び受光素子と各窪み部41aとをそれぞれ光ファイバなどで接続するようにしてもよい。
コントローラ70（図３参照）は、ＣＰＵと、ＲＡＭと、ＲＯＭと、データ等を記憶するメモリと、マウスやキー入力部などの入出力インターフェースとを構成として備え、所定のＯＳで作動する周知のコンピュータである。
コントローラ70は、後述の動作説明から解かるように、ドックプレート移動機構制御部、フープドア検知制御部、ウェハ検知制御部、フープドア固定機構制御部、フープドア保持機構制御部及びポートドア移動機構制御部として機能する。
次に、実施例のフープオープナＭの動作について、図面を参照しつつ説明する。
まず、ウェハＷが収納されたフープが図示しない搬送手段によってドックユニット60に搬入される（フープ搬入工程）。
このとき、フープ10は、ドックユニット60のフープ搬入出位置に位置するドックプレート63上に載置される（図４（Ａ）参照）。
次に、シリンダ62によってドックプレート63を前進移動させて、フープ本体20をフープドア着脱位置に位置決めする（フープ位置決め工程)。
ドックプレート63上のフープ10がフープドア着脱位置に位置決めされた状態とは、ドックプレート63上のフープ10のフープドア30の外面30aが窓閉位置のポートドア40の外面40aに当接している状態である（図４（Ｂ）参照）。そして、この状態のとき、ポートドア42のロック機構44のラッチキーがフープドアのギア36a,36bの係合穴36c内に係合した状態になる。なお、上述したように、窓閉位置のポートドア40の外面40aは、ポートプレート40の外面40aから外部空間S2に突出しているので、フープドア着脱位置のフープ10の開口部端面は、厳密にはポートプレート外面40aには当接しておらず、ポートプレート40とフープ10との間は若干の隙間が存在している。
次に、ポートドア42の吸着機構43を作動させ、吸着機構43によってフープドア30を吸着する（フープドア保持工程）。
これにより、フープドア30はポートドア42に保持された状態になる。
次に、ロック機構44のラッチキーを回転させて、ラッチバー32〜35をフープドア固定解除ポジションに移動させる（フープドア固定解除工程)。
これにより、フープドア30は、フープ本体20から取り外すことができる状態になる。
次に、ポートドア移動機構50を作動させて、ポートドア42を後退位置に向けて後退移動させる（ドア取外し工程)。
これにより、ポートドア42に保持されたフープドア30がフープ本体20から取り外され、フープ本体20の開口部21が開口した状態になる。そして、ポートドア42及びフープドア30は、最終的には、ポートドア移動機構50によって移動され、最終的には図４（Ｄ）に示すように、下降位置に移動され、ここで待機する状態になる。この状態になると、フープ本体20に収納されたウェハＷを、フープ本体20の開口部21から搬出することができる。
その後、図示しないウェハ転送装置によって、フープ本体20内のウェハＷがウェハ転送空間に搬出される（ウェハ搬出工程、図４（Ｄ）参照）。
そして、図示しない処理装置において処理された処理済ウェハＷが、ウェハ転送装置によって、再びフープ本体20内に搬入される（ウェハ搬入工程)。
次に、ポートドア移動機構50が作動されて、ポートドア42に保持されたフープドア30をフープ本体20に装着する（フープドア装着工程、図４（Ｂ）参照）。
これにより、フープドア30が、フープ本体20の開口部21に装着される。
次に、ロック機構44のラッチキーを回動させて、ラッチバー32〜35をフープドア固定ポジションに移動させる（フープドア固定工程）。
このとき、ラッチバー32〜35の先端がフープ本体の凹部22〜25にそれぞれ係合すれば、フープドア30がフープ本体20に対して正常固定位置に固定される。他方、いずれかのラッチバー32〜35の先端がフープ本体の凹部22〜25に係合しない状態になれば、フープドア30がフープ本体20に対して正常固定位置に固定されていない状態になる。
次に、ポートドア42の吸着機構（フープドア保持部材）43を作動させて吸着動作を停止させ、フープドア30の吸着を解除する（フープドア保持解除工程）。
これにより、ポートドア42によるフープドア30の保持状態が解除される。
次に、本実施形態のフープオープナＭでは、フープドア30が所定の固定位置に正常に固定されているか否かを検知するために、まず、上記保持解除動作を実行したポートドア42を、フープドア30から離れる方向に後退させて退避位置に移動させる（ポートドア退避工程、図５参照）。
退避位置とは、ポートドア42がフープドア検知センサ80,90の光路Ｌを遮らない位置である。従って、ポートドア42の退避距離は、ポートドア42とフープドア検知センサ80,90の光路Ｌとの干渉が生じない最小限の距離であればよい。なお、ポートドア退避距離とは、ポートドア40の窓閉位置と退避位置との間の移動距離のことである。
