KR102128629B1 - 기판 수납 처리 장치, 기판 수납 처리 방법, 및 기판 수납 처리용 기억 매체 - Google Patents

기판 수납 처리 장치, 기판 수납 처리 방법, 및 기판 수납 처리용 기억 매체 Download PDF

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미치아키 마츠시타
사토루 신토오
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 처리 후의 기판을 수용한 후의 덮개의 시정의 확인 기능을 갖게 하고, 처리 후의 기판의 반송의 안전성을 도모할 수 있도록 하는 기판 수납 처리 장치 및 기판 수납 처리 방법과 기판 수납 처리용 기억 매체를 제공한다.
제어 수단으로부터의 제어 신호에 기초하여, 카세트(10) 내에 처리 후의 웨이퍼(W)가 수용되고, 카세트의 개구부(10b)에 덮개(10c)가 덮여진 후, 덮개(10c)를 보유 지지하지 않은 상태에서 덮개 착탈 기구(30)를 덮개 폐쇄 위치로부터 덮개 개방 위치로 후퇴시킨 후, 덮개 착탈 기구 오픈 센서(38b)에 의해 덮개 착탈 기구(30)의 덮개 개방 위치를 검지하고, 덮개 이상 검지 센서(39a, 39b)에 의해 덮개(10c)의 폐쇄 상태의 이상을 판단한다. 덮개 폐쇄 위치로부터 후퇴한 덮개 착탈 기구(30)를 다시 덮개 폐쇄 위치로 이동시킨 상태에서, 덮개(10c)의 열쇠 구멍(10d)과 덮개 착탈 기구(30)의 키(31)를 걸어 맞춘다.

Description

기판 수납 처리 장치, 기판 수납 처리 방법, 및 기판 수납 처리용 기억 매체{APPARATUS, METHOD AND STORAGE MEDIUM FOR ACCOMMODATING AND PROCESSING A SUBSTRATE}
본 발명은 기판 수납 처리 장치, 기판 수납 처리 방법, 및 기판 수납 처리용 기억 매체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 처리 후의 기판의 반송을 안전하게 행할 수 있도록 하는 기판 수납 처리 장치, 기판 수납 처리 방법, 및 기판 수납 처리용 기억 매체에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정에 있어서는, 예를 들어 반도체 웨이퍼 등의 기판 상에 포토레지스트를 도포하고, 레지스트막을 소정의 회로 패턴에 따라 노광하고, 현상 처리함으로써 회로 패턴을 형성하고 있다. 이 반도체 제조 공정인 포토리소그래피 공정에는, 통상, 도포·현상 처리 장치에 노광 장치를 접속한 처리 시스템이 사용된다.
처리 시스템에서는, 카세트 반송 기구{OHT(Overhead Hoist Transfer)}에 의해 반송된 카세트로부터 기판을 1매씩 취출하고, 처리부의 처리 유닛 내에서 처리한 후, 처리 후의 기판을 카세트 내로 복귀시키는 것이 행해지고 있다. 이 경우, 카세트로서, 후프{FOUP(Front Opening Universal Pod)}라고 칭해지는 기밀성이 높은 카세트가 사용되고 있고, 카세트 본체에는, 기판을 출납하기 위한 개구부가 형성되고, 이 개구부에는 래치 기구에 의해 시정 가능한 덮개가 설치되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).
상기 처리 시스템에서는, 카세트 반송 기구에 의해 반송된 카세트를 처리 시스템에 설치된 카세트 재치대에 재치되고, 처리 시스템 내에 설치된 키를 갖는 덮개 착탈 기구에 의해 카세트의 덮개가 해정되어 개방되도록 되어 있다. 덮개가 개방된 상태에서, 처리 시스템 내에 배치된 기판 반송 기구에 의해 덮개가 개구된 카세트 내로부터 기판이 취출되고, 처리부의 처리 유닛으로 반송되고, 처리 유닛에 있어서 포토레지스트의 도포 처리 및 현상 등의 처리가 행해진다. 그리고, 처리 후의 기판은 기판 반송 기구에 의해 카세트 내에 수용되고, 그 후, 덮개 착탈 기구에 의해 카세트의 개구부에 덮개가 덮여져, 시정된다. 덮개가 덮여진 카세트는, 카세트 반송 기구에 의해 카세트 재치대로부터 반출되어, 처리 시스템의 외부의 상방에 설치된 반송로나 카세트 수용부 등으로 반송되도록 되어 있다.
일본 특허 공개 제2001-358197호 공보
그러나, 카세트 내에 처리 후의 기판을 수용한 후의 덮개의 시정이 불충분하면, 카세트의 반송 도중에 진동 등에 의해 덮개가 개방되어 낙하할 위험성이나 덮개의 일부가 개방되어 카세트 내의 기판이 외부에 돌출되는 등의 우려가 있었다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 처리 후의 기판을 수용한 후의 덮개의 시정의 확인 기능을 갖게 하여, 처리 후의 기판의 반송의 안전성을 도모할 수 있도록 하는 기판 수납 처리 장치, 기판 수납 처리 방법, 및 기판 수납 처리용 기억 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 처리 장치는, 기판을 출납하기 위한 개구부를 갖고, 이 개구부에 착탈 가능한 덮개를 갖는 카세트를 재치하는 카세트 재치대와, 상기 카세트 재치대의 카세트 내에 수용된 기판을 처리하기 위한 처리부와, 상기 처리부에 상기 기판을 반송하고, 처리 후의 기판을 상기 카세트 재치대의 카세트로 복귀시키는 기판 반송 기구와, 상기 기판 반송 기구의 배치부와 상기 카세트 재치대를 구획하고, 상기 카세트의 개구부보다도 큰 개구를 갖는 구획벽과, 상기 카세트 재치대에 배치되고, 재치된 상기 카세트를 상기 구획벽의 개구에 맞닿는 도크 위치와 상기 도크 위치로부터 후퇴하여 언도크 위치로 진퇴 이동 가능한 카세트 스테이지와, 상기 구획벽의 개구를 통하여 상기 카세트의 개구부로부터 덮개를 제거하고, 상기 카세트의 개구부에 덮개를 설치하는 덮개 착탈 기구를 구비하고, 상기 덮개 착탈 기구는, 상기 덮개에 형성된 열쇠 구멍에 걸어 맞추어, 상기 카세트의 개구부에 착탈가능하게 걸리는 래치를 시정·해정 위치로 절환하는 키를 구비함과 함께, 상기 덮개를 흡착하여 보유 지지하는 흡착 보유 지지 부재를 구비하여 이루어지는 기판 수납 처리 장치로서, 상기 구획벽의 개구의 테두리부에 배치되고, 상기 덮개의 개폐 상태를 확인하는 덮개 이상 검지 센서와, 상기 덮개 착탈 기구가 보유 지지한 덮개를 설치하는 덮개 폐쇄 위치와 그 덮개 폐쇄 위치로부터 후퇴하는 덮개 개방 위치를 검지하는 덮개 착탈 기구 클로즈 센서 및 덮개 착탈 기구 오픈 센서와, 상기 흡착 보유 지지 부재가 덮개를 흡착 보유 지지하는 부압을 검지하는 압력 센서와, 상기 덮개 이상 검지 센서, 상기 덮개 착탈 기구 클로즈 센서, 상기 덮개 착탈 기구 오픈 센서 및 상기 압력 센서의 검지 신호를 받음과 함께, 상기 덮개 착탈 기구의 개폐 위치로의 이동, 상기 키의 시정·해정 조작 및 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트의 상기 도크 위치와 언도크 위치로의 이동을 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 제어 수단으로부터의 제어 신호에 기초하여, 상기 카세트 내에 처리 후의 기판이 수용되고, 카세트의 개구부에 덮개가 덮여진 후, 상기 덮개를 보유 지지하지 않은 상태에서 상기 덮개 착탈 기구를 덮개 폐쇄 위치로부터 덮개 개방 위치로 후퇴시켰을 때, 상기 덮개 착탈 기구 오픈 센서에 의해 덮개의 덮개 개방 위치를 검지함과 함께, 상기 덮개 이상 검지 센서에 의해 덮개의 이상의 유무를 검지하여 덮개 폐쇄 상태의 이상을 판단한다.
상기 기판 수납 처리 장치에 있어서, 상기 덮개 이상 검지 센서에 의해 덮개의 이상의 유무를 검지한 후, 상기 카세트의 개구부에 덮개를 덮은 상태에서, 상기 덮개 착탈 기구를 상기 덮개 폐쇄 위치로 이동시키고, 상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추어, 상기 덮개 착탈 기구 클로즈 센서에 의해 덮개 상기 덮개 착탈 기구의 덮개 폐쇄 위치를 검지하고, 그 후, 상기 흡착 보유 지지 부재를 부압으로 흡인하여 덮개를 흡착 보유 지지하는 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 소정의 부압을 검지하고, 흡착 보유 지지 부재의 부압을 해제한 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 부압을 검지하고, 상기 카세트가 상기 언도크 위치로 후퇴한 후에, 카세트의 덮개 폐쇄에 이상이 있으면 상기 덮개 착탈 기구 오픈 센서에 의한 덮개의 덮개 개방 이상, 상기 덮개 착탈 기구 클로즈 센서에 의한 덮개의 덮개 폐쇄 이상, 상기 압력 센서에 의한 부압의 적합 여부 중 어느 하나를 표시하는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞춘 후, 상기 덮개 개방 위치로 후퇴하기 전에는, 해정을 행하고 다시 시정을 행하는 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 실시형태에 따른 기판 수납 처리 장치는, 기판을 출납하기 위한 개구부를 갖고, 이 개구부에 착탈 가능한 덮개를 갖는 카세트를 재치하는 카세트 재치대와, 상기 카세트 재치대의 카세트 내에 수용된 기판을 처리하기 위한 처리부와, 상기 처리부로 상기 기판을 반송하고, 처리 후의 기판을 상기 카세트 재치대의 카세트로 복귀시키는 기판 반송 기구와, 상기 기판 반송 기구의 배치부와 상기 카세트 재치대를 구획하고, 상기 카세트의 개구부보다도 큰 개구를 갖는 구획벽과, 상기 카세트 재치대에 배치되고, 재치된 상기 카세트를 상기 구획벽의 개구에 맞닿는 도크 위치와 상기 도크 위치로부터 후퇴하여 언도크 위치로 진퇴 이동 가능한 카세트 스테이지와, 상기 구획벽의 개구를 통하여 상기 카세트의 개구부로부터 덮개를 제거하고, 상기 카세트의 개구부에 덮개를 설치하는 덮개 착탈 기구를 구비하고, 상기 덮개 착탈 기구는, 상기 덮개에 설치된 열쇠 구멍에 걸어 맞추어, 상기 카세트의 개구부에 착탈 가능하게 걸리는 래치를 시정·해정 위치로 절환하는 키를 구비함과 함께, 상기 덮개를 흡착하여 보유 지지하는 흡착 보유 지지 부재를 구비하여 이루어지는 기판 수납 처리 장치로서, 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트의 도크 위치를 검지하는 도크 위치 검지 센서와, 상기 덮개 착탈 기구의 개폐 위치로의 이동, 상기 키의 시정·해정 조작 및 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트의 상기 도크 위치와 언도크 위치로의 이동을 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 도크 위치에서 카세트 내에 처리 후의 기판이 수용된 카세트의 개구부의 덮개를 폐쇄시켜 상기 래치가 시정 위치로 절환된 후, 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트를 언도크 위치로 후퇴시킨 후에, 다시 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트를 상기 도크 위치로 전진시켜 상기 도크 위치 센서의 신호의 유무를 확인한다.
