JP2009049096A - 載置台 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蓋着脱部15によりFOUP1から蓋7を取り外すとともに計数部17で計数を行うが、飛び出し検出部29に加え、中間センサ35を備えているので、正規位置とずれ位置との間にあたる中間位置にまで基板Wがずれてきたとしても検出することができる。したがって、基板Wの取りこぼしを防止することができる。
【選択図】図2
Description
すなわち、従来の装置は、飛び出し検出器で検出されるほど基板の位置がずれてはいないものの、その位置が正規位置からずれている場合には、警報等が報知されることがなく処理が継続されるので、搬出処理の際に基板の取りこぼしが生じる恐れがある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板を処理部で処理する基板処理装置に配備され、複数枚の基板を収納するためのFOUP(Front Opening Unified Pod)を載置する載置台において、前記FOUPの搬入出口に取り付けられる蓋を前記FOUPに対して着脱する着脱手段と、前記FOUPに収納されている基板の枚数を計数する計数手段と、前記FOUPに収納されている基板がずれて搬入出口から飛び出していることを検出する第1の検出手段と、平面視にて前記計数手段で検出される正規位置と、前記第1の検出手段で検出されるずれ位置との間で、前記FOUPから基板が飛び出して中間位置にあることを検出する第2の検出手段と、を備えていることを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る載置台の概略構成を示す一部破断縦断面図であり、図2は、実施例に係る載置台の要部を示す一部破断横断面図であり、図3は、制御系のブロック図である。
制御部41は、まずカウンタをリセットして初期化しておく。このカウンタは、後述する処理において、中間センサ35がオンとなった場合に無限ループに陥るのを防止するために利用される。
制御部41は、蓋着脱部15を操作して、FOUP1の蓋7を開放させ始める。蓋着脱部15は、蓋7のFOUP1に対するロックを解除するとともに、蓋7を手前側に引き出して、蓋7とともに下方へ向かって移動を開始する。
蓋7が移動を開始した後、一対のマッピングアーム21を開放させて昇降部材19ごとマッピングセンサ23を下降させ始める。これにより、制御部41は、FOUP1に収容されている基板Wの枚数および位置を検出して記憶する。
制御部41は、飛び出し検出部29が基板Wの飛び出しを検出したか否かで処理を分岐する。
ステップS4において、飛び出し検出部29がオンしている場合には、報知部43を作動させて作業者に異常が発生したことを知らせる。基板WがFOUP1から飛び出した状態であり、蓋7をFOUP1に戻すことはできないので、このままの状態で待機する。
ステップS4において、飛び出し検出部29がオフしている場合には、中間センサ35が作動したか否かによって処理を分岐する。
中間センサ35がオンした場合には、基板WがFOUP1から搬入出口5から飛び出すほどの「ずれ位置」にまではずれていないものの、「正規位置」からは飛び出した状態である。そこで、蓋7が「開放位置」まで移動した後(ステップS7)、報知部43を操作してアラームを発生させ、注意を喚起する(ステップS8)。さらに蓋着脱部15を操作して、ステップS7で「開放位置」にまで移動して開放完了した蓋7を再び「閉止位置」にまで移動してFOUP1に対して装着させる(ステップS10)。蓋7を装着させることにより、中間位置へずれた基板Wを正規位置へと戻せる場合がある。このとき、制御部41は、カウンタを1だけインクリメントする。
蓋7が「開放位置」へ移動した後、飛び出し検出部29も中間センサ35もオンしなかった場合には、全ての基板WがFOUP1の正規位置にあることを示すので、制御部41は処理部9側にある図示しない搬送手段により基板Wを搬出させる。なお、搬出時には、マッピングセンサ23によって得られた基板Wの位置情報に基づいて搬出作業が行われる。
1 … FOUP
3 … 載置部
5 … 搬入出口
7 … 蓋
9 … 処理部
15 … 蓋着脱部
17 … 計数部
21 … 一対のマッピングセンサ
23 … マッピングセンサ
29 … 飛び出し検出部
35 … 中間センサ
41 … 制御部
Claims (4)
- 基板を処理部で処理する基板処理装置に配備され、複数枚の基板を収納するためのFOUP(Front Opening Unified Pod)を載置する載置台において、
前記FOUPの搬入出口に取り付けられる蓋を前記FOUPに対して着脱する着脱手段と、
前記FOUPに収納されている基板の枚数を計数する計数手段と、
前記FOUPに収納されている基板がずれて搬入出口から飛び出していることを検出する第1の検出手段と、
平面視にて前記計数手段で検出される正規位置と、前記第1の検出手段で検出されるずれ位置との間で、前記FOUPから基板が飛び出して中間位置にあることを検出する第2の検出手段と、
を備えていることを特徴とする載置台。 - 請求項1に記載の載置台において、
前記計数手段は、
前記FOUPの搬入出口側にて基板の端縁を挟んで配置された一対のマッピングアームと、前記一対のマッピングアームの先端側にそれぞれ設けられ、基板の端縁を検出する方向に光軸を向けて配設された投受光器と、前記一対のマッピングアームを基板の積層方向に移動させる移動手段とを備え、
前記第1の検出手段は、
平面視で前記FOUPの搬入出口よりも外側にあたる位置に設けられ、基板の積層方向に光軸を有する投受光器を備えていることを特徴とする載置台。 - 請求項2に記載の載置台において、
前記第2の検出手段は、
前記一対のマッピングアームの先端側であって、平面視にて前記計数手段の投受光器の光軸と前記第1の検出手段の投受光器の光軸との間に光軸を有する投受光器を備えていることを特徴とする載置台。 - 請求項1から3のいずれかに記載の載置台において、
前記計数手段だけが基板を検出している場合には、計数処理の後に基板の搬出処理へ移行させ、前記計数手段及び前記第1の検出手段とが基板を検出している場合には、前記着脱手段を操作して蓋を着脱させ、前記計数手段及び前記第1の検出手段並びに前記第2の検出手段が基板を検出している場合には、異常発生を報知する制御手段を備えていることを特徴とする載置台。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007212086A JP4866315B2 (ja) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | 載置台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007212086A JP4866315B2 (ja) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | 載置台 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009049096A true JP2009049096A (ja) | 2009-03-05 |
JP4866315B2 JP4866315B2 (ja) | 2012-02-01 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007212086A Active JP4866315B2 (ja) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | 載置台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4866315B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016072384A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
KR20170038188A (ko) | 2014-09-29 | 2017-04-06 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 수납 용기, 로드 포트 장치 및 기판 처리 장치 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6248788B2 (ja) | 2014-04-28 | 2017-12-20 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ウエハマッピング装置およびそれを備えたロードポート |
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2007
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US10381249B2 (en) | 2014-09-29 | 2019-08-13 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate container, load port apparatus, and substrate treating apparatus |
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---|---|
JP4866315B2 (ja) | 2012-02-01 |
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