このとき、ポートドア42はフープドア30を保持していないので、フープドア30は退避位置に移動されることはなく、ポートドア42のみが退避位置に退避することとなる。そして、フープドア30とポートドア42との間に隙間（空間）が形成され、フープドア30とポートドア42とが非接触状態、またはフープドア30の端部がポートドア42に寄りかかった状態になる。
次に、フープドア検知センサ80,90によって、フープドア30の固定位置が正常固定位置であるか否か、つまりフープドア30が一部でもフープ本体20の開口部端面の外側に飛び出しているか否かを検知する（フープドア検知工程）。
具体的には、両フープドア検知センサ80,90のフープドア検知受光部82,92が投光部81,91からの光線を受光するか否かに基づいて、正常固定位置であるか否かを検知する。例えば、当該受光部82,92が光線を受光している場合、フープドア30による光路Ｌの遮りはなく、フープドア30はフープ本体20に対して正常固定位置に固定されている状態にあるとコントローラ70にて判断される。他方、当該受光部82,92が光線を受光しない場合、フープドア30がフープ本体20の開口部端面から飛び出した状態で取り付けられ、光路Ｌ上にフープドア30が突き出しているために光線を受光できない状態にあるとコントローラ70にて判断され、フープドアは正常固定位置ではないと判断される。
フープドア着脱位置に位置するフープ本体20に、正常固定位置に位置する状態で固定されたフープドア外面30a（図４（ａ）参照）は、ポートプレート外面40aと面一の面上又は当該面一の面よりもフープ本体外側に位置し、且つポートプレート外面40aと面一の面上又は当該面一の面よりも外部空間側に位置するので、上記のような判断をすることができる。
そして、フープドア30が正常固定位置ではないと判断されると、通知音を発したり、コントローラの図示しないディスプレイ上に不正常であることを表示したりして、フープドア30の固定状態が不正常であることを通知する。
次に、ポートドア移動機構50を作動させて、ポートドア42を窓閉位置（保持解除位置）に再び移動させて、ポートプレート40の開口窓を閉じる（ポートドア復帰工程）。
これにより、ウェハ転送空間S1が再度外界から遮断される。そして、前の工程（フープドア検知工程）で、フープドア30の位置が正常固定位置ではないと判断された場合は、この工程が終了した時点で、フープオープナＭの動作を停止させる。その後、例えば、作業員による手作業にて、フープ本体20の所定位置にフープドア30を正常に取り付ける作業が適宜行われる。そして、取り付け終了後、再度、フープオープナＭの動作が開始される。
他方、前の工程（フープドア検知工程）で、フープドアの位置が正常固定位置であると判断された場合は、次のフープ搬出工程を実行する。
フープ搬出工程では、シリンダ62を作動させて、ドックプレート63をフープ搬入出位置に移動させる（フープ搬出工程、図４（Ａ）参照）。
これにより、ドックプレート63に載置されたフープ10もフープ搬入出位置に移動される。フープ搬入出位置に移動されたフープ10は、図示しない搬送手段によって、ドックユニット60から搬出される。
なお、上述したポートドア復帰工程が終了した時点で、フープオープナＭの動作を停止させる前に、自動でリトライ動作を行ってもよい。リトライ動作は、必要に応じた回数、繰り返し行うことができる。そして、フープオープナＭでリトライ動作を実行して、フープドア30が正常固定位置であると判断された場合、その時点でリトライ動作は中断され、その後、フープ搬出工程が実行される。
ポートドア復帰工程後、フープオープナＭの動作を停止させずに実行されるリトライ動作とは、上述したフープドア保持工程、フープドア固定解除工程、ドア取外し工程、フープドア装着工程、フープドア固定工程、フープドア保持解除工程、ポートドア退避工程、フープドア検知工程、ポートドア復帰工程の一連の工程からなる動作である。当該一連の工程のうち、ドア取外し工程はなくてもよいが、その場合、フープドア装着工程は、ポートドア42でフープドア30をフープ本体20に押し付けるフープドア押し付け工程というべきものである。

Claims (8)

  1. 半導体処理装置内のウェハ転送空間と外部空間とを仕切るポートプレートと、
    当該ポートプレートに形成されたウェハ搬入出用の開口窓に着脱可能に装着されるポートドアと、
    当該ポートドアを、前記開口窓が閉状態になる窓閉位置と半導体ウェハの搬入出が可能な開状態になる窓開位置との間で移動させるポートドア移動機構と、
    前記外部空間における半導体ウェハの搬送に用いられるフープを、当該フープのフープ本体の開口部に着脱可能に装着されたフープドアの外面とポートプレートの開口窓に装着された前記ポートドアの外面とが当接する状態になるフープドア着脱位置に位置決めするドックユニットとを備えていると共に、