상기 기판 수납 처리 장치에 있어서, 다시 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트를 상기 도크 위치로 전진시켰을 때 상기 도크 위치 센서의 신호가 없는 경우에는, 상기 카세트 스테이지가 상기 언도크 위치로 후퇴한 후에, 상기 도크 위치 검지 센서에 의한 도크 위치의 이상을 표시하는 것이 바람직하다.
상기 기판 수납 처리 장치에 있어서, 상기 흡착 보유 지지 부재가 덮개를 흡착 보유 지지하는 부압을 검지하는 압력 센서를 더 구비하고, 상기 압력 센서의 검지 신호를 받는 제어 수단으로부터의 제어 신호에 기초하여, 다시 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트를 상기 도크 위치로 전진시켰을 때 상기 흡착 보유 지지 부재를 부압으로 흡인하여 덮개를 흡착 보유 지지하는 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 소정의 부압을 검지하지 않은 경우에는 알람을 출력하는 것이 바람직하다.
본 발명의 또 다른 실시형태에 따른 기판 수납 처리 방법은, 상기 기판 수납 처리 장치를 사용한 기판 수납 처리 방법으로서, 상기 카세트 내에 처리 후의 기판이 수용된 후, 카세트의 개구부에 덮개를 덮는 공정과, 이어서 상기 덮개를 보유 지지하지 않은 상태에서 상기 덮개 착탈 기구를 덮개 폐쇄 위치로부터 덮개 개방 위치로 후퇴시키는 공정과, 이어서 상기 덮개 착탈 기구 오픈 센서에 의해 덮개 착탈 기구의 덮개 개방 위치를 검지하는 공정과, 이어서 상기 덮개 이상 검지 센서에 의해 덮개의 덮개 폐쇄 상태의 이상을 판단하는 공정과, 이어서 상기 덮개 폐쇄 위치로부터 후퇴한 상기 덮개 착탈 기구를 다시 덮개 폐쇄 위치로 이동시키는 공정과, 이어서 상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추는 공정을 포함한다.
상기 기판 수납 처리 방법에 있어서, 상기 덮개 이상 검지 센서에 의해 덮개의 이상의 유무를 검지한 후, 상기 덮개 착탈 기구를 상기 덮개 폐쇄 위치로 이동시키고, 상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추는 공정과, 상기 덮개 착탈 기구 클로즈 센서에 의해 상기 덮개 착탈 기구의 덮개 폐쇄 위치를 검지하는 공정과, 그 후, 상기 흡착 보유 지지 부재를 부압으로 흡인하여 덮개를 흡착 보유 지지하는 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 소정의 부압을 검지하는 공정과, 이어서 상기 흡착 보유 지지 부재의 부압을 해제한 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 부압을 검지하는 공정과, 이어서 상기 카세트가 상기 언도크 위치로 후퇴한 후에, 카세트의 덮개 폐쇄에 이상이 있으면 상기 덮개 착탈 기구 오픈 센서에 의한 덮개의 덮개 개방 이상, 상기 덮개 착탈 기구 클로즈 센서에 의한 덮개의 덮개 폐쇄 이상, 상기 압력 센서에 의한 부압의 적합 여부 중 어느 하나를 표시하는 공정을 포함하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추는 공정과 상기 덮개 개방 위치로 후퇴하는 공정 사이에는, 해정을 행하고 다시 시정을 행하는 공정을 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 또 다른 실시형태에 따른 기판 수납 처리 방법은, 상기 기판 수납 처리 장치를 사용한 기판 수납 처리 방법으로서, 상기 제어 수단으로부터의 제어 신호에 기초하여, 상기 카세트 내에 처리 후의 기판이 수용되고, 카세트의 개구부에 덮개가 덮여진 후, 상기 카세트를 상기 언도크 위치로 후퇴시킨 후에 다시 상기 도크 위치로 이동시킨 상태에서, 상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추는 공정과, 상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추는 공정에서 상기 도크 위치를 검지하는 도크 위치 검지 센서의 신호의 유무를 확인하는 공정을 포함한다.
상기 기판 수납 처리 방법에 있어서, 다시 상기 카세트 스테이지의 카세트를 상기 도크 위치로 전진시켰을 때 상기 도크 위치 센서의 신호가 없는 경우에는, 상기 카세트 스테이지를 상기 언도크 위치로 후퇴시킨 후에, 상기 도크 위치 검지 센서에 의한 도크 위치의 유무를 표시하는 공정을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 기판 수납 처리 방법에 있어서, 상기 흡착 보유 지지 부재가 덮개를 흡착 보유 지지하는 부압을 검지하는 압력 센서의 검지 신호를 받는 제어 수단으로부터의 제어 신호에 기초하여, 상기 흡착 보유 지지 부재를 부압하여 덮개를 흡착 보유 지지한 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 부압을 검지하는 공정과, 상기 흡착 보유 지지 부재의 부압을 해제한 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 부압을 검지하는 공정과, 상기 압력 센서에 의한 부압의 적합 여부를 표시하는 공정을 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 또 다른 실시형태에 따른 기판 수납 처리용 기억 매체는, 기판을 출납하기 위한 개구부를 갖고, 이 개구부에 착탈 가능한 덮개를 갖는 카세트로부터 취출된 기판을 처리부에서 처리한 후, 처리 후의 기판을 상기 카세트 내에 수용하고, 카세트의 개구부에 상기 덮개를 덮은 후, 카세트를 카세트 반송 기구에 의해 반송하는 기판 수납 처리 장치에 사용되고, 컴퓨터에 제어 프로그램을 실행시키는 소프트웨어가 기억된 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체로서, 상기 제어 프로그램은, 상기 기판 수납 처리 방법을 실행하도록 공정이 짜여져 있다.
상기 발명에 의하면, 카세트 내에 처리 후의 기판이 수용되고, 카세트의 개구부에 덮개가 덮여진 후, 덮개를 보유 지지하고 있지 않은 덮개 착탈 기구를 덮개 폐쇄 위치로부터 덮개 개방 위치로 후퇴시킨 상태에서, 덮개 착탈 기구 오픈 센서에 의해 덮개의 덮개 개방 위치를 검지함과 함께, 덮개 이상 검지 센서에 의해 덮개의 이상의 유무를 판단할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 덮개 착탈 기구를 덮개 폐쇄 위치로 이동시켜 덮개의 열쇠 구멍과 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞춘 상태에서, 덮개 착탈 기구 클로즈 센서에 의해 덮개의 덮개 폐쇄 위치를 검지하고, 그 후, 흡착 보유 지지 부재를 부압하여 덮개를 흡착 보유 지지한 상태에서, 압력 센서에 의해 부압을 검지하고, 그 후, 흡착 보유 지지 부재의 부압을 해제한 상태에서, 압력 센서에 의해 부압을 검지한다. 그리고, 카세트가 언도크 위치로 후퇴한 후에, 카세트의 덮개 폐쇄에 이상이 있으면, 덮개 착탈 기구 오픈 센서에 의한 덮개의 덮개 개방 이상, 덮개 착탈 기구 클로즈 센서에 의한 덮개의 덮개 폐쇄 이상, 압력 센서에 의한 부압의 적합 여부 중 어느 하나를 표시함으로써, 오퍼레이터가 덮개의 덮개 폐쇄 동작 중에 외부로부터 확인할 수 없던 덮개의 이상을 확인할 수 있어, 덮개는 확실하게 폐쇄되어 있는지, 시정은 확실한지 등을 확인할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 덮개의 열쇠 구멍과 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞춘 후, 덮개 개방 위치로 후퇴하기 전에는, 해정을 행하고 다시 시정을 행함으로써, 덮개를 확실하게 폐쇄할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 카세트 내에 처리 후의 기판이 수용되고, 카세트의 개구부에 덮개가 덮여진 후, 카세트를 언도크 위치로 후퇴시킨 후에, 다시 카세트를 도크 위치로 이동시킨 상태에서, 덮개의 열쇠 구멍과 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞춘 상태에서, 도크 위치 검지 센서에 의해 카세트의 도크 위치의 유무를 확인함으로써 오퍼레이터가 덮개의 덮개 폐쇄 동작 중에 외부로부터 확인할 수 없던 덮개의 이상을 확인할 수 있어, 덮개는 확실하게 폐쇄되어 있는지, 시정은 확실한지 등을 확인할 수 있다.
이 경우, 카세트 스테이지에 재치된 카세트를 도크 위치로 전진시켰을 때 도크 위치 검지 센서의 신호가 없는 경우에는, 카세트가 언도크 위치로 후퇴시킨 후에, 도크 위치 검지 센서에 의한 도크 위치의 이상을 표시함으로써, 오퍼레이터가 덮개의 덮개 폐쇄 동작 중에 외부로부터 확인할 수 없던 덮개의 이상의 확인을 용이하게 할 수 있다.
상기 발명에 의하면, 흡착 보유 지지 부재가 덮개를 흡착 보유 지지하는 부압을 검지하는 압력 센서의 검지 신호를 받는 제어 수단으로부터의 제어 신호에 기초하여, 흡착 보유 지지 부재를 부압하여 덮개를 흡착 보유 지지한 상태에서, 압력 센서에 의해 부압을 검지하고, 흡착 보유 지지 부재의 부압을 해제한 상태에서, 압력 센서에 의해 부압을 검지하고, 압력 센서에 의한 부압의 적합 여부를 표시함으로써, 덮개는 확실하게 폐쇄되어 있는지 시정은 확실한지 등을 확인할 수 있다.
본 발명에 의하면, 카세트의 덮개의 개폐 기구의 경년 열화에 의한 작동 불량 등에 의한 이상을 확인할 수 있어, 덮개가 확실하게 폐쇄되어 있는지, 시정은 확실한지 등을 확인할 수 있으므로, 덮개의 시정에 의한 덮개 폐쇄에 이상이 있는 카세트를 판별할 수 있다. 따라서, 그 카세트를 제외하고 정상적으로 덮개가 시정된 카세트만을 카세트 반송 기구에서 반송할 수 있어, 처리 후의 기판의 반송의 안전성을 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 수납 처리 장치를 적용한 도포·현상 처리 장치에 노광 장치를 접속한 처리 시스템의 전체를 도시하는 개략 평면도이다.
도 2는 상기 처리 시스템의 개략 사시도이다.
도 3은 상기 처리 시스템의 개략 종단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 기판 수납 처리 장치의 주요부를 도시하는 개략 구성도이다.
도 5는 본 발명에 있어서의 카세트의 덮개를 개방한 상태를 도시하는 단면도이다.
도 6은 본 발명에 있어서의 카세트에 덮개를 시정한 상태를 도시하는 단면도이다.
도 7은 본 발명에 있어서의 카세트와 덮개를 도시하는 사시도이다.
도 8은 본 발명에 있어서의 덮개 착탈 기구를 도시하는 개략 사시도이다.
도 9a는 제1 실시 형태의 기판 수납 처리 방법에 있어서의 덮개의 개방으로부터 폐쇄까지의 공정을 도시하는 흐름도이다.
도 9b는 제1 실시 형태의 기판 수납 처리 방법에 있어서의 덮개의 시정부터 덮개의 이상 표시, 카세트의 제거까지의 공정을 도시하는 흐름도이다.
도 9c는 제1 실시 형태의 기판 수납 처리 방법에 있어서의 덮개의 이상 확인 후의 공정을 도시하는 흐름도이다.
도 10a는 제1 실시 형태의 기판 수납 처리 방법에 있어서의 덮개 착탈 기구에 의한 덮개의 개방 전의 상태를 도시하는 단면도이다.
도 10b는 상기 덮개 착탈 기구의 덮개 개방 상태를 도시하는 단면도이다.
도 10c는 상기 덮개 착탈 기구의 덮개 폐쇄 상태를 도시하는 단면도이다.
도 10d는 덮개의 폐쇄 후의 상태를 도시하는 단면도(d)이다.
도 11은 본 발명에 따른 기판 수납 처리 장치의 제2 실시 형태의 주요부를 도시하는 개략 구성도이다.
도 12a는 제2 실시 형태의 기판 수납 처리 방법에 있어서의 덮개의 이상의 유무를 확인하는 공정을 나타내는 흐름도이다.
도 12b는 제2 실시 형태의 기판 수납 처리 방법에 있어서의 덮개의 이상 표시, 카세트의 제거까지의 공정을 도시하는 흐름도이다.
도 12c는 제2 실시 형태의 기판 수납 처리 방법에 있어서의 덮개의 이상 확인 후의 공정을 도시하는 흐름도이다.
도 13a는 제2 실시 형태의 기판 수납 처리 방법에 있어서의 덮개를 제거한 카세트의 도크 위치의 상태를 도시하는 단면도이다.
도 13b는 덮개 착탈 기구를 덮개 폐쇄 위치로 이동하여 덮개를 설치하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 13c는 덮개를 설치한 카세트를 언도크 위치로 이동시킨 상태를 도시하는 단면도이다.
도 13d는 카세트의 도크 위치의 상태를 도시하는 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여, 첨부 도면에 기초하여 설명한다. 여기서는, 본 발명에 따른 기판 수납 처리 장치를 도포·현상 처리 장치에 노광 처리 장치를 접속한 처리 시스템에 적용한 경우에 대하여 설명한다.
상기 처리 시스템은, 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 피처리 기판인 반도체 웨이퍼(W)(이하 웨이퍼(W)라고 함)를 복수 매, 예를 들어 25매를 밀폐 수납하는 카세트(10)를 반출입하기 위한 카세트 스테이션(1)과, 이 카세트 스테이션(1)으로부터 취출된 웨이퍼(W)에 레지스트 도포, 현상 처리 등의 처리를 실시하는 처리부(2)와, 웨이퍼(W)의 표면에 광을 투과하는 액층을 형성한 상태에서 웨이퍼(W)의 표면을 액침 노광하는 노광부(4)와, 처리부(2)와 노광부(4) 사이에 접속되고, 웨이퍼(W)의 수수를 행하는 인터페이스부(3)와, 카세트 스테이지(12)의 상방에 설치되고, 카세트(10)를 카세트 스테이션(1)에 대하여 반입·반출하는 카세트 반송 기구(5)를 구비하고 있다.
카세트 스테이션(1)은 카세트(10)를 복수 개 나란히 재치 가능한 카세트 재치대(11)와, 이 카세트 재치대(11)에 배치된 복수, 예를 들어 4개의 카세트 스테이지(12)에 재치되고, 도시하지 않은 클램프 기구에 의해 클램프된 카세트(10)로부터 웨이퍼(W)를 취출하고, 처리 후의 웨이퍼(W)를 카세트(10)로 복귀시키는 기판 반송 기구(20)와, 카세트 재치대(11)와 기판 반송 기구(20)의 배치부(6)를 구획하고, 카세트(10)의 개구부(10b)보다도 큰 개구(13a)를 갖는 구획벽(13)이 설치되어 있다(도 5 참조).
카세트 재치대(11)에 배치되는 카세트 스테이지(12)는 카세트 재치대(11)에 부설된 Y 방향으로 연장되는 가이드 레일(11a)을 따라 미끄럼 이동 가능하게 장착되어 있고, 재치한 카세트(10)를 구획벽(13)의 개구(13a)에 맞닿는 도크 위치와 상기 개구(13a)로부터 후퇴하는 언도크 위치로 진퇴 이동 가능하게 되어 있다. 이 경우, 카세트 스테이지(12)는 가이드 레일(11a)에 미끄럼 이동 가능한 가동 베이스(12c)를 갖고, 가동 베이스(12c)에 연결되는 이동 기구(14)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다(도 4 참조).
도 4에 도시한 바와 같이, 카세트 스테이지(12)의 상면 중앙에는 위치 결정 핀(12a)이 설치되어 있고, 위치 결정 핀(12a)의 근방에는 센서(12b)가 배치되어 있다. 카세트(10)를 카세트 스테이지(12)에 재치하면, 위치 결정 핀(12a)이 카세트(10)의 저부 오목부(도시하지 않음)에 끼워 맞춰져 카세트(10)가 위치 결정되도록 되어 있다. 또한, 카세트(10)가 카세트 스테이지(12)에 재치되면, 센서(12b)가 카세트(10)를 검지하고, 그 검지 신호를 후술하는 제어 수단인 제어 컴퓨터(60)에 보내도록 되어 있다. 또한, 카세트 스테이지(12)에는, 카세트 반송 기구(5)에 의해 반송된 카세트(10)가 재치되었을 때 카세트(10)를 착탈 가능하게 고정하는 클램프 기구(도시하지 않음)가 설치되어 있다.
카세트(10)는 도 5 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 웨이퍼(W)를 출납 가능한 개구부(10b)를 갖고, 복수 매, 예를 들어 25매의 웨이퍼(W)를 수용 가능한 카세트 본체(10a)와, 이 카세트 본체(10a)의 개구부(10b)에 착탈 가능한 덮개(10c)를 구비하고 있다. 이 경우, 덮개(10c)의 표면 중앙부의 좌우 2개소에는, 서로 연통하는 수직 구멍과 수평 구멍을 갖는 열쇠 구멍(10d)이 형성되고, 덮개(10c)의 상하 단부의 좌우 2개소에는, 카세트 본체(10a)의 개구부(10b)의 상하에 대향하는 개구 테두리의 좌우 2개소에 형성된 각 걸림 구멍(10e)에 동시에 걸림가능한, 크레몬이라고 하는 래치(10f)가 출몰 가능하게 설치되어 있다. 열쇠 구멍(10d)에 후술하는 덮개 착탈 기구(30)에 설치된 키(31)가 걸리어, 키(31)가 수직 방향으로 90° 회전되면, 덮개(10c)의 내측에 위치하고 있던 래치(10f)가 동시에 상하로 돌출되어 시정할 수 있다. 즉, 도 5에 도시한 바와 같이, 카세트(10)의 개구부(10b)로부터 제거된 덮개(10c)에 있어서, 래치(10f)는 덮개(10c)의 내측에 위치하고, 도 6에 도시한 바와 같이, 카세트(10)의 개구부(10b)에 덮개(10c)가 설치되고, 열쇠 구멍(10d)에 키(31)를 걸어 맞춘(끼워 맞춘) 상태에서, 키(31)가 수직 방향으로 90° 회전되면, 래치(10f)가 덮개(10c)의 상하 방향으로 돌출되어, 카세트 본체(10a)의 개구부(10b)에 형성된 걸림 구멍(10e)에 걸림으로써(끼워 맞춰짐으로써), 덮개(10c)가 폐쇄되어, 시정된다. 또한, 카세트 본체(10a)로부터 덮개(10c)를 제거하는 경우에는, 상기와 반대의 조작을 행하여 걸림 구멍(10e)으로부터 래치(10f)를 후퇴시켜 해정한 후에 행한다.
덮개 착탈 기구(30)는 도 4 및 도 8에 도시한 바와 같이, 표면의 중앙부의 좌우 2개소에 키(31)를 돌출하여 설치함과 함께, 대각 방향의 상하 2개소에 덮개(10c)를 흡착 보유 지지하는 원형 패드 형상의 흡착 보유 지지 부재(32)를 설치한 셔터판(33)을 구비하고 있다. 이 셔터판(33)은 예를 들어 볼 나사 기구, 타이밍 벨트 기구 또는 실린더 장치로 이루어지는 승강 기구(34)에 의해 승강 가능한 지지 부재(35)에 의해 지지되어 있다. 또한, 셔터판(33)은 리니어 가이드(36)를 통하여, 예를 들어 실린더 장치로 이루어지는 Y축 구동 기구(37)에 의해 덮개(10c)의 설치, 제거 방향(Y 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.
또한, 덮개 착탈 기구(30)에는, 도 4에 도시한 바와 같이, 덮개 착탈 기구(30)의 흡착 보유 지지 부재(32)에 의해 흡착 보유 지지된 덮개(10c)가 카세트(10)의 개구부(10b)에 설치되는 덮개 폐쇄 위치를 검지하는 덮개 착탈 기구 클로즈 센서(38a)와, 덮개(10c)가 덮개 폐쇄 위치로부터 후퇴하는 덮개 개방 위치를 검지하는 덮개 착탈 기구 오픈 센서(38b)가 설치되어 있다. 이들 덮개 착탈 기구 클로즈 센서(38a)와 덮개 착탈 기구 오픈 센서(38b)에 의해 검지된 검지 신호는 제어 컴퓨터(60)에 보내지도록 되어 있다.