    前記ポートドアには、当該ポートドアに当接している前記フープドアを保持することができるフープドア保持部材と、前記フープ本体の開口部に装着された状態の前記フープドアを前記フープ本体に固定すると共に固定を解除するためのフープドア固定機構とが設置されているフープオープナであって、
    前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体に固定された前記フープドアが前記フープ本体の開口部に装着されているか否かを検知するフープドア検知センサを備え、
    前記フープドア検知センサは、前記ポートプレートに設置されると共に、投光手段及び受光手段を備えるものであり、
    当該投光手段から投射された光線の前記受光手段へと到る光路が、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体のポートプレート側端面と、前記ポートプレートの外部空間側の面との間を通過するよう、前記ポートプレートの前記外部空間側の面に前記投光手段及び前記受光手段を設けた
    ことを特徴とするフープオープナ。
  2. 半導体処理装置内のウェハ転送空間と外部空間とを仕切るポートプレートと、
    当該ポートプレートに形成されたウェハ搬入出用の開口窓に着脱可能に装着されるポートドアと、
    当該ポートドアを、前記開口窓が閉状態になる窓閉位置と半導体ウェハの搬入出が可能な開状態になる窓開位置との間で移動させるポートドア移動機構と、
    前記外部空間における半導体ウェハの搬送に用いられるフープを、当該フープのフープ本体の開口部に着脱可能に装着されたフープドアの外面とポートプレートの開口窓に装着された前記ポートドアの外面とが当接する状態になるフープドア着脱位置に位置決めするドックユニットとを備えていると共に、
    前記ポートドアには、当該ポートドアに当接している前記フープドアを保持することができるフープドア保持部材と、前記フープ本体の開口部に装着された状態の前記フープドアを前記フープ本体に固定すると共に固定を解除するためのフープドア固定機構とが設置されているフープオープナであって、
    前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体に固定された前記フープドアが前記フープ本体の開口部に装着されているか否かを検知するフープドア検知センサを備え、
    前記ポートプレートは、ポートプレート外面と前記開口窓との境界部に少なくとも２つの窪み部を備え、
    前記フープドア検知センサは、前記ポートプレートに設置されると共に、投光手段及び受光手段を備えるものであり、
    当該投光手段から投射された光線の前記受光手段へと到る光路が、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体のポートプレート側端面と、前記ポートプレートの外部空間側の面との間を通過するよう、前記窪み部に前記投光手段及び前記受光手段を設けた
    ことを特徴とするフープオープナ。
  3. 前記投光部及び受光部は、前記光路が前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体の前記ポートプレート側端面と平行になるように設置されている請求項１又は請求項２に記載のフープオープナ。
  4. 半導体処理装置内のウェハ転送空間と外部空間とを仕切るポートプレートに形成されたウェハ搬入出用の開口窓にポートドアが着脱可能に装着されるようになっており、前記外部空間での半導体ウェハ搬送に用いられるフープが載置されるドックユニットを備えており、当該ドックユニットは、前記フープのフープ本体の開口部に着脱可能に装着されたフープドアの外面と前記ポートプレートの開口窓に装着されたポートドアの外面とが当接するフープドア着脱位置に前記フープを位置決めするものであり、前記ポートドアに、前記フープドアを着脱するためのフープドア固定部材と、取り外されたフープドアを保持するフープドア保持部材とが設置されているフープオープナの動作方法であって、
    前記半導体処理装置で処理された処理済みの半導体ウェハを前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体内に搬入し、前記開口窓を前記ポートドアで閉塞すると共に前記フープ本体の開口部に前記フープドアを装着し、装着された当該フープドアを前記フープ本体に固定し、当該フープドアの前記ポートドアによる保持を解除した後、前記ドックユニットから前記フープを搬出するようになっている動作方法において、
    フープドア保持解除後、フープ搬出前に、
    前記ポートプレートの開口窓を閉塞した状態の前記ポートドアを、前記フープドアから離れる方向に後退移動させて、前記フープドアの保持解除位置から、所定の距離だけ離れた退避位置まで移動させるポートドア退避工程と、