또한, 흡착 보유 지지 부재(32)는 배관(32a)을 통하여 흡착을 위한 부압을 발생하는 부압 수단인 진공 펌프(32b)에 접속되어 있다. 또한, 배관(32a)에는 흡착 보유 지지 부재(32)의 흡착 압력인 부압을 검지하는 압력 센서(32c)가 설치되어 있다. 압력 센서(32c)의 검지 신호는 제어 컴퓨터(60)에 보내지도록 되어 있다.
또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 카세트 재치대(11)에 있어서의 기판 반송 기구(20)의 배치부(6)측에는, 4개의 덮개 수납부(11b)가 X축 방향으로 병설되어 있다. 이들 덮개 수납부(11b)에는 카세트(10)로부터 제거된 덮개(10c)가 수납된다.
또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 구획벽(13)의 개구(13a) 상하 테두리에는, 카세트(10)로부터 밀려나온 웨이퍼(W)를 검지함과 함께, 카세트(10)의 개구부(10b)에 덮개(10c)가 확실하게 덮여져 있는지 여부의 유무를 검지하는 비어져 나옴 겸 덮개 이상 검지 센서(39a, 39b)가 설치되어 있다. 이 비어져 나옴 겸 덮개 이상 검지 센서(39a, 39b)는, 카세트(10)의 개구부(10b)로부터 후퇴한 덮개(10c)가 상승할 때 웨이퍼(W)와의 간섭을 피하기 위하여, 카세트(10)로부터 비어져 나온 웨이퍼(W)를 검지하는 것 외에, 후술하는 본 발명에 따른 기판 수납 처리 장치와 같이 덮여진 덮개(10c)의 폐쇄 상태, 즉, 덮개(10c)가 카세트(10)의 개구부에 확실하게 설치되어 덮여져 있는지 여부를 확인하기 위하여, 덮개 폐쇄 상태로부터 다시 덮개 착탈 기구(30)를 덮개 착탈 기구 오픈 센서(38b)가 검지하기까지 후퇴시키고 덮개(10c)가 걸려 반개방 상태로 되는 상태가 발생하지 않는지를 비어져 나옴 겸 덮개 이상 검지 센서(39a, 39b)에 의해 검지(덮개의 이상 상태의 확인)할 수 있다. 이와 같이 비어져 나옴 겸 덮개 이상 검지 센서(39a, 39b)에 의해 검지된 덮개의 이상 상태의 검지 신호는 제어 컴퓨터(60)에 보내지도록 되어 있다.
상기와 같이 구성되는 카세트 스테이지(12)의 이동 기구(14), 덮개 착탈 기구(30)의 키(31)의 시정·해정 조작, 승강 기구(34), Y축 구동 기구(37) 및 진공 펌프(32b)는 제어 컴퓨터(60)의 제어부(61)에 의해 구동 제어되도록 되어 있다.
제어부(61)는 제어 컴퓨터(60)에 내장되어 있고, 제어 컴퓨터(60)는 제어부(61) 이외에, 기판 수납 처리 장치가 행하는 후술하는 동작에 있어서의 각 처리 공정을 실행하기 위한 프로그램을 저장하는 제어 프로그램 저장부(62)와, 판독부(63)와, 기억부(64)를 내장하고 있다. 또한, 제어 컴퓨터(60)는 제어부(61)에 접속된 입력부(65)와, 처리 공정을 작성하기 위한 처리 공정 화면을 표시하는 모니터부(66)와, 비어져 나옴 겸 덮개 이상 검지 센서(39a, 39b)나 압력 센서(32c)의 검지 신호에 기초한 이상 상태를 알리는 표시부(67)와, 판독부(63)에 삽입 장착됨과 함께, 제어 컴퓨터(60)에 제어 프로그램을 실행시키는 소프트웨어가 기억된 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체(68)를 구비하고 있고, 제어 프로그램에 기초하여 상기 각 부에 제어 신호를 출력하도록 구성되어 있다.
또한, 제어 프로그램은, 하드 디스크, 콤팩트 디스크, 플래시 메모리, 플렉시블 디스크, 메모리 카드 등의 기억 매체(68)에 저장되고, 이들 기억 매체(68)로부터 제어 컴퓨터(60)에 인스톨되어 사용된다.
한편, 처리부(2)는 하우징(50)으로 주위가 둘러싸여 있고, 도 1에 도시한 바와 같이, 카세트 스테이션(1)에서 볼 때 좌측에, 각각 가열·냉각 처리 모듈(40)을 구비하는 선반 유닛(U1 내지 U4)이 적층되어 있다. 도 2에 도시한 바와 같이, 카세트 스테이션(1)에서 볼 때 우측에, 현상 처리를 행하기 위한 제1 블록(DEV층)(B1), 레지스트막의 하층측에 형성되는 반사 방지막의 형성 처리를 행하기 위한 제2 블록(BCT층)(B2), 레지스트액의 도포 처리를 행하기 위한 제3 블록(COT층)(B3), 레지스트막의 상층측에 형성되는 반사 방지막의 형성 처리를 행하기 위한 제4 블록(TCT층)(B4)를 아래로부터 순서대로 적층하여 구성되어 있다.
상기 제2 블록(BCT층)(B2)과 제4 블록(TCT층)(B4)은, 각각 반사 방지막을 형성하기 위한 약액을 스핀 코팅에 의해 도포하는 도포부를 3개 포함한 액 처리 모듈(70)과, 이 액 처리 모듈(70)에서 행해지는 처리의 전처리 및 후처리를 행하기 위한 가열·냉각 처리 모듈(40)과, 액 처리 모듈(70)과, 가열·냉각 처리 모듈(40)과의 사이에 설치되고, 이들 사이에서 웨이퍼(W)의 수수를 행하는 기판 반송 수단인 반송 기구(A2, A4)를 구비하고 있다(도 3 참조).
제3 블록(COT층)(B3)에 있어서는, 상기 약액이 레지스트액이며, 소수화 처리 유닛이 내장되는 것을 제외하면 마찬가지의 구성이다. 한편, 제1 처리 블록(DEV층)(B1)에 대해서는, 예를 들어 하나의 DEV층(B1) 내에 현상 유닛이 2단으로 적층되어 있다. 그리고 DEV층(B1) 내에는, 이들 2단의 현상 유닛에 웨이퍼(W)를 반송하기 위한 공통의 반송 기구(A1)가 설치되어 있다(도 3 참조). 또한 처리부(2)에는, 도 1 및 도 3에 도시한 바와 같이, 선반 유닛(U5)이 설치되고, 이 선반 유닛(U5)의 각 부끼리의 사이에서는, 선반 유닛(U5)의 근방에 설치된 승강 가능한 반송 기구(E)에 의해 웨이퍼(W)가 반송된다.
이 경우, 선반 유닛(U5)에 있어서의 제1 블록(DEV층)(B1)에 대향하는 부분에는 각각 2단의 전달 유닛(TCP1, TRS3)이 적층되고, 제2 블록(BCT층)(B2)에 대향하는 부분에는, 전달 유닛(CPL2)과 (BF2)가 2단 적층되고, 제3 블록(COT층)(B3)에 대향하는 부분에는, 전달 유닛(CPL3)과 (BF3)이 2단 적층되고, 또한, 제4 블록(TCT층)(B4)과 대향하는 부분에는, 전달 유닛(CPL4)과 (BF4)가 2단 적층되어 있다(도 3 참조).
한편, DEV층(B1) 내의 상부에는, 선반 유닛(U5)에 설치된 수수 유닛(CPL11)으로부터 선반 유닛(U6)에 설치된 수수 유닛(CPL12)으로 웨이퍼(W)를 직접 반송하기 위한 전용 반송 수단인 셔틀 아암(F)이 설치되어 있다(도 3 참조). 레지스트막이나 추가로 반사 방지막이 형성된 웨이퍼(W)는, 반송 기구(E)에 의해 수수 유닛(BF3)이나 수수 유닛(BF4)을 통하여 수수 유닛(CPL11)에 수수되고, 이로부터 셔틀 아암(F)에 의해 선반 유닛(U6)의 수수 유닛(CPL12)으로 직접 반송되어, 인터페이스부(3)에 도입되게 된다.
이어서, 웨이퍼(W)는 인터페이스 아암(G)에 의해 노광부(4)로 반송되고, 여기서 소정의 노광 처리가 행해진 후, 선반 유닛(U6)의 수수 유닛(TRS6)에 재치되어 처리부(2)로 복귀된다. 복귀된 웨이퍼(W)는, 제1 블록(DEV층)(B1)에서 현상 처리가 행해지고, 기판 반송 수단인 반송 기구(A1)에 의해 수수 유닛(TRS3)에 수수된다(도 3 참조). 그 후, 기판 반송 기구(20)를 통하여 카세트(10)로 복귀된다.
<제1 실시 형태>
이어서, 본 발명에 따른 기판 수납 처리 방법의 제1 실시 형태의 동작 형태에 대하여, 도 9a 내지 도 9c 및 도 10a 내지 도 10d를 참조하여 설명한다.
상술한 바와 같이 제어 컴퓨터(60)의 제어부(61)로부터의 제어 신호에 기초하여, 카세트(10) 내에 처리 후의 웨이퍼(W)가 수용되고, 덮개 착탈 기구(30)에 보유 지지되어 있는 덮개(10c)를 카세트(10)의 개구부(10b)로 이동시켜 덮개(10c)가 래치 시정되어 폐쇄(개시)된다. 이 상태에서 키(31)와 열쇠 구멍(10d)의 관계는, 덮개 착탈 기구(30) 또는 카세트 재치대(11) 중 어느 한쪽을 후퇴시키면 키(31)가 열쇠 구멍(10d)으로부터 빠지는 것이 가능한 상태인, 시정 위치로 된다(스텝 S1; 도 10a 참조).
이어서, 래치 기구가 시정 위치에 있는 상태에서 덮개 착탈 기구(30)를 덮개 폐쇄 위치로부터 덮개 개방 위치로 후퇴시킨다. 이 상태에서 키(31)와 열쇠 구멍(10d)에 간섭이 없으면 덮개(10c)를 보유 지지하고 있지 않은 상태에서 후퇴하게 된다. (스텝 S2; 도 10b 참조).
이 상태에서, 덮개 착탈 기구 오픈 센서(38b)에 의해 덮개 착탈 기구(30)의 후퇴 위치인 덮개 개방 위치를 검지하여, 덮개 착탈 기구(30)가 덮개 개방 위치에 없는 경우에는, 에러(덮개 착탈 기구 오픈 에러)를 출력하여 제어 컴퓨터(60)의 기억부(64)에 기억시키고(스텝 S3), 다음 스텝 S4로 진행된다.
덮개 착탈 기구 오픈 센서(38b)에 의해 덮개 개방 위치를 검지한 후, 비어져 나옴 겸 덮개 이상 검지 센서(39a, 39b)에 의해 폐쇄한 덮개(10c)가 튀어나오는 이상의 유무, 즉 덮개(10c)가 카세트(10)에 확실하게 폐쇄된 상태인지 여부를 검지한다(스텝 S4; 도 10b 참조). 이 검지에 의해, 키(31)와 열쇠 구멍(10d)이 충분히 걸어 맞추어 지지 않아 해정 시정이 불충분, 예를 들어 상부의 래치(10f)는 걸림 구멍(10e)으로부터 제거되고, 하부의 래치(10f)가 걸림 구멍(10e)으로부터 제거되지 않아 덮개(10c)가 반개방 상태이면, 비어져 나옴 겸 덮개 이상 검지 센서(39a, 39b)에 의해 검지되어 덮개(10c)의 폐쇄 상태의 이상을 검지하고, 덮개 착탈 기구 클로즈 에러를 발생시켜 알람을 발생시킨다(스텝 S4-1). 이 상태는 오퍼레이터에게 알려지고, 오퍼레이터는 덮개(10c)를 덮개 착탈 기구(30)에 보유 지지시키고 다음 공정인 덮개 폐쇄 공정으로 재시행한다(스텝 S4-2).
이어서, 덮개 개방 위치에 있는 덮개 착탈 기구(30)를 덮개 폐쇄 위치로 이동시켜 키(31)를 덮개(10c)의 열쇠 구멍(10d)에 삽입시키도록 전진시킨다(스텝 S5; 도 10c 참조). 이 상태에서, 덮개 착탈 기구 클로즈 센서(38a)에 의해 덮개(10c)의 덮개 폐쇄 위치를 검지하여, 덮개 착탈 기구(30)가 덮개(10c)의 덮개 폐쇄 위치에 없는 경우, 즉 열쇠 구멍(10d)과 키(31)의 걸림 상태가 정상이 아니고, 덮개 착탈 기구 클로즈 센서(38a)가 덮개(10c)의 덮개 폐쇄 위치를 검지하지 못하는 경우에는, 에러(덮개 착탈 기구 클로즈 에러)를 출력하여 제어 컴퓨터(60)의 기억부(64)에 기억시키고(스텝 S6), 다음 스텝 S7로 진행된다.
그 후, 흡착 보유 지지 부재(32)를 부압(ON)으로 하여 덮개(10c)를 흡착 보유 지지한다(스텝 S7; 도 10c 참조). 이 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 배관(32a) 내의 부압을 검지하고, 부압이 덮개(10c)의 흡착 보유 지지에 적정한 상태가 아닌 경우에는, 에러(VAC ON 에러)를 출력하여 제어 컴퓨터(60)의 기억부(64)에 기억시키고(스텝 S8), 다음 스텝 S9로 진행된다. 여기서의 에러는, 덮개 착탈 기구(30)와 덮개(10c)를 걸어 맞출 때 열쇠 구멍(10d)의 수직 구멍부가 시정 상태의 수직 상태로부터 해정 방향으로 경사져 시정이 충분하지 않은 상태인 경우이다. 이와 같이, 열쇠 구멍(10d)이 해정 방향으로 경사져 있으면, 래치(10f)가 걸림 구멍(10e)에 확실하게 끼워 맞춰져 있지 않아, 덮개(10c)의 시정이 불충분하게 되어, 덮개(10c)가 진동 등에 의해 개방될 우려가 있다.
이어서, 흡착 보유 지지 부재(32)의 부압을 해제(OFF)한다(스텝 S9). 이 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 배관(32a) 내의 부압을 검지하여, 부압이 해제되어 있지 않은 경우에는, 에러(VAC OFF 에러)를 출력하여 제어 컴퓨터(60)의 기억부(64)에 기억시키고(스텝 S10), 다음 스텝 S11로 진행된다.
흡착 보유 지지 부재(32)의 부압을 해제한 후, 이동 기구(14)를 구동하여 카세트 스테이지(12)에 재치된 카세트(10)를 언도크 위치로 후퇴시킨다(스텝 S11).
카세트(10)를 언도크 위치로 후퇴시킨 후, 이들의 확인 동작에서 이상의 유무를 판단한다(스텝 S12). 이들의 동작에서 이상이 있는 경우에는, 확인을 위하여 카세트 스테이지(12)에 클램프되어 있는 카세트(10)를 언클램프하여(스텝 S13), 제어 컴퓨터(60)에 기억된 검지 알람 발생의 원인을 표시부(67)에 표시한다(스텝 S14). 이 표시에 의해, (a) 덮개 착탈 기구 오픈 에러, (b) 덮개 착탈 기구 클로즈 에러, (c) VAC ON 에러, (d) VAC OFF 에러 중 어느 하나를 확인할 수 있다.
동작이 이상하지 않은 경우에는, 덮개(10c)는 확실하게 폐쇄되어, 시정은 확실하므로, 카세트 스테이지(12)로부터 언클램프되어(스텝 S21), 카세트 반송 기구(5)에 의해 카세트 재치대(11)로부터 반출된다.
카세트 반송 기구(5)의 반출 모드의 유무를 확인하여(스텝 S15), 반출 모드가 없는 경우에는, 오퍼레이터가 덮개(10c)의 시정 상태를 확인하기 위하여, 카세트(10)를 카세트 스테이지(12)로부터 제거한다(스텝 S16). 카세트(10)를 카세트 스테이지(12)로부터 제거한 후, 카세트 재탑재 알람이 발생된다(스텝 S17).
오퍼레이터가 카세트(10)를 확인하고(스텝 S18), 덮개(10c)의 상태를 정상으로 복귀시켜 카세트(10)를 카세트 스테이지(12)에 다시 재치한다(스텝 S19). 그 후, 알람을 해제한 후 재시행한다(스텝 S20). 카세트(10)가 카세트 스테이지(12)에 재치되어 있는 경우에는, 덮개(10c)는 확실하게 폐쇄되어, 시정은 확실하므로, 카세트 스테이지(12)로부터 언클램프되어(스텝 S21), 카세트 반송 기구(5)에 의해 카세트 재치대(11)로부터 반출된다. 오퍼레이터의 확인 후에 카세트(10)가 카세트 스테이지(12)에 재재치되지 않은 경우에는, 로스트 카세트의 처리가 행해진다.
상술한 카세트(10)의 덮개(10c)의 확인 동작은, 기억 매체(68)에 내장된 제어 프로그램에 기초하여 실행된다. 즉, 제어 프로그램은, 실행 시에, 카세트(10) 내에 처리 후의 웨이퍼(W)가 수용되고, 카세트(10)의 개구부(10b)에 덮개(10c)가 폐쇄된 후, 다시 덮개 착탈 기구(30)를 덮개 폐쇄 위치로 이동시키고, 덮개(10c)의 열쇠 구멍(10d)과 덮개 착탈 기구(30)의 키(31)를 걸어 맞추는 공정과, 덮개 착탈 기구(30)를 덮개 폐쇄 위치로부터 덮개 개방 위치로 후퇴시킨 상태에서, 덮개 착탈 기구 오픈 센서(38b)에 의해 덮개 착탈 기구(30)의 덮개 개방 위치를 검지함과 함께, 비어져 나옴 겸 덮개 이상 검지 센서(39a, 39b)에 의해 덮개 폐쇄의 이상의 유무를 검지하는 공정과, 그 후, 덮개 착탈 기구(30)를 덮개 폐쇄 위치로 이동시켜 덮개(10c)를 덮개 폐쇄한 상태에서, 덮개 착탈 기구 클로즈 센서(38a)에 의해 덮개 착탈 기구(30)의 덮개 폐쇄 위치를 검지하는 공정과, 그 후, 흡착 보유 지지 부재(32)를 부압하여 덮개(10c)를 흡착 보유 지지한 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지하는 공정과, 그 후, 흡착 보유 지지 부재(32)의 부압을 해제한 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지하는 공정과, 카세트(10)가 언도크 위치로 후퇴한 후에, 덮개 착탈 기구 오픈 센서(38b)에 의한 덮개 착탈 기구(30)의 후퇴 동작 이상, 덮개 착탈 기구 클로즈 센서(38a)에 의한 덮개 착탈 기구(30)의 전진 동작 이상, 압력 센서(32c)에 의한 부압의 적합 여부를 표시하는 공정이 실행되도록, 제어 컴퓨터(60)가 기판 수납 처리 장치를 제어하는 것이다.
제1 실시 형태의 기판 수납 처리 장치(방법)에 의하면, 상술한 공정에 의해, 카세트(10) 내에 처리 후의 웨이퍼(W)가 수용되고, 카세트(10)의 개구부(10b)에 덮개(10c)가 폐쇄된 후, 다시 덮개 착탈 기구(30)를 덮개 폐쇄 위치로부터 덮개 개방 위치로 후퇴시킨 상태에서, 덮개 착탈 기구 오픈 센서(38b)에 의해 덮개 착탈 기구(30)의 덮개 개방 위치를 검지함과 함께, 비어져 나옴 겸 덮개 이상 검지 센서(39a, 39b)에 의해, 카세트(10)에 덮여져 있는 덮개의 이상 및 덮개 착탈 기구(30)의 이상의 유무를 검지할 수 있다. 또한 그 후, 덮개 착탈 기구(30)를 덮개 폐쇄 위치로 이동시키고, 덮개 착탈 기구 클로즈 센서(38a)에 의해 덮개 착탈 기구(30)의 덮개 폐쇄 위치를 검지하고, 그 후, 흡착 보유 지지 부재(32)를 부압하여 덮개(10c)를 흡착 보유 지지한 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지하고, 그 후, 흡착 보유 지지 부재(32)의 부압을 해제한 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지한다. 그리고, 카세트(10)가 언도크 위치로 후퇴한 후에, 덮개 착탈 기구 오픈 센서(38b)에 의한 덮개 착탈 기구(30)의 덮개 개방 이상, 덮개 착탈 기구 클로즈 센서(38a)에 의한 덮개 착탈 기구(30)의 덮개 폐쇄 이상, 압력 센서(32c)에 의한 부압의 적합 여부를 표시할 수 있다. 따라서, 오퍼레이터가 덮개(10c)의 덮개 폐쇄 동작 중에 외부로부터 확인할 수 없던 덮개(10c)의 이상을 확인할 수 있어, 덮개(10c)는 확실하게 폐쇄되어 있는지, 시정은 확실한지 등을 확인할 수 있다.
<제2 실시 형태>
이어서, 본 발명에 따른 기판 수납 처리 장치(방법)에 대하여, 도 11 내지 도 13을 참조하여 설명한다.
제2 실시 형태의 기판 수납 처리 장치는, 도 11에 도시한 바와 같이, 상기 구획벽(13)의 개구(13a)의 테두리부에, 카세트(10)의 덮개(10c)의 개폐 상태를 확인하는 덮개 이상 검지 센서(39c, 39d)와, 카세트 스테이지(12)에 재치된 카세트(10)가 도크 위치로 이동한 상태를 검지하는 카세트 스테이지(12)의 도크 위치 검지 센서(15a)와, 카세트(10)가 언도크 위치로 이동한 상태를 검지하는 카세트 스테이지(12)의 언도크 위치 검지 센서(15b)를 구비하고 있다.