    前記フープドア着脱位置に位置する前記フープの前記フープドアが、前記フープ本体のポートドア側端面の外側に突出しているか否かをセンサで検知するフープドア検知工程と、
    退避移動された前記ポートドアを、再び前記フープドアと接触する位置まで移動させて、当該ポートドアで前記開口窓を再度閉塞するポートドア復帰工程と、を有し、
    前記センサは、前記ポートプレートに設置されると共に、投光手段及び受光手段を備えるものであり、
    当該投光手段から投射された光線の前記受光手段へと到る光路が、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体のポートプレート側端面と、前記ポートプレートの外部空間側の面との間を通過するよう、前記ポートプレートの前記外部空間側の面に前記投光手段及び前記受光手段を設けた
    ことを特徴とするフープオープナ動作方法。
  5. 半導体処理装置内のウェハ転送空間と外部空間とを仕切るポートプレートに形成されたウェハ搬入出用の開口窓にポートドアが着脱可能に装着されるようになっており、前記外部空間での半導体ウェハ搬送に用いられるフープが載置されるドックユニットを備えており、当該ドックユニットは、前記フープのフープ本体の開口部に着脱可能に装着されたフープドアの外面と前記ポートプレートの開口窓に装着されたポートドアの外面とが当接するフープドア着脱位置に前記フープを位置決めするものであり、前記ポートドアに、前記フープドアを着脱するためのフープドア固定部材と、取り外されたフープドアを保持するフープドア保持部材とが設置されているフープオープナの動作方法であって、
    前記半導体処理装置で処理された処理済みの半導体ウェハを前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体内に搬入し、前記開口窓を前記ポートドアで閉塞すると共に前記フープ本体の開口部に前記フープドアを装着し、装着された当該フープドアを前記フープ本体に固定し、当該フープドアの前記ポートドアによる保持を解除した後、前記ドックユニットから前記フープを搬出するようになっている動作方法において、
    フープドア保持解除後、フープ搬出前に、
    前記ポートプレートの開口窓を閉塞した状態の前記ポートドアを、前記フープドアから離れる方向に後退移動させて、前記フープドアの保持解除位置から、所定の距離だけ離れた退避位置まで移動させるポートドア退避工程と、
    前記フープドア着脱位置に位置する前記フープの前記フープドアが、前記フープ本体のポートドア側端面の外側に突出しているか否かをセンサで検知するフープドア検知工程と、
    退避移動された前記ポートドアを、再び前記フープドアと接触する位置まで移動させて、当該ポートドアで前記開口窓を再度閉塞するポートドア復帰工程と、を有し、
    前記ポートプレートは、ポートプレート外面と前記開口窓との境界部に少なくとも２つの窪み部を備え、
    前記センサは、前記ポートプレートに設置されると共に、投光手段及び受光手段を備えるものであり、
    当該投光手段から投射された光線の前記受光手段へと到る光路が、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体のポートプレート側端面と、前記ポートプレートの外部空間側の面との間を通過するよう、前記窪み部に前記投光手段及び前記受光手段を設けた
    ことを特徴とするフープオープナ動作方法。
  6. 前記フープドア検知工程は、前記センサの投光手段から投射された光線を受光手段で受光することができるか否かに基づいて、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体に固定された前記フープドアが前記ポートプレート外面と面一の面から前記ウェハ転送空間側に突出しているか否かを検知する工程である、請求項４又は請求項５に記載のフープオープナ動作方法。
  7. 前記ポートドア退避工程は、前記フープドア着脱位置に位置する前記フープ本体の開口部に前記フープドアが固定された状態で前記フープドア保持部材を作動させることで前記ポートドアによる前記フープドアの保持を解除した後、前記投光手段から投射される光線の光路を遮らない位置に前記ポートドアを退避移動させるものである請求項６に記載のフープオープナ動作方法。
  8. 前記フープドア検知工程において、前記フープドアが前記フープ本体に対して不正常に固定されていると検知されたとき、
    前記ポートドア復帰工程の後にフープオープナの動作を停止させ、その後、前記フープ本体の所定位置に前記フープドアを正常に取り付ける正常取り付け工程を、さらに備えている請求項４又は請求項５に記載のフープオープナ動作方法。
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