제2 실시 형태에 있어서, 카세트 반송 기구(5)에 의해 반송된 카세트(10)가 카세트 재치대(11)의 카세트 스테이지(12)에 재치되고, 도시하지 않은 클램프 기구에 의해 클램프된 상태에서, 카세트 스테이지(12)의 이동 기구(14)가 구동하여, 카세트 스테이지(12)를 구획벽(13)측으로 이동시키고, 카세트(10)를 구획벽(13)의 개구(13a) 부에 맞닿게 하면, 도크 위치 검지 센서(15a)가 도크 위치를 검지하고, 그 검지 신호가 제어 컴퓨터(60)에 보내진다. 또한, 카세트(10)가 도크 위치로 이동하고, 카세트(10)의 덮개(10c)에 설치된 열쇠 구멍(10d)과 덮개 착탈 기구(30)에 설치된 키(31)가 걸어 맞춰지는 상태에서, 흡착 보유 지지 부재(32)를 부압(ON)으로 하여 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지하여, 덮개(10c)의 설치 상태, 즉, 열쇠 구멍(10d)과 키(31)가 확실하게 걸어 맞춰지는(끼워 맞춰지는) 덮개 폐쇄 상태(정상 상태)인지, 열쇠 구멍(10d)과 키(31)의 걸어 맞춤(끼워 맞춤)이 불충분한 이상 상태인지를 검지하고, 그 검지 신호가 제어 컴퓨터(60)에 보내지도록 되어 있다. 또한, 카세트 스테이지(12)의 이동 기구(14)가 구동하여, 카세트 스테이지(12)를 구획벽(13)로부터 후퇴시켜 언도크 위치로 이동시키면, 언도크 위치 검지 센서(15b)가 검지하고, 그 검지 신호가 제어 컴퓨터(60)에 보내지도록 되어 있다.
또한, 제2 실시 형태에 있어서, 그 다른 부분은 제1 실시 형태와 동일하므로, 동일 부분에는 동일 부호를 부여하여 설명은 생략한다. 또한, 걸어 맞춤(끼워 맞춤) 이상의 검출에 있어서, 도크 완료 위치에 있어서의 도크 위치 검지 센서(15a)에 의한 도크 완료 타임 아웃에 의해 이상을 판정시켜도 되는 것은 물론이며, 덮개 이상 검지 센서(39c, 39d)와 조합하여 사용해도 된다.
이어서, 본 발명에 따른 기판 수납 처리 방법의 제2 실시 형태의 확인 기구의 동작 형태에 대하여, 도 12a 내지 도 12c 및 도 13을 참조하여 설명한다.
상술한 바와 같이 처리 후의 웨이퍼(W)를 도크 위치에 있는 카세트(10) 내에 수용한 후, 덮개(10c)를 제거한 카세트(10)를 도크 위치에 대기시킨다(스텝 S101; 도 13a 참조). 이어서, Y축 구동 기구(37)을 구동하여 덮개 착탈 기구(30)에 보유 지지된 덮개(10c)를 카세트(10)의 개구부(10b)에 설치한다(스텝 S102; 도 13b 참조). 이 상태에서, 덮개(10c)의 열쇠 구멍(10d)과 덮개 착탈 기구(30)의 키(31)를 걸어 맞추어 시정한다(스텝 S103).
그 후, 흡착 보유 지지 부재(32)의 부압을 해제(VAC OFF)한다(스텝 S104). 그 후, 이동 기구(14)의 구동에 의해 카세트 스테이지(12)를 도크 위치로부터 후퇴시켜, 언도크 위치로 이동시킨다(스텝 S105; 도 13c 참조). 여기까지의 공정은, 통상의 처리 후의 웨이퍼(W)를 카세트(10)에 수용하고, 덮개(10c)를 설치하고 시정한 후에 카세트 반송 기구(5)에 의해 반송하기 전까지와 마찬가지이다.
이어서, 이동 기구(14)의 구동에 의해 언도크 위치에 있는 카세트 스테이지(12)를 구획벽(13)측으로 다시 전진시켜 도크 위치로 이동시킨다(스텝 S106; 도 13d 참조). 그리고, 덮개(10c)의 열쇠 구멍(10d)과 도크 위치, 즉 덮개 폐쇄 위치에 위치하고 있는 덮개 착탈 기구(30)의 키(31)를 걸어 맞춘다(끼워 맞춘다). 이 상태에서, 도크 위치 검지 센서(15a)가 카세트 스테이지(12)에 재치된 카세트(10)가 도크 위치에 있는지 여부를 검지한다(스텝 S107). 카세트 스테이지(12)의 카세트(10)가 도크 위치에 없는 경우에는, 에러(도크 센서 에러)를 출력하여 제어 컴퓨터(60)의 기억부(64)에 기억시킨다.
그 후, 흡착 보유 지지 부재(32)를 부압(ON)으로 하여 덮개(10c)를 흡착 보유 지지한다(스텝 S108). 이 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 배관(32a) 내의 부압을 검지하여, 부압이 덮개(10c)의 흡착 보유 지지에 적정한 상태가 아닌 경우에는, 에러(VAC ON 에러)를 출력하여 제어 컴퓨터(60)의 기억부(64)에 기억시키고(스텝 S109), 다음 스텝 S110으로 진행된다. 여기서의 에러는, 덮개 착탈 기구(30)와 덮개(10c)를 걸어 맞출 때 열쇠 구멍(10d)의 수직 구멍부가 시정 상태의 수직 상태로부터 해정 방향으로 경사져 시정이 충분하지 않은 상태의 경우이다. 이와 같이, 열쇠 구멍(10d)이 해정 방향으로 경사져 있으면, 래치(10f)가 걸림 구멍(10e)에 확실하게 끼워 맞춰져 있지 않아, 덮개(10c)의 시정이 불충분하게 되어, 덮개(10c)가 진동 등에 의해 개방될 우려가 있다.
이어서, 흡착 보유 지지 부재(32)의 부압을 해제(OFF)한다(스텝 S110). 이 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 배관(32a) 내의 부압을 검지하여, 부압이 해제되어 있지 않은 경우에는, 에러(VAC OFF 에러)를 출력하여 제어 컴퓨터(60)의 기억부(64)에 기억시키고(스텝 S111), 다음 스텝 S112로 진행된다.
흡착 보유 지지 부재(32)의 부압을 해제한 후, 이동 기구(14)를 구동시켜 카세트 스테이지(12)에 재치된 카세트(10)를 언도크 위치로 후퇴시킨다(스텝 S112).
카세트(10)를 언도크 위치로 후퇴시킨 후, 이들의 확인 동작에서 이상의 유무를 판단한다(스텝 S113). 이들의 동작에서 이상이 있는 경우에는, 확인을 위하여 카세트 스테이지(12)에 클램프되어 있는 카세트(10)를 언클램프하여(스텝 S114), 제어 컴퓨터(60)에 기억된 검지 알람 발생의 원인을 표시부(67)에 표시한다(스텝 S115).
이 표시에 의해, (e) 도크 센서 에러, (f) VAC ON 에러, (g) VAC OFF 에러 중 어느 하나를 확인할 수 있다. 또한, 상기 (f) VAC ON 에러, (g) VAC OFF 에러는, 에러가 발생했을 때 확인하도록 해도 된다.
확인 동작이 이상이 아닌 경우에는, 덮개(10c)는 확실하게 폐쇄되어, 시정은 확실하므로, 카세트 스테이지(12)로부터 언클램프되어(스텝 S122), 카세트 반송 기구(5)에 의해 카세트 재치대(11)로부터 반출된다.
카세트 반송 기구(5)의 반출 모드의 유무를 확인하고(스텝 S116), 반출 모드가 없는 경우, 오퍼레이터가 덮개(10c)의 시정 상태를 확인하기 위하여, 카세트(10)를 카세트 스테이지(12)로부터 제거한다(스텝 S117). 카세트(10)를 카세트 스테이지(12)로부터 제거한 후, 카세트 재탑재 알람이 발생된다(스텝 S118).
오퍼레이터가 카세트(10)를 확인하고(스텝 S119), 덮개(10c)의 상태를 정상으로 복귀시켜 카세트(10)를 카세트 스테이지(12)에 다시 재치한다(스텝 S120). 그 후, 알람을 해제한 후 재시행한다(스텝 S121). 카세트(10)가 카세트 스테이지(12)에 재치되어 있는 경우에는, 덮개(10c)는 확실하게 폐쇄되어, 시정은 확실하므로, 카세트 스테이지(12)로부터 언클램프되어(스텝 S122), 카세트 반송 기구(5)에 의해 카세트 재치대(11)로부터 반출된다. 오퍼레이터의 확인 후에 카세트(10)가 카세트 스테이지(12)에 재재치되지 않은 경우에는, 로스트 카세트의 처리가 행해진다.
상술한 카세트(10)의 덮개(10c)의 이중 확인 동작은, 기억 매체(68)에 내장된 제어 프로그램에 기초하여 실행된다. 즉, 제어 프로그램은, 실행 시에, 카세트(10) 내에 처리 후의 웨이퍼(W)가 수용되고, 덮개(10c)가 제거된 카세트(10)를 도크 위치에 대기시키는 공정과, 덮개 착탈 기구(30)에 의해 보유 지지된 덮개(10c)를 카세트(10)의 개구부(10b)에 설치하여 시정하는 공정과, 덮개(10c)를 시정(폐쇄)한 카세트(10)를 언도크 위치로 이동시키는 공정과, 카세트(10)를 다시 도크 위치로 이동시켜 덮개(10c)의 열쇠 구멍(10d)과 덮개 착탈 기구(30)의 키(31)를 걸어 맞춘 상태에서 덮개 이상 검지 센서(39c, 39d)에 의해 덮개(10c)의 이상을 검지하는 공정과, 카세트(10)가 도크 위치로 이동한 상태에서, 카세트 스테이지(12)의 도크 위치 검지 센서(15a)가 카세트(10)의 도크 위치의 유무를 검지하는 공정과, 흡착 보유 지지 부재(32)를 부압하여 덮개(10c)를 흡착 보유 지지한 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지하는 공정과, 그 후, 흡착 보유 지지 부재(32)의 부압을 해제한 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지하는 공정과, 카세트(10)가 언도크 위치로 후퇴한 후에, 덮개 이상 검지 센서(39c, 39d)에 의한 덮개(10c)의 이상 및 도크 위치 검지 센서(15a)에 의한 카세트(10)의 도크 위치의 유무를 표시하는 공정과, 압력 센서(32c)에 의한 부압의 적합 여부를 표시하는 공정이 실행되도록, 제어 컴퓨터(60)가 기판 수납 처리 장치를 제어하는 것이다.
제2 실시 형태의 기판 수납 처리 장치(방법)에 의하면, 상술한 공정에 의해, 카세트(10) 내에 처리 후의 웨이퍼(W)를 수용하고, 덮개 착탈 기구(30)에 의해 보유 지지된 덮개(10c)를 카세트(10)의 개구부(10b)에 설치하여 시정한 후, 언도크 위치로 이동시키고, 이 카세트(10)를 다시 도크 위치로 이동시켜 덮개(10c)의 열쇠 구멍(10d)과 덮개 착탈 기구(30)의 키(31)를 걸어 맞춘 상태에서 흡착 보유 지지 부재(32)를 부압(ON)으로 하여, 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지하고, 덮개(10c)의 설치 상태의 이상을 검지함과 함께, 카세트(10)가 도크 위치로 이동한 상태에서, 카세트 스테이지(12)의 도크 위치 검지 센서(15a)가 카세트(10)의 도크 위치의 유무를 검지하고, 카세트(10)가 언도크 위치로 후퇴시킨 후에, 압력 센서(32c)에 의한 덮개(10c)의 설치 상태의 이상 및 도크 위치 검지 센서에 의한 도크 위치의 유무를 표시할 수 있다. 또한, 카세트(10)가 도크 위치로 이동하여 덮개 폐쇄 위치에서, 흡착 보유 지지 부재(32)를 부압하여 덮개(10c)를 흡착 보유 지지한 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지하고, 그 후, 흡착 보유 지지 부재(32)의 부압을 해제한 상태에서, 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지한다. 그리고, 카세트(10)가 언도크 위치로 후퇴한 후에, 압력 센서(32c)에 의한 부압의 적합 여부를 표시할 수 있다.
따라서, 오퍼레이터가 덮개(10c)의 덮개 폐쇄 동작 중에 외부로부터 확인할 수 없던 덮개(10c)의 이상을 확인할 수 있어, 덮개(10c)는 확실하게 폐쇄되어 있는지, 시정은 확실한지 등을 확인할 수 있다.
또한, 상기 제2 실시 형태에서는, 카세트(10)가 언도크 위치로 이동한 후에 압력 센서(324)에 의한 부압의 적합 여부를 표시하고 있지만, 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지할 때마다 표시하도록 해도 된다.
<그 밖의 실시 형태>
상기 제1 실시 형태에 있어서, 덮개(10c)의 열쇠 구멍(10d)과 덮개 착탈 기구(30)의 키(31)를 걸어 맞춘 후, 덮개 개방 위치로 후퇴하기 전에는, 해정을 행하고 다시 시정을 행하는 공정을 갖도록 해도 된다. 이것에 의해 시정을 확실하게 할 수 있다.
상기 제2 실시 형태에서는, 카세트(10)가 도크 위치로 이동한 상태에서, 흡착 보유 지지 부재(32)를 부압(ON)으로 하여, 압력 센서(32c)에 의해 부압을 검지하고, 덮개(10c)의 설치 상태의 이상을 검지함과 함께, 카세트 스테이지(12)의 도크 위치 검지 센서(15a)가 카세트(10)의 도크 위치의 유무를 검지하고 있지만, 압력 센서(32c)에 의해 덮개(10c)의 이상을 검지하는 것만에 의해서도, 덮개(10c)의 시정(덮개 폐쇄)의 이중 확인을 행할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 본 발명의 기판 수납 처리 장치(방법, 기억 매체)가 웨이퍼(W)의 도포·현상 처리 장치의 처리 시스템에 사용되는 경우에 대하여 설명했지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니며, 기판을 수용하는 카세트에 덮개를 설치하여 반송하는 웨이퍼(W) 이외의 기판의 반송 처리 시스템에도 적용할 수 있는 것이다.
2: 처리부
5: 카세트 반송 기구
10: 카세트
10b: 개구부
10c: 덮개
10d: 열쇠 구멍
10e: 걸림 구멍
10f: 래치
11: 카세트 재치대
12: 카세트 스테이지
13: 구획벽
13a: 개구
14: 카세트 스테이지 이동 기구
15a: 도크 위치 검지 센서
15b: 언도크 위치 검지 센서
20: 기판 반송 기구
30: 덮개 착탈 기구
31: 키
32: 흡착 보유 지지 부재
32c: 압력 센서
34: 승강 기구
37: Y축 구동 기구
38a: 덮개 착탈 기구 클로즈 센서
38b: 덮개 착탈 기구 오픈 센서
39a, 39b: 비어져 나옴 겸 덮개 이상 검지 센서
39c, 39d: 덮개 이상 검지 센서
60: 제어 컴퓨터(제어 수단)
61: 제어부
67: 표시부
68: 기억 매체

Claims (13)

  1. 기판을 출납하기 위한 개구부를 갖고, 상기 개구부에 착탈 가능한 덮개를 갖는 카세트를 재치하는 카세트 재치대와,
    상기 카세트 재치대의 카세트 내에 수용된 기판을 처리하기 위한 처리부와,
    상기 처리부에 상기 기판을 반송하고, 처리 후의 기판을 상기 카세트 재치대의 카세트로 복귀시키는 기판 반송 기구와,
    상기 기판 반송 기구의 배치부와 상기 카세트 재치대를 구획하고, 상기 카세트의 개구부보다도 큰 개구를 갖는 구획벽과,
    상기 카세트 재치대에 배치되고, 재치된 상기 카세트를 상기 구획벽의 개구에 맞닿는 도크 위치와 상기 도크 위치로부터 후퇴하여 언도크 위치로 진퇴 이동 가능한 카세트 스테이지와,
    상기 구획벽의 개구를 통하여 상기 카세트의 개구부로부터 덮개를 제거하고, 상기 카세트의 개구부에 덮개를 설치하는 덮개 착탈 기구를 구비하고,
    상기 덮개 착탈 기구는, 상기 덮개에 설치 열쇠 구멍에 걸어 맞추어지고, 상기 카세트의 개구부에 착탈 가능하게 걸리는 래치를 시정·해정 위치로 절환하는 키를 구비함과 함께, 상기 덮개를 흡착하여 보유 지지하는 흡착 보유 지지 부재를 구비하여 이루어지는 기판 수납 처리 장치로서,
    상기 구획벽의 개구의 테두리부에 배치되고, 상기 덮개의 개폐 상태를 확인하는 덮개 이상 검지 센서와,
    상기 덮개 착탈 기구가 보유 지지한 덮개를 설치하는 덮개 폐쇄 위치와 그 덮개 폐쇄 위치로부터 후퇴하는 덮개 개방 위치를 검지하는 덮개 착탈 기구 클로즈 센서 및 덮개 착탈 기구 오픈 센서와,
    상기 흡착 보유 지지 부재가 덮개를 흡착 보유 지지하는 부압을 검지하는 압력 센서와,
    상기 덮개 이상 검지 센서, 상기 덮개 착탈 기구 클로즈 센서, 상기 덮개 착탈 기구 오픈 센서 및 상기 압력 센서의 검지 신호를 받음과 함께, 상기 덮개 착탈 기구의 개폐 위치로의 이동, 상기 키의 시정·해정 조작 및 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트의 상기 도크 위치와 언도크 위치로의 이동을 제어하는 제어 수단을 구비하고,
    상기 제어 수단으로부터의 제어 신호에 기초하여, 상기 카세트 내에 처리 후의 기판이 수용되고, 카세트의 개구부에 덮개가 덮여진 후, 상기 덮개를 보유 지지하지 않은 상태에서 상기 덮개 착탈 기구를 덮개 폐쇄 위치로부터 덮개 개방 위치로 후퇴시켰을 때, 상기 덮개 착탈 기구 오픈 센서에 의해 덮개의 덮개 개방 위치를 검지함과 함께, 상기 덮개 이상 검지 센서에 의해 덮개의 이상의 유무를 검지하여 덮개 폐쇄 상태의 이상을 판단하는, 기판 수납 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 덮개 이상 검지 센서에 의해 덮개의 이상의 유무를 검지한 후, 상기 카세트의 개구부에 덮개를 덮은 상태에서, 상기 덮개 착탈 기구를 상기 덮개 폐쇄 위치로 이동시키고, 상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추어, 상기 덮개 착탈 기구 클로즈 센서에 의해 상기 덮개 착탈 기구의 덮개 폐쇄 위치를 검지하고, 그 후, 상기 흡착 보유 지지 부재를 부압으로 흡인하여 덮개를 흡착 보유 지지하는 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 소정의 부압을 검지하고, 상기 흡착 보유 지지 부재의 부압을 해제한 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 부압을 검지하고, 상기 카세트가 상기 언도크 위치로 후퇴한 후에, 카세트의 덮개 폐쇄에 이상이 있으면 상기 덮개 착탈 기구 오픈 센서에 의한 덮개의 덮개 개방 이상, 상기 덮개 착탈 기구 클로즈 센서에 의한 덮개의 덮개 폐쇄 이상, 상기 압력 센서에 의한 부압의 적합 여부 중 어느 하나를 표시하는, 기판 수납 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞춘 후, 상기 덮개 개방 위치로 후퇴하기 전에는, 해정을 행하고 다시 시정을 행하는, 기판 수납 처리 장치.
  4. 기판을 출납하기 위한 개구부를 갖고, 상기 개구부에 착탈 가능한 덮개를 갖는 카세트를 재치하는 카세트 재치대와,
    상기 카세트 재치대의 카세트 내에 수용된 기판을 처리하기 위한 처리부와,
    상기 처리부에 상기 기판을 반송하고, 처리 후의 기판을 상기 카세트 재치대의 카세트로 복귀시키는 기판 반송 기구와,
    상기 기판 반송 기구의 배치부와 상기 카세트 재치대를 구획하고, 상기 카세트의 개구부보다도 큰 개구를 갖는 구획벽과,
    상기 카세트 재치대에 배치되고, 재치된 상기 카세트를 상기 구획벽의 개구에 맞닿는 도크 위치와 상기 도크 위치로부터 후퇴하여 언도크 위치로 진퇴 이동 가능한 카세트 스테이지와,
    상기 구획벽의 개구를 통하여 상기 카세트의 개구부로부터 덮개를 제거하고, 상기 카세트의 개구부에 덮개를 설치하는 덮개 착탈 기구를 구비하고,
    상기 덮개 착탈 기구는, 상기 덮개에 설치된 열쇠 구멍에 걸어 맞추어지고, 상기 카세트의 개구부에 착탈 가능하게 걸리는 래치를 시정·해정 위치로 절환하는 키를 구비함과 함께, 상기 덮개를 흡착하여 보유 지지하는 흡착 보유 지지 부재를 구비하여 이루어지는 기판 수납 처리 장치로서,
    상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트의 도크 위치를 검지하는 도크 위치 검지 센서와,
    상기 덮개 착탈 기구의 개폐 위치로의 이동, 상기 키의 시정·해정 조작 및 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트의 상기 도크 위치와 언도크 위치로의 이동을 제어하는 제어 수단과,
    상기 흡착 보유 지지 부재가 덮개를 흡착 보유 지지하는 부압을 검지하는 압력 센서를 구비하고,
    상기 제어 수단은, 상기 도크 위치에서 카세트 내에 처리 후의 기판이 수용된 카세트의 개구부의 덮개를 폐쇄시켜 상기 래치가 시정 위치로 절환된 후, 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트를 언도크 위치로 후퇴시킨 후에, 다시 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트를 상기 도크 위치로 전진시켜 상기 도크 위치 검지 센서의 신호의 유무를 확인하고,
    상기 압력 센서의 검지 신호를 받는 제어 수단으로부터의 제어 신호에 기초하여, 다시 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트를 상기 도크 위치로 전진시켰을 때 상기 흡착 보유 지지 부재를 부압으로 흡인하여 덮개를 흡착 보유 지지하는 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 소정의 부압을 검지하지 않은 경우에는 알람을 출력하는, 기판 수납 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    다시 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트를 상기 도크 위치로 전진시켰을 때 상기 도크 위치 검지 센서의 신호가 없는 경우에는, 상기 카세트 스테이지가 상기 언도크 위치로 후퇴시킨 후에, 상기 도크 위치 검지 센서에 의한 도크 위치의 이상을 표시하는, 기판 수납 처리 장치.
  6. 삭제
  7. 기판을 출납하기 위한 개구부를 갖고, 상기 개구부에 착탈 가능한 덮개를 갖는 카세트를 재치하는 카세트 재치대와,
    상기 카세트 재치대의 카세트 내에 수용된 기판을 처리하기 위한 처리부와,
    상기 처리부에 상기 기판을 반송하고, 처리 후의 기판을 상기 카세트 재치대의 카세트로 복귀시키는 기판 반송 기구와,
    상기 기판 반송 기구의 배치부와 상기 카세트 재치대를 구획하고, 상기 카세트의 개구부보다도 큰 개구를 갖는 구획벽과,
    상기 카세트 재치대에 배치되고, 재치된 상기 카세트를 상기 구획벽의 개구에 맞닿는 도크 위치와 상기 도크 위치로부터 후퇴하여 언도크 위치로 진퇴 이동 가능한 카세트 스테이지와,
    상기 구획벽의 개구를 통하여 상기 카세트의 개구부로부터 덮개를 제거하고, 상기 카세트의 개구부에 덮개를 설치하는 덮개 착탈 기구를 구비하고,
    상기 덮개 착탈 기구는, 상기 덮개에 설치된 열쇠 구멍에 걸어 맞추어지고, 상기 카세트의 개구부에 착탈 가능하게 걸리는 래치를 시정·해정 위치로 절환하는 키를 구비함과 함께, 상기 덮개를 흡착하여 보유 지지하는 흡착 보유 지지 부재를 구비하여 이루어지고,
    상기 구획벽의 개구의 테두리부에 배치되고, 상기 덮개의 개폐 상태를 확인하는 덮개 이상 검지 센서와,
    상기 덮개 착탈 기구가 보유 지지한 덮개를 설치하는 덮개 폐쇄 위치와 그 덮개 폐쇄 위치로부터 후퇴하는 덮개 개방 위치를 검지하는 덮개 착탈 기구 클로즈 센서 및 덮개 착탈 기구 오픈 센서와,
    상기 흡착 보유 지지 부재가 덮개를 흡착 보유 지지하는 부압을 검지하는 압력 센서와,
    상기 덮개 이상 검지 센서, 상기 덮개 착탈 기구 클로즈 센서, 상기 덮개 착탈 기구 오픈 센서 및 상기 압력 센서의 검지 신호를 받음과 함께, 상기 덮개 착탈 기구의 개폐 위치로의 이동, 상기 키의 시정·해정 조작 및 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트의 상기 도크 위치와 언도크 위치로의 이동을 제어하는 제어 수단를 구비하여 이루어지는 기판 수납 처리 장치를 사용한 기판 수납 처리 방법으로서,
    상기 카세트 내에 처리 후의 기판이 수용된 후, 카세트의 개구부에 덮개를 덮는 공정과,
    상기 덮개를 보유 지지하지 않은 상태에서 상기 덮개 착탈 기구를 덮개 폐쇄 위치로부터 덮개 개방 위치로 후퇴시키는 공정과,
    상기 덮개 착탈 기구 오픈 센서에 의해 덮개 착탈 기구의 덮개 개방 위치를 검지하는 공정과,
    상기 덮개 이상 검지 센서에 의해 덮개의 덮개 폐쇄 상태의 이상을 판단하는 공정과,
    상기 덮개 폐쇄 위치로부터 후퇴한 상기 덮개 착탈 기구를 다시 덮개 폐쇄 위치로 이동시키는 공정과,
    상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추는 공정을 포함하는, 기판 수납 처리 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 덮개 이상 검지 센서에 의해 덮개의 이상의 유무를 검지한 후, 상기 덮개 착탈 기구를 상기 덮개 폐쇄 위치로 이동시키고, 상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추는 공정과,
    상기 덮개 착탈 기구 클로즈 센서에 의해 상기 덮개 착탈 기구의 덮개 폐쇄 위치를 검지하는 공정과,
    상기 흡착 보유 지지 부재를 부압으로 흡인하여 덮개를 흡착 보유 지지하는 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 소정의 부압을 검지하는 공정과,
    상기 흡착 보유 지지 부재의 부압을 해제한 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 부압을 검지하는 공정과,
    상기 카세트가 상기 언도크 위치로 후퇴한 후에, 카세트의 덮개 폐쇄에 이상이 있으면 상기 덮개 착탈 기구 오픈 센서에 의한 덮개의 덮개 개방 이상, 상기 덮개 착탈 기구 클로즈 센서에 의한 덮개의 덮개 폐쇄 이상, 상기 압력 센서에 의한 부압의 적합 여부 중 어느 하나를 표시하는 공정을 포함하는, 기판 수납 처리 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추는 공정과 상기 덮개 개방 위치로 후퇴하는 공정 사이에는, 해정을 행하고 다시 시정을 행하는 공정을 포함하는, 기판 수납 처리 방법.
  10. 기판을 출납하기 위한 개구부를 갖고, 상기 개구부에 착탈 가능한 덮개를 갖는 카세트를 재치하는 카세트 재치대와,
    상기 카세트 재치대의 카세트 내에 수용된 기판을 처리하기 위한 처리부와,
    상기 처리부에 상기 기판을 반송하고, 처리 후의 기판을 상기 카세트 재치대의 카세트로 복귀시키는 기판 반송 기구와,
    상기 기판 반송 기구의 배치부와 상기 카세트 재치대를 구획하고, 상기 카세트의 개구부보다도 큰 개구를 갖는 구획벽과,
    상기 카세트 재치대에 배치되고, 재치된 상기 카세트를 상기 구획벽의 개구에 맞닿는 도크 위치와 상기 도크 위치로부터 후퇴하여 언도크 위치로 진퇴 이동 가능한 카세트 스테이지와,
    상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트의 도크 위치를 검지하는 도크 위치 검지 센서와,
    상기 구획벽의 개구를 통하여 상기 카세트의 개구부로부터 덮개를 제거하고, 상기 카세트의 개구부에 덮개를 설치하는 덮개 착탈 기구를 구비하고,
    상기 덮개 착탈 기구는, 상기 덮개에 설치된 열쇠 구멍에 걸어 맞추어지고, 상기 카세트의 개구부에 착탈 가능하게 걸리는 래치를 시정·해정 위치로 절환하는 키를 구비함과 함께, 상기 덮개를 흡착하여 보유 지지하는 흡착 보유 지지 부재를 구비하여 이루어지고,
    상기 덮개 착탈 기구의 개폐 위치로의 이동, 상기 키의 시정·해정 조작 및 상기 카세트 스테이지에 재치된 카세트의 상기 도크 위치와 언도크 위치로의 이동을 제어하는 제어 수단를 구비하여 이루어지는 기판 수납 처리 장치를 사용한 기판 수납 처리 방법으로서,
    상기 제어 수단으로부터의 제어 신호에 기초하여, 상기 카세트 내에 처리 후의 기판이 수용되고, 카세트의 개구부에 덮개가 덮여진 후, 상기 카세트를 상기 언도크 위치로 후퇴시킨 후에 다시 상기 도크 위치로 이동시킨 상태에서, 상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추는 공정과,
    상기 덮개의 열쇠 구멍과 상기 덮개 착탈 기구의 키를 걸어 맞추는 공정에서 상기 도크 위치를 검지하는 상기 도크 위치 검지 센서의 신호의 유무를 확인하는 공정을 포함하는, 기판 수납 처리 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    다시 상기 카세트 스테이지의 카세트를 상기 도크 위치로 전진시켰을 때 상기 도크 위치 검지 센서의 신호가 없는 경우에는, 상기 카세트 스테이지가 상기 언도크 위치로 후퇴한 후에, 상기 도크 위치 검지 센서에 의해, 상기 카세트가 상기 도크 위치에 있는지 여부를 표시하는 공정을 포함하는, 기판 수납 처리 방법.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 흡착 보유 지지 부재가 덮개를 흡착 보유 지지하는 부압을 검지하는 압력 센서의 검지 신호를 받는 제어 수단으로부터의 제어 신호에 기초하여, 상기 흡착 보유 지지 부재를 부압하여 덮개를 흡착 보유 지지한 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 부압을 검지하는 공정과,
    상기 흡착 보유 지지 부재의 부압을 해제한 상태에서, 상기 압력 센서에 의해 부압을 검지하는 공정과,
    상기 압력 센서에 의한 부압의 적합 여부를 표시하는 공정을 포함하는, 기판 수납 처리 방법.
  13. 기판을 출납하기 위한 개구부를 갖고, 상기 개구부에 착탈 가능한 덮개를 갖는 카세트로부터 취출된 기판을 처리부에서 처리한 후, 처리 후의 기판을 상기 카세트 내에 수용하고, 카세트의 개구부에 상기 덮개를 덮은 후, 카세트를 카세트 반송 기구에 의해 반송하는 기판 수납 처리 장치에 사용되고, 컴퓨터에 제어 프로그램을 실행시키는 소프트웨어가 기억된 비일시적인 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체로서,
    상기 제어 프로그램은, 제7항 내지 제11항 중 어느 한 항의 기판 수납 처리 방법을 실행하도록 공정이 짜여져 있는, 기판 수납 처리용 기억 매체.